fs. Entwurf Naßbänke für neuen Reinraum der JKU im LIT OIC

Transkript

1 fs Entwurf Naßbänke für neuen Reinraum der JKU im LIT OIC

2 Legende: Abfallbox, gelocht - für nasse Tücher, mit Entnahmebehälter Stickstoffpistole DI Wasserpistole Ø Ø60 Heizplatte Abtropf Bechergläser Wasserbecken LxBxT 250x200x150mm Wasserhahn DI Wasser Wasserhahn RO Wasser In sechs Kammer unterteiltes Entsorgungsbecken mit Abfluss zur Maskenreinigung Lösungsmittel DI Wasser Säure DI Wasser KOH DI Wasser (LxBxT 165x45x175mm) Material : PFA mit Klappdeckel nach hinten Entsorgungsbecken: drei Trichter Ø8cm für Lösungsmittel, Säuren, Laugen Steckdosen

3 Seitenansicht, Standard Arbeitshöhe 950 Bedienfeld Anschlüsse für N2 und H2O Pistolen Doppelboden 260mm? Abfluss Not-Aus Schalter Wasser Schalter Entsorgung Steckdose O Kabelschacht 100mm Vollausziehbare Schublade Entsorgungsstation im Grauraum Fußschalter Wasser Vacuumanschluss (Schnellkupplung)

4 01 Außenmaß: 1580 x 713 mm Unterbauschrank links: eine Auszugsebene Unterbauschrank rechts: eine Auszugsebene

5 02 Außenmaße: 1580 x 713 mm Unterbauschrank links: eine Auszugsebene Unterbauschrank rechts: eine Auszugsebene

6 03 Außenmaße: 1270 x 713mm Hotplate Spincoater (unser Laurell) Unterbauschrank links: Kühlschrank Ex-geschützt Unterbauschrank rechts: 2 Auszugsebenen

7 04 Hotplate Außenmaße: 1270 x 713mm Spincoater (neu, mit Nassbank zu liefern) Unterbauschrank links: Eine Auszugsebene Unterbauschrank rechts: 2 Auszugsebenen

8 Anordnung 3/2/1/4 Entsorgungsbox in Grauraum

9 05 4. Trichter für Flusssäure Außenmaße: 1270 x 713mm Unterbauschrank links: eine Auszugsebene Unterbauschrank rechts: eine Auszugsebene

10 05 06 Außenmaße: 1580 x 713 mm Unterbauschrank links: eine Auszugsebene Unterbauschrank rechts: eine Auszugsebene

11 Anordnung 5/6 Entsorgungsbox in Grauraum

12 Spezifikationen Nassbänke für den Reinraum im LIT OIC an der JKU Linz lgemeine Merkmale für alle Nassbänke: 1. Laminarflow-Modul in jeder Nassbank Ansaugung vorn Vollbetrieb: Flow 0.27m/s 0,4m/s Nachtbetrieb Digestorbetrieb: Reduzierter Flow bei voller Absaugung für Arbeiten mit kritischen Chemikalien bei Nassbänken 1,5,6 2. Absaugung Volumenstromregler mit Absaugleistung, die an den Betriebsmodus des Laminarflow-Reglers angepasst wird o Vollbetrieb: Absaugleistung 15% höher als Zuluft durch Laminarflow-Modul o Nachbetrieb o Digestor-Betrieb: Absaugleistung 30% höher als (reduzierte) Zuluft bei Nassbank 1,5,6 Anmerkung zu 1., 2.: Laminarflow-Modul und Absaugung samt der zugehörigen Regelung für beide Lüfter sind Bestandteil jeder Nassbank. Die Schnittstelle zu den gebäudeseitigen Abluftkanälen ist in Absprache mit dem Reinraumplaner zu klären; ebenso die Ansaugung aus der Raumluft. Spezifikation bei Vollbetrieb: Reinraumklasse ISO 5 im Bereich der Arbeitsplatte. 3. Beleuchtung: in jeder Nassbank oben (700? LUX auf Arbeitsplatte), LED Gelblicht in Nassbänken 1,2,3,4 4. Absaugung Chemikalienlagerung im Unterbereich 5. Generelle Einbauten in allen Nassbänken 4 Stk. Steckdosen IP64 (2 in Rückwand, 2 vorne) 2 Stk. N2-Gun PFA mit Spiralschlauch 2 Stk. DI-Wasser-Gun PFA/PTFE, gemeinsames elektropneum. Ventil 1 Stk. Abfallbox mit Deckel und Entnahmebehälter für nasse Tücher. 20nm DI-Wasserfilter, 10 Zoll Filterlänge 6. Generelle Bemaßung Arbeitsfläche: Breite 1580 x Tiefe 713 bzw. Breite 1270 x Tiefe 713 gemäß Tabelle unten (je 3 Stück) Höhe der Arbeitsfläche 950 o Unterteilte, eingelegte Lochplatten, 8mm Löcher, Segmente herausnehmbar für Zugang zur Wanne Höhe Unterkante Flow-Modul: 1750 Höhe Schiebeschürze: 700 o Schiebeschürze mind. 2/3 öffenbar, Warnsignal, wenn länger offen o unterer Luftspalt im geschlossenen Zustand: 50mm verfügbare Raumhöhe: 3000 Ansaugöffnung für Flow-Modul vorn oberhalb geöffneter Schiebeschürze 7.Aufstellung auf Reinraumboden 8. Elektrische Ausstattung für jede Nassbank 400V, 16A Drehstromversorgung mit Serviceschalter (Drehschalter rot/gelb) an der Frontseite

