Positioniersysteme Linearmotor-Systeme

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HIWIN GmbH Brücklesbünd 2 D-77654 Offenburg Telefon +49 (0) 7 81 9 32 78-0 Telefax +49 (0) 7 81 9 32 78-90 info@hiwin.de www.hiwin.de Alle Rechte vorbehalten. Nachdruck, auch auszugsweise, ist ohne unsere Genehmigung nicht gestattet. Anmerkung: Die technischen Daten in diesem Katalog können ohne Vorankündigung geändert werden.

Willkommen bei HIWIN Die Positioniersyteme von HIWIN ermöglichen eine zeitlich und örtlich exakte Positionierung. Sie sind für horizontale oder vertikale Einbaulage geeignet. Die direktangetriebenen Systeme ermöglichen einen spielfreien, sehr dynamischen Betrieb mit geringem Wartungsaufwand. Sie können auf Wunsch als Komplettlösung inklusive Antriebsverstärker geliefert werden.

Positioniersysteme Wir machen linearen Fortschritt bezahlbar

Inhalt Einführung 1. Allgemeine Informationen 1.1 Glossar 2 1.2 Typische Kenngrößen 4 2. Linearmotorachsen 2.1 Produktübersicht 6 2.2 Typische Merkmale der Linearmotorachsen 8 2.3 Lieferumfang 9 2.4 Antriebsverstärker für Linearmotorachsen 10 2.5 Systemkonfiguration 11 2.6 Bestellcodes 12 2.7 Linearmotorachsen LMX1E 15 2.8 Linearmotorachsen LMX1L-S 22 2.9 Linearmotorachsen LMX1L-T 36 2.10 Linearmotorachsen LMV1L 38 2.11 Linearmotorachsen LMH1L 40 2.12 Kreuztische 43 2.13 Gantry-Systeme 47 3. Kundenspezifische Positioniersysteme 3.1 Beispiele 49 4. Planar-Servomotoren und Planarmotoren 4.1 Planar-Servomotor LMSP 54 4.2 Steuerkarte PC14P 58 4.3 Klemmblock PC14B-TB 58

Positioniersysteme Kundenspezifische Positioniersysteme 1.1 Glossar Auflösung ist die kleinste Wegstrecke, die vom eingesetzten Wegmess-System erkannt wird. Die erreichbare > Schrittweite liegt durch zusätzliche Faktoren in der Regel über der Auflösung. Beschleunigung ist die Geschwindigkeitsänderung pro Zeiteinheit, also Beschleunigung = Geschwindigkeit / Zeit bzw. a = v / t. Beschleunigungszeit ist definiert als die Zeit, die ein Antrieb aus dem Stand bis zum Erreichen der Endgeschwindigkeit benötigt. Dauerdrehmoment, Dauerkraft (siehe auch Kapitel 1.3, F c ) Dauerdrehmoment bzw. Nenndrehmoment (bei rotatorischen Bewegungen) und Dauerkraft bzw. Nennkraft (bei linearen Bewegungen) kann der Motor im Dauerbetrieb abgeben (Einschaltdauer ED = 100 %). Dauerstrom I c (siehe auch Kapitel 1.3, I c ) ist der über längere Zeit angelegte Strom; der maximal zulässige Dauerstrom pro Wicklung wird als Nennstrom bezeichnet. Der Dauerstrom ist dadurch gekennzeichnet, dass die entstehende Verlustleistung zu einer Motorerwärmung von etwa 90 C über der Umgebungstemperatur führt. Drehmoment ist die Größe, die bei einem Körper eine Rotationsbewegung bewirkt und damit eine vektorielle Größe, die sich in folgendem Kreuzprodukt ausdrücken lässt: M = r x F 1 Physikalisch wird das Drehmoment in der Einheit Nm = kgm ² /s ² angegeben. Ebenheit ist ein Maß für die vertikale Geradheit einer Bewegung auf der X-Achse. Eine Abweichung von der absoluten Ebenheit ist eine Verschiebung auf der Z-Achse bei Verfahren auf der X-Achse. Exzentrizität ist bei Rundtischen die Abweichung des Drehmittelpunktes von seiner Position im Verlauf der Drehung. Sie entsteht durch Zentrier- und Lagertoleranzen. Führungsabweichung ist die lineare Abweichung von der Verfahrachse. Sie ist abhängig von der Gerad heit (also der Genauigkeit in der Ebene des Schlittens) und der Ebenheit (der Genauigkeit außerhalb der Ebene des Schlittens). Gegen-EMK-Konstante (siehe auch Kapitel 1.3, K u ) ist das Verhältnis zwischen der Gegen-EMK-Spannung (rms) und der Motordrehzahl bzw. Geschwindigkeit (rpm oder m/s). Die Gegen-EMK ist die elektromagnetische Kraft, die bei der Bewegung der Wicklungen im Magnetfeld von Permanentmagneten, z. B. bei einem Servomotor, entsteht. Genauigkeit (Absolute Genauigkeit) bzw. eigentlich Ungenauigkeit entspricht der Abweichung zwischen einer angestrebten Sollposition und der tatsächlichen Position. Die Genauigkeit entlang einer Achse ist definiert als die bleibende Differenz von Ist- und Sollposition, nachdem alle eliminierbaren anderen linearen Abweichungen ausgeschlossen wurden. Solche systematischen bzw. linearen Abweichungen sind zurückzuführen auf z. B. Cosinusfehler, Winkelabweichungen, Spindelsteigungsfehler, thermische Ausdehnung etc. Sie wird für alle relevanten Sollpositionen einer Anwendung nach folgender Formel berechnet: Maximum aller Summen systematischer Soll-Ist-Abweichungen + 2 sigma (Standardabweichung). Die Genauigkeit darf nicht mit der > Wiederholgenauigkeit verwechselt werden. Geradheit ist ein Maß für die horizontale Geradheit einer Bewegung auf der X-Achse. Eine Abweichung von der absoluten Geradheit ist eine Verschiebung auf der Y-Achse bei Verfahren auf der X-Achse. Kraft, Drehmoment Kraft (bei linearen Bewegungen) bzw. Drehmoment (bei rotatorischen Bewegungen) wird für definierte Bedingungen angegeben, z. B. als Dauerkraft bzw. -drehmoment bei 25 C Umgebungstemperatur 110 C Wicklungstemperatur 100 % Einschaltdauer bei Linearmotoren und Torquemotoren 50 % Einschaltdauer bei Rundtischen oder als Spitzenkraft bzw. Spitzendrehmoment. 2

Kraftkonstante K f (siehe auch Kapitel 1.3, K f ) ist die wicklungsspezifische Kenngröße, aus der sich durch Multiplikation mit dem Eingangsstrom die resultierende Kraft errechnet als F = I K f. Magnetische Anziehungskraft F a entsteht zwischen dem Primär- und Sekundärteil von eisenbehafteten Linearmotoren und erzeugt dadurch eine Vorspannung des Antriebssystems, die durch die Führung aufgenommen werden muss. Motorkonstante K m (siehe auch Kapitel 1.3, K m ) bezeichnet das Verhältnis von erzeugter Kraft und Verlustleistung, ist also ein Maß für die Effizienz eines Motors. Multi-Index Eine Inkremental-Spur ist über die gesamte Breite des Maßbandes angeordnet. Im Lesekopf befindet sich ein Sensor, der drei Signalspuren ausgibt: Die Inkrementalspuren A und B und die Z-Spur für das intern erzeugte Referenzsignal. Mit dem Überfahren jedes Inkrements steht ein intern erzeugtes Referenzsignal zur Verfügung (Multi-Index). Daher ist ein externer Referenzschalter als Trigger notwendig. Nach dem Überfahren dieses externen Referenzschalters wird beim nächsten Inkrement das Referenzsignal ausgegeben. Schrittweite bzw. die kleinste Schrittweite ist die minimale Wegstrecke, die ein Linearantrieb wiederholbar verfahren kann. Sie ist bestimmt durch die > Auflösung des Linearantriebs zuzüglich der Schrittweite des Motors und aller Fehler im Antriebsstrang (Umkehrspiel, Verwindung usw.) Single-Index Das Band ist unterteilt in eine Inkremental- und eine Indexspur. Auf der Indexspur befinden sich je nach Anforderung eine oder mehr Referenzmarken über den gesamten Verfahrweg. Im Lesekopf befinden sich zwei Sensoren: Ein Sensor für die Inkrementalspuren A und B sowie ein Sensor für die Z-Spur, der beim Überfahren der einzelnen Referenzmarke (Single-Index) ein Referenzsignal ausgibt. Single-Index-Magnetbänder sind immer kundenspezifisch. Spitzendrehmoment, Spitzenkraft F p Das Spitzendrehmoment (bei rotatorischen Bewegungen) bzw. die Spitzenkraft (bei linearen Bewegungen) ist die maximale Kraft, die ein Motor für etwa eine Sekunde erzeugen kann. Sie liegt bei HIWIN am Ende des linearen Aussteuerbereiches beim Spitzenstrom I p und ist vor allem beim Beschleunigen und Bremsen von Bedeutung. Spitzenstrom I p (siehe auch Kapitel 1.3, I p ) wird kurzzeitig zur Erzeugung der Spitzenkraft angelegt. Bei HIWIN ist er folgendermaßen definiert: Eisenbehaftete Motoren haben als Spitzenstrom I p das 3-fache des zulässigen Dauerstroms der LMS-Reihe, eisenlose Motoren haben als I p das 3-fache des zulässigen Dauerstroms. Maximal zulässige Dauer des Spitzenstroms ist 1 Sekunde. Danach muss der Motor auf die Nenntemperatur abkühlen, bevor wieder der Spitzenstrom angelegt werden kann. Steifigkeit entspricht dem mechanischen Verformungswiderstand, den ein Bauteil oder eine Baugruppe einer statischen äußeren Last im eingeschwungenen, statischen Zustand leistet (statische Steifigkeit) bzw. dem elastischen Verformungswiderstand eines Bauteils oder einer Baugruppe gegenüber einer dynamischen, von außen wirkenden Kraft (dynamische Steifigkeit). Taumeln ist die Winkelabweichung der Rotationsachse von Rundtischen im Verlauf der Drehbewegung, also ein Verkippen der Oberfläche des Rundtisches. Ursache sind vor allem Toleranzen in der Lagerung. Wicklungswiderstand R 25 ist die wicklungsspezifische Kenngröße, die den Wicklungswiderstand bei 25 C Wicklungstemperatur angibt. Bei 80 C Wicklungstemperatur erhöht sich der Wicklungswiderstand auf etwa 1,2 R 25. Wicklungstemperatur T max (siehe auch Kapitel 1.3, T) ist die zulässige Wicklungstemperatur. Die tatsächliche Motortemperatur ist abhängig von den Einbaubedingungen, den Kühlbedingungen und den Betriebsbedingungen und kann daher nur im konkreten Fall ermittelt und nur unzureichend errechnet werden. Wiederholgenauigkeit darf nicht mit der Genauigkeit verwechselt werden. Eine Linearachse kann eine geringe Genauigkeit, aber eine hohe Wiederholgenauigkeit besitzen. Die unidirektionale Wiederholgenauigkeit wird gemessen, indem eine Sollposition aus einer angemessen großen Entfernung mehrmals in der gleichen Richtung angefahren wird; das Umkehrspiel wirkt sich dabei nicht aus. Bei der Messung der bidirektionalen Wiederholgenauigkeit wird eine Sollposition aus unterschiedlichen Bewegungsrichtungen angefahren; das Umkehrspiel wirkt sich dabei aus. 3

