A E R Z E N E R D R E H K O L B E N G E B L Ä S E

Transkript

1 A E R Z E N E R D R E H K O L B E N G E B L Ä S E A e r z e n e r S p a l t r o h r g e b l ä s e z u r F ö r d e r u n g vo n L u f t u n d G a s e n i n d e r Va k u u m t e c h n i k A E R Z E N E R M A S C H I N E N F A B R I K G M B H G DE

2 Kundennutzen durch technischen Fortschritt Die Aerzener Maschinenfabrik baut seit 1868 Drehkolbengebläse (Bauart Roots). Sie zählt zu den weltweit ältesten und größten Herstellern und ist Marktführer in Europa. Speziell in der Vakuumtechnik kann Aerzen auf Erfahrungen von über 6 Jahrzehnten zurückblicken. Technische Kompetenz, erfahrene Mitarbeiter und ständiger Kundendialog sind die Basis für erfolgreiche Neuentwicklungen aus Aerzen. Im Vordergrund steht der Kundennutzen. Die Aerzener Maschinenfabrik gewährleistet durch innovative Produkte Anlagenbauern und -betreibern, ihren Markterfolg nachhaltig zu sichern. Einsatzbereiche und Verwendung Die neuen Aerzener Gebläse mit Spaltrohrantrieb sind für die Förderung von Luft und neutralen Gasen konzipiert und finden spezielle Anwendung in der industriellen Hochvakuumtechnik. Die Gebläse decken mit insgesamt 14 Baugrößen theoretische Nennsaugvolumenströme von 105 m³/h bis m³/h und Druckbereiche bis zu 10-5 mbar abs. ab. Beispiele für die vielfältigen Einsatzgebiete sind u. a.: Halbleiterindustrie Mikroelektronik Herstellung von Flachbildschirmen Lasertechnologie Solartechnik Helium-Lecksuchanlagen Chemie- und Verfahrenstechnik Folien- und Glasbeschichtung Schmelzofenbau Evakuierung von Wasserstoff Und viele weitere 2

3 Konstruktion und Aufbau Das Aerzener Vakuumgebläse zeichnet sich durch O-Ring-Dichtungen an den Gehäuseflanschen, Vakuumdichtheit und Luftkühlung der Gebläsestufe aus. Die Schmierölversorgung erfolgt durch Tauchschmierung. Als Schmierstoff kann sowohl Mineralöl als auch das in der Halbleitertechnik zumeist eingesetzte PFPE-Öl eingesetzt werden. Die Spaltrohrgebläse sind mit einer speziellen Spritzring-Rechteckring-Labyrinthabdichtung zwischen Förderraum und Lagerräumen ausgerüstet. Zusätzlich ist ein reichlich dimensionierter neutraler Raum mit Kondensatkanälen eingebaut. Optional lässt sich der neutrale Raum mit Sperrgas beaufschlagen, um eine erhöhte Sperrwirkung zu erzielen. Die Abdichtung der Antriebswelle erfolgt durch den integrierten Spaltrohrmotor, so dass die Wellendurchführung zur Atmosphäre entfällt. Der Motor kann als Hochfrequenz-Ausführung mit einer maximalen Drehzahl von U/min. (125 Hz) oder als Netzfrequenz-Ausführung mit einer maximalen Drehzahl von U/min. (50 Hz) bzw. von U/min. (60 Hz) und einem entsprechenden Frequenzumrichter eingesetzt werden. Durch die Wasserkühlung des Motors ist das Aerzener Spaltrohrgebläse auch für den Einsatz unter Reinraumbedingungen geeignet. Luftgekühlte Spaltrohrmotore sind zudem in Vorbereitung. Das Spaltrohrmaterial besteht aus einem speziellen, korrosionsresistenten Edelstahl, welches erfolgreich in einem Langzeit-Materialtest mit aggressiven Medien aus der Halbleitertechnik erprobt wurde. Je nach Prozeßart können zwei unterschiedliche Hochfrequenz-Motorvarianten eingesetzt werden: Für den Durchlaufbetrieb stehen Motoren mit einer maximalen Belastbarkeit von 50 mbar zur Verfügung, für zyklischen Betrieb Motoren mit einer Belastbarkeit bis zu 150 mbar (< 5 Minuten), wodurch kürzeste Pumpzeiten realisiert werden können. Ergänzt wird die Motorpalette durch Netzmotore für 50 bzw. 60 Hz mit einer max. Belastbarkeit je nach Baugröße bis zu 75 mbar. Vorteile für den Kunden Größte Spaltrohrgebläse-Baureihe mit 14 Baugrößen und Volumenströmen von 105 m³/h bis m³/h ATEX-Zertifizierung für Zone 0 (intern) Optimale Auswahlmöglichkeiten durch 4 unterschiedliche Motorvarianten Druckbereiche von 10-2 bis 10-5 mbar abs. Hohe mechanische Belastbarkeit (bis 150 mbar) und damit erhebliche Verringerung von Abpumpzeiten Geringe Wasser-, Stickstoff- und Ölverbräuche Geeignet für den Einsatz unter Reinraumbedingungen Großer Regelbereich mittels Frequenzumrichter von bis U/min. bzw bis U/min. Vertikale und möglich Aerzener Zuverlässigkeit Hervorragendes Preis-/Leistungsverhältnis 3

