N eu. BUBBLER SYSTEME SERIE HPL, HPS und ECO. Prozessbehälter für die Lagerung, den Transport und die Entnahme von metallorganischen Verbindungen.

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Axel Bachmeier
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1 N eu BUBBLER SYSTEME SERIE HPL, HPS und ECO Prozessbehälter für die Lagerung, den Transport und die Entnahme von metallorganischen Verbindungen.

2 FÜR HÖCHSTE QUALITÄTSANSPRÜCHE. Anwendung und Kundennutzen Anwendungen Optionen Bubbler von Dockweiler sind Prozessbehälter (MOC- Dockweiler Bubbler der Serie HPL und HPS sind mit einer Vielzahl von Optionen individualisierbar und passen sich VD), die speziell für die Halbleiterindustrie und Fein- ihrer Applikation optimal an. chemie entwickelt wurden. Sie kommen bei der 6 Lagerung, dem Transport und der Entnahme von metallorganischen Verbindungen zum Einsatz. Ventile Standardmäßig werden Hamlet 90 -Einhebel-Dreh-Membranventile für unsere Bubbler eingesetzt. Optional sind 3 Die sogenannte metallorganische Gasphasenepita- Ventile folgender Ventilhersteller verfügbar: Swagelok, Carten Controls, Parker sowie weitere Ventile auf Anfrage. xie (MOVPE) und verwandte Verfahren finden Anwendung in der Herstellung opto-elektronischer Bauteile Cross-over-Funktion wie z. B. Laser, Photozellen oder auch Leuchtdioden. Die Cross-over-Funktion ist eine totraumfreie Spül option um während der Befüllung beim Chemika lien hersteller oder 2 1 Alle Dockweiler Bubbler verfügen über die notwendigen Zulassungen der DOT (Department of Trans- während des Anschlusses der Bubbler in den Prozess das System inklusive der Ein- und Auslassventile des Bubblers von Sauerstoff zu befreien. Sie bietet somit eine einfache und effiziente Lösung zur Reinigung des Gasweges. 4 portation) und ADR (European Agreement on the international carriage of Dangerous goods by Road) für den sachgerechten Transport. Der ist ein Signalgeber, der in Verbindung mit einer digitalen Füllstandsanzeige zuverlässig die verbleibende Restmenge der metallorganischen Verbindung im Bubbler anzeigt. Dockweiler bietet für die Bubbler einen Ultraschallsensor mit definierten Schaltpunkten (90 %, 70 %, 30 %, 10 %) für die Signalausgabe des Füllstandes an. Kundennutzen und Vorteile Dockweiler Bubbler werden nach höchsten Herstellungs- und Qualitätsstandards gefertigt von der Schmelzenspezifikation über sorgfältige Orbital- Polarisierte Anschlüsse Die Standardkonfiguration nutzt für beide Anschlüsse Male-Face-Seal-Verbinder. Um eine Verwechselung beim Anschließen zu verhindern, bietet Dockweiler Male- und Female-Anschlüsse in folgernder Konfiguration an: schweißnähte bis hin zur optimalen Elektropolierfähigkeit. Ihre Qualität gewährleistet einen optimalen Anreicherungprozess, eine optimale Ausnutzung 7 des Mediums, eine optimale Entleerung, Reinigbarkeit und Wiederverwendbarkeit. Bubbler Aufbau / Bestandteile 1 Einlassventil 5 2 Auslassventil 3 Cross-Over-Funktion (optional) 4 Inspection Port 5 Dip Tube (Zuleitung) 6 (Entnahmeleitung) 7 (optional) Standard Dip Tube Zuleitung: Male Entnahmeleitung: Male PFD Dip Tube Zuleitung: Polarized Female Entnahmeleitung: Male PMD Dip Tube Zuleitung: Polarized Male Entnahmeleitung: Female Optional kann kostenlos anstatt der Face-Seal-Verbindung auch die Dockweiler ZeroCon -Verbindung eingesetzt werden. 2 3

passen sich VD), die speziell für die Halbleiterindustrie und Fein- ihrer Applikation optimal an. chemie entwickelt wurden.

