Steinmeyer Mechatronik GmbH Hochpräzise Positioniersysteme für Vakuum
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1 Steinmeyer Mechatronik GmbH Hochpräzise Positioniersysteme für Vakuum Version 04/2017
2 Die Steinmeyer Gruppe Eine Firma. Drei Kompetenzzentren. 650 Mitarbeiter. Hochpräzise Kugelgewindetriebe, Positioniersysteme und Messtechnik Entwicklung, Fertigung und Vertrieb in Albstadt, Dresden und Suhl USA Vertriebsbüro in Burlington, MA, USA Steinmeyer Mechatronik GmbH Kompetenzzentrum für hochpräzise Positioniertechnik, mechatronische Komponenten und optische Laser- Komponenten 120 Mitarbeiter am Standort Dresden Mehr als 140 Jahre Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung von feinmechanischen Komponenten Innovative Lösungen für eine Vielzahl an Applikationen
3 Was zeichnet uns aus? Innovative Technologien Komponentenunabhängige Lösungsansätze Kundenorientierte Entwicklungen Wir entwickeln nach den Bedürfnissen unserer Kunden unter Berücksichtigung des Preis/Leistungs-Verhältnisses Effektive und professionelle Umsetzung Visuelle Entwürfe, Entwicklungs-Roadmaps, Prototypen, Serienüberführung Hochpräzise Fertigung und Montage Von Einzelsystemen bis zur prozessoptimierten Serienfertigung
4 Vakuumsysteme von Steinmeyer Mechatronik Montage im Reinraum
5 Startseite Vakuum Linearachsen
6 Linearachse LA92-NM Hauptanwendung: Scanning von Proben schnelle Positionierung im UHV, auch vertikal Positionierung mit extrem hoher Auflösung, sehr schmale Bauform, innenliegender Motor, magnetfrei Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 40 mm Repro: ± 0,4 µm Last: 2 kg horizontal, 1 kg vertikal Geschwindigkeit: 100 mm/s Motor: Nanomotion Messsystem: linear 5 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
7 Linearachse LA80-SM Hauptanwendung: schnelle Zustellachse trotz Trockenlauf hohe Lebensdauer trockenlaufender Kugelgewindetrieb mit Feststoffschmierung Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 100 mm, 200 mm, 500 mm Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 0,5 µm Last: 5 kg horizontal, 1 kg vertikal Geschwindigkeit: 100 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: linear 100 nm Führung: Edelstahl Hybrid Kugelumlaufführungen Controller: FMC2, Galil
8 Linearachse LA95-SM Hauptanwendung: Stellachse / Scanachse auch bei Trockenlauf hohe Lebensdauer Gleitgewindeantrieb mit PTFE-Schmierung (annehmbare Lebensdauer bei Trockenlauf > 200 m) Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 5 mm, 10 mm, 40 mm, 80 mm Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 0,5 µm Last: 4,5 kg horizontal oder vertikal Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear 100 nm Sonderausführung Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Controller: FMC, Galil
9 Linearachse LA170-SM Hauptanwendung: Stellachse / Scanachse auch bei Trockenlauf hohe Lebensdauer Gleitgewindeantrieb mit PTFE-Schmierung (annehmbare Lebensdauer bei Trockenlauf > 200 m) Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 5 mm, 10 mm, 40 mm, 80 mm Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 0,5 µm Last: 20 kg horizontal oder vertikal Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear 100 nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid zusätzlich verbreiterte Variante Controller: FMC, Galil
10 Lineartisch LT300-SM Hauptanwendung: Stellachse für große Lasten auch bei Trockenlauf hohe Lebensdauer, sehr hohe Steifigkeit mit Piezozangenbremse (Stabilität im Nanometerbereich) Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 10 mm, 50 mm, 100 mm Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 0,5 µm Last: 10 kg horizontal, 2 kg vertikal Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Schrittmotor Durchlichtvariante Messsystem: ohne oder linear 100 nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Controller: FMC2, Galil
