ESD im Reinraum verstehen vorbeugen erkennen 1 basan your partner for cleanroom products and services Mier Schulung, Reinigungstechnik, ESD
Zur Person Rijnder Mier Mier Reinigungstechnik Am Alten Brunnen 8b 85659 Forstern Tel. +49 8124 4436094 Fax +49 8124 4436095 E-Mail mier@mier-rein.de Site www.mier-rein.de Erfahrungen: 9 Jahre Reinraumtechnik 13 Jahre ESD koordinator 4 Jahre Defektdichte Engineering Seit 12/2007 Selbständig Projekte basan Luftreinigung / Luftsanierung Sachverständiger für Raumluftmessungen 2
Agenda 1. Entstehung von elektrostatischen Aufladungen 2. Unvorhersehbare elektrostatische Entladungen 3. Probleme der elektrostatischen Entladungen 4. ESD-Plan 5. ESD Messungen an Mensch und Material 6. Meßvorführungen, Beispiele, Bekleidung 3
1. Entstehung von elektrostatischen Aufladungen 1. Bewegung und Trennung von zwei Materialien / Stoffen Teppich Bewegung: Ladungstrennung, Elektronenrückfluss, Restladung bleibt zürück. Bewegung: Restladung bleibt zürück, ein Überschuss an positiven Ladungen bleibt am Körper. 4
1. Entstehung von elektrostatischen Aufladungen 3. Influenz Die Folge kann der Verlust der Platine oder des Bauelements sein. 5
2. Unvorhersehbare elektrostatische Entladungen Agieren statt reagieren Unerwartete Entladungen vermeiden. Kein Potential bedeutet: kein Stromfluß also keine Gefahr beispielsweise für Bauelemente. Produktschutz: Entladungen von EDS sensitive devices vorbeugen, ausschliesen onder kontrolliert entladen. Kontrollierte Entladungen um ESD-Ereignissen vorzubeugen. ESD Fieldmeter benutzen, Produkt messen. Ionisierung wenn es sonst keine Möglichkeiten gibt. 6
2. Unvorhersehbare elektrostatische Entladungen Agieren statt reagieren => Prüfung der Ionisatoren 7
5. ESD Messungen an Mensch und Material Mensch: Durchgangswiderstand prüfen, Systemcheck zwischen Handfläche und Erde. 8
2. Unvorhersehbare elektrostatische Entladungen Quellenangabe: Rainer Pfeifle /Firma Wolfgang Warmbier e.k 9
DIN EN 61340 DIN EN 61340-2-1 DIN EN 61340-2-3 DIN EN 61340-3-1 DIN EN 61340-3-2 DIN EN 61340-4-3 DIN EN 61340-5-1 DIN EN 61340-5-2 Elektrostatik - Teil 2-1: Messverfahren Fähigkeit von Materialien und Erzeugnissen, elektrostatische Ladungen abzuleiten (IEC 61340-2-1: 2002) Deutsche Fassung EN 61340-2-1: 2002 Elektrostatik - Teil 2-3: Prüfverfahren zur Bestimmung des Widerstandes und des spezifischen Widerstandes von festen planen Werkstoffen, die zur Vermeidung elektrostatischer Aufladung verwendet werden (IEC 61340-2-3: 2000) Deutsche Fassung EN 61340-2-3: 2000 (Leider veraltet) Elektrostatik - Teil 3-1: Verfahren zur Simulation elektrostatischer Entladung Human Body Model (HBM) Bauelementeprüfung (IEC 61340-3-1: 2002) Deutsche Fassung EN 61340-3-1: 2002 Elektrostatik - Teil 3-2: Verfahren zur Simulation elektrostatischer Entladung Machine Model (MM) Bauelementeprüfung (IEC 61340-3-2: 2002) Deutsche Fassung EN 61340-3-2: 2002 Elektrostatik - Teil 4-3: Standard-Prüfverfahren für spezielle Anwendungen Schuhwerk (IEC 61340-4-3: 2001) Deutsche Fassung EN 61340-4-3: 2001 Elektrostatik - Teil 5-1: Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene Allgemeine Anforderungen (IEC 61340-5-1: 1998 + Corrigendum 1999) Deutsche Fassung EN 61340-5-1: 2001 + Corrigendum 2001 Elektrostatik - Teil 5-2: Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene Benutzerhandbuch (IEC 61340-5-2: 1999) Deutsche Fassung EN 61340-5-2: 2001 + Corrigendum 2001 10