Massendurchflussregler für Gase (MFC)

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1 Massendurchflussregler für Gase (MFC) Typ 866 kombinierbar mit Nenndurchflussbereiche von 0 ln/min bis zu 00 ln/min Hohe Mess- und Wiederholgenauigkeit Kurze usregelzeiten Schutzklasse IP6 Optional: Feldbus-Schnittstelle Typ 869 Mehrkanalregler Typ 00 /-Wege Ventil Typ /-Wege Ventil er Mass Flow Controller (MFC) Typ 866 eignet sich zur Regelung des Massendurchflusses von großen Gasmengen. er direkt im Gasstrom befindliche, thermische Inline-Sensor erreicht sehr schnelle Reaktionszeiten. Ein direktwirkendes Proportionalventil von ürkert gewährleistet als Stellglied eine hohe nsprechempfindlichkeit. er integrierte PI-Regler sorgt für exzellente Regeleigenschaften des MFC. Typ 866 kann optional auf zwei verschiedene Gase kalibriert werden, zwischen denen der enutzer umschalten kann. ls elektrische Schnittstellen stehen sowohl analoge Normsignale als auch Feldbusse zur Verfügung. er Mass Flow Controller Typ 866 eignet sich speziell für den Einsatz in rauen Umgebungen, dank geringer Verschmutzungsempfindlichkeit und hoher IP-Schutzklasse. er MFC eignet sich für eine Vielzahl an nwendungen, wie Technische aten Nenndurchflussbereich ) (Q Nenn ) 0 bis 00 l N /min ), ezugsmedium N Siehe Tabelle auf Seite, höhere urchflüsse auf nfrage Messspanne :0 ) etriebsmedien neutrale, nicht kontaminierte Gase, andere auf nfrage Kalibriermedium etriebsgas oder Luft mit Korrekturfunktion Max. etriebsdruck bis max. 0 bar, (Eingangs-/ Vordruck) abh. von der Ventilnennweite Mediumstemperatur -0 bis +70 C (-0 bis + C bei Sauerstoff) Umgebungstemperatur -0 bis + C (höhere Temperaturen auf nfrage) Genauigkeit ±,% v.m. ±0,% v.e. (nach min ufwärmzeit) (v.m. : vom Messwert; v.e. : vom Endwert) Wiederholgenauigkeit ±0,% v.e. usregelzeit (t % ) <00 ms Werkstoffe Grundblock luminium (schwarz eloxiert) oder Edelstahl Gehäuse luminium (lackiert) ichtungen FKM, EPM ) er Nenndurchfluss ist der größte kalibrierte und ausregelbare urchflusswert. er Nenndurchflussbereich gibt den ereich möglicher Nenndurchflusswerte an. ) Index N: urchflusswerte bezüglich,0 bar und 0 C, alternativ Index S: urchflusswerte bezüglich,0 bar und 0 C ) ei senkrechter Einbaulage mit urchfluss von oben nach unten beträgt die Messspanne :0 z.. rennersteuerungen, Wärmebehandlung, Metallurgie, Lebensmittelindustrie, Umwelttechnik, Materialbeschichtung, rennstoffzellentechnik, oder Prüfstände. Leitungsanschluss G /, /8, /, /, NPT /, /8, /, /, Stellglied stromlos schließend Ventil-Nennweiten 0,8 bis mm k Vs -Werte 0,0 bis,8 m /h Elektr. nschluss uchse M6, rund, 8-polig und uchse -Sub H, -polig Zusätzlich bei -PROFIUS P: -evicenet/cnopen: ei RS8 usführung nur: etriebsspannung uchse -polig oder -Sub 9-polig Stecker -polig oder -Sub 9-polig Stecker -Sub 9-polig V C Spannungstoleranz ±0% Restwelligkeit < % Leistungsaufnahme, W 7 W (je nach usführung) Schutzart IP6 (mit angeschlossenen Kabeln) bmessungen Siehe Zeichnungen S. 6 9 Gesamtmasse (eispiele), kg (l, 6 W-Ventil), kg (V, 6 W-Ventil) Einbaulage horizontal oder vertikal Leuchtdiodenanzeige Zustandsanzeige für (efault, andere Zuordnungen wählbar). Power,. Limit. Communication. Error S. /0

