Positioniersysteme Linearmotor-Systeme

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HIWIN GmbH Brücklesbünd 2 D-77654 Offenburg Telefon +49 (0) 7 81 9 32 78-0 Telefax +49 (0) 7 81 9 32 78-90 info@hiwin.de www.hiwin.de Alle Rechte vorbehalten. Nachdruck, auch auszugsweise, ist ohne unsere Genehmigung nicht gestattet. Anmerkung: Die technischen Daten in diesem Katalog können ohne Vorankündigung geändert werden.

Positioniersysteme Linearmotor-Systeme Die Positioniersysteme von HIWIN ermöglichen eine zeitlich und örtlich exakte Positionierung. Sie sind für horizontale oder vertikale Einbaulagen geeignet. Die direktangetriebenen Systeme ermöglichen einen spielfreien, sehr dynamischen Betrieb mit geringem Wartungsaufwand. Sie können auf Wunsch als Komplettlösung inklusive Antriebsverstärker geliefert werden. PS-07-0-DE-1607-K 3

Linearmotor-Systeme Inhalt 4

Inhalt 1 Produktübersicht...6 2 Allgemeine Informationen...8 2.1 Glossar 8 2.2 Typische Kenngrößen 9 2.3 Typische Merkmale der Linearmotorachsen 10 2.4 Genereller Aufbau der Linearmotorachsen 10 2.5 Antriebsverstärker für Linearmotorachsen 11 2.6 Allgemeine technische Daten der Linearmotorachsen 11 2.7 Hauptkomponenten des Linearmotorachssystems 12 3 Einzel-Linearmotorachsen... 13 3.1 Bestellcode für Einzel-Linearmotorachsen 13 3.2 Linearmotorachsen LMX1E 14 3.3 Linearmotorachsen LMX1L-S 23 3.4 Highspeed-Linearmotorachse LMV 36 3.5 Linearmotorachsen LMH1L 38 4 Kreuztische... 40 4.1 Bestellcode für Kreuztische 40 4.2 Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 41 4.3 Kreuztisch LMX2L-S23-S27 44 5 Gantry-Systeme... 47 5.1 Bestellcode für Gantry-Systeme 47 5.2 Gantry-System LMG2A-CB6 CC8 48 5.3 Gantry-System LMG2A-S13 S27 50 6 Kundenspezifische Positioniersysteme... 52 6.1 Beispiele 52 PS-07-0-DE-1607-K 5

Linearmotor-Systeme Produktübersicht 1. Produktübersicht LMX1E Seite 14 Komplettachse mit eisenlosem Motor, Typ LMC Hervorragend für Applikationen mit hohen Gleichlaufanforderungen Optional Kapselung mit Blechabdeckung oder Faltenbalg Verfahrwegmessung erfolgt über optisches Wegmess-System, inkrementell oder absolut LMX1L-S Seite 23 Komplettachse mit eisenbehaftetem Motor, Typ LMS Besonders geeignet für Applikationen mit hohen Anforderungen an die Dauerkraft Optional Kapselung mit Blechabdeckung oder Faltenbalg Verfahrwegmessung erfolgt je nach Anforderung über optische oder magnetische Wegmess-Systeme, inkrementell oder absolut LMV Seite 36 Hochdynamische Positionierachse, horizontal oder vertikal Kompakter, spielfreier Aufbau Höchste mechanische Steifigkeit Unempfindlich gegenüber Verschmutzung 6

LMH1L Seite 38 Komplettachse mit eisenbehaftetem Motor, Typ LMS Verfahrwegmessung erfolgt inkremental über magnetische Encoder Für Anwendungen mit langen Verfahrwegen (bis 30 m) Kapselung möglich Kreuztische Seite 40 Kombination von Achsen der LMX-Serien Mit eisenlosen oder eisenbehafteten Motoren Gantry-Systeme Seite 47 Standardisierte Gantry-Systeme mit eisenlosen und eisenbehafteten Motoren PS-07-0-DE-1607-K 7

Linearmotor-Systeme Allgemeine Informationen 2. Allgemeine Informationen 2.1 Glossar Auflösung Kleinste Wegstrecke, die vom eingesetzten Wegmess-System erkannt wird. Die erreichbare > Schrittweite liegt durch zusätzliche Faktoren in der Regel über der Auflösung. Beschleunigung Geschwindigkeitsänderung pro Zeiteinheit, also Beschleunigung = Geschwindigkeit/Zeit bzw. a = v/t. Beschleunigungszeit Zeit, die ein Antrieb aus dem Stand bis zum Erreichen der Endgeschwindigkeit benötigt. Dauerdrehmoment, Dauerkraft F c Dauerdrehmoment bzw. Nenndrehmoment (bei rotatorischen Bewegungen) und Dauerkraft bzw. Nennkraft (bei linearen Bewegungen) kann der Motor im Dauerbetrieb abgeben (Einschaltdauer ED = 100 %). Dauerstrom I c Über längere Zeit angelegter Strom. Der maximal zulässige Dauerstrom pro Wicklung wird als Nennstrom bezeichnet. Der Dauerstrom ist dadurch gekennzeichnet, dass die entstehende Verlustleistung zu einer Motorerwärmung von T max führt. Drehmoment Größe, die bei einem Körper eine Rotationsbewegung bewirkt und damit eine vektorielle Größe, die sich in folgendem Kreuzprodukt ausdrücken lässt: M = r F 1 Physikalisch wird das Drehmoment in der Einheit Nm = kgm²/s² angegeben. Ebenheit Maß für die vertikale Geradheit einer Bewegung auf der X-Achse. Eine Abweichung von der absoluten Ebenheit ist eine Verschiebung auf der Z-Achse bei Verfahren auf der X-Achse. Exzentrizität Bei Rundtischen die Abweichung des Drehmittelpunkts von seiner Position im Verlauf der Drehung. Sie entsteht durch Zentrier- und Lagertoleranzen. Führungsabweichung Lineare Abweichung von der Verfahrachse. Sie ist abhängig von der Geradheit (Genauigkeit in der Ebene des Schlittens) und der Ebenheit (Genauigkeit außerhalb der Ebene des Schlittens). Gegen-EMK-Konstante K u Verhältnis zwischen der Gegen-EMK-Spannung (rms) und der Motordrehzahl bzw. Geschwindigkeit (rpm oder m/s). Die Gegen-EMK ist die elektromagnetische Kraft, die bei der Bewegung der Wicklungen im Magnetfeld von Permanentmagneten, z.b. bei einem Servomotor, entsteht. Geradheit Maß für die horizontale Geradheit einer Bewegung auf der X-Achse. Eine Abweichung von der absoluten Geradheit ist eine Verschiebung auf der Y-Achse bei Verfahren auf der X-Achse. Kraft, Drehmoment Kraft (bei linearen Bewegungen) bzw. Drehmoment (bei rotatorischen Bewegungen) wird für definierte Bedingungen angegeben, z.b. als Dauerkraft bzw. -drehmoment bei 25 C Umgebungstemperatur T max Wicklungstemperatur 100 % Einschaltdauer bei Linearmotoren und Torquemotoren 50 % Einschaltdauer bei Rundtischen oder als Spitzenkraft bzw. Spitzendrehmoment. Kraftkonstante K f Wicklungsspezifische Kenngröße, aus der sich durch Multiplikation mit dem Eingangsstrom die resultierende Kraft errechnet als F = I K f. Magnetische Anziehungskraft F a Entsteht zwischen dem Primär- und Sekundärteil von eisenbehafteten Linearmotoren und erzeugt dadurch eine Vorspannung des Antriebssystems, die durch die Führung aufgenommen werden muss. Motorkonstante K m Verhältnis von erzeugter Kraft und Verlustleistung, also ein Maß für die Effizienz eines Motors. Multi-Index Eine Inkremental-Spur ist über die gesamte Breite des Maßbandes angeordnet. Im Lesekopf befindet sich ein Sensor, der drei Signalspuren ausgibt: die Inkrementalspuren A und B und die Z-Spur für das intern erzeugte Referenzsignal. Mit dem Überfahren jedes Inkrements steht ein intern erzeugtes Referenzsignal zur Verfügung (Multi-Index). Daher ist ein externer Referenzschalter als Trigger notwendig. Nach dem Überfahren dieses externen Referenzschalters wird beim nächsten Inkrement das Referenzsignal ausgegeben. Schrittweite Kleinste Schrittweite ist die minimale Wegstrecke, die ein Linearantrieb wiederholbar verfahren kann. Sie ist bestimmt durch die > Auflösung des Linearantriebs zuzüglich der Schrittweite des Motors und aller Fehler im Antriebsstrang (Umkehrspiel, Verwindung usw.). Single-Index Das Band ist unterteilt in eine Inkremental- und eine Indexspur. Auf der Indexspur befinden sich je nach Anforderung eine oder mehr Referenzmarken über den gesamten Verfahrweg. Im Lesekopf befinden sich zwei Sensoren: Ein Sensor für die Inkrementalspuren A und B sowie ein Sensor für die Z-Spur, der beim Überfahren der einzelnen Referenzmarke (Single-Index) ein Referenzsignal ausgibt. Single-Index-Magnetbänder sind immer kundenspezifisch. Genauigkeit (absolute Genauigkeit) Eigentlich Ungenauigkeit: entspricht der Abweichung zwischen einer angestrebten Sollposition und der tatsächlichen Position. Die Genauigkeit entlang einer Achse ist definiert als die bleibende Differenz von Ist- und Sollposition, nachdem alle eliminierbaren anderen linearen Abweichungen ausgeschlossen wurden. Solche systematischen bzw. linearen Abweichungen sind zurückzuführen auf z.b. Cosinusfehler, Winkelabweichungen, Spindelsteigungsfehler, thermische Ausdehnung etc. Sie wird für alle relevanten Sollpositionen einer Anwendung nach folgender Formel berechnet: Maximum aller Summen systematischer Soll-Ist-Abweichungen + 2 sigma (Standardabweichung). Die Genauigkeit darf nicht mit der > Wiederholgenauigkeit verwechselt werden. 8