Positioniersysteme Kundenspezifische Positioniersysteme 1.2 Typische Kenngrößen 1.2.1 Wicklungsunabhängige Kenngrößen 1.2.2 Wicklungsabhängige Kenngrößen F a F c F p K m P v Relativ konstante Anzugskraft zwischen Primär- und Sekundärteil (Magnetbasis), die durch eine mechanische Führung aufgenommen werden muss Motorkraft, die im Nennbetrieb als Dauerkraft verfügbar ist und zu einer Erwärmung von 90 C über die Umgebungstemperatur führt Kurzzeitig erzeugbare Motorkraft, die am Ende des linearen Aussteuerbereiches bei I p erreicht wird und ohne Kühlung zu einer starken Erwärmung führt Motorkonstante, die das Verhältnis von erzeugter Kraft und Verlustleistung ausdrückt, und damit den Wirkungsgrad Die in der Motorwicklung entstehende Wärmeleistung, die in Abhängigkeit von der Betriebsweise (Strom) und den Umgebungsbedingungen (Kühlung) zu einer zeitabhängigen Temperaturerhöhung führt. Im oberen Aussteuerungsbereich (bei I p ) ist P v wegen der quadratischen Abhängigkeit vom Strom besonders hoch, während im Bereich des Nennstromes nur eine relativ geringe Erwärmung eintritt. P v errechnet sich mit Hilfe der Motorkonstante K m für einen Bewegungsabschnitt mit der erforderlichen Kraft F: P v = F / K m 2 I c I p K f K u R 25 Zur Erzeugung der Dauerkraft angelegter Strom Zur kurzzeitigen Erzeugung der Spitzenkraft angelegter Spitzenstrom Wicklungskenngröße, die mit dem Strom die entstehende Kraft ergibt: F = I K f Wicklungskenngröße, die im generatorischen Betrieb abhängig von der Geschwindigkeit die an den Motorklemmen entstehende Ankergegenspannung ergibt: U g = K u v Wicklungswiderstand bei 25 C; bei 80 C steigt dieser auf den ca. 1,2-fachen Wert an. P vp Spitzenverlustleistung bei I p P c Verlustleistung bei I c T Zulässige Wicklungstemperatur, die durch Sensoren bzw. Thermoschalter erfasst wird; die sich einstellende Motoroberflächentemperatur ist abhängig von den konkreten Einbauverhältnissen (Tischgröße) Wärmeabfuhrbedingungen (Kühlung) Betriebsweise und damit vom mittleren Leistungseintrag und kann nur bei Kenntnis dieser Gegebenheiten ermittelt werden. 4

2. Linearmotorachsen 2.1 Produktübersicht 6 2.2 Typische Merkmale der Linearmotorachsen 8 2.3 Lieferumfang 9 2.4 Antriebsverstärker für Linearmotorachsen 10 2.5 Systemkonfiguration 11 2.6 Bestellcodes 12 2.7 Linearmotorachsen LMX1E 15 2.8 Linearmotorachsen LMX1L-S 22 2.9 Linearmotorachsen LMX1L-T 36 2.10 Linearmotorachsen LMV1L 38 2.11 Linearmotorachsen LMH1L 40 2.12 Kreuztische 43 2.13 Gantry-Systeme 47 2.7 2.8 2.9 2.10 2.11 2.12 2.13 5

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2. Linearmotorachsen 2.1 Produktübersicht LMX1E Seite 15 Komplettachse mit eisenlosem Motor, Typ LMC hervorragend für Applikationen mit hohen Gleichlaufanforderungen optional Kapselung mit Blechabdeckung oder Faltenbalg auch für Einsatz als Kreuztisch Verfahrwegmessung erfolgt über optisches Wegmess-System, inkremental oder absolut Gesamtlänge bis 4000 mm LMX1L-S Seite 22 Komplettachse mit eisenbehaftetem Motor, Typ LMS besonders geeignet für Applikationen mit hohen Anforderungen an die Dauerkraft optional Kapselung mit Blechabdeckung oder Faltenbalg auch für Einsatz als Kreuztisch Verfahrwegmessung erfolgt je nach Anforderung über optische oder magnetische Wegmess-Systeme, inkremental oder absolut Gesamtlänge bis 4000 mm LMX1L-T Seite 36 Komplettachse mit eisenbehaftetem Motor, Typ LMT Sandwich-Bauweise ermöglicht sehr hohe Kraftdichte ohne statische Belastung der Führungen durch magnetische Anziehung optional Kapselung mit Blechabdeckung oder Faltenbalg Verfahrwegmessung erfolgt je nach Anforderung über optische oder magnetische Wegmess-Systeme, inkremental oder absolut Gesamtlänge bis 4000 mm LMV1L Seite 38 Komplettachse mit eisenbehaftetem Motor, Typ LMS Einsatz als Vertikalachse bei Applikationen mit Greiferanbindung Verfahrwegmessung erfolgt je nach Anforderung über optische oder magnetische Wegmess-Systeme, inkremental oder absolut 6

LMH1L Seite 40 Komplettachse mit eisenbehaftetem Motor, Typ LMS Verfahrwegmessung erfolgt inkremental über magnetische Encoder für Anwendungen mit langen Verfahrwegen besonders geeignet (bis 30 m) Kapselung möglich Kreuztische Seite 43 Kombination von Achsen der LMX-Serien mit eisenlosen oder eisenbehafteten Motoren Gantry-Systeme Seite 47 Standardisierte Gantry-Systeme mit eisenlosen und eisenbehafteten Motoren 7

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.2 Typische Merkmale der Linearmotorachsen HIWIN Linearmotorachsen sind direkt angetriebene Achsen mit Linearmotoren, die als Plug-and-Play Lösung konzipiert sind. Standardisierte Energieketten und kunden spezifische Kabelzuführungen sind optional möglich. Es sind frei tragende Komplettachsen mit Wegmess-System, Führungen, Endschalter und wahlweise mit Abdeckungen als Schutz vor Umgebungseinflüssen. Optional ist der Einbau einer Feststellbremse möglich. Bedingt durch den Direktantrieb sind die Linearachsen spielfrei, sehr dynamisch, wartungsarm und können auch mit mehreren Verfahrschlitten ausgestattet werden. Die Linearachsen werden auf Wunsch als Komplettlösung inklusive Antriebsverstärker angeboten. Der Kunde kann den Antriebshersteller frei wählen. Die für die Anpassung des Linearmotors an die Elektronik notwendigen Parameter werden von uns mitgeliefert. mehrere Verfahrschlitten pro Achse mit weiteren Achsen kombinierbar keine Nachjustierung wartungsarm hohe Standzeit und Zuverlässigkeit extrem präzises und schnelles Positionieren ruhiger Lauf hohe Verfahrgeschwindigkeit kompakte Bauform, daher geringer Platzbedarf höchste Genauigkeit 8

