Die Beschichtungsanlagen

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1 Die Beschichtungsanlagen

2 We are the Tool Coating People Wir haben die richtige Technologie entwickelt, die dazugehörigen Anlagen gebaut und damit die weltbesten PVD und CVD-Diamant Beschichtungen möglich gemacht. Im CemeCon eigenen und einem der weltweit größten Lohnbeschichtungscenter werden täglich zehntausende Präzisionswerkzeuge für unsere Kunden veredelt. Seit 30 Jahren fließen die hier gemachten Erfahrungen und das gewonnene Know-How in die Weiterentwicklung unserer PVD und CVD-Diamant Beschichtungsanlagen. Dadurch profitieren auch unsere Anlagenkunden in Punkto Produktivität, Ergonomie, Verarbeitungsqualität und Wirtschaftlichkeit. 2

3 Wir beschichten in Ihrem Auftrag in unserem Beschichtungszentrum Sie beschichten mit gleichen Anlagen und Prozessen innerhalb Ihrer eigenen Produktionslinie Als unser Kunde haben Sie immer die Wahl Ob Sie unseren Beschichtungs service in Anspruch nehmen oder unsere Beschichtungsanlagen in Ihre Produktion inte grieren, stets erhalten Sie ein Premiumergebnis. Wir machen es Ihnen einfach und bieten Ihnen zur Entwicklung Ihrer individuellen Beschichtungslösung jeden gewünschten Support. Sie testen in unserem Beschichtungsservice und übernehmen, wenn Sie wünschen, den gesamten Prozess im Anschluss in Ihre eigene Fertigung. Sie möchten eigenständig Prozesse defi nieren? Der vollständig offene Rezept-Editor unserer Maschinen bietet Ihnen alle Möglichkeiten hierzu. Unsere Experten, die aufeinander abgestimmten Prozesse und unser Best-Practice-Wissen begleiten Sie auf dem Weg zu den besten PVD- und CVD-Diamant Beschichtungen. Sie haben die Wahl! 3

4 PVD-Sputterschichten von CemeCon Glatte, dropletfreie Beschichtungen für Zerspanwerkzeuge und Bauteile CemeCon ist seit 1986 Pionier und Weg bereiter bei der Entwicklung von Hartstoffbeschichtungen mit Hilfe der PVD-Sputtertechnologie. Beim Sputtern wird der zu verdampfende Werkstoff zur Schichtherstellung direkt vom festen in den gasförmigen Zustand überführt. Bei traditionellen Verfahren muss das Schichtmaterial aufgeschmolzen werden. Dabei bilden sich zwangsläufig Droplets, die als Fehlstellen den Schichtaufbau stören und zu einer sehr rauen Oberfläche führen. Beim Sputtern treten eben diese Droplets nicht auf. Alleinstellungsmerkmal der Sputtertechnologie ist die extrem glatte Oberfläche ohne Fehlstellen. Eine weitere Eigenschaft der Sputtertechnologie ist die deutlich reduzierte Eigenspannung in der Beschichtung. Dies ermöglicht die Abscheidung von AlTiN-Schichten bis zu einer Schichtdicke von 15 µm. Ein unschlagbarer Vorteil in allen Anwendungen, bei denen es auf großes Verschleißvolumen ankommt. Die in allen PVD-Anlagen integrierten Plasmabooster und die gepulste Substrat BIAS-Technologie sorgen für eine sehr hohe Plasmaionisation. Eine gründliche und gleichzeitig schonende Reinigung sowie Aktivierung der Oberflächen und eine hervorragende Haftung der Beschichtung sind das Ergebnis. Bei CemeCon DC-Sputteranlagen sind im Scratchtest Haftungswerte um 100 Newton Standard. HiPIMS ist die Weiterentwicklung der Sputtertechnologie. Mit der CC800 HiPIMS bietet CemeCon weltweit als einziges Unternehmen die wirtschaftliche Herstellung reiner HiPIMS Beschichtungen an. Extrem glatt: Im Gegensatz zu Droplets auf der Oberfläche bei anderen Verfahren (links) sind beim Sputter-PVD-Verfahren (rechts) die Oberflächen extrem glatt. i Sputtern ist enorm flexibel. Alle bekannten Beschichtungen lassen sich hiermit herstellen. Ob Metalle, Oxide, Nitride, Boride oder Carbide mit Sputtern ist nahezu jeder Schichtwerkstoff abscheidbar. Bei der Beschichtung gibt es vom kleinsten Mikrowerkzeug mit weniger als 0,1 Millimetern Durchmesser bis zum Wälzfräser oder zentnerschweren Bauteil kaum Grenzen. Dabei lassen sich sowohl elektrisch leitfähige als auch isolierende Schichten herstellen und das auf elektrisch leitfähigen wie auf isolierenden Substraten. Die meisten Beschichtungen werden bei Temperaturen von 250 bis 500 C hergestellt. Das Sputterverfahren ermöglicht zusätzlich Temperaturen unterhalb von 150 C. 4 PVD-Sputterschichten von CemeCon

