Dienstleistungskatalog Labor Länge, Nano- und Mikrotechnik

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1 Eidgenössisches Institut für Metrologie METAS CH-3003 Bern-Wabern, 3. Januar 2017 Dienstleistungskatalog Labor Länge, Nano- und Mikrotechnik Gültig ab: Im unserem Labor kalibrieren wir Ihre Normale und Messinstrumente für die n Länge, Form, Winkel und Oberfläche auf höchstem Genauigkeitsniveau. Unsere Messwerte sind auf nationale Normale und damit auf international abgestützte und anerkannte Realisierungen der SI-Einheiten rückführbar. Die in diesem Verzeichnis aufgeführten Dienstleistungen entsprechen Standard-Messmöglichkeiten. Weitere Kalibrierungen, z.b. mit reduzierter Unsicherheit oder in einem erweiterten Messbereich, sind möglich und können direkt mit den verantwortlichen Spezialisten diskutiert werden. Darüber hinaus sind wir gerne bereit, Sie bei der Lösung Ihrer speziellen Messprobleme zu unterstützen. Unser kompetentes Laborteam berät Sie gerne. Die Angaben für die sind Richtwerte. Die kann erst nach erfolgter Kalibrierung verbindlich ermittelt werden. Sie beinhaltet Unsicherheitsbeiträge vom benutzten Normal, vom Kalibrierverfahren, von den Umgebungsbedingungen und vom kalibrierten Messmittel. Die angegebene ist das Produkt der kombinierten Standardunsicherheit mit einem Erweiterungsfaktor k = 2. Der Messwert (y) und die dazugehörige erweiterte (U) geben den Bereich (y ± U) an, der den Wert der gemessenen Grösse mit einer Wahrscheinlichkeit von ca. 95 % enthält. Die Unsicherheit wird in Übereinstimmung mit den Richtlinien der ISO ermittelt. Die für en verwendete Schreibweise Q[..,..] ist als Wurzel der Summe quadratischer Terme zu lesen: Q[ a, b L] a ( b L) 2 2, wobei L die gemessene Länge bezeichnet. Für Leistungen des METAS gelten die Allgemeinen Geschäftsbedingungen METAS (AGB). Sie sind unter abrufbar. Abweichungen davon müssen in jedem Fall schriftlich vereinbart werden. Eidgenössisches Institut für Metrologie METAS Lindenweg 50, 3003 Bern-Wabern, Schweiz Tel , info@metas.ch

2 Kontaktpersonen Laser und Interferometer Anke Bossen Längenmessinstrumente Daniel Kündig Endmasse Daniel Hirschi Strichmasse Anke Bossen Zylindrische Lehren Jürg Spiller Diverse Lehren Jürg Spiller Winkelnormale und - Teilungen Daniel Kündig daniel.kuendig@metas.ch Winkel-Messinstrumente Rudolf Thalmann rudolf.thalmann@metas.ch Ebenheitsnormale Benjamin Bircher Benjamin.Bircher@metas.ch Rundheitsnormale Jürg Spiller juerg.spiller@metas.ch Geradheitsnormale Rudolf Thalmann rudolf.thalmann@metas.ch Zylindrizitätsnormale Daniel Hirschi Daniel.Hirschi@metas.ch Oberflächennormale Anaïs Nicolet anais.nicolet@metas.ch Mikroskopienormale Felix Meli felix.meli@metas.ch Gewindelehren Daniel Kündig daniel.kuendig@metas.ch Koordinatenmesstechnik Daniel Hirschi Daniel.Hirschi@metas.ch Handmessmittel Daniel Kündig daniel.kuendig@metas.ch length@metas.ch 2/19