Spitzendrehmoment, Spitzenkraft F p Das Spitzendrehmoment (bei rotatorischen Bewegungen) bzw. die Spitzenkraft (bei linearen Bewegungen) ist die maximale Kraft, die ein Motor für etwa eine Sekunde erzeugen kann. Sie liegt bei HIWIN am Ende des linearen Aussteuerbereiches beim Spitzenstrom I p und ist vor allem beim Beschleunigen und Bremsen von Bedeutung. Spitzenstrom I p Wird kurzzeitig zur Erzeugung der Spitzenkraft angelegt. Bei HIWIN ist er folgendermaßen definiert: Eisenbehaftete Motoren haben als Spitzenstrom I p das 3-fache des zulässigen Dauerstroms der LMS-Baureihe, eisenlose Motoren haben als I p das 3-fache des zulässigen Dauerstroms. Maximal zulässige Dauer des Spitzenstroms ist eine Sekunde. Danach muss der Motor auf die Nenntemperatur abkühlen, bevor wieder der Spitzenstrom angelegt werden kann. Steifigkeit Entspricht dem mechanischen Verformungswiderstand, den ein Bauteil oder eine Baugruppe einer statischen äußeren Last im eingeschwungenen, statischen Zustand leistet (statische Steifigkeit) bzw. dem elastischen Verformungswiderstand eines Bauteils oder einer Baugruppe gegenüber einer dynamischen, von außen wirkenden Kraft (dynamische Steifigkeit). Wicklungswiderstand R 25 Wicklungsspezifische Kenngröße, die den Wicklungswiderstand bei 25 C Wicklungstemperatur angibt. Bei 80 C Wicklungstemperatur erhöht sich der Wicklungswiderstand auf etwa 1,2 R 25. Wicklungstemperatur T max Zulässige Wicklungstemperatur. Die tatsächliche Motortemperatur ist abhängig von den Einbaubedingungen, den Kühlbedingungen und den Betriebsbedingungen und kann daher nur im konkreten Fall ermittelt und nur unzureichend errechnet werden. Wiederholgenauigkeit Darf nicht mit der Genauigkeit verwechselt werden. Eine Linearachse kann eine geringe Genauigkeit, aber eine hohe Wiederholgenauigkeit besitzen. Die unidirektionale Wiederholgenauigkeit wird gemessen, indem eine Sollposition aus einer angemessen großen Entfernung mehrmals in der gleichen Richtung angefahren wird; das Umkehrspiel wirkt sich dabei nicht aus. Bei der Messung der bidirektionalen Wiederholgenauigkeit wird eine Sollposition aus unterschiedlichen Bewegungsrichtungen angefahren; das Umkehrspiel wirkt sich dabei aus. Taumeln Winkelabweichung der Rotationsachse von Rundtischen im Verlauf der Drehbewegung, also ein Verkippen der Oberfläche des Rundtisches. Ursache sind vor allem Toleranzen in der Lagerung. 2.2 Typische Kenngrößen 2.2.1 Wicklungsunabhängige Kenngrößen F a F c F p Relativ konstante Anzugskraft zwischen Primär- und Sekundärteil (Magnetbasis), die durch eine mechanische Führung aufgenommen werden muss. Motorkraft, die im Nennbetrieb als Dauerkraft verfügbar ist und zu einer Erwärmung von T max führt. Kurzzeitig erzeugbare Motorkraft, die am Ende des linearen Aussteuerbereiches bei I p erreicht wird und ohne Kühlung zu einer starken Erwärmung führt. K m Motorkonstante, die das Verhältnis von erzeugter Kraft und Verlustleistung ausdrückt, und damit den Wirkungsgrad. P v Die in der Motorwicklung entstehende Wärmeleistung, die in Abhängigkeit von der Betriebsweise (Strom) und den Umgebungsbedingungen (Kühlung) zu einer zeitabhängigen Temperaturerhöhung führt. Im oberen Aussteuerungsbereich (bei I p ) ist P v wegen der quadratischen Abhängigkeit vom Strom besonders hoch, während im Bereich des Nennstroms nur eine relativ geringe Erwärmung eintritt. P v errechnet sich mit Hilfe der Motorkonstante K m für einen Bewegungsabschnitt mit der erforderlichen Kraft F: P v = F/K m. 2.2.2 Wicklungsabhängige Kenngrößen I c I p K f K u Zur Erzeugung der Dauerkraft fließender Strom. Zur kurzzeitigen Erzeugung der Spitzenkraft fließender Spitzenstrom. Wicklungskenngröße, die mit dem Strom die entstehende Kraft ergibt: F = I K f. Wicklungskenngröße, die im generatorischen Betrieb, abhängig von der Geschwindigkeit, die an den Motorklemmen entstehende Ankergegenspannung ergibt: U g = K u v. R 25 Wicklungswiderstand bei 25 C; bei 80 C steigt dieser auf den ca. 1,2-fachen Wert an. P vp Spitzenverlustleistung bei I p. P c Verlustleistung bei I c. T Zulässige Wicklungstemperatur, die durch Sensoren bzw. Thermoschalter erfasst wird. Die sich einstellende Motoroberflächentemperatur ist abhängig von den konkreten Einbauverhältnissen (Tischgröße) Wärmeabfuhrbedingungen (Kühlung) der Betriebsweise und damit vom mittleren Leistungseintrag und kann nur bei Kenntnis dieser Gegebenheiten ermittelt werden. PS-07-0-DE-1607-K 9

Linearmotor-Systeme Allgemeine Informationen 2.3 Typische Merkmale der Linearmotorachsen HIWIN-Linearmotorachsen sind direkt angetriebene Achsen mit Linearmotoren, die als Plug-and-Play-Lösung konzipiert sind. Standardisierte Energieketten und kundenspezifische Leitungszuführungen sind optional möglich. Es sind frei tragende Komplettachsen mit Wegmess-System, Führungen, Endschalter und wahlweise mit Abdeckungen als Schutz vor Umgebungseinflüssen. Optional ist der Einbau einer Feststellbremse möglich. Bedingt durch den Direktantrieb sind die Linearachsen spielfrei, sehr dynamisch, wartungsarm und können auch mit mehreren Verfahrschlitten ausgestattet werden. Die Linearachsen werden auf Wunsch als Komplettlösung inklusive Antriebsverstärker angeboten. Mehrere Verfahrschlitten pro Achse Mit weiteren Achsen kombinierbar Keine Nachjustierung Wartungsarm Hohe Standzeit und Zuverlässigkeit Extrem präzises und schnelles Positionieren Ruhiger Lauf Hohe Verfahrgeschwindigkeit Kompakte Bauform, daher geringer Platzbedarf Höchste Genauigkeit 2.4 Genereller Aufbau der Linearmotorachsen [1] [2] [3] + Richtung [4] Energieführung [1] In Standardausführung oder kundenspezifisch ausgelegt und den Gegebenheiten vor Ort entsprechend angepasst. Unterschiedliche Abmessungen für zusätzlich mitzuführende Leitungen möglich. Unterschiedliche Anschraubpositionen möglich. Drei Leitungen [2] Leistungsleitung Encoderleitung Endschalterleitung Standardlängen 3, 5, 8, 10 und 15 m; die Leitungen sind gemäß CE- und UL-Bestimmungen zertifiziert. Mögliche Schnittstellen [4] EtherCAT Profibus CAN-Open Sercos Seriell über RS232 10 V analog Schritt/Richtung Weitere auf Anfrage. Antriebsverstärker [3] (siehe Seite 11) Der passende Antriebsverstärker wird speziell gemäß den Kundenapplikationen ausgewählt und entsprechend der zu liefernden Linearmotorachse parametriert. Die dynamischen Laufeigenschaften der jeweiligen Linearmotorachsen sind somit gewährleistet. 10

2.5 Antriebsverstärker für Linearmotorachsen Der HIWIN-Servo-Antriebsverstärker D1-N unterstützt rotative Servomotoren, Linearund Torquemotoren und damit die gesamte Bandbreite der HIWIN-Motortypen. Die Vielzahl der unterschiedlichen Geberschnittstellen und der analogen sowie digitalen Hallsensoren ermöglicht einen breiten Einsatz des D1-N-Antriebsverstärkers speziell auch im Linearmotorbereich. Abb. 2.1 HIWIN-Servo-Antriebsverstärker D1-N Die HIWIN-Linearmotorachsen können alternativ auch mit allen marktüblichen Antriebsverstärkern für Linearmotoren betrieben werden. Eine beispielhafte Auflistung aus bereits realisierten Projekten finden Sie in im Folgenden aufgeführt. ESR Pollmeier GmbH www.esr-pollmeier.de 2.6 Allgemeine technische Daten der Linearmotorachsen Tabelle 2.1 Allgemeine technische Daten der Linearmotorachsen Bezeichnung Motortyp v max [m/s] a max [m/s²] Gesamtlänge L max [mm] Wiederholgenauigkeit [mm] Genauigkeit 5) [mm/300 mm] Geradheit 1) [mm/300 mm] Ebenheit 1) [mm/300 mm] LMX1E-... LMC 5 100 4) 4.000 ± 0,001 2) ± 0,005 2) ± 0,01 ± 0,01 Seite 14 LMX1L-S... LMS 4 50 4) 4.000 ± 0,001 2) ± 0,005 2) ± 0,01 ± 0,01 Seite 23 LMV LMSA 2,5 50 600 ± 0,005 2) ± 0,010 2) ± 0,01 ± 0,01 Seite 36 LMH1L-... LMS 4 50 30.000 ± 0,010 3) ± 0,050 3) ± 0,03 ± 0,03 Seite 38 1) Werte gelten bei entsprechend spezifizierter Basisplatte 2) Werte gelten für das optische inkrementelle Wegmess-System mit 40 μm Periode des sinus/cosinus-signals 3) Werte gelten für das magnetische inkrementelle Wegmess-System HIWIN-MAGIC mit sinus/cosinus-signal (siehe Katalog Linearmotoren ). 4) Bei der Verwendung von Faltenbalg-Abdeckungen können sich Einschränkungen bezüglich der maximalen Beschleunigungen ergeben. 5) Bei 20 C Siehe Das Wegmess-System ist je nach Linearachsentyp bzw. nach Kundenwunsch ein optisches oder ein magnetisches. Als Ausgangssignal wird standardmäßig sin/cos 1 V SS verarbeitet; optional ist auch ein TTL-Signal möglich. Die zulässige Betriebsspannung hängt von dem verwendeten Linearmotortyp ab. Bei den eisenbehaftete Motoren ist die maximal zulässige Betriebsspannung 400 VAC. Für die eisenlose Motoren beträgt die maximal zulässige Betriebsspannung 230 VAC. PS-07-0-DE-1607-K 11