2 Technische aten (Forts.) Gerätevariante nalogsignal usführung Feldbus usführung RS8 usführung (nur -Sub, 9-pin) naloge Kommunikation Eingangssignal (Sollwert) Eingangsimpedanz Keine Keine usgangssignal (Istwert) Max. Strom Spannungsausgang Max. ürde Stromausgang Feldbusoption (-Sub H über ichtkappe abgedeckt), Pins für nalogeingänge/-ausgänge nicht belegt) igitale Kommunikation über dapter möglich: 0- V, 0-0 V, 0-0 m oder -0 m >0 kω (Spannung) <00 Ω (Strom) 0- V, 0-0 V, 0-0 m oder -0 m 0 m 0 Ω Keine PROFIUS-P, evicenet, CNopen Modbus RTU (via RS Schnittstelle) RS (unterstützt Modbus RTU) RS8, RS oder US RS8, RS US inäreingänge (efault, andere Funktionen wählbar) inärausgänge (efault, andere Funktionen wählbar) rei:. Start utotune. nicht zugeordnet. nicht zugeordnet Zwei Relaisausgänge. Limit (Sollwert kann nicht erreicht werden). Error (z.. Sensorbruch) elastbarkeit: max. V,, V Einen: Start utotune Ein Relaisausgang. Limit (Sollwert kann nicht erreicht werden) elastbarkeit: max. V,, V Funktionsprinzip der Messwerterfassung R R PI IS RV RT RS Nenndurchflussbereiche typischer Gase (ndere Gase auf nfrage) Gas Min. Q Nenn [l N /min] Max. Q Nenn [l N /min] cetylen 0 97 mmoniak 0 0 rgon 0 00 Kohlendioxid Luft 0 00 Methan 0 70 Propan 0 00 Sauerstoff 0 00 Stickstoff 0 00 ieser Sensor arbeitet als Heißfilmanemo meter im sogenannten CT- etriebsmodus (Constant Tem perature nemometer). abei sind zwei direkt im Medienstrom be findliche Widerstände mit präzise spezifiziertem Tem peratur koef fizienten sowie drei weitere Widerstände zu einer Messbrücke verschaltet. er erste Widerstand im Medienstrom (R T ) misst die Fluidtemperatur, der zweite, nieder ohmigere Widerstand (R S ) wird stets gerade soweit auf geheizt, dass er auf einer festen, vorgegebenen Übertemperatur zur Fluid temperatur gehalten wird. er dazu jeweils erforderliche Heizstrom ist ein Maß für die Wärmeabfuhr durch das strömende Gas und stellt die primäre Messgröße dar. Eine adäquate Strömungskonditionierung innerhalb des MFC sowie die Kalibrierung mit hoch wertigen urchflussnormalen stellen sicher, dass aus dem Primärsignal die pro Zeiteinheit durchströmende Gasmenge mit hoher Genauigkeit abgeleitet werden kann. Hinweise zur Geräteauswahl Zur optimalen uslegung des Stellgliedes im MFC (Ventilnennweite) sollten neben dem geforderten Maximaldurchfluss Q Nenn die ruckwerte unmittelbar vor und nach dem MFC (p, p ) bei diesem urchfluss Q Nenn bekannt sein. iese sind i.a. nicht identisch mit dem Ein- und usgangsdruck der gesamten nlage, weil sowohl vor als auch nach dem MFC in der Regel zusätzliche Strömungswiderstände (Rohrleitungen, zusätzliche bsperrventile, üsen etc.) vorhanden sind. Im Spezifikationsblatt (S. 0) sind stets die ruckwerte unmittelbar vor und nach dem MFC anzugeben. Falls diese nicht bekannt oder durch Messung zugänglich sind, ist eine bschätzung unter erücksichtigung der ungefähren ruckabfälle über die Strömungswiderstände vor und nach dem MFC bei Q Nenn notwendig. ie ngabe des maximal zu erwartenden Eingangsdrucks p max ist erforderlich, um die ichtschließfunktion des Stellglieds in allen etriebszuständen sicherzustellen. itte benutzen Sie für die ngaben zur Geräteauslegung das Formular auf Seite 0 und senden uns eine Kopie der nfrage mit Informationen über die pplikation. S. /0