13 Spezifikationen Nassbänke für den Reinraum im LIT OIC an der JKU Linz Notaus-Taster am Bedienfeld o schaltet alle Steckdosen der Naßbank frei o schließt alle Pneumatikventile o schließt Vakuum o schaltet Motor für Schiebeschürzen aus o FFU und Volumenstromregler laufen weiter Die detailliereten Bestückung und Abmessungen der sechs in der ersten Ausschreibung benötigten Nassbänke ergeben sich aus den beiliegenden Detailskizzen und der nachfolgenden Auflistung. Die Naßbänke sind von #1 bis #6 durchnumeriert; #1 bis #4 zur Aufstellung in Reinraum 1; #5 und #6 für Reinraum 2:

14 Spezifikationen Nassbänke für den Reinraum im LIT OIC an der JKU Linz Naßbank# Bezeichnung #1 RR1 01 Nassbank mit Laminar Flow Modul, Material PP-natur. Seitenwände PP-natur Breite 1580 x Tiefe 713 x Höhe 2700mm. Mit elektrischer Schiebescheibe, transparent Einbauten: 1 Stk. Wasserbecken 250 x 200 x150mm. 1 Stk. Wasserhahn DI, schwenkbar, zusätzlicher pneum. Fußschalter 1 Stk. Maskenreinigungsbecken 6-fach, Innenmaße LxBxT 165x45x175mm, Material PFA Medien in Reihenfolge (wie Skizze): Lösemittel, DI-Wasser, Säure, DI- Wasser, Lauge, DI-Wasser Entsorgung in Entsorgungbehälter im Grauraum, außer DI-Wasser. Dieses wird in den Abfluss entsorgt Pneumatische Ventile für die Entsorgungsbecken, Taster am Bedienfeld rot blinkend, wenn voll 1 Stk. 3-fach Entsorgungsbecken, 3 Trichter für Lösungsmittel, Laugen, Säure. Pneumatische Ventile für die Entsorgungsbecken, Taster am Bedienfeld rot blinkend, wenn voll 1 Stk. Entsorgungsbox (verschließbar) aufgestellt im Grauraum, für Lösungsmittel (brennbar, giftig, hier feuerwiderstandsfähiger Sicherheitsschrank 90 Minuten), Lauge (ätzend) Säure (ätzend) mit 3 Stk. 20l Kanister mit Füllstandsüberwachung Ventilverriegelung und Signalisierung 1 Stk. Vakuum-Schnellkupplung, positioniert unterhalb des Elektrobereichs vorne rechts, mit Handabsperrventil im Untertisch 1 Stk. Abtropfbrett für Bechergläser, befestigt gemäß Skizze Unterbauschrank gemäß Skizze (keine Kühlung, keine feuerwiderstandfähiger Sicherheitsschrank 90 Minuten)

15 Spezifikationen Nassbänke für den Reinraum im LIT OIC an der JKU Linz #2 RR1 02 Nassbank mit Laminar Flow Modul, Material PP-natur. Seitenwände PP-natur Breite 1580 x Tiefe 713 x Höhe 2700mm. Mit elektrischer Schiebescheibe transparent Einbauten: 1 Stk. Wasserbecken 250 x 200 x150mm. 1 Stk. Wasserhahn DI, schwenkbar, zusätzlicher pneum. Fußschalter 1 Stk. RO-Wasserhahn, schwenkbar 1 Stk. 3-fach Entsorgungsbecken, 3 Trichter für Lösungsmittel, Laugen, Säure, Pneumatische Ventile für die Entsorgungsbecken Taster am Bedienfeld rot blinkend, wenn voll Entsorgung erfolgt in die Entsorgungsbox im Grauraum (von Pos. 1) 1 Stk. Vakuum-Schnellkupplung, positioniert unterhalb des Elektrobereichs vorne rechts, mit Handabsperrventil im Untertisch 1 Stk. Abtropfbrett für Bechergläser, befestigt gemäß Skizze Unterbauschrank gemäß Skizze (keine Kühlung, keine feuerwiderstandfähiger Sicherheitsschrank 90 Minuten #3 RR1 03 Nassbank mit Laminar Flow Modul, Material PP-natur. Seitenwände PP-natur Breite 1270 x Tiefe 713 x Höhe 2700mm. Mit elektrischer Schiebescheibe transparent Einbauten: 1 Stk. Spinner, Einbau von vorhandenem beigestelltem Spincoater. 2 Stk. Hotplate 200x200mm, PZ 20 ET und Regler 2860 EB von Gestigkeit oder vergleichbar Unterbauschrank gemäß Skizze mit 1 Stk. Kühlschrank (explosionsgeschützt) im Untertisch links Untertisch rechts mit 2 Schubladen 1 Stk. Vakuum-Schnellkupplung, positioniert unterhalb des Elektrobereichs vorne rechts, mit Handabsperrventil im Untertisch

