Mehr Präzision. confocaldt // Konfokal-chromatisches Sensorsystem

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1 Mehr Präzision. confocaldt // Konfokal-chromatisches Sensorsystem

2 2 Konfokal-chromatische Weg- und Dickenmessung confocaldt Verschleißfreies Messprinzip mit passivem Sensor Genaue Messung mit Submikrometer Auflösung Schnelle Oberflächenkompensation 70kHz Einstellbare Messrate bis 70 khz Einsetzbar zur Abstandsmessung und Dickenmessung Extrem kleiner Messfleck Konfiguration über Web-Interface Die neue Generation der konfokal-chromatischer Messsysteme Mit dem confocaldt wird eine neue Generation in der konfokal-chromatischen Messtechnik eingeleitet. Das Messsystem verfügt über den derzeit schnellsten Controller weltweit und erzielt hochpräzise Messergebnisse sowohl bei Weg- und Abstandsmessungen als auch bei der Dickenmessung von transparenten Objekten. Ein großes Programm an Sensoren und verschiedene Schnittstellen am Controller eröffnen vielfältige Anwendungen, z.b. in der Halbleiterindustrie, Glasindustrie, Medizintechnik und Kunststoffproduktion. Besonderheiten Der neuartige Controller liefert ein hervorragendes Signal-/Rauschverhältnis und ermöglicht Messungen mit höchster Präzision. Die schnelle Oberflächenkompensation sorgt für die Regelung der Belichtungszyklen, um eine hohe Signalstabilität zu erreichen. Das einzigartige Messprinzip erlaubt es, Wege und Abstände hochpräzise zu messen sowohl auf diffusen als auch auf spiegelnden Oberflächen. Bei transparenten Messobjekten ist darüber hinaus eine Dickenmessung möglich. Dafür steht eine umfangreiche Materialdatenbank zur Verfügung, die über das Webinterface individuell editierbar und erweiterbar ist. Durch die Auswertung von bis zu sechs Peaks können auch mehrschichtige Objekte vermessen werden. Systemaufbau Das konfokale Messsystem confocaldt besteht aus einem Controller und einem Sensor, die über ein Lichtleiterkabel verbunden sind. Für schnelle Messungen bis zu 70 khz wird der Controller an eine externe Xenon-Lichtquelle angeschlossen. Die Konfiguration des Controllers erfolgt komfortabel über ein Webinterface. Im Gegensatz zu Systemen mit schwingender Linse ist confocaldt verschleißfrei konstruiert. Das Sensorprogramm umfasst Standardsensoren 2405, die weltweit einzigartigen Miniatursensoren der Serie 2402 und die Hybridsensoren der Serie 240. Mit diesen Miniatur sensoren können Messungen in schmalen Bohrungen und Versenkungen ab einem Durchmesser von 4,5 mm durchgeführt werden. Darüber hinaus können die Sensoren für Anwendungen im EX-gefährdeten Bereich und Vakuum eingesetzt werden.

3 Übersicht confocaldt Seite 6-7 confocaldt 2451/2471 Controller Derzeit schnellster Controller weltweit Hervorragendes Signal- / Rauschverhältnis Schnelle Oberflächenkompensation durch Belichtungszeitregelung Dickenkalibrierung für präzise Dickenmessung Seite 8-9 confocaldt 2402 Konfokale Miniatursensoren Miniatursensoren ø4 mm, ideal für Montagen im begrenzten Bauraum Ideal für Bohrungen ab ø4,5 mm Robuste Konstruktion (Stahlgehäuse) Axiale oder radiale (90 ) Messrichtung Einsetzbar zur Abstandsmessung Für EX-Bereiche geeignet Seite confocaldt 240 Konfokale Hybrid-Sensoren Hybridsensoren mit ø8 mm Einsetzbar zur Abstandsmessung sowie zur einseitigen Dickenmessung von transparenten Materialien und mehrschichtigen Objekten Axiale oder radiale (90 ) Messrichtung Gradientenindex-Linse mit Relaisoptik Robuste Konstruktion (Stahlgehäuse) Für EX-Bereiche geeignet Seite 12-1 confocaldt 2405 Konfokale Wegsensoren Kompakte Sensoren mit großem Grundabstand Einsetzbar zur Abstandsmessung sowie zur einseitigen Dickenmessung von transparenten Materialien und mehrschichtigen Objekten Extrem kleiner Messfleck und hohe Auflösung zur Erkennung kleinster Details Hohe Empfindlichkeit Für EX-Bereiche geeignet

