UHV absolutes optisches

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1 L D Mess-System UHV absolutes optisches Das UHV System bietet alle Vorteile der bewährten RESOLUTE Weg- und Winkelmess-Systeme in einem Abtastkopf der unter Verwendung von UHVtauglichen Materialien und Prozessen konzipiert und gefertigt wurde. bestimmt die Position sofort nach dem Einschalten ohne jegliche Bewegung oder Pufferbatterien. Hierdurch wird eine sichere Kontrolle der Achse erreicht und das Risiko von unkontrollierten Bewegungen und Kollisionen eliminiert - entscheidende Vorteile an sensiblen Achsen. bietet einen sehr geringen zyklischen Fehler (SDE) wodurch die Regelgüte wesentlich verbessert werden kann. Dies hat mehrere Vorteile u.a. höhere Gleichlaufgüte reduzierte Vibration und eine geringere Verlustleistung im Motor. Zudem bietet ein niedriges Positionsrauschen (Jitter) von weniger als 10 nm RMS d. h. die Positionsstabilität wird deutlich verbessert. Diese einzigartige Technologie verbindet eine 1 nm Auflösung linear bzw. 32-Bit rotativ mit extrem hohen Geschwindigkeiten bis zu 100 m/s ( min-1). Für dieses Mess-System stehen verschiedene lineare und rotative Maßverkörperungen zur Verfügung. Lineare Maßbandoptionen reichen von RTLA Maßbändern mit schneller und einfacher Installation und einer beeindruckenden Genauigkeit von ±5 µm/m bis hin zu RELA ZeroMet Maßstäben mit einer sehr geringen thermischen Ausdehnung und einer zertifizierten Genauigkeit besser als ±1 µm. Rotative Maßbandoptionen sind u.a. RESA Ringe mit dünnen Querschnitten und einfacher Konusmontage sowie die hochgenauen REXA Ringe die mit zwei Abtastköpfen eingesetzt werden um eine installierte Gesamtgenauigkeit von weniger als ±1 Winkelsekunde ohne jede mechanische Hysterese zu erreichen. Für eine hervorragende Rauschunempfindlichkeit ist UHV mit einer Reihe serieller Protokolle erhältlich einschließlich BiSS C Mitsubishi und Panasonic. Saubere RGA Niedrige Ausgasrate Ausbacktemperatur von 120 C Absolutes berührungsloses optisches Mess-System: keine Batterien erforderlich Großzügige Einstelltoleranzen sorgen für eine schnelle und einfache Installation Auflösung bis 1 nm oder 32 Bit rotativ 100 m/s max. Umfangsgeschwindigkeit für alle Auflösungen (bis min -1 ) Nominelle Teilungsperiode 30 µm gewährleistet außergewöhnliche Gleichlaufgüte ± 40 nm zyklischer Fehler für eine gleichförmige Geschwindigkeitsregelung Weniger als 10 nm RMS Jitter für eine verbesserte Positionsstabilität Spezielle Prüfalgorithmen bieten inhärente Sicherheit Integrierte Einstell-LED sorgt für eine einfache Installation und Diagnose Arbeitstemperatur bis zu 75 C Integrierte Temperaturüberwachung Verschiedene serielle Protokolle erhältlich. Weitere Informationen erhalten Sie bei Ihrer Renishaw-Niederlassung Kompatibel mit: RELA hochgenauer Maßstab mit sehr geringem Ausdehnungskoeffizient RSLA Edelstahlmaßstäbe FASTRACK TM mit RTLA RTLA-S selbstklebendes Edelstahlmaßband RESA Winkelmess-Systeme Höchstpräzise Winkelmess- Systeme REXA