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6 Die DC-Sputter- Beschichtungsanlage CemeCon Beschichtungsanlagen mit DC-Sputter-Technologie sind besonders flexibel und universell einsetzbar. Seit Jahrzehnten bilden sie das Rückgrat vieler Werkzeugbeschichtungen weltweit. Je nach den geforderten Stückzahlen stehen die Varianten ML und XL zur Verfügung. Beide beschichten einfach und schnell mit allen nitridischen, boridischen und kohlenstoffbasierten Werkstoffen. Zusatzmodule ermöglichen weitere individuelle Anpassungen. Die CC800 /9 ML ist die wirtschaftliche Anlage für mittlere Stückzahlen und häufige Chargen- und Schichtwerkstoffwechsel. Mit dem optionalen Flex-Modul kann ihre Kapazität zudem einfach erweitert und schnell an aktuelle Auftragslagen angepasst werden. Aufgrund ihrer hohen Flexibilität hat sich die CC800 /9 ML-Baureihe sehr in der Forschung und Entwicklung bewährt. Die modulare, offene Bauweise ermöglicht es, die Anlage mit vielen Erweiterungen und Optionen wie Messgeräten auszustatten. Für hohe Stückzahlen oder große Bauteile hat CemeCon die CC800 /9 XL entwickelt. Bei gleichen Außenabmessungen wie das ML-Modell verfügt sie über ein wesentlich größeres Beschichtungsvolumen. So beschichtet sie Bohrer oder Wendeplatten sowie Werkzeuge bis 800 Millimeter Länge und 650 Millimeter Durchmesser in einem Arbeitsgang. Der elektrohydraulisch betriebene Schnellwechseltisch erlaubt das schnelle Be- und Entladen ganzer Werkzeugchargen. 6 Die DC-Sputter-Beschichtungsanlage

7 Beschichtungsraum, Ø x h Substrattisch, Ø x Ø Satelliten x Anzahl Satelliten Schnellwechseltisch Sputterkathoden Maximale Substratabmessungen, Ø x h [mm] [mm], Stück Stück, [mm] [mm] CC800 /9 ML 6 (10) CC800 /9 XL Ø650 x 700 Ø650x Ø130 x 10 Ø400 x 400 (Ø650 x 400) Ø400 x Ø130 x 6 (Ø650 x Ø130x10) mechanisch oder elektrohydraulisch elektrohydraulisch 4 x x 800 Ø400 x 800 (Ø650 x 800) Kapazität Bohrer, Ø6 mm x 60 mm Stück (3.000) Ø650 x 800 Kapazität WSP, 12,7 mm x 3,5 mm Stück (8.200) DC-MAGNETRON-SPUTTERN Kathoden DC BIAS Beladung [kg] 250 (500) 500 Zykluszeit für 3 µm Hyperlox * [h] 5 6 Prozessverfahren Sputtern mit Booster- Technologie Sputtern mit Booster- Technologie DC Puls Substratvorbehandlung (Plasmaätzen) Booster- und MF-Ätzen Booster- und MF-Ätzen elektrisch leitende Schichten ja ja elektrisch nicht leitende Schichten nein nein elektrisch nicht leitende Substrate nein nein Anschlussleistung [kw] Stromverbrauch pro Charge für 3 µm Hyperlox * Aussenabmessungen (b x l x h) [mm 3 ] [kwh] x x x x Gewicht leer [kg] ~ * Auf einem 10 mm Fräser ALOX -Beschichtung mit 12,5 µm Schichtdicke BESCHICHTUNGSVOLUMEN 700 mm 400 mm 130 mm 400 mm 130 mm 130 mm 400 mm 650 mm 650 mm ML 6 ML 10 XL CC800 /9 ML CC800 /9 XL Die DC-Sputter-Beschichtungsanlage 7

