News 4. Mikroelektronik. Arion Water verwendet Thornton für seine Reinstwassersysteme. Perspektiven in der Reinstwasseranalytik THORNTON

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1 Mikroelektronik Perspektiven in der Reinstwasseranalytik News 4 THORNTON Leading Pure Water Analytics Arion Water verwendet Thornton für seine Reinstwassersysteme Je kleiner die Linienbreiten bei Halbleitern werden, desto reineres Wasser wird benötigt. Für einen angesehenen Hersteller mobiler HPW- Anlagen ist der Einsatz hochwertiger Überwachungsgeräte unverzichtbar. Daher verbaut Arion Water auch die Messgeräte von Thornton in seinen Systemen. Innovativer Hersteller Das amerikanische Privatunternehmen Arion mit Sitz in der ländlich schönen Preiselbeerregion um Carver, Massachusetts, USA, konstruiert und baut Wassersysteme für die Mikroelektronik- und Pharmaindustrie, die beide eine kontinuierliche Versorgung mit hochreinem Wasser benötigen. Arion hat sich seit seiner Gründung im Jahr 1985 zu einem der innovativsten Unternehmen auf dem Gebiet der Aufbereitung von Reinstwasser entwickelt. Zu seinen Kunden gehören weltweit agierende Unternehmen der Halbleiterindustrie wie Varian Semiconductor, Qualcomm, MKS Instruments, Corning und Raytheon. Auslegungsphilosophie Nach dem Technischen Vorstand Robert Livingston «konzipiert und baut Arion Wassersysteme mit einem einzigartigen Unterschied das System erfordert keinerlei Desinfektion und produziert dennoch Reinstwasser aus vorhandenem Wasser mit einer mikrobiellen Aktivität von weniger als 1 cfu (colony forming unit) pro Liter, Endotoxingehalten von unter 0,03 EU/Milliliter bei minimalem Wartungsbedarf. Überwachen Sie die Wasserqualität (insbesondere TOC) und Sie haben die Mikrobiologie im Griff.» Wasseranlagen von Arion für die Halbleiterindustrie erfüllen die Anforderungen gemäß Electronics Grade Specifications mit ihrem unkomplizierten, wartungsarmen Design. «Wir können garantieren, dass die technischen Daten für den Partikelgehalt auch ohne Ultrafiltration eingehalten werden, und arbeiten dabei mit Leitungen aus Polypropylen, um die Kosten zu reduzieren.»

2 Herausgeber Mettler-Toledo AG Process Analytics Im Hackacker 15 CH-8902 Urdorf Schweiz Bilder Mettler-Toledo AG Arion Water Ecolutia Services Natie Dreamstime.com Die Systemauslegung von Arion folgt einem ganz einfachen Ansatz: Standard- Vorbehandlung (Multimedia-Filtration, Enthärter, Aktivkohlefilter), ein- oder zweistufige Umkehrosmose, je nach Anforderungen und Lagertank, dazu kommt eine Nachbehandlung aus eigener Entwicklung mit TOC Reduktion durch UV- Oxidation, MB-Ionenaustausch für Polierzwecke und abschließende 0,2 µm Filtration. Die Wassersysteme von Arion haben weniger als 1 ppb TOC. In einer derart nährstoffarmen Umgebung wird das Bakterienwachstum unterbunden. Die Halbleiterindustrie nutzt Umkehrosmose, UV- TOC-Zerstörung und Mischbett-Deionisation, erfordert jedoch keine Wärmesterilisation aufgrund von Auslegungserwägungen und höheren Energiekosten. «In der Halbleiterindustrie sorgt die Verwendung von Reinstwasser nicht für die Ausbreitung von Mikroorganismen. Üblicherweise wird in der Halbleiterindustrie nicht sterilisiert. Dennoch liegt die mikrobielle Aktivität regelmäßig bei weniger als 1 cfu/10 Liter, ob lebensfähig oder nicht», erläutert Herr Livingston. Die Geräte von Thornton erfüllen die Anforderungen an Genauigkeit und Zuverlässigkeit Arion entschied sich für Thornton als Hauptzulieferer für Messgeräte zur Erfassung von Leitfähigkeit / Widerstand, Durchfluss und TOC. Herr Livingston bemerkt dazu, dass «Arion Wassersysteme bekannt für ihre Zuverlässigkeit im Dauerbetrieb sind. Normalerweise