4 4 Applikationen confocaldt Das konfokal-chromatische Messprinzip Polychromatisches Licht (Weißlicht) wird durch eine mehrlinsige Optik auf die Messobjektoberfläche fokussiert. Die Linsen sind so angeordnet, dass durch kontrollierte chromatische Abweichung das Licht in seine monochromatischen Wellenlängen zerlegt wird. Durch eine werkseitige Kalibrierung wird jeder Wellenlänge ein bestimmter Abstandspunkt zum Messobjekt zugeordnet. Im Sensorsystem wird diejenige Lichtwellenlänge zur Messung herangezogen, die sich exakt auf dem Messobjekt fokussiert. Das von diesem Punkt reflektierte Licht wird über eine optische Anordnung auf ein lichtempfindliches Sensorelement abgebildet, auf der die zugehörige Spektralfarbe erkannt und ausgewertet wird. Für Multipeakmessungen werden entsprechend mehrere Abstandspunkte ausgewertet. Die Sensoren sind in passiver Bauweise ausgeführt und kommen ohne elektrische Bauteile aus. Daher sind Messungen in schwierigen Umgebungen wie EX-Bereichen möglich. Darüber hinaus strahlen die Sensoren keine Abwärme ab und sind somit besonders für empfindliche Anwendungsumgebungen geeignet. Prinzipskizze Linsenanordnung Strahlengang Messobjekt Abstandsmessung und Intensitätsauswertung Neben der Abstandsauswertung kann die Signalintensität zur Messung herangezogen werden. Die Intensitätsauswertung ist besonders zur Erkennung feinster Strukturen geeignet. Nebenstehendes Beispiel zeigt die Messung auf eine plan geschliffenen Oberfläche. Durch die Intensitätsauswertung lassen sich Bereiche darstellen, die nicht mehr durch Abstandsmessung erfasst werden können. Plan geschliffene Oberfläche Abstandsauswertung Intensitätsauswertung Signal bei Dickenmessung Dickenmessung transparenter Materialien Das einzigartige Messprinzip erlaubt eine Dickenmessung von einer Seite bei transparenten Materialien wie Glas. Dabei wird mit nur einem Sensor die Dicke mikrometergenau erfasst. Für die Messung stehen bis zu 6 Peaks zur Verfügung. Dadurch kann eine Mehrschichtdickenmessung erfolgen, z.b. von Verbundglas. Messung in Vertiefungen und Bohrungen Durch den axialen Strahlengang treten keine Abschattungseffekte auf, wodurch Messungen in Hülsen und Vertiefungen realisiert werden können. Mit der 90 -Ausführung der Miniatursensoren 2402 und 240 können geometrische Merkmale im Inneren von Bohrungen und Vertiefungen gemessen werden.

5 5 Exakte Durchmesserbestimmung von Edelstahlrohren Oberflächentopografie von Dentalproben im Messautomat Extreme Auflösung: Oberflächenscan eines Siliziumchips

6 6 Controller confocaldt IFC2451/ kHz INTER FACE Der derzeit schnellste Controller weltweit: Messrate bis 70 khz Schnittstellen: Ethernet / EtherCAT / RS422 / Analog Schnelle Oberflächenkompensation Konfiguration über Web-Interface Submikrometer Auflösung Dickenmessung von mehrschichtigen Materialien Robuster Aufbau mit passiver Kühlung Über das Webinterface werden alle Einstellungen für die Dickenmessung vorgenommen. Mehrere transparente Materialien sind in der Materialdatenbank hinterlegt und können erweitert werden. Sensor 240x Abstand 1 Abstand 2 Dicke EtherCAT Conformance tested: IFC2451 Die neuen Highend-Controller confocaldt 2451/2471 stehen für eine neue Generation in der konfokal-chromatischen Messtechnik. Durch ein sehr gutes Signal-Rauschverhältnis erreichen die neuen Modelle Messraten von 10 khz mit Weißlicht-LED und 70 khz mit der zusätzlichen Xenon-Lichtquelle. Die aktive Belichtungsregelung der CCD-Zeile erlaubt eine schnelle und genaue Kompensation unterschiedlicher Oberflächen, auch bei dynamischen Messprozessen. Über das einfach zu bedienende Webinterface wird die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren ohne zusätzliche Software durchgeführt. Die Datenausgabe erfolgt über Ethernet, EtherCAT, RS422 und Analogausgang. Die confocaldt Controller werden für anspruchsvolle Messaufgaben aus der Abstands- und Dickenmessung eingesetzt und sind mit allen Sensoren verwendbar. Die Übertragung der optischen Signale zwischen Sensor und Controller erfolgt über Lichtwellenleiter. Messbereichsanfang Messbereich