4 Beispielhafte Saugkurven mit Aerzener Spaltrohrgebläsen Volumenstrom [m 3 /h] Netzbetrieb Durchlaufbetrieb Zyklusbetrieb GM 1000 CM-C (120 Hz) GM 1000 CM-Y (100 Hz) GM 1000 CM-N (60 Hz) GM 1000 CM-N (50 Hz) Vorpumpe * 10 0,001 0,002 0,004 0,006 0,008 0,01 0,02 0,04 0,06 0,08 0,1 0,2 0,4 0,6 0, Druck [mbar] * Schraubenvakuumpumpe für die Halbleiterindustrie eines anderen Herstellers Erklärung der Bezeichnungen G: Gebläse M: L: Zahl: Volumenstrom bei 50 Hz CM: Spaltrohrmotor Leistungsdaten -N: -C: -Y: Netzfrequenz Hochfrequenz, Durchlaufbetrieb z.b. process application Hochfrequenz, Zyklusbetrieb z.b. load lock application Mode S 1: Durchlaufbetrieb Mode S 6: Zyklusbetrieb Aerzener Gebläsetyp GM/GL 170 CM-N 170 CM-N 170 CM-C* 170 CM-Y 250 CM-N 250 CM-N 250 CM-C* 250 CM-Y Netzanschluß/Spannung V Frequenz (Mineralöl/PFPE-Öl) Hz Saugvermögen max. (Mineralöl) m³/h Drehzahl max. (Mineralöl) 1/min Saugvermögen max. (PFPE-Öl) m³/h Drehzahl max. (PFPE-Öl) 1/min Motor-Nennleistung S 1 / S 6 kw 1 1,2 3 / 8,3 1 1,2 3 / 8,3 mech. Belastbarkeit S 1 / S 6 mbar / / 150 l 0,9 0,9 0,9 0,9 0,9 0,9 l 0,7 0,7 0,7 0,7 0,7 0,7 Kühlwassermengen l/min 2,5 2,5 2,5 2,5 2,5 2,5 Sperrgasverbrauch Ncm³/min 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 4

