THz Physik: Grundlagen und Anwendungen

Ähnliche Dokumente
THz Physik: Grundlagen und Anwendungen

THz Physik: Grundlagen und Anwendungen

THz Physik: Grundlagen und Anwendungen

THz Physik: Grundlagen und Anwendungen

THz Physik: Grundlagen und Anwendungen

Werkzeug Licht: Photonische Technologien für industrielle Anwendungen

Die Stoppuhren der Forschung: Femtosekundenlaser

Ultra-broadband THz-mid-infrared pulses from two-color photo-induced gas plasmas:

Adaptive Equalization With Time Lenses

Schichtdickenmessungen an Mehrschichtsystemen mittels Terahertz-Messtechnik

Terahertz-Materialcharakterisierung: schnell und günstig

Optoelektronische Schalter und Terahertz-Antennen auf der Basis von LT-InGaAs-Quantenfilmen (ein Projekt im Topic 4)

Ultrakurze Lichtimpulse und THz Physik

Terahertz-Imaging für die Qualitätskontrolle

Broadband Slow Light in a Photonic Crystal Line Defect Waveguide

Shock pulse measurement principle

Optische Spektroskopie mit Lasern: Grundlagen und Anwendungen. Wann: Mi Fr Wo: P1 - O1-306

Terahertz Spektroskopie

Terahertz-Puls-Systeme. für den Einsatz in industriellem Umfeld

Ultrakurze Lichtimpulse und THz Physik

Air-Sea Gas Transfer: Schmidt Number Dependency and Intermittency

Measurement of the Thermophysical Properties of Phase Change Materials using Laser Flash

POLDIRAD Measurements

Fortgeschrittenenpraktikum: Ausarbeitung - Versuch 14 Optische Absorption Durchgeführt am 13. Juni 2002

Übungen zur Experimentalphysik 3

THz Physik: Grundlagen und Anwendungen

Optische Spektroskopie in Analytik & Medizin

Felder und Wellen Übung 13 WS 2018/2019

Zeitaufgelöste Abbildung der Kern- und Elektronenbewegung auf der Femto- und Attosekundenskala

Wissen schafft Fortschritt

SCHWARZBECK MESS - ELEKTRONIK An der Klinge 29 D Schönau Tel.: (+49)6228/1001 Fax.: (+49)6228/

Ultrakurze Lichtimpulse und THz Physik

Nichtlineare Absorption von ultra-kurzen Laserimpulsen in dünnen dielektrischen Schichten - Kann eine Laserstrukturierung schädigungsfrei sein?

Breitband Hochgewinn Horn Antenne BBHA 9120 J Broadband High Gain Horn Antenna BBHA 9120 J

SFH 900. Miniatur-Reflexlichtschranken Miniature Light Reflection Switches SFH 900

Hinweis Wichtig bei der Verwendung von Laseroptiken ist die korrekte Materialwahl. Man unterscheidet zwischen mehreren Qualitätsstufen.

- Characteristic sensitive Small temperature differences. - Low Sensitivity 42,8 µv/k for Cu-Constantan

Hinweis Wichtig bei der Verwendung von Laseroptiken ist die korrekte Materialwahl. Man unterscheidet zwischen mehreren Qualitätsstufen.

Schneidstoffleitfaden Cutting Grade Guide

Anwendungen der Terahertz-Spektroskopie in der Kunststofftechnik und zur Überwachung von Compoundierprozessen

KTI Project: LIDT and Degradation Testing for Industrial Applications

INGENIEURWISSENSCHAFTEN

Zubehör. Accessories. Special accessories are available on request. Kundenspezifisches Zubehör ist auf Anfrage erhältlich.

C 146 EMV Gehäuse/EMC Housings

Fortgeschrittene Photonik Technische Nutzung von Licht

Plattenkollektion Panel Collection

Optik. Lichtstra h len - Wellen - Photonen. Wolfgang Zinth Ursula Zinth. Oldenbourg Verlag München. 3-, verbesserte Auflage. von

Bodenreflektometrie mit POSTFEKO

Surface analysis by atomic force (AFM) and scanning tunnel (STM) microscopy

Atline Inspection of Casting Production Process at Volkswagen using VG Inline

410 Prolog. 411 Mikrowellen Eine Einführung

Ein Bild sagt mehr als 1000 Spektren Bildgebende IR- und Raman-Mikroskopie

Qualitätskontrolle in der Polymerschaumextrusion

Übungen zur Experimentalphysik 3

Optische Eigenschaften metallischer und dielektrischer Dünnfilme bei der Ionenstrahlbeschichtung