3 EINE KLASSE FÜR SICH. Vorteile auf einen Blick Absolute Dichtheit Temperaturstabil Keine Materialausgasungen Einfache Integration in Peripherie Helium-Leckraten von 4,0 x10-9 mbar l s -1. Von -50 C bis +100 C (-58 F bis +212 F) Alle medienberührten Bauteile aus Edelstahl Einfache Einbindung in die meisten bestehenden Keine Toträume Optimale Dip-Tube-Geometrie /316L oder Sonderwerkstoff erhältlich. Peripherien und Temperiersysteme möglich. Durch Orbitalschweißverfahren praktisch keine In Zusammenarbeit mit der Industrie wurden Verlauf Einfache Installation Wiederbefüllbarkeit Toträume vorhanden. und Dimension des Dip Tubes auf Sättigung und Klare Beschriftung und einfache Handhabung Durch Verwendung hochqualitativer Werkstoffe und Robuste Konstruktion Alle Dockweiler Bubbler-Typen wurden einer zer- Durchsatz optimiert. Höchste Oberflächengüte sorgen für eine einfache Installation. Optimale Ausbeute Herstellverfahren ist die Reinigung, Konditionierung und Wiederbefüllung problemlos möglich. störenden Druckprüfung sowie Fallversuchen aus Ra 0,4 µm (16 µin) bzw. Ra 0,25 µm (10 µin) Optimierte Bubbler-Geometrie sorgt für eine maxi- großer Höhe unterzogen. als EP-Version. male Ausbeute von 95 % der metallorganischen Verbindung im Prozess. Serie HPL Serie HPL HPS ECO Typ HPL200 HPL400 HPL600 HPL1000 HPL2000 HPL4000 HPL8000 HPL22000 Typ HPL56000 HPS600 HPS1800 HPS3000 HPS6000 ECO1500 ECO4000 ECO8000 Durchmesser 63,5 63,5 114,3 114,3 168,3 168,3 168,3 168,3 Durchmesser ,3 114,3 168,3 168,3 168,3 168,3 168,3 Anschlusshöhe ,5 527, Anschlusshöhe ,3 223,6 340,1 513,1 Volumen Volumen Füllvolumen (90 %) Füllvolumen (90 %) Ventiloptionen Ventiloptionen Cross-over Cross-over ZeroCon-Anschluss PMD/PFD Zusatzanschluss Oberfläche P (Pickled) Oberfläche HP Oberfläche UHP Sonderwerkstoffe Wärmetauscher HE8002 DOT auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage ADR auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage ZeroCon-Anschluss PMD/PFD Zusatzanschluss Oberfläche P (Pickled) Oberfläche HP Oberfläche UHP Sonderwerkstoffe Wärmetauscher HE8002 DOT auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage ADR auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage 4 5

4404/316L oder Sonderwerkstoff erhältlich. Peripherien und Temperiersysteme möglich.

4 Auf DEN INHALT KOMMT ES AN. Produktübersicht mit Merkmalen ZubehöR Temperiereinheit HE8002 Bubbler mit größeren Abmessungen können nicht in herkömmlichen Temperierbädern genutzt werden. Hierfür bietet Dockweiler die flexible Temperiereinheit HE8002 an. Diese wird über eine Pumpe mit der Versorgungs-, Temperatur- und Kontrolleinheit verbunden und gespeist. Die Temperiereinheit HE8002 ist mit den folgenden Dockweiler Bubbler-Typen kompatibel: HPL2000, HPL4000, HPL8000, HPL22000, HPS3000, HPS6000 sowie mit der gesamten ECO-Serie. Versorgungs-, Temperier- und Kontrolleinheit Für den empfindlichen Herstellungsprozess ist eine kontinuierliche Temperatur des Mediums zwingend notwendig. Um dies zu gewährleisten, bietet Dockweiler eine Versorgungs-, Temperier- und Kontrolleinheit zur Gewährleistung einer konstanten Prozesstemperatur an. Dies sorgt für einen konstanten und stabilen Gasfluss. Serie HPL Die HPL-Serie der Dockweiler Bubblerflotte zeichnet sich durch effizienteste Ausnutzung des Mediums (z. B. Trimethylgalium/TMG) gegenüber Mitbewerbern aus. Elektropolierfähige Orbitalschweißnähte, optimale Behältergeometrie sowie eine totraumfreie Konstruktion gewährleisten höchste Sättigung des Trägergases. Die HPL-Serie ist in den Ausführungen Pickled Purity (P), High Purity (HP) und Ultra High Purity (UHP) erhältlich. Serie HPS Mit dem patentierten Feststoffbubbler HPS hat Dockweiler einen völlig neu konstruierten Bubbler entwickelt. Um eine kontinuierliche Sättigung des Trägergases mit dem Füllmedium zu gewährleisten, besteht der HPS aus einem patentierten Kammersystem, durch welches der Trägergasstrom geleitet wird. Die HPS-Serie ist in den Ausführungen Pickled Purity (P) und High Purity (HP) verfügbar. Serie Eco Die Dockweiler ECO-Serie stellt eine Variante des HPL für die Verdampfung von Flüssigkeiten dar. Durch konsequente Vereinheitlichung und Standardisierung der genutzten Komponenten bietet Dockweiler eine kostengünstige Alternative zum HPL. Die ECO-Serie bietet eine geringere Variantenvielfalt und in den Ausführungen Pickeld Purity (P) und High Purity (HP) erhältlich. 6 7

Die Temperiereinheit HE8002 ist mit den folgenden Dockweiler Bubbler-Typen kompatibel: HPL2000, HPL4000, HPL8000, HPL22000, HPS3000, HPS6000 sowie mit der gesamten ECO-Serie.

5 Ihr Ansprechpartner Dockweiler AG An der Autobahn 10/ Neustadt-Glewe Germany Tel.: Fax: sales@dockweiler.com Internet: 06/2015

: + 49 38757 58 0 Fax: + 49 38757 58 222 E-Mail:

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