7 7 Controller IFC2451 IFC2451MP IFC2471 IFC2471MP Mehrschichtmessung 2 Peaks bis zu 6 Peaks 2 Peaks bis zu 6 Peaks Lichtquelle interne weiße LED externe Xenon-Lichtquelle IFX2471 Messrate einstellbar 10 / 5 / 2,5 / 1 / 0, / 0,2 / 0,1 khz einstellbar 70 / 50 / 25 / 10 / 5 / 2,5 / 1 / 0, khz Auflösung Speicher Ethernet / EtherCAT RS422 Analog 1 nm 18 bit 16 bit Ablage von bis zu 20 Kalibriertabellen verschiedener Sensoren, Auswahl über Menü Ein-/Ausgänge des Controllers Sync-In/Trig-In, Sync-Out Fehler1-Out, Fehler2-Out Encoder (x A, B, Index) EtherCAT/Ethernet RS422 Analog: Strom, Spannung (16 bit D/A Wandler) Sync-In/Trig-In, Sync-Out Fehler1-Out, Fehler2-Out Encoder (x A, B, Index) EtherCAT/Ethernet RS422 Analog: Strom, Spannung (16 bit D/A Wandler) Externe Lichtquelle: Temperatur, Lampenwechsel EtherCAT Bedienelemente, Anzeigen des Controllers Ein-Aus-Wippschalter; Taster für Dunkelabgleich (sowie für Reset auf Werkseinstellung nach 10 s) 4x LED für Intensity, Range, Status, Versorgungsspannung Versorgungsspannung, Leistungsaufnahme Controller Externe Lichtquelle 24 VDC ±15 %, ca. 10 W - 24 VDC ±15 %, ca. 10 W VAC, ca. 100 W Gehäuse Schutzart Aluminiumgehäuse für Hutschienenmontage IP40 Betriebstemperatur Controller Externe Lichtquelle 5 C C - 5 C C 5 C C Lagertemperatur -20 C C Zulässiges Fremdlicht Sicherheit; EMV Störaussendung Störfestigkeit Schock Vibration 0.000lx CE EN / DIN EN (Klasse B) EN / DIN EN g, 6 ms 2g / 10 Hz Hz Sensor m Kabellänge (Lichtwellenleiter) Xenon-Lichtquelle - 1 m Maximale Kabellängen (Alle Kabel geschirmt) Steckertyp EtherCAT, Ethernet Versorgung, RS422, Sync./Fehler Analog Encoder E2000 CAT5E; Kabellänge <100 m <0 m <0 m < m Controller IFC2451/2471 Xenon-Lichtquelle IFX2471 min 150 ca. 6 LWL-Kabel des Sensors 12, ,2 R 0 194,2 184,2 218 (Füße können entfernt werden) Hutschienenhalter 76,2 81,2 Alle anderen Kabel: kürzerer Bauraum ca ,5

8 8 Konfokal-chromatische Miniatursensoren confocaldt 2402 Miniatursensoren ø4 mm mit axialem oder radialen Strahlengang Submikrometer Auflösung Einsetzbar zur Abstandsmessung Extrem kleiner Messfleck Für EX-Bereiche geeignet Die miniaturisierten Sensoren der Serie 2402 sind mit Stahlgehäusen ausgestattet. Im Sensor befindet sich ein speziell entwickelter Linsenstab, der die kleine Bauform mit einem Außendurchmesser von nur 4 mm ermöglicht. Dadurch können diese Sensoren auch in engsten Bauräumen eingesetzt werden, beispielsweise um in Vertiefungen oder Bohrungen zu messen. Neben Sensoren mit axialer Messrichtung sind Sensoren mit radialem Strahlengang (90 -Winkel) erhältlich, mit denen die Wandstruktur von Vertiefungen mit extremer Genauigkeit erfasst werden kann. Für magnetische Umgebungen ist der Sensor auch mit Titangehäuse lieferbar. Lichtleiter ø2,1 Lichtleiter ø2,1 Knickschutz und Zugentlastung ,4/1,5/4/10 Stahlrohr Linse ø1, Knickschutz und Zugentlastung 2402/90-1,5/4/10 6,25 Fase: Montagefläche 1, Ø4 Stahlrohr ø4 MB MBA 4 2,5 Fase: Montagefläche 7,25 7,25 MBA 2 MB Mechanische Toleranzen ±0,1 mm MB = Messbereich MBA = Messbereichsanfang Alle Abmessungen in mm. Innendurchmessererfassung von kleinen Bohrungen

