TONiC UHV Mess-System

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1 L B TONiC UHV MessSystem Das TONiC UHV System bietet alle Vorteile der bewährten TONiC Weg und WinkelmessSysteme in einem Abtastkopf, der unter Verwendung von UHVtauglichen Materialien und Prozessen konzipiert und gefertigt wurde. Neben einer Reihe hochgenauer linearer und rotativer Maßverkörperungen wird der TONiC UHV Abtastkopf durch die Weiterentwicklung des Goldmaßbandes RGSZ20 ergänzt. Alle Maßbänder, Maßstäbe und Messringe zeichnen sich durch optische INTRAC n, eine einfache Montage, Unempfindlichkeit und nachweislich saubere RGASpektren aus. Optimale Zuverlässigkeit und hohe Unempfindlichkeit gegenüber optischer Degradation erzielt das TONiC UHV System durch Filteroptiken der dritten Generation, welche ein noch geringeres Rauschen erzeugen, sowie durch dynamische Signalverarbeitung einschließlich Auto Gain Control und Auto Offset Control. Das Ergebnis ist eine gleichmäßigere Geschwindigkeitsregelung, die wiederum zu einer besseren Regelgüte und Positionsstabilität führt grundlegende Voraussetzungen für viele Anwendungen. TONiC UHV Abtastköpfe verfügen weiterhin über ein analoges oder digitales Interface in Form eines robusten und abnehmbaren SUBD Steckverbinders, der in einem Abstand von bis zu zehn Metern vom Abtastkopf angebracht werden kann. Das Interface kann eine hochgenaue digitale Interpolation mit einer Auflösung von bis zu nm erzielen. Der Abtastkopf ist mit einer eingebauten EinstellLED ausgestattet, die für eine schnelle und einfache Installation sorgt. Alle Abtastköpfe werden standardmäßig mit einem RFIabgeschirmten, UHVkompatiblen Kabel geliefert. Saubere RGA Niedrige Ausgasraten Hohe Ausbacktemperatur von 20 C Abtastköpfe mit niedrigem Stromverbrauch Berührungsloses, offenes optisches System Auflösungen bis nm Dynamische Signalverarbeitung für höchste zyklische Genauigkeit besser als ±30 nm Auto Gain Control gewährleistet eine konstante Signalstärke für langfristige Zuverlässigkeit. Kompatibel mit dem Goldmaßband RGSZ20, dem Maßbandsystem FASTRACK/RTLC sowie RSLM, RELM, RESM und REXM

2 TONiC UHV MessSystem Installationszeichnung für Abtastkopf TONiC UHV Alle Abmessungen und Toleranzen in mm 2 x M2,5 durchgängig, angesenkt auf Ø3 x 2,75 tief von alternativer Montagefläche 8 Optische Mittellinie (Inkremental und ) 3 INTRAC nselektor = (A965303) (Abmessungen wie P Endschalter) 3 6 7,8 7,8 3,75 ±0,5 (Gierwinkel ±0, ) 0,25 (Rollwinkel ±0,5 ) 0,08 8,75* 3,7 3,5 * P Endpunkt = (A ) Auslösepunkt P Endschalter Position des nkennungssensors 3 Q Endpunkt = (A ) (Abmessungen wie P Endschalter) 5 22 Empfohlene Auslösepunkt Montageflächen 29 Q Endschalter min Position des P und Q Endschaltersensors Einstell LED,25 Alternative Montagefläche,5 2,3 R> statischer Biegeradius CAL/AGC LED Detail A ca. Ø3,0, x M2,5 durchgängig, angesenkt auf Ø3 x 2,3 tief, beide Seiten (Nickwinkel ± ) A 0,6 Maßbandoberfläche Maßbanddicke 0,2,5,8 Optische Mittellinie Abstand zwischen Abtastkopf und Maßband Abstand 2, ± 0,5 9 Anschluss an Ti Interface *Größe der alternativen Montagefläche. = Geschraubte nselektoren und Endschalter erhältlich. Nähere Informationen sind im entsprechenden TONiC zu finden. HINWEIS: Nur RGSZ20 abgebildet. Detaillierte Installationszeichnungen entnehmen Sie bitte dem entsprechenden TONiC oder. Zeichnung der Abmessungen des Ti/TD Interface Alle Abmessungen und Toleranzen in mm 67 DiagnoseLED (Ti000Ti20KD und TD000TD000) 62 Erfordert einen 2 mm Innensechskantschlüssel 6 8 CAL/AGC Druckschalter Zugangsloch Ø2, ,3 0 9 R>20 dynamischer Biegeradius R> statischer Biegeradius 6 min Abdeckplatte 0 UNC x 2

