Präzisions-Lineartisch
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- Cornelia Hafner
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1 Präzisions-Lineartisch Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg L-509 Stellwege von 26 bis 102 mm (1'' bis 4") Wiederholgenauigkeit bis 0,1 µm Optional mit Linearencoder zur direkten Positionsmessung ActiveDrive DC-,DC-, BLDC- und DC- Getriebemotoren Schrittmotoren Richtungserkennender Referenzschalter Produktübersicht Hohe Ablaufgenauigkeit und Belastbarkeit durch Kreuzrollenführungen mit Käfig-Zwangsführung. Präzisions- Kugelumlaufspindel mit 1 mm Steigung. Kompaktes Design. Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität. Kontaktlose optische Endschalter. Kontaktloser optischer Referenzschalter mit Richtungserkennung in der Mitte des Stellwegs. Antriebsarten.xxAD-Variante: ActiveDrive DC-Motor für hohe Geschwindigkeit: Ansteuerung über pulsweitenmodulierte (PWM-) Signale, die Betriebsspannung wird durch einen im Motorgehäuse integrierten Verstärker erreicht.xxdg-variante: DC-Servomotor mit Getriebe für hohe Drehmomente und Auflösung bei geringer Motorleistung.xxSD-Variante: 2-Phasen Schrittmotor für kleine Geschwindigkeiten und hohe Auflösung.xx3xxx-Variante: DC-Motor.xx5xxx-Variante: Bürstenloser DC-Motor Positionsmessung Integrierter Rotationsencoder auf der Motorwelle (xxad10, xxdg10, xxxx32). Inkrementeller Linearencoder (xxad00, xasd00, xxxx11). Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht. Kleinste Schrittweite und Langsamfahrt Versionen mit Schrittmotor und integriertem Linearencoder (L-509.xASD00) erreichen im Verbund mit dem SMC Hydra Controller wiederholbar kleinste Schrittweiten im Bereich der Sensorauflösung. Dieselbe Konfiguration erzielt konstante kleinste Geschwindigkeiten von wenigen Sensorinkrementen pro Sekunde.
2 Einsatzgebiete Autofokus, Laserschneiden, Forschung, Biotechnologie, Automatisierung, Vakuum, Optische Justage Spezifikationen Bewegen L-509.xxDG10 L-509.xx3111 / L- 509.xx3132 L-509.xx5132 Einheit Toleranz Aktive Achsen X X X Stellweg Neigen / Gieren Geradheit / Ebenheit L DG10: 26 L DG10: 52 L DG10: 102 L DG10: ±60 L DG10: ±90 L DG10: ±120 L DG10: 2 L DG10: 4 L DG10: 8 L xxx: 26 L xxx: 52 L xxx: 102 L xxx: ±60 L xxx: ±90 L xxx: ±120 L xxx: 2 L xxx: 4 L xxx: 8 L : 26 L : 52 L : 102 L : ±60 L : ±90 L : ±120 L : 2 L : 4 L : 8 mm µrad typ. µm typ. Geschwindigkeit mm/s max. Positionieren L-509.xxDG10 L-509.xx3111 L-509.xxx132 Einheit Toleranz Integrierter Sensor Sensorsignal Inkrementeller Rotationsencoder A/B-Quadratur, TTL Inkrementeller Linearencoder Sin/cos, 1 V Spitze-Spitze, 20 µm Signalperiode Inkrementeller Rotationsencoder A/B-Quadratur, TTL Rechnerische Auflösung 0,008 0,005 0,05 µm Sensorauflösung Rotationsencoder Sensorauflösung Linearencoder µm Impulse/ U Kleinste Schrittweite 0,1 0,1 0,5 µm typ. Unidirektionale Wiederholgenauigkeit Bidirektionale Wiederholgenauigkeit 0,1 0,1 0,2 µm typ. ±2 ±0,2 ±0,5 µm typ. Referenz- und Endschalter optisch optisch optisch