8 HiPIMS Die Zukunft der PVD-Beschichtungstechnologie Für dichtere Schichten, verbesserte Härte/Zähigkeit und höhere Schnittdaten. Und das mit 2 µm/h Schichtrate! HiPIMS (High Power Impuls Magnetron Sputtering) ist die Weiterentwicklung der Sputtertechnologie und vereint die Vorteile aller gängigen, am Markt erhältlichen Beschichtungstechnologien und -verfahren. HiPIMS erzeugt wie das DC Sputterverfahren glatte, dropletfreie und spannungsarme Beschichtungen in einer nahezu unbegrenzten Vielfalt. Die mit HiPIMS erreichte hohe Metallionisation sorgt für eine ausgezeichnete Haftung von bis zu 130 Newton im Scratchtest und Beschichtungen, die gleichzeitig hart und zäh sind. Eine gleichmäßige Schichtdickenverteilung rund um drei dimensionale Objekte wie z.b. der Schneide eines Zerspanwerkzeugs ermöglicht optimalen Verschleißschutz. CemeCon hat das HiPIMS Verfahren konsequent zur Marktreife und zur hohen Wirtschaftlichtkeit von 2 µm/h Abscheiderate bei einer reinen HiPIMS Schicht weiterentwickelt. Technologisch bedeutet dies größt mögliche Flexibilität und in Punkto Wirtschaftlichkeit ein Maximum an Produktivität. Magnetron Me Me Me HiPIMS Plasma Ar + Me + Me + Me + Nahezu 100% Metallionisation Die Leistungspeaks des HiPIMS Verfahrens bilden ein hochenergetisches Plasma, das die abgeschiedenen Materialien in bislang unerreichtem Maße ionisiert. Der hohe Fluss hochionisierter Partikel bildet sehr dichte und nahezu amorphe Schichtstrukturen. Höchste Haftung Die hohe Metallionisierung sorgt für beste Haftung. Eine Scratchlast von 120 Newton ist für die Si-dotierte und damit sehr harte InoxaCon Schicht ein außerordentlicher Wert. Das auf AlTiN basierende Produkt FerroCon erzielt bis zu 130 Newton. Dies ermöglicht die Zerspanung schwierigster Materialien. Homogene Beschichtung der Schneidkanten Die hohe Ionisation ermöglicht den Aufbau dichter, kompakter Beschichtungen, die gleichzeitig sehr hart und zäh sind. Mittels der HiPIMS-Technologie wachsen abgeschiedene Beschichtungen extrem homogen. Auch sehr komplexe Werkzeug-Geometrien werden rund um die Schneidkante mit annähernd gleicher Schichtdicke beschichtet. Maximale Flexibilität Perfekt für Mikrowerkzeuge Höchste Wirtschaftlichkeit für reine HiPIMS Schichten HiPIMS ist ein Sputterverfahren. Nahezu jedes Material lässt sich sputtern. Das bedeutet eine unbegrenzte Materialvielfalt durch die Kombinationsmöglichkeiten der Elemente des Periodensystems zur Produktion von Beschichtungen. Defektfrei und ohne Antenneneffekte. Das HiPIMS-Verfahren kann auch bei sehr kleinen Geo metrien eingesetzt werden, da es weder störende Droplets erzeugt noch die Schneidkanten schädigt oder verrundet. Im reinen HiPIMS-Modus erreicht die CC800 HiPIMS Beschichtungsraten von 2 μm/h und Prozesszeiten von 4 5 Stunden. Werden alle 6 Kathoden eingesetzt, sind 3 µm/h möglich. 8 HiPIMS Die Zukunft der PVD-Beschichtungstechnologie