2 Das System bietet: Einzigartiges einspuriges absolutes optisches Maßband u Die Absolutposition wird sofort beim Einschalten festgestellt u Keine Batterien erforderlich u Viel höhere Toleranz gegenüber Gierwinkelabweichungen als Zweispur-Systeme u Beste Regelgüte durch feinste optische Teilungsperiode u Hervorragende Messleistung und Zuverlässigkeit Einzigartige Erkennungsmethode u Der Abtastkopf verhält sich wie eine extrem schnelle CCD-Kamera und fotografiert das codierte Maßband u Zur Bestimmung der Absolutposition werden die Fotos über ein Hochgeschwindigkeits-DSP analysiert u Ein eingebauter Algorithmus zur Überprüfung der Position überwacht permanent die Berechnungen für eine optimale Sicherheit und Zuverlässigkeit u Filteroptiken und Erkennungsalgorithmen wurden konzipiert um geringes Rauschen (Jitter < 10 nm RMS) und einen geringen zyklischen Fehler (SDE ±40 nm) zu erzielen Angebot an Maßstäben und Winkelmess-Systemen u Hochgenaue RELA-Maßstäbe aus Nickel-Eisen Legierung mit einer hohen Stabilität und minimalen thermischen Ausdehnung sowie einer Genauigkeit von ±1 µm sind bis zu einer Länge von 1130 mm erhältlich u Robuster RSLA-Edelstahlmaßstab bietet eine bessere Genauigkeit als Glasmaßstäbe und Längen bis zu 5 m; eine Genauigkeit von ±4 μm kann über eine Länge von 5 m erreicht werden u FASTRACK mit RTLA-Maßband und RTLA-S selbstklebendes Maßband für schnelle und einfache Installation mit einer Genauigkeit von ±5 μm/m u Der RESA-Ring mit einzigartiger Konusmontage bietet einen großen Durchlass für eine einfache Integration Verfügbare Protokolle und Auflösungen Protokoll BiSS C Panasonic Linear 50 nm 5 nm 1 nm 100 nm 50 nm 1 nm Auflösungen Rotativ 18 Bit 26 Bit 32 Bit Weitere serielle Protokolle sind erhältlich. Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an Ihre Renishaw-Niederlassung. u Höchstpräziser REXA-Ring mit einer installierten Gesamtgenauigkeit von ±1 Winkelsekunde bei Verwendung von zwei Abtastköpfen

3 Lineares absolutes Wegmess-System Auflösungen und Maßbandlängen RESOLUTE mit BiSS-C (unidirektional) RESOLUTE mit BiSS-C (unidirektional) Protokoll ist mit drei Positionswortlängen erhältlich: 36-Bit 32-Bit und 26-Bit. Die maximale Maßbandlänge entspricht dem Produkt aus Auflösung des Abtastkopfes und der Anzahl der Positionsbits im seriellen Wort. Kürzere Wortlängen mit feinen Auflösungen begrenzen die max. Maßbandlänge. Umgekehrt können längere Maßbänder bei einer niedrigeren Auflösung bzw. größeren Wortlänge verwendet werden. Das 36-Bit und 32-Bit Positionswort ermöglichen größere Verfahrlängen was insbesondere bei höheren Auflösungen von deutlichem Vorteil ist. Auflösung 1 (nm) 5 (nm) 50 (nm) Max. Maßbandlänge mit 36-Bit Positionswort Max. Maßbandlänge mit 32-Bit Positionswort 4295 m Max. Maßbandlänge mit 26-Bit Positionswort 67 mm 336 mm 3355 m Max. Lesegeschwindigkeit 100 m/s 100 m/s 100 m/s RESOLUTE mit Panasonic RESOLUTE mit serieller Panasonic Schnittstelle ist wahlweise in Auflösungen von 1 nm 50 nm oder 100 nm erhältlich. Die maximale Verfahrgeschwindigkeit beträgt 40 m/s. Die maximale Maßbandlänge entspricht den nachstehend aufgeführten technischen Daten zum Maßband. Für Informationen über weitere serielle