3 TONiC UHV MessSystem Generelle Spezifikationen Spannungsversorgung 5V ±% Nur Abtastkopf <0 ma T6xx/T26xx Ti0000 <0 ma T6xx/T26xx Ti000 Ti20KD oder TD000 TD000 <200 ma HINWEIS: Die Stromaufnahme bezieht sich auf Systeme ohne Abschlusswiderstand. Bei digitalen Ausgängen steigt die Stromaufnahme bei einem Abschlusswiderstand von 20 Ohm um weitere 25 ma pro Kanalpaar (z. B. A, A). Bei analogen Ausgängen steigt die Stromaufnahme bei einem Abschlusswiderstand von 20 Ohm um insgesamt weitere 20 ma. 5 V DC Spannungsquelle entsprechend den Bestimmungen EN (IEC) für SELVStromkreise. Restwelligkeit 200 mvss bei Frequenzen bis max. 500 khz Temperaturbereich (System) Lagerung 20 C bis 70 C Betrieb 0 C bis 70 C (Abtastkopf) Ausbacken 20 C Luftfeuchtigkeit (System) Schutzart (Abtastkopf) (Interface) Max. 95% relative Luftfeuchtigkeit bei 0 C (nicht kondensierend) IP20 IP20 Acceleration (Abtastkopf) Betrieb 500 m/s² BS EN :993 Schock (System) Betrieb 500 m/s², ms, ½ Sinus BS EN :993 Vibration (System) Betrieb 0 m/s² 55 Hz bis 2000 Hz BS EN :996 Masse Abtastkopf g Interface 0 g Kabel g/m EMV Konformität (System) BS EN 6326: 2006 Umwelt Abtastkopfkabel Erfüllt die EURichtlinie 20/65/EU (RoHS) Einzelne Abschirmung mit verzinntem Kupfergeflecht. FEP isolierte Adern Geschwindigkeit Mindestzählerfrequenz des Empfängers (MHz) Ti000 5 µm Ti0020 µm Ti000 0,5 µm Ti00 0,2 µm Maximale Geschwindigkeit (m/s) Ti0200 0, µm Ti nm Ti00 20 nm Ti2000 nm Ti000 5 nm TiKD 2 nm Ti20KD nm 50 6,8 3,20,625 0,68 0,32 0,62 0,065 0, ,0 2,700,350 0,50 0,270 0,35 0,05 0, , 3,2,620 0,8 0,32 0,62 0,08 0,032 0, ,75 2,70,350 0,670 0,270 0,35 0,068 0,027 0,03 2 9,50,80 0,900 0,50 0,80 0,090 0,05 0,08 0,009 8,,00,62 0,8 0,00 0,62 0,08 0,0 0,06 0, ,8 3,2,29 0,68 0,32 0,30 0,065 0,032 0,03 0,0065 6,50 2,25 0,90 0,50 0,225 0,090 0,05 0,023 0,009 0,005 3,37,68 0,67 0,338 0,69 0,068 0,03 0,07 0,0068 0,003,2 0,8 0,2 0,6 0,08 0, ,008 0,00 0,007 0,0008 Analogausgang (3dB) HINWEIS: TD Interface haben oben genannte maximale Verfahrgeschwindigkeiten, je nach Auflösung. Drehzahl abhängig vom Ringdurchmesser, Umrechnung nach: Drehzahl (min) = V x 00 x 60 p D Mit V = maximale Umfangsgeschwindigkeit (m/s) und D = RESM bzw. REXM Außendurchmesser (mm)

4 TONiC UHV MessSystem Systemeigenschaften Form INTRAC, direkt in den Inkrementinformationen eingebettet Siehe Datenblätter der Maßverkörperung RGSZ, FASTRACK/RTLC, RELM, RSLM, RESM, RESD oder REXM für die Positionen der n. Bidirektional wiederholgenau über den gesamten Geschwindigkeits und Temperaturbereich. Elektronisch abgestimmt, keine Justage nötig. Auswahl T6x0: Aktivierung einer durch magnetischen Geber (selbstklebend A oder verschraubbar A ). T6x und T26x: Keine Kennung erforderlich, alle n werden ausgegeben. Entsprechend der Auflösung