Mehr Präzision. capancdt // Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position

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1 Mehr Präzision. capancdt // Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position

2 Kapazitives Mehrkanalsystem für höchste Auflösung capancdt Mehrkanal-System mit sub-nanometergenauer Auflösung - Nahezu temperaturunabhängig - Messung auch gegen Isolatoren - Als Tischgerät und als Kartenträger für ein 19-Zoll-Format - I ntegrierte Rechenfunktion, z.b. für Dickenmesssungen - Zahlreiche Filter, Mittelungen, Trigger funktionen, Messwertspeicherung, digitale Linearisierung Systemaufbau Das System capancdt 6500 ist für mehrkanalige Anwendungen konzipiert und modular aufgebaut. Bis zu 8 Sensoren werden über einen Vorverstärkerbaustein an die Signalaufbereitungselektronik (Einschübe im Europakartenformat) angeschlossen. Der Vorverstärker ist bei der Ausführung DL6530 im Gehäuse integriert und wird bei Kabellängen bis 4 m (mit CC-Kabel) bzw. 8 m (mit CCg-Kabel) verwendet. Bei größeren Kabellängen wird der externe Vorverstärker CP6001 bzw. CPM6011 eingesetzt. Sensoren Signalausgangsbuchse D-Sub, 37-polig Sensorkabel Vorverstärker Vorverstärkerkabel DL 65 DL 65 DL 65 DL 65 DL 6530 DL 6530 DL 6530 DL 6530 Oszillator Ethernet Display 230VAC 0VAC Netz ±15VDC Strom+5VDC versorgung 12 Kanal 1 Kanal 2 Kanal 3 Kanal 4 Kanal 5 Kanal 6 Kanal 7 Kanal 8 Ein Messsystem mit n Messkanälen setzt sich zusammen aus: 1. Elektronikgehäuse DT6530 mit Netzteil, Display, Ethernet, Oszillator und Analogausgang 2. n x Modul DL65 (DL6530 mit integriertem Vorverstärker) 3. n x Vorverstärkerkabel 4. n x Vorverstärker CP6001 / CPM n x Sensorkabel 6. n x Sensoren DL65: Die Komponenten von Position 2 bis 6 werden für jeden Messkanal je einmal benötigt. DL6530: Die Komponenten von Position 2, 5 und 6 werden für jeden Messkanal je einmal benötigt.

3 13 Webinterface Über die Ethernet-Schnittstelle wird das Webinterface aufgerufen, mit dem der Controller konfiguriert wird. Bis zu 8 Kanäle lassen sich visualisieren und arithmetisch verknüpfen. Systemvarianten capancdt 6500 (mit integriertem Vorverstärker) Controller DT6530 / DT6530C DL6530 Sensorkabel Sensor capancdt 65 (mit externem Vorverstärker) Controller DT6530 / DT6530C DL65 Sensorkabel Sensor Vorverstärker CPM6011 / CP6001 Vorverstärkerkabel CPM6011 Externer Vorverstärker für Standardmessungen CP6001 Externer Vorverstärker für hochpräzise Messungen Controller DT6530C mit 2 Kanälen Controller DT6530 für bis zu 8 Kanäle

4 Kapazitives Mehrkanalsystem für höchste Auflösung capancdt 6500 Controller DT Kanal-Ausführung Controller DT6530C 2-Kanal-Ausführung 448,70 235,5 5,5 235,5 235,5 CPM6011 kapazitiver Vorverstärker DL6530/65 Frontansicht DL65: Anschluss CP6001 DL 6530: Anschluss Sensor LED: Offset LED: Range LED: Status Poti: Gain Poti: Lin Poti: Offset BNC: Analog-Ausgang CONTROLLER SENSOR CP6001 kapazitiver Vorverstärker Montagewinkel für CP6001 2,5x ,5 2 Controller Sensor 15 61, ,6 11,5 4,2 85, ,3 ø3,2 8 4,5 34,6 7, ,55 112,35 5,5 7,5 4,3 Text 132,55 112,35 Text ø4 Vorverstärker-Anschlusskabel CA5, CAx Ø 4,3 ±0,3 x=kabellänge 5... m (Standard 5 m) ~35 Ø 8,9 ~ SW8,2 5,8 9,8 78,8 5,5 14

