MAGNETRON-SPUTTERN HOCHWERTIGER LASERSPIEGEL STEPHAN WALDNER

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1 MAGNETRON-SPUTTERN HOCHWERTIGER LASERSPIEGEL STEPHAN WALDNER

2 AGENDA 1. Evatec AG kurze Firmenvorstellung 2. Radiance SPM kompaktes Sputter-Beschichtungstool 3. Evatec/NTB gemeinsame Projekte 4. Projekt Magnetron-Sputtern hochwertiger Laserspiegel 2

3 AGENDA 1. Evatec AG kurze Firmenvorstellung 2. Radiance SPM kompaktes Sputter-Beschichtungstool 3. Evatec/NTB gemeinsame Projekte 4. Projekt Magnetron-Sputtern hochwertiger Laserspiegel 3

4 UNSERE GESCHICHTE IN OPTIK UND ELEKTRONIK R&D facility for thin film coatings established in Balzers, Liechtenstein Optical Coatings established in late 1960s First sales of optical disc (CD) metallizers Optical disc technology (CD-R, DVD, BlueRay in late 1990s Front- & Backend Semiconductors Industrialization of nanotechnologies & high-volume applications Internet-of-Things /15 Trübbach (CH) MBO of Acquisition of mehr als 50 Jahre Erfahrung in der Beschichtungstechnologie 4

5 PRODUKTPALETTE OPTISCHE ANWENDUNGEN Batch Systems BAK Evaporation Solutions Batch Systems MSP Sputter Solutions Cluster Systems Radiance Sputter Solutions Inline Systems SOLARIS Sputter Solutions BAK501, 641, 761, 1101, 1350, BAP801, 1101, BAV1250, 2000 Retrofits MSP1225, 1232 Drum sputter tool 2 to 8 Batch and single process modules Automatic handling S151, S380 High speed single substrate processing 5

6 BEISPIELE OPTISCHER BESCHICHTUNGEN Umgebungslicht- Sensor Beschichtung auf Wafer Sehr hohe Stückzahlen Hubpages.com Head-up display Kunststoff-Substrat Grosse Flächen Umweltbeständigkeit Continental-head-up-display.com ajthinfilms.com 6

7 BEISPIELE OPTISCHER BESCHICHTUNGEN Infrarot-Kamera Spezielle Substrat- und Beschichtungsmaterialien Umweltanforderungen theneweconomy.com Optotl.com Laser-Spiegel Hohe Laserzerstörschwelle (LIDT) Höchste Anforderungen bezüglich Schichtdefekten und Absorption Elan-optics.com 7

8 AGENDA 1. Evatec AG kurze Firmenvorstellung 2. Radiance SPM kompaktes Sputter-Beschichtungstool 3. Evatec/NTB gemeinsame Projekte 4. Projekt Magnetron-Sputtern hochwertiger Laserspiegel 8

9 RADIANCE SPM Reinraum-Front Kassetten- Ladestation Handling- Roboter Beschichtungskammer SiO2 Schichten HfO2 Schichten Substrat 3 Sputterquellen Optische Reflexionsmessung (GSM1101) 9

10 RADIANCE SPM Installation NTB 10

11 RADIANCE SPM Magnetron-Sputter Beschichtungsanlage für dielektrische und metallische Beschichtungen Hervorragend geeignet für R&D-Anwendungen sowie für automatisierte Produktion kleiner Produktionslose Kompakte Abmessungen (Standfläche) Kostengünstigere Alternative zu grösseren Beschichtungsanlagen Photonics.com Carrier für 1" und 2 "- Substrate 11

12 AGENDA 1. Evatec AG kurze Firmenvorstellung 2. Radiance SPM kompaktes Sputter-Beschichtungstool 3. Evatec/NTB gemeinsame Projekte 4. Projekt Magnetron-Sputtern hochwertiger Laserspiegel 12

13 WEITERE PROJEKTE EVATEC/NTB LIDT und Degradations Prüftechnik für industrielle Anwendungen Projektziele: Aufbau LIDT Prüfstand für 355, 532, 1064 nm (Basis LZH) Optimierung für industrielle Anwendungen Erweiterung für Degradations Prüftechnik Rhysearch.ch Projektpartner: SwissOptic Evatec FISBA FILTROP Montfort Laser OneFive IMT Masken und Teilungen GMP Trumpf Laser Marking Systems Vectronix RhySearch NTB CSEM Empa Uni Neuchatel 13

14 WEITERE PROJEKTE EVATEC/NTB Entwicklung optischer Schichten mit minimalen Verlusten für Laseranwendungen Projektziele: Aufbau CRD (Cavity Ring-Down) Messplatz Weiterentwicklung und Qualifikation Anwendung: verlustarme Gyro-Spiegel Projektpartner: Schott Suisse SwissOptic Evatec FISBA NTB RhySearch Proc. SPIE, 71020T-1 14

15 AGENDA 1. Evatec AG kurze Firmenvorstellung 2. Radiance SPM kompaktes Sputter-Beschichtungstool 3. Evatec/NTB gemeinsame Projekte 4. Projekt Magnetron-Sputtern hochwertiger Laserspiegel 15

16 KTI-PROJEKT Kompakte Magnetron-Sputteranlage und Prozess zur flexiblen und kostengünstigen Herstellung hochwertiger Laserspiegelschichten Projektpartner: NTB (Institute MNT und PWO) RhySearch Evatec AG (Hauptumsetzungspartner) Laufzeit: Juni 2016 bis Mai 2018 Projektziele: Anlage inkl. Prozesse für hochwertige Laserspiegel entwickeln und zur Marktreife bringen Demonstration hochwertiger Laserspiegelschichten Prozess-Know-How für unterschiedliche Schichtmaterialien, Verständnis der Einflüsse auf die Schichtqualität 16

17 KTI-PROJEKT Radiance NTB Evatec Weiterentwicklung 1) Ganze Prozesskette: Substrat-Auswahl Vorbehandlung Beschichtung Messung 2) Innovatives Chuck-Konzept (heizbar, Bias- Spannung, höhenverstellbar) 3) Unterschiedliche Schichtmaterialien Kompakte Magnetron-Sputteranlage und Prozess zur flexiblen und kostengünstigen Herstellung hochwertiger Laserspiegelschichten Optisches in-situ Monitoring exakte Schichtdicken, unterschiedliche Prozesse ohne Test-Runs «gute Schichten» auch für andere Anwendungen (Breitbandspiegel, Bandpassfilter, etc.) 17

18 WARUM MIT NTB? Dünne Schichten und Optik historisch bedeutend an NTB Starker Ausbau der Aktivitäten Neuer Reinraum und Beschichtungsanlagen Aufbau Laser-Schädigungs-Messplatz (LIDT) Aufbau Cavity-Ringdown (CRD) Hervorragende Analysemöglichkeiten Örtliche Nähe Wichtige Ausbildungsstätte Voraussetzung für die Entwicklung von hochwertigen Laserspiegeln! 18

19 SCHLUSSFOLGERUNG 1. Evatec AG kurze Firmenvorstellung 2. Radiance SPM kompaktes Sputter-Beschichtungstool 3. Evatec/NTB gemeinsame Projekte 4. Projekt Magnetron-Sputtern hochwertiger Laserspiegel Die Kooperationen mit Forschungspartnern sind ein entscheidender Beitrag zur kontinuierlichen Weiterentwicklung unserer Beschichtungsanlagen und unseres Prozess-Know-Hows 19

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