9 9 Sensor-Modell (Miniaturausführung) , ,5 2402/90-1, / /90-10 Messbereich 400 µm 1,5 mm 1,5 mm,5 mm 2,5 mm 6,5 mm 6,5 mm Messbereichsanfang ca. 1,5 mm 0,9 mm 2,5 mm 1) 1,9 mm 2,5 mm 1) 2,5 mm,5 mm 1) Lichtfleckdurchmesser 10 µm 20 µm 20 µm 20 µm 20 µm 100 µm 100 µm Linearität ~0, µm 1,2 µm 1,2 µm ~ µm 2 µm 1 µm 1 µm ±0,08 % d.m. ±0,2 % d.m. Auflösung 2) 16 nm 60 nm 60 nm 0,1 µm 0,1 µm 0,25 µm 0,25 µm Gewicht Max. zulässige Verkippung (direkte Reflexion) ± 8 ± 5 ± 5 ± ± ± 1,5 ± 1,5 Schutzart IP 40 Betriebstemperatur C Lagertemperatur C 15 g Sensorkabel (Lichtwellenleiter) Schock Länge: integriertes Kabel 2 m; Verlängerung bis 50 m Biegeradius: statisch 0 mm; dynamisch 40 mm 15 g, 6 ms Vibration 2g / 10 Hz Hz d. M. = des Messbereichs Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (25±5 C) bei Messung auf planparalleles Prüfglas; bei anderen Messobjekten können die Daten abweichen. 1) Messbereichsanfang ab Sensorachse gemessen 2) Gemittelt über 512 Werte Zubehör: Sensor-Montageadapter MA2402 für Sensoren ,5±0,1 ø, ø8 4 7,5 ø4 H ,5 M ,5

10 10 Konfokal-chromatische Hybrid-Sensoren confocaldt 240 Hybridsensoren ø8 mm mit axialem oder radialen Strahlengang Submikrometer Auflösung Einsetzbar zur einseitigen Dickenmessung Einsetzbar zur Abstandsmessung Extrem kleiner Messfleck Für EX-Bereiche geeignet Die Sensoren der Serie 240 sind mit einer Kombination aus Gradientenindex- Linse und Relaisoptik ausgestattet. Mit einem geringen Außendurchmesser von nur 8 mm können die Sensoren zur präzisen Messung in relativ beengten Einbausituationen eingesetzt werden. Aufgrund der im Vergleich zum 2402 größeren numerischen Apertur lassen sich deutlich größere Grundabstände und größere Verkippungswinkel realisieren als für die Miniatursensoren Neben Sensoren mit axialer Messrichtung sind Sensoren mit radialem Strahlengang (90 -Winkel) erhältlich, die zur Messung in Vertiefungen eingesetzt werden ,4/1,5/4/10 Lichtleiter ø2,1 Knickschutz und Zugentlastung ca. 100 Lichtleiter ø2,1 Knickschutz und Zugentlastung 240/90-1,5/4/ ,5 ca. 110 ø8,24 MBA MB MBA ø8 Messung in Bohrungen und Vertiefungen mit 240/90 Sensoren MB Mechanische Toleranzen ±0,1 mm MB = Messbereich MBA = Messbereichsanfang Alle Abmessungen in mm.