5 15 Controller-Typ DT6530 DT6530 in Verbindung mit CPM6011 Auflösung statisch 0, % d.m. 0,0006 % d.m. Auflösung dynamisch 0,002 % d.m. (8,5 khz) 0,015 % d.m. (8,5 khz) Bandbreite Ausgang analog 8,5 khz (-3dB) 8,5 khz (-3dB) Bandbreite umschaltbar 20 Hz; 1 khz; 8,5 khz 20 Hz; 1 khz; 8,5 khz Datenrate Ausgang digital 4 x 7,8 ksa/s; 8 x 3,9 ksa/s 4 x 7,8 ksa/s; 8 x 3,9 ksa/s Linearität (typisch) ± 0,0 % d.m. ± 0,05 % d.m. max. Empfindlichkeitsabweichung ± 0,05 % d.m. ± 0,1 % d.m. Reproduzierbarkeit 0,0003 % d.m % d.m. Langzeitstabilität ± 0,002 % d.m. / Monat ± 0,02 % d.m. / Monat Synchronbetrieb möglich ja ja Isolatormessung ja nein Temperaturstabilität Temperaturbereich Betrieb Sensor Controller ± Digital: 5 ppm Analog: ppm 80 ppm C C C C Temperaturbereich lagernd C C Versorgung 230 VAC 230 VAC 0 V (max. ma kurzschlusssicher); 0 V (max. ma kurzschlusssicher); 4 20 ma (max. Bürde 500 Ohm) 4 20 ma (max. Bürde 500 Ohm) optional: 0 20 ma (Bürde max. 500 Ohm) optional: 0 20 ma (Bürde max. 500 Ohm) Ethernet 24 Bit; EtherCAT Ethernet 24 Bit; EtherCAT Sensoren alle Sensoren geeignet alle Sensoren geeignet Sensorkabel Standard CC-Kabel 1 m CCm-Kabel = 1,4 m CCg-Kabel = 2 m CC-Kabel 1 m CCm-Kabel = 1,4 m CCg-Kabel = 2 m Sensorkabel Sonderabstimmung 2-fache / 3-fache / 4-fache Standardkabellänge 2-fache / 3-fache / 4-fache Standardkabellänge Ausgang Trigger TTL, 5 V TTL, 5 V Kanalanzahl max. 8 max. 8 d.m. = des Messbereichs Optionen Artikelnummer Bezeichnung Beschreibung EMR2 CP6001 erweiterter Messbereich (Faktor: 2) in Verbindung mit DL RMR 1/2 CP6001 verkürzter Messbereich (Faktor: 1/2) in Verbindung mit DL ECL2 CP6001 Sonderabstimmung für 2-fache Standardkabellänge in Verbindung mit DL ECL3 CP6001 Sonderabstimmung für 3-fache Standardkabellänge in Verbindung mit DL ECL4 CP6001 Sonderabstimmung für 4-fache Standardkabellänge in Verbindung mit DL ECL2 CPM6011 Sonderabstimmung für 2 m Sensorkabel in Verbindung mit DL EMR2 DL65x0 erweiterter Messbereich (Faktor: 2) RMR 1/2 DL65x0 verkürzter Messbereich (Faktor: 1/2) ECL2 DL65x0 Sonderabstimmung für 2-fache Standardkabellänge ECL3 DL65x0 Sonderabstimmung für 3-fache Standardkabellänge ECL4 DL65x0 Sonderabstimmung für 4 m Sensorkabel EMR2 CPM6011 erweiterter Messbereich (Faktor: 2)