plant man für solche Systeme einen Tag als Stillstandszeit pro Betriebsjahr für Wartungsarbeiten ein. Geräte von Thornton erfüllen unsere Anforderungen bezüglich Empfindlichkeit und Genauigkeit für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie, was wirklich wichtig ist, denn unser Wasser erreicht nahezu die theoretisch möglichen Grenzen für Reinheit.» «Thornton weiß, worauf es ankommt, und die Geräte erfüllen unsere Anforderungen. Sie sind einfach zu bedienen, flexibel und halten die Kalibrierwerte über lange Zeiträume ein. Wir können die Geräte von unseren Computern aus programmieren und vorzeitig die Daten herunterladen. Wir speichern die Parametrierungen zur späteren bequemen Wiederverwendung. Die Geräte erlauben Gestaltungsfreiheit, bieten nach Maß angepasste Berichtsfunktionen, und unsere Servicetechniker können sie problemlos im Feld austauschen. Thornton Instruments liefert unseren Kunden exakt die Genauigkeit und Zuverlässigkeit, die sie von Arion erwarten.» Arion Water setzt die Produkte von Thornton in zahlreichen Branchen und Anwendungen ein: Leitfähigkeit / Widerstand, Temperatur, ph, gelöster Sauerstoff, gelöstes Ozon und TOC. «Wir bevorzugen den TOC-Sensor von Thornton für unsere Wassersysteme, weil wir sie mit unter 5 ppb TOC betreiben, häufig sogar mit unter 0,5 ppb. Die TOC-Sensoren von Thornton zeigen zuverlässig die Qualität des von unseren Systemen aufbereiteten Wassers, und zwar in Echtzeit», so Herr Livingston. In einem Fall bestand ein Kunde von Arion darauf, eine Geräteausstattung mit Konkurrenzgeräten anzubieten. Dabei ließ sich das Widerstandsmessgerät nicht auf die erforderliche Genauigkeit kalibrieren, was ungenaue Wassermessungen nach sich zog. Der Kunde hatte ein Einsehen und wird in Zukunft die Wassersysteme von Arion mit Thornton-Ausstattung verwenden. Erfahren Sie mehr unter: c Technische Änderungen vorbehalten Mettler-Toledo AG 07/11 Gedruckt in der Schweiz. Steuertafel eines Wassersystems von Arion mit M300-Transmittern von Thornton 2 METTLER TOLEDO Mikroelektronik News 4

3 Transmittersoftware Komfortable Konfigurationssoftware Spart Zeit und Kosten bei der Inbetriebnahme von Transmittern Die Konfiguration von Transmittern kann zeitaufwendig, komplex und frustrierend sein, wenn mehr als ein Transmitter mit derselben Konfiguration versehen werden soll. Mit einem kleinen Programm für Thornton- Transmitter wird diese Aufgabe zum Kinderspiel und ist rasch erledigt. Software für Thornton-Transmitter Das Transmitter Configuration Tool (TCT) ist im Lieferumfang der meisten Transmitter von Thornton bereits enthalten. Mit diesem PC-Programm können Benutzer die Transmitter konfigurieren und ihre speziellen Anwendungskonfigurationen über die USB-Schnittstelle am Transmitter mittels PC oder Laptop herunterladen, heraufladen, speichern oder ausdrucken. Diese Funktion das bietet nur Thornton spart viel Zeit und Aufwand, wenn mehrere Transmitter wiederholt und immer wieder mit maßgeschneiderten Konfigurationen programmiert werden müssen. Ist eine Konfiguration erst einmal erstellt, kann der Benutzer diese mit der TCT-Software in alle Transmitter hochladen. Dazu braucht er lediglich einen PC oder Laptop und spart sich das zeitraubende Programmieren jedes einzelnen Geräts über die Tastatur. Verschiedene Anwendungen sowie deren Konfigurationen lassen sich abspeichern und später aus einer Bibliothek mit Konfigurationsdateien wieder heraufladen. Außerdem können mit dem TCT Daten aufgezeichnet und am Computer überprüft werden. Sie lassen sich zur späteren Auswertung oder, wenn man Diagramme erstellen möchte, als Excel-Datenblätter speichern. Mit der TCT-Software ist Konfigurieren