3 Inhaltsverzeichnis 1. Laser und Interferometer Laserinterferometer Winkelinterferometer Geradheitsinterferometer Längenmessinstrumente Längenmessmaschine Höhenmessgerät Elektronischer Messtaster Elektronischer Messtaster, vertikale Lage Laserdistanzmessgerät Endmasse Endmasse, bis 100 mm, interferometrische Messung Endmasse, bis 100 mm, Vergleichsmessung hohe Genauigkeit Endmasse, bis 100 mm, Vergleichsmessung Endmasse Typ LM Endmasse, bis 1000 mm, interferometrische Messung Endmasse, bis 3000 mm, Vergleichsmessung Einstellendmasse für Mikrometer Stufenendmass, Teilung 20 mm Stufenendmass, Teilung 10 mm Kalibrierset für Mahr MFU Strichmasse Glasmassstab, bis 700 mm, Längenmessmaschine Glasmassstab, bis 400 mm, Photomaskenmessmaschine Objektmikrometer, bis 50 mm, Photomaskenmessmaschine Photomaske Photomaske klein, bis 50 mm, Photomaskenmessmaschine Photomaske mit Prüfkreisen Lupenmassstab Messband Bandmass für Umfangmessung (PI tape) Werkstattmassstab Zylindrische Lehren Einstelldorn, hohe Genauigkeit Einstelldorn, mittlere Genauigkeit Einstellring, hohe Genauigkeit Prüfstift, Einstelllehre Prüfstift, Grenzlehre Gewindemessdrähte Diverse Lehren Kalibrierkugel Tastkugel Doppelkugeltaster für Gewindemessungen Konuslehre Einstellscheiben für Aussenmikrometer Einstelllehren für 3-Punkt Innenmikrometer Winkelnormale und -Teilungen Optisches Polygon /19

4 7.2. Indexrundtisch Rundtisch Drehgeber Winkelendmass Hartgesteinswinkel Haarwinkel, Präzisionswinkel Winkel-Messinstrumente Autokollimator Elektronischer Neigungsmesser Winkelmesser Ebenheitsnormale Planglas Planglas für Bügelmessschrauben Rundheitsnormale Rundheitsnormal, hohe Genauigkeit Rundheitsnormal, mittlere Genauigkeit Vergrösserungsnormal (Flick) Geradheitsnormale Haarlineal Geradheitsnormal (Hartgestein, Stahl oder Keramik) Zylindrizitätsnormale Prüfzylinder Oberflächennormale Tiefeneinstellnormal (Typ A) Wellenlängennormal (Typ C) Raunormal (Typ D) Konturnormal Schneidkantenradiusnormal Mikroskopienormale Gitter (1-D), Beugungsmessung Gitter (2-D), Beugungsmessung Vergrösserungsnormal 1-D, AFM Vergrösserungsnormal 2-D, AFM Stufenhöhennormal, AFM Gewindelehren Gewindelehrdorn Gewindelehrring Koordinatenmesstechnik Kugelplatte Diverse Lehren Handmessmittel Messschieber Bügelmessschraube Punkt-Innenmessschraube Messuhr /19

5 1. Laser und Interferometer 1.1. Laserinterferometer optische Frequenz Wellenlänge: 633 nm 1xE-9 Bestimmung der optischen Frequenz durch Vergleich mit einem jodstabilisierten HeNe-Laser (Realisierung der Meterdefinition). Abweichung der angezeigten Länge bis 50 m Gesamtsystemprüfung durch Vergleich mit einem Referenz- Laserinterferometer Brechungsindexkompensation Kalibrierung von Druck-, Temperatur und Feuchtesensor bei den herrschenden Laborbedingungen Winkelinterferometer Linearität und Korrekturfaktor ± % Vergleich mit Referenzrundtisch Geradheitsinterferometer Linearität und Korrekturfaktor ± 1 mm 0.03 % Vergleich mit linearem Interferometer. 2. Längenmessinstrumente 2.1. Längenmessmaschine Abweichung der angezeigten Länge Kalibrierung der Linearitätsabweichung des Massstabes mit einem Laserinterferometer, der absoluten Genauigkeit mit Endmassen, und der Parallelität der Tastermessflächen Höhenmessgerät Abweichung der angezeigten Höhe bis 1000 mm Kalibrierung der Linearitätsabweichung des Massstabes mit einem Laserinterferometer und der absoluten Genauigkeit mit Endmassen Elektronischer Messtaster Abweichung der angezeigten Länge Kalibrierung auf einer Längenmessmaschine mit einem Laserinterferometer. 5/19