3D Materialprüfung mit Terahertz-Wellen und synthetischer Bildrekonstruktion

Wakefield computation of PETRAIII taper section Laura Lünzer

Kathodenzerstäubung bei Atmosphärendruck

Toses GmbH & Co KG Geschäftsführer Burkhard Walder

New ways of induction heating in the injection moulding process

Beschichtungen mit Polyparylen durch (plasmaunterstützte) Dampfabscheidung

Optik. Lichtstrahlen -Wellen - Photonen. Wolfgang Zinth Ursula Zinth. von. 4., aktualisierte Auflage. OldenbourgVerlag München

SCHWARZBECK MESS - ELEKTRONIK An der Klinge 29 D Schönau Tel.: 06228/1001 Fax.: (49)6228/1003

Laser zur Funktionalisierung von Oberflächen Auch in der Textilindustrie?

6 Elektromagnetische Schwingungen und Wellen. E y. E(z=0) Polarisation Richtung des E-Vektors gibt die Polarisation an.

V. Optik in Halbleiterbauelementen

Brand Label. Daimler Brand & Design Navigator

THz Physik: Grundlagen und Anwendungen

Methoden moderner Röntgenphysik II Methods in modern X-ray physics II

FORTUNA Bulb Pipettes Vollpipetten

Terahertz-Technologie in der K-Industrie Potentiale und Einsatzmöglichkeiten Stefan Kremling 15. September 2016

ECOSHAPE. Economic Advanced Shaping Processes for Integral Structures. Tobias Hornfeck Achim Schoberth

Halbleiter-Bragg-Spiegeln. Eine neue Methode zur Metrologie von Dünn- und Vielschichtsystemen

UHF-SHF Breitband Log.-Per. Antenne UHF-SHF Broadband Log.-Per. Antenna

Optische Wellenleiter

Ultrakurze Lichtimpulse und THz Physik

HYBRID INTEGRATION OF MILLIMETER WAVE CIRCUITS BASED ON LOW-LOSS DIELECTRIC WAVEGUIDES

2011 European HyperWorks Technology Conference

Bestimmung der thermischen Ausdehnungseigenschaften

Impuls-Laserdiode im Plastikgehäuse 3 W Spitzenleistung Pulsed Laser Diode in Plastic Package 3 W Peak Power SPL PL90_0

Micro Laser Source for sensing applications

Thermal Analysis Blendenansatz

Laserbearbeitung am Forschungszentrum Mikrotechnik der FH - Vorarlberg

Der Freie-Elektronen-Laser an der Strahlungsquelle ELBE

Silent Gliss. Colorama 1. Acoustic Certificate Zertifikat Akustik

Berührungslose Schichtdickenmessung mittels Terahertz-Messtechnik. Nachrichtentechnisches Kolloquium WS 12/13

Interferometrische Messtechnik in der industriellen Fertigung von der Idee bis zum praktischen Einsatz

Integriert-optische Modulatoren Technische Informationen

Eigenschaften von Halbleitern mit der Fourier-Transform-Infrarot-Spektroskopie

MESS- UND SENSORTECHNIK. MINAS Gruppe. SmartTex-Symposium , Dr. Christian Müller 1/16

Ion beam sputtering of Ag: Properties of sputtered and scattered particles

for the PETRA III Cavity

Mobile 3D-Terahertz-Bildgebung beim Fügen von Kunststoff und Keramik

ASPECTS OF MODELLING A GTEM CELL USING CST

Detektoren in der Kern- und Teilchenphysik Szintillationsdetektoren Ionisationsdetektoren Halbleiterdetektoren

Kapitel 1. Einleitung. Motivation

Passively aligned fiber-coupling of planar integrated waveguides

Potential of porphyrin fluorescence signals to serve as matrix-related Time-Temperature-Indicators in fresh meat production

SYSTEM Guide Rail 2017

Transkript:

THz Physik: Grundlagen und Anwendungen Inhalt: 1. Einleitung 2. Wechselwirkung von THz-Strahlung mit Materie 3. Erzeugung von THz-Strahlung 3.1 Elektronische Erzeugung 3.2 Photonische Erzeugung 3.3 Nachweis von THz-Strahlung 3.4 Nichtlineare Methoden 4. Erzeugung ultrakurzer Pulse (Grundlagen) 5. THz-Optik 6. THz-Zeitbereichs-Spektroskopie 6.1 Komplexer Brechungsindex 6.2 Fouriertransformation 7. Anwendungen

Typische Komponenten Linsen Materialien: Polymere: Teflon Polyethylen TPX Halbleiter: Silizium Germanium GaAs Dielektrika: Quarz Saphir Dispersion und Absorption begrenzen den nutzbaren Spektralbereich

Typische Komponenten Linsenmaterialien Silizium

Typische Komponenten Linsen

Typische Komponenten Linsen Totalreflexion begrenzt Öffnungswinkel Ziel: max. Öffnungswinkel φ max = 90 d R sinφ = R sinθ sinθ C = 1 n Virtueller Brennpunkt bei Berechnung optischer Systeme!!