3 Mechanische Eigenschaften L-509.xxDG10 L-509.xx3xxx L-509.xx5xxx Spindeltyp Kugelumlaufspindel Kugelumlaufspindel Einheit Toleranz Spindelsteigung 1 1 mm Getriebeübersetzung 2401:81 Führungstyp Haltekraft, unbestromt 50 Kreuzrollenführung mit Käfig- Zwangsführung Kreuzrollenführung mit Käfig- Zwangsführung L-509.xx3xxx: 30 L-509.xx5xxx: 15 Druck- /Zugkraft Fx, bestromt N max. Zulässige Querkraft N max. Belastbarkeit N max. Zulässiges Drehmoment Mx in θx N m max. Zulässiges Drehmoment My in θy N m max. Zulässiges Drehmoment Mz in θz N m max. N typ. Antriebseigenschaften L-509.xxDG10 L-509.xx3xxx L-509.xx5xxx Einheit Toleranz Motortyp DC-Motor (mit Getriebe) DC-Motor Bürstenloser DC-Motor, 3- phasig Betriebsspannung, nom V nom. Betriebsspannung, max V max. Anschlüsse und Umgebung L-509.xxDG10 L-509.xx3xxx L-509.xx5132 Einheit Toleranz Betriebstemperaturbereich 5 bis 40 5 bis 40 5 bis 40 C Material Aluminium, Stahl Aluminium, Stahl Aluminium, Stahl Masse Bewegte Masse, unbelastet 0,22 Anschluss Empfohlene Controller / Treiber L DG10: 1,4 L DG10: 1,6 L DG10: 1,9 1 HD D-Sub 26 (m) (Motor/Sensor) C-863 (einachsig) C-884 (bis 6 Achsen) C-885 mit C C885 (bis 40 Achsen) Modularer ACS-Controller L xxx: 1,2 L xxx: 1,3 L xxx: 1,5 L : 0,24 L : 0,24 L : 0,25 1 HD D-Sub 26 (m) (Motor) L-509.xx3111 zusätzlich: 1 D-Sub 9 (m) (Sensor) C-863 (einachsig) C-884 (bis 6 Achsen) C-885 mit C C885 (bis 40 Achsen) Modularer ACS-Controller L : 1,4 L : 1,5 L : 1,7 kg ±5 % 0,22 kg ±5 % 1 HD D-Sub 26 (m) (Motor/Sensor) C-891 (einachsig) C-885 mit C C885 (bis 20 Achsen) Modularer ACS-Controller
4 Bewegen L-509.xxADxx L-509.xxSD00 / L-509.xASD00 Einheit Toleranz Aktive Achsen X X Stellweg Neigen / Gieren Geradheit / Ebenheit L-509.1xADxx: 26 L-509.2xADxx: 52 L-509.4xADxx: 102 L-509.1xADxx: ±60 L-509.2xADxx: ±90 L-509.4xADxx: ±120 L-509.1xADxx: 2 L-509.2xADxx: 4 L-509.4xADxx: 8 L-509.1xSDxx: 26 L-509.2xSDxx: 52 L-509.4xSDxx: 102 L-509.1xSDxx: ±60 L-509.2xSDxx: ±90 L-509.4xSDxx: ±120 L-509.1xSDxx: 2 L-509.2xSDxx: 4 L-509.4xSDxx: 8 mm µrad typ. µm typ. Geschwindigkeit mm/s max. Positionieren L-509.xxADxx L-509.xxSD00 L-509.xASD00 Einheit Toleranz Integrierter Sensor L-509.xxAD10: Inkrementeller Rotationsencoder L-509.xxAD00: Inkrementeller Linearencoder Sensorsignal A/B-Quadratur, TTL Rechnerische Auflösung Sensorauflösung Rotationsencoder L-509.xxAD10: 0,061 L-509.xxAD00: 0,05 Inkrementeller Linearencoder Sin/cos, 1 V Spitze-Spitze, 20 µm Signalperiode 5,0 0,005 µm L-509.xxAD10: Sensorauflösung Linearencoder L-509.xxAD00: 0,05 0,005 µm Auflösung Schrittmotor Kleinste Schrittweite Unidirektionale Wiederholgenauigkeit Bidirektionale Wiederholgenauigkeit L-509.xxAD10: 0,8 L-509.xxAD00: 0,2 L-509.xxAD10: 0,2 L-509.xxAD00: 0,1 L-509.xxAD10: ±0,5 L AD00: ±0,3 L AD00: ±0,2 L AD00: ±0,2 Referenz- und Endschalter optisch optisch optisch Impulse/ U Vollschrit te/u 0,1 0,02 µm typ. 0,3 0,1 µm typ. ±1 ±0,2 µm typ. Mechanische Eigenschaften L-509.xxADxx / L-509.xxSD00 / L-509.xASD00 Einheit Toleranz Spindeltyp Kugelumlaufspindel Spindelsteigung 1 mm Führungstyp Haltekraft, unbestromt Kreuzrollenführung mit Käfig-Zwangsführung L-509.xxADxx: 30 L-509.xxSD00 / L-509.xASD00: 50 Druck- /Zugkraft Fx, bestromt 60 N max. Zulässige Querkraft 50 N max. Belastbarkeit 100 N max. Zulässiges Drehmoment Mx in θx 30 N m max. Zulässiges Drehmoment My in θy 25 N m max. Zulässiges Drehmoment Mz in θz 20 N m max. N typ.