Linearmotor-Systeme Allgemeine Informationen/Einzel-Linearmotorachsen 2.7 Hauptkomponenten des Linearmotorachssystems [1] [2] [3] [5] [4] [6] [8] [7] [9] [9] [13] [12] [11] [14] [16] [14] [15] [15] [18] [16] [20] [10] [17] [18] [19] Tabelle 2.2 Hauptkomponenten des Linearmotorachssystems Pos. Komponente Pos. Komponente 1 Halteblech für Schleppkette 11 Profilschiene mit magnetischem Maßstab des MAGIC-PG 2 Motorstecker-Kupplung 12 Standard-Profilschiene 3 Encoderstecker-Kupplung 13 Stator (Sekundärteil des Linearmotors) 4 Schleppkette Kabelhalter 14 Anschlagpuffer 5 Optional: Aufbauplatten für Blechabdeckung 15 Optional: Distanzstück bei Blechabdeckung 6 Verfahrschlitten (Forcerträgerplatte) 16 Profilendplatten 7 Schaltfahnen für Endschalter und Referenzschalter 17 End- und Referenzschalterstecker 8 Forcer (Primärteil des Linearmotors) 18 Referenzschalter und Endschalter mit Montagewinkel 9 Profilschienenlaufwagen 19 Führungsblech für Schleppkette 10 MAGIC-PG-Wegmess-System 20 Grundprofil 12

3. Einzel-Linearmotorachsen 3.1 Bestellcode für Einzel-Linearmotorachsen LM X 1 L S23 1 0872 A 1 0 0 0 XXX Linearmotorachse Achsenausführung: X: Horizontalachse V: Vertikalachse H: Portalachse Anzahl der Achsen: 1: Einzelachse Achsprofil: L: Eisenbehaftete Motoren (LMS/LMSA) E: Eisenlose Motoren (LMC) C: Kundenspezifisch Motortyp: Sxxxx: Eisenbehafteter Linearmotor Cxxx: Eisenloser Linearmotor Anzahl der Verfahrschlitten Verfahrlänge [mm] Wegmess-System 1) : A: Optisch, Periode 40 μm, analog 1 V SS sin/cos C: HIWIN-MAGIC: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V SS sin/cos D: HIWIN-MAGIC-PG: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V SS sin/cos Magnetband integriert in Führungsschiene X: Magnetisch, absolut mit BiSS-C-Schnittstelle Magnetisch, absolut mit HIPERFACE-Schnittstelle Optisch, absolut, gekapselt mit EnDAT-Schnittstelle Optisch, absolut, gekapselt mit DRIVE-CLiQ-Schnittstelle Optisch, absolut, gekapselt mit FANUC-Schnittstelle Optisch, digital TTL, Auflösung 1 μm Auftragsnummer der Zeichnung, mehrere Forcer, Hall-Sensor, Gewichtsausgleich, Bremse, besondere Montagebohrungen Größe Energieführung: 0: Standard für LMC-Achsen 1: Standard für LMS-Achsen 2: Standard für LMH-Achsen C: Kundenspezifisch Ausrichtung Energieführung: 0: Keine (Standard) 1: Horizontale Ausrichtung 2: Vertikale Ausrichtung C: Kundenspezifisch Abdeckung: 0: Keine (Standard) A: Metallabdeckung B: Faltenbalgabdeckung Endschalter: 0: Kein 1: Induktiv, PNP (Standard) 2: Optisch, NPN 1) Für LMH-Achsen sind nur die Wegmess-Systeme C bzw. D lieferbar. PS-07-0-DE-1607-K 13

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen 3.2 Linearmotorachsen LMX1E Linearmotorachsen LMX1E sind mit einem eisenlosen Motor ausgestattet und für Anwendungen mit hohen Gleichlaufanforderungen besonders gut geeignet. Sie können auch in Kreuztischen eingesetzt werden. Sie zeichnen sich durch ihren sehr flachen Aufbau aus. Die Verfahrwegmessung erfolgt über optische Encoder inkrementell oder absolut. Die Linearmotorachsen LMX1E besitzen eine sehr hohe Dynamik und sind mit Gesamtlängen von bis zu 4.000 mm lieferbar. Max. Beschleunigung 100 m/s2 Max. Geschwindigkeit 5 m/s Bis 4.000 mm lang C B i B D Hi D B Bi C A C A H i Energieführung vertikal Energieführung horizontal Tabelle 3.1 Abmessungen Energieführung Ausrichtung Energieführung C [mm] D [mm] Innenmaße Energieführung B i H i [mm] Vertikal 97 170 50 21 Horizontal 79 170 50 21 Tabelle 3.2 Technische Daten Linearmotorachsen LMX1E Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg [mm] Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] Länge des Verfahrschlittens [mm] LMX1E-CB5-1-xxxx-C100 LMCB5 91 364 2,3 180 5 100 178 80 LMX1E-CB6-1-xxxx-C100 LMCB6 109 436 3,3 210 5 100 178 80 LMX1E-CB7-1-xxxx-C100 LMCB7 128 512 3,8 240 5 100 178 80 LMX1E-CB8-1-xxxx-C100 LMCB8 145 580 4,5 280 5 100 178 80 LMX1E-CB5-1-xxxx-C1A0 LMCB5 91 364 2,5 180 5 100 178 95/105 1) LMX1E-CB6-1-xxxx-C1A0 LMCB6 109 436 3,5 210 5 100 178 95/105 1) LMX1E-CB7-1-xxxx-C1A0 LMCB7 128 512 4,0 240 5 100 178 95/105 1) LMX1E-CB8-1-xxxx-C1A0 LMCB8 145 580 4,7 280 5 100 178 95/105 1) Fc = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 100 C Wicklungstemperatur Fp = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Linearmotoren 1) Siehe Maßtabellen Seite 19 bis Seite v max [m/s] a max [m/s2] Maß A [mm] Maß B [mm] 14

3.2.1 Linearmotorachsen LMX1E ohne Abdeckung Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1E-CB5 ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 60 180 Verfahrweg 35 110 80 () 180 158 36,5 11 4-M6 1,0P 12 tief Endschalter 105 (89) 178 (68) 2 2-Ø6H7 durchg. 2 (N+1)-Ø6,5 durchg.; Ø11 8,5 tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.3 Abmessungen und Gewichte LMX1E-CB5 ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 1.300 1.400 1.500 L1 [mm] 35 85 60 35 85 60 35 85 60 35 85 60 N 1 1) 2 3 4 4 5 6 6 7 8 8 9 Gewicht [kg] 18 26 30 34 38 42 46 50 54 58 62 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 15

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1E-CB6 ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 11 60 210 35 2 70=140 Verfahrweg 80 180 158 36,5 () 105 178 Endschalter 6-M6 1,0P 12tief (68) 2 2-Ø6H7 durchg. 2 (N+1)-Ø6,5 durchg., Ø11 8,5tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.4 Abmessungen und Gewichte LMX1E-CB6 ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 430 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 L1 [mm] 50 25 50 25 50 25 50 25 N 1 1) 3 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 Gewicht [kg] 19 23 27 31 35 39 43 47 51 55 59 63 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 16

Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1E-CB7 ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 11 60 240 15 3 70=210 Verfahrweg 80 36,5 () 180 158 8-M6 1,0P 12tief Endschalter 105 (89) 178 (68) 2 2-Ø6H7 durchg. 2 (N+1)-Ø6,5 durchg.; Ø11 8,5tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.5 Abmessungen und Gewichte LMX1E-CB7 ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 460 560 660 760 860 960 1.060 1.160 1.260 1.360 1.460 1.560 L1 [mm] 65 40 90 65 40 90 65 40 90 65 40 90 N 1 1) 3 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 Gewicht [kg] 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60 64 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 17

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1E-CB8 ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 11 60 280 Verfahrweg 35 3 70=210 80 36,5 () 180 158 8-M6 1,0P 10 tief Endschalter 105 (89) 178 (68) 2 2-Ø6H7 durchg. 2 (N+1)-Ø6,5 durchg.; Ø11 8,5tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.6 Abmessungen und Gewichte LMX1E-CB8 ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 1.300 1.400 1.500 1.600 L1 [mm] 85 60 35 85 60 35 85 60 35 85 60 35 N 1 1) 3 4 4 5 6 6 7 8 8 9 10 Gewicht [kg] 21 25 29 33 37 41 45 49 53 57 61 65 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 18