Typische Komponenten Spiegel

Typische Komponenten Off-axis -Parabolspiegel

Typische Komponenten Polarisatoren Gitter-Polarisator T(E p) 0, T(E s) 0,95.0,98 Typ. Werte: a = 10µm, g = 25 µm, 0,1 THz < n < 3 THz

Typische Komponenten Wellenplatten und AR-Schichten Doppelbrechende Materialien d = λ 4n C n C = n

Typische Komponenten Wellenleiter Planparallele Platte 1. Keine räumliche Begrenzung: frei im Raum propagierende Welle 2. Allseitig begrenzt: Hohlraumresonator 3. Begrenzung an 1 oder 2 Seiten: Wellenleiter Gezielter Transport von elm. Wellen

Typische Komponenten Wellenleiter Randbedingungen und Feldverteilung E y x = 0 für x = 0, x = a k x = n π a 2π λ = nπ a a = n λ 2 Dispersion: 2 2 2 2 2 2 2 1 n z z x c a n c k k k k Grenzfrequenz: Propagation: imaginär k c a n z n n < Keine Propagation

Typische Komponenten Wellenleiter c v Für c a n c k v Ph n n z Ph 2 2 2 2 1 Phasengeschwindigkeit

Typische Komponenten Wellenleiter 2 2 2 1 2 2 1 1 1 c v v c c v c d d d dk dk d v Ph Gr n Gr n Gr < Gruppengeschwindigkeit

Typische Komponenten Wellenleiter ) cos( ) sin( 2 ),, ( )) ( sin( )) ( sin( ),, ( ),, ( ),, ( 0 0 z k t x k E t x z E z k x k t z k x k t t x z F mit t x z F E t x z E z x z x z x Feldverteilung Randbedingungen: E z (x=0) = E z (x=a) = 0 (Leiteroberfläche) In z-richtung Überlagerung zweier Wellen mit -k x und +k x Feldverteilung in x-richtung Propagation in z-richtung

Typische Komponenten Wellenleiter Verallgemeinerung auf 2D Wellenleiter Feldverteilung k z mit 1 c 2 2 mn mn c m a 2 n b 2

THz wave guide sensor Transverse resonance condition for TE-modes: t 2 n c THz t cos upper lower upper lower m n THz n t THz n THz t t 2 GHz µm Phase shift at boundary: Sensitive to - type of binding to surface - surface adsorbate interaction - polarizibility of adsorbates - dipole-dipole interactions

Intensity [a.u.] Intensity [a.u.] Spectral amplitude [b. E.] Spectral amplitude [b. E.] THz wave guide sensor Wave guide modes: 10-2 10-2 10-3 10-3 10-4 0,5 1,0 1,5 2,0 2,5 3,0 Frequency [THz] 10-4 0,5 1,0 1,5 2,0 2,5 1508 3,0 Frequency [THz] 1 GaAs 80µm 40µm Wave guide thickness t Angle Distance d frequency frequency coupling strength 0-1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.0 Frequency [THz]

Parallel-Plate Waveguides quasi-optic approach layout PPWG THz THz out in Si lens gap micro crystals polished metal plates (aluminum, copper, ) silicon lenses for coupling sub-wavelength gap for compression (< 50 µm) amplitude transmission high (> 20%) measurement of thin films enhancement factor THz field is pressed into the sample, stronger interaction but sample mount too complex R. Mendis and D. Grischkowsky, Opt. Lett., Vol. 26, 846-848 (2001)

Waveguide THz-TDS Experimental apparatus Microwave approach THz time-domain spectroscopy system beam waist between two parabolic mirrors THz spot size approx. 9 µm in the center R. Mendis and D. Grischkowsky, Opt. Lett., Vol. 26, 846-848 (2001)

Waveguide THz-TDS Experimental apparatus Microwave approach THz form time-domain funnel using spectroscopy commercial metal system shim beam adjust waist opening between and curvature two parabolic to optimize mirrors coupling THz adiabatic spot size compression approx. 9 of µm the in THz the wave center M. Theuer, D. R. Grischkowsky, and R. Beigang, tm- Technisches Messen, Vol. 78, No. 5, pp. 268-273 (2011)