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10 Die HiPIMS- Beschichtungsanlage Die CC800 HiPIMS vereint alle Vorteile der klassischen DC-Sputtertechnik mit den Möglichkeiten der neuesten HiPIMS- Technologie. Die Anlage ist mit insgesamt 6 Sputterkathoden ausgestattet, von denen 4 Kathoden wahlweise im HiPIMS- Modus oder im DC-Modus betrieben werden können. Die beiden zusätzlichen 2 DC-Kathoden können u.a. zur Herstellung komplexerer Beschichtungen, zur Erzeugung von Farb- und Deckschichten oder schlichtweg zur Erhöhung der Beschichtungsraten zugeschaltet werden. Durch die beliebige Kombination dieser Techniken innerhalb eines Prozesses lässt sich eine bisher nicht gekannte Vielfalt an Beschichtungen äußerst wirtschaftlich herstellen. So lassen sich im reinen HiPIMS Modus Beschichtungsraten von 2 μm/h und Prozesszeiten von 4 5 Stunden erreichen. Beim gleichzeitigen Betrieb aller 6 Kathoden werden 3 µm/h erreicht. Und das kombiniert mit einem Füllgrad von bis zu 1800 rundlaufenden Werkzeugen oder 5000 Wendeschneidplatten. Die CC800 HIPIMS ist in der Lage, alle vorhandenen CemeCon-Sputterbeschichtungen und nahezu alle im Markt verfügbaren PVD-Beschichtungen herzustellen. Darüber hinaus ist sie die perfekte Maschine zur Entwicklung kundenspezifischer Prozesse. Die kundenfreundliche Bedieneroberfläche DataView und das integrierte Planungstool DataPlan ermöglichen die Entwick lung eigener Beschichtungslösungen. Anwender können ihre Produkte hierdurch im Markt differenzieren und einen Wettbewerbsvorteil erzielen. Weitere Features wie die bedienerfreundliche Software zur Fernwartung über Tablet oder Telefon, der wartungsfreundliche Aufbau, die vollautomatischen Kathodenshutter, die automatischen Türschließer oder der Schnellwechseltisch runden das Bild der CC800 HiPIMS als optimale Beschichtungsanlage für die Produktion und Entwicklung modernster Hochleistungsbeschichtungen ab. 10 Die HiPIMS-Beschichtungsanlage

11 CC800 HiPIMS Beschichtungsraum, Ø x h [mm] Ø400 x 400 Substrattisch, Ø x Ø Satelliten x Anzahl Satelliten Schnellwechseltisch Sputterkathoden [mm], Stück Ø400 x Ø130 x 6 Stück, [mm] optional Maximale Substratabmessungen, Ø x h [mm] Ø400 x 800 Kapazität Bohrer, Ø6 mm x 60 mm Stück x 500 (davon 4 wahlweise HiPIMS/DC sowie 2 weitere DC; alle Kathoden sind mit Shuttern ausgerüstet) HiPIMS HIGH POWER IMPULSE MAGNETRON SPUTTERING Kathoden HiPIMS DC Kapazität WSP, 12,7 mm x 3,5 mm Stück Beladung [kg] 250 BIAS Schichtrate µm/h Im HiPIMS-Betrieb 2 µm/h Im DC- oder Kombi-Betrieb bis zu 3 µm/h Zykluszeit für 3 µm FerroCon * [h] 4,5 Prozessverfahren Substratvorbehandlung (Plasmaätzen) elektrisch leitende Schichten HiPIMS und Sputtern mit Booster-Technologie. Alle etablierten CemeCon Schichten sind möglich. Booster-, MF- und HiPIMS- Ätzen ja HiPIMS DC Puls elektrisch nicht leitende Schichten ja elektrisch nicht leitende Substrate Anschlussleistung [kw] 80 Stromverbrauch pro Charge für 3 µm FerroCon * ja [kwh] 120 Aussenabmessungen (b x l x h) [mm 3 ] x x Gewicht leer [kg] ~ Türverschlüsse automatisch * pure HiPIMS Schicht auf 10 mm Fräser BESCHICHTUNGSVOLUMEN Intuitive Touch-Bedienung und pneumatische Antriebe für die Kammertüren erleichtern die tägliche Arbeit an der Anlage. 400 mm 130 mm 400 mm HiPIMS Hochdichtes HiPIMS Plasma Die HiPIMS-Beschichtungsanlage 11