11 Mikrotisch MT170-NM/PM Hauptanwendung: schneller Positionier- oder Scantisch Normal sehr hochauflösend lange Hübe mit extrem hoher Auflösung wahlweise Piezomotor oder Nanomotion Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C XL Hub: 200 mm Repro: ± 0,4 µm NM, ± 0,1 µm PM Last: 5 kg Normal, 10 kg XL (horizontal oder vertikal) Geschwindigkeit: 5 mm/s PM oder 100 mm/s NM Motor: Nanomotion bis 100 mm/s und Piezomotor bis 5 mm/s Messsystem: linear 5 nm nm wahlweise doppelte oder einfache Motorisierung Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
12 Linearachse LA97-NM/PM Hauptanwendung: Scanning von Proben Nanometer-Positionierung, langer Hub, auch vertikal Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Vakuum, höchste Steifigkeit Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 100 mm, 200 mm, 300 mm Repro: ± 20 nm Last: 5 kg horizontal, 2 kg vertikal Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Piezomotor Messsystem: linear 1 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
13 A-Drive PM Hauptanwendung: nm-stellinkremente bei 300 mm Gesamthub und bis zu 10 kg Last extrem hochauflösend, langer Weg je nach Last 2 bis 6 Motoren verwendbar Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: max. 300 mm Repro: ± 20 nm Last: max. 10 kg bei Einbaulage horizontal und vertikal Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Piezomotor (5 mm/s Auflösung kleinster Schritt = 3 nm ) Messsystem: linear 1 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
14 Startseite Vakuum Mikrotische
15 Mikrotisch MT53-10-NM Hauptanwendung: Universal-Linearmikrotisch für hochauflösende Anwendungen Positionierung mit extrem hoher Auflösung Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 10 mm Repro: ± 0,1 µm Last: 0,9 kg horizontal, 0,2 kg vertikal Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Piezomotor Messsystem: linear 5 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
16 Mikrotisch MT85-NM/PM Hauptanwendung: Universal-Linearmikrotisch für hochauflösende Anwendungen Positionierung mit extrem hoher Auflösung Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 20 mm, 50 mm, 100 mm Repro: ± 0,4 µm NM, ± 0,1 µm PM Last: 2 kg horizontal oder vertikal Geschwindigkeit: 5 mm/s PM oder 50 mm/s NM Motor: Piezomotor / Nanomotion Messsystem: linear 5 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
17 Mikrotisch MT105-NM/PM Hauptanwendung: Universal-Linearmikrotisch für hochauflösende Anwendungen Positionierung mit extrem hoher Auflösung Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 20 mm, 50 mm Repro: ± 0,4 µm NM, ± 0,1 µm PM Last: 5 kg horizontal, 0,5 kg vertikal Geschwindigkeit: 5 mm/s PM, 50 mm/s NM Motor: Piezomotor / Nanomotion Messsystem: linear 5 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
18 Mikrotische MT105ZN-20-NM/PM / MT105ZXL-50-NM/PM Hauptanwendung: Universaltisch für Z-Hub für hochauflösende Anwendungen Positionierung mit extrem hoher Auflösung Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 20 mm, 50 mm Repro: ± 0,4 µm NM, ± 0,1 µm PM Last: 1 kg horizontal, 5 kg vertikal (ZXL) Geschwindigkeit: 5 mm/s PM, 50 mm/s NM Motor: Piezomotor / Nanomotion Messsystem: linear 5 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
19 Startseite Vakuum Kreuztische
20 XY-Vakuumtisch KT PM Hauptanwendung: Probenmanipulator leichter Kreuztisch mit Durchlicht Serienprodukt mit sehr hoher Auflösung und sehr hoher Stabilität, in Titan verfügbar Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 20 mm x 20 mm Repro: 50 nm Last: 0,5 kg horizontal Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Piezomotor Messsystem: linear 5 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
21 Kreuztische KT NM/PM / KT NM/PM Hauptanwendung: Vakuum-Kreuztisch schnell oder hochauflösend Hub: 50 mm, 100 mm Repro: ± 0,4 µm NM, ± 0,1 µm PM hochauflösender Kreuztisch Werte für Nicken, Gieren, Geradheit und Ebenheit um Faktor 3 besser als bei Variante mit Durchlichtfenster Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Last: trocken ca. 1 kg, geschmiert ca. 5 kg horizontal Geschwindigkeit: 5 mm/s PM oder 100 mm/s NM Motor: Piezomotor, Nanomotion Messsystem: linear 1 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