3 estell-tabelle Zubehör rtikel estellnummer nschlussstecker/-kabel Rundstecker M6 8-pol. (Lötanschluss) Rundstecker M6 8-pol. mit m Kabel, einseitig konfektioniert Rundstecker M6 8-pol. mit 0m Kabel, einseitig konfektioniert Stecker -Sub H -pol. mit m Kabel, einseitig konfektioniert Stecker -Sub H -pol. mit 0m Kabel, einseitig konfektioniert dapterzubehör ) RS-dapter zum nschluss eines PC in Verbindung mit einem Verlängerungskabel (est.nr. 9709) 6 77 Verlängerungskabel für RS 9-pol. uchse/stecker m RS-dapter (RS8-kompatibel) US-dapter für -Sub H US-dapter für -Sub 9-pin (RS8 Version) US-nschlusskabel m dapter für manuelle usadresseinstellung (statt über SW) 667 Software MassFlowCommunicator ownload unter Feldbuszubehör PROFIUS P (-codiert) evicenet/ CNopen (-codiert) -Stecker gerade ) uchse (Kupplung) gerade ) Y-Verteiler ) T-Verteiler 98 (auf nfrage) bschluss-widerstand 90 (auf nfrage) GS-atei (PROFIUS), ES-atei (evicenet, CNopen) ownload unter ) as dapterzubehör dient der Inbetriebnahme und iagnose und ist nicht zwingend für den etrieb erforderlich. ) ie Einzelsteckverbinder, wie hier aufgeführt, eignen sich aus Platzgründen nicht für deren gleichzeitige Verwendung auf derselben Seite des Y-Verteilers. itte verwenden Sie immer mindestens ein im Handel erhältliches umspritztes Kabel. usadressadapter 667 ei Y-Verteiler P-P: VN/CN: 97 RS-dapter 6 77 RS-dapter P-P: 98 7 VN/CN: 97 6 OER bschlusswiderstand P-P: 90 (Stecker) VN/CN: auf nfrage -uchse mit Kabel -Stecker mit Kabel T-Verteiler P-P: 98 VN/CN: auf nfrage Y-Verteiler P-P: VN/CN: P-P: VN/CN: 97 6 US-dapter S. /0

4 nschlussbelegung Standard uchse -Sub H Pin elegung naloge nsteuerung Sollwerteingang + N.C. 6) usansteuerung Sollwerteingang GN N.C. Istwertausgang + N.C. inäreingang V-usgang (nur werksinterne Verw.) 6 RS Tx (direkter nschluss an PC) 7 inäreingang 8 GN (für inäreingänge) 9 nur werksintene Verw. (nicht belegen!) 0 V-usgang (nur werksinterne Verw.) V-usgang (nur werksinterne Verw.) inäreingang Istwertausgang GN N.C. RS Rx (direkter nschluss an PC) GN (für RS-Schnittstelle) 6) N.C.: not connected (nicht belegt) Hinweis: Optional Pin und bei usversion als Transmittereingang möglich ie Leitungslänge für RS/ Soll- und Istwertsignal ist auf 0m begrenzt. uchse M6 rund 8-polig Pin elegung V-Versorgung Relais Mittelkontakt Relais Mittelkontakt 6 Relais Öffner Relais Schliesser 6 V-Versorgung GN 7 Relais Schliesser 8 Relais Öffner Feldbus -SU uchse -Sub 9-polig (nur bei Feldbusausführung) Pin elegung PROFIUS P evicenet/ CNopen Schirm Schirm N.C. CN-L atenleitung Rx/Tx P (-Leitung) GN RTS N.C. (Steuersignal für Repeater) GN N.C. 6 V (nur für bschlusswiderstand) N.C. 7 N.C. CN-H atenleitung 8 Rx/Tx N (-Leitung) N.C. 9 N.C. N.C. S. /0

5 nschlussbelegung (Fortsetzung) PROFIUS P uchse -codiert (PV max. Mbaud) Pin elegung V (nur für bschlusswiderstand) Rx/Tx N (-Leitung) GN Rx/Tx P (-Leitung) N.C. Profibus evicenet/ CNopen Stecker -codiert Pin elegung Schirm N.C. 7) GN CN_H CN_L 7) Optional elegung mit V C möglich zur zus. Geräte- Spannungsversorgung über diesen Stecker. ie Spannungsversorgung des Rundsteckers M6 darf in diesem Fall nicht angeschlossen werden. evicenet Stecker -Sub 9-polig Pin elegung inäreingang (Massebezug GN Pin ) GN Power supply +V C Relais Schließer Relais Öffner 6 TX+ (RS8-Y) bei Halbduplex mit Pin 9 brücken 7 TX- (RS8-Z) bei Halbduplex mit Pin 8 brücken 8 RX- (RS8-) 9 RX+ (RS8-) RS8 usführung S. /0

6 bmessungen [mm] MFC 866 mit Ventiltyp 87 (9W-Spule), 96, 0 7 C 88, -SU C G /; NPT / 0, 8 G /8; NPT /8, 8 G /; NPT / 7, 9 G /; NPT / 7, 9 MFC 866 mit Ventiltyp 87 (9W-Spule) und Grundblock für große Nenndurchflüsse 7, 7, 98, 0, 0, C 88, -SU C G /8; NPT /8 7, 9 G /; NPT / 7, 9 G /; NPT / 7, 9 S. 6/0