11 11 Sensor-Modell (GRIN-Linse mit Relaisoptik) 240-0, ,5 240/90-1, / /90-10 Messbereich 400 µm 1,5 mm 1,5 mm 4 mm 4 mm 10 mm 10 mm Messbereichsanfang ca. 2,5 mm 8,0 mm 4,9 mm 1) 14,7 mm 12 mm 1) 11 mm 8,6 mm 1) Lichtfleckdurchmesser 9 µm 15 µm 15 µm 28 µm 28 µm 56 µm 56 µm Linearität bei Weg- und Abstandsmessung Linearität bei Dickenmessung 0, µm 1,2 µm 1,2 µm µm µm 20 µm 20 µm ±0,08 % d.m. ±0,2 % d.m. 0,6 µm 2,4 µm 2,4 µm 6 µm 6 µm 40 µm 40 µm ±0,16 % d.m. ±0,4 % d.m. Auflösung 2) 16 nm 60 nm 60 nm 0,2 µm 0,1 µm 0,25 µm 0,25 µm Gewicht 25 g Max. zulässige Verkippung (direkte Reflexion) ± 1 ± 16 ± 16 ± 6 ± 6 ± 6 ± 6 Schutzart IP 40 Betriebstemperatur C Lagertemperatur C Sensorkabel (Lichtwellenleiter) Schock Länge: integriertes Kabel 2 m, Verlängerung bis 50 m Biegeradius: statisch 0 mm, dynamisch 40 mm 15 g, 6 ms Vibration 2g / 10 Hz Hz d. M. = des Messbereichs Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (25±5 C) bei Messung auf planparalleles Prüfglas; bei anderen Messobjekten können die Daten abweichen. 1) Messbereichsanfang ab Sensorachse gemessen 2) Gemittelt über 512 Werte Zubehör: Sensor-Montageadapter MA240 für Sensoren ,5±0,1, ø8 18 7,5 12 4,5 M5x0.8 M5x ,5

12 12 Konfokal-chromatische Wegsensoren confocaldt 2405 Robuste Universalsensoren für vielfältige Anwendungen Einsetzbar zur einseitigen Dickenmessung Einsetzbar zur Abstandsmessung Extrem kleiner Messfleck Submikrometer Auflösung Für EX-Bereiche geeignet Die konfokalen Sensoren der Serie 2405 sind für Messaufgaben konzipiert, in denen höchste Genauigkeit gefordert ist. Die neu entwickelten Sensoren zeichnen sich durch eine hohe Empfindlichkeit aus. Der große Verkippungswinkel und der vergleichsweise große Grundabstand ermöglichen dabei vielfältige Anwendungen. Neben der Abstandsmessung gegen spiegelnde oder transparente Oberflächen ist der Sensor für die einseitige Dickenmessung transparenter Folien, Platten oder Schichten einsetzbar , ø19,2 6 Spannbereich ca. 6 6 Spannbereich 99 ø10,4 ø14,4 ø27 0, ø19,2 ø Spannbereich 81, 145 Spannbereich 10, 185 Spannbereich 11,7 ca ,4 ø19,2 ø19,2 ø19,2 ø22 ø4 ca. 20 9,5 ø54 ø62 ø8,2 10 ca ca. 100 ø47 Dickenmessung von KFZ Heckscheiben

13 1 Sensor-Modell , Messbereich 0, mm 1 mm mm 10 mm 0 mm Messbereichsanfang ca. 6 mm 10 mm 20 mm 50 mm 100 mm Lichtfleckdurchmesser 6 µm 8 µm 9 µm 16 µm 50 µm Linearität bei Weg- und Abstandsmessung Linearität bei Dickenmessung 0,15 µm 0,25 µm 0,75 µm 2,5 µm 7,5 µm ±0,05 % d.m. ±0,025 % d.m. 0, µm 0,5 µm 1,5 µm 5 µm 15 µm ±0,1 % d.m. ±0,05 % d.m. Auflösung 1) 10 nm 28 nm 6 nm 60 nm 180 nm Gewicht (ohne Kabel) 140 g 125 g 225 g 500 g 70 g Max. zulässige Verkippung 2) ± 4 ± 0 ± 24 ±17 ± 9 Schutzart IP 65, Frontseitig Betriebstemperatur +10 C +50 C Lagertemperatur -20 C +70 C Sensorkabel (Lichtwellenleiter) Schock Länge: Standard m; Verlängerung bis 50 m; Biegeradius: statisch 0 mm; dynamisch 40 mm 15 g, 6 ms Vibration 2g / 10 Hz Hz d.m. = des Messbereichs Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (25±5 C) bei Messung auf planparalleles Prüfglas; bei anderen Messobjekten können die Daten abweichen. 1) Gemittelt über 512 Werte, bei 1 khz, in Messbereichsmitte 2) Maximale Verkippung des Sensors, bei der ein verwertbares Signal erzielt werden kann, in Messbereichsmitte Zubehör: Sensor-Montageadapter MA2400 für Sensoren 2405 (bestehend aus Montageblock und Montagering) Montageblock Montageringe ø46 ø27 20 ø50 ø4 20 ø70 ø54 20 ø78 ø , ,5 7 MA für Sensoren , / -1 MA für Sensor MA für Sensor MA für Sensor

