-147- ADAPTER UND SPEZIAL HARDWARE. 14.1: ADAPTER CF AUF ANDERE TYPEN -> Seite ADAPTER KF AUF ANDERE TYPEN -> Seite 149

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1 ADAPTER UND SPEZIAL HARDWARE UK: ADAPTER/ SPEZIAL HARDWARE.: ADAPTER AUF ANDERE TYPEN -> Seite --ISO vonauf vonauf von zu weiblichen VCR. ADAPTER AUF ANDERE TYPEN -> Seite vonauf von auf Swagelock. ÜBERDRUCKBERSTSCHEIBEN -> Seite 0 Überdruckberstscheiben- Edelstahl Mech. 0 --

2 --ISO. ADAPTER ZU ANDEREN vonzu,undvcr UK: Mit n lassen sich aus verschiedenen Flansch-Systemen einfach verbinden. Allectra bietet zur Kombination aller gängigen Systeme an. Kundenwünsche für andere Flanschtypen sind auf Anfrage lieferbar. Die Standardlänge wird immer mit(a) angegeben. Andere Längen sind auf Anfrage lieferbar. Spezifikation - Vakuum UHV Material Edelstahl Gesamtlänge A zu / mm 0zu mm 0 zu anderen 0 mm und größer 0 mm FLANSCH vonzu Edelstahl FLANSCH ART. NUMMER 0-C-K 0-C-K 0 0-C0-K C0-K0 0 0-C-K C00-K0,00,00 0,00,00 0,00,00 zu 0mm Andere Flanschkombinationen auf Anfrage möglich. vonzu Edelstahl,A=0mm Mech. 0 FLANSCH FLANSCH ART. NUMMER 0-C-ISO C00-ISO C0-ISO C00-ISO00 Andere Flanschkombinationen auf Anfrage möglich.,00 0,00 0,00 0,00 von zu weiblichen VCR Edelstahl FLANSCH VCR ART. NUMMER / (.mm) 0-C-VCRF / (.mm) 0-C-VCRF Andere Flanschkombinationen auf Anfrage möglich.,00,00 vonzupyrexundquarzrohr- Bitte kontaktieren Sie unsere Büros Hardware, Dichtungen: Seite -... zu Varainten: Seite...

3 zu ISO(K) zu Swagelok Schlauch UK: ADAPTER ZU ANDREN TYPEN. können auch auf Anfrage mit anderen Flansch- Kombinationen und in anderen Längen angefertigt werden.,00 0,00 0,00,00,00,00,00,00,00,00,00 --ISO Vakuum Material Spezifikation - HV Edelstahl FLANSCH vonzu EdelstahlA=0mm FLANSCH ART. NUMMER 0-ISO0-K 0 0-ISO0-K0 0 0-ISO0-K ISO00-K ISO00-K0 Andere Flanschkombinationen sind auf Anfrage möglich. zu Swagelok Edelstahl FLANSCH SWG GRÖSSE ART. NUMMER / (.mm) -SWG / (.mm) -SWG / (.mm) -SWG Für andere Flansche und Swagelock-Größen senden Sie uns bitte Ihre Anfrage. Auch auf Flanschen lieferbar. Mech. 0 vonzummidpvc-schlauch EdelstahlA=0mm FLANSCH A ART. NUMMER 0 mm -HN-K 0 mm -HN-K 0 0 mm -HN-K0... Hardware und O-Ringe: Seit... zu Konische Reduzierstücke: Seite... --