ganz einfach korrekt und konsistent Komfortabel: Wenn ein Verfahrenstechniker 10 Transmitter mit den gleichen Ein- stellungen konfigurieren muss was etwa Minuten pro Gerät erfordert steigt die Gefahr erheblich, dass Fehler oder Ungenauigkeiten passieren. Sobald eine Datei auf einem PC erstellt wurde, kann sie mit der TCT-Software vom Benutzer in jeden Transmitter hochgeladen werden. Das kann an einem zentralen Ort vor dem Einbau geschehen oder nach dem Einbau in das Wasseraufbereitungssystem. Flexibilität und Konsistenz: Zahlreiche Konfigurationen lassen sich für eine spätere Verwendung speichern. Beispielsweise eine Konfiguration für die Umkehrosmose / Entionisierung, zu deren Anwendung mehrere Leitfähigkeitssensoren und Sensoren für ph, TOC und Durchfluss an einen einzigen Transmitter angeschlossen sind. Sämtliche Messbereichseinstellungen und Grenzwerte, Alarme, Ausgaben usw. lassen sich für diese spezielle Anwendung einstellen und abspeichern, während eine andere Variante mit anderen Sensoren oder Einstellungen konfiguriert und separat abgespeichert werden kann. Diese individuellen Anwendungen lassen sich vorkonfigurieren und in den Transmitter hochladen, wenn sie gebraucht werden. Sicherheit: Die TCT-Software dient auch als Sicherheits-Backup. Anwendungsspezifische Konfigurationen können in einem Bibliotheksordner auf einem anderen Computer zur späteren Verwendung gespeichert werden für den unwahrscheinlichen Fall, dass die Konfiguration versehentlich verändert oder gelöscht oder der Transmitter ausgetauscht wurde. Zusammenfassung der Vorteile der TCT-Software Sichert die konsistente Konfiguration mehrerer Transmitter mit denselben Einstellungen Spart Zeit, weil nicht jeder Transmitter einzeln konfiguriert werden muss Spart Zeit durch Hochladen anwendungsspezifischer Konfigurationen aus der vom Benutzer entwickelten Bibliothek Die TCT-Software arbeitet bidirektional Daten können vom PC in den Transmitter und umgekehrt übertragen werden Die Konfiguration des Transmitters kann ganz bequem an einem anderen Ort oder zu einer passenden Zeit vorgenommen werden auch aus der Ent fernung oder in einem Büro. Ermöglicht die Aufzeichnung von Daten in Echtzeit Daten lassen sich von einem Computer aufzeichnen und überprüfen. Für eine spätere Auswertung, Fehlersuche oder Diagrammerstellung lassen sich die Daten als Excel-Datenblätter speichern. Für weitere Informationen zur TCT-Software setzten Sie sich bitte mit Ihrem örtlichen Mettler-Toledo Thornton Verkaufsbüro in Verbindung oder besuchen uns im Internet unter: c METTLER TOLEDO Mikroelektronik News 4 3

4 Transmitter M300 Anbieter mobiler Wasseraufbereitungssysteme Verlässt sich auf Inline-Messgeräte Inline-Messtechnologie spielt eine wichtige Rolle beim effizienten Betrieb mobiler Wasseraufbereitungssysteme. Für Ecolutia Services sind Geräte von Thornton mit Echtzeitüberwachung ein lebenswichtiger Baustein, um einen Einblick in die Leistungsfähigkeit eines Systems zu erlangen. Sie stellen auch sicher, dass ein leistungsfähiger Betrieb erreicht und beibehalten wird. Ein Kunde, der mobile Wasseraufbereitungssysteme anbietet Ecolutia Services bietet weltweit mobile Wasseraufbereitungssysteme für die Industrie und Kommunen an. Als Teil der Stulz H+E Group betreibt Ecolutia Services die weltweit neueste und leistungsfähigste Flotte mobiler Wasseraufbereitungssysteme für Prozesswasser, Abwasser und Reinstwasser. Der Wasserdurchsatz reicht dabei von bis Kubikmeter pro Tag. Die weltweit steigende Nachfrage nach Wasser treibt die Produktentwicklung und den nachhaltigen Ansatz bei der Wasseraufbereitung von Ecolutia Services voran. Die Kunden profitieren dabei