6 2.4. Elektronischer Messtaster, vertikale Lage Abweichung der angezeigten Länge bis 100 mm Q[0.03 µm, 0.8E-6xL] Kalibrierung mit einem Laserinterferometer Laserdistanzmessgerät Abweichung der angezeigten Länge bis 50 m Q[0.6 mm, 4E-5xL] Vergleich mit Laserinterferometer 3. Endmasse 3.1. Endmasse, bis 100 mm, interferometrische Messung Mittenmass 0.5 bis 100 mm Q[19 nm, 0.19E-6xL] Interferometrische Kalibrierung nach ISO Für Genauigkeitsgrad K und 0. Mittenmass, Abweichungsspanne 0.5 bis 100 mm Q[19 nm, 0.19E-6xL]; fo, fu: 20 nm Interferometrische Kalibrierung nach ISO Für Genauigkeitsgrad K und 0. fo, fu mit 5-Punkte-Tastermessung 3.2. Endmasse, bis 100 mm, Vergleichsmessung hohe Genauigkeit Mittenmass 0.5 bis 100 mm Q[25 nm, 0.25E-6xL] Vergleichsmessung mit Endmasskomparator nach ISO Für Genauigkeitsgrad K und 0. Mittenmass, Abweichungsspanne 0.5 bis 100 mm Q[25 nm, 0.25E-6xL]; fo, fu: 20 nm 5-Punkte-Vergleichsmessung mit Endmasskomparator nach ISO Für Genauigkeitsgrad K und Endmasse, bis 100 mm, Vergleichsmessung Mittenmass 0.5 bis 100 mm Q[38 nm, 0.5E-6xL] Vergleichsmessung mit Endmasskomparator nach ISO Endmasse Typ LM Mittenmass, Abweichungsspanne 0.5 bis 100 mm Q[38 nm, 0.5E-6xL]; fo, fu: 20 nm 5-Punkte-Vergleichsmessung mit Endmasskomparator nach ISO Mittenmass 0.01 bis 0.5 mm 0.2 µm Kalibrierung des Mittenmasses mit einem Tastermessgerät. 6/19

7 3.5. Endmasse, bis 1000 mm, interferometrische Messung Mittenmass 125 bis 1000 mm Q[40 nm, 0.17E-6xL] Interferometrische Kalibrierung nach ISO Für Genauigkeitsgrad K und Endmasse, bis 3000 mm, Vergleichsmessung Mittenmass 125 mm bis 500 mm Q[0.15 µm, 0.5E-6xL] Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und mechanischer Antastung. Mittenmass 600 mm bis 1000 mm Mittenmass 1100 mm bis 3000 mm 3.7. Einstellendmasse für Mikrometer Mittenmass 25 mm bis 500 mm Q[0.6 µm, 0.6E-6xL] Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und mechanischer Antastung. Mittenmass >500 mm bis 1000 mm Mittenmass >1000 mm bis 3000 mm 3.8. Stufenendmass, Teilung 20 mm Abstand der Messflächen bis 680 mm Q[0.17 µm, 0.65E-6xL] Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und mechanischer Antastung der Endflächen. Abstand der Messflächen 700 mm bis 1000 mm 3.9. Stufenendmass, Teilung 10 mm Abstand der Messflächen bis 680 mm Q[0.17 µm, 0.65E-6xL] Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und mechanischer Antastung der Endflächen. Abstand der Messflächen 700 mm bis 1000 mm Kalibrierset für Mahr MFU 100 Abstand der Messflächen 50 nm Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und mechanischer Antastung der Endflächen. 7/19