4 0 --ISO. ÜBERDRUCK BERSTSCHEIBEN Überdruck-Berstscheiben(PBD) Bei Überdruckbestscheiben ist eine Membran eingebaut, welche bei Überdruck von mehr als > 0.bar über Luftdruck (.bar absolut) zerspringen. Ein wiksamer Schutz bei Überdruck Vorbeugung gegen Zerstörung durch Überdruck BeiAnlagenmitLN KühlungSchutzgegenschlagartigen DruckaufbaubeiAustrittvonN Auf,0sowieauf,oder0Flanschen Spezifikation Berstscheiben Vakuum UHV Berstdruck 0. bis bar über Luftdruck Flansch oder 0 Flansch, und 0 Aufbau Ganzmetall Höhe A von Flansch- zu Flanschkante,,: mm 0, 0: mm Ø des Gehäuses mm UK: uk@allectra.com Berstscheiben(PBD) Flansch Ganzmetall FLANSCH A ART. NUMMER -PBD-C 0 -PBD-C0,00,00 Berstscheiben(PBD) Flansch Ganzmetall Mech. FLANSCH A ART. NUMMER -PBD-K -PBD-K 0 -PBD-K0 0,00 0,00 0,00 Überdruckberstscheiben mit Gasrückgewinnung können auftragsbezogen auch angefertigt werden. Bitte fragen Sie in unseren Büros nach Dichtungen: Seite... Zentrier-Ringe: Seite...

5 UHV UND HOCHVAKUUM KAMMERN UK: UHV- UND HV-KAMMERN.UHVUNDHVKAMMERN Edelstahl UHV Edelstahl HV Zusatzoptionen für ->Seite. SONDERANFERTIGUNGEN -> Seite Kammer-Sonderanfertigungen für Vakuum Kammer-Ausrüstung und Anordnung für Vakuum Nichtmagnetische Mu-Metall Schilde Mu-Metall. STANDARD KAMMERN -> Seite mit Schnellverschluss-Tür(FEL) Komplette Schleusensysteme Variationen der Standard-Ausführung Mech. 0 Kammer Typen Geometrie Material Anwendung Zylinder Edelstahl, Aluminium, Mu-Metall Generell für UH und UHV Kugel Edelstahl, Aluminium, Mu-Metall Oberfl.-Forschung AFM/ STM Würfel mit Tür Edelstahl, Aluminium HV, Beschichtung, Deposition --ISO --

6 . UHVundHV UHVUNDHVKAMMERN Allectra bietet kundenspezifische für UHV und HV Systeme an Edelstahl L oder 0 Standard Design Anfertigung von techn. Zeichnungen nach Kunden-Skizze oder Planung Die sind gereinigt für UHV, unter Verwendung von umweltfreundlichen Lösungsmitteln. UK: uk@allectra.com Kugel- werden hergestellt aus gedrückten Edelstahl-Halbschaleneine typische Bauform für die Oberflächenforschung Mech. 0 --ISO Allg. Spezifikation für Edelstahl Vakuum UHVx0 - mbar HVx0 - mbar Aufbau Edelstahl 0(.0) oder L(.0) Material Flansche Edelstahl L optional LN(.) Orientierung Flansche Festflansche haben keine Löcher in der vertikalen Achse Wandstärke für Durchmesser 0 mm für Durchmesser > 0. mm Große Behälter.0 mm Standard Toleranzen +/- 0. mm linear Winkeltoleranzen +/-0. (Kleinere Toleranzen auf Anfrage möglich) Schweißen WIG-Schweißen von der Innenseite bzw. durchgeschweißt, wenn kein Schweißen von Innenseite möglich Oberfläche UHV-rein und handpoliert Elektropoliert auf Anfrage Optionen beim Kammerbau Vakuum HVoderUHV Elektropoliert Kugelkammern für Oberflächenforschung oder UHV STM/AFM Kasten- oder Würfelaufbau der Kammer mit Tür, komplett mit O-Ring gedichtet Mu-Metall Konstruktion oder Edelstahl mit Mu-Metall Abschirmung Flansche,, ISO(K) oder nach Kundenwunsch Anschlüsse ausgerichtet auf Kammer-Mitte oder andere festgelegte Punkte, gerade oder abgewinkelte Anordnung Wasserkühlung entweder doppelwandig oder aufgelötete Kühlleitungen Montageplatte Lieferung mit Blindflanschen, mit N geflutet SchickenSieunseineSkizzemitIhrerAnfrage zum Erstellen einer -D-Zeichnung. Allectra fertigt anhand von Kundenskizzen technische Zeichnungen an. Selbstversändlich auch D tauglich. Für diese Kammer war eine besonderes hohe Genauigkeit der Maße gefordert- Sonderanfertigung mit kundenspezifischen Flanschen --...Standard Fittings, - und -Wege-Kreuze: Seite -...

