Ultra High Purity Transducer, Ex na nl Typen WU-20, WU-25 und WU-26

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1 Elektronische Druckmesstechnik Ultra High Purity Transducer, Ex na nl Typen WU-20, WU-25 und WU-26 WIKA Datenblatt PE Anwendungsbereiche Gas-Panels für OEM-Werkzeuge Halbleiter-, Flachbildschirm- und Photovoltaikindustrie Spezial- und Bulk-Gasversorgung Leistungsmerkmale Messen von Drücken mit hoher Genauigkeit 0,15 % RSS Hervorragende Langzeitstabilität Schirmung und Unterdrückung von Signalrauschen Aktive Temperaturkompensation ATEX Zone 2 Zulassung, FM Klasse I Div. 2 Gruppen A, B, C, D Beschreibung Zuverlässig Die WU-2x-Serie verbindet neueste Transducer-Konzepte mit analogen Ausgangssignalen, um sicherste und genaueste Druckmessungen zu gewährleisten und somit den heutigen Marktanforderungen gerecht zu werden. Die Druckmessung gegen echte Vakuumreferenz, sowie elektronische Maßnahmen zur Schirmung gegen Störeinstrahlung und Unterdrückung des Signalrauschens gewährleistet hochgenaue Druckmessung und hervorragende Langzeitstabilität. Eine aktive Temperaturkompensation verringert den Einfluss von Temperaturänderungen auf den Transducer und erlaubt auch in Anwendungsfällen mit starken Temperaturschwankungen, z. B. Joule-Thomson Effekt bei Gasexpansion, einen sicheren Betrieb. Die Transducer WU-25 (flow through) und WU-26 (surface mount) sind speziell für hohe Verwindungsbelastungen, die beim Einbau auftreten können, ausgelegt. Der spezielle Aufbau des Dünnfilmsensors verhindert Sensorausfälle, die aufgrund von Belastungen des Prozessanschlusses oder der Schweißnähte auftreten können. Ultra High Purity Transducer Abb. links: WU-20, single end Abb. Mitte WU-25, flow through Abb. rechts: WU-26, modular surface mount Vielseitig Der Transducer WU-2x lässt sich in Innen- und Außenanlagen sowie in nicht entflammbaren und potentiell entflammbaren Bereichen problemlos einbauen. Der hermetisch dichte Aufbau des WU-2x verhindert das Eindringen von Feuchtigkeit. Zulassungen für nicht entflammbare und potentiell entflammbare Bereiche gewährleisten eine hohe Lebensdauer und Produktsicherheit. Geräte für Temperaturklasse T6 erfüllen die hohen Anforderungen für Messstoffe mit niedriger, spontaner Entzündungstemperatur (Phospin (PH3) und Silan (SiH4). Kompakt Der WU-2x ist dank seiner geringen Baugröße der kompakteste UHP-Transducer am Markt. Hierdurch ist er für den Einbau in bauraumkritischen Anwendungen optimalgeeignet, selbst bestehende Anlagen können problemlos nachgerüstet werden. WIKA Datenblatt PE /2015 Seite 1 von 7

2 Technische Daten Typ WU-20, WU-25, WU-26 Typ WU-20, WU-25 Messbereich (bar) Messbereich (psi) Überlast-Druckgrenze (bar) Berstdruck (bar) Weitere Messbereiche und Druckeinheiten auf Anfrage 1 psi = 0,069 bar Messprinzip Dünnfilm-Messzelle Werkstoffe Messstoffberührte Teile - Prozessanschluss 316L VIM/VAR - Dünnfilm-Messzelle / UNS R30003 Gehäuse 304 SS Teilchenprüfung 0,1 µm Teilchen 0,1 ptc / ft³ nach Semi E49.8 Heliumdichtigkeitsprüfung < 1 x 10-9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) nach Semi F1 Oberflächenbehandlung Elektropoliert, typisch Ra 0,13 µm (RA 5); max. Ra 0,18 µm (RA 7) nach Semi F19 Totraumvolumen WU-20 < 1,5 cm³, WU-25 < 1 cm³, WU-26 < 1 cm³ Zulässige Messstoffe Spezialgas, Dampf, Flüssigkeit Hilfsenergie U+ DC V bei Ausgangssignal DC V / ma DC V bei Ausgangssignal DC V Ausgangssignale und max. Bürde Leistung P i Einstellbarkeit Nullpunkt Ansprechzeit ( %) Isolationsspannung Genauigkeit ma, 2-Leiter, R A (U+ 10 V) / 0,02 A DC V, 3-Leiter, R A > 5 kω DC V, 3-Leiter, R A > 10 kω 1 W -3, ,5 % der Spanne (über Potentiometer), Stromausgang ,5 % der Spanne (über Potentiometer), Spannungsausgang 300 ms DC 500 V 0,15 % der Spanne ( 0,4 % der Spanne bei Messbereichen 2 bar) RSS (Root Sum Squares) 0,3 % der Spanne 1) ( 0,6 % der Spanne 1) bei Messbereichen 2 bar) nach IEC ,14 % der Spanne 0,12 % der Spanne 0,25 % der Spanne (typ.), bei Referenzbedingungen ( 0,4 % der Spanne bei Messbereichen 2 bar) Hysterese Nichtwiederholbarkeit Stabilität pro Jahr Zulässige Temperaturbereiche Ohne Zulassung T4 T5 T6 Messstoff C C C C F F F F Umgebung C C C C F F F F Lagerung C C C C F F F F Nenntemperaturbereich C, F (aktiv kompensiert) Temperaturkoeffizienten innerhalb des Nenntemperaturbereichs (aktiv kompensiert) Mittlerer TK des Nullpunkts Mittlerer TK der Spanne RoHS-Konformität CE-Konformität Druckgeräterichtlinie EMV-Richtlinie ATEX-Richtlinie Zündschutzart 0,1 % der Spanne/10 K 0,15 % der Spanne/10 K Ja (nicht bei Bajonettstecker) 97/23/EG 2004/108/EG, EN , Emission (Gruppe 1, Klasse B) und Störfestigkeit (industrieller Bereich) 94/9/EG ATEX: II 3G Ex na nl IIC T4/T5/T6 X (bei Transducern mit Ex-Kennzeichnung) FM: Nicht zündfähig für Einsatz in Klasse I, Div. 2, Gruppen A, B, C, D und Klasse I, Zone 2, Gruppe IIC, Explosionsgefährdete Räume (Gefahrenklassen) Montage- und Verpackungsort Reinraumklasse 5 nach ISO Verpackung Doppelverpackung nach SEMI E49.6 Schockfestigkeit 500 g (1,5 ms) nach IEC Vibrationsbeständigkeit 0,35 mm ( Hz) / 5 g (58, Hz) nach IEC Elektrische Sicherheit Kurzschluss S+ gegen U- Verpolung U+ gegen U- Gewicht Ca. 0,1 kg 1) Einschließlich Nichtlinearittät, Hysterese, Nullpunkt- und Endwertfehler entspricht dem Messfehler gemäß IEC Seite 2 von 7 WIKA Datenblatt PE /2015