12 CVD-Diamantschichten von CemeCon Patentierte Multilayer zur Zerspanung von Graphit, GFK/CFK/Composites Das härteste Material der Welt als Schichtwerkstoff für maximalen Verschleiß schutz beim Zerspanen von Graphiten, faserverstärkten Kunststoffen (Composites) und abrasiven NE-Metallen. Diamantbeschichtungen für Zerspanwerkzeuge und Bauteile werden seit vielen Jahren bei CemeCon mittels der CVD- Technologie hergestellt echte kristalline sp 3 -Diamanten mit einer Härte von nahezu Vickers. CemeCon hat hierfür bereits vor mehr als 20 Jahren das Hot-Filament-Verfahren zur Markt reife entwickelt und liefert heute als Weltmarktführer Diamantbeschichtungen und -technologien in die gesamte Welt. Beim Hot-Filament-Verfahren wird aus Gas Diamant erzeugt. In einer H 2 -C x H y - Gasatmosphäre wird im Vakuum der Kohlenstoff zu reinem, kristallinem Diamant umgewandelt. Dabei werden bis zu vier Karat Diamant pro Stunde erzeugt. Dieser kann je nach Anwendung als mikrokristalline, nanokristalline oder Multilayer-Schicht abgeschieden werden. Die vollautomatische Beschichtungstechnologie, gepaart mit einer optimal auf das Substrat angepassten Vorbehandlung, ermöglicht die Herstellung von Beschichtungen mit Schichtstärken von mehr als 20 µm und eine hervorragende Haftung. Die patentierte CemeCon Multilayer- Technik sorgt für eine maximale Stabilität mittels Verzahnen der einzelnen Lagen innerhalb der Beschichtungen. Mögliche Risse können sich nicht über die Layergrenzen hinaus ausbreiten. Durch ihre extrem hohe Härte mit bis zu HV 0,05 nah am Naturdiamanten sind alle Beschichtungen der Produktgruppe CCDia äußerst verschleißfest. Die Leistung von Schaftwerkzeugen und Wendeplatten aus Vollhartmetall wird durch eine CCDia -Beschichtung entscheidend erhöht. Die hohe Wärmeleitfähigkeit der Diamantbeschichtung sorgt dabei für eine rasche Wärmeabfuhr. Dies ist bei der Bearbeitung von temperaturempfindlichen Materialien wie CFK und GFK enorm wichtig und ermöglicht eine höhere Bearbeitungsgeschwindigkeit beim Zerspanen. Alle diese Eigenschaften machen die Schichtwerkstoffe der CCDia -Reihe zur ersten Wahl bei der Zerspanung von Graphiten, Composites, NE-Metallen, Grünlingen und Keramiken gemäß der VDI-Norm Es werden mehr und mehr Bauteile mittels einer Diamantbeschichtung veredelt. Diamant ist extrem hart und dabei kaum verformbar. Er ist chemisch inert gegen nahezu alle Medien, besitzt eine sehr niedrige Reibung und hohe Wärmeleitfähigkeit. Diese einzigartigen Eigenschaften eröffnen Diamantbeschichtungen stetig neue Anwendungsgebiete in unterschiedlichen Industriebereichen. SUBSTRAT Kristalline Diamantschicht SUBSTRAT Nanokristalline Diamantschicht SUBSTRAT Multilayer-Diamantschicht Quelle: Airbus 12 CVD-Diamantschichten von CemeCon