8 4. Strichmasse 4.1. Glasmassstab, bis 700 mm, Längenmessmaschine Strichabstand 0.1 mm bis 700 mm Q[1.5 µm, 3E-6xL] Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer. Lokalisierung der Teilstriche mit Hilfe eines Video- Mikroskops Glasmassstab, bis 600 mm, Photomaskenmessmaschine Strichabstand 0.01 mm bis 600 mm Q[50 nm, 0.1E-6xL] Kalibrierung auf Maskenmessmaschine mit Laserinterferometer. Lokalisierung der Teilstriche mit Hilfe eines Video- Mikroskops und digitaler Bildverarbeitung. Messparameter In Reinraum Klasse Objektmikrometer, bis 50 mm, Photomaskenmessmaschine Strichabstand 0.01 mm bis 50 mm Q[50 nm, 0.1E-6xL] Kalibrierung auf Maskenmessmaschine mit Laserinterferometer. Lokalisierung der Teilstriche mit Hilfe eines Video- Mikroskops und digitaler Bildverarbeitung. Messparameter In Reinraum Klasse Photomaske Koordinaten von Strukturen bis 300 mm x 400 mm Q[50 nm, 0.4E-6xL] Kalibrierung auf Maskenmessmaschine mit Laserinterferometer. Lokalisierung der Teilstriche mit Hilfe eines Video- Mikroskops und digitaler Bildverarbeitung. Messparameter In Reinraum Klasse 100 Messkreuze, Flächenschwerpunkte von Markierungen und Kreuzungspunkte von Linien und Kanten. Weitere Bildauswertungen auf Anfrage Photomaske klein, bis 50 mm, Photomaskenmessmaschine Koordinaten von Strukturen bis 50 mm x 50 mm Q[50 nm, 0.4E-6xL] Kalibrierung auf Maskenmessmaschine mit Laserinterferometer. Lokalisierung der Teilstriche mit Hilfe eines Video- Mikroskops und digitaler Bildverarbeitung. Messparameter In Reinraum Klasse 100 Messkreuze, Flächenschwerpunkte von Markierungen und Kreuzungspunkte von Linien und Kanten. Weitere Bildauswertungen auf Anfrage. 8/19

9 4.6. Photomaske mit Prüfkreisen Durchmesser und Rundheit bis ø1 mm Durchmesser: 0.7 µm Rundheit: 0.07 µm Kalibrierung auf Maskenmessmaschine mit Laserinterferometer. Messung mit Video-Mikroskops und digitaler Bildverarbeitung. Messparameter In Reinraum Klasse 100 Rundheit nach EN ISO mit Filter 15, 50, 150, 500 W/U Durchmesser und Rundheit > ø1 bis ø50 mm Durchmesser: 1 µm Rundheit: > 0.07 µm Kalibrierung auf Maskenmessmaschine mit Laserinterferometer. Messung mit Video-Mikroskops und digitaler Bildverarbeitung. Messparameter In Reinraum Klasse 100 Rundheit nach EN ISO mit Filter 15, 50, 150, 500 W/U 4.7. Lupenmassstab Skalenabweichung bis 1000 mm Kalibrierung mit Endmassen 4.8. Messband Strichabstand bis 50 m Q[10 µm, 3.3E-6xL] Kalibrierung auf 50m-Messbasis mit Laserinterferometer. Lokalisierung der Teilstriche visuell oder mit Hilfe eines photoelektrischen Mikroskops Bandmass für Umfangmessung (PI tape) Strichabstand bis 50 m 0.01 mm für Durchmesser Kalibrierung auf 50m-Messbasis mit Laserinterferometer. Lokalisierung der Teilstriche visuell oder mit Hilfe eines photoelektrischen Mikroskops. 4 Teilungsintervalle und 5 Noniusintervalle, Dicke des Messbandes Werkstattmassstab Strichabstand bis 3000 mm Q[7 µm, 0.4E-6xL] Kalibrierung auf 50m-Messbasis mit Laserinterferometer. Lokalisierung der Teilstriche visuell oder mit Hilfe eines photoelektrischen Mikroskops. 9/19