3.2.2 Linearmotorachsen LMX1E mit Abdeckung Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1E-CB5 mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 11 60 180 Verfahrweg 35 110 H 36,5 () 180 158 4-M6 1,0P 12tief Endschalter 105 (89) 178 (68) 2 2-Ø6H7 durchg. 2 (N+1)-Ø6,5 durchg.; Ø11 8,5tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.7 Abmessungen und Gewichte LMX1E-CB5 mit Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 1.300 1.400 1.500 L1 [mm] 35 85 60 35 85 60 35 85 60 35 85 60 N 1 1) 2 3 4 4 5 6 6 7 8 8 9 Gewicht [kg] 19 23 27 31 35 39 43 47 51 55 59 63 H [mm] 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 105 105 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 19

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1E-CB6 mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 11 60 210 Verfahrweg 35 2 70=140 H 36,5 () 180 158 6-M6 1,0P 12tief Endschalter 105 (89) 178 (68) 2 2-Ø6H7 durchg. 2 (N+1)-Ø6,5 durchg.; Ø11 8,5tief 15 L1 N 150 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.8 Abmessungen und Gewichte LMX1E-CB6 mit Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 430 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 L1 [mm] 50 25 50 25 50 25 50 25 N 1 1) 3 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 Gewicht [kg] 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60 64 H [mm] 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 105 105 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 20

Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1E-CB7 mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 11 60 240 Verfahrweg 15 3 70=210 H 36,5 () 180 158 8-M6 1,0P 12tief 105 (89) 178 Endschalter (68) 2 2-Ø6H7 durchg. 2 (N+1)-Ø6,5 durchg.; Ø11 8,5tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.9 Abmessungen und Gewichte LMX1E-CB7 mit Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 460 560 660 760 860 960 1.060 1.160 1.260 1.360 1.460 1.560 L1 [mm] 65 40 90 65 40 90 65 40 90 65 40 90 N 1 1) 3 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 Gewicht [kg] 21 25 29 33 37 41 45 49 53 57 61 65 H [mm] 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 105 105 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 21

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1E-CB8 mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 60 280 Verfahrweg 35 3 70=210 H 11 36,5 () 180 158 8-M6 1,0P 10tief Endschalter 105 (89) 178 (68) 2 2-Ø6H7 durchg. 2 (N+1)-Ø6,5 durchg.; Ø11 8,5tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.10 Abmessungen und Gewichte LMX1E-CB8 mit Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 1.300 1.400 1.500 1.600 L1 [mm] 85 60 35 85 60 35 85 60 35 85 60 35 N 1 1) 3 4 4 5 6 6 7 8 8 9 10 Gewicht [kg] 26 30 34 38 42 46 50 54 58 62 66 H [mm] 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 105 105 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm

3.3 Linearmotorachsen LMX1L-S Linearmotorachsen LMX1L-S sind mit einem eisenbehafteten Motor ausgestattet, der hohe Dauerkräfte bietet. Sie können auch in Kreuztischen eingesetzt werden. Die Verfahrwegmessung erfolgt über optische oder magnetische Wegmess-Systeme inkremental oder absolut. Die Linearmotorachsen LMX1L-S sind sehr kompakt gebaut und mit Gesamtlängen von bis zu 4.000 mm lieferbar. Max. Beschleunigung 50 m/s2 Max. Geschwindigkeit 4 m/s Bis 4.000 mm lang C B i B B Bi D Hi D C A C A H i Energieführung vertikal Energieführung horizontal Tabelle 3.11 Abmessungen Energieführung Ausrichtung Energieführung C [mm] D [mm] Innenmaße Energieführung B i H i [mm] Vertikal 115 3 68 21 Horizontal 89 2 68 21 Tabelle 3.12 Technische Daten Linearmotorachsen LMX1E Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg [mm] Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] Länge des Verfahrschlittens [mm] LMX1L-S23-1-xxxx-D100 LMS23 240 480 7,5 200 4,0 50 178 90 LMX1L-S27-1-xxxx-D100 LMS27 382 764 9,5 280 4,0 50 178 90 LMX1L-S37-1-xxxx-D100 LMS37 535 1.070 12,0 280 3,5 1) 50 202 95 LMX1L-S37L-1-xxxx-D100 LMS37L 535 1.070 12,0 280 4,0 50 202 95 LMX1L-S47-1-xxxx-D100 LMS47 733 1.466 18,0 280 2,5 1) 50 232 95 LMX1L-S47L-1-xxxx-D100 LMS47L 733 1.466 18,0 280 4,0 50 232 95 LMX1L-S57-1-xxxx-D100 LMS57 879 1.8,0 280 2,0 1) 50 252 100 LMX1L-S57L-1-xxxx-D100 LMS57L 879 1.8,0 280 4,0 50 252 100 LMX1L-S67-1-xxxx-D100 LMS67 1.069 2.138 26,0 280 2,0 1) 50 272 100 LMX1L-S67L-1-xxxx-D100 LMS67L 1.069 2.138 26,0 280 4,0 50 272 100 LMX1L-S23-1-xxxx-D1A0 LMS23 240 480 7,8 200 4,0 50 178 102/111 2) LMX1L-S27-1-xxxx-D1A0 LMS27 382 764 9,9 280 4,0 50 178 102/111 2) LMX1L-S37-1-xxxx-D1A0 LMS37 535 1.070 12,5 280 3,5 1) 50 202 107/116 2) LMX1L-S37L-1-xxxx-D1A0 LMS37L 535 1.070 12,5 280 4,0 50 202 107/116 2) LMX1L-S47-1-xxxx-D1A0 LMS47 733 1.466 18,8 280 2,5 1) 50 232 107/116 2) LMX1L-S47L-1-xxxx-D1A0 LMS47L 733 1.466 18,8 280 4,0 50 232 107/116 2) LMX1L-S57-1-xxxx-D1A0 LMS57 879 1.8 23,0 280 2,0 1) 50 252 112/121 2) LMX1L-S57L-1-xxxx-D1A0 LMS57L 879 1.8 23,0 280 4,0 50 252 112/121 2) LMX1L-S67-1-xxxx-D1A0 LMS67 1.069 2.138 27,0 280 2,0 1) 50 272 112/121 2) LMX1L-S67L-1-xxxx-D1A0 LMS67L 1.069 2.138 27,0 280 4,0 50 272 112/121 2) Fc = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 120 C Wicklungstemperatur; Fp = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Linearmotoren 1) Begrenzt durch Gegen-EMK der Motorwicklung; 2) Siehe Maßtabellen Seite 30 bis Seite 35 v max [m/s] a max [m/s2] Maß A [mm] Maß B [mm] PS-07-0-DE-1607-K 23

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen 3.3.1 Linearmotorachsen LMX1L-S ohne Abdeckung Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1L-S23 ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 200 Verfahrweg 8 30 2 70=140 184 90 180 158 93 11 () 178 42,5 Endschalter 4-Ø9H7 2,1tief; M6 1P 12tief 92,5 6-M6 1P 12tief (78) 2 2-Ø6H7 durchg. 2 (N+1)-Ø6,5 durchg.; Ø11 8,5tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.13 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S23 ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 450 550 650 0 850 950 1.050 1.150 1.250 1.350 1.450 1.550 L1 [mm] 60 35 85 60 35 85 60 35 85 60 35 85 N 1 1) 3 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 Gewicht [kg] 19 21 23 25 27 29 31 33 35 36 39 40 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 24

Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1L-S27 ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 280 Verfahrweg 35 3 70=210 48 184 90 180 158 42,5 11 () 93 178 8-M6 1P 12tief Endschalter 92,5 4-Ø9H7 2,1tief; M6 1P 12tief (78) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø6,5durchg.; Ø 11 8,5tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.14 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S27 ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 1.630 L1 [mm] 100 50 25 50 25 50 25 50 N 1 1) 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 10 Gewicht [kg] 23 26 28 29 32 34 36 38 39 42 43 45 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 25

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachsen LMX1L-S37 und LMX1L-S37L ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 280 Verfahrweg 11 35 48 3 70=210 184 95 204 () 202 43,5 115 182 4-Ø9H7 2,1tief; M6 1P 12tief Endschalter 92,5 8-M8 1,25P 16tief (80) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø9durchg.; Ø14 10tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.15 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S37 und LMX1L-S37L ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 1.630 L1 [mm] 100 50 25 50 25 50 25 50 N 1 1) 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 10 Gewicht [kg] 27 29 32 34 37 39 41 44 46 49 51 54 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 26

Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachsen LMX1L-S47 und LMX1L-S47L ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 11 280 35 3 70=210 48 184 Verfahrweg 95 43,5 () 234 212 145 232 4-Ø9H7 2,1tief; M6 1P 12tief Endschalter 92,5 8-M8 1,25P 16tief (78) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø9durchg.; Ø14 10tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.16 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S47 und LMX1L-S47L ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 1.630 L1 [mm] 100 50 25 50 25 50 25 50 N 1 1) 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 10 Gewicht [kg] 37 39 42 45 48 51 54 57 60 63 65 69 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 27

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachsen LMX1L-S57 und LMX1L-S57L ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 11 280 35 3 70=210 Verfahrweg 100 43,5 254 232 () 165 252 8-M8 1,25P 16tief Endschalter 92,5 (78) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø9durchg.; Ø14 10tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.17 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S57 und LMX1L-S57L ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 1.630 L1 [mm] 100 50 25 50 25 50 25 50 N 1 1) 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 10 Gewicht [kg] 41 43 47 50 53 57 60 63 66 70 72 76 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 28

Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachsen LMX1L-S67 und LMX1L-S67L ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 11 280 35 3 70=210 Verfahrweg 100 185 272 43,5 () 274 252 8-M8 1,25P 16tief Endschalter 92,5 (78) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø9durchg.; Ø14 10tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.18 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S67 und LMX1L-S67L ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 1.630 L1 [mm] 100 50 25 50 25 50 25 50 N 1 1) 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 10 Gewicht [kg] 44 47 51 54 58 62 65 69 72 76 79 83 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 29

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen 3.3.2 Linearmotorachsen LMX1L-S mit Abdeckung Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1L-S23 mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 200 Verfahrweg 8 30 2 70=140 184 H 180 158 93 178 42,5 11 () 4-Ø9H7 2,1tief; M6 1P 12tief Endschalter 92,5 6-M6 1P 12tief (78) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø6,5durchg.; Ø11 8,5tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.19 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S23 mit Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 450 550 650 0 850 950 1.050 1.150 1.250 1.350 1.450 1.550 L1 [mm] 60 35 85 60 35 85 60 35 85 60 35 85 N 1 1) 3 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 Gewicht [kg] 21 23 24 27 29 30 33 34 37 38 40 42 H [mm] 102 102 102 102 102 102 102 102 102 102 111 111 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 30

Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1L-S27 mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 11 280 35 3 70=210 48 184 Verfahrweg H 180 158 93 178 42,5 () 8-M6 1P 12tief Endschalter 92,5 4-Ø9H7 2,1tief; M6 1P 12tief (78) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø6,5durchg.; Ø11 8,5tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.20 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S27 mit Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 1.630 L1 [mm] 100 50 25 50 25 50 25 50 N 1 1) 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 10 Gewicht [kg] 24 26 28 29 32 34 36 38 39 42 43 45 H [mm] 102 102 102 102 102 102 102 102 102 102 111 111 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 31

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachsen LMX1L-S37 und LMX1L-S37L mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 280 Verfahrweg 11 35 48 3 70=210 184 H 204 43,5 182 115 202 () 4-Ø9H7 2,1tief; M6 1P 12tief Endschalter 92,5 8-M8 1,25P 16tief (78) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø9durchg.; Ø14 10tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.21 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S37 und LMX1L-S37L mit Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 1.630 L1 [mm] 100 50 25 50 25 50 25 50 N 1 1) 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 10 Gewicht [kg] 28 31 33 36 38 41 43 46 48 51 53 56 H [mm] 107 107 107 107 107 107 107 107 107 107 116 116 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 32

Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1L-S47 und LMX1L-S47L mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 280 Verfahrweg 11 35 48 3 70=210 184 H 43,5 234 145 232 () 212 4-Ø9H7 2,1tief;M6 1P 12tief Endschalter 92,5 8-M8 1,25P 16tief (78) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø9durchg.; Ø14 10tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3. Abmessungen und Gewichte LMX1L-S47 und LMX1L-S47L mit Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 1.630 L1 [mm] 100 50 25 50 25 50 25 50 N 1 1) 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 10 Gewicht [kg] 38 41 44 47 50 53 56 59 62 65 68 71 H [mm] 107 107 107 107 107 107 107 107 107 107 116 116 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 33

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachsen LMX1L-S57 und LMX1L-S57L mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 280 35 3 70=210 Verfahrweg H 254 43,5 165 252 () 232 11 8-M8 1,25P 16tief Endschalter 92,5 (78) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø9durchg.; Ø14 10tief 150 L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.23 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S57 und LMX1L-S57L mit Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 1.630 L1 [mm] 100 50 25 50 25 50 25 50 N 1 1) 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 10 Gewicht [kg] 42 45 49 51 55 59 62 65 68 72 79 H [mm] 112 112 112 112 112 112 112 112 112 112 121 121 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 34

Abmessungen und Gewichte der Linearmotorachse LMX1L-S67 und LMX1L-S67L mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung 280 Verfahrweg 35 3 70=210 H 274 43,5 185 272 () 252 11 8-M8 1,25P 16tief Endschalter 92,5 (78) 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø9durchg.; Ø14 10tief L1 N 150 15 L-30 L Alle Angaben in mm Tabelle 3.24 Abmessungen und Gewichte LMX1L-S67 und LMX1L-S67L mit Abdeckung Verfahrweg [mm] 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1.000 1.100 1.200 Gesamtlänge L [mm] 530 630 730 830 930 1.030 1.130 1.230 1.330 1.430 1.530 1.630 L1 [mm] 100 50 25 50 25 50 25 50 N 1 1) 3 4 5 5 6 7 7 8 9 9 10 Gewicht [kg] 46 49 53 56 60 64 67 71 74 79 82 86 H [mm] 112 112 112 112 112 112 112 112 112 112 121 121 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 35

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen 3.4 Highspeed-Linearmotorachse LMV Mit den Zielen kompakter, leichter, hochdynamisch wurde die neue Generation der LMV-Linearmotorachsen für den Bereich kleiner bis mittlerer Lasten entwickelt. Dank stark reduzierter bewegter Masse und neuer Linearmotoren der LMSA-Baureihe entstand eine hochdynamische Positionierachse, die sowohl bei horizontalen also auch bei vertikalen Anwendungen ihre Vorteile ausspielt. Verglichen mit anderen Linearmotorachsen zeichnet sich die HIWIN-Linearmotorachse LMV durch höchste mechanische Stabilität bei gleichzeitig kompakter und gewichtsoptimierter Bauform aus. Die Profilschienenführungen der QE-Baureihe mit der bewährten SynchMotion -Technologie sind optimiert auf hohen Gleichlauf, hohe Geschwindigkeit und Beschleunigung, minimale Geräuschentwicklung sowie stark verlängerte Nachschmierintervalle. Für beste dynamische Eigenschaften sorgt in Vertikalanwendungen der extrem kompakte und nahezu verschleißfreie Gewichtsausgleich über eine magnetische Konstantkraftfeder. Vorteile der LMV-Linearmotorachse Hochdynamische Positionierachse, horizontal oder vertikal Wiederholgenauigkeit 0,005 mm mit absolutem Wegmess-System Kompakter, spielfreier Aufbau Kürzeste Zykluszeiten Höchste mechanische Steifigkeit Unempfindlich gegenüber Verschmutzung Höchste Prozesssicherheit und Standzeiten dank verschleißfreiem Antrieb Tabelle 3.25 Spezifikationen Linearmotorachse LMV1L-SA11 Hub [mm] 50 180 300 Max. Beschleunigung [m/s2] 50 Max. Geschwindigkeit [m/s] 2,5 Max. Nutzlast [kg] 3 30 1) Motor LMSA11 Dauerkraft [N] 103 Spitzenkraft [N] 289 Wiederholgenauigkeit [mm] 0,005 2) Profilschiene QE15 Wegmess-System Absolut magnetisch BISS-C; absolut magnetisch HIPERFACE; inkrementell magnetisch Klemmung (optional) Ja Gewichtsausgleich (optional) Konstantkraftfeder Konstantkraftfeder, Pneumatikzylinder Energiekette (optional) Ja 1) Mit pneumatischem Gewichtsausgleich 2) Mit absolutem Wegmess-System 36

3.4.1 Abmessungen Linearmotorachse LMV 130 100 50 15 50 120,5 140 M8 16 (6 ) M8 15 (5 ) Optionale Konstantkraftfeder 243 + Hub 203 80 165 47,5 40 31,5 77 15 Alle Angaben in mm PS-07-0-DE-1607-K 37

Linearmotor-Systeme Einzel-Linearmotorachsen 3.5 Linearmotorachsen LMH1L Die Profilschienenführungen und der Linearmotor sind bei der LMH-Achse in das Aluminium-Profil integriert. Dies ermöglicht einen sehr kompakten Aufbau. Die Linearmotorachsen LMH1L sind in zwei Profilbreiten von 160 und 200 mm lieferbar. Durch die im Profil angebrachten T-Nuten kann die LMH-Achse sehr flexibel montiert und mit kundenspezifischen Verfahrwegen geliefert werden. 3.5.1 LMH1L-S1 Die mit Linearmotoren bestückte Portalachse LMH1L-S1 ist konzipiert als Komplettachse mit Verfahrwegen bis 30 m. Durch die Linearmotortechnologie können mehrere Schlitten unabhängig voneinander positioniert werden. Die Wegmessung erfolgt inkremental und erlaubt Wiederholgenauigkeiten bis 0,01 mm. Optional ist ein absolut messendes System möglich. Max. Beschleunigung 50 m/s2 Max. Geschwindigkeit 4 m/s Bis 30 m Verfahrweg Anschlussmaße Linearmotorachse LMH1L-S1 Montagehinweise: Die Befestigung der Achse am Maschinenbett erfolgt über T-Nuten. Die Kundenmechanik wird ebenfalls über T-Nuten am Verfahrschlitten fixiert. [1] [2] [3] [4] 130 90 160 80 106 [5] [6] [7] [8] [1] Verfahrschlitten (Forcer) [2] Linearmotor [3] Magnetbahn (Stator) [4] Trägerprofil [5] Für M8 [6] Profilschienenführung [7] Für M6 [8] Für M8 C B i D Hi (14) 7 D Bi C Energieführung vertikal C Energieführung horizontal H i Tabelle 3.26 Abmessungen Energieführung Ausrichtung Energieführung C [mm] D [mm] Innenmaße Energieführung B i H i [mm] Vertikal 110 280 57 25 Horizontal 127 305 57 25 Tabelle 3.27 Technische Daten Linearmotorachsen LMH1L-S1 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg [mm] Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] Länge des Verfahrschlittens [mm] v max [m/s] a max [m/s2] LMH1L-S13-1-xxxx-C000 LMS13 203 406 7 251 4 50 20 LMH1L-S17-1-xxxx-C000 LMS17 8 456 10 360 4 50 20 LMH1L-S17D-1-xxxx-C000 LMS17D 456 912 20 601 4 50 20 Fc = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 120 C Wicklungstemperatur Fp = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Linearmotoren Masse des Trägerprofils [kg/m] 38