reproduzierbar, über den gesamten Geschwindigkeitsund Temperaturbereich. Richtungskennende Endschalter (nur lineare Systeme, nicht verfügbar bei TD Interface) Form Magnetische Geber für P und Q Endschalter Selbstklebend Verschraubbar P Endschalter mm A A Q Endschalter mm A A P Endschalter 20 mm A Q Endschalter 20 mm A P Endschalter 50 mm A Q Endschalter 50 mm A Schaltpunkt Führungskante des Magneten aus Verfahrrichtung. SchaltpunktToleranz Verfahrrichtung des Abtastkopfes 3 mm Toleranz des Schaltpunktes Nominaler Schaltpunkt (RGSZ Maßband dargestellt) Befestigung Position Selbstklebend (wie RGSZS Maßband) oder verschraubt. An gewünschten Positionen; vom Kunden auswählbar. <0, mm Dynamische Signalverarbeitung Signalaufbereitung in Echtzeit für optimale Leistung bei einer Vielzahl verschiedener Betriebszustände. Automatic Gain Control (AGC) Automatic Offset Control (AOC) Extrem geringer zyklischer Fehler von ±30 nm. Kalibrierung Einfache Kalibrierung über Tastendruck, keine Justage erforderlich. Optimierung von Inkremental und nsignalen. TD Interface für 2 verschiedene Auflösungen Ermöglicht das Umschalten zwischen 2 Auflösungen. HINWEIS: Es wird empfohlen das das Signal nur bei still stehender Achse umgeschaltet wird. Siehe Artikelnummern für verfügbare Optionen. Keine Endschalterausgänge.

5 TONiC UHV MessSystem RGAErgebnisse RGAErgebnisse Ein auf einen Scanbereich von 200AMU eingestelltes QuadrupolMassenspektrometer (AccuQuad 200 RGA), wurde verwendet, um RGA (Restgasanalyse) Daten zu erfassen und den Gesamtkammerdruck zu messen. Nach der anfänglichen Voreinstellung des Systems wurde ein Hintergrundspektrum zusammen mit dem Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet. Die Komponente wurde in die Vakuumkammer (0,05 m 3 ) gesetzt und das System wurde dann mithilfe einer Dioden/Ionenpumpe des Typs KJL Lion 802 (800/s) und einer Membranpumpe des Typs Divac bei Raumtemperatur 2 Stunden lang ausgepumpt, woraufhin erneut eine Hintergrundabtastung durchgeführt und der Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet wurde. War der Systemdruck besser als 5 x 9 mbar, wurde das Testexemplar bei 20 C 8 Stunden lang gebacken. Anschließend wurde gewartet, bis das System auf Raumtemperatur heruntergekühlt war, bevor ein letztes Massenspektrum und der Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet wurden. Diese abschließenden RGAAufzeichnungen sind nachfolgend dargestellt. HINWEIS: Eine exakte Wiederholung dieser Ergebnisse ist unwahrscheinlich, da die RGADaten von vielen Faktoren, einschließlich den Umgebungsfaktoren und den Ausgangsbedingungen in der Kammer, abhängen. Diese Daten sind jedoch repräsentativ für die Funktion im Vakuum. TONiC Abtastkopf mit,0 m Kabel nach Ausbackung (Gesamtdruck = 9,0 x mbar) Masse/AMU RGSZS Maßband (300 mm Länge) nach Ausbackung (Gesamtdruck =,69 x mbar) Masse/AMU RESR (Ø5 mm) nach Ausbackung (Gesamtdruck = 7,76 x mbar) Partialdruck/mbar Partialdruck/mbar Partialdruck/mbar RSLM Maßstab (80 mm Länge) mit 2 Klammern und Klemme nach Ausbackung (Gesamtdruck = 3,0 x mbar) Partialdruck/mbar Masse/AMU Masse/AMU