Protokolle wenden Sie sich bitte an Ihre Renishaw-Niederlassung. Maßband - Spezifikationen Ausführlichere Informationen über Maßstäbe erhalten Sie im jeweiligen. Beschreibung RELA Hochgenauer Maßstab mit sehr geringem Ausdehnungskoeffizient für höchstpräzise Anwendungen. Längen bis zu 1130 mm. RSLA FASTRACK/RTLA RTLA-S Leistungsstarke Edelstahl-Maßstäbe für hochpräzise Anwendungen mit längeren Achsenlängen. Längen bis zu 5 m. Schienenmontiertes Maßband aus vergütetem Edelstahl für Regelkreise aus dem Hochleistungsspektrum die eine einfachere und schnellere Maßbandinstallation und Austausch vor Ort benötigen. RTLA Längen bis zu FASTRACK Längen bis zu 25 m. Selbstklebendes Maßband aus vergütetem Edelstahl für Regelkreise aus dem Hochleistungsspektrum bei denen es auf eine besonders einfache Installation ankommt. Längen bis zu 5 m. Genauigkeit RELA ±1 µm bis zu 1130 mm bei 20 C RSLA ±15 µm bis zu 1 m bei 20 C ±225 µm bis zu 2 m bei 20 C ±3 µm bis zu 3 m bei 20 C ±4 µm bis zu 5 m bei 20 C RTLA ±5 µm/m bei 20 C RTLA-S ±5 µm/m bei 20 C Thermischer RELA ~ 06 µm/m/ C (0 C bis 30 C) Ausdehnungskoeffizient < 14 µm/m/ C (30 C bis 100 C) RSLA FASTRACK/RTLA RTLA-S ~108 µm/m/ C 106 µm/m/ C 106 µm/m/ C

4 Absolutes Winkelmess-System Auflösung RESOLUTE ist mit verschiedenen Auflösungen erhältlich um den unterschiedlichsten Anwendungen gerecht zu werden. Die Wahl der Auflösung hängt vom verwendeten seriellen Protokoll ab. Aufgrund der Ringgröße bestehen keinerlei Einschränkungen beispielsweise ist eine BiSS 26-Bit Auflösung und Mitsubishi 27-Bit Auflösung für alle Ringgrößen erhältlich. BiSS RESOLUTE Auflösungen erhältlich: 18-Bit ( Impulse pro Umdrehung 494 Winkelsekunden) 26-Bit ( Impulse pro Umdrehung 0019 Winkelsekunden) 32-Bit ( Impulse pro Umdrehung Winkelsekunden) Bitte beachten Sie dass die 32-Bit Auflösung unterhalb des Grundrauschens der RESOLUTE Mess-Systeme liegt. Geschwindigkeit und Genauigkeit RESA Durchmesser (mm) Max. Lesegeschwindigkeit (min -1 ) Systemgenauigkeit (Winkelsekunden) ±549 ±489 ±382 ±286 ±272 ±269 ±244 ±191 ±143 ±142 ±14 ±127 ±111 ±095 ±082 ±069 ±068 ±059 ±052 Die Systemgenauigkeit ist die Teilungsgenauigkeit plus dem kurzwelligen Fehler des Abtastkopfes.Effekte wie Exzentrizität beeinflussen die Leistungsfähigkeit des Systems; für Rat zu Ihrem speziellen Anwendungsfall wenden Sie sich bitte an Ihren Lieferanten. Achtung: Bei Bewegungsachsen mit sehr hoher Geschwindigkeit müssen zusätzliche Erwägungen in Bezug auf die Konstruktion in Betracht gezogen werden. Bei Anwendungen die 50% der max. Lesegeschwindigkeit überschreiten wenden Sie sich für weitere Informationen bitte an Ihre Renishaw-Niederlassung. Daten für Geschwindigkeit und Genauigkeit von REXA Systemen entnehmen Sie bitte dem REXA. Allgemeine Spezifikationen (Weg- und Winkelmess-System) Spannungsversorgung 5 V ±10% max. 125 W (250 5 V) HINWEIS: Die Stromaufnahme bezieht sich auf RESOLUTE-Systeme mit Abschlusswiderstand. Wegmess-Systeme von Renishaw müssen durch eine 5 V DC Spannungsquelle versorgt werden entsprechend den Bestimmungen EN (IEC) für SELV-Stromkreise. Restwelligkeit <200 mvss bei Frequenzen bis max. 500 khz Zulässige Lagerung 0 C bis +80 C Temperaturbereiche Betrieb 0 C bis +75 C Ausbacken (Nicht im Betrieb) 120 C Luftfeuchtigkeit Schutzklasse Max. 95% relative Luftfeuchtigkeit bei +40 C (nicht kondensierend) Beschleunigung (Abtastkopf) Betrieb 500 m/s² BS EN :1993 Schock (Abtastkopf) Nicht im Betrieb 1000 m/s² 6 ms ½ Sinus BS EN :2009 IP30 Maximale Maßstabsbeschleunigung BiSS und Panasonic m/s 2 der Maßverkörperung gegen HINWEIS: Dieser Wert gilt für die geringstetaktrate. Bei schnelleren Taktraten den Abtastkopf kann mdie maximale Maßstabbeschleunigung gegen den Abtastkopf höher sein. Für weitere Einzelheiten wenden Sie sich bitte an Ihre Renishaw-Niederlassung. Vibration Betrieb Max. 100 m/s² bei 55 Hz bis 2000 Hz BS EN :1996 Willkürliche Schwingungen 015 g 2 /Hz ASD Hz -6dB Rollen von 1-2 khz Masse Abtastkopf 19 g Kabel 19 g/m EMV-Konformität BS EN : 2006 Kabel Versilbertes Kupfergeflecht FEP isolierte Adern über verzinnten Kupferadern

5 RGA-Ergebnisse Testablauf Ein auf einen Scanbereich von 200AMU eingestelltes Quadrupol-Massenspektrometer (AccuQuad 200 RGA) wurde verwendet um RGA- (Restgasanalyse) Daten zu erfassen und den Gesamtkammerdruck zu messen. Nach der anfänglichen Voreinstellung des Systems wurde ein Hintergrundspektrum zusammen mit dem Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet. Die Komponente wurde in die Vakuumkammer (00035 m 3 ) gesetzt und das System wurde dann mithilfe einer Dioden-/Ionenpumpe des Typs KJL Lion 802 (800/s) und einer Membranpumpe des Typs Divac bei Raumtemperatur 24 Stunden lang ausgepumpt woraufhin erneut eine Hintergrundabtastung durchgeführt und der Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet wurde. War der Systemdruck besser als 5 x 10-9 mbar wurde das Testexemplar bei 120 C 48 Stunden lang gebacken. Anschließend wurde gewartet bis das System auf Raumtemperatur heruntergekühlt war bevor ein letztes Massenspektrum und der Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet wurden. Diese abschließenden RGA-Aufzeichnungen sind nachfolgend dargestellt. HINWEIS: Eine exakte Wiederholung dieser Ergebnisse ist unwahrscheinlich da die RGA-Daten von vielen Faktoren einschließlich den Umgebungsfaktoren und den Ausgangsbedingungen in der Kammer abhängen. Diese Daten sind jedoch repräsentativ für die Funktion im Vakuum. RESOLUTE Abtastkopf mit einem Kabel nach Ausbackung (Gesamtdruck = 8 x 10 -bar) Partialdruck/mbar Masse/AMU RSLA linearer Maßstab (180 mm Länge) mit 2 Klammern und 1 Klemme nach Ausbackung (Gesamtdruck = 30 x 10 -bar) Partialdruck/mbar Masse/AMU RTLA-S lineares Maßband (300 mm Länge) nach Ausbackung (Gesamtdruck = 169 x 10 -bar) Partialdruck/mbar Masse/AMU RESA (Ø115 mm) nach Ausbackung (Gesamtdruck = 776 x 10 -bar) Partialdruck/mbar Masse/AMU