16 Spezifikationen Nassbänke für den Reinraum im LIT OIC an der JKU Linz #4 RR1 04 Nassbank mit Laminar Flow Modul, Material PP-natur. Seitenwände PP-natur Breite 1270 x Tiefe 713 x Höhe 2700mm. Mit elektrischer Schiebescheibe transparent Einbauten: 1 Stk. Hotplate 200x200mm, PZ 20 ET und Regler 2860 EB von Gestigkeit oder vergleichbar. 1 Stk. Spinner, Einbau von Polos Spin150I- NPP-INT in-deck Version oder vergleichbar, mit Nassbank zu liefern Unterbauschrank gemäß Skizze (keine Kühlung, keine feuerwiderstandfähiger Sicherheitsschrank 90 Minuten) Untertisch rechts mit 2 Schubladen Untertisch links mit 1 Schublade 1 Stk. Vakuum-Schnellkupplung, positioniert unterhalb des Elektrobereichs vorne rechts, mit Handabsperrventil im Untertisch #5 RR2 05 Nassbank mit Laminar Flow Modul, Material PP-natur. Seitenwände PP-natur Breite 1270 x Tiefe 713 x Höhe 2700mm. Mit elektrischer Schiebescheibe transparent Einbauten: 1 Stk. Wasserbecken 250 x 200 x150mm. 1 Stk. Wasserhahn DI, schwenkbar, pneum. Fußschalter 1 Stk. 4-fach Entsorgungsbecken, 4 Trichter für Flusssäure, Lösungsmittel, Lauge, Säure. Pneumatische Ventile für die Entsorgungsbecken, Taster am Bedienfeld rot blinkend, wenn voll 1 Stk. Entsorgungsbox (verschließbar) aufgestellt im Grauraum, für Flusssäure (giftig), Lösungsmittel (brennbar, giftig hier feuerwiderstandsfähiger Sicherheitsschrank 90 Minuten), Lauge (ätzend) Säure (ätzend) mit 4 Stk. 20l Kanister mit Füllstandsüberwachung, Ventilverriegelung und Signalisierung. 1 Stk. Vakuum-Schnellkupplung, positioniert unterhalb des Elektrobereichs vorne rechts, mit Handabsperrventil im Untertisch 1 Stk. Abtropfbrett für Bechergläser, befestigt gemäß Skizze Unterbauschrank gemäß Skizze (keine Kühlung, keine feuerwiderstandfähiger Sicherheitsschrank 90 Minuten

17 Spezifikationen Nassbänke für den Reinraum im LIT OIC an der JKU Linz #6 RR2 06 Nassbank mit Laminar Flow Modul, Material PP-natur. Seitenwände PP-natur Breite 1580 x Tiefe 713 x Höhe 2700mm. Mit elektrischer Schiebescheibe transparent Einbauten: 1 Stk. Wasserbecken 250 x 200 x150mm. 1 Stk. Wasserhahn DI, schwenkbar, zusätzlicher pneum. Fußschalter 1 Stk. RO-Wasserhahn 1 Stk. 3-fach Entsorgungsbecken, 3 Trichter für Lösungsmittel, Lauge, Säure, Pneumatische Ventile für die Entsorgungsbecken Taster am Bedienfeld rot blinkend, wenn voll Entsorgung erfolgt in die Entsorgungsbox im Grauraum (von Pos. 5) 1 Stk. Vakuum-Schnellkupplung, positioniert unterhalb des Elektrobereichs vorne rechts, mit Handabsperrventil im Untertisch Unterbauschrank gemäß Skizze (keine Kühlung, keine feuerwiderstandfähiger Sicherheitsschrank 90 Minuten) 1 Stk. Abtropfbrett für Bechergläser, befestigt gemäß Skizze