10 5. Zylindrische Lehren 5.1. Einstelldorn, hohe Genauigkeit Durchmesser 0.2 mm bis 10 mm 50 nm Kalibrierung auf Mikrokoordinatenmessgerät mit Laserinterferometer Durchmesser und Rundheit in 3 Messebenen Durchmesser 4 mm bis 50 mm Q[70 nm, 0.3E-6xL] Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und mechanischer Antastung. Durchmesser und Rundheit in 3 Messebenen. Geradheit und Parallelität von 2 Mantellinien als Diagramm. Durchmesser 51 mm bis 200 mm Q[70 nm, 0.3E-6xL] Durchmesser und Rundheit in 3 Messebenen. Geradheit und Parallelität von 2 Mantellinien als Diagramm. Durchmesser 201 mm bis 400 mm Q[70 nm, 0.6E-6xL] Durchmesser und Rundheit in 3 Messebenen. Geradheit und Parallelität von 2 Mantellinien als Diagramm Einstelldorn, mittlere Genauigkeit Durchmesser 5 mm bis 100 mm Q[0.2 µm, 1E-6xL] Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und mechanischer Antastung. 1 Messebene, inkl. Rundheit Durchmesser 5 mm bis 100 mm Q[0.15 µm, 1E-6xL] Durchmesser und Rundheit in 3 Messebenen. Geradheit und Parallelität von 2 Mantellinien als Diagramm. Durchmesser 101 mm bis 300 mm Q[0.15 µm, 1E-6xL] Durchmesser und Rundheit in 3 Messebenen. Geradheit und Parallelität von 2 Mantellinien als Diagramm Einstellring, hohe Genauigkeit Durchmesser 0.2 mm bis 10 mm 50 nm Kalibrierung auf Mikrokoordinatenmessgerät mit Laserinterferometer Durchmesser und Rundheit in 3 Messebenen 10/19

11 Durchmesser 4 mm bis 50 mm Q[70 nm, 0.3E-6xL] Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und mechanischer Antastung. Durchmesser und Rundheit in 3 Messebenen. Geradheit und Parallelität von 2 Mantellinien als Diagramm. Durchmesser 51 mm bis 200 mm Q[70 nm, 0.3E-6xL] Durchmesser und Rundheit in 3 Messebenen. Geradheit und Parallelität von 2 Mantellinien als Diagramm. Durchmesser 201 mm bis 400 mm Q[70 nm, 0.6E-6xL] Durchmesser und bis ø280 mm inkl. Rundheit in 3 Messebenen sowie Geradheit und Parallelität von 2 Mantellinien als Diagramm Prüfstift, Einstelllehre Durchmesser 0.05 mm bis 0.2 mm 0.08 µm 1 Messhöhe Durchmesser 0.05 mm bis 0.2 mm 0.08 µm 3 Messhöhen Durchmesser 0.2 mm bis 5 mm 0.08 µm 1 Messhöhe, inkl. Rundheit Durchmesser 0.2 mm bis 5 mm 0.08 µm 3 Messhöhen, inkl. Rundheit 5.5. Prüfstift, Grenzlehre Hülldurchmesser 0.2 mm bis 5 mm 0.25 µm 1 Messhöhe, inkl. Rundheistbestimmung gemäss ISO Gewindemessdrähte Durchmesser 0.05 mm bis 0.2 mm 0.25 µm 1 Messhöhe Durchmesser 0.2 mm bis 5 mm 0.08 µm 1 Messhöhe, inkl. Rundheitsbestimmung gemäss ISO /19

