Rev HANDMESS-VERFAHREN MICRO+NANO-DICKEN. Für die manuelle Schichtdickenmessung im Micro- und Nano-Bereich

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Siegfried Brinkerhoff
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Rev. 110118-1 HANDMESS-VERFAHREN MICRO+NANO-DICKEN NANO- und MICROLAYER-SCHICHTDICKENMESSUNGEN TSL- SYSTEME Für die manuelle Schichtdickenmessung im Micr- und

1 Rev HANDMESS-VERFAHREN MICRO+NANO-DICKEN NANO- und MICROLAYER-SCHICHTDICKENMESSUNGEN TSL- SYSTEME Für die manuelle Schichtdickenmessung im Micr- und Nan-Bereich - mittels elektrstatischer Sensrik alpha-serien - mittels interfermetrischer Sensr delta-serien wählen Sie bitte im ggle Vide-Mde die Mess-Applikatinen

Rev. 110118-1 MESS-VERFAHREN MICRO+NANO-DICKEN INTERFEROMETRISCHE SCHICHT- und DICKENMESSUNG TSL-delta-Serie Typ : Herkunft: Berührungslse Schicht- und Dickenmessungen sehr dünner Schichten und Filme

2 Rev MESS-VERFAHREN MICRO+NANO-DICKEN INTERFEROMETRISCHE SCHICHT- und DICKENMESSUNG TSL-delta-Serie Typ : Herkunft: Berührungslse Schicht- und Dickenmessungen sehr dünner Schichten und Filme TSL Deutschland Sensrik für Schichten und Wandungen,- delta-serie Sensrik für Z-Achsen, Dicken und Tpgrafien,-PCI-Serie Näheres unter: - hchgenaue Systeme - Weisslicht Systeme - autmatische Systeme wählen Sie bitte ebenfalls im ggle Vide-Mde dargestellte Applikatinen

T S L - d e l t a - S e r i e 1.4.0-45.0µm einsatzbereite Messeinheit delta 8.2: `starting up -Set vrbereitet für die kundenspezifische Anwendung Delta- 8.2 System-Parameter ptinal Messbereich: 1.

3 T S L - d e l t a - S e r i e µm einsatzbereite Messeinheit delta 8.2: `starting up -Set vrbereitet für die kundenspezifische Anwendung Delta- 8.2 System-Parameter ptinal Messbereich: µm prtabel Tleranz: besser 0.01 µm inklusiv Messwiedergabe Mess-Rate: 10 / Sekunde Sensr- Fiber-ptic- Sftware-Prgramm 8.2 Netz-Versrgung V misst hier eine autmtive-lens Budget: VIS delta Fiber-Optic Prtable versin, Netz/Akkubtrieb Typische Applikatinen und Aufgaben für delta-messsysteme Messung transparenter Schicht- und Wandungsdicken, vn: Plycarbnat+catings, Gläser Scheiben die meisten transparenten Filme, auch nass nahezu alle transparenten Beschichtungen und Materialien vn µm Dicke Oberflächen, Tpgrafien, Rauhheiten, 2+ 3D-Dkumentatinen finden Sie unter TSL-PCI-Serien. swie nline Dicken-, Farb- und Glanzmessungen.

Messprinzip Weisslicht-Interferenzmessung Leistungen/Aufgaben Messen transparenter materialien

005 bis 15 000µm rbuste und handliche Ausführung, ebens die Messprgramme switch-key

Sekunden nach dem Start - mittels der TSLcustm-fit Prgramme Zubehör Aluminiumkffer

4 Messprinzip Weisslicht-Interferenzmessung Leistungen/Aufgaben Messen transparenter materialien and catings, vn bis µm rbuste und handliche Ausführung, ebens die Messprgramme switch-key nline-ausgänge via Industrie und Pc-Standards sichere- und einfachste Bedienbarkeit innerhalb 10 Sekunden nach dem Start - mittels der TSLcustm-fit Prgramme Zubehör Aluminiumkffer Kunden-spezifische Sensrik und handlings Ebens verfügbar : Online-Systeme für präzise industrielle Aufgaben im autmtive, Pharma, packaging, slar. F+E Gern beantwrten wir Ihre spezielle Aufgabenstellung

5 TSL-SYSTEME BERÜHRUNGSLOSE MESSUNGEN SYSTEM DELTA APPLIKATION Berührungslse Schicht- und Wandungsdickenmessung, transparent Szenari: Labr, Mnitring und Prduktin ff/nline Messpunkte sind aktuell bis mm zu verkleinern! Lichtdurchlässige/transparte. Medien auf glatten substraten Substrate: Transparent+nicht-transparent. Transparent Wandungen/ ebens Online-Farb- und Glanzmessung. 2-3 etc. layer-messung, Erweiterbar um andere Verfahren. Autmtive-Packaging-Glas-Architecture-Aviatin Wanddungsdicken Glass/ Plycarbnat-Thicknesses/Sicherheitstechnik Schichtdicken Transparent-Lacke auf autmtive Teilen etc. Dünnfilme auf Gläsern und Streu-Scheiben Reflektren, Innen-Einrichtung Pharma etc.