6 TONiC UHV MessSystem Ausgangssignale Digitalausgang Ti000 Ti20KD Interface TD000 TD000 Funktion Signal Pin Pin Analogausgang Abtastkopf Txxx/2xxx Interface Ti0000 Funktion Signal Farbe Pin Spannung 5 V 7, 8 7, 8 Spannung 5 V Braun, 5 0 V 2, 9 2, 9 0 V Weiß 2, 3 Inkrementsignale A 6 6 Inkrementsignale Cosinus V Rot Blau 9 B Sinus V 2 Gelb Grün 2 Z 2 2 V 0 Violett Grau 3 Endschalter P Endschalter V p Pink 7 Q > V q Schwarz 8 Einrichtung X Einrichtung V x Klar 6 Alarm E 3 3 Kalibrierung Schirmung CAL Innen Orange Grün/Gelb* Umschalten Auflösung > Außen Äußere Schirmung Gehäuse Schirmung Innen *Innere Schirmung ist im Ti/TD Interface an 0 V angeschlossen Außen Gehäuse Gehäuse Wird zu Alarm (E) bei Ti Optionen E, F, G oder H Das Alarmsignal kann als Leitungstreibersignal oder als TriState Signal ausgegeben werden. Geben Sie bei der Bestellung bitte die gewünschte Option an. > Bei TD Interface muss der PIN mit 0 V verbunden werden, um die geringere Auflösung zu erzielen. 5pol. SUBD Stecker Elektrische Anschlüsse Erdung und Schirmung Abtastkopf Vakuumkammer Durchführungsstecker TONiC Interface Verlängerungskabel Folgeelektronik 5 V 0 V Spannung Ausgangssignale Schirmung Innere Schirmung (falls vorgesehen) Äußere Schirmung 0 V WICHTIG: Der äußere Schirm sollte mit der Maschinenerde (Feldmasse) verbunden werden. Der innere Schirm sollte nur an der Empfangselektronik mit dem 0 V Anschluss verbunden werden. Es ist darauf zu achten, dass der innere und äußere Schirm voneinander isoliert sind. Falls der innere und äußere Schirm miteinander verbunden sind, führt dies zu einem Kurzschluss zwischen 0 V und der Erde, was elektrisches Rauschen bewirken kann. Empfohlene Signalabschlüsse Digitalausgang Interface A B Z E Folgeelektronik Max. Kabellänge Abtastkopf bis Interface: Interface bis Zählkarte: Zählerfrequenz getakteter Ausgang (MHz) Interface 0 bis 50 <0 Analog m Abhängig von der Zählerfrequenz des getakteten Ausgangs. Siehe Tabelle unten. Max. Kabellänge (m) Alarmsignal (singleended) (Ti Optionen A, B, C und D) 5 V k Folgeelektronik Kabel Z 0 = 20R 20R k8 A B Z E Standard RS22A Leitungstreiber E k7 0R 0nF Ausgang Endschalter (nur TI Interface) 5 bis 2 V V p V q P Q R* *R so groß wählen, dass 20 ma nicht überschritten werden Alternativ ein Relais oder einen Optokoppler verwenden Analogausgang V 0 V V 2 20R V 0 V V 2

7 TONiC UHV MessSystem Ausgangsspezifikationen Digitale Ausgangssignale InterfaceModelle Ti000 Ti20KD und TD000 TD000 Signalform Rechtecksignal, DifferenzialLeitungstreiber EIA RS22A (außer Endpunkte P und Q) Analoge Ausgangssignale Interface Ti0000 und direktes Ausgangssignal von allen Abtastköpfen Inkremental 2 Kanäle A und B für Vierfachauswertung (90 phasenverschoben) Modell P (µm) S (µm) Inkremental 2 Kanäle V und V 2 differenzielle Sinussignale, zentriert auf ~,65 V (90 phasenverschoben) A B Signalperiode P Auflösung S Ti000 Ti0020 Ti000 Ti00 Ti0200 Ti000 Ti00 Ti ,8 0, 0,2 0,08 0,0 5 0,5 0,2 0, 0,05 0,02 0,0 (V )(V ) (V 2 )(V 2 ) 20 µm 0 0,7 bis,35 Vss mit grüner LEDAnzeige (Abtastkopf) und einem Abschlusswiderstand von 20 Ohm. HINWEIS: Ti0000A00V zentriert auf 2,5 V. Ti000 0,02 0,005 TiKD 0,008 0,002 Ti20KD 0,00 0,00 Z Breite = Z Synchronisierter Puls Z, Pulslänge entsprechend der Auflösung. Synchronisierter Puls Z, Pulslänge entsprechend der Signaldauer HINWEIS: Wählen