22 Kreuzdurchlichttische KDT NM/PM / KDT NM/PM Hauptanwendung: Vakuum-Kreuztisch schnell oder extrem hochauflösend Durchlichtöffnung Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 50 mm Repro: ± 0,4 µm NM, ± 0,1 µm PM Last: trocken ca. 1 kg, geschmiert ca. 3 kg horizontal Geschwindigkeit: 5 mm/s PM oder 100 mm/s NM Motor: Piezomotor, Nanomotion Messsystem: linear 1 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
23 Kreuztisch KLT300-SM (aus zwei LT300) Hauptanwendung: Stellachse für große Lasten höchste Steifigkeit, auch Trockenlauf Stabilität im Nanometerbereich durch Piezo- Zangenbremse Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 10 mm, 50 mm, 100 mm Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 0,5 µm Last: 10 kg horizontal Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear 100 nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Controller: FMC2, Galil
24 Kreuzachse KA100-SM Hauptanwendung: kompakte Stell- oder Scanachse geringer Bauraum flach und kompakt bei hohem Hub Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10 8 mbar Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig max. Ausheiztemperatur: 100 C Hub: 100 mm x 150 mm (weitere Längen auf Anfrage) Repro: ± 4 µm Last: 5 kg horizontal Geschwindigkeit: 20 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne Führung: Edelstahl-Profilschiene Controller: FMC, Galil
25 Startseite Vakuum Hubtische
26 Hubtisch HT160-SM Hauptanwendung: Vakuum-Hubtisch hohe Steifigkeit, hohe Last Keil mit Kugelgewindetrieb Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 16 mm Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 1 µm Last: 5 kg vertikal Geschwindigkeit: 8,3 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Controller: Galil
27 Hubtisch HDT255-SM Hauptanwendung: Vakuum-Hubtisch Hubtisch mit Durchlicht, hohe Last Keil mit Kugelgewindetrieb und Durchlicht Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 16 mm Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 1 µm Last: 10 kg vertikal Geschwindigkeit: 8,3 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear 100 nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Controller: Galil
28 Hubtisch HT240-SM Hauptanwendung: Hubtisch hohe Steifigkeit, hohe Last Keil mit Kugelgewindetrieb Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 25 mm Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 1 µm Last: 40 kg vertikal Geschwindigkeit: 8,3 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear 100 nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Controller: Galil
29 Startseite Vakuum Drehtische
30 Drehtisch DT105-NM Hauptanwendung: Vakuum-Drehtisch für hochauflösende Anwendungen, schnell großes Durchlicht bei kleiner Bauhöhe, magnetfreie Ausführung möglich Magnetismus: magnetisch / magnetarm Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar max. Ausheiztemperatur: 100 C Rotation: n x 360 Grad Repro: uni ± 0,0005 Grad Last: 3 kg Geschwindigkeit: 360 Grad/s Motor: Nanomotion Messsystem: 0,00005 Grad Führung: Edelstahl Controller: Galil
31 Drehtisch DT155-NM Hauptanwendung: Vakuum-Drehtisch für hochauflösende Anwendungen, schnell großes Durchlicht bei kleiner Bauhöhe, magnetfreie Ausführung möglich Magnetismus: magnetisch / magnetarm Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar max. Ausheiztemperatur: 100 C Rotation: n x 360 Grad Repro: uni ± 0,0005 Grad Last: 5 kg Geschwindigkeit: 360 Grad/s Motor: Nanomotion Messsystem: 0,00005 Grad Führung: Edelstahl Controller: Galil
32 Drehtisch DT230-SM Hauptanwendung: Vakuum-Drehtisch hochauflösend, sehr hohe Stabilität hochauflösender Drehtisch Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Rotation: n x 360 Grad oder 370 Grad mit Anschlägen Repro: uni ± 0,0002 Grad Last: 15 kg Geschwindigkeit: 90 Grad/s Motor: Schrittmotor Messsystem: Auflösung 0,00002 Grad Lager: Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