3.5.2 LMH1L-S2 Die mit Linearmotoren bestückte Portalachse LMH1L-S2 ist konzipiert als Komplettachse mit Verfahrwegen bis 30 m. Durch die Linearmotortechnologie können mehrere Schlitten unabhängig voneinander positioniert werden. Die Wegmessung erfolgt inkremental und erlaubt Wiederholgenauigkeiten bis 0,01 mm. Optional ist ein absolut messendes System möglich. Max. Beschleunigung 50 m/s2 Max. Geschwindigkeit 4 m/s Bis 30 m Verfahrweg Anschlussmaße Linearmotorachse LMH1L-S1 Montagehinweise: Die Befestigung der Achse am Maschinenbett erfolgt über T-Nuten. Die Kundenmechanik wird ebenfalls über T-Nuten am Verfahrschlitten fixiert. [1] [2] [3] [4] 160 140 200 100 129 [5] [6] [7] [8] [1] Verfahrschlitten (Forcer) [2] Linearmotor [3] Magnetbahn (Stator) [4] Trägerprofil [5] Für M10 [6] Profilschienenführung [7] Für M8 [8] Für M10 C B i Hi D D Bi C C H i Energieführung vertikal Energieführung horizontal Tabelle 3.28 Abmessungen Energieführung Ausrichtung Energieführung C [mm] D [mm] Innenmaße Energieführung B i H i [mm] Vertikal 110 300 57 25 Horizontal 128 305 57 25 Tabelle 3.29 Technische Daten Linearmotorachsen LMH1L-S1 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg [mm] Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] Länge des Verfahrschlittens [mm] v max [m/s] a max [m/s2] LMH1L-S23-1-xxxx-D000 LMS23 240 480 8 250 4 50 28 LMH1L-S27-1-xxxx-D000 LMS27 382 764 11 343 4 50 28 LMH1L-S27D-1-xxxx-D000 LMS27D 764 1.528 600 4 50 28 Fc = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 120 C Wicklungstemperatur Fp = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Linearmotoren Masse des Trägerprofils [kg/m] PS-07-0-DE-1607-K 39

Linearmotor-Systeme Kreuztische 4. Kreuztische Die Linearmotorachsen der LMX-Reihe lassen sich alle zu Kreuztischen kombinieren. Am Aufbau der Bestellnummer ist erkennbar, dass praktisch jede Kombination der LMX-Achsen möglich ist. In Abschnitt 4.2 wird ein Kreuztisch mit LMX2E-Achsen vorgestellt. Abschnitt 4.3 zeigt einen Kreuztisch mit LMX2L-Achsen. 4.1 Bestellcode für Kreuztische LM X 2 L S23 S27 232 280 A 1 XXX Linearmotorachse Achsenausführung: X: Horizontalachse Anzahl der Achsen: 2: Zwei Achsen Achsprofil: L: Eisenbehaftete Motoren (LMS) E: Eisenlose Motoren (LMC) C: Kundenspezifisch Motortyp der oberen Achse: Sxxxx: Eisenbehafteter Linearmotor Cxxx: Eisenloser Linearmotor Motortyp der unteren Achse: Sxxxx: Eisenbehafteter Linearmotor Cxxx: Eisenloser Linearmotor Verfahrlänge der oberen Achse [mm] Verfahrlänge der unteren Achse [mm] Auftragsnummer der Zeichnung, mehrere Forcer, Hall-Sensor, Gewichtsausgleich, Bremse, besondere Montagebohrungen Endschalter: 0: Kein 1: Induktiv, PNP (Standard) 2: Optisch, NPN Wegmess-System: A: Optisch, Periode 40 μm, analog 1 V SS sin/cos C: HIWIN-MAGIC: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V SS sin/cos D: HIWIN-MAGIC-PG: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V SS sin/cos Magnetband integriert in Führungsschiene X: Magnetisch, absolut mit BiSS-C-Schnittstelle Magnetisch, absolut mit HIPERFACE-Schnittstelle Optisch, absolut, gekapselt mit EnDAT-Schnittstelle Optisch, absolut, gekapselt mit DRIVE-CLiQ-Schnittstelle Optisch, absolut, gekapselt mit FANUC-Schnittstelle Optisch, digital TTL, Auflösung 1 μm 40

4.2 Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 Ausgestattet mit eisenlosen Linearmotoren Geringe Trägheit und hohe Beschleunigung Kein Rastmoment Besonders steifer Aluminiumrahmen mit geringer Bauhöhe Einfache Montage Tabelle 4.1 Technische Daten Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg [mm] Orthogonalität [arcsec] Wiederholgenauigkeit [mm] v max [m/s] a max [m/s2] Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] LMX2E-CB5 CB8-xxxx-xxxx-A1 ± 10 ± 0,002 5 100 obere Achse: LMCB5 91 364 2,5 untere Achse: LMCB8 145 580 Masse obere Achse + 4,0 Fc = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 100 C Wicklungstemperatur Fp = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Linearmotoren PS-07-0-DE-1607-K 41

Linearmotor-Systeme Kreuztische 4.2.1 Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 ohne Abdeckung Abmessungen und Gewichte des Kreuztisches LMX2E-CB5-CB8 ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung Y-Achse Energiekette Y-Achse Positive Bewegungsrichtung X-Achse Energiekette X-Achse 136 158 180 11 Endschalter 35 110 180 4-M6 1,0P 10tief LX ½ Verfahrweg LX/2 ½ Verfahrweg 36,5 105 L2 178 (148) LY/2 ½ Verfahrweg ½ Verfahrweg 160 (45,4) L1 N 150 15 LY-30 LY 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø6,5durchg.;Ø11 8,5tief Alle Angaben in mm Tabelle 4.2 Abmessungen und Gewichte LMX2E-CB5-CB8 ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] Gesamtlänge [mm] L1 L2 N Gewicht Verfahrschlitten Gewicht Verfahrschlitten Gewicht Kreuztisch X-Achse Y-Achse LX LY [mm] [mm] X-Achse [kg] Y-Achse [kg] gesamt [kg] 100 100 400 500 85 111 1 1) 2,5 20 44 100 200 400 600 60 111 3 2,5 20 46 200 200 500 600 60 161 3 2,5 48 100 300 400 700 35 111 4 2,5 20 48 200 300 500 700 35 161 4 2,5 50 300 300 600 700 35 211 4 2,5 24 52 100 400 400 800 85 111 4 2,5 20 50 200 400 500 800 85 161 4 2,5 52 300 400 600 800 85 211 4 2,5 24 54 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 42

4.2.2 Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 mit Abdeckung Abmessungen und Gewichte des Kreuztisches LMX2E-CB5-CB8 mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung Y-Achse Positive Bewegungsrichtung X-Achse Energiekette X-Achse LY/2 ½ Verfahrweg 136 158 180 11 ½ Verfahrweg Energiekette Y-Achse Endschalter 190 110 35 180 4-M6 1,0P 10tief LX ½ Verfahrweg LX/2 ½ Verfahrweg 36,5 105 178 (148) L2 (45,4) L1 N 150 15 LY-30 LY 2 2-Ø6H7durchg. 2 (N+1)-Ø6,5durchg.; Ø11 8,5tief Alle Angaben in mm Tabelle 4.3 Abmessungen und Gewichte LMX2E-CB5-CB8 mit Abdeckung Verfahrweg [mm] Gesamtlänge [mm] L1 L2 N Gewicht Verfahrschlitten Gewicht Verfahrschlitten Gewicht Kreuztisch X-Achse Y-Achse LX LY [mm] [mm] X-Achse [kg] Y-Achse [kg] gesamt [kg] 100 100 400 500 85 111 1 1) 2,5 20 44 100 200 400 600 60 111 3 2,5 20 46 200 200 500 600 60 161 3 2,5 48 100 300 400 700 35 111 4 2,5 20 48 200 300 500 700 35 161 4 2,5 50 300 300 600 700 35 211 4 2,5 24 52 100 400 400 800 85 111 4 2,5 20 50 200 400 500 800 85 161 4 2,5 52 300 400 600 800 85 211 4 2,5 24 54 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 43

Linearmotor-Systeme Kreuztische 4.3 Kreuztisch LMX2L-S23-S27 Ausgestattet mit eisenbehafteten Linearmotoren Höhere Vorschubkraft, hohe Beschleunigung Besonders steifer Aluminiumrahmen mit geringer Bauhöhe Einfache Montage Tabelle 4.4 Technische Daten Kreuztisch LMX2L-S23-S27 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg [mm] Orthogonalität [arcsec] Wiederholgenauigkeit [mm] v max [m/s] a max [m/s2] Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] LMX2L-S23 S27-xxxx-xxxx-A1 ± 10 ± 0,002 4 50 obere Achse: LMS23 240 480 7,5 untere Achse: LMS27 382 764 Masse obere Achse + 9,5 Fc = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 120 C Wicklungstemperatur Fp = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Linearmotoren 44