2.3 Lieferumfang Positive (+) Bewegungsrichtung Die Bewegungsrichtung wird definiert über die Position des Referenzschalters. Als Standard befindet er sich auf der gleichen Seite wie der Endschalterstecker (1). Antriebsverstärker (siehe Seite 10) Der passende Antriebsverstärker wird speziell gemäß den Kundenapplikationen ausgewählt und entsprechend der zu liefernden Linearmotorachse parametriert. Die dynamischen Laufeigenschaften der jeweiligen Linearmotorachsen sind somit gewährleistet. +Richtung Mögliche Schnittstellen Profibus CAN-Open Sercos Seriell über RS232 10 V analog Schritt/Richtung weitere auf Anfrage (1) Energieführung in Standardausführung oder kundenspezifisch ausgelegt und den Gegebenheiten vor Ort entsprechend angepasst unterschiedliche Abmessungen für zusätzlich mitzuführende Leitungen möglich unterschiedliche Anschraubpositionen möglich Drei Leitungen Leistungskabel Encoderkabel Endschalterkabel Standardlänge jeweils L = 2 m, optional bis L max = 10 m ab Ende Energiekette möglich; die Leitungen sind gemäß CE- und UL-Bestim mungen zertifiziert. Standard-Linearmotorachse unterschiedliche Ausführungen siehe Seiten 15 48 9

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.4 Antriebsverstärker für Linearmotorachsen HIWIN wählt die Antriebsverstärker passend für die jeweilige Applikation bzw. nach Kundenwunsch aus. Unsere Systempartner für Antriebsverstärker sind u. a.: ESR Pollmeier GmbH www.esr-pollmeier.de 10

2.5 Systemkonfiguration 1 Halterung für Schleppkette 2 Motorstecker-Kupplung 3 Encoderstecker-Kupplung 4 Schleppkette Kabelhalter 5 optional: Aufbauplatten für Blechabdeckung 6 Verfahrschlitten (Forcerträgerplatte) 7 Schaltfahnen für Endschalter und Referenzschalter 8 Forcer (Primärteil des Linearmotors) 9 Profilschienenlaufwagen 10 MAGIC-IG Wegmess-System 11 Profilschiene mit magnetischen Maßstab des MAGIC-IG 12 Standard-Profilschiene 13 Stator (Sekundärteil des Linearmotors) 14 Anschlagpuffer 15 optional: Distanzstück bei Blechabdeckung 16 Profilendplatten 17 End- und Referenzschalterstecker 18 Referenzschalter und Endschalter mit Montagewinkel 19 Halteblech für Schleppkette 20 Grundprofil Allgemeine technische Daten der Linearmotorachsen Bezeichnung Motortyp v max 1) Werte gelten bei entsprechend spezifizierter Basisplatte 2) Werte gelten für das optische inkrementale Wegmess-System mit 40 µm Periode des sinus/cosinus-signals 3) Werte gelten für das magnetische inkrementale Wegmess-System HIWIN-MAGIC mit sinus/cosinus-signal (siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten). 4) Bei der Verwendung von Faltenbalg-Abdeckungen können sich Einschränkungen bezüglich der maximalen Beschleunigungen ergeben. 5) Bei 20 C [m/s] a max [m/s 2 ] Gesamtlänge L max Wiederholbarkeit Genauigkeit 5) [mm/300 mm] Geradheit 1) [mm/300 mm] Ebenheit 1) [mm/300 mm] LMX1E-... LMC 5 100 4) 4000 ± 0,001 2) ± 0,005 2) ± 0,01 ± 0,01 15 LMX1L-S... LMS 4 50 4) 4000 ± 0,001 2) ± 0,005 2) ± 0,01 ± 0,01 22 LMX1L-T... LMT 4 50 4000 ± 0,001 2) ± 0,005 2) ± 0,01 ± 0,01 36 LMV1L-... LMS 1,8 30 600 ± 0,001 2) ± 0,005 2) ± 0,01 ± 0,01 38 LMH1L-... LMS 4 50 30000 ± 0,02 3) ± 0,05 3) ± 0,03 ± 0,03 40 Das Wegmess-System ist je nach Linearachsentyp bzw. nach Kundenwunsch ein optisches oder ein magnetisches. Als Ausgangssignal wird standardmäßig sin/cos 1 V pp verarbeitet; optional ist auch ein TTL-Signal möglich. Die zulässige Betriebsspannung hängt von dem verwendeten Linearmotortyp ab. Bei den Motortypen LMS und LMT (eisenbehaftete Motoren) ist die maximal zulässige Betriebsspannung 400 Vac. Für die Motorreihe LMC (eisenlose Motoren) beträgt die maximal zulässige Betriebsspannung 230 Vac. Seite 11

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.6 Bestellcodes Linearmotorachsen 2.6.1 Bestellcode für Einzel-Linearmotorachsen LM X 1 L S23 1 0872 A 1 0 0 0 XXX Linearmotorachse Achsenausführung X: Horizontalachse V: Vertikalachse H: Portalachse Anzahl der Achsen 1: Einzelachse Profilschiene L: Standard für eisenbehaftete Motoren (LMS) E: Standard für eisenlose Motoren (LMC) F: Flachbauweise für eisenlose Motoren, max. Länge 1 m C: kundenspezifisch Motortyp Sxxxx: eisenbehafteter Linearmotor Cxxx: eisenloser Linearmotor T37xx: eisenbehafteter Linearmotor in Sandwich-Bauweise Ausrichtung Energieführung 0: keine (Standard) 1: horizontale Ausrichtung 2: vertikale Ausrichtung C: kundenspezifisch Abdeckung 0: keine (Standard) A: Metallabdeckung B: Faltenbalgabdeckung Endschalter 0: kein 1: induktiv, PNP (Standard) 2: optisch, NPN Größe Energieführung 0: Standard für LMC-Achsen 1: Standard für LMS-Achsen 2: Standard für LMH-Achsen C: kundenspezifisch Auftragsnummer der Zeichnung mehrere Forcer, Hall-Sensor, Gewichtsausgleich, Bremse, besondere Montagebohrungen Anzahl der Verfahrschlitten 1) Für LMH-Achsen ist nur Wegmesssystem D lieferbar Verfahrlänge Wegmess-System 1) A: optisch, Periode 40 µm, analog 1V pp sin/cos B: optisch, Periode 20 µm, analog 1V pp sin/cos C: HIWIN-MAGIC: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V pp sin/cos D: HIWIN-MAGIC-PG: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V pp sin/cos Magnetband integriert in Führungsschiene (Standard) E: optisch, absolut, gekapselt, mit ENDAT-Schnittstelle F: optisch, inkremental, Periode 4 µm, Glasmaßstab G: optisch, digital TTL, Auflösung 1 µm Alle Encoder mit Einzelreferenzsignal am Achsenanfang 12

2.6.2 Bestellcode für Kreuztische LM X 2 L S23 S27 232 280 A 1 XXX Linearmotorachse Achsenausführung X: Horizontalachse Anzahl der Achsen 2: zwei Achsen Profilschiene L: Standard für eisenbehaftete Motoren E: Standard für eisenlose Motoren F: Flachbauweise für eisenlose Motoren, max. Länge 1 m C kundenspezifisch Motortyp der oberen Achse Sxxxx: eisenbehafteter Linearmotor Cxxx: eisenloser Linearmotor Endschalter 0: kein 1: induktiv, PNP (Standard) 2: optisch, NPN Wegmess-System A: optisch, Periode 40 µm, analog 1V pp sin/cos B: optisch, Periode 20 µm, analog 1V pp sin/cos C: HIWIN-MAGIC: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V pp sin/cos D: HIWIN-MAGIC-PG: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V pp sin/cos Magnetband integriert in Führungsschiene (Standard) E: optisch, absolut, gekapselt, mit ENDAT-Schnittstelle F: optisch, inkremental, Periode 4 µm, Glasmaßstab G: optisch, digital TTL, Auflösung 1 µm Alle Encoder mit Einzelreferenzsignal am Achsenanfang Verfahrlänge der unteren Achse Auftragsnummer der Zeichnung mehrere Forcer, Hall-Sensor, Gewichtsausgleich, Bremse, besondere Montagebohrungen Motortyp der unteren Achse Sxxxx: eisenbehafteter Linearmotor Cxxx: eisenloser Linearmotor Verfahrlänge der oberen Achse 13

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.6.3 Bestellcode für Gantry-Systeme LM G 2 A S13 S27 300 400 A 2 XXX Linearmotorachse Achsenausführung G: Gantry-System Anzahl der Achsen 2: zwei Achsen Profilschiene A: Typ A (Standard) C: kundenspezifisch Motortyp der oberen Achse Sxxxx: eisenbehafteter Linearmotor Cxxx: eisenloser Linearmotor Endschalter 0: kein 1: induktiv, PNP (Standard) 2: optisch, NPN Wegmess-System A: optisch, Periode 40 µm, analog 1V pp sin/cos B: optisch, Periode 20 µm, analog 1V pp sin/cos C: HIWIN-MAGIC: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V pp sin/cos D: HIWIN-MAGIC-PG: magnetisch, Periode 1 mm, 1 V pp sin/cos Magnetband integriert in Führungsschiene (Standard) E: optisch, absolut, gekapselt, mit ENDAT-Schnittstelle F: optisch, inkremental, Periode 4 µm, Glasmaßstab G: optisch, digital TTL, Auflösung 1 µm Alle Encoder mit Einzelreferenzsignal am Achsenanfang Verfahrlänge der unteren Achse Auftragsnummer der Zeichnung mehrere Forcer, Hall-Sensor, Gewichtsausgleich, Bremse, besondere Montagebohrungen Verfahrlänge der oberen Achse Motortyp der unteren Achse Sxxxx: eisenbehafteter Linearmotor Cxxx: eisenloser Linearmotor 14

