WERKSTOFFKUNDE DER HOCHVAKUUMTECHNIK

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1 WERKSTOFFKUNDE DER HOCHVAKUUMTECHNIK von DR. WERNER ESPE Professor an der Technischen Hochschule Bratislava BAND II Silikat Werkstoffe Institut für an der Hochschule tüi VEB DEUTSCHER VERLAG DER WISSENSCHAFTEN BERLIN 1960

2 INHALTSVERZEICHNIS 10. TECHNISCHE FORMGLÄSER Allgemeines; Gewinnung und Zusammensetzung Physikalisch-chemische Eigenschaften I. Mechanische Eigenschaften 67 II. Viskosität -., 72 III. Entglasung 83 IV. Wärmeausdehnung 85 V. Temperaturwechselbeständigkeit (TWB) 99 VI. (Statischer) Wärmespannungswiderstand (WSW) 102 VII. Thermische Nachwirkung auf die Ausdehnung 103 VIII. Wärmeleitfähigkeit 105 IX. Spezifische Wärme 106 X. Elektrische Leitfähigkeit (Volumenwiderstand) 106 XI. Elektrolytische Erscheinungen 118 XII. Oberflächenleitfähigkeit 121 XIII. Dielektrizitätskonstante und dielektrischer Verlustwinkel 122 XIV. Elektrische Durchschlagfestigkeit 132 XV. Gasdurchlässigkeit 136 XVI. Licht-, LR- und UV-Strahlendurchlässigkeit 138 XVII. Röntgen- und Gammastrahlendurchlässigkeit 148 XVTII. Betastrahlendurchlässigkeit 154 XIX. Neutronendurchlässigkeit 155 XX. Chemische Widerstandsfähigkeit 158 XXI. Auswahl der Gläser für verschiedene Anwendungszwecke Formung von Glas I. Rohglasformung, Fertigung der Halbfabrikate in der Hütte 174 IL Weiterverarbeitung von Formgläsern durch thermoplastische Formung mittels Gebläseflamme 187 a) Formung von Hand 193 b) Formung mittels Maschinen 193 c) Maschinen zur Glasschmelzformung mittels Flammen 201, 1. Tellerdrehmaschinen Glas-Metall-Verschmelzmaschinen 205 für Vertikalquetschfüße 206 für Horizontal-Preßtellerfüße Kolbenanschmelzmaschinen Sondermaschinen für Glasschmelzformung 234 III. Thermoplastische Glasformung durch strahlende Wärme (ohne Berührung des Glases mit offenen Flammen) 242

3 VIII Inhaltsverzeichnis IV. Thermoplastische Glasformung durch Wärmeleitung 242 V. Thermoplastische Glasformung durch Widerstandsschweißung 244 VI. Thermoplastische Glasformung durch sonstige Verfahren 248 VII. Mechanische Formgebung von Glas 248 VIII. Entspannung von verformtem Glas 255 a) Temperprogramme der Praxis 256 b) Temperöfen *60 c) Tempern durch Strahlungsbrenner -f>l IX. Messung von Glasspannungen Oberflächenbehandlung von Glas 10.4 I. Mechanische und chemische Reinigung von Glasoberflächen 289 II. Metallisieren von Glas durch Einbrennverfahren 294 III. Chemisches Versilbern von Glasoberflächen 296 IV. Metallisieren von Glasoberflächen durch Kathodenzerstäubung 299 V. Metallaufdampfung auf Glasoberflächen im Hochvakuum 308 VI. Metallaufspritzen auf Glas -339 VII. Aufdampfung optischer Vergütungsschichten auf Glasoberflächen im Hochvakuum VIII. Graphitüberzüge auf Glasoberflächen 345 IX Überzug von Glasoberflächen mit Lacken 349 X. Erzeugung von leitfähigen Oberflächenschichten auf Glas durch Reduktion 353 XI. Erzeugung von Oberflächenleitfähigkeit auf Glas durch Halbleiterschichten XII. Isoherende Oxydaufträge auf Glasoberflächen 357 XIII. Auftrag von wasserabstoßendem Film 358 XIV. Erhöhung des Glas-Oberflächenwiderstandes durch Oxydation niedergeschlagener metallischer Filme 360 XV. Dealkalisieren von Glasoberflächen 360 XVI. Innenbedeckung von Glühlampenkolben mit Si0 2 -Pulver 360 XVII. Chemisches Polieren von Glasoberflächen 361 XVIII. Chemisches Mattieren von Glasoberflächen 361 XIX. Chemisches Gravieren von Glasoberflächen 361 XX. Elektrolytisches Gravieren von Glas 362 XXI. Beschriftung von Glas mittels Glastinten 363 XXII. Bestempelungen von Glasoberflächen Entgasen von Glas 10.6 Pulverglas öoa 10.6 I. Glaslote ä II. s *"" III. Vakuumdichtes Sinterglas 40b IV. Keramikglas i2i 10.7 Literaturverzeichnis zu QUARZGLAS, QUARZGUT UND VYCORGLAS Gewinnung von Quarzgut und Quarzglas Gewinnung von Vycorglas Weiterverarbeitung von Quarzglas Verarbeitung von Vycorglas ' 11.5 Physikalische Eigenschaften von Quarzglas Physikalische Eigenschaften von Vycorgläsern Chemische Eigenschaften von Quarzglas Chemische Eigenschaften von Vycorglas