von Lösungen, die unabhängig von Trockenperioden Wasser liefern, sei es durch Wiederverwendung, Rückgewinnung oder Abwasseraufbereitung. Das alles funktioniert vor allem durch den Einsatz von Produkten mit höherer Produktivität und Effizienz bei gleichzeitig geringeren Kosten für Logistik und Energieverbrauch. Viele Kunden haben festgestellt, dass eine vorübergehende oder gar vollständige Auslagerung der Wasseraufbereitung ihnen mehr Raum lässt, sich auf ihr Kerngeschäft zu konzentrieren. Sie müssen sich nicht länger mit Dingen beschäftigen, wie Chemikalien für die Vorbehandlung vor der Filtration, Reinigungsmittel für die Umkehrosmose, Säuren und Basen für die Regeneration der Ionenaustauscher oder Reagenzien zum Neutralisieren der Abfallstoffe. Außerdem sind die Kunden auch nicht mehr in der Verantwortung für den täglichen Betrieb und brauchen keine Fachkräfte mehr zur Optimierung der Wasseraufbereitung aus Rohwasser mit unterschiedlichen Qualitäten. Zudem kommt, dass die Kunden nur das Wasser bezahlen, das auch verbraucht wurde. Direkte Kosten für Aufbau und Installation des Wasseraufbereitungssystems fallen ebenfalls keine an. Typische Anwendungen: j Wasserversorgung in Notfällen j Anfahren und Inbetriebnahme j Geplante oder ungeplante Stillstandszeiten j Kondensatrückgewinnung und Polieren j Aufbereitung alternativer Wasserversorgung 4 METTLER TOLEDO Mikroelektronik News 4

5 Blick in einen Container von Ecolutia mit eingebautem Wasseraufbereitungssystem Transmitter M300 Zu den versorgten Branchen gehören: j Stromversorgung j Chemie j Halbleiter, Mikroelektronik j Pharma und Life Science j Lebensmittel- und Getränkeindustrie j Öl und Gas j Zellstoff und Papier, Bergbau, kommunale und sonstige Wassersysteme Anwendungen für Geräte von METTLER TOLEDO Mit den Wasseraufbereitungssystemen von Ecolutia lässt sich Rohwasser aus den unterschiedlichsten Quellen nutzen, etwa aus offenen Speicherbecken, Brack- oder Meerwasser bis hin zu Industrieabwasser. Die Qualität kann je nach Standort des Projekts und der Wasserverfügbarkeit schwanken. Um die gewünschte Qualität, Menge und Leistung zu erreichen, bedient man sich einer ganzen Reihe von Aufbereitungsverfahren wie Multimedia-Filtration, Ionenaustausch, Umkehrosmose, Elektrodeionisation und Membrantechnologien. Ecolutia verwendet Geräte zur Echtzeit- Messung und Steuerung der Prozesse für Leitfähigkeit / Widerstand, ph und Redox von Mettler-Toledo Thornton. Um Informationen über die Leistungsfähigkeit des Systems zu erhalten, sind genaue Messungen erforderlich. Andernfalls kann es passieren, dass die Wasserqualität außerhalb der Spezifikation liegt und Filtermedien und Membransysteme beschädigt werden. Erwartungen klar übertroffen Der Transmitter M300 und die Sensorbereiche erfüllen und gehen über die Anforderungen hinaus bei Projekten, die mit mobilen Wasseraufbereitungssystemen arbeiten. Angefangen bei den wirklich einfach zu bedienenden Transmittern über die breite Auswahl robuster Sensoren liefern die Geräte von Thornton absolute Höchstleistungen. Der Geschäftsführer von Ecolutia Services, Colin Wright meint dazu: «Unsere Erfahrungen mit den Geräten von Thornton sind eine Erfolgsgeschichte. Derzeit arbeiten wir mit Hochdruck an einer Standardisierung und weiteren Einführung in alle unsere Systeme und Anlagen.» Flexible Messlösung Weil die mobilen Wasseraufbereitungssysteme exakt den speziellen Anforderungen jedes einzelnen Kunden angepasst werden, muss die Geräteausstattung ebenfalls flexibel sein, um den unterschiedlichen Aufgaben gerecht werden zu können. Die Prozessanalysegeräte der Serie M300 von Thornton liefern genau diese Flexibilität mit Ein- und