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14 Die Diamant- Beschichtungsanlage Glatt, haftfest und widerstandsfähig dank Multilayer-Diamantbeschichtung Werkzeuge für die Bearbeitung von faserverstärkten Kunststoffen, Graphiten oder abrasiven Nichteisenmetallen beschichtet die CC800 /9 DIA mit dem härtesten Schichtwerkstoff der Welt echte Diamantkristalle. Mit der CC800 /9 DIA lassen sich extrem glatte und besonders haftfeste nanokristalline, kristalline oder Multilayer- Diamantschichten vollautomatisch auf über 80 verschiedene Hartmetallsorten abscheiden. Dank des verwendeten Hot-Filament-Verfahrens erhalten auch komplexe dreidimensionale Werkzeuge und Bauteile eine besonders homogene Schichtdickenverteilung mit engen Toleranzen. Trotz ihrer kompakten Außenabmessungen verfügt die CC800 /9 DIA über das größte Fassungsvermögen vollautomatischer Anlagen für Diamantbeschichtungen am Markt. Drei unabhängig arbeitende Beschichtungskammern machen sie dabei besonders flexibel und wirtschaftlich. 14 Die Diamant-Beschichtungsanlage

15 Beschichtungsraum, Anzahl x (b x t x h) [mm 3 ] CC800 /9 DIA 1 x (740 x 360 x 30) oder 3 x (50 x 560 x 70) HOT-FILAMENT-DIAMANT- BESCHICHTUNGSANLAGE Maximale Substratabmessungen, Ø x h [mm] Werkzeuge 30 x 500 Beladung [kg] 250 Filamente Prozessverfahren Hot-Filament elektrisch leitende Schichten ja elektrisch nicht leitende Schichten elektrisch nicht leitende Substrate ja ja Horizontal Vertikal Anschlussleistung [kw] 90 Aussenabmessungen (b x l x h) [mm 3 ] x x Gewicht leer [kg] Mikrofräser zur Graphit-Bearbeitung mit CCDia CarbonSpeed Flugzeugflügel aus Composites, Bohren und Reiben der Nietlöcher mit diamantbeschichteten Werkzeugen Router mit CCDia AeroSpeed Plus 14 µm purer Diamant Bohrsenker mit CCDia AeroSpeed der Maßstab im Flugzeugbau Die Diamant-Beschichtungsanlage 15

16 Schlüsselfertige Inhouse-Beschichtungsanlagen Beschichtungskompetenz im eigenen Haus als Wettbewerbsvorteil CemeCon beschichtet selbst. Jeden Tag. Und das in einem der weltweit größten Beschichtungszentren für Zerspanwerkzeuge. Diesen Erfahrungsschatz und die bewährten CemeCon Schichten integriert eine Turn-Key-Lösung in Ihre Fertigung. Bei Zerspanwerkzeugen ist es heute die Beschichtung, die den entscheidenden Wettbewerbsvorteil ausmacht. Der Zugewinn an Kompetenz durch Integration einer eigenen Beschichtungsanlage gewährleistet Ihnen volle Kontrolle über Ihr Produkt und bietet Flexibilität und Reaktionsschnelligkeit. Das Komplettpaket aus Beschichtungsanlage, Substratvorbehandlung und Peripherie deckt den gesamten Workflow ab. Diese Einheit aus Anlagentechnik und erprobtem Prozess macht Ihnen den Einstieg in die eigene Beschichtungstechnik leicht. Mit der Erfahrung aus 300 gebauten Anlagen übernimmt CemeCon als Projektpartner die Verantwortung für die Erstellung Ihrer individuellen Turn-Key-Lösung. Das Serviceteam führt die Zeit-, Raum- und Anschlussplanung aus, klärt länderspezifische Details, unterstützt bei der Zusammenarbeit mit Behörden und liefert eine produktionsbereite Beschichtungsfabrik. Sie profitieren von der kontinuierlichen Schichtentwicklung durch CemeCon das Entwicklungsteam unterstützt Sie jederzeit bei zukünftigen Anwendungen. Der durchgehende Betrieb der Anlagen wird durch umfassende Support- und Servicedienstleistungen gewährleistet. Turn-Key-Lösungen von CemeCon für maximale Flexibilität und höchste Produktivität. 16 Inhouse-Beschichtungsanlagen

