Piezokreuztisch. Flaches XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur

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1 Piezokreuztisch Flaches XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur P P Niedrige Bauhöhe für einfache Integration: 16,5 mm Apertur 80 mm 80 mm Stellweg bis 200 µm 200 µm Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik Hochdynamische direkt getriebene Version Sensorik: Preisgünstige DMS-Sensoren oder kapazitive Sensoren für höhere Performance Überlegene Lebensdauer dank Piezoaktoren Kombination mit Mikroskoptischen für größere Stellwege möglich Einsatzgebiete Scanning-Mikroskopie Hochdurchsatz-Mikroskopie Superresolution-Mikroskopie Masken- / Waferpositionierung Interferometrie Messtechnik Biotechnologie Mikromanipulation Überragende Lebensdauer dank Piezoaktoren Die patentierten Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen. Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im khz-bereich. Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

2 Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung. Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung. Spezifikationen P-541.2CD / P-542.2CD / P L / P-541.2DD P-541.2SL P-542.2SL P-541.2CL P-542.2CL P L Aktive Achsen X, Y X, Y X, Y X, Y X, Y X, Y Bewegung und Positionieren Einheit Toleranz Integrierter Sensor Kapazitiv Kapazitiv Kapazitiv DMS DMS Stellweg bei -20 bis +120 V, ungeregelt 150 µm 150 µm 250 µm 250 µm 60 µm 60 µm 150 µm 150 µm 250 µm 250 µm siehe P CD / P-542.2CD +20 % / -0 % Stellweg, geregelt 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 45 µm 45 µm 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm Auflösung, ungeregelt / geregelt 0,2 / 0,3 0,4 / 0,7 0,1 / 0,3 0,2 / 2,5 0,4 / 4 ungeregelt 0,2 / 0,4 nm typ. Linearitätsabweichung 0,03 0,03 0,03* 0,2 0,2 % typ. Wiederholgenauigkeit <5 <5 <5 <10 <10 nm typ. Neigen <5 <5 <3 <5 <5 <5 µrad typ. Gieren <10 <10 <3 <10 <10 <10 µrad typ. Mechanische Eigenschaften Steifigkeit in Bewegungsrichtung 0,47 0,4 10 0,47 0,4 0,47 / 0,4 N/µm ±20 % Resonanzfrequenz, unbelastet / 230 Hz ±20 % 100 g / 190 Hz ±20 % 200 g / Hz ±20 % 300 g / 145 Hz ±20 % Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung 100 / / / / / / 30 N max. Belastbarkeit N max. Antriebseigenschaften Piezokeramik

3 Elektrische Kapazität je Achse 4,2 7,5 9 4,2 7,5 4,2 / 7,5 µf ±20 % Anschlüsse und Umgebung Betriebstemperaturbereich -20 bis bis bis bis bis bis 80 C Material Aluminium Aluminium Aluminium Aluminium Aluminium Aluminium Masse 0,75 0,75 0,75 0,73 0,73 0,7 kg ±5 % Kabellänge 1,5 1,5 1,5 1,5 1,5 1,5 m ±10 mm Sensor- / Spannungsanschluss Empfohlene Elektroniken CD- CL- CD- CL- (ohne Sensor) * Mit Digitalcontroller. Die mit Analogcontrollern gemessene Linearitätsabweichung von direkt getriebenen Verstellern beträgt typischerweise bis zu 0,1 %. Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten. Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 C ±3 C).

4 Zeichnungen / Bilder P P-542.2, Abmessungen in mm

5 Der P-541.2DD hat eine Einschwingzeit von nur 3 ms bei einem 50-µm-Schritt. Bestellinformationen P-541.2DD XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, hochdynamischer Direktantrieb, 45 µm 45 µm, Parallelkinematik, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker P-541.2CD XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 100 µm 100 µm, Parallelkinematik, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker P-541.2CL XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 100 µm 100 µm, Parallelkinematik, kapazitive Sensoren, -Stecker P-542.2CD XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 200 µm 200 µm, Parallelkinematik, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker P-542.2CL XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 200 µm 200 µm, Parallelkinematik, kapazitive Sensoren, -Stecker P-541.2SL XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 100 µm 100 µm, DMS-Sensoren, -Stecker P-542.2SL XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 200 µm 200 µm, DMS-Sensoren, -Stecker P L XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 100 µm 100 µm, ohne Sensoren, -Stecker P L XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 200 µm 200 µm, ohne Sensoren, -Stecker Zubehör P-542.PD1 Halter für Petrischalen für P-54x Nanopositioniersysteme, 35 mm P-542.SH1 Objektträgerhalter für P-54x Nanopositioniersysteme