7 Sonderanfertigungen für Vakuum UK: SONDERANFERTIGUNGEN. Spezialanfertigungen/ Instrumente und Bauten für Vakuum/ Nichtmagnetische Allectra entwirft und fertigt spezielle Ausrüstungen für UHV- oder kann alternativ HV- und UHV-Teile nach Kundenzeichnung anfertigen. Bei einer entsprechenden Anfrage kann Allectra eine detailierte Fertigungszeichnung anhand Ihrer Skizze erstellen. Hier einige Beispiele von Spezialanfertigungen durch Allectra: Differential gesteuertes Beamline-Element für SOLEIL Synchrotron Miniatur Rechteck UHV-Kammer für eine industrielle Anwendung Durch einen Schrittmotor gesteuerten Schließmechanismus für eine Synchrotron Anwendung Kammer incl. vollständiges Pumpsystem und Flutsteuer- Einheit Nicht-magnetische Allectra bietet eine Anzahl von Möglichkeiten zur Erstellung eines möglichst wenig magnetischen Umfeldes an. Edelstahl- L mit LN Flanschen Aluminium- mit Bimetall-Flanschen (siehe Seite ) Edelstahl- mit Mu-Metall Schirmung Mu-Metall- Mu-Metall Schirmung Die von Allectra angebotenen Edelstahl- in Zylinderform können auch mit einer Mu-Metall-Schirmung auf der Innenseite geliefert werden, ebenso besteht die Möglichkeit der Anfertigung von Mu-Metall mit einem Restmagnetfeld von kleiner als Milli-Gauss im Inneren. Diese Variante kann nur umgesetzt weden, wenn die Anschlussflansche bestimmte Maße nicht überschreiten. Allectra kann diese Möglichkeiten auf Anfrage prüfen. Um das Magnetfeld so gering wie möglich zu halten, wird die Verwendung von Edelstahl mit einer geringen Permeabilität(LN) für die Flansche empfohlen. Mu-Metall UHV- können, mit Ausnahme der Flansche, aus Mu-Metall hergestellt werden. Bei diesen wird ein sehr geringes Restmagnetfeld im Inneren erzielt. Die Herstellungstechnik dieser Mu-Metall- ist sehr aufwändig, daher werden in der Regel Edelstahl- mit Abschirmungen verwendet. Mu-Metall- werden als Analyse- in der Oberflächenforschung verwendet. DiesesindausmmstarkemMu-Metallgebaut,umeine ausreichende Festigkeit zu erhalten. Sorgfältige Planung ist notwendig, weil Mu-Metall deutlich weicher als Edelstahl ist. Kleine Kammer für den industriellen Gebrauch mit integrierter Durchführung. Große Mu-Metall Kammer Siehe Kapitel für Beispiele Aluminium-. Mech. 0 --ISO...Blind-Flansche L: Seite...Blind-Flansche LN: Seite... --