33 Startseite Vakuum Manipulatoren
34 MP53-3-PM Hauptanwendung: Manipulator XYZ für hochauflösende Anwendungen Positionierung mit extrem hoher Auflösung Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 10 mm Repro: uni ± 0,2 µm und bi ± 0,3 µm Last: 0,2 kg Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Piezomotor / Nanomotion Messsystem: linear 5 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
35 MP105-3PM/NM Hauptanwendung: Manipulator XYZ hochauflösend oder schnell Positionierung mit extrem hoher Auflösung Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: XY 50 mm, Z 20 / 50 mm Repro: uni ± 0,2 µm und bi ± 0,3 µm Last: 5 kg Geschwindigkeit: 5 mm/s PM oder 100 mm/s NM Motor: Piezomotor / Nanomotion Messsystem: linear 5 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
36 LA97-MT85-PM Hauptanwendung: Manipulator XYZ hochauflösend oder schnell Positionierung mit extrem hoher Auflösung Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 80 C Hub: X 200 mm / ZY 20 mm Repro: uni ± 20 nm und bi ± 30 nm Last: 2 kg Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Piezomotor Messsystem: linear 1 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik Controller: Galil
37 3-Achs-Manipulator aus LT300 Hauptanwendung: HV-3-Achs-Positioniersystem extrem stabil im Stillstand, trockenlaufend Stabilisierung durch Zangenbremse Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: mm x mm x mm Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 0,5 µm Last: 2 5 kg Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear 1 nm nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Controller: FMC, Galil
38 2-Achssystem bestehend aus zwei LA95 Hauptanwendung: HV-2-Achs-Positioniersystem extrem stabil im Stillstand, trockenlaufend Stabilisierung durch Zangenbremse Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 7 mm x 7 mm oder auf Anfrage Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 0,5 µm Last: 2 kg Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear 100 nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Controller: FMC, Galil
39 3-Achssystem bestehend aus drei LA95 Hauptanwendung: HV-3-Achs-Positioniersystem extrem stabil im Stillstand, trockenlaufend Stabilisierung durch Zangenbremse Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 5 mm x 20 mm x 10 mm oder auf Anfrage Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 0,5 µm Last: 2 kg Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear 100 nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Controller: FMC, Galil
40 3-Achssystem bestehend aus drei LA170 Hauptanwendung: HV-3-Achs-Positioniersystem extrem stabil im Stillstand, trockenlaufend Positionierung hoher Lasten im Vakuum Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 10 mm x 10 mm x 10 mm oder auf Anfrage Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 0,5 µm Last: 20 kg Geschwindigkeit: 5 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear 100 nm Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Controller: FMC, Galil
41 3-Achssystem bestehend aus LA80 und zwei LA95 Hauptanwendung: HV-3-Achs-Positioniersystem extrem stabil im Stillstand, trockenlaufend schnell laufender Kugelgewindetrieb mit Trockenschmierstoff Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10 8 mbar / trocken bis mbar max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 200 mm x 20 mm x 20 mm Repro: ± 4 µm SM, mit Messsystem ± 0,5 µm Last: 2 kg Geschwindigkeit: 5 mm/s bzw. 100 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne oder linear 100 nm Führung: Kreuzrolle hybrid bzw. Hybrid-Umlaufführer Controller: Galil
42 Startseite Vakuum Systembeispiele
43 XY-Z Probenpositionierung Anwendung: Untersuchung von Mineralproben Komponenten: X PLT240-SM, Y PLT240-SM, Z HT160-SM Positionieren hoher Lasten im Vakuum Vakuum: 10-6 mbar Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig max. Ausheiztemperatur: 80 C Hub: 200 mm x 200 mm x 16 mm Repro: ± 4 µm Last: 20 kg Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne Führung: Kreuzrolle hybrid, Edelstahlprofilschiene Controller: Galil