2.7 Linearmotorachsen LMX1E Linearmotorachsen LMX1E sind mit einem eisenlosen Motor ausgestattet und für Anwendungen mit hohen Gleichlaufanforderungen besonders gut geeignet. Sie können auch in Kreuztischen eingesetzt werden. Sie zeichnen sich aus durch ihren sehr flachen Aufbau. Die Verfahrwegmessung erfolgt über optische Encoder inkremental oder absolut. Die Linearmotorachsen LMX1E besitzen eine sehr hohe Dynamik und sind mit Gesamtlängen von bis zu 4000 mm lieferbar. max. Beschleunigung 100 m/s 2 max. Geschwindigkeit 5 m/s bis 4000 mm lang C Bi C Bi B A C D Hi D B A Hi Abmessungen Energieführung Ausrichtung Energieführung C D Innenmaße Energieführung B i H i Horizontal 97 170 50 21 Vertikal 79 170 50 21 Energieführung horizontal Energieführung vertikal Technische Daten Linearmotorachsen LMX1E Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] Länge des Verfahrschlittens LMX1E-CB5-1-xxxx-D100 LMC B5 90 270 2 178 5 100 178 80 LMX1E-CB6-1-xxxx-D100 LMC B6 110 330 3 208 5 100 178 80 LMX1E-CB8-1-xxxx-D100 LMC B8 145 435 4,2 272 5 100 178 80 LMX1E-CB5-1-xxxx-D1A0 LMC B5 90 270 2,3 178 5 100 178 92/101* LMX1E-CB6-1-xxxx-D1A0 LMC B6 110 330 3,3 208 5 100 178 92/101* LMX1E-CB8-1-xxxx-D1A0 LMC B8 145 435 4,5 272 5 100 178 92/101* v max [m/s] a max [m/s 2 ] Maß A Maß B Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten * Siehe Maßtabellen Seite 16 21 15

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.7.1 LMX1E ohne Abdeckung Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB5 ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg 144 272 400 528 656 784 912 1040 1296 1552 1808 Gesamtlänge L 450 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 Gewicht [kg] 19 22,5 26 30 33 36,5 40,5 44 51 58,5 66 16

Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB6 ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg 112 240 368 496 624 752 880 1008 1264 1520 1776 Gesamtlänge L 450 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 Gewicht [kg] 19,3 23 26,6 30,2 33,9 37,5 41,2 44,8 52,1 59,4 66,6 17

Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB8 ohne Abdeckung Alle Angaben in mm h = H 80 Verfahrweg 176 304 432 560 688 816 944 1200 1456 1712 Gesamtlänge L 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 Gewicht [kg] 24,5 28,1 31,7 35,4 39 42,7 46,3 53,6 60,8 68,1 18

2.7.2 LMX1E mit Abdeckung Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB5 mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H 80 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 144 272 400 528 656 784 912 1040 1296 1552 1808 Gesamtlänge L 1 450 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 Gesamtlänge L 2 458 660 860 1060 1259 1460 1660 1859 2260 2659 3060 H 92 92 92 92 92 92 92 92 101 101 101 Gewicht [kg] 20,3 24,3 28 32 36 40 44 48 56 64 71,7 19

Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB6 mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H 80 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 112 240 368 496 624 752 880 1008 1264 1520 1776 Gesamtlänge L 1 450 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 Gesamtlänge L 2 506 642 841 1041 1242 1442 1641 1842 2241 2642 3041 H 92 92 92 92 92 92 92 92 101 101 101 Gewicht [kg] 21 25 28,9 32,8 36,8 40,7 44,7 48,7 56,6 64,5 72,4 20

Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB8 mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H 80 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 176 304 432 560 688 816 944 1200 1456 1712 Gesamtlänge L 1 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 Gesamtlänge L 2 606 806 1005 1205 1406 1605 1805 2206 2606 3005 H 92 92 92 92 92 92 92 101 101 101 Gewicht [kg] 26,4 30,4 34,3 38,3 42,2 46,2 50,2 58 66 74 21

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.8 Linearmotorachsen LMX1L-S Linearmotorachsen LMX1L-S sind mit einem eisenbehafteten Motor ausgestattet, der hohe Dauerkräfte bietet. Sie können auch in Kreuztischen eingesetzt werden. Die Verfahrwegmessung erfolgt über optische oder magnetische Wegmess- Systeme inkremental oder absolut. Die Linearmotorachsen LMX1L-S sind sehr kompakt gebaut und mit Gesamtlängen von bis zu 4000 mm lieferbar. C Bi Hi max. Beschleunigung 50 m/s 2 max. Geschwindigkeit 4 m/s bis 4000 mm lang C Hi D Bi Abmessungen Energieführung Ausrichtung Energieführung C D Innenmaße Energieführung B i H i B D A Horizontal 115 223 68 21 Vertikal 89 222 68 21 A C B Energieführung horizontal Energieführung vertikal Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] Länge des Verfahrschlittens LMX1L-S23-1-xxxx-D100 LMS 23 220 600 7,5 200 4 50 178 90 LMX1L-S27-1-xxxx-D100 LMS 27 340 900 9,5 280 4 50 178 90 LMX1L-S37-1-xxxx-D100 LMS 37 475 1250 12 280 3,5* 50 202 95 LMX1L-S37L-1-xxxx-D100 LMS 37L 475 1250 12 280 4 50 202 95 LMX1L-S47-1-xxxx-D100 LMS 47 650 1700 18 280 2,5* 50 232 95 LMX1L-S47L-1-xxxx-D100 LMS 47L 650 1700 18 280 4 50 232 95 LMX1L-S57-1-xxxx-D100 LMS 57 780 2000 22 280 2* 50 252 100 LMX1L-S57L-1-xxxx-D100 LMS 57L 780 2000 22 280 4 50 252 100 LMX1L-S67-1-xxxx-D100 LMS 67 950 2500 26 280 2* 50 272 100 LMX1L-S67L-1-xxxx-D100 LMS 67L 950 2500 26 280 4 50 272 100 LMX1L-S23-1-xxxx-D1A0 LMS 23 220 600 7,8 200 4 50 178 102/111 LMX1L-S27-1-xxxx-D1A0 LMS 27 340 900 9,9 280 4 50 178 102/111 LMX1L-S37-1-xxxx-D1A0 LMS 37 475 1250 12,5 280 3,5* 50 202 107/116 LMX1L-S37L-1-xxxx-D1A0 LMS 37L 475 1250 12,5 280 4 50 202 107/116 LMX1L-S47-1-xxxx-D1A0 LMS 47 650 1700 18,8 280 2,5* 50 232 107/116 LMX1L-S47L-1-xxxx-D1A0 LMS 47L 650 1700 18,8 280 4 50 232 107/116 LMX1L-S57-1-xxxx-D1A0 LMS 57 780 2000 23 280 2* 50 252 112/121 LMX1L-S57L-1-xxxx-D1A0 LMS 57L 780 2000 23 280 4 50 252 112/121 LMX1L-S67-1-xxxx-D1A0 LMS 67 950 2500 27 280 2* 50 272 112/121 LMX1L-S67L-1-xxxx-D1A0 LMS 67L 950 2500 27 280 4 50 272 112/121 v max [m/s] a max [m/s 2 ] Maß A Maß B Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter der Linearmotoren LMS siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten * Begrenzt durch Gegen-EMK der Motorwicklung 22

2.8.1 Linearmotorachsen LMX1L-S ohne Abdeckung Abmessungen und Gewicht der Linearachse LMX1L-S23 ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg 104 232 360 488 616 744 872 1000 1256 1512 1768 2024 Gesamtlänge L 450 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 Gewicht [kg] 21,0 23,5 27,0 31,0 34,0 37,0 40,0 43,0 50,0 56,0 62,0 68,0 23

Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen und Gewicht der Linearachse LMX1L-S27 ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 Gesamtlänge L 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 2626 Gewicht [kg] 27,0 30,0 33,5 37,0 40,0 43,5 46,5 52,0 58,0 64,0 70,0 76,0 24

Abmessungen und Gewicht der Linearachsen LMX1L-S37 und LMX1L-S37L ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 Gesamtlänge L 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 2626 Gewicht [kg] 33 36 40 43 47 50 54 62 70 78 86 94 25

Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen und Gewicht der Linearachsen LMX1L-S47 und LMX1L-S47L ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 Gesamtlänge L 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 2626 Gewicht [kg] 38 41 46 50 55 58 63 71 80 88 96 105 26

Abmessungen und Gewicht der Linearachsen LMX1L-S57 und LMX1L-S57L ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 Gesamtlänge L 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 2626 Gewicht [kg] 47 51 57 63 69 73 80 90 100 110 120 130 27

Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen und Gewicht der Linearachsen LMX1L-S67 und LMX1L-S67L ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 Gesamtlänge L 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 2626 Gewicht [kg] 50 55 61 68 74 78 86 97 107 118 129 140 28