8 Mech. 0 --ISO. FEL KAMMERN Fast Entry Lock(FEL) Modifizierte Standardkomponenten Allectra bietet für Proben-Transferkammern und Schleusen ein Standard-Design mit integrierter Schnellverschluss-Tür an. Versionen mit vergrößerter Tür bieten leichten Zugang zum Wechseln der Proben; ein Sichtfenster in der Tür erlaubt freie Sicht auf die Probenträger. Modifizierte Standard- wie -Wege Kreuze sind eine preiswerte Alternative für einfache, zusätzliche Ports können leicht angebracht werden. Spezifikation FEL Vakuum UHVx0 - mbar Material Edelstahl Dichtung Tür Viton Türangeln Aluminium Sichtfenster 0 Glas Dichtg. Kovar- geschweißte Dichtung Temp. 00 C max. FEL werden einschl. der Schnellverschluss-Tür geliefert. Schnellverschlusstür(QAD) Flansch Tür Ø Ø 0 mm mm 00 mm 0 mm 0 0 mm mm (Siehe Spezifikation auf Seite 0 für QADs.) FEL Kammer-Konstruktion FEL sind entworfen worden für einen schnellen und komfortablen Zugang und den größtmöglichen Sichtdurchmesser der Türen. Diese bestehen meist aus L Edelstahl-Kugeln mit Ports für Port Pumpe Port Vorgesehen für die Tür Port Magnetischer Transporter Port Ventilschieber Port 0 für Meßapparate oder Sichtfenster Port für Gaseinlass Port für Meßapparate oder freibleibend Komplette Schleusensysteme FEL-Kammer und Tür mit Sichtfenster UHV-Ventilschieber mit Viton-Dichtung StandardMagn.TransportermiteinemWegvon00mm Blindflansche für die ungenutzten Ports Modifizierte Standard Fittings Allectra kann den preiswerten Bau von kundenspezifischen Vakuum anbieten, welche auf Standard oder ISO Fittings(Seite - ) basieren. Ports können hinzugefügt, weggelassen oder in anderen Größen angebaut werden. Senden Sie uns Ihre Skizze zu, wir erstellen Ihnen gerne ein entsprechendes Angebot. UK: uk@allectra.com FEL Kammer mit Schnellverschluss-Tür einschl. Sichtfenster FEL Edelstahl mit Viton-Dichtung Tür& Sichtfenster TÜR()* VENTIL()* ART. NUMMER 0-LLC---VP 00 0-LLC-00--VP LLC VP LLC-00-0-VP LLC-0-0-VP * Port Nummern- siehe nebenstehende Tabelle Bewegungssysteme können auch ohne Sichtfenster oder Ventilschieber geliefert werden. Auf Anfrage werden auch kundeneigene Bauteile verwendet, um die Kosten so gering wie möglich zu halten..00,00.00,00.0,00.0,00.0,00 Komplette Bewegungssysteme incl. Ventilschieber(GV) Edelstahl mit Viton gedicht. Tür, Sichtfenster& 00 mm Weg TÜR()* Ventil()* ART. NUMMER 0-LLS---VP LLS-00--VP LLS VP LLS-0-00-VP LLS-0-0-VP-00 * Port Nummern- siehe nebenstehende Tabelle --...Schnellverschlusstüren (QADs): Seite 0...Magnetische Transporter: Seite 0...

9 UK: ALUMINIUM KAMMERN ALUMINIUM KAMMERN UND BIMETALL KOMPONENTEN. ALUMIUM KAMMERN -> Seite Platten basierte Zylinderkammern aus Formteilen Aus dem Block gearbeitete Extrudierte Kammen --ISO. ATLAS BIMETALL FLANSCHE -> Seite Anschweißflansche mit Durchgangslöchern Anschweißflansche mit Gewindelöchern Festflansche mit Durchgangslöchern Festflansche mit Gewindelöchern. ATLAS ATCR BIMETALL ROHRENDSTÜCKE -> Seite Für Aluminium Rohr, zum Stumpfschweißen Für Aluminium Rohr, zum Einsteck-Verschweißen Metalldichtungen für ATCR Männliche Überwurfmuttern ATCR Weibliche Überwurfmuttern ATCR Mech. 0 --