4 Inhaltsverzeichnis IX 11.9 Technische Anwendungen von Quarzglas und Quarzgut Technische Anwendungen von Vycorglas Sonstige Anwendungen von Si Literaturverzeichnis zu KERAMISCHE WERKSTOFFE DER HOCHVAKUUMTECHNIK Silikat-Keramiken I. Ausgangsrohstoffe 491 II. Weiterverarbeitung der Rohstoffe 495 III. Formung der keramischen Ausgangsmassen 497 IV. Trocknen und Brennen 501 V. Feinstbearbeitung 506 VI. Glasieren Eigenschaften von Silikatkeramiken, Meßmethoden I. Raumgewicht, Porosität, Wasseraufnahme 510 II. Erweichungstemperatur 511 III. Dampfdruck 512 IV. Mechanische Eigenschaften 512 V. Härte 513 VI. Wärmeausdehnungskoeffizient 514 VII. Temperaturwechselbeständigkeit (TWB) 516 VIII. Wärmeleitfähigkeit 519 IX. Spezifische Wärme 519 X. Spezifischer elektrischer (Volumen-)Widerstand 519 XI. Oberflächenwiderstand 523 XII. Elektrische Durchschlagfestigkeit 525 XIII. Dielektrizitätskonstante und dielektrische Verluste 526 XIV. Lichtdurchlässigkeit 532 XV. Vakuumdichtigkeit 533 XVI. Gasabgabe 534 XVII. Chemische Eigenschaften Spezielle kommerzielle Silikatkeramiksorten, ihre Eigenschaften und ihre Anwendung in der Vakuumtechnik I. Hartporzellan 562 IL Natursteine: Speckstein" und Pyrophyllite" 567 III. Magnesium-Aluminium-Silikate 569 III. a) Steatite 570 b) Forsterite 573 c) Cordierite 577 d) Aluminiumsilikate (alkalifreie) 577 IV. Zirkonhaltige Keramiken 585 V. Erdalkaliporzellane Oberflächenbehandlung von Silikatkeramiken I. Reinigen 590 IL Metallisieren Anwendung von Silikatkeramiken in der Vakuumtechnik Reinoxydkeramiken I. Al Reinoxydkeramiken 618 IL MgO-Reinoxydkeramiken 636 III. Zr0 2 -Reinoxydkeramiken 638 IV. BeO-Reinoxydkeramiken.. 642

5 X Inhaltsverzeichnis V. Th0 2 -Reinoxydkeramiken 643 VI. MgO A (Spinell-)Keramiken Herstellung von keramischen Werkstoffen aus Glas Literaturverzeichnis zu GLIMMER Allgemeines (Vorkommen, Gewinnung, Zusammensetzung) Weiterverarbeitung Physikalische und chemische Eigenschaften Entgasung Oberflächenbehandlung von Glimmer Verschmelzung von Glimmer mit Glas oder Metall Anwendungen von Naturglimmer Synthetischer Glimmer und Glimmerersatz Preßglimmer und glasgebundener Glimmer Literaturverzeichnis zu ASBEST 14.1 Allgemeines, Gewinnung, Verarbeitung, Eigenschaften Anwendungen von Asbest in der Hochvakuumtechnik Literaturverzeichnis zu 14 «*«Nachträge bei der Korrektur <" Nachtrag zu Bd. I Zusammenfassung (Russisch) 722 Sachregister '

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