17 Beschichtungszentrum für Bauteile und Werkzeuge bei der Fa. Wolf, Bruchmühlbach Drei Gründe für eine schlüsselfertige Beschichtungslinie von CemeCon Bekannte und bewährte Schichtrezepte aus der CemeCon Lohn beschichtung auf erprobten Beschichtungsanlagen. Ein individuell abgestimmter Fertigungsprozess, der effiziente und schnelle Produktionsdurchläufe garantiert. Service von Anfang an: CemeCon übernimmt Planung und Aufstellung aller Maschinen und Komponenten. Beschichtung, Substrat und Geometrie aufeinander abgestimmt aus einer Hand machen das perfekte Werkzeug aus. Nutzen Sie die eigene Beschichtungstechnologie zu Ihrem Vorteil! CC800 : hochwertig beschichten, einfach und effizient Die Anlagenserie CC800 von CemeCon umfasst modular aufgebaute Modelle für die glatten und dropletfreien PVD-Sputterund HiPiMS-Beschichtungen als auch für die superharten CVD-Diamantschichten. Alle verbinden Premiumqualität bei maximaler Leistung im kompakten Design. vollautomatische Prozesssteuerung grafische Benutzeroberfläche volle Internetanbindung flexible Auslegung für alle verfügbaren Schichten offen für zukünftige Werkstoffe CemeCon berät kundenindividuell und bietet angepasste Lösungen für nahezu jede Bauteilgröße sowie alle Stückzahlen. Ob bei Werkzeugherstellern, Lohnbeschichtern oder in Forschung und Entwicklung, jeder Kunde erhält eine auf seine Bedürfnisse ausgelegte Turn-Key- Komplettlösung inklusive der vollständigen Peripherie: Vor- und Nachbehandlungstechnik, Reinigungs-, Kälte- und Druckluftanlagen sowie Prüfgeräte. Alle Komponenten werden in Ihre Fertigungs- prozesse und Infrastruktur integriert und vorhandene Maschinen sinnvoll genutzt. Die CemeCon Lohnbeschichtung ist der ideale Ort, um Ihre Mitarbeiter intensiv am gewählten Anlagenmodell und an den auf die Anwendungen angepassten und qualifizierten Beschichtungsprozessen zu schulen. Vor Ort weisen Techniker in die einfache Bedienung der neuen Beschichtungsanlage ein. So haben Sie die Gewissheit, die ersten beschichteten Werkzeuge sofort nach der Aufstellung aus Ihrer Inhouseanlage liefern zu können. Weltweit verfügbarer 24/7 Support für Maschinenkunden i Inhouse-Beschichtungsanlagen 17

18 Peripherie und Zubehör optimal aufeinander abgestimmt Die Qualität von Beschichtungen hängt vom optimalen Ineinandergreifen aller erforderlichen Prozessschritte ab. Darum bietet CemeCon alle Komponenten für ein vollständiges Inhouse-Beschichtungszentrum aus einer Hand perfekt aufeinander abgestimmt. Der CemeCon-Vorteil: Zubehör und alle Komponenten, Maschinen und Prozesse zur Vor- und Nachbehandlung sowie zur Qualitätskontrolle werden immer individuell auf die Kundenanforderungen und die bereits vorhandene Infrastruktur angepasst. Strahl- und Reinigungsanlagen Eine bestmögliche Substratvorbereitung gewährleisten CemeCon Strahlund Reinigungsanlagen. Strahlanlagen befreien Werkzeuge von Kobaltaufschmierungen, losen WC-Körnern, Graten und Schleifbrand. Bei Bedarf lässt sich die Schneidkantenpräparation optimieren. Reinigungsanlagen entfernen Verunreinigungen schonend und restlos. Das Portfolio reicht jeweils von manuellen Anlagen für kleinere oder mittlere Fertigungszahlen bis zu vollautomatischen Anlagen für große Beschichtungszentren. Über die Rückgewinnung der Strahl- und Reinigungsmittel arbeiten alle Lösungen besonders umweltfreundlich und wirtschaftlich. Kühlanlagen Kühlanlagen führen die beim Beschichten entstehende Wärme ab und sorgen so für die nötige Prozesssicherheit. CemeCon bietet zuverlässige, kompakte und energiesparende Kühlanlagen für jede Anlagengröße und Beschichtungstechnologie. Targets Strahlanlage Qualitätskontrolle CemeCon Targets garantieren dank eines Spezialbondingverfahrens höchste Qualität und Prozesssicherheit. Sie sind optimal auf die Beschichtungsprozesse abgestimmt und sind aufgrund der Stopfentechnologie in einer großen Materialauswahl verfügbar. Für eine umfassende Qualitätskontrolle beim Warenein- und -ausgang bietet CemeCon für jeden Anspruch passende Prüfgeräte: Aus Kalottenschleifgeräten, Rockwelltestern, Mikroskopen und Impacttestern lassen sich maß geschneiderte Qualitätssicherungspakete schnüren. 18 Peripherie und Zubehör