4.3.1 Kreuztisch LMX2L-S23-S27 ohne Abdeckung Abmessungen und Gewichte des Kreuztisches LMX2L-S23-S27 ohne Abdeckung Positive Bewegungsrichtung Y-Achse Positive Bewegungsrichtung X-Achse Energiekette X-Achse Energiekette Y-Achse Endschalter 30 70 70 200 6-M6 1,0P 12tief LX LX/2 ½ Verfahrweg ½ Verfahrweg 93 178 (148) 42,5 L2 136 158 180 11 LY/2 ½ Verfahrweg ½ Verfahrweg 180 2 2-Ø6H7durchg. L1 N 150 15 LY-30 (30,4) LY 2 (N+1)-Ø6,5durchg.; Ø11 8,5tief Alle Angaben in mm Tabelle 4.5 Abmessungen und Gewichte LMX2L-S23-S27 ohne Abdeckung Verfahrweg [mm] Gesamtlänge [mm] L1 L2 N Gewicht Verfahrschlitten Gewicht Verfahrschlitten Gewicht Kreuztisch X-Achse Y-Achse LX LY [mm] [mm] X-Achse [kg] Y-Achse [kg] gesamt [kg] 100 100 450 530 25 136 1 1) 7,5 48 100 200 450 630 136 3 7,5 50 200 200 550 630 186 3 7,5 24 52 100 300 450 730 50 136 4 7,5 52 200 300 550 730 50 186 4 7,5 24 54 300 300 650 730 50 236 4 7,5 26 56 100 400 450 830 25 136 5 7,5 54 200 400 550 830 25 186 5 7,5 24 56 300 400 650 830 25 236 5 7,5 26 58 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm PS-07-0-DE-1607-K 45

Linearmotor-Systeme Kreuztische/Gantry-Systeme 4.3.2 Kreuztisch LMX2L-S23-S27 mit Abdeckung Abmessungen und Gewichte des Kreuztisches LMX2L-S23-S27 mit Abdeckung Positive Bewegungsrichtung Y-Achse Energiekette Y-Achse Positive Bewegungsrichtung X-Achse Energiekette X-Achse Endschalter 30 70 70 200 6-M6 1,0P 12tief LX LX/2 ½ Verfahrweg ½ Verfahrweg 42,5 93 L2 178 (148) 136 158 180 11 LY/2 ½ Verfahrweg ½ Verfahrweg 204 2 2-Ø6H7durchg. L1 15 N 150 LY-30 (30,4) LY 2 (N+1)-Ø6,5durchg.; Ø11 8,5tief Alle Angaben in mm Tabelle 4.6 Abmessungen und Gewichte LMX2L-S23-S27 mit Abdeckung Verfahrweg [mm] Gesamtlänge [mm] L1 L2 N Gewicht Verfahrschlitten Gewicht Verfahrschlitten Gewicht Kreuztisch X-Achse Y-Achse LX LY [mm] [mm] X-Achse [kg] Y-Achse [kg] gesamt [kg] 100 100 450 530 25 136 1 1) 7,5 48 100 200 450 630 136 3 7,5 50 200 200 550 630 186 3 7,5 24 52 100 300 450 730 50 136 4 7,5 52 200 300 550 730 50 186 4 7,5 24 54 300 300 650 730 50 236 4 7,5 26 56 100 400 450 830 25 136 5 7,5 54 200 400 550 830 25 186 5 7,5 24 56 300 400 650 830 25 236 5 7,5 26 58 1) Bei Verfahrweg = 100 mm erhöht sich der Bohrungsabstand von 150 auf 300 mm 46

5. Gantry-Systeme Die standardisierten Gantry-Systeme der LMG2A-Reihe sind Systeme mit einseitigem Stützlager. Der Typ LMG2A-C hat eisenlose Linearmotoren. Der Typ LMG1A-S wird von eisenbehafteten Linearmotoren angetrieben. 5.1 Bestellcode für Gantry-Systeme LM G 2 A S13 S27 300 400 A 2 XXX Linearmotorachse Achsenausführung: G: Gantry-System Anzahl der Achsen: 2: Zwei Achsen Achsprofil: A: Typ A C: Kundenspezifisch Motortyp der oberen Achse: Sxxxx: Eisenbehafteter Linearmotor Cxxx: Eisenloser Linearmotor Motortyp der unteren Achse: Sxxxx: Eisenbehafteter Linearmotor Cxxx: Eisenloser Linearmotor Verfahrlänge der oberen Achse [mm] Verfahrlänge der unteren Achse [mm] Auftragsnummer der Zeichnung, mehrere Forcer, Hall-Sensor, Gewichtsausgleich, Bremse, besondere Montagebohrungen Endschalter: 0: Kein 1: Induktiv, PNP (Standard) 2: Optisch, NPN Wegmess-System: A: Optisch, Periode 40 μm, analog 1 V SS sin/cos C: HIWIN-MAGIC: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V SS sin/cos D: HIWIN-MAGIC-PG: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V SS sin/cos Magnetband integriert in Führungsschiene X: Magnetisch, absolut mit BiSS-C-Schnittstelle Magnetisch, absolut mit HIPERFACE-Schnittstelle Optisch, absolut, gekapselt mit EnDAT-Schnittstelle Optisch, absolut, gekapselt mit DRIVE-CLiQ-Schnittstelle Optisch, absolut, gekapselt mit FANUC-Schnittstelle Optisch, digital TTL, Auflösung 1 μm PS-07-0-DE-1607-K 47

Linearmotor-Systeme Gantry-Systeme 5.2 Gantry-System LMG2A-CB6 CC8 Ausgestattet mit eisenlosen Linearmotoren Geringe Trägheit, hohe Beschleunigung Kein Rastmoment Steife Aluminiumbrücke Einfache Montage Tabelle 5.1 Technische Daten Gantry-System LMG2A-CB6 CC8 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg [mm] Orthogonalität [arcsec] Wiederholgenauigkeit [mm] v max [m/s] a max [m/s2] Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] LMG2A-CB6 CC8-xxxx-xxxx-A1 ± 10 ± 0,002/0,004 5 100 obere Achse: LMCB6 109 436 3,0 untere Achse: LMCC8 145 580 Masse obere Achse + 3,5 Fc = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 100 C Wicklungstemperatur Fp = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Linearmotoren 48

Abmessungen und Gewicht des Gantry-Systems LMG2A-CB6 CC8 280 ½ Verfahrweg Endschalter Positive Bewegungsrichtung X-Achse Positive Bewegungsrichtung Y-Achse ½ Verfahrweg 59,5 Endschalter ½ Verfahrweg 180 ½ Verfahrweg 20 2 70=140 45 90 6-M6 1P 12tief 189 198 115,5 168,5 2-Ø6H7 10tief 427 30 123 W3 2 W3 140 150 W1 150 W 77 L1 200 N 200 (L1) L (W2) 2 (N+1)-Ø11durchg.; Ø18 12tief 3 (N+1)-M6 1P 12tief Alle Angaben in mm Tabelle 5.2 Abmessungen und Gewichte LMG2A-CB6 CC8 (X-Achse, oben) Verfahrweg [mm] W [mm] W1 [mm] W2 [mm] W3 [mm] Gewicht Verfahrschlitten [kg] Gesamtgewicht X-Achse [kg] 200 740 440 817 110 5 25 300 840 540 917 135 5 29 400 940 640 1.017 160 5 33 500 1.040 740 1.117 185 5 37 600 1.140 840 1.217 210 5 41 Tabelle 5.3 Abmessungen und Gewichte LMG2A-CB6 CC8 (Y-Achse, unten) Verfahrweg [mm] N L [mm] L1 [mm] Gewicht Verfahrschlitten [kg] 200 2 600 100 Gesamtgewicht X-Achse + 6 300 3 700 50 Gesamtgewicht X-Achse + 6 400 3 800 100 Gesamtgewicht X-Achse + 6 500 4 900 50 Gesamtgewicht X-Achse + 6 600 4 1.000 100 Gesamtgewicht X-Achse + 6 PS-07-0-DE-1607-K 49

Linearmotor-Systeme Gantry-Systeme 5.3 Gantry-System LMG2A-S13 S27 Ausgestattet mit eisenbehafteten Linearmotoren Höhere Vorschubkraft, hohe Beschleunigung Geringeres Rastmoment, gleichmäßige Geschwindigkeit Steife Aluminiumbrücke Einfache Montage Inklusive massiver Aluminiumplatte Tabelle 5.4 Technische Daten Gantry-System LMG2A-S13 S27 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg [mm] Orthogonalität [arcsec] Wiederholgenauigkeit [mm] v max [m/s] a max [m/s2] Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] LMG2A-S13 S27-xxxx-xxxx-A1 ± 10 ± 0,002/0,004 4 50 obere Achse: LMS13 203 406 5,0 untere Achse: LMS27 382 382 Masse obere Achse + 7 Fc = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 120 C Wicklungstemperatur Fp = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Linearmotoren 50

Abmessungen und Gewicht des Gantry-Systems LMG2A-S13 S27 ½ Verfahrweg ½ Verfahrweg 280 43,8 Positive Bewegungsrichtung X-Achse Endschalter Positive Bewegungsrichtung Y-Achse ½ Verfahrweg 200 ½ Verfahrweg 30 2 70=140 55 90 6-M6 1P 12tief 189 171,5 24 115 168,5 2-Ø6H7 10tief 410 30 123 W3 2 W3 176 150 W1 150 W (W2) 102 L1 200 N 200 (L1) L 3 (N+1)-M6 1P 12tief 2 (N+1)-Ø11durchg.; Ø18 12tief Alle Angaben in mm Tabelle 5.5 Abmessungen und Gewichte LMG2A-S13 S27 (X-Achse, oben) Verfahrweg [mm] W [mm] W1 [mm] W2 [mm] W3 [mm] Gewicht Verfahrschlitten [kg] Gesamtgewicht X-Achse [kg] 200 770 470 847 117,5 7 24 300 870 570 947 142,5 7 27 400 970 670 1.047 167,5 7 30 500 1.070 770 1.147 192,5 7 33 600 1.170 870 1.247 217,5 7 36 Tabelle 5.6 Abmessungen und Gewichte LMG2A-S13 S27 (Y-Achse, unten) Verfahrweg [mm] N L [mm] L1 [mm] Gewicht Verfahrschlitten [kg] 200 2 600 100 Gesamtgewicht X-Achse + 8 300 3 700 50 Gesamtgewicht X-Achse + 8 400 3 800 100 Gesamtgewicht X-Achse + 8 500 4 900 50 Gesamtgewicht X-Achse + 8 600 4 1.000 100 Gesamtgewicht X-Achse + 8 PS-07-0-DE-1607-K 51