Sie bei der Bestellung je nach der verwendeten Steuerung die Referenz Standard oder breit aus. Breite nicht bei Ti000 verfügbar. (V 0 )(V 0 ) 0,8 bis,2 Vss 5 Bidirektional wiederholgenau 360 (nom) Differenzieller Puls V 0 zentriert auf 5 Endschalter Offener Kollektor Ausgang, asynchroner Puls Nur digitales Ti Interface Limits Offener Kollektor Ausgang, asynchroner Puls Nur Interface Ti0000 Direkt aus dem Abtastkopf Activ high oder Activ low Activ high Activ low P Q <0, mm ~ Länge des Endschaltergebers Alarm Asynchroner Puls P Q HINWEIS: TD Interface haben keine Endschalter. P Endschalter wird zu E bei Ti Optionen E, F, G und H. <0, mm ~ Länge des Endschaltergebers V p V q <0, mm V p V q ~ Länge des Endschaltergebers ~ Länge des Endschaltergebers HINWEIS: Das Interface Ti0000 enthält einen Transistor zur Umwandlung des Signals active low des Abtastkopfes, um eine active high Ausgabe zu generieren. Betrieb mit Fernkalibrierung (nur analoge Ausführungen) <0, mm E >5 ms E Ausgang nur für Ti Optionen A, B, C und D. oder TriState Alarm Differentiell übertragene Signale haben einen offenen Kollektor für >5 ms, wenn ein Alarmzustand vorliegt. Alarmtrigger, wenn Signalstärke weniger als 20% oder mehr als 35% beträgt. Alarm wird auch ausgelöst, wenn die Geschwindigkeit des Abtastkopfes zu hoch ist, um einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. CAL 0 V Alle Ti und TD Interfaces verfügen über einen Druckschalter zur Aktivierung der Funktionen CAL/AGC. Der Fernbetrieb von CAL/AGC wird über PIN des analogen Ti0000Interface ermöglicht. Bei Anwendungen, für die kein Interface benutzt wird, ist der Fernbetrieb von CAL/AGC unbedingt erforderlich. Einrichtung* Einrichtung* Spannung an X 3,3 V (nom) Spannung an V X 0 0 Signalstärke 0% % Signalstärke 70% 0% Signalspannung proportional zu Signalamplitude Bei Signalstärken zwischen 50% und 70% ist V X bei Bewegung des MessSystems ein Rechtecksignal mit einer Periodenlänge von 20 µm. Je höher die Signalstärke, desto länger sind die inkrementellen HighPegel. Bei einer Signalstärke >70% beträgt V X durchgehend 3,3 V. Invertierte Signale sind aus Übersichtsgründen nicht dargestellt. *Die dargestellten Einstellsignale sind während der Kalibrierroutine nicht vorhanden

8 TONiC UHV MessSystem Linearer Abtastkopf T6xx Kompatibel mit RGSZ20, RTLC, RSLM oder RELM Abtastkopf Artikelnummer Serie T = TONiC Maßverkörperung = Linear Abtastkopftyp 6 = Vakuumgeeignet Kompatible Maßverkörperung 0 = RGSZ20/RGSN20 = RSLM/RELM 3 = RTLC/ RTLCS 0 = Ausgabe nur mit Selektor = Alle nausgaben Kabellänge = m 5 =,5 m 30 = 3 m 50 = 5 m 99 = m Kabelvorbereitung M = Vakuumtaugliches Kabel Rotativer Abtastkopf T26xx T M Kompatibel mit den WinkelmessSystemen RESM, RESD und REXM Abtastkopf Artikelnummer Modell T = TONiC Maßverkörperung 2 = Rotativ Abtastkopftyp 6 = Vakuumgeeignet Ringdurchmesser 0 = RESM/REXM/RESD >35 mm = RESM/REXM/RESD 60 bis 35 mm 2 = RESM/REXM/RESD <60 mm = Teilrotation RGSZ/RGSN >35 mm 5 = Teilrotation RGSZ/RGSN <35 mm 0 =Vom Anwender wählbare =Alle n werden ausgegeben (Rotationsstandard) Kabellänge = m 5 =,5 m 30 = 3 m 50 = 5 m 99 = m Kabelvorbereitung M = Vakuumtaugliches Kabel T M HINWEIS: Ti und TD Interfaces sind nicht