19 Beschichtungsanlagen im Überblick CC800 /9 ML 6 (10) CC800 /9 XL CC800 HiPIMS CC800 /9 DIA Beschichtungsraum, Ø x h* [mm] Ø400 x 400 (Ø650 x 400) Ø650 x 700 Ø400 x x (740 x 360 x 30) oder 3 x (50 x 560 x 70) Substrattisch, Ø x Ø Satelliten x Anzahl Satelliten [mm], Stück Ø400 x Ø130 x 6 (Ø650 x Ø130 x 10) Ø650 x Ø130 x 10 Ø400 x Ø130 x 6 anwendungsabhängig Schnellwechseltisch Sputterkathoden Maximale Substratabmessungen, Ø x h Stück, [mm] [mm] mechanisch oder elektrohydraulisch 4 x x 800 Ø400 x 800 (Ø650 x 800) elektrohydraulisch optional 6 x 500 (davon 4 wahlweise HiPIMS/DC sowie 2 weitere DC; alle Kathoden sind mit Shuttern ausgerüstet) Filamente Ø650 x 800 Ø400 x 800 Werkzeuge Ø30 x 500 Kapazität Bohrer, Ø6 mm x 60 mm Kapazität WSP, 12,7 mm x 3,5 mm Stück (3.000) prozessabhängig Stück (8.200) prozessabhängig Beladung [kg] 250 (500) Zykluszeit für 3 µm Hyperlox SN 2 ** [h] 5 6 4,5 FerroCon prozessabhängig Prozessverfahren Sputtern mit Booster- Technologie Sputtern mit Booster- Technologie HiPIMS und Sputtern mit Booster-Technologie. Alle etablierten CemeCon Schichten sind möglich. Hot-Filament Substratvorbehandlung (Plasmaätzen) Booster- und MF-Ätzen Booster- und MF-Ätzen Booster-, MF- und HiPIMS-Ätzen elektrisch leitende Schichten elektrisch nicht leitende Schichten elektrisch nicht leitende Substrate ja ja ja ja nein nein ja ja nein nein ja ja Anschlussleistung [kw] Stromverbrauch pro Charge für 3µm Hyperlox ** [kwh] FerroCon prozessabhängig Türverschlüsse manuell manuell automatisch automatisch Aussenabmessungen (b * l * h) [mm 3 ] x x x x x x x x Gewicht leer (kg) ~ ~ * CC800 /9 DIA: Beschichtungsraum, Anzahl x (b x t x h) ** Auf einem 10 mm Fräser Beschichtungsanlagen im Überblick 19

20 DEUTSCHLAND USA CemeCon AG Tel.: CemeCon Inc. Tel.: CC_DE_11 / 17 CHINA JAPAN TSCHECHIEN DÄNEMARK INDIEN KOREA TAIWAN RUSSLAND CemeCon Coating Technology Co., Ltd. Suzhou Tel.: china@cemecon.com CemeCon K.K. Kontakt: Alexander Marxer Tel.: japan@cemecon.com CemeCon s.r.o. Tel.: info@cemecon.cz CemeCon Scandinavia A/S Tel.: info@cemecon.dk M+V Marketing & Sales Pvt. Ltd. Kontakt: Manish Adwani Tel.: india@cemecon.com Hangil trading company Kontakt: Mr. Hong-Sik Cho Tel.: hongsik.cho@hangilkorea.com DKSH Taiwan Ltd. Kontakt: Vincent Chu Tel.: taiwan@cemecon.com ZAO Rosmark-Steel Kontakt: Ilya Mozgov Tel mozgov@rosmark.ru Herausgeber CemeCon AG Adenauerstr. 20 A Würselen Deutschland