Linearmotor-Systeme Kundenspezifische Positioniersysteme 6. Kundenspezifische Positioniersysteme Die in diesem Katalog vorgestellten standardisierten Positionierachsen ermöglichen die Realisierung vielfältiger Positionieraufgaben. Für Positionieraufgaben, die nicht mit Standardachsen lösbar sind, stehen Applikationsingenieure bereit, eine optimierte Lösung zu erarbeiten. Auf den folgenden Seiten sind einige kundenspezifische Lösungen aufgeführt. 6.1 Beispiele Wirtschaftliche Montage und Inspektion XY-Gantry-Systeme machen viele Anwendungen besonders wirtschaftlich. Aufbau der Gantry-Achsen aus Standardkomponenten. Standardachsen der LMX1L-Reihe Wiederholgenauigkeit ± 2 μm Lieferung mit Maschinenbett Mikro- und Makroformen Fräsen und Mikrostrukturieren mit spanenden Werkzeugen und Lasern sind Einsatzgebiete, bei denen Gantry-Systeme Vorteile ausspielen können. Und auch unter wirtschaftlichen Gesichtspunkten können sie überzeugen. Eisenlose Motoren LMC Wiederholgenauigkeit ± 2 μm Bewährte Technologie mit hohen Stückzahlen Wafer-Qualitätskontrolle auf höchstem Niveau Hochpräzisions-Kreuztische mit Luftlager sind die Voraussetzung für eine Oberflächenkontrolle, die auch den kleinsten Fehler findet. Zum Beispiel in der Waferproduktion für die Elektronik- und Chip-Industrie. Ebenheit ± 2 μm Wiederholgenauigkeit ± 0,5 μm Genauigkeit ± 2 μm Auflösung 5 nm 52

Mikrosystemtechnik und Waferbearbeitung Absolute Genauigkeit und die Eignung für Reinraumbedingungen sind die Voraussetzung für jeden Antrieb in der Mikrosystemtechnik und der Waferbearbeitung. Linearmotor-Kreuztische sind für solche Aufgaben prädestiniert. Verfahrweg 200 200 mm, optional 300 300 mm Ebenheit ± 4 μm über den gesamten Verfahrweg Wiederholgenauigkeit ± 1 μm über beide Achsen Genauigkeit ± 4 μm über beide Achsen Reinraumtauglich Klasse 100, optional Klasse 10 Optional vakuumtauglich bis 10 3 mbar Überblick für Laserscanner Hoher Gleichlauf und lange Lebensdauer sind für optische Inspektionssysteme wie Laserscanner ein Muss. Linearmotorachsen mit Luftlager erfüllen diese Bedingungen. Keine Reibung, da Luftlager Keine Rastkraft, da eisenlose Linearmotoren Verfahrweg bis 1.500 mm Photovoltaik-Panel-Montage Hochdynamische Positionierung der Siliziumzellen 24 Stunden pro Tag. Lange Standzeiten, da auch Vertikalachsen mit Linearmotoren ausgestattet Vertikalachsen mit einfach einstellbarer Gewichtskompensation und notausfähigem Klemmelement Röntgeninspektion von Leiterplatten Für eine Inline-Inspektionsmaschine wurde das komplette Antriebspaket bestehend aus Achsen, Motoren, Verstärkern und Energieketten mit Leitungen geliefert. System aus eisenlosen LMC Motoren Verfahrweg 550 550 mm Wiederholgenauigkeit ± 1 μm Höchste Dynamik bei 100 kg bewegter Masse PS-07-0-DE-1607-K 53

Linearmotor-Systeme Kundenspezifische Positioniersysteme Bestückungsautomation Dynamische Bestückung von Platinen in vollautomatisierten Produktionsstraßen. Linearmotor-Gantry mit LMS-Motoren und einem KK-Modul als Z-Achse Verfahrweg 650 660 135 mm, optional mit längeren Verfahrwegen in der unteren Achse Beschleunigung 20 m/s² Ebenheit ± 20 μm Rechtwinkligkeit 0,01 Interferometrische Vermessung der Achsen Auslieferung komplett montiert im Maschinengestell Fliegende Säge Linearmotorachse ermöglicht Sägeschnitt während des Materialvorschubs. Kundenspezifisches Achssystem mit LMS47D Taktzeit der Säge ca. 1,3 s bei einer bewegten Masse von 55 kg und 1,5 m Verfahrweg. Geschwindigkeit: 3 m/s Beschleunigung: m/s² Folienvorzug Die hohe Kraftdichte bei flacher und kompakter Bauweise ermöglicht die optimale platzsparende Integration in die Produktionslinie. Zwei parallel angeordnete einsenlose LMC-Achsen Verfahrweg 300 mm Alle Komponenten inklusive Energiekette montiert auf kundenspezifischer Grundplatte 600 500 mm Laser-Trimming mit höchster Präzision Optimale Ergebnisse erfordern hohe Ebenheit und Rechtwinkligkeit über einen großen Verfahrweg. Bei der Laserbearbeitung entstehende Materialpartikel machen die Abdeckung erforderlich. Kreuztisch mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 700 0 mm Wiederholgenauigkeit ± 2 μm Ebenheit ± 0,01/300 mm Rechtwinkligkeit ± 5 arcsec 54

Dispenser Diese Applikation stellt höchste Ansprüche an die Ebenheit. Kreuztisch mit 150 250 60 mm Verfahrweg Hohe Steifigkeit der unteren Achse durch Stahlprofil Obere Achse durch Aluprofil gegen Durchbiegung versteift Erstellung der Kalibriertabelle zur Kompensation des Ebenheitsfehlers Ebenheit: ± 10/300 mm Wiederholgenauigkeit: 5 μm Laserscriping Die hohe geforderte Genauigkeit wird durch den Einsatz von Glasmaßstäben erreicht. Kundenspezifisches System mit LMC-Motoren Verfahrweg 400 110 mm Die untere Achse positioniert das Werkstück, die obere Achse verfährt den Laser Wiederholgenauigkeit ± 1 μm Rechtwinkligkeit 8 μm Ebenheit ± 5 μm Laserbelichtung Hervorragende Ergebnisse werden durch den hohen Gleichlauf der Achse erst möglich. 4 Schlitten auf einer Achse Hoher Gleichlauf durch Einsatz von speziellen Profilschienenführungen Optimale Anpassung des Achsprofils an das vorgegebene Maschinengestell PS-07-0-DE-1607-K 55

Linearmotor-Systeme Notizen 56

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Linearmotor-Systeme Notizen 58

Profilschienenführungen Kugelgewindetriebe Linearmotor-Systeme Linearachsen Elektrohubzylinder Roboter Linearmotor- Komponenten Rundtische Antriebsverstärker und Servomotoren Deutschland HIWIN GmbH Brücklesbünd 2 D-77654 Offenburg Telefon +49 (0) 7 81 9 32 78-0 Fax +49 (0) 7 81 9 32 78-90 info@hiwin.de www.hiwin.de Taiwan Headquarters HIWIN Technologies Corp. No. 7, Jingke Road Taichung Precision Machinery Park Taichung 40852, Taiwan Telefon +886-4-2359-4510 Fax +886-4-2359-4420 business@hiwin.tw www.hiwin.tw Taiwan Headquarters HIWIN Mikrosystem Corp. No. 6, Jingke Central Road Taichung Precision Machinery Park Taichung 40852, Taiwan Telefon +886-4-2355-0110 Fax +886-4-2355-0123 business@hiwinmikro.tw www.hiwinmikro.tw Frankreich HIWIN France s.a.r.l. 20 Rue du Vieux Bourg F-61370 Echauffour Telefon +33 (2) 33 34 11 15 Fax +33 (2) 33 34 73 79 info@hiwin.fr www.hiwin.fr Italien HIWIN Srl Via Pitagora 4 I-20861 Brugherio (MB) Telefon +39 039 287 61 68 Fax +39 039 287 43 73 info@hiwin.it www.hiwin.it Polen HIWIN GmbH ul. Puławska 405a PL-02-801 Warszawa Telefon +48 544 07 07 Fax +48 544 07 08 info@hiwin.pl www.hiwin.pl Schweiz HIWIN Schweiz GmbH Eichwiesstrasse 20 CH-8645 Jona Telefon +41 (0) 55 5 00 25 Fax +41 (0) 55 5 00 20 info@hiwin.ch www.hiwin.ch Slowakei HIWIN s.r.o., o.z.z.o. Mládežnicka 2101 SK-01701 Považská Bystrica Telefon +421 424 43 47 77 Fax +421 424 26 23 06 info@hiwin.sk www.hiwin.sk Tschechien HIWIN s.r.o. Medkova 888/11 CZ-62700 BRNO Telefon +42 05 48 528 238 Fax +42 05 48 0 3 info@hiwin.cz www.hiwin.cz Niederlande HIWIN GmbH info@hiwin.nl www.hiwin.nl Österreich HIWIN GmbH info@hiwin.at www.hiwin.at Slowenien HIWIN GmbH info@hiwin.si www.hiwin.si Ungarn HIWIN GmbH info@hiwin.hu www.hiwin.hu China HIWIN Corp. www.hiwin.cn Japan HIWIN Corp. mail@hiwin.co.jp www.hiwin.co.jp USA HIWIN Corp. info@hiwin.com www.hiwin.com Korea HIWIN Corp. www.hiwin.kr Singapur HIWIN Corp. www.hiwin.sg PS-07-0-DE-1607-K