Spezielle SYSTEM-APPLIKATIONEN X- der xy der xyz- scanner, Statinär der mbil Prtable Versinen, -scan- linie. (3d ist in Arbeit) Innenbeschichtungsmessung Tuben etc.

6 Spezielle SYSTEM-APPLIKATIONEN X- der xy der xyz- scanner, Statinär der mbil Prtable Versinen, -scan- linie. (3d ist in Arbeit) Innenbeschichtungsmessung Tuben etc. Messung+Mikrskpie Additin/Subtraktin, ext. Sensriken, Schaltausgang für externe Funktinen, Messwert plus bmp. Psitins-Bild sind in der TSL-nline-sftware vrgesehen. Berührungslse Systeme: TSL-DELTA Lichtdurchlässige Schichten auf glatten Substraten- Transparente Wanddicken Elxal-Autmtive-Verpackung-Gläser - UV delta Labr-Statin MESS-SYSTEM-DELTA nline

Prcessing-Mdul Delta nline Delta- System-Kenndaten 0.

7 Prcessing-Mdul Delta nline Delta- System-Kenndaten µm,tleranz:<20 Nanmeter Schwärmbereich: Bis zu 5000 x Messwert Rate: 30 Messungen/ sec. Mdul 1 / 2 x 19 inch ---- Verbindungs-Set Transfer-Sftware ---- Kalibrierung

Rev. 110107-1 SCHICHTDICKENMESSUNG ABLÖSE-VERFAHREN BEVORZUGTE

8 Rev SCHICHTDICKENMESSUNG ABLÖSE-VERFAHREN BEVORZUGTE ENTWICKLUNGEN GERÄTE SERIE ELEKTRO PHYSIK GALVANOTEST GA FISCHER COULOMAT

G a l v a n T e s t 2 0 0 0 / 3 0 0 0 GalvanTest 2000 Anwendung Präzise Schichtdickenmessung für: mehr als 70 Schicht-/ Substrat-Kmbinatinen Bestimmung auch vn Mehrfachschichten Sichere Messungen vn

9 G a l v a n T e s t / GalvanTest 2000 Anwendung Präzise Schichtdickenmessung für: mehr als 70 Schicht-/ Substrat-Kmbinatinen Bestimmung auch vn Mehrfachschichten Sichere Messungen vn 0,1 bis 75 µm Annähernd sämtlicher galvanischen Beschichtungen Messverfahren Culmetrisches Ablöseverfahren Leistungen+Aufgaben Schichtdickenmessung auch gekrümmter Flächen Messpunkte bis 1mm klein Speicherung und Auswertung der Messwerte ( GA 3000)

10 Geräte-Typen GalvanTest Einheit 2000 Neun vrjustierte Applikatinen Au, Cr, Ni, Cu, Messing, Zn, Ag, Sn, Pb, swie Cd Luftsystem lässt das Elektrlyt zyrkulieren GalvanTest-Einheit 3000 Zehn vrjustierte Applikatinen Au, Cr, Ni, Cu, Messing, Zn, Ag, Sn, Pb, swie Cd weitere Metalle als Applikatinen speicherbar Flüssig-Pumpsystem lässt das Elektrlyt zyrkulieren Lchmaske für 0,25 mm² Ablöseflächen Optinal-Zubehör Lchmasken C 1,00 mm² Lchmasken D 0,25 mm² zusätzliche innere Messzelle Typ I der II für Patrnenartigen Tausch der Elektrlyten ptische Zentriereinrichtung Kathdenbecher für Drähte, Blzen etc. Drahthalter in Verbindung mit dem Kathdenbecher

zusätzlicher Kleinteilehalter Datendrucker MiniPrint 4100 Interface zum Anschluß an

Mess-Spannungsverläufe XT-Schreiber weitere innvative Prdukte berührungslse- und nline-

Tpgrafie, Rauhheit, Prenfreiheit etc, TSL-CCS digitales 1-Minute DIN- DIN 50986

11 zusätzlicher Kleinteilehalter Datendrucker MiniPrint 4100 Interface zum Anschluß an einen PC Verbindungskabel zum x/t-schreiber zur Analyse spezieller Mess-Spannungsverläufe XT-Schreiber weitere innvative Prdukte berührungslse- und nline- Verfahren, Nanmeter-Sets TSLcnvert-Prgramm zur Mess-Kennlinien-Krrektur Oberfläche, Tpgrafie, Rauhheit, Prenfreiheit etc, TSL-CCS digitales 1-Minute DIN- DIN Schicht-Referenzverfahren, dkumentierend Supprt Applikatins-Labr, - a.a. mbil Erarbeitung messphysikalischer Eignungs-Zusagen

12 industrielle System-Integratin/Engineering DIN-ISO-Kalibrierung Fernwartung/supprt

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