44 4-Achs XYZθ Probenzuführung Anwendung: Messen von Materialproben Komponenten: PLT240-SM, HT160-SM, PMT160-SM, DT310-SM Riemen vakuumgetestet Vakuum: 10-6 mbar Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig max. Ausheiztemperatur: 80 C Hub: 300 mm x 16 mm x 50 mm und Drehung Repro: ± 4 µm Last: 5 kg Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne Führung: Kreuzrolle hybrid, Edelstahlprofilschiene Controller: Galil
45 ATF-Mikroskopie Anwendung: Probenzustellung und Orientierung Komponenten: Sonder-KDT, Sonder-DT, Sonder-Hubeinheit (nicht gezeigt) Kreuztisch aus Titan Vakuum: mbar Magnetismus: im Zentrum vollkommen nichtmagnetisch Schmierung: ohne max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 20 mm x 20 mm x 50 mm und Drehung Repro: ± 0,1 µm Last: 0,2 kg Motor: Piezomotor, Schrittmotor Messsystem: linear 1 nm Führung: Kreuzrolle und Lager Keramik, Edelstahlprofilschiene Controller: Galil
46 Konzentrische 2-Achs-Rotationseinheit Anwendung: Bearbeitung mit Ionenstrahl Komponenten: Sonder-DT, Sonder-DT, Sonder-Lineareinheit zwei ineinander liegende Drehachsen mit gemeinsamer Linearbewegung Vakuum: 10-8 mbar Magnetismus: nichtmagnetisch Schmierung: minimal flüssig max. Ausheiztemperatur: 120 C Hub: 50 mm, Drehung, Drehung Repro: ± 0,1 µm Last: 0,25 kg Motor: Nanomotion Messsystem: Winkel, linear 5 nm Führung: Lager Keramik Controller: Galil
47 4+1-Achs Kameramanipulator im RICS-Experiment Anwendung: Komponenten: bewegen einer Röntgenkamera Sonder-Schwenkeinheit horizontal Sonder-Schwenkeinheit vertikal Sonder-Lineareinheit A-Drive Sonder-Lineareinheit für Filter Gesamtverfahrung mit Kugelgewindetrieb starke magnetische Streufelder im Zentrum des Systems Vakuum: 10-8 mbar Magnetismus: nichtmagnetisch im Zentrum Schmierung: trocken, minimal flüssig max. Ausheiztemperatur: 80 C Hub: ± 30, ± 40, 300 mm, 100 mm, 350 mm Repro: ± 1 µm Last: 8 kg (120 kg für Gesamtverfahrung) Motor: Piezomotor, Schrittmotor Messsystem: linear 100 nm Führung: Lager Keramik Controller: Galil
48 6-Achs Probenpositionierer im RICS-Experiment Anwendung: bewegen einer Röntgenkamera Komponenten: Sonderentwicklung eines kartesischen 6-Achs- Manipulators Seile im Vakuum sowie kapazitive, nichtmagnetische Sensoren Vakuum: 10-8 mbar Magnetismus: nichtmagnetisch Schmierung: trocken max. Ausheiztemperatur: 80 C Hub: translativ XYZ ± 3 mm, rotatorisch XYZ ±1 Repro: ± 0,05 µm Last: 0,05 kg Motor: Piezomotor, Seile Messsystem: 0,1 nm kapazitiv Führung: Lager Keramik, Seile Controller: Galil
49 6-Achs Probenpositionierer im RICS-Experiment Probenpositionierer Ansicht von oben Probenpositionierer Ansicht von unten
50 YZ-Probenhalter mit Handverstellung in X Anwendung: nach dem Beladen des Teiles den Abstand in einem Beschichtungsprozess einstellen Komponenten: LPT60-SM, LPT60-SM, Sonder-Handverstellung basierend auf Labor-Katalogachse Vakuum: 10-6 mbar Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig max. Ausheiztemperatur: 80 C Hub: 100 mm, 100 mm, 150 mm Repro: ± 4 µm Last: 5 kg Motor: Schrittmotor Messsystem: ohne Führung: Profilschiene Edelstahl Controller: Galil
51 4-Achs-Probenmanipulator Anwendung: Probenzustellung und Orientierung Komponenten: PMT160-SM, MT105-NM, MT105-NM, MT105-2NM Grobverfahrung mit Kugelgewindetrieb, Feinpositionierung mit Piezoantrieben Vakuum: 10-8 mbar Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig max. Ausheiztemperatur: 100 C Hub: 100 mm und 50 mm x 50 mm x 20 mm Repro: ± 0,1 µm Last: 0,25 kg Motor: Nanomotion, Schrittmotor Messsystem: ohne, linear 5 nm Führung: Kreuzrolle Controller: Galil
52 Startseite Zubehör und Besonderheiten
53 Piezobremse für erhöhte Steifigkeit Nach Erreichen der Position greift die Piezo-Zangenbremse zu und stabilisiert das Gesamtsystem. So lassen sich leichte Konstruktionen trotzdem steif gestalten.