2.8.2 Linearmotorachsen LMX1L-S mit Abdeckung Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachse LMX1L-S23 mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H 90 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 104 232 360 488 616 744 872 1000 1256 1512 1768 2024 Gesamtlänge L 1 450 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 Gesamtlänge L 2 421 621 821 1021 1222 1421 1621 1821 2221 2622 3021 3421 H 102 102 102 102 102 102 102 102 111 111 111 111 Gewicht [kg] 23,0 26,0 29,5 34,0 37,0 40,0 43,5 46,5 54,0 60,5 67,0 74,0 29

Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachse LMX1L-S27 mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H 90 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 Gesamtlänge L 1 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 2626 Gesamtlänge L 2 576 775 976 1176 1376 1576 1776 2177 2576 2976 3376 3776 H 102 102 102 102 102 102 102 111 111 111 111 111 Gewicht [kg] 29,5 32,5 36,0 40,0 43,0 47,0 50,0 56,0 62,5 69,0 75,5 82,0 30

Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-S37 und LMX1L-S37L mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H 95 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 Gesamtlänge L 1 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 2626 Gesamtlänge L 2 576 775 976 1176 1376 1576 1776 2177 2576 2976 3376 3776 H 107 107 107 107 107 107 107 116 116 116 116 116 Gewicht [kg] 36 40 44 47 51 55 59 68 76 85 94 103 31

Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-S47 und LMX1L-S47L mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H 95 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 Gesamtlänge L 1 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 2626 Gesamtlänge L 2 576 775 976 1176 1376 1576 1776 2177 2576 2976 3376 3776 H 107 107 107 107 107 107 107 116 116 116 116 116 Gewicht [kg] 42 45 50 55 60 63 69 78 87 96 105 114 32

Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-S57 und LMX1L-S57L mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H 100 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 Gesamtlänge L 1 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 2626 Gesamtlänge L 2 576 775 976 1176 1376 1576 1776 2177 2576 2976 3376 3776 H 112 112 112 112 112 112 112 121 121 121 121 121 Gewicht [kg] 48,5 53,0 59,0 65,5 72,0 76,0 73,5 94,0 104,0 114,5 125,0 135,5 33

Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-S67 und LMX1L-S67L mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H 100 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 Gesamtlänge L 1 578 706 834 962 1090 1218 1346 1602 1858 2114 2370 2626 Gesamtlänge L 2 576 775 976 1176 1376 1576 1776 2177 2576 2976 3376 3776 H 112 112 112 112 112 112 112 121 121 121 121 121 Gewicht [kg] 50 55 62 67 73 79 85 96 108 119 130 141 34

2.8.3 Montageabmessungen der Linearmotorachsen LMX1L-S Anschlussmaße der Linearmotorachse LMX1L-S Alle Angaben in mm E HxK-Befestigungsbohrung Befestigungsbohrung 2x(N+1)-L Nx128 Anschlussmaße für Linearmotorachsen LMX1L-S, Werte A-L * dg = durchgehend A B C D E F LMX1L-S23 93 42,5 200 30 2 158 180 6 M6 1P/12 tief Ø 6,5/dg*, Ø 11/8,5 tief LMX1L-S27 93 42,5 280 35 3 158 180 8 M6 1P/12 tief Ø 6,5/dg*, Ø 11/8,5 tief LMX1L-S37 115 43,5 280 35 3 182 204 8 M8 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S37L 115 43,5 280 35 3 182 204 8 M8 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S47 145 43,5 280 35 3 212 234 8 M8 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S47L 145 43,5 280 35 3 212 234 8 M8 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S57 165 43,5 280 35 3 232 254 8 M8 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S57L 165 43,5 280 35 3 232 254 8 M8 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S67 185 43,5 280 35 3 252 274 8 M8 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S67L 185 43,5 280 35 3 252 274 8 M8 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief G H K L Anschlussmaße für Linearmotorachsen LMX1L-S, Wert N und Verfahrweg LMX1L-S23 Verfahrweg 104 232 360 488 616 744 872 1000 1256 1512 1768 2024 N 3 4 5 6 7 8 9 10 12 14 16 18 LMX1L-S27 (L) bis -S67(L) Verfahrweg 152 280 408 536 664 792 920 1176 1432 1688 1944 2200 N 4 5 6 7 8 9 10 12 14 16 18 20 35

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.9 Linearmotorachsen LMX1L-T Linearmotorachsen LMX1L-T sind Komplettachsen mit eisenbehafteten Motoren. Durch die besondere Auslegung des Motors mit einer Anordnung des Forcers zwischen zwei Statoren (Sandwich-Bauweise) sind die magnetischen Anziehungskräfte aufgehoben. Dadurch wird insbesondere die Führungsschiene entlastet. sehr hohe Kraftdichte durch die Sandwich-Bauweise des Motors entstehen keine magnetischen Anziehungskräfte, so dass die Führungen nicht statisch belastet werden Wegmessung inkremental oder absolut nach Wunsch über optische oder magnetische Encoder Gesamtlänge bis 4000 mm max. Beschleunigung 50 m/s 2 max. Geschwindigkeit 4 m/s * Maße C und D sind kundenspezifisch Technische Daten Linearmotorachsen LMX1L-T Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] Länge des Verfahrschlittens LMX1L-T37-1-xxxx-A1A0 LMT 37 950 2500 25 300 2* 50 297 223 LMX1L-T37L-1-xxxx-A1A0 LMT 37L 950 2500 25 300 4 50 297 223 LMX1L-T37D-1-xxxx-A1A0 LMT 37D 1900 5000 50 600 2* 50 297 223 LMX1L-T37LD-1-xxxx-A1A0 LMT 37LD 1900 5000 50 600 4 50 297 223 v max [m/s] a max [m/s 2 ] Maß A Maß B Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten * Begrenzt durch Gegen-EMK der Motorwicklung 36

Abmessungen Linearmotorachse LMX1L-T Alle Angaben in mm Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-T37 und LMX1L-T37L, mit Abdeckung Verfahrweg 388 644 900 1156 1412 1668 1924 2180 3160 Gesamtlänge L 858 1124 1370 1626 1882 2138 2394 2650 3674 N 3 4 5 6 7 8 9 10 14 Gewicht [kg] 120 150 179 208 237 267 297 327 565 Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-T37D und LMX1L-T37LD, mit Abdeckung Verfahrweg 388 644 900 1156 1412 1668 1924 2180 3160 Gesamtlänge L 1114 1370 1626 1882 2138 2394 2650 2906 3930 N 4 5 6 7 8 9 10 11 15 Gewicht [kg] 175 205 234 263 292 322 352 382 620 37

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.10 Linearmotorachsen LMV1L Linearmotorachsen LMV1L sind mit einem eisenbehafteten Motor ausgestattet, der hohe Dauerkräfte bietet. Um eine hohe Dynamik in vertikaler Richtung zu gewährleisten, sind diese Achsen standardmäßig mit pneumatischer Gewichtskompensation ausgestattet. Die Verfahrwegmessung erfolgt je nach Anforderung über optische oder magnetische Encoder inkremental oder absolut. Die Linearmotorachsen LMV1L sind prädestiniert für Applikationen mit Grei feranbindung, bei denen der Greifer vollständig aus dem Übergabebereich herausfährt.die bewegte Nutzlast beträgt bis ca. 20 kg. max. Beschleunigung 30 m/s 2 max. Geschwindigkeit 1,8 m/s Technische Daten Linearmotorachsen LMV1L Bezeichnung (Bestellcode) Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] LMV1L-S13-1-120-A100 LMS 13 180 470 6 1,8 30 120 LMV1L-S13-1-250-A100 LMS 13 180 470 8 1,8 30 250 LMV1L-S23-1-250-A100 LMS 23 220 600 10 1,8 30 250 LMV1L-S23-1-400-A100 LMS 23 220 600 12 1,8 30 400 v max [m/s] a max [m/s 2 ] Verfahrweg Anmerkungen: 38 F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten

Abmessungen Linearmotorachse LMV1L Alle Angaben in mm Gesamtlänge und Gewicht der Linearmotorachsen LMV1L Bestellcode Verfahrweg Gesamtlänge L LMV1L-S13-1-120-A100 120 444 15 LMV1L-S13-1-250-A100 250 572 19 LMV1L-S23-1-250-A100 250 572 26 LMV1L-S23-1-400-A100 400 722 29 Gewicht [kg] 39