3 Elektrische Anschlüsse Bajonettstecker (4-polig) Rundstecker M12 x 1 (4-polig) Kabelausgang 1,5 m und 3 m Leiter U + = A U- = D U + = 1 U- = 3 U+ = rot U- = schwarz 3-Leiter U + = A U- = D S + = B U + = 1 U- = 3 S + = 4 U+ = rot U- = schwarz S+ = braun Leitungsquerschnitt - - 0,22 mm² (AWG 24) Kabeldurchmesser - - 4,8 mm Schutzart nach IP 67 (NEMA 4) IP 67 (NEMA 4) IP 67 (NEMA 4) IEC Schutzart gilt nur im gesteckten Zustand mit Gegensteckern entsprechender Schutzart. Elektrische Anschlüsse Sub-D Stecker, 9-polig Sub-D HD Stecker (15-polig) 2-Leiter U + = 4 U- = 8 U + = 7 U- = 5 U- = 9 U- = 12 3-Leiter U + = 4 U- = 8 U- = 9 S + = 1 U + = 7 U- = 5 U- = 12 Leitungsquerschnitt - - Kabeldurchmesser - - Schutzart nach IEC IP 54 IP 54 Schutzart gilt nur im gesteckten Zustand mit Gegensteckern entsprechender Schutzart. S + = 2 WIKA Datenblatt PE /2015 Seite 3 von 7

4 Abmessungen in Zoll [mm], Typ WU-20 Bajonettstecker Prozessanschlüsse ¼" T-Anschlussstück, Schweißstutzen Potentiometer zum Nullpunktabgleich Seite 4 von 7 WIKA Datenblatt PE /2015

5 Abmessungen in Zoll [mm], Typ WU-25 Bajonettstecker Potentiometer zum Nullpunktabgleich Prozessanschlüsse WIKA Datenblatt PE /2015 Seite 5 von 7

6 Abmessungen in Zoll [mm], Typ WU-26 Prozessanschlüsse MSM C 1 1/8" Potentiometer zum Nullpunktabgleich Seite 6 von 7 WIKA Datenblatt PE /2015

7 Steckerorientierung bei Anbau von Aufsteckanzeigen Steckerorientierung Standard 0 Optional Zubehör LED-Aufsteckanzeige WUR-1 4-stellige Anzeige Schutzart IP 65 Genauigkeit: 0,5 % ± 1 Stelle Bis zu 2 Schaltausgänge konfigurierbar 5 verschiedene Druckeinheiten einstellbar Ansicht von vorne Ansicht von oben Typ WUR-1 Bestell-Nr. Eingang Ausgang Signal Ansicht von vorne Ansicht von oben M12 x 1 M12 x ma, 2-Leiter M12 x 1 M12 x 1 DC 0, ,1 V, 3-Leiter M12 x 1 M12 x 1 DC 0,1... 5,1 V, 3-Leiter Bajonett Bajonett ma, 2-Leiter Bajonett Bajonett DC 0, ,1 V, 3-Leiter Bajonett Bajonett DC 0,1... 5,1 V, 3-Leiter Bajonett Kabel ma, 2-Leiter Bestellangaben Typ / Messbereich / Prozessanschluss / Ausgangssignal / Hilfsenergie / Elektrischer Anschluss / Kabellänge / Zulassung WIKA Datenblatt PE /2015 Seite 7 von 7 04/2015 DE WIKA Alexander Wiegand SE & Co. KG Alexander-Wiegand-Straße Klingenberg/Germany Tel Fax info@wika.de