54 Startseite Vakuumtische und Vakuumachsen basierend auf Labor-Katalog
55 für Vakuum konfigurierbare Standardsysteme
56 für Vakuum konfigurierbare Standardsysteme
57 für Vakuum konfigurierbare Standardsysteme
58 für Vakuum konfigurierbare Standardsysteme
59 Startseite Steinmeyer Mechatronik Fritz-Schreiter-Straße Dresden
Startseite. Steinmeyer Mechatronik GmbH Hochpräzise Positioniersysteme für Vakuum
Startseite Steinmeyer Mechatronik GmbH Hochpräzise Positioniersysteme für Vakuum Version 01/2018 Die Steinmeyer Gruppe Eine Firma. Drei Kompetenzzentren. 650 Mitarbeiter. Hochpräzise Kugelgewindetriebe,
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Hochpräzisions-Lineartisch für hohe Lasten Hervorragende Wiederhol- und Ablaufgenauigkeit HPS-170 Stellwege von 52 bis 205 mm (2 bis 8") Max. Geschwindigkeit bis 100 mm/s Belastbar mit 35 kg Optional:
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Freie Apertur, hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität L-738 Stellweg 102 mm 102 mm (4") Große Apertur, 150 mm 150 mm Unidirektionale bis 0,05 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren,
PiezoMike Linearaktor
PiezoMike Linearaktor Minimale Abmessungen, hohe Kräfte, stabile Positionierung N-470 Haltekraft >100 N, Vorschubkraft 22 N Schrittweite 20 nm Stellweg 7,5 mm bis 26 mm Kompakte Bauform Lebensdauer >1.000.000.000
Lineareinheit Serie MGV Voice-Coil Direktantrieb Linearführung und Geber
Lineareinheit Serie MGV Voice-Coil Direktantrieb Linearführung und Geber Kurzhub-Lineareinheit mit Tauchspulenmotor Miniatur-Führung und hochauflösendem Geber Ideal für schnelle Linearbewegungen Hohe Steifigkeit
Kompakter Lineartisch
Kompakter Lineartisch Für Lasten bis 10 kg L-406 Stellwege von 26 mm bis 102 mm (1" bis 4") Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Richtungserkennender Referenzschalter Integrierte optische
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität L-731 Stellweg 205 mm 205 mm (8") Unidirektionale bis 0,1 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren oder DC- Motoren Encoder mit
Kompakter Lineartisch
Kompakter Lineartisch Mit DC- oder Schrittmotor L-505 Stellwege 13 oder 26 mm Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Geschwindigkeit bis 15 mm/s Belastbarkeit bis 30 N Integrierte Referenz-
Präzisions-Lineartisch
Präzisions-Lineartisch Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg L-509 Stellwege von 26 bis 102 mm (1'' bis 4") Wiederholgenauigkeit bis 0,1 µm Optional mit Linearencoder zur direkten Positionsmessung ActiveDrive
Lineartisch für sehr hohe Lasten
Lineartisch für sehr hohe Lasten Robustes Design mit hoher Steifigkeit LS-270 Stellwege von 305 bis 1016 mm (12 bis 40") Hervorragende Ablaufgenauigkeit Max. Geschwindigkeit bis 150 mm/s Belastbarkeit
LISA Linearaktor und Positioniertisch
LISA Linearaktor und Positioniertisch Dynamisch und positionsstabil P-753 Geführter Stelltisch und Aktor zugleich Stellweg bis 38 µm Auflösung 0,1 nm Nichtmagnetische Versionen verfügbar Besonders schnelles
PiezoMike Miniatur-Linearaktor
PiezoMike Miniatur-Linearaktor Mit kinematischem Spiegelhalter N-480 Hohe Stabilität Für Optiken mit 0,5", 1" oder 2" Durchmesser Schrittweite 1 µrad Lebensdauer > 1.000.000.000 Schritte Vakuumkompatible
XY-Tisch vakuumtauglich antimagnetisch strahlungsbeständig schwarz beschichtet. Dimensionen [mm]: Montagefläche [mm]: Anzahl der Phasen:
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Mehrachsen-Piezoscanner
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Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität, 305 305 mm Stellweg L-741 Stellweg 305 mm 305 mm (12'') Unidirektionale bis 0,05 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren oder
Präzisions-Kreuztisch
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Präzisions-Rotationstisch Hohe Ablaufgenauigkeit L-611 Unbegrenzter Stellbereich Sehr hohe Auflösung Höchstgeschwindigkeit 200 /s Optionales Winkelmessystem für direkte Positionsmessung DC-, BLDC- und
PiezoMike Linearaktor
PiezoMike Linearaktor Mit Positionssensor für den geregelten Betrieb N-472 Hohe Stabilität und Haltekraft >100 N Selbsthemmend im Ruhezustand auch bei ausgeschalteter Regelung Kompakte Bauform mit integriertem
Präzisions-Hubtisch. Hervorragende Genauigkeit für hohe Lasten
Präzisions-Hubtisch Hervorragende Genauigkeit für hohe Lasten UPL-120 Stlweg 13 mm (1/2") Unidirektionale Wiederholgenauigkeit bis 0,05 µm Bastbar bis 20 kg Integrierte optische Endschalter Mit direkt
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