12 6. Diverse Lehren 6.1. Kalibrierkugel Durchmesser 0.5 mm bis 2 mm Durchmesser: 20 nm; Form: 30 nm Kalibrierung auf Mikrokoordinatenmessgerät mit Laserinterferometer Mittlerer Durchmesser und Formabweichung. Durchmesser 0.5 mm bis 35 mm 50 nm Kalibrierung auf Mikrokoordinatenmessgerät mit Laserinterferometer Mittlerer Durchmesser und Formabweichung. Durchmesser 4 mm bis 100 mm Durchmesser: 0.15 µm; Rundheit: 0.05 µm Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und mechanischer Antastung. Inkl. Rundheit in 3 Ebenen. Durchmesser 8, 10, 15, 20, 25, 30, 35 mm (Al2O3) Durchmesser: 0.08 µm; Rundheit: 0.05 µm Inkl. Rundheit in drei Ebenen Tastkugel Mittlerer Durchmesser 0.3 mm bis 30 mm 0.2 µm Kalibrierung mit einem Tastermessgerät. Inkl. Rundheit in der Ebene senkrecht zum Schaft Doppelkugeltaster für Gewindemessungen Mittlerer Durchmesser ab 0.2 mm 0.1 µm Kalibrierung auf einem Mikro-Koordinatenmessgerät mit Laserinterferometer Inkl. Rundheit von 3 Profilen parallel und ±8 zum Schaft. Mittlerer Durchmesser ab 0.5 mm 0.2 µm Kalibrierung mit einem Tastermessgerät. Inkl. Rundheit in der Ebene senkrecht zum Schaft. Mittlerer Durchmesser ab 0.5 mm 0.2 µm Kalibrierung mit einem Tastermessgerät. Ohne Rundheit. 12/19

13 6.4. Konuslehre Konuswinkel und Durchmesser Durchmesser: 0.7 µm; Winkel: 1.5" Kalibrierung mit Koordinatenmessgerät eines oder mehrerer mittlerer Durchmesser auf vorgegebenen Höhen und des mittleren Konuswinkels. Inkl. Rundheit 6.5. Einstellscheiben für Aussenmikrometer Mittlerer Durchmesser 3 mm bis 700 mm 0.5 µm Kalibrierung mittels Koordinatenmessgerät. Durchmesser in 2 Messebenen und Formabweichung Einstelllehren für 3-Punkt Innenmikrometer Mittlerer Durchmesser 3 mm bis 700 mm 0.5 µm Kalibrierung mittels Koordinatenmessgerät. Durchmesser in 3 Messebenen und Formabweichung. 7. Winkelnormale und -Teilungen 7.1. Optisches Polygon Winkelteilung 6-flächig 0.1" Die Kalibrierung erfolgt in Kombination mit einem Winkelmesstisch und einem Indexrundtisch nach dem sogenannten Rosettenverfahren. Winkelteilung 12-flächig 0.1" 7.2. Indexrundtisch Winkelteilung 24-flächig Winkelteilung 36-flächig Winkelteilung 0.12" Vergleich mit einem Referenz-Winkelmesstisch Rundtisch Winkelteilung 0.12" Je nach Anwendung. 13/19

14 7.4. Drehgeber Winkelteilung 0.12" Je nach Anwendung Winkelendmass Winkel zwischen Messflächen 0.15" Die Kalibrierung erfolgt auf einem Winkelmesstisch mit Hilfe eines Autokollimators Hartgesteinswinkel Rechtwinkligkeit bis 500 mm 0.2" Kalibrierung mit einem vertikalen Rechtwinkligkeitsmessgerät mit Präzisionsluftlagerschlitten auf Umschlag. Messparameter auf Messplatte stehend Rechtwinkligkeit 600 mm bis 1000 mm Rechtwinkligkeit bis 700 mm 0.16" Kalibrierung mit Winkelmesstisch und horizontalem Geradheitsmessgerät mit Präzisionsluftlagerschlitten. Messparameter liegend 7.7. Haarwinkel, Präzisionswinkel Rechtwinkligkeit und Parallelität Kalibrierung der Geradheitsabweichung der Messschenkel und deren Rechtwinkligkeit mit Dreikoordinatenmessmaschine. 8. Winkel-Messinstrumente 8.1. Autokollimator Abweichung des angezeigten Winkels, 1 Achse 0.1" Vergleich mit Referenz-Winkelmesstisch. Abweichung des angezeigten Winkels, 2 Achsen 0.1" Vergleich mit Referenz-Winkelmesstisch. Abweichung des angezeigten Winkels, 1 Achse 0.03" Vergleich mit Winkelinterferometer. Abweichung des angezeigten Winkels, 2 Achsen 0.03" Vergleich mit Winkelinterferometer. 14/19