Mehrkanalgeräten sowie Multiparameter-Modellen zur Messung von Leitfähigkeit/Widerstand, ph/redox, gelöstem Sauerstoff, gelöstem Ozon und Durchflussmessung. Konfigurationsprogramm für Transmitter Jeder M300-Transmitter ist mit einem Konfigurationsprogramm für Transmitter (Transmitter Configuration Tool, TCT) ausgestattet. Mit diesem Programm für den PC können Benutzer den M300 konfigurieren, Daten herunter- und hinaufladen, spezielle Konfigurationen des Kunden über die USB-Schnittstelle des Transmitters speichern oder drucken. Weitere Informationen finden Sie unter: c METTLER TOLEDO Mikroelektronik News 4 5

6 Solarzellenproduktion Solarzellen im Aufwind Reines Wasser für die Photovoltaikindustrie Die Nachfrage nach Solarzellen wird weiterhin hoch bleiben und damit auch der Bedarf an Reinstwasser. Für Hersteller von Solarzellen ist es enorm wichtig sicherzustellen, dass das Wasser auch wirklich sauber ist. Thornton ist auf dem Gebiet der Messung der Wasserqualität führend. Investitionen in Photovoltaik steigen deutlich Nach einer im Jahr 2011 veröffentlichten Studie der European Photovoltaic Industry Association (EPIA) und Greenpeace International könnten die weltweiten Investitionen im Bereich Photovoltaik im Jahr 2015 auf über 70 Milliarden ansteigen. Allein in diesem Jahr schätzt die EPIA, dass PV-Systeme mit einer Gesamtleistung zwischen 130 und 195 GW installiert werden. Über Unternehmen sind in die Herstellung von kristallinen Siliziumsolarzellen und Dünnschichtsolarzellen involviert. Mettler-Toledo Thorntons umfangreiches Fachwissen auf dem Gebiet Messtechnik für Reinstwasser in der Halbleiterindustrie ermöglicht eine effizientere Herstellung von PV-Modulen und höhere Ausbeuten durch präzise Überwachung, Messung und Regelung UPW-Anforderungen in der Photovoltaikbranche des für die Produktion extrem wichtigen Reinstwassers. Wassernutzung bei der PV-Produktion Eine absolut saubere Waferoberfläche vor dem Ätzen, dem Aufbringen der Strukturen und von Beschichtungen ist Voraussetzung für einen maximalen Wirkungsgrad der Solarzellen. Dazu sind erhebliche Mengen an Entnahmewasser und spezielles Funktionswasser (UPW mit Zusatz bestimmter Gase oder Chemikalien, die beim Nassreinigen verwendet werden) in der Solarzellenproduktion erforderlich. Ein abschließender Spülgang mit Reinstwasser allerhöchster Güte stellt sicher, dass die Silizium- und Glasoberflächen absolut frei von Verunreinigungen durch Salze oder organische Verbindungen sind und sich nicht auf die Leistung der Solarzellen auswirken. Parameter Reinstwasser HPW Reinwasser Widerstand inline bei 25 C (MΩ*cm) > 17.5 > 10 TOC inline (ppb) < 20 < 200 Gelöster Sauerstoff inline (ppb) k.a. k.a. Inline-Partikel / l (im Mikrometerbereich) < 1000 k.a < 100 < < 10 < 100 Bakterien (CFU / L) < 10 < 100 Silizium gesamt (ppb) < 20 < 50 Gelöstes Silizium (ppb als SiO 2 ) < 20 < 50 Ionen und Metalle (ppb) < 1 < 10 Die Wasserqualität im Aufbereitungs- und Verteilnetz sowie nach der Produktion wird in Echtzeit inline überwacht, wobei hochgenaue Messungen von Leitfähigkeit / Widerstand und TOC erfolgen. Spülwasser kann als Recyclingwasser zurück in das UPW-Aufbereitungssystem geleitet oder anderweitig regeneriert werden. So lassen sich erhebliche Kosteneinsparungen bei Wasseraufbereitung und Umweltschutz erzielen. Anforderungen an das Wasser gemäß SEMI PV Die höchsten Anforderungen an die Wasserreinheit stellen die Halbleiter- und die Solarzellenproduzenten. SEMI PV ist eine Richtlinie zur Verwendung von hochreinem Wasser bei der Solarzellenverarbeitung (siehe Tabelle). Mittlerweile muss das UPW-System in der Halbleiterfertigung einen höheren Widerstand erreichen, der