5 Aerzener Gebläsetyp GM/GL 340 CM-N 340 CM-N 340 CM-C* 340 CM-Y 500 CM-N 500 CM-N 500 CM-C* 500 CM-Y Netzanschluß/Spannung V Frequenz (Mineralöl/PFPE-Öl) Hz Saugvermögen max. (Mineralöl) m³/h Drehzahl max. (Mineralöl) 1/min Saugvermögen max. (PFPE-Öl) m³/h Drehzahl max. (PFPE-Öl) 1/min Motor-Nennleistung S 1 / S 6 kw 1 1,2 3 / 8,3 1 1,2 3 / 8,3 mech. Belastbarkeit S 1 / S 6 mbar / / 150 l 0,9 0,9 0,9 1,1 1,1 1,1 l 0,7 0,7 0,7 0,8 0,8 0,8 Kühlwassermengen l/min 2,5 2,5 2,5 3,0 3,0 3,0 Sperrgasverbrauch Ncm³/min 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 Aerzener Gebläsetyp GM/GL 700 CM-N 700 CM-N 700 CM-C* 700 CM-Y 1000 CM-N 1000 CM-N 1000 CM-C 1000 CM-Y Netzanschluß/Spannung V Frequenz (Mineralöl/PFPE-Öl) Hz Saugvermögen max. (Mineralöl) m³/h Drehzahl max. (Mineralöl) 1/min Saugvermögen max. (PFPE-Öl) m³/h Drehzahl max. (PFPE-Öl) 1/min Motor-Nennleistung S 1 / S 6 kw 1 1,2 3 / 8,3 2,5 3 5,5 5 / 15 mech. Belastbarkeit S 1 / S 6 mbar / / 150 l 1,1 1,1 1,1 1,8 1,8 1,5 1,8 l 0,8 0,8 0,8 1,4 1,4 1,1 1,4 Kühlwassermengen l/min 3,0 3,0 3,0 3,0 3,0 3,0 3,0 Sperrgasverbrauch Ncm³/min 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 Aerzener Gebläsetyp GM/GL 1400 CM-N 1400 CM-N 1400 CM-C 1400 CM-Y 2000 CM-N 2000 CM-N 2000 CM-C/ 2000 CM-CS 2000 CM-Y Netzanschluß/Spannung V Frequenz (Mineralöl/PFPE-Öl) Hz Saugvermögen max. (Mineralöl) m³/h Drehzahl max. (Mineralöl) 1/min Saugvermögen max. (PFPE-Öl) m³/h Drehzahl max. (PFPE-Öl) 1/min Motor-Nennleistung S 1 / S 6 kw 2,5 3 5,5 5 / ,9 9 / 5,6 8 / 20 mech. Belastbarkeit S 1 / S 6 mbar / / / 150 l 1,8 1,8 1,5 1,8 2,9 2,9 2,9 2,9 l 1,4 1,4 1,1 1,4 2,5 2,5 2,5 2,5 Kühlwassermengen l/min 3,0 3,0 3,0 3,0 4,0 4,0 3,0 4,0 Sperrgasverbrauch Ncm³/min 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 5