14 14 Konfokales Weg-Messsystem confocaldt Systemaufbau Das Messsystem confocaldt 2451 setzt sich zusammen aus: Sensor 240x Controller IFC2451 Das Messsystem confocaldt 2471 setzt sich zusammen aus: Sensor 240x Controller IFC2471 (für externe Lichtquelle) Xenon-Lichtquelle IFX2471 Sensor EtherCAT, Ethernet, RS422 Vakuumdurchführung Controller IFC2451 IFC2471 Externe Lichtquelle IFX2471 Encoder Versorgung Analogausgang Kundenspezifische Anpassungen Immer wieder treten Anwendungsfälle auf, bei denen die Standardausführungen der Sensoren und Controller an ihre Grenzen stoßen. Für diese besonderen Aufgabenstellungen besteht die Möglichkeit, das Sensordesign anzupassen und den Controller entsprechend abzustimmen. Oft angefragte Änderungen sind z.b. geänderte Bauformen, Befestigungsoptionen, individuelle Kabellängen und abgeänderte Messbereiche. Mögliche Anpassungen Ausführung mit Stecker 90 Kabelabgang Vakuumtaugliche Ausführung ohne Ausgasung, bis UHV Verkürzte Baulängen Kundenspezifische Montage-/ Befestigungsmöglichkeiten Erweiterte Sensorlanze Optische Filter zur Fremdlichtausblendung Gehäusematerial

15 15 Zubehör Software IFD24n1-Tool Zubehör Lichtquelle IFX2471/Xe/75 IFX2471/Xe/75 IFL2451/LE IFL2451/LED(00) CL2471-1/Xe Software-Demotool (im Lieferumfang enthalten) externe Xenonlichtquelle für Controller IFC2471 (70 khz) Lampenmodul für IFX2471 Lampenmodul für IFC2451 Lampenmodul für IFC2451(00) mit Kühlkörper Lichtquellenkabel, 1 m Aufbau Lichtwellenleiter Temperaturbereich: -50 C bis 90 C Biegeradius: 0/40 mm Multimode-Kern 50 µm Mantel 125 µm Acrylat <250 µm Zubehör 2405 C2401-X Lichtwellenleiter ( m, 10 m, kundenspezifische Länge bis zu 50 m) C2401/PT-X Schutzschlauch bei mechanischer Beanspruchung ( m, 10 m, kundenspezifische Länge bis zu 50 m) C2401-(10) schleppkettentaugliches Sensorkabel, m C2401-5(10) schleppkettentaugliches Sensorkabel, 5 m Schutzmantel PVC: Polyvinylchlorid Zugentlastung PVDF: Polyvinylidenfluorid Zubehör 2402/240 CE2402-X Sensorkabel-Verlängerung (/10/1/0/50 m) CE2402-X/PT Sensor mit Schutzschlauch (bei mechanischer Beanspruchung) (m, 10 m, kundenspezifische Länge bis zu 50 m) C2402/Vac/KF16 Vakuumdurchführung für Lichtwellenleiter, 1 Kanal C2405/Vac/6/CF6 Vakuumdurchführung für Lichtwellenleiter, 6 Kanal C2405/Vac/9/CF6 Vakuumdurchführung für Lichtwellenleiter, 9 Kanal E2000 Standard Stecker Ø2 Ø6 8,8 25,5 2, Sonstiges Zubehör SC2471-/USB/IND Verbindungskabel IFC2451/2471, m 6 9 SC2471-/IF2008 Verbindungskabel IFC2451/2471-IF2008, m SC2471-/CSP Verbindungskabel IFC2471-CSP2008, m SC /IF2008 Verbindungskabel IFC2451/2471-IF2008, 10 m SC /CSP Verbindungskabel IFC2471-CSP2008, 10 m SC /USB/IND Verbindungskabel IFC2451/2471, 10 m SC /USB/IND Verbindungskabel IFC2451/2471, 20 m PS2020 Netzgerät 24 V / 2,5 A EC2471-/OE Encoder-Kabel, m

16 Sensoren und Systeme von Micro-Epsilon Sensoren und Systeme für Weg, Position und Dimension Sensoren und Messgeräte für berührungslose Temperaturmessung Mess- und Prüfanlagen zur Qualitätssicherung Optische Mikrometer, Lichtleiter, Mess- und Prüfverstärker Sensoren zur Farberkennung, LED Analyser und Online-Farbspektrometer Technische Endoskopie, Lichtquellen Änderungen vorbehalten / Y K02109GKE MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG Königbacher Str Ortenburg / Deutschland Tel. +49 (0) 8542 / Fax +49 (0) 8542 / info@micro-epsilon.de