5 Antriebseigenschaften L-509.xxADxx L-509.xxSD00 / L-509.xASD00 Einheit Toleranz Motortyp ActiveDrive DC-Motor (PWM) Schrittmotor, 2-phasig Betriebsspannung, nom V nom. Betriebsspannung, max V max. Anschlüsse und Umgebung L-509.xxADxx L-509.xxSD00 L-509.xASD00 Einheit Toleranz Betriebstemperaturbereich 5 bis 40 5 bis 40 5 bis 40 C Material Aluminium, Stahl Aluminium, Stahl Aluminium, Stahl Masse Bewegte Masse, unbelastet Anschluss Empfohlene Controller / Treiber L AD10: 1,4 L AD10: 1,5 L AD10: 1,7 L AD00: 1,4 L AD00: 1,6 L AD00: 1,8 L-509.x0AD10: 0,22 L AD00: 0,24 L AD00: 0,24 L AD00: 0,25 1 D-Sub 15 (m) (Motor/Sensor) C-863 (einachsig) C-884 (bis 6 Achsen) C-885 mit C C885 (bis 40 Achsen) Modularer ACS-Controller L SD00: 1,4 L SD00: 1,5 L SD00: 1,7 0,22 1 HD D-Sub 26 (m) (Motor) C (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller L-509.1ASD00: 1,5 L-509.2ASD00: 1,6 L-509.4ASD00: 1,8 L-509.1ASD00: 0,24 L-509.2ASD00: 0,24 L-509.4ASD00: 0,25 1 HD D-Sub 26 (m) (Motor) 1 D-Sub 9 (m) (Sensor) C (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller kg ±5 % kg ±5 % Alle erforderlichen Kabel zum Betrieb mit dem empfohlenen Controller sind im Lieferumfang enthalten. Die Kabellänge beträgt 3 m. Kabel zur Verbindung mit anderen Controllern können als Zubehör bestellt werden. Sonderausführungen auf Anfrage.
6 Zeichnungen / Bilder L-509-Versionen mit Schrittmotor, Abmessungen in mm
7 L-509-Versionen mit ActiveDrive DC-Motor, Abmessungen in mm
8 Detailzeichnung der Bewegungsplattform des L-509
9 L-511 und L-509 Präzisionstische können ohne Adapterplatten für Positionierung in mehreren Achsen kombiniert werden
10 Mehrachsenaufbau aus L-511 (horizontal) und L-509 (vertikal) Präzisionstischen
11 Richtung der Achsen und Momente für Lineartische Bestellinformationen L Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 26 mm Stellweg, DC-Motor, Linearencoder mit sin/cos-signalübertragung, inklusive 3 m Kabelsatz L Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 26 mm Stellweg, DC-Motor, inklusive 3 m Kabelsatz L Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 26 mm Stellweg, bürstenloser DC-Motor, inklusive 3 m Kabelsatz L Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 52 mm Stellweg, DC-Motor, Linearencoder mit sin/cos-signalübertragung, inklusive 3 m Kabelsatz L Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 52 mm Stellweg, DC-Motor, inklusive 3 m Kabelsatz L Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 52 mm Stellweg, bürstenloser DC-Motor, inklusive 3 m Kabelsatz L Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 102 mm Stellweg, DC-Motor, Linearencoder mit sin/cos-signalübertragung, inklusive 3 m Kabelsatz
12 L Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 102 mm Stellweg, DC-Motor, inklusive 3 m Kabelsatz L Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 102 mm Stellweg, bürstenloser DC-Motor, inklusive 3 m Kabelsatz L AD10 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 26 mm Stellweg, ActiveDrive DC-Motor, inklusive 3 m Kabelsatz L DG10 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 26 mm Stellweg, DC-Getriebemotor, inklusive 3 m Kabelsatz L SD00 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 26 mm Stellweg, Schrittmotor, inklusive 3 m Kabelsatz L AD00 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 26 mm Stellweg, ActiveDrive DC-Motor, Linearencoder mit A/B-Quadratur- Signalübertragung, inklusive 3 m Kabelsatz L-509.1ASD00 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 26 mm Stellweg, Schrittmotor, Linearencoder mit sin/cos-signalübertragung, inklusive 3 m Kabelsatz L AD10 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 52 mm Stellweg, ActiveDrive DC-Motor, Rotationsencoder, inklusive 3 m Kabelsatz L DG10 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 52 mm Stellweg, DC-Getriebemotor, inklusive 3 m