über 18,0 MΩ*cm liegt. Geräte zur UPW-Überwachung in der PV-Produktion Thornton ist weltweit führender Anbieter für Geräte zur Messung und Regelung von UPW-Systemen und wird von nahezu allen führenden Halbleiterproduzenten spezifiziert. Thornton kennt sich bestens mit den kritischen Messungen aus, die bei der Produktion von Reinstwasser so enorm wichtig sind. Sensoren von Thornton sind für höchste Genauigkeit und Leistung bekannt und werden deshalb branchenweit für die UPW-Herstellung in der Halbleiterindustrie genutzt. Sie sind schnell mit 6 METTLER TOLEDO Mikroelektronik News 4

7 kurzen Ansprechzeiten. Zusammen mit den vorbeugenden Diagnoseinformationen und dem geringen Wartungsaufwand ist Thornton weltweit führend bei Aufbereitung, Messung und Regelung von Reinund Reinstwasser und den damit verbundenen Parametern: j Leitfähigkeit / Widerstand j Gesamtgehalt organischen Kohlenstoffs (TOC) j ph j Redoxpotential j gelöster Sauerstoff j gelöstes Ozon j Temperatur j Durchfluss j Tankfüllstand Multiparameter-Transmitter mit zahlreichen Funktionen sind von Vorteil, wenn es darum geht, verschiedene Messgrößen mit einem einzigen Gerät zu messen und dabei jede Messgröße mit höchster Qualität und Leistung zu erfassen. Intelligent Sensor Management (ISM) bietet Plug and Measure-Funktionalität, vorbeugende Diagnostik und die Dynamische Anzeige der Lebensdauer, mit der außerplanmäßige Ausfälle nur noch selten vorkommen. Auf Thornton können Sie zählen, wenn es um Geräte zur Überwachung der Wasserqualität in der Solarzellenproduktion der PV- Branche geht: heute und morgen. Die Notwendigkeit des effizienten Gebrauchs von Reinstwasser ITRS-Roadmap Im Dezember 2010 veröffentlichte das Gremium der International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) eine ITRS-Aktualisierung, in der erstmals auch auf Aspekte des Energieverbrauchs eingegangen wurde. Die Roadmap gibt dazu an: «Da Halbleiter in weiten Bereichen der Energiegewinnung, Umwandlung, Speicherung, Übertragung und Verbrauch / Nutzung eingesetzt werden können, überrascht es nicht, dass die ITRS die zahlreichen wichtigen Faktoren der Energiefragen behandelt und sich Themen wie der Reduzierung von Wasser- und Energieverbrauch widmet sowie auf innovative energieund wassereffiziente Prozesse und Anlagenausrüstungen eingeht.» Die neuen Zielsetzungen in diesen Bereichen betreffen nicht nur die Entwicklung energieeffizienterer Halbleiter, sondern fordern auch dazu auf, bei der Produktion von Halbleitern (und Photovoltaik) die Anlagen energieeffizienter auszulegen, verstärkt energiesparende Geräte und Werkstoffe einzusetzen und weniger Abfall zu erzeugen. Was die Übertragung von Energie über weite Strecken angeht, (d.h. intelligentes Stromnetz), spielen gerade Halbleiter eine herausragende Rolle, wenn es darum geht, derartige Systeme deutlich effizienter und produktiver zu gestalten. Thornton bietet Multiparameter-Messlösungen mit intelligenten Sensoren und Diagnosefunktionen an, mit denen bei höherer Ausbeute Wasser eingespart werden kann. Erfahren Sie mehr unter: c c METTLER TOLEDO Mikroelektronik News 4 7

8 Umfassendes Website-Angebot Alle gewünschten Informationen finden sich auf Die neugestaltete Website Prozessanalytik von METTLER TOLEDO enthält alle aktuellen Informationen zu allen unseren Produkten und Dienstleistungen. Der Inhalt ist auf Ihre Sprache angepasst und auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten. Der einfache Aufbau ermöglicht Ihnen, die gesuchten Informationen und Optionen schnell zu finden. Die Homepage ist so gestaltet, dass Sie schnell zu den Produkten und Neuigkeiten gelangen, die Sie interessieren. j Erfahren Sie mehr über unsere neuesten Produktentwicklungen j Melden Sie sich für kostenlose Webinare an j Fordern Sie weitere Informationen zu Produkten und Dienstleistungen an j Holen Sie schnell und einfach ein Angebot ein j Laden Sie unsere neuesten Informationsbroschüren herunter j Lesen Sie für Ihre Branche relevante Fallstudien j Schlagen Sie Zertifikate für Puffer- und Elektrolytlösungen nach j und vieles mehr... 8 METTLER TOLEDO Mikroelektronik News 4