6 Aerzener Gebläsetyp GM/GL 2800 CM-N 2800 CM-N 2800 CM-C/ 2800 CM-CS 2800 CM-Y 4000 CM-N 4000 CM-N 4000 CM-C 4000 CM-Y Netzanschluß/Spannung V Frequenz (Mineralöl/PFPE-Öl) Hz / 80 - Saugvermögen max. (Mineralöl) m³/h Drehzahl max. (Mineralöl) 1/min Saugvermögen max. (PFPE-Öl) m³/h Drehzahl max. (PFPE-Öl) 1/min Motor-Nennleistung S 1 / S 6 kw 5 5,9 9 / 5,6 8 / ,9 10,9 - mech. Belastbarkeit S 1 / S 6 mbar / / l 2,9 2,9 2,9 2,9 7,5 7,5 7,5 - l 2,5 2,5 2,5 2,5 4,0 4,0 4,0 - Kühlwassermengen l/min 4,0 4,0 3,0 4,0 4,0 4,0 4,0 - Sperrgasverbrauch Ncm³/min 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 - Aerzener Gebläsetyp GM/GL 5500 CM-N 5500 CM-N 5500 CM-C 5500 CM-Y 7500 CM-N 7500 CM-N 7500 CM-C 7500 CM-Y Netzanschluß/Spannung V Frequenz (Mineralöl/PFPE-Öl) Hz Saugvermögen max. (Mineralöl) m³/h Drehzahl max. (Mineralöl) 1/min Saugvermögen max. (PFPE-Öl) m³/h Drehzahl max. (PFPE-Öl) 1/min Motor-Nennleistung S 1 / S 6 kw 12, / 29 12, / 29 mech. Belastbarkeit S 1 / S 6 mbar / / 80 l 12,7 12,7 12,7 12,7 12,7 12,7 12,7 12,7 l 6,1 6,1 6,1 6,1 6,1 6,1 6,1 6,1 Kühlwassermengen l/min 4,0 4,0 4,0 4,0 4,0 4,0 4,0 4,0 Sperrgasverbrauch Ncm³/min 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 0,5-1,0 Aerzener Gebläsetyp GM/GL 8000 CM-N 8000 CM-N 8000 CM-C 8000 CM-Y 9500 CM-N 9500 CM-N 9500 CM-C 9500 CM-Y Netzanschluß/Spannung V Frequenz (Mineralöl/PFPE-Öl) Hz Saugvermögen max. (Mineralöl) m³/h Drehzahl max. (Mineralöl) 1/min Saugvermögen max. (PFPE-Öl) m³/h Drehzahl max. (PFPE-Öl) 1/min Motor-Nennleistung S 1 / S 6 kw 15,4 18, ,8 / 35 15,4 18, ,8 / 35 mech. Belastbarkeit S 1 / S 6 mbar / / 70 6 l l 8,7 8,7 8,7 8,7 8,7 8,7 8,7 8,7 Kühlwassermengen l/min 7,0 7,0 7,0 7,0 7,0 7,0 7,0 7,0 Sperrgasverbrauch Ncm³/min 1,0-1,5 1,0-1,5 1,0-1,5 1,0-1,5 1,0-1,5 1,0-1,5 1,0-1,5 1,0-1,5

7 Abmessungen und Gewichte Förderrichtung bei Sonderdrehrichtung Kühlwasseranschluß Standarddrehrichtung Messanschluß Drehrichtung für Sonderausführung Bauform GMa / GMb Bauform Typ a b e f g h i i1 k k1 m v1 DN Gewicht ca. kg GM / GL 170 CM-N , GM / GL 170 CM-C* * in Vorbereitung GM / GL 170 CM-Y , GM / GL 250 CM-N , GM / GL 250 CM-C* * in Vorbereitung GM / GL 250 CM-Y , GM / GL 340 CM-N , GM / GL 340 CM-C* * in Vorbereitung GM / GL 340 CM-Y , GM / GL 500 CM-N , GM / GL 500 CM-C* * in Vorbereitung GM / GL 500 CM-Y , GM / GL 700 CM-N , GM / GL 700 CM-C* * in Vorbereitung GM / GL 700 CM-Y , GM / GL 1000 CM-N GM / GL 1000 CM-C GM / GL 1000 CM-Y GM / GL 1400 CM-N GM / GL 1400 CM-C GM / GL 1400 CM-Y

8 Förderrichtung bei Sonderdrehrichtung Messanschluß Drehrichtung für Sonderausführung Standarddrehrichtung Bauform GLa / GLb Bauform Typ a b e f g h GM / GL 2000 CM-N GM / GL 2000 CM-C GM / GL 2000 CM-CS GM / GL 2000 CM-Y GM / GL 2800 CM-N GM / GL 2800 CM-C GM / GL 2800 CM-CS GM / GL 2800 CM-Y GM / GL 4000 CM-N GM / GL 4000 CM-C GM / GL 4000 CM-Y GM / GL 5500 CM-N GM / GL 5500 CM-C GM / GL 5500 CM-Y GM / GL 7500 CM-N GM / GL 7500 CM-C GM / GL 7500 CM-Y GM / GL 8000 CM-N GM / GL 8000 CM-C GM / GL 8000 CM-Y GM / GL 9500 CM-N GM / GL 9500 CM-C GM / GL 9500 CM-Y i Aerzener Maschinenfabrik GmbH Reherweg Aerzen / Deutschland Postfach Aerzen / Deutschland Telefon / Telefax / info@aerzener.de i1 k k1 m v1 DN Gewicht ca. kg Stutzenflansche DN gebohrt nach EN