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.11 Linearmotorachsen LMH1L Die Profilschienenführungen und der Linearmotor sind bei der LMH-Achse in das AI- Profil integriert. Dies ermöglicht einen sehr kompakten Aufbau. Die Linear motorachsen LMH1L sind in drei Profilbreiten von 160, 200 und 240 mm lieferbar. Durch die im Profil angebrachten T-Nuten kann die LMH-Achse sehr flexibel montiert und mit kundenspezifischen Verfahrwegen geliefert werden. 2.11.1 LMH1L-S1 Die mit Linearmotoren bestückte Portalachse LMH1L-S1 ist konzipiert als Komplettachse mit Verfahrwegen bis 30 m. Durch die Linearmotortechnologie können mehrere Schlitten unabhängig voneinander positioniert werden. Die Wegmessung erfolgt inkremental und erlaubt Positioniergenauigkeiten bis 0,05 mm. Optional ist ein absolut messendes System möglich. max. Beschleunigung 50 m/s 2 max. Geschwindigkeit 4 m/s bis 30 m Verfahrweg Anschlussmaße Linearmotorachse LMH1L-S1 Montagehinweise: Die Befestigung der Achse am Maschinenbett erfolgt über T-Nuten. Die Kundenmechanik wird ebenfalls über T-Nuten am Verfahrschlitten fixiert. Abmessungen Energieführung Ausrichtung Energieführung C D Innenmaße Energieführung B i H i Horizontal 110 300 57 25 Vertikal 127 305 57 25 130 M8 106 80 90 160 M8 M6 Alle Angaben in mm Einbaulage horizontal Einbaulage vertikal Technische Daten Linearmotorachsen LMH1L-S1 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg Anmerkungen: Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] Länge des Verfahrschlittens LMH1L-S13-1-xxxx-C000 LMS 13 180 540 7 251 4 50 20 LMH1L-S17-1-xxxx-C000 LMS 17 210 630 10 360 4 50 20 LMH1L-S17D-1-xxxx-C000 LMS 17D 420 1260 20 601 4 50 20 40 F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten v max [m/s] a max [m/s 2 ] Masse des Trägerprofils [kg/m]

2.11.2 LMH1L-S2 Die mit Linearmotoren bestückte Portalachse LMH1L-S2 ist konzipiert als Komplettachse mit Verfahrwegen bis 30 m. Durch die Linearmotortechnologie können mehrere Schlitten unabhängig voneinander positioniert werden. Die Wegmessung erfolgt inkremental und erlaubt Positioniergenauigkeiten bis 0,05 mm. Optional ist ein absolut messendes System möglich. max. Beschleunigung 50 m/s 2 max. Geschwindigkeit 4 m/s bis 30 m Verfahrweg Anschlussmaße Linearmotorachse LMH1L-S2 Abmessungen Energieführung Montagehinweise: Die Befestigung der Achse am Maschinenbett erfolgt über T-Nuten. Die Kundenmechanik wird ebenfalls über T-Nuten am Verfahrschlitten fixiert. Ausrichtung Energieführung C D Innenmaße Energieführung B i H i Horizontal 110 300 57 25 Vertikal 128 305 57 25 C Bi Hi C D Hi D Bi M8 Alle Angaben in mm C Einbaulage horizontal Einbaulage vertikal Technische Daten Linearmotorachsen LMH1L-S2 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg Anmerkungen: Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] Länge des Verfahrschlittens LMH1L-S23-1-xxxx-D000 LMS 23 220 600 8 250 4 50 28 LMH1L-S27-1-xxxx-D000 LMS 27 340 900 11 343 4 50 28 LMH1L-S27D-1-xxxx-D000 LMS 27D 680 1800 22 600 4 50 28 F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten v max [m/s] a max [m/s 2 ] Masse des Trägerprofils [kg/m] 41

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.11.3 Linearmotorachse LMH1L-S4 Die mit Linearmotoren bestückte Portalachse LMH1L-S4 ist konzipiert als Komplettachse mit Verfahrwegen bis 30 m für sehr hohe Dauerkräfte. Durch die Linearmotortechnologie können mehrere Schlitten unabhängig voneinander positioniert werden. Die Wegmessung erfolgt inkremental und erlaubt Positioniergenauigkeiten bis 0,05 mm. Optional ist ein absolut messendes System möglich. max. Beschleunigung 50 m/s 2 max. Geschwindigkeit 4 m/s bis 30 m Verfahrweg Anschlussmaße Linearmotorachse LMH1L-S4 Abmessungen Anschraubfläche Montagehinweis: Befestigung der Anschlussmechanik über M10-Gewinde im Abstand von 120 mm. M10 max. 15 tief Verfahrschlitten (Forcer) Profilschienenführung C Bi C-10 Linearmotor M10 Gewinde Magnetbahn Trägerprofil Hi Bi Abmessungen Energieführung Ausrichtung Energieführung C D Innenmaße Energieführung B i H i D D Hi Horizontal 110 300 57 25 Vertikal 105 305 57 25 C Einbaulage horizontal Einbaulage vertikal Technische Daten Linearmotorachsen LMH1L-S4 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg Anmerkungen: Motortyp F c [N] F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] Länge des Verfahrschlittens LMH1L-S47L-1-xxxx-D000 LMS 47L 650 1700 14 353 4 50 30,3 LMH1L-S47LD-1-xxxx-D000 LMS 47LD 1300 3400 27 673 4 50 30,3 v max [m/s] a max [m/s 2 ] Masse des Trägerprofils [kg/m] 42

2.12 Kreuztische Die Linearmotorachsen der LMX-Reihe lassen sich alle zu Kreuztischen kombinieren. Am Aufbau der Bestellnummer ist erkennbar, dass praktisch jede Kombination der LMX-Achsen möglich ist. In Kapitel 2.12.1 wird ein Kreuztisch mit LMX2E-Achsen vorgestellt. Kapitel 2.12.2 zeigt einen Kreuztisch mit LMX2L-Achsen. 2.12.1 Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 ausgestattet mit eisenlosen Linearmotoren geringe Trägheit und hohe Beschleunigung kein Rastmoment besonders steifer Aluminiumrahmen mit geringer Bauhöhe einfache Montage Technische Daten Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg Anmerkungen: Orthogonalität [arc-sec] Wiederholbarkeit F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten v max [m/s] a max [m/s 2 ] Motortyp Fc [N] Fp [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] LMX2E-CB5 CB8-xxxx-xxxx-A1 ± 10 ± 0,002 5 100 obere Achse: LMC B5 90 270 2,5 untere Achse: LMC B8 145 435 Masse obere Achse + 4,0 43

Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 Alle Angaben in mm Anschlußmaße und Gewicht des Kreuztisches LMX2E-CB5-CB8 bei drei beispielhaften Verfahrwegen Bezeichnung (Bestellcode) Verfahrweg (oberer/unterer) Gesamtlänge (LX LY) N Gewicht (obere Achse) [kg] LMX2E-CB5-CB8-144-176-A1 144 179 450 578 4 19 42 LMX2E-CB5-CB8-272-304-A1 272 304 578 706 5 22,5 49,5 LMX2E-CB5-CB8-432-400-A1 400 432 706 834 6 26 57 Gewicht (XY-Achse) [kg] 44

2.12.2 Kreuztisch LMX2L-S23-S27 ausgestattet mit eisenbehafteten Linearmotoren höhere Vorschubkraft, hohe Beschleunigung besonders steifer Aluminiumrahmen mit geringer Bauhöhe einfache Montage Technische Daten Kreuztisch LMX2L-S23-S27 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg Orthogonalität [arc-sec] Wiederholbarkeit v max [m/s] a max [m/s 2 ] Motortyp Fc [N] Fp [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] LMX2L-S23 S27-xxxx-xxxx-A1 ± 10 ± 0,002 4 50 obere Achse: LMS 23 220 600 7,5 untere Achse: LMS 27 340 900 Masse obere Achse + 9,5 Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten 45

Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen Kreuztisch LMX2L-S23-S27 Alle Angaben in mm Anschlussmaße und Gewicht des Kreuztisches LMX2L-S23-S27 bei drei beispielhaften Verfahrwegen Bezeichnung (Bestellcode) Verfahrweg (oberer/unterer) Gesamtlänge (LX LY) N Gewicht (obere Achse) [kg] LMX2L-S23-S27-232-280-A1 232 280 578 706 5 26 58,5 LMX2L-S23-S27-360-408-A1 360 408 706 834 6 29,5 65,5 LMX2L-S23-S27-706-536-A1 706 536 706 962 7 29,5 70 Gewicht (XY-Achse) [kg] 46

2.13 Gantry-Systeme Die standardisierten Gantry-Systeme der LMG2A-Reihe sind Systeme mit einseitigem Stützlager. Der Typ LMG2A-C hat eisenlose Linearmotoren. Der Typ LMG1A-S wird von eisenbehafteten Linearmotoren angetrieben. 2.13.1 Gantry-System LMG2A-CB6 CC8 ausgestattet mit eisenlosen Linearmotoren geringe Trägheit, hohe Beschleunigung kein Rastmoment steife Aluminiumbrücke einfache Montage Technische Daten Gantry-System LMG2A-CB6 CC8 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg Orthogonalität [arc-sec] Wiederholbarkeit v max [m/s] a max [m/s 2 ] Motortyp F c [N] F p [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] LMG2A-CB6 CC8-xxxx-xxxx-A1 ± 10 ± 0.002 / 0.004 5 100 obere Achse: LMC B6 110 330 3,0 untere Achse: LMC C8 195 585 Masse obere Achse + 3,5 Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Direktantriebs-Komponenten Abmessungen Gantry-System LMG2A-CB6 CC8 Abmessungen des Gantry-Systems LMG2A-CB6 CC8 bei vier beispielhaften Verfahrwegen Ausführung (Bestellcode) Verfahrweg X-Achse Verfahrweg Y-Achse Abmessungen W W1 L LMG2A-CB6 CC8-0300-0400-A1 300 400 870 940 870 LMG2A-CB6 CC8-0500-0500-A1 500 500 1070 1140 970 LMG2A-CB6 CC8-0750-0750-A1 750 750 1390 1390 1220 LMG2A-CB6 CC8-0750-1000-A1 750 1000 1390 1390 1470 47

Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.13.2 Gantry-System LMG2A-S13 S27 ausgestattet mit eisenbehafteten Linearmotoren höhere Vorschubkraft, hohe Beschleunigung geringeres Rastmoment, gleichmäßige Geschwindigkeit steife Aluminiumbrücke einfache Montage Technische Daten Gantry-System LMG2A-S13 S27 Bezeichnung (Bestellcode) xxxx = Verfahrweg Anmerkungen: Orthogonalität [arc-sec] Wiederholbarkeit F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Katalog Direktantriebe-Komponenten v max [m/s] a max [m/s 2 ] Motortyp Fc [N] Fp [N] Masse des Verfahrschlittens [kg] LMG2A-S13 S27-xxxx-xxxx-A1 ± 10 ± 0,002 / 0,004 4 50 obere Achse: LMS 13 180 360 5,0 untere Achse: LMS 27 340 680 Masse obere Achse + 7 Abmessungen des Gantry-Systems LMG2A-S13 S27 bei vier beispielhaften Verfahrwegen Ausführung (Bestellcode) Verfahrweg X-Achse Verfahrweg Y-Achse Abmessungen W W1 L LMG2A-S13 S27-0300-0400-A1 300 400 870 940 870 LMG2A-S13 S27-0500-0500-A1 500 500 1070 1140 970 LMG2A-S13 S27-0750-0750-A1 750 750 1320 1390 1220 LMG2A-S13 S27-0750-1000-A1 750 1000 1320 1390 1470 Abmessungen Gantry-System LMG2A-S13 S27 Alle Angaben in mm 48

3. Kundenspezifische Positioniersysteme Die in diesem Katalog vorgestellten standardisierten Positionierachsen ermöglichen die Realisierung vielfältiger Positionieraufgaben. Für Positionieraufgaben, die nicht mit Standardachsen lösbar sind, stehen Applika tionsingenieure bereit, eine optimierte Lösung zu erarbeiten. Auf den folgenden vier Seiten sind einige kundenspezifische Lösungen aufgeführt. Kundenspezifisch ist manchmal nicht nur die Mechanik. Am Beispiel Planarmotoren war das Kundenspezifische eine spezielle Softwarelösung zur optimalen Integration des Positioniersystems in den Fertigungsprozess. 3.1 Beispiele Wirtschaftliche Montage und Inspektion XY-Gantry-Systeme machen viele Anwendungen besonders wirtschaftlich. Aufbau der Gantry-Achsen aus Standardkomponenten. Standardachsen der LMX1L-Reihe Wiederholbarkeit ± 2 µm Lieferung mit Maschinenbett Mikro- und Makroformen Fräsen und Mikrostrukturieren mit spanenden Werkzeugen und Lasern sind Einsatzgebiete, bei denen Gantry-Systeme Vorteile ausspielen können. Und auch unter wirtschaftlichen Gesichtspunkten können sie überzeugen. eisenlose Motoren LMC Wiederholbarkeit ± 2 µm bewährte Technologie mit hohen Stückzahlen Planarmotoren Servo-Planarmotoren sind für viele Inspektionsaufgaben eine hervorragende technische Plattform. Bei der Leiterplatteninspektion tragen sie optische Sensoren für die lückenlose Kontrolle von aufgedruckten Leiterbahnen und SMD-Bausteinen. durch Luftlagertechnik praktisch verschleißfrei garantierte Ebenheit über den ganzen Verfahrweg (bis 1000 mm 1000 mm) Wiederholbarkeit ± 3 µm 49

Positioniersysteme Linearmotorachsen Wafer-Qualitätskontrolle auf höchstem Niveau Hochpräzisions-Kreuztische mit Luftlager sind die Voraussetzung für eine Oberflächenkontrolle, die auch den kleinsten Fehler findet. Zum Beispiel in der Waferproduktion für die Elektronik- und Chip-Industrie. Ebenheit ± 2 µm Wiederholbarkeit ± 0,5 µm Genauigkeit ± 2 µm Auflösung 5 nm Mikrosystemtechnik und Waferbearbeitung Absolute Genauigkeit und die Eignung für Reinraumbedingungen sind die Voraussetzung für jeden Antrieb in der Mikrosystemtechnik und der Waferbearbeitung. Linearmotor-Kreuztische sind für solche Aufgaben prädestiniert. Verfahrweg 200 mm 200 mm, optional 300 mm 300 mm Ebenheit ± 4 µm über den gesamten Verfahrweg Wiederholbarkeit ± 1 µm über beide Achsen Genauigkeit ± 4 µm über beide Achsen reinraumtauglich Klasse 100, optional Klasse 10 optional vakuumtauglich bis 10-3 mbar Überblick für Laserscanner Hoher Gleichlauf und lange Lebensdauer sind für optische Inspektionssysteme wie Laserscanner ein Muss. Linearmotorachsen mit Luftlager erfüllen diese Bedingungen. keine Reibung, da Luftlager keine Rastkraft, da eisenlose Linearmotoren Verfahrweg bis 1500 mm Photovoltaik-Panel Montage Hochdynamische Positionierung der Siliziumzellen 24 Stunden pro Tag lange Standzeiten, da auch Vertikalachsen mit Linearmotoren ausgestattet Vertikalachsen mit einfach einstellbarer Gewichtskompensation und notausfähigem Klemmelement 50

Röntgeninspektion von Leiterplatten Für eine Inline-Inspektionsmaschine wurde das komplette Antriebspaket bestehend aus Achsen, Motoren, Verstärkern und Energieketten mit Leitungen geliefert. System aus eisenlosen LMC Motoren Verfahrweg 550 550 mm Wiederholgenauigkeit ± 1 µm Höchste Dynamik bei 100 kg bewegter Masse Bestückungsautomation Dynamische Bestückung von Platinen in vollautomatisierten Produktionsstraßen. Linearmotor-Gantry mit LMS Motoren und einem KK-Modul als Z-Achse Verfahrweg 650 660 135 mm, optional mit längeren Verfahrwegen in der unteren Achse Beschleunigung 20 m/s² Ebenheit ± 20 µm Rechtwinklingkeit 0,01 Interferometrische Vermessung der Achsen Auslieferung komplett montiert im Maschinengestell Fliegende Säge Linearmotorachse ermöglicht Sägeschnitt während des Materialvorschubs. Kundenspezifisches Achssystem mit LMS47D Taktzeit der Säge ca. 1,3 s bei einer bewegten Masse von 55 kg und 1,5 m Verfahrweg. Geschwindigkeit: 3 m/s Beschleunigung: 22 m/s² Folienvorzug Die hohe Kraftdichte bei flacher und kompakter Bauweise ermöglicht die optimale Platz sparende Integration in die Produktionslinie. Zwei parallel angeordnete einsenlose LMC Achsen Verfahrweg 300 mm Alle Komponenten inklusive Energiekette montiert auf kundenspezifischer Grundplatte 600 500 mm 51

Positioniersysteme Linearmotorachsen Laser-Trimming mit höchster Präzision Optimale Ergebnisse erfordern hohe Ebenheit und Rechtwinkligkeit über einen großen Verfahrweg. Bei der Laserbearbeitung entstehende Materialpartikel machen die Abdeckung erforderlich. Kreuztisch mit Faltenbalgabdeckung Verfahrweg 700 750 mm Wiederholgenauigkeit ± 2 µm Ebenheit ± 0,01 / 300 mm Rechtwinkligkeit ± 5 arc sec Dispenser Diese Applikation stellt höchste Ansprüche an die Ebenheit. Kreuztisch mit 150 250 60 mm Verfahrweg Hohe Steifigkeit der unteren Achse durch Stahlprofil Obere Achse durch Aluprofil gegen Durchbiegung versteift Erstellung der Kalibriertabelle zur Kompensation des Ebenheitsfehlers Ebenheit: ± 10 µm / 300 mm Wiederholgenauigkeit: 5 µm Laserscriping Die hohe geforderte Genauigkeit wird durch den Einsatz von Glasmaßstäben erreicht. Kundenspezifisches System mit LMC Motoren Verfahrweg 400 110 mm Die untere Achse positioniert das Werkstück, die obere Achse verfährt den Laser Wiederholbarkeit ± 1 µm Rechtwinkligkeit 8 µm Ebenheit ± 5 µm Laserbelichtung Hervorragende Ergebnisse werden durch den hohen Gleichlauf der Achse erst möglich. 4 Schlitten auf einer Achse Hoher Gleichlauf durch Einsatz von speziellen Profilschienenführungen Optimale Anpassung des Achsprofils an das vorgegebene Maschinengestell 52

4. Planar-Servomotoren und Planarmotoren 4.1 Planar-Servomotor LMSP 54 4.2 Steuerkarte PC14P 58 4.3 Klemmblock PC14B-TB 58 4.1 4.2 4.3 53