15 8.2. Elektronischer Neigungsmesser Abweichung des angezeigten Winkels 0.25" Die Kalibrierung erfolgt auf einem Neigungsmesstisch im Vergleich zu einem Laser-Winkelinterferometer Winkelmesser Abweichung des angezeigten Winkels Kalibrierung mit Hilfe von Winkelendmassen. 9. Ebenheitsnormale 9.1. Planglas Ebenheit 0.02 µm Messung der Ebenheitsabweichung der Messfläche mit Hilfe eines Planheitsinterferometers und video-elektronischer Interferenzstreifenauswertung. Messparameter Durchmesser <95 mm 9.2. Planglas für Bügelmessschrauben Ebenheit, Parallelität und Dicke 0.02 µm Messung der Ebenheitsabweichung der Messflächen mit einem Planheitsinterferometer und der Parallelität und Dicke mit einem Tastermessgerät. Messparameter Durchmesser 25 mm bis 30 mm 10. Rundheitsnormale Rundheitsnormal, hohe Genauigkeit Rundheit 10 nm Kalibrierung der Rundheitsabweichung (insbes. von Hemisphären) mit einem Rundheitsmessgerät unter Anwendung eines Multistep-Fehlertrennverfahrens Rundheitsnormal, mittlere Genauigkeit Rundheit 50 nm Kalibrierung der Rundheitsabweichung mit einem Rundheitsmessgerät. 15/19

16 10.3. Vergrösserungsnormal (Flick) Rundheit Q[0.2 µm, 3E-3xRONt] Kalibrierung der Rundheitsabweichung und der Abflachung des Anschliffs mit einem Rundheitsmessgerät. 11. Geradheitsnormale Haarlineal Geradheit bis 500 mm Kalibrierung der Geradheitsabweichung auf einer Formmessmaschine Geradheitsnormal (Hartgestein, Stahl oder Keramik) Geradheit bis 800 mm 15 nm E-6xL Kalibrierung der Geradheitsabweichung auf einem Geradheitsmessgerät mit Präzisions-Luftlagerschlitten. 12. Zylindrizitätsnormale Prüfzylinder Rundheit, Geradheit und Rechtwinkligkeit Geradheit: 0.08 µm + 5E-8xH; Rechtwinkligkeit: 0.24" Messung der Rundheit auf einer Formmessmaschine sowie der Geradheit und Rechtwinkligkeit der Mantellinien zur Auflagefläche mit einer vertikalen Präzisionsführung. Messparameter Höhe bis 1000 mm, 2 Mantellinien Messparameter Rundheit, Geradheit und Rechtwinkligkeit Höhe bis 1000 mm, 4 Mantellinien 13. Oberflächennormale Tiefeneinstellnormal (Typ A) Rillentiefe nach ISO Q[10 nm, 2E-4xPt] Messung mit einem Bezugsflächentastschnittgerät Wellenlängennormal (Typ C) Rauheitsparameter nach ISO 4287 Q[4 nm, 0.016xRa] Messung mit einem Bezugsflächentastschnittgerät. 16/19

