Hochdynamischer PIMag Lineartisch

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1 Hochdynamischer PIMag Lineartisch Voice-Coil-Direktantrieb mit direkter Positionsmessung V 522 V 524 V 528 Schnelles Scannen und Positionieren Stellwege 5 mm, 10 mm, 20 mm Scanfrequenz von über 10 Hz Höchstgeschwindigkeit 250 mm/s Kreuzrollenlager für höchste Präzision Linearversteller der Referenzklasse Linearversteller mit magnetischen Direktantrieben verzichten weitgehend auf mechanische Komponenten im Antriebsstrang, die Antriebskraft wirkt direkt auf die bewegte Plattform. Zusammen mit den Präzisionslagern werden eine hohe Ablaufgenauigkeit und lange Lebensdauer erreicht. Die Linearversteller eignen sich damit besonders gut für Scanning- Anwendungen. PIMag Voice-Coil Voice-Coil-Antriebe bestehen aus 2 wesentlichen Komponenten: einem Dauermagneten und einer Spule, die sich im Luftspalt des Magnetfeldes befindet. Fließt ein Strom durch die Spule, so bewegt sich die Spule im Magnetfeld des Dauermagneten. Die Bewegungsrichtung ist abhängig von der Polarität. Voice-Coil-Antriebe eignen sich durch ihr geringes Gewicht und das reibungsfreie Antriebsprinzip sehr gut für Anwendungen, die hohe Dynamik und hohe Geschwindigkeiten bei begrenzten Stellwegen erfordern. Hohe Scanfrequenzen und präzise Positionierung sind mit diesen Antrieben ebenfalls möglich, da sie frei von Hystereseeffekten sind. Kreuzrollenführung Bei Kreuzrollenführungen wird der Punktkontakt der Kugeln in Kugelführungen durch den Linienkontakt gehärteter Rollen ersetzt. Sie sind dadurch wesentlich steifer und kommen mit geringerer Vorspannung aus, was die Reibung reduziert und einen gleichmäßigeren Lauf ermöglicht. Kreuzrollenführungen zeichnen sich darüber hinaus durch hohe Führungsgenauigkeit und Tragfähigkeit aus. Zwangsgesteuerte Wälzkörperkäfige verhindern Käfigwandern. Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder Kontaktlose optische Linearencoder messen die Ist-Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Bewegungsplattform, so dass Nichtlinearität, mechanisches Spiel oder elastische Deformation keinen Einfluss auf die Positionsmessung haben. Einsatzgebiete Industrie und Forschung. Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder Flachbildschirm-Herstellung

2 Spezifikationen Bewegung und Positionieren Aktive Achsen V-522.1AA V-522.1AB X V-524.1AA V-524.1AB V-528.1AA V-528.1AB Stellweg mm Integrierter Sensor Optisch, inkrementell Optisch, inkrementell Optisch, inkrementell Sensorauflösung nm Einheit Kleinste Schrittweite nm typ. Unidirektionale Bidirektionale Referenzschalter nm ±120 ±120 ±120 nm typ. <1 <1 <1 µm Neigen ±50 ±50 ±50 µrad max. Gieren ±50 ±50 ±50 µrad max. Geradheit 0,5 0,5 0,5 µm max. Ebenheit 0,5 0,5 0,5 µm max. Geschwindigkeit mm/s max. Mechanische Eigenschaften Belastbarkeit in Z N max. Bewegte Masse g Gesamtmasse g Antriebseigenschaften Antriebstyp Voice-Coil Voice-Coil Voice-Coil Toleranz Nennkraft 4 3,8 2,9 N nominal Nennstrom 1,3 1,3 1,3 A nominal Spitzenstrom A max. (3s) Kraftkonstante 3,4 2,9 2,3 N/A typ. Motorkonstante 1,3 1,1 0,85 N/( W) typ. Spulenwiderstand 7,2 7,2 7,2 Ω typ. Spuleninduktivität 1,7 1,7 1,7 mh typ. Zeitkonstante 0,32 0,32 0,32 ms Anschlüsse und Umgebung Gehäusematerial AL AL AL Kabellänge m ±10 mm Kabelabgang Spannungs- / Sensorverbindung D-Sub 15-pin (m) D-Sub 15-pin (m) D-Sub 15-pin (m) Lebensdauer km Betriebstemperaturbere ich Relative Luftfeuchtigkeit während des Betriebs 18 bis bis bis 45 C 20 bis bis bis 80 % Sonderausführungen auf Anfrage.

3 Zeichnungen und Bilder V-52x, Abmessungen in mm

4 20 nm-schritte führt der V-522 zuverlässig und wiederholbar aus. Mehrachsenaufbau aus zwei V-528 PIMag Voice Coil Lineartischen.

5 V-522, V-524 und V-528 PIMag Voice Coil Lineartische Bestellinformationen V-522.1AA Encoder, 5 mm Stellweg, Kabelabgang in Bewegungsrichtung V-522.1AB Encoder, 5 mm Stellweg, Kabelabgang orthogonal zur Bewegungsrichtung V-524.1AA Encoder, 10 mm Stellweg, Kabelabgang in Bewegungsrichtung V-524.1AB Encoder, 10 mm Stellweg, Kabelabgang orthogonal zur Bewegungsrichtung V-528.1AA Encoder, 20 mm Stellweg, Kabelabgang in Bewegungsrichtung V-528.1AB Encoder, 20 mm Stellweg, Kabelabgang orthogonal zur Bewegungsrichtung Sonderausführungen auf Anfrage.