6 Zubehör 24 capancdt Sensorkabel Kabel CCx,x / CCx,x/90 Kabel CCmx,x / CCmx,x/90 Kabel CCgx,x / CCgx,x/90 Beschreibung Ausgasungsarmes Kabel bis 4 m Länge, für Reinraum-Anwendungen geeignet Ausgasungsarmes Kabel bis 4,2 m Länge, für Reinraum-, UHV- u. EUV-Anwendungen geeignet Robustes Kabel bis 8 m Länge, für industrielle Anwendungen Temperaturbeständigkeit -0 C bis +200 C -0 C bis +200 C -20 C bis +80 C (dauerhaft) -20 C bis +0 C (.000 h) 2,1 mm ±0,1 mm 3,1 mm ±0,1 mm Außendurchmesser 3,1 mm ±0,1 mm Sensorkabel mit Stecker Typ C Ø4 Typ Standard 1 m CCx,xC CCmx,xC Ø3,1 ±0,1 (CC/ CCg) Ø2,1 ±0,1 (CCm ) 8 Kabel mit Stecker Typ B für Sensoren CS1 / CS1HP / CSE1, / CS2 / CSE2 / CS3 / CSE3 / CS5 / CS 1 x gerade / 1 x 90 Stecker 13,7 CCx,xC/90 CCmx,xC/90 CCgx,xC/90 17,5 2 x gerade Stecker CCx,xB 2,8 m 3m CCgx,xC 1,4 m 2m 8,6 CCgx,xB/90 CCmx,xB/90 8m CCx,xB/90 6m 1 x gerade / 1 x 90 Stecker CCgx,xB 4,2 m 16 CCmx,xB Ø5,4 Ø6 4m 16, x gerade Stecker 13,1 Kabel mit Stecker Typ C für Sensoren CS005 / CS02 / CS05 / CSE05 / CS08 / CSE1 Ø6 Ø5,4 Standard-Länge 1 m einmalig bei Verlegung; 7x Kabeldurchmesser bei Bewegung; 12x Kabeldurchmesser empfohlen bei ständiger Bewegung 3x Kabeldurchmesser Biegeradius Ausführung Stecker Typ C/90 Stecker Typ C/90 Sensorkabel mit Stecker Typ C Ø4 8,6 16, ,1 Ø6 Ø5,4 Standard-Länge 1 m 13,7 17,5 Ø3,1 ±0,1 (CC/ CCg) Ø2,1 ±0,1 (CCm ) 16 Sensorkabel mit Stecker Typ B Ø5,4 Ø6 Stecker Typ B/90 Standard-Länge 1 m 30,5 20, Ø3,1 ±0,1 (CC/ CCg) Ø2,1 ±0,1 (CCm ) Ø Zubehör capancdt MC2.5 Mikrometerkalibriervorrichtung, Einstellbereich 0-2,5 mm, Ablesung 0,1 µm, für Sensoren CS005 bis CS2 MCD Digitale Mikrometerkalibriervorrichtung, Einstellbereich 0 - mm, verstellbarer Nullpunkt, für alle Sensoren HV/B Vakuumdurchführung triaxial UHV/B Vakuumdurchführung triaxial für Ultrahochvakuum ,5 CA5 Vorverstärkeranschlusskabel 5-polig, 5 m lang SCAC3/5 Signalausgangskabel analog, 5-polig, 3 m lang SC6000-1,0 Synchronisationskabel, 5-polig, 1 m lang 6200 Stecker Typ B/90 Standard-Länge 1 mfür Mehrkanalbetrieb), 4-polig, 3 m lang SCAC3/4 Signalausgangskabel (erforderlich 30,5 Sensorkabel mit Stecker Typ B 3 m lang PC6200-3/4 Versorgungsund Triggerkabel, 4 -polig, 61 PS2020 Netzteil 37 für Hutschienenmontage; Eingang 230 VAC (115 VAC); Ausgang 24 VDC / 2,5 A; L/B/H 120x120x40 mm 37 Ø3,1 ±0,1 (CC/ CCg) Ø2,1 ±0,1 (CCm ) Ø