Coupling Ratio Amplitude Transmission Coupling using Metal Flares 0.50 0.45 0.40 0.35 0.30 gap size 200 m 150 m 100 m 50 m 0.40 0.35 0.30 0.25 0.25 0.20 0.15 0.10 0.05 0.00 0.0 2.5 5.0 7.5 10.0 12.5 15.0 17.5 20.0 Opening [mm] 0.20 0.15 0.10 0.05 PPWG flare coupling PPWG Si optics 0.00 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 Frequency [THz] flares show coupling ratio of 39% at 50 µm gap metal shim performs even better than Si optics no transmission optics or echo pulses Broadband coupling without disturbing modulations M. Theuer, D. R. Grischkowsky, and R. Beigang, tm- Technisches Messen, Vol. 78, No. 5, pp. 268-273 (2011)

Flare coupled parallel-plate waveguide (PPWG) Layout thin film THz in flare gap 3 cm length PPWG micro crystals THz out Tiny Easy single-crystalline to manufacture film is formed on the shim Microgram No transmission sample optics mass sufficient Technique Cheap, available is highly components sensitive Standard surface quality sufficient Appropriate sample mount Good thermal contact Microscope image (TCNQ) M. Theuer, D. R. Grischkowsky, and R. Beigang, tm- Technisches Messen, Vol. 78, No. 5, pp. 268-273 (2011)

Absorbance High-resolution spectroscopic results Flare coupled PPWG at 77 K 12 10 salicylic acid TCNQ 1,2-DCB 8 6 4 2 0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 Frequency [THz] Absorption features as narrow as 30 GHz measured Fingerprint signatures identical to Si-lens PPWG M. Theuer and J. S. Melinger, Journal of Infrared, Millimeter and Terahertz Waves, Springer New York, Vo. 32, No. 11, pp. 1267-1284 (2011)

THz Physik: Grundlagen und Anwendungen Inhalt: 1. Einleitung 2. Wechselwirkung von THz-Strahlung mit Materie 3. Erzeugung von THz-Strahlung 3.1 Elektronische Erzeugung 3.2 Photonische Erzeugung 3.3 Nachweis von THz-Strahlung 3.4 Nichtlineare Methoden 4. Erzeugung ultrakurzer Pulse (Grundlagen) 5. THz-Optik 6. THz-Zeitbereichs-Spektroskopie 6.1 Komplexer Brechungsindex 6.2 Fouriertransformation 7. Anwendungen

Anwendungsmöglichkeiten Kurzpuls-THz-Systeme Intensität Zeitstruktur 100 % R % T % Transmission & Reflexion Oberflächen, Absorption, Fremdkörper, Fehlstellen,. Tomographie Schichtdicken, Grenzflächen,... Amplitude & Phase 0,5 1,0 1,5 2,0 2,53,0 3,5 4,0 Frequenz [THz] 0,5 1,0 1,52,0 2,5 3,0 3,5 4,0 Spektroskopie Identifizierung, Inhalt, Konzentration,...

Auswertemöglichkeiten Signal-basiert Zeit-basiert: A. Maximales Signal B. Minimales Signal C. Amplitude D. Gesamtenergie E. FFT-Maximum F. Absorption a. Position des Maximums b. Position des Minimums c. Nullstelle d. pre-zero Position e. max-min -Abstand f. max (min) Breite g. FFT max-position

Anwendungsmöglichkeiten Kurzpuls-THz-Systeme Intensität Zeitstruktur 100 % R % T % Transmission & Reflexion Oberflächen, Absorption, Fremdkörper, Fehlstellen,. Tomographie Schichtdicken, Grenzflächen,... Amplitude & Phase 0,5 1,0 1,5 2,0 2,53,0 3,5 4,0 Frequenz [THz] 0,5 1,0 1,52,0 2,5 3,0 3,5 4,0 Spectroskopie Identifizierung, Inhalt, Konzentration,...

Imaging Räumliche Auflösung

Imaging Räumliche Auflösung

Imaging Räumliche Auflösung

THz-Messtechnik und Systeme Imaging Räumliche Auflösung

Imaging Räumliche Auflösung 0-0,5 0,5 1,0 1,0 1,5 1,5 2,0

THz Streuung Messung von Inhomogenitäten 0 1 2 Frequenz [THz] Messung mit 33 Hz Repetitionsrate

THz Streuung Vergleich mit x-ray Messungen (schneller Scan, geringe Auflösung)

THz Streuung Vergleich mit x-ray Messungen Röntgen THz 33 Hz Repetitionsrate Echtzeit-Messung Komplette Information pro OPixel 0,12 MPixel spektrale Information verfügbar

THz Imaging in Reflexion Korrosion unter Farbaufträgen

Anwendungsmöglichkeiten Kurzpuls-THz-Systeme Intensität Zeitstruktur 100 % R % T % Transmission & Reflexion Oberflächen, Absorption, Fremdkörper, Fehlstellen,. Tomographie Schichtdicken, Grenzflächen,... Amplitude & Phase 0,5 1,0 1,5 2,0 2,53,0 3,5 4,0 Frequenz [THz] 0,5 1,0 1,52,0 2,5 3,0 3,5 4,0 Spectroskopie Identifizierung, Inhalt, Konzentration,...