6 UHV Installationszeichnung (auf RSLA/RELA Maßband) Alle Abmessungen und Toleranzen in mm Weitere Informationen erhalten Sie in den Installationshandbüchern zu RESOLUTE Weg- und Winkelmess-Systemen 6 typ* 149 ±02 (Gierwinkel ±05 ) 031 Optische Mittellinie des Abtastkopfes und des Ringes 55 min >R10 statischer Biegeradius Einstell-LED 2 x M3 angesenkt auf Ø3 3 tief = (Nickwinkel ±05 ) 031 Ø (Rollwinkel ±05 ) (Montage durch Kleben 3 15 (Montage mit Klemmung) 08 ±1 Optische Mittellinie des Abtastkopfes und des Ringes optische Mittellinie *Größe der alternativen Montagefläche = Empfohlene Einschraubtiefe min. 5 mm (8 mm inkl. Senkung) Empfohlenes Anzugsmoment 05 bis 10 Nm typ* Abstand 08 ±015

7 Winkelmess-System Nomenklatur RA 26B VA 052B 30 V Wegmess-System Nomenklatur RL 32B VS 001C 30 V Modell R = RESOLUTE Modell R = RESOLUTE Maßband A = Winkelmess-System Maßband L = Linear Protokoll 18B = BiSS 18-Bit 26B = BiSS 26-Bit 32B = BiSS 32-Bit 23F = FANUC High Typ A (23-Bit) 27F = FANUC High Typ B (27-Bit) 23M = Mitsubishi 23-Bit 2-Draht* 23N = Mitsubishi 23-Bit 4-Draht* 27N = Mitsubishi 27-Bit 4-Draht* Mechanische Option A = Standard IP64 E = Erweiterter Temperaturbereich V = Vakuum Option Signalstärke A = Standard Protokoll 26B = BiSS 26-Bit 32B = BiSS 32-Bit 36B = BiSS 36-Bit 37F = FANUC 37-Bit 40M = Mitsubishi 40 -Bit 2-Draht* 40N = Mitsubishi 40-Bit 4-Draht* 48P = Panasonic 48-Bit Mechanische Option A = Standard IP64 V = Vakuum Option Signalstärke T = RTLA/RTLA-S S = RSLA E = RELA Ringdurchmesser 052 = 52 mm Ring (nur REXA) Option Maßstabscode B = Standard-Maßstabscode Kabellänge 10 = 50 = 50 m 15 = 15 m 90 = 90 m (nur Lemo) 20 = 2 m 99 = 100 m 30 = 30 m Steckverbindung A = 9-pol. SUB-D Stecker F = ohne Stecker H = FANUC Stecker L = Lemo-Zwischenstecker N = 15-poliger Sub-D-Stecker für Mitsubishi V = Vakuum ohne Stecker Auflösung 001 = 1 nm 005 = 5 nm (nur BiSS-C) 050 = 50 nm 100 = 100 nm (nur Panasonic) Option Maßstabscode B = RTLA/RTLA-S C = RSLA D = RELA Kabellänge 10 = 50 = 50 m 15 = 15 m 90 = 90 m (nur Lemo) 20 = 2 m 99 = 100 m 30 = 30 m Steckverbindung A = 9-pol. SUB-D Stecker F = ohne Stecker H = FANUC Stecker L = Lemo-Zwischenstecker N = 15-poliger Sub-D-Stecker für Mitsubishi V = Vakuum ohne Stecker Ausgegraute Optionen sind bei dieser Variante nicht verfügbar. *2-adrig: MR-J4 System 4-adrig: MDS-D System

8 Renishaw GmbH Karl-Benz-Straße Pliezhausen Deutschland T +49 (0) F +49 (0) E germany@renishaw.com Mit kompatible Produkte: Standard RESOLUTE BiSS FANUC Mitsubishi Panasonic Siemens DRIVE-CLiQ RESA REXA RELA ETR RSLA RTLA-S FASTRACK/ RTLA Weltweite Kontaktinformationen finden Sie unter RRENISHAW IST UM DIE RICHTIGKEIT UND AKTUALITÄT DIESES DOKUMENTS BEMÜHT ÜBERNIMMT JEDOCH KEINERLEI ZUSICHERUNG BEZÜGLICH DES INHALTS. EINE HAFTUNG ODER GARANTIE FÜR DIE AKTUALITÄT RICHTIGKEIT UND VOLLSTÄNDIGKEIT DER ZUR VERFÜGUNG GESTELLTEN INFORMATIONEN IST FOLGLICH AUSGESCHLOSSEN. RENISHAW und das Messtaster-Symbol wie sie im RENISHAW-Logo verwendet werden sind eingetragene Marken von Renishaw plc im Vereinigten Königreich und anderen Ländern. apply innovation sowie Namen und Produktbezeichnungen von anderen Renishaw Produkten sind Schutzmarken von Renishaw plc und deren Niederlassungen. DRIVE-CLiQ ist eine eingetragene Handelsmarke von Siemens. BiSS ist eine eingetragene Handelsmarke von ic-haus GmbH Renishaw plc Alle Rechte vorbehalten Ausgabe 0913 *L *