7 bmessungen [mm] MFC 866 mit Ventiltyp 87 (6W-Spule),, 7,, 0 7 C 88, -SU C G /; NPT / 0, 00, G /8; NPT /8, 00, G /; NPT / 7, 0, G /; NPT / 7, 0, MFC 866 mit Ventiltyp 87 (6W-Spule) und Grundblock für große Nenndurchflüsse 7, 6, 7, 98, 0, 0, C 88, -SU C G /8; NPT /8 7, 0, G /; NPT / 7, 0, G /; NPT / 7, 0, S. 7/0

8 bmessungen [mm] MFC 866 mit Ventiltyp (8W-Spule) 87,, 0 7, 9, C 88, -SU C G /; NPT / 0, 07 G /8; NPT /8, 07 G /; NPT / 7, 7 G /; NPT / 7, 7 MFC 866 mit Ventiltyp (8W-Spule) und Grundblock für große Nenndurchflüsse 87, 7 7, 98, 0, 0, C 88, -SU C G /8; NPT /8 7, 7 G /; NPT / 7, 7 G /; NPT / 7, 7 S. 8/0

9 bmessungen [mm] MFC 866 mit Ventiltyp 86 (W-Spule) , 70, C 88, -SU C G /; NPT / 0, 07 G /8; NPT /8, 07 G /; NPT / 7, 7 G /; NPT / 7, 7 MFC 866 mit Ventiltyp 86 (W-Spule) und Grundblock für große Nenndurchflüsse , 98, 0, 0, 8, C 88, -SU C G /8; NPT /8 7, 7 G /; NPT / 7, 7 G /; NPT / 7, 7 S. 9/0

10 MFC/MFM-pplikationen ngebotsanfrage itte ausfüllen und an Ihr nächstgelegenes ürkert Vertriebs-Center senden Firma nsprechpartner Kunden-Nr. bteilung Hinweis Sie können die Felder direkt in der atei ausfüllen, bevor Sie das Formular ausdrucken Strasse PLZ-Ort Tel./Fax MFC-pplikaton MFM-pplikation Stückzahl Erforderlicher Liefertermin Mediumsangaben Gasart (bzw. Gasanteile bei Gemischen) ichte kg/m 8) Medientemperatur ºC º F Feuchtegehalt g/m brasive estandteile/festpartikel nein ja, folgende: Fluidische aten urchflussbereich Q nenn Min. l N /min 8) l S /min (slpm) 9) Max. m N /h 8) kg/h c m N /min 8) c m S /min (sccm) 9) l N /h 8) l S /h 9) 0) Eingangsdruck bei Q nenn p = bar(g) usgangsdruck bei Q nenn p = bar(g) Max. Eingangsdruck P max bar(g) MFC/MFM-Leitungsanschluss ohne Einschraubverschraubung / G-Gewinde (IN ISO 8/) / NPT-Gewinde (NSI.) /8 G-Gewinde (IN ISO 8/) /8 NPT-Gewinde (NSI.) / G-Gewinde (IN ISO 8/) / NPT-Gewinde (NSI.) / G-Gewinde (IN ISO 8/) / NPT-Gewinde (NSI.) mit Einschraubverschraubung mm Rohrleitung (ußen Ø) Zoll Rohrleitung (ußen Ø) Einbaulage horizontal, Ventil stehend (Standard) horizontal, Ventil liegend Umgebungstemperatur Werkstoffangaben vertikal, urchfluss nach oben Grundblock luminium (eloxiert) Edelstahl ichtwerkstoff FKM EPM Elektrische aten C vertikal, urchfluss nach unten Signale für Sollwerteingang/ mit Normsignal über Feldbus über RS8 Istwertausgang Sollwert / Istwert 0- V 0-0 m PROFIUS P -Sub -Sub 0-0 V -0 m evicenet CNopen itte alle ruckwerte als Überdruck zum tmosphärendruck [bar(ü)] angeben 8) bei:,0 bar(a) und 0ºC 9) bei:,0 bar(a) und 0ºC 0) entspricht dem Kalibrierdruck Klicken Sie bitte hier, um die für Sie zuständige ürkert Niederlassung in Ihrer Nähe zu finden ei speziellen nforderungen beraten wir Sie gerne Änderungen vorbehalten Christian ürkert GmbH & Co. KG 70/9_E-de_ S. 0/0