Kabelsatz L SD00 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 52 mm Stellweg, Schrittmotor, inklusive 3 m Kabelsatz L AD00 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 52 mm Stellweg, ActiveDrive DC-Motor, Linearencoder mit A/B-Quadratur- Signalübertragung, inklusive 3 m Kabelsatz L-509.2ASD00 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 52 mm Stellweg, Schrittmotor, Linearencoder mit sin/cos-signalübertragung, inklusive 3 m Kabelsatz L AD10 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 102 mm Stellweg, ActiveDrive DC-Motor, inklusive 3 m Kabelsatz L DG10 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 102 mm Stellweg, DC-Getriebemotor, inklusive 3 m Kabelsatz L SD00 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 102 mm Stellweg, Schrittmotor, inklusive 3 m Kabelsatz L AD00 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 102 mm Stellweg, ActiveDrive DC-Motor, Linearencoder mit A/B-Quadratur- Signalübertragung, inklusive 3 m Kabelsatz L-509.4ASD00 Präzisions-Lineartisch, 85 mm Breite, 102 mm Stellweg, Schrittmotor, Linearencoder mit sin/cos-signalübertragung, inklusive 3 m Kabelsatz
Hochpräziser Lineartisch
Hochpräziser Lineartisch Hohe Ablaufgenauigkeit L-511 Stellwege bis 155 mm (6") Wiederholgenauigkeit bis 0,1 µm DC-, BLDC- und DC-Getriebemotoren Schrittmotoren Optional: Linearencoder für direkte Positionsauswertung
Präzisionshubtisch. Kompakte Multi-Achs-Kombinationen mit Linear- und Drehtischen
Präzisionshubtisch Kompakte Multi-Achs-Kombinationen mit Linear- und Drehtischen L-310 Stellweg 26 mm (1") Hochauflösender Encoder DC-, BLDC- und Schrittmotoren Spielfreie Kugelumlaufspindel MTBF 10000
L-509 Präzisions-Lineartisch
L-509 Präzisions-Lineartisch Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg Stellwege von 26 bis 102 mm (1'' bis 4") Wiederholgenauigkeit bis 0,1 µm Optional mit Linearencoder zur direkten Positionsmessung Effizienter
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität, 305 305 mm Stellweg L-741 Stellweg 305 mm 305 mm (12'') Unidirektionale bis 0,05 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren oder
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Freie Apertur, hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität L-738 Stellweg 102 mm 102 mm (4") Große Apertur, 150 mm 150 mm Unidirektionale bis 0,05 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren,
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität L-731 Stellweg 205 mm 205 mm (8") Unidirektionale bis 0,05 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren oder DC- Motoren Encoder mit
Kompakter Lineartisch
Kompakter Lineartisch Mit DC- oder Schrittmotor L-505 Stellwege 13 oder 26 mm Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Geschwindigkeit bis 15 mm/s Belastbarkeit bis 30 N Integrierte Referenz-
Kompakter Lineartisch
Kompakter Lineartisch Für Lasten bis 10 kg L-406 Stellwege von 26 mm bis 102 mm (1" bis 4") Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Richtungserkennender Referenzschalter Integrierte optische
Hochpräzisions-Lineartisch für hohe Lasten
Hochpräzisions-Lineartisch für hohe Lasten Hervorragende Wiederhol- und Ablaufgenauigkeit HPS-170 Stellwege von 52 bis 205 mm (2 bis 8") Max. Geschwindigkeit bis 100 mm/s Belastbar mit 35 kg Optional:
Präzisions-Rotationstisch
Präzisions-Rotationstisch Hohe Ablaufgenauigkeit L-611 Unbegrenzter Stellbereich Sehr hohe Auflösung Höchstgeschwindigkeit 200 /s Optionales Winkelmessystem für direkte Positionsmessung DC-, BLDC- und
Lineartisch für sehr hohe Lasten
Lineartisch für sehr hohe Lasten Robustes Design mit hoher Steifigkeit LS-270 Stellwege von 305 bis 1016 mm (12 bis 40") Hervorragende Ablaufgenauigkeit Max. Geschwindigkeit bis 150 mm/s Belastbarkeit
L-406 Kompakter Linearversteller