Positioniersysteme Planar-Servomotoren und Planarmotoren 4. Planar-Servomotoren und Planarmotoren XY-Bewegungen auf einem Luftlager durch einen Planar-Servo-Schrittmotor mit integrierter Wegmessung. Über Kopf und auch im Vakuum betreibbar. 4.1 Planar-Servomotor LMSP Die Planar-Servomotoren LMSP haben integrierte Wegmess-Sensoren und arbeiten mit Positionsregelung (closed loop). XY-Tisch closed loop durch integrierte Wegmessung Schrittmotor ermöglicht einfache Antriebselektronik verschleißfreie Luftlagerung keine extern messbaren Magnetfelder praktisch keine Erwärmung über Kopf einbaubar Statorfläche bis 1000 1000 mm vakuumtauglich 4.1.1 Konfiguration LMSP mit Servotreiber LMDX Forcer LMSP Stator LMSP Antriebsverstärker LMDX (s. Seite 57) Anschlussblock Luftanschluss 3 4 bar ggf. 24 V Spannungsversorgung für die I/O der Steuerkarte Steuerkarte PCI4P in PC eingebaut (s. Seite 58) 54

4.1.2 Technische Angaben des Planar-Servomotors LMSP Anschlussmaße des Planar-Servomotors LMSP (Werte W f siehe Tabelle 4.1, Werte W s siehe Tabelle 4.2) Stator LMSP Luftanschluss Ø 1/4 (Ø 6 mm) Alle Angaben in mm Energieführung Forcer LMSPX1 D-Sub 25-polig D-Sub 15-polig Forcer LMSPX2 Tabelle 4.1 Technische Daten Planar-Servomotor LMSP Forcer Performance Symbol Einheit LMSPX1 LMSPX2 Max. Vorschubkraft T m N 75 140 Auflösung R s mm 0,001 0,001 Wiederholgenauigkeit R p mm 0,002 0,002 Genauigkeit A c mm ± 0,015 ± 0,015 Max. Geschwindigkeit V m/s 0,9 0,8 Max. Last kg 12,2 24,3 Länge L f mm 154 175 Breite W f mm 184 320 Höhe H f mm 28 30 Luftdruck P a kg/cm 2 3 4 3 4 Luft-Durchflussrate F a l/min 6,4 11 Masse M f kg 1,8 3,7 Abstand der Montagebohrungen A f B f mm mm 146 87,5 72 140 55

Positioniersysteme Planar-Servomotoren und Planarmotoren Tabelle 4.2 Abmessungen und Gewicht der Statoren LMSP-P1 bis LMSP-P6 Einheit P1 P2 P3 P4 P5 P6 Stator-Abmessungen L S W S mm 350 330 450 450 600 450 600 600 1000 600 850 850 Max. Verfahrweg LMSPX1 mm 190 140 290 260 440 260 440 410 840 410 690 660 (ein Forcer) LMSPX2 mm 270 125 420 125 420 275 820 275 670 525 Statorhöhe mm 50 50 70 70 100 120 Statorgewicht kg 27 36 52 66 120 250 Abstand Montagebohrungen A S B S mm 165 310 213 426 288 426 288 576 (318-324-318) 280 400 400 Zahl der Montagebohrungen 6 6 6 6 10 9 4.1.3 Bestellcode für Planar-Servomotoren LMSP LMSP X1 1 P3 Planar-Servomotoren Statorausführung (s. Tabelle 4.2) P1, P2, P3, P4, P5, P6 Forcerausführung (s. Tabelle 4.2) X1, X2 Anzahl der Forcer 56

4.1.4 Servotreiber LMDX Der Servo-Treiber für den Planar-Servomotor LMSP ist in zwei unterschiedlichen Spannungsversionen und mit einer digitalen I/O-Schnittstellenkarte lieferbar. Abmessungen Servotreiber LMDX Alle Angaben in mm Tabelle 4.3 Technische Daten Servotreiber LMDX Spannungsversorgung Einheit Wert Spannung V AC 95-125 (Bestellcode LMDX1) 200-240 (Bestellcode LMDX2) Frequenz H z 50/60 Leistung V A 500 (max.) Ausgangsstrom A 3 (max.) Schnittstelle Parametrierung: RS-232 9600 Baud, 8 Datenbits, 2 Stoppbits, ungerade Parität Digitales I/O-Signal DXIO Steckkarte: 8 Eingänge: u.a. HOME und RESET 6 Ausgänge: u.a. IN-POSITION, ALARM, SVON DXIO16 Steckkarte (optional): 16 Eingänge, 16 Ausgänge Puls Puls SCHRITT/RICHTUNG Auflösung µm/puls bis min. 1 (parametrierbar) Gewicht kg 13,3 Max. Betriebstemperatur C 50 57

Positioniersysteme Planar-Servomotoren und Planarmotoren 4.2 Steuerkarte PCI4P Die HIWIN Steuerkarte PCI4P steuert die Antriebsverstärker von bis zu vier Achsen. Sie kann für Schrittmotoren und für pulsgesteuerte Servomotoren eingesetzt werden. 32-Bit PCI-Karte, Plug and Play 4 Ausgänge Pulsfolgegenerator 13 digitale Eingänge, 5 digitale Ausgänge Unterstützt die Formate Schritt/Richtung und Drehrichtung (CW/CCW) Linearinterpolation für drei Achsen Zirkularinterpolation für zwei Achsen Unterstützt Geschwindigkeitsprofile T und S 4 32-Bit-Zähler für digitale Inkrementalencoder DLL-Treiberbibliotheken für Windows, MCCL Motion Library zur VC++/ VB-Programmierung unter Windows 98/2000/XP mit 98 Funktionen Referenzierung, Endschalter, Jog-Funktion Zum Betrieb mit Schrittmotoren, AC Servomotoren und Linearmotoren MotionMaker Benutzeroberfläche für einfache Bedienung Differenzial-Pulsausgang reduziert Rauschen 4.3 Klemmenblock PCI4B-TB Der Klemmenblock PCI4B-TB bietet übersichtliche Anschlussmöglichkeiten für die Pulsgeneratoren und alle Ein- und Ausgänge der Steuerkarte. Versorgungsspannung Steckplatz DC +5 V + 5 %, max. 900 ma über PCI-Bus im PC Externe Versorgungsspannung DC +24 V + 5 %, max. 500 ma, benutzerkonfiguriert 58

Profilschienenführungen Kugelgewindetriebe Linearachsen mit Kugelgewindetrieb Linearmotor-Systeme Rundtische Elektrohubzylinder Kugelbüchsen HIWIN Ihr Experte für Lineartechnik. HIWIN GmbH Brücklesbünd 2 D-77654 Offenburg Telefon +49 (0) 7 81 9 32 78-0 Telefax +49 (0) 7 81 9 32 78-90 info@hiwin.de www.hiwin.de Vertriebsbüro Osnabrück Franz-Lenz-Str. 4 49084 Osnabrück Telefon +49 (0) 5 41 33 06 68-0 Telefax +49 (0) 5 41 33 06 68-29 osnabrueck@hiwin.de www.hiwin.de Vertriebsbüro Stuttgart Zettachring 2A 70567 Stuttgart Telefon +49 (0) 7 11 79 47 09-0 Telefax +49 (0) 7 11 79 47 09-29 stuttgart@hiwin.de www.hiwin.de Verkoopkantoor Nederland Kamille 7 NL-3892 AJ Zeewolde Telefon +49 (0) 7 81 9 32 78-0 Telefax +49 (0) 7 81 9 32 78-90 Mob. +31 6 12 12 85 05 info@hiwin.nl www.hiwin.nl Biuro dystrybucji Warszawa ul. Puławska 405 PL-02-801 Warszawa Telefon +48 (0) 22 544 07 07 Telefax +48 (0) 22 544 07 08 info@hiwin.pl www.hiwin.pl Értékesítési Iroda Budapest Kis Gömb u. 19. Ü/1 H 1135 Budapest Telefon +36 (06) 1 786 6461 Telefax +36 (06) 1 789 4786 info@hiwin.hu www.hiwin.hu HIWIN s.r.o. Kastanova 34 CZ-62000 Brno Telefon +420 548 528 238 Telefax +420 548 220 223 info@hiwin.cz www.hiwin.cz HIWIN (Schweiz) GmbH Schachenstrasse 80 CH-8645 Jona Telefon +41 (0) 55 225 00 25 Telefax +41 (0) 55 225 00 20 info@hiwin.ch www.hiwin.ch HIWIN France 24 ZI N 1 Est-BP 78 F-61302 L Aigle Cedex Telefon +33 (2) 33 34 11 15 Telefax +33 (2) 33 34 73 79 info@hiwin.fr www.hiwin.fr HIWIN Technologies Corp. No. 46, 37th Road Taichung Industrial Park Taichung 407, Taiwan Telefon +886-4-2359-4510 Telefax +886-4-2359-4420 business@hiwin.com.tw www.hiwin.com.tw HIWIN Mikrosystem Corp. No.7, Jingke Rd. Nantun District Taichung City 408, Taiwan Telefon +886-4-2355-0110 Telefax +886-4-2355-0123 business@mail.hiwinmikro.com.tw www.hiwinmikro.com.tw HIWIN Corporation 3F. Sannomiya-Chuo Bldg. 4-2-20 Goko-Dori. Chuo-Ku Kobe 651-0087, Japan Telefon +81-78-262-5413 Telefax +81-78-262-5686 mail@hiwin.co.jp www.hiwin.co.jp HIWIN Corporation Headquarters 1400 Madeline Ln. Elgin, IL 60124, USA Telefon +1-847-827 2270 Telefax +1-847-827 2291 info@hiwin.com www.hiwin.com PS-04-1-D-1011-K