10 . Aluminium ALUMINIUM KAMMERN Aluminium sowohl für Hochvakuum wie auch für UHV werden von Allectra angeboten. Diese haben gegen Edelstahl eine Reihe von Vorteilen: Geringes Gewicht Flexibles Design möglich, Aluminium kann z. B. auch extrudiert werden Unmagnetisch Hohe Wärmeleitfähigkeit, Al- können bei geringeren Temperaturen ausgeheizt werden Gute Eigenschaften für Einsatz bei radioaktiven Strahlen Hochvakuum können mit und Flanschen ausgestattet werden und mit üblichen Dichtungen und Klammern gedichtet werden. UHV Aluminium können mit Bimetall Flanschen gebaut werden(siehe Seite ). Sie können mit allen Standard und normalen Kupferdichtungen verbunden werden. Spezifikation Aluminium UK: Spiegelkammer aus Aluminium Mech. 0 --ISO VakuumUHV x0 - mbar Hochvakuum x0 - mbar Material Aluminium, Type 000 oder 000 Ausheiz-Temp. 0 o Ctyp. Herstellung AC WIG geschweißt Reinigung entsprechend UHV Standard Flansche: Bimetall, Al, und Kundenspezifisch Lassen Sie sich von unseren Büros beraten, welche Art von Kammer für Ihre Anwendung geeignet ist. Aluminium Monochromator Kammer Typen von Aluminium Platten basierend Aluminium-Platten werden miteinander verschweißt, um den Grundkörper der Kammer zu bilden. Dies ist besonders bei großen rechteckigen das beste Vorgehen. Zylinder- Der Grundkörper wird aus fertig erhältlichen Rohren gebildet. Meist basieren die Maße auf dem größten Flansch, welcher verwendet werden soll. aus Formteilen Insbesondere gedrückte Halbkugeln finden Verwendung bei dieser Variante. Kugelförmige oder mit abgerundeten Enden sind so möglich. Auch sehr große können so gebaut werden. Aus dem Block gearbeitete Die leichte und schnelle Bearbeitbarkeit von Aluminium erlaubt die Herstellung kompakter aus Vollmaterial. Selbst größere komplizierte sind so kostengünstig herzustellen. Extrudierte Extrudiertes Aluminium findet typ. bei langen in Beamlines und Syncrotrons Verwendung. Zum Teil werden Gettermaterialien aufgebracht, um eine großflächige Pumpe zu erhalten Bimetall Al-Edelstahl Flansche: Seite...Al-VCR Fittings: Seite...

11 Bimetall Flansche Der Bimetall Flansch bestehet aus einer Edelstahl-Frontseite, welche die Standard Schneidkantengeometrie von Flanschen aufweist. Die Rückseite des Flansches besteht aus Aluminium, welche mit einer Kammer oder an ein Rohr aus Aluminium angeschweißt werden kann. Die Verbindung der beiden Materialien erfolgt über ein patentiertes Verfahren, welches dünne Zwischenlagen aus Titan und Kupfer verwendet. Das Ergebnis ist ein Interface von hoher Stabilität von Cryo-Temperaturen bis zu 00 C. Aluminium ist sehr gut für UHV Anwendungen geeignet, es wird bereits in vielen Syncrotrons und in der Halbleiterfertigung eingesetzt. Durch die -Flansche können diese problemlos mit Bauteilen wie Pumpen, n oder Meßgeräten verbunden werden. In einer Reihe von Syncrotrons werden die -Flansche als Verbindungsglieder eingesetzt. Spezifikation Bimetall Flansche Material Edelstahl L(.0) Aluminium 0-T Vakuum UHV Temperatur bis 0 C Schweißen WIG oder Elektronenstrahl UK: uk@allectra.com ATLAS BIMETALL FLANSCHE. Bimetall Flansche werden durch ein Explosionsschweißverfahren hergestellt mit Ti und Cu Zwischenlagen( Technologies Inc. Patent Process). Bimetall Flansche mit Rohransatz, Festflansche, gebohrt FLANSCH ROHR OD ART. NUMMER mm 0-BI mm 0-BI-0-0. mm 0-BI mm 0-BI mm 0-BI Bimetal Flansche mit Rohransatz Festflansche mit Gew. M/M/M, gebohrt FLANSCH ROHR OD ART. NUMMER T-M mm 0-BI-0-0T-M. mm 0-BI-0- T-M. mm 0-BI-00-00T-M 0. mm 0-BI-000-0T-M. mm 0-BI-000- Mech. Bimetall Flansche mit Rohransatz Festflansche, BLINDFLANSCHE 0 FLANSCH TYP ART. NUMMER BLANK 0-BI BLANK 0-BI-0-0 BLANK 0-BI BLANK 0-BI BLANK 0-BI Bimetal Flansche mit Rohransatz Festflansche mit Gew. M/M/M, BLINDFLANSCHE FLANSCH TYP ART. NUMMER T-M BLANK 0-BI-0-0T-M BLANK 0-BI-0- T-M BLANK 0-BI-00-00T-M BLANK 0-BI-000-0T-M BLANK 0-BI-000- Datenblättter mit allen Abmaßen der Bimetall-Flansche sind erhältlich. Bitte fragen Sie an. --ISO...Cu-Dichtungen: Seite... Schraubensätze: Seite... --