UHVtauglich Für Anwendungen mit Teilrotation kontaktieren Sie bitte Ihre lokale Renishaw Niederlassung. Ti Interface Kompatibel mit allen TONiC Abtastköpfen Artikelnummern für das Interface Analog: Optionen A = richtungskennende Endschalter active high V = 2,5 V Mittenspannung Digital: Series Ti = TONiC Interpolationsfaktor/Auflösung* 000 = 5 µm 00 = 20 nm 0020 = µm 2000 = nm 000 = 0,5 µm 000 = 5 nm 00 = 0,2 µm KD = 2 nm 0200 = 0, µm 20KD = nm 000 = 50 nm Ti 0000 A 00 A Ti 0200 A 20 A Alarmformat und bedingungen A = Leitungstreiber E Ausgabe; alle Alarme B = Leitungstreiber E Ausgabe; Low Signal, High Signal E = TriState; alle Alarme F = TriState; Low Signal, High Signal Zählerfrequenz getakteter Ausgang 50, 0, 25, 20, 2,, 08, 06, 0, 0 (MHz) Optionen A = P/Q Endschalter active high, Standard B = P/Q Endschalter active low, Standard C = P/Q Endschalter active high, breite D = P/Q Endschalter active low, breite E = nur Q Endschalter, differenzieller Alarm active high, Standard F = nur Q Endschalter, differenzieller Alarm active low, Standard G = nur Q Endschalter, differenzieller Alarm active high, breite H = nur Q Endschalter, differenzieller Alarm active low, breite 2 verschiedene Auflösungen: TD 000 A 20 A Modell TD = TONiC mit 2 verschiedenen Auflösungen Interpolationsfaktor/Auflösung* PIN offen PIN = 0 V 000 = 5 nm nm 2000 = nm 20 nm 00 = 20 nm 0 nm 000 = 50 nm 0, µm 0200 = 0, µm 0,2 µm 000 = 0,5 µm µm Alarmformat und bedingungen A = Leitungstreiber, differenzieller Alarm; alle Alarme B = Leitungstreiber, differenzieller Alarm; Low Signal, High Signal E = TriState; alle Alarme F = TriState; Low Signal, High Signal Zählerfrequenz getakteter Ausgang 50, 0, 25, 20, 2,, 08, 06, 0, 0 (MHz) Optionen A = Standard B = Breite *Kontaktieren Sie Ihre lokale RenishawVertretung für weitere Interpolationsfaktoren. Bei Verwendung mit einem DSi sollte das Interface mit LeitungstreiberAlarmsignalen und mit getakteten Ausgängen 0, 0, 06, 08,, 2 oder 20 ausgeführt sein. Breite bei Interface Ti000 (5 µm) nicht verfügbar.

9 Renishaw GmbH KarlBenzStraße Pliezhausen Deutschland T 9 (0) F 9 (0) E [email protected] Mit TONiC UHV kompatible Produkte: RGSZ20 T0x RGSZ RELM Tx RSLM/RELM RSLM Tx RSLM/RELM FASTRACK/RTLC T3x FASTRACK/RTLC TONiC RTLCS T3x RTLCS Txxx T2xxx RESM TONiC T20x RESM DOP (Dual Output) MessSystem REXM T20x REXM Für weitere Informationen kontaktieren Sie bitte Ihre lokale Renishaw Niederlassung. RGSZ20 Teilrotation TONiC DSi DSi WinkelmessSystem mit zwei Abtastköpfen RESD T20x RESD Weltweite Kontaktinformationen finden Sie unter RRENISHAW IST UM DIE RICHTIGKEIT UND AKTUALITÄT DIESES DOKUMENTS BEMÜHT, ÜBERNIMMT JEDOCH KEINERLEI ZUSICHERUNG BEZÜGLICH DES INHALTS. EINE HAFTUNG ODER GARANTIE FÜR DIE AKTUALITÄT, RICHTIGKEIT UND VOLLSTÄNDIGKEIT DER ZUR VERFÜGUNG GESTELLTEN INFORMATIONEN IST FOLGLICH AUSGESCHLOSSEN. RENISHAW und das MesstasterSymbol, wie sie im RENISHAWLogo verwendet werden, sind eingetragene Marken von Renishaw plc im Vereinigten Königreich und anderen Ländern. apply innovation sowie Namen und Produktbezeichnungen von anderen Renishaw Produkten sind Schutzmarken von Renishaw plc und deren Niederlassungen Renishaw plc Alle Rechte vorbehalten Ausgabe 07 *L *