9 Produktseiten geben Ihnen eine Übersicht zu den Produkten und schnellen Zugriff zu wichtigen Details und Dokumenten. Applikationsseiten helfen Ihnen bei der Auswahl der zu Ihrer Anwendung passenden Produkte. j Lesen Sie die neuesten Produkt-News j Stöbern Sie in unserem Newsletter-Archiv j Finden Sie heraus, wann unsere nächste Messe oder Ausstellung in Ihrer Region stattfindet j Melden Sie sich für kostenlose Webinare unserer Branchenexperten an j Laden Sie unsere Informationsbroschüren herunter c METTLER TOLEDO Mikroelektronik News 4 9

10 Die Thornton-Lösung Ein Transmitter, viele Parameter für TOC, ph, Leitfähigkeit, gelösten Sauerstoff... Thornton-Lösung Mettler-Toledo Thornton ist der Marktführer für kritische Messungen bei der Rein- und Reinstwasseranalyse. Multiparameter-Instrumente für Ihre Prozesse Die Transmitter der Baureihen M800 und 770MAX sind Multiparameter-Messgeräte mit einer breiten Palette an Sensoroptionen. Der Inline-Sensor 5000TOC e kann organische Kontaminationen in Echtzeit detektieren. Durchfluss Neben den TOC-Sensoren stellt Thornton auch Sensoren für die Messung von ph / Redox, gelöstem Sauerstoff / gelöstem Ozon, Leitfähigkeit, Durchfluss und Druck her. j M800 und 770MAX Multiparameter-Transmitter j Sensor 5000TOC e für kontinuierliche TOC-Messungen ph / Redox Smart-Sensoren Smart-Sensoren j ph für Reinstwasseranwendungen j 2-Pol- und 4-Pol- Leitfähigkeitssensoren gelöster Sauerstoff / gelöstes Ozon 10 METTLER TOLEDO Mikroelektronik News 4

11 Vorteile durch Thornton j Umfassende Komplettlösungen für für die Reinwasseranalyse aus einer Hand. j Weniger Platzbedarf und geringere Kosten pro Parameter dank der umfassenden Fähigkeiten der Multiparameter-Transmitter. Transmitter 770MAX und M800 j Der Sensor 5000TOC e ermöglicht jederzeit Inline-TOC-Messungen in Echtzeit. Smart-Sensoren j Der TOC Sensor benötigt keine Gase oder Reagenzien, die gehandhabt, gelagert oder ersetzt werden müssen. Da es keine beweglichen Teile gibt, sind die Routinewartungsarbeiten minimal. Smart-Sensoren Leitfähigkeit j Die Smart Sensor-Technologie ermöglicht «Plug and Measure»- Kommunikation zwischen Sensor und Transmitter. j Die sterilisierbaren Sensoren verfügen über eine außergewöhnlich lange Lebensdauer. TOC METTLER TOLEDO Mikroelektronik News 4 11

12 Gehen Sie online mit METTLER TOLEDO Experten für Wasserreinheit Mettler-Toledo Thornton kennt sich bestens mit kritischen Messungen bei der Herstellung von Reinstwasser für die Verarbeitung von Halbleitern und Mikroelektronik aus. Die Überwachung der Wasserreinheit stellt sicher, dass das Endprodukt durch keinerlei Verunreinigungen gefährdet ist und sichert damit auch eine hohe Ausbeute. Geräte von Thornton für Leitfähigkeit / Widerstand, TOC, ph, Redox, gelösten Sauerstoff und gelöstes Ozon werden von nahezu allen Halbleiterproduzenten weltweit zur Überwachung und Steuerung von UPW-Systemen spezifiziert. c Mettler-Toledo GmbH Prozessanalytik Ockerweg 3, D Gießen Tel: Fax: prozess@mt.com Mettler-Toledo Ges. m. b. H. Südrandstraße 17, A-1230 Wien Tel: Fax: prozess@mt.com Mettler-Toledo (Schweiz) GmbH Im Langacher, Postfach CH-8606 Greifensee Tel: Fax: salesola.ch@mt.com Besuchen Sie uns im Internet