7 UHV/B Vakuumdurchführung triax schweißbar (Art.-Nr ) HV/B Vakuumdurchführung (Art.-Nr ) max. 17 SW11 Maximale Leckrate 1xe mbar l s, kompatibel zu Stecker Typ B 13,5 UHV/B Vakuumdurchführung triax schraubbar (Art.-Nr ) ø13.50h6 Schweißnaht 13,5 1,75 Schweißnaht UHV/B Vakuumdurchführung triax mit CF16 Flansch (Art.-Nr ) 6-1 UHV/B Vakuumdurchführung triax-1schraubbar (Art.-Nr ) -9 Maximale Leckrate 1xe mbar l s, kompatibel zu Stecker Typ B SW11 1,75 Maximale Leckrate 1xe-9 mbar l s-1, kompatibel zu Stecker Typ B ø13.50h6 SW11 ø34 (Standard-Flansch ø34 (Standard-Flansch CF16) CF16) -9 1,75 ø13.50h6 UHV/B Vakuumdurchführung triax mit CF16 Flansch (Art.-Nr ) SW11 Maximale Leckrate 1xe mbar l s, kompatibel zu Stecker Typ B Maximale Leckrate 1xe mbar l s, kompatibel zu Stecker Typ B -7 1,75 ø13.50h6 Ø14 max. 17 Ø8, Ø14 Ø8,8 SW12 UHV/B Vakuumdurchführung triax schweißbar (Art.-Nr ) HV/B Vakuumdurchführung (Art.-Nr ) Mx0,75 SW12 2 Mx0,75 34 Maximale Leckrate 1xe-9 mbar l s-1, kompatibel zu Stecker Typ B Maximale Leckrate 1xe mbar l s, kompatibel zu Stecker Typ B -9-1 Maximale Leckrate 1xe-9 mbar l s-1, kompatibel zu Stecker Typ B SCAC3/5 Signalkabel (Art.-Nr ) SCAC3/4 Signalkabel (Art.-Nr ) 50 Ø4,3 ±0, Ø4,3 ±0, 50 Ø4,3 ±0, PC6200-3/4 Versorgungs- und Triggerkabel (Art.-Nr ) Ø5,5 ±0,3 11 Ø5,5 ±0,3 0 CA5 Vorverstärkeranschlusskabel (Art.-Nr ) CA5 Vorverstärkeranschlusskabel (Art.-Nr ) Ø4,3 ±0, Ø4,3 ±0, Ø4,3 ±0, SC6000-1,0 Synchronisationskabel (Art.-Nr ) CA5 Vorverstärkeranschlusskabel (Art.-Nr ) Ø5,5 ±0,3 43,5 Ø4,9 ±0. Ø4,9 ±0. 11 Ø4,9 ±0. Ø11,5 0 Ø9 Ø11,5 Ø9 Ø9 Ø11,5 11 SC6000-1,0 Synchronisationskabel (Art.-Nr ) 0 PC6200-3/4 Versorgungsund Triggerkabel (Art.-Nr ) 43, ,5 SC6000-1,0 Synchronisationskabel (Art.-Nr ) PC6200-3/4 Versorgungs- und Triggerkabel (Art.-Nr ) 150 Ø4,3 ±0, 35,6 SCAC3/5ca.Signalkabel (Art.-Nr ) SCAC3/4 Signalkabel (Art.-Nr ) 150 SCAC3/5 Signalkabel (Art.-Nr ) Ø4,3 ±0, Ø4,3 ±0, 50 SCAC3/4 Signalkabel (Art.-Nr )

8 Änderungen vorbehalten / Y H041118SGO Sensoren und Systeme von Micro-Epsilon Sensoren und Systeme für Weg, Position und Dimension Sensoren und Messgeräte für berührungslose Temperaturmessung Mess- und Prüfanlagen zur Qualitätssicherung Optische Mikrometer, Lichtleiter, Mess- und Prüfverstärker Sensoren zur Farberkennung, LED Analyser und Inline-Farbspektrometer Technische Endoskopie, Lichtquellen MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG Königbacher Str Ortenburg / Deutschland Tel. +49 (0) 8542 / Fax +49 (0) 8542 / info@micro-epsilon.de