17 13.3. Raunormal (Typ D) Rauheitsparameter nach ISO 4287 Q[4 nm, 0.016xRa] Messung mit einem Bezugsflächentastschnittgerät Konturnormal Radius, Winkel und Abstände auf Anfrage Messung mit einem Bezugsflächentastschnittgerät Schneidkantenradiusnormal Kantenradius (>10 µm), Winkel und Formabweichung auf Anfrage Messung mit einem Bezugsflächentastschnittgerät. 14. Mikroskopienormale Gitter (1-D), Beugungsmessung Strukturabstand Q[0.006 nm, 9E-6xp] Messung mit Laser-Diffraktometer Gitter (2-D), Beugungsmessung Strukturabstand in 2 D Q[0.006 nm, 9E-6xp] Messung mit Laser-Diffraktometer. Rechtwinkligkeit (Option) Vergrösserungsnormal 1-D, AFM Strukturabstand 100 nm bis 20 µm nm + 4E-5xL Metrologie AFM und lineare Verschiebeeinheit mit interferometrischer Positionsmessung Stufenhöhe (Option) 1 nm + 2E-3xh Vergrösserungsnormal 2-D, AFM Strukturabstand 100 nm bis 20 µm nm + 4E-5xL Metrologie AFM und lineare Verschiebeeinheit mit interferometrischer Positionsmessung Stufenhöhe (Option) 1 nm + 2E-3xh 17/19

18 Orthogonalität (Option) Stufenhöhennormal, AFM Stufenhöhe 10 nm bis 2 µm 1 nm + 5E-3xh Metrologie-AFM mit interferometrisch kalibriertem kapazitiven z-sensor. 15. Gewindelehren Gewindelehrdorn Einfacher Flankendurchmesser, Steigung: 0.08 mm bis 0.5 mm (NIHS) 1.2 µm Kalibrierung des Flankendurchmessers auf einem Längenkomparator mit Laserinterferometer und Messdrähten. Für die Steigung und die Flankenwinkel werden die nominellen Werte angenommen. Einfacher Flankendurchmesser Steigung: 0.5 mm bis 6 mm 1.8 µm Kalibrierung des Flankendurchmessers auf einem Längenkomparator mit Laserinterferometer und Messdrähten. Für die Steigung und die Flankenwinkel werden die nominellen Werte angenommen. Flankendurchmesser, Steigung, Flankenwinkel Steigung: 0.5 mm bis 6 mm 1.8 µm Kalibrierung des Flankendurchmessers auf Längenkomparator mit Laserinterferometer und Antastung mit drei Drähten. Messung von Steigung und Flankenwinkel mit Tastschnittgerät. Messparameter Durchmesser > 3 mm Gewindelehrring Einfacher Flankendurchmesser Steigung: 0.5 mm bis 6 mm 1.8 µm Kalibrierung des Flankendurchmessers auf einer Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und Doppelkugeltaster. Für die Steigung und die Flankenwinkel werden die nominellen Werte angenommen. 18/19

19 Flankendurchmesser, Steigung, Flankenwinkel Steigung: 0.5 mm bis 6 mm 1.8 µm Kalibrierung des Flankendurchmessers auf einer Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und Doppelkugeltaster. Messung von Steigung und Flankenwinkel mit Tastschnittgerät. Messparameter Innendurchmesser > 10 mm 16. Koordinatenmesstechnik Kugelplatte Koordinaten der Kugelzentren 600 mm x 600 mm Q[0.6 µm, 1.1E-6xL] Fehlertrennverfahren mit der 4-Lagen-Technik Diverse Lehren div. Masse bis 1200 mm 17. Handmessmittel Messschieber Abweichung der angezeigten Länge bis 300 mm Kalibrierung mit Endmassen Abweichung der angezeigten Länge 400 mm bis 1000 mm Bügelmessschraube Abweichung der angezeigten Länge Kalibrierung mit Endmassen Punkt-Innenmessschraube Abweichung der angezeigten Länge der Messschraube Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer und mechanischer Antastung. Länge Verlängerung Messuhr Abweichung der angezeigten Länge Kalibrierung auf Längenmessmaschine mit Laserinterferometer. 19/19