L-406 Kompakter Linearversteller Für Lasten bis 10 kg Stellwege von 26 mm bis 102 mm (1" bis 4") Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Richtungserkennender Referenzschalter Integrierte
Hochlast-Linearaktor
Hochlast-Linearaktor Dynamischer, hochauflösender Präzisionsantrieb mit DC- oder Schrittmotor L-239 Hohe Druck-/Zugkraft bis 300 N Stellweg 52 mm (2") Kleinste Schrittweite 0,1 µm Geschwindigkeit bis 50
Präzisions-Hubtisch. Hervorragende Genauigkeit für hohe Lasten
Präzisions-Hubtisch Hervorragende Genauigkeit für hohe Lasten UPL-120 Stlweg 13 mm (1/2") Unidirektionale Wiederholgenauigkeit bis 0,05 µm Bastbar bis 20 kg Integrierte optische Endschalter Mit direkt
Motorisiertes Präzisions-Goniometer
Motorisiertes Präzisions-Goniometer Kompakt, mit Apertur WT-85 Rotationsbereich 10 Wiederholgenauigkeit bis 8,7 µrad Belastbarkeit bis 2 kg Option: Direkte Positionsmessung mit Kombination mit WT-100 mit
Motorisiertes Präzisions-Goniometer
Motorisiertes Präzisions-Goniometer Kompakt, mit großer Apertur WT-100 Rotationsbereich 10 Wiederholgenauigkeit bis 8,7 µrad Belastbarkeit bis 2 kg Option: Direkte Positionsmessung mit Kombination mit
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität L-731 Stellweg 205 mm 205 mm (8") Unidirektionale bis 0,1 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren oder DC- Motoren Encoder mit
Lineartisch. Basisversion für universelle Einsatzgebiete
Lineartisch Basisversion für universelle Einsatzgebiete VT-80 Stellwege von 25 bis 300 mm (1 bis 12") Flache Bauform Max. Geschwindigkeit bis 20 mm/s Belastbar bis 5 kg Lineartisch der Standardklasse Kugelumlaufführungen
Präzisions-Rotationstisch
Präzisions-Rotationstisch Große Apertur, hohe Ablaufgenauigkeit PRS-200 Unbegrenzter Stellbereich Wiederholgenauigkeit bis 0,5 µrad Belastbarkeit bis 50 kg Option: Direkte Positionsmessung mit Rotationstisch
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LS-180 Lineartisch für hohe Lasten Robustes Design für industriellen Einsatz Stellwege von 155 bis 508 mm (6 bis 20") Max. Geschwindigkeit bis 200 mm/s Belastbar mit 100 kg Versionen mit Linearmesssystem
Kompakter Lineartisch
Kompakter Lineartisch XY(Z)-Kombinationen mit vielen Antriebs- und Stellwegvarianten M-110 M-111 M-112 Sehr kompakt durch gefalteten Antrieb Schrittmotoren und geregelte DC- Motoren Gewinde- und Kugelumlaufspindeln
Hochlast-Lineartisch
Hochlast-Lineartisch Hohe Leistungsfähigkeit und Kosteneffizienz, Spindelantrieb L-412 Breite 116 mm, Stellweg bis 610 mm Präzisions-Kugelumlaufspindel Inkrementelle und absolute Rotationsencoder Zusätzliche
Hochlast-Lineartisch
Hochlast-Lineartisch Hohe Leistungsfähigkeit und Kosteneffizienz, Spindelantrieb L-417 Breite 166 mm Stellweg bis 813 mm Präzisions-Kugelumlaufspindel Inkrementeller oder absoluter Linearencoder, verschiedene
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PIMag Hochlast-Lineartisch Hohe Leistungsfähigkeit und Kosteneffizienz, Linearmotor V-417 Breite 166mm Stellweg bis 813 mm Nennkraft 87 N Inkrementeller oder absoluter Linearencoder Präzise Kugelumlaufführungen,
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Hochdynamischer PIMag Lineartisch Voice-Coil-Direktantrieb mit direkter Positionsmessung V 522 V 524 V 528 Schnelles Scannen und Positionieren Stellwege 5 mm, 10 mm, 20 mm Scanfrequenz von über 10 Hz Höchstgeschwindigkeit
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6-Achsen-Hexapod Für Lasten bis 250 kg H-850 Belastbarkeit bis 250 kg Wiederholgenauigkeit bis ±0,2 µm Stellwege bis ±50 mm / ±30 Aktorauflösung bis 2,5 nm Varianten mit BLDC-Motoren und Absolutencodern
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U-521 PILine Linearversteller Kompakter Versteller mit Ultraschall-Piezomotor Positioniert kleine Lasten schnell und präzise: Geschwindigkeit bis 200 mm/s, kleinste Schrittweite bis 0,3 µm Platzsparend:
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