Schichtdickenmessungen Tesafilm in Reflexion

Schichtdickenmessungen Tesafilm in Reflexion THz in <50 µm plastic holder THz out sensitive auf Dickenänderungen Genauigkeit +/- 2 µm Minimale Schichtdicke: < 10 µm Fokus-Durchmesser 1 mm Brechungsindex muss bekannt sein False color image

Schichtdickenmessungen Beschichtete Metallplatte Schichtdicke ung. 100 µm

Schichten auf CFRP

Polyethylen-Schichten auf Papier Phasensprung bei Reflexion von Vorder- und Rückseite

Liquid on PE Foil Reduzierung der Schichtdicke beim Trockenprozess! Messungen alle 15 Minuten

Electrical Field Untersuchung von Mehrschichtsystemen d 1 & n 1 d 2 & n 2 Δt 1 Δt 2 Time [ps]

Keramik-Schicht auf Stahlplatte 180 µm 1 2 3 143 µm 151 µm

Mehrschicht-System auf bidirektionalem CFRP CFRP d blue = 90 µm d white = 190 µm

Analyse von Mehrschichtsystemen Dünne Schichten Simulated THz pulse Simulated THz pulse Prinzip: Probleme: Simulation des reflektierten THz-Impulses Vergleich mit gemessenem Impuls Optimierung der Schichtdicke Kenntnis der Materialparameter erforderlich Zeit für Optimierung Optimierungsalgorithmus

Abweichung Elektrisches Feld [Bel. Einh.] Analyse von Mehrschichtsystemen Mehrfachschichten auf Metall 1.2 0.8 0.4 Messung Simulation 55.84 µm 0.0-0.4-0.8-1.2 8.76 µm 18.10 µm 16.11 µm -1.6 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 0.06 0.00-0.06 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 Zeit [ps] Dicke Schicht (µm) THz- Technik Querschliff Klarlack 54 ± 1 55.8 ± 1 Basislack 7 ± 0.5 8.7 ± 0.4 Primer 15 ± 1 16.1 ± 0.5 Schutzlack 19 ± 1 18.1 ± 0.7

Abweichung Elektrisches Feld [Bel. Einh.] Analyse von Mehrschichtsystemen Doppelschichten auf CFRP 0.8 Messung Simulation 94.72 µm 94.08 µm 0.4 0.0-0.4 Basislack Klarlack 102.40 µm 0.06 0.00-0.06 5 10 15 20 25 5 10 15 20 25 Zeit [ps] Dicke Schicht (µm) THz- Technik Querschliff Klarlack 100± 0.2 102 ± 1 Basislack 94.5 ± 0.3 94 ± 1

Abweichung Elektrisches Feld [Bel. Einh.] Analyse von Mehrschichtsystemen Doppelschichten auf Plastik 0.8 0.4 Messung Simulation 0.0 Dicke Schicht (µm) THz- Technik Mechanisch -0.4-0.8 Klarlack 44.7 ± 0.3 44.9 ± 3.3 Basislack 13.9 ± 0.5 10.3 ± 3.5 Substrat 2893 ± 1 2889 ± 7 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 0.06 0.00-0.06 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 Zeit [ps] Optimierungszeit: < 1 sec mit graphics processing unit (GPU) real time Messungen möglich.

Real-time 2D THz Tomography of Moving Paint Film Sample: half-paint film on metal plate Continuous moving of a paint sample (moving speed = 5 mm/s) Takeshi Yasui, Takashi Yasuda, Ken-ichi Sawanaka, and Tsutomu Araki Graduate School of Engineering Science, Osaka University, Japan

Position(mm) THz Tomographic Movie of Moving half-paint Film 5 10 frame/sec q=20º, d=5mm Unpainted area Blurry edge Boundar y 0 0 Time(ps) 6 Painted area 162 ± 21 µm @ 1~4 mm Takeshi Yasui, Takashi Yasuda, Ken-ichi Sawanaka, and Tsutomu Araki Graduate School of Engineering Science, Osaka University, Japan