12 . BIMETALL ATCR FITTINGS ATLAS ATCR Bimetall Rohrverschraubungen Diese Bimetall Rohrverschraubungen sind kompatibel mit den Standard VCR. Aluminium Rohre können somit über eine Ganzmetallverschraubung verbunden werden. UK: Vakuum Material Temp. Spezifikation ATCR Fittings UHVx0 - mbar Aluminium/ Edelstahl 0 C max. Bimetall Rohrverschraubung STUMPFSCHWEISS-VERSION für Flansch Stumpfschweiss- Version für Flanschverschweißung GRÖSSE(OD mm) ID mm ART. NUMMER /"(.). 0-ATCRBI-BW00 /"(.).0 0-ATCRBI-BW00 /"(.) 0. 0-ATCRBI-BW00 /"(.). 0-ATCRBI-BW00 " (.). 0-ATCRBI-BW00 Mech. Einsteck-Schweiss- Version für Al Rohr Bimetal Rohrverschraubung EINSTECK SCHWEISSVERSION für Al Rohr GRÖSSE(OD) ROHR OD ART. NUMMER /"(.). 0-ATCRBI-SW00 /"(.). 0-ATCRBI-SW00 /"(.). 0-ATCRBI-SW00 /(.). 0-ATCRBI-SW00 "(0.). 0-ATCRBI-SW00 Bimetall Rohrverschraubung Metalldichtungen KUPFER(NiundAlaufAnfrage) 0 Kupfer Dichtung für ATCR Fittings NOM. GRÖSSE TYP ART. NUMMER /"(.) Cu 0-ATCRHW-00-0 /"(.) Cu 0-ATCRHW-00-0 /"(.) Cu 0-ATCRHW-00-0 /"(.0) Cu 0-ATCRHW-00-0 "(.) Cu 0-ATCRHW ISO -- Überwurf Schraube, Edelstahl (MALE) Überwurf Mutter, Edelstahl (FEMALE) Für weitere Dimensionen fragen Sie bitte nach unserem ATCR Datenblatt. Bimetall Rohrverschraubung Überwurf-SCHRAUBE, Edelstahl(Al auf Anfrage) NOM. GRÖSSE TYP ART. NUMMER /"(.) MALE SS 0-ATCRHW-00-0 /"(.) MALE SS 0-ATCRHW-00-0 /"(.) MALE SS 0-ATCRHW-00-0 /"(.0) MALE SS 0-ATCRHW-00-0 " (.) MALE SS 0-ATCRHW-00-0 Bimetall Rohrverschraubung Überwurf-MUTTER, Edelstahl(Al auf Anfrage) NOM. GRÖSSE TYP ART. NUMMER /"(.) FEMALE SS 0-ATCRHW-00-0 /"(.) FEMALE SS 0-ATCRHW-00-0 /"(.) FEMALE SS 0-ATCRHW-00-0 /"(.0) FEMALE SS 0-ATCRHW-00-0 " (.0) FEMALE SS 0-ATCRHW Aluminium : Seite...