LISA Linearaktor und Positioniertisch

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1 LISA Linearaktor und Positioniertisch Dynamisch und positionsstabil P-753 Geführter Stelltisch und Aktor zugleich Stellweg bis 38 µm Auflösung 0,1 nm Nichtmagnetische Versionen verfügbar Besonders schnelles Ansprechverhalten durch Direktantrieb Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren Einsatzgebiete Scanning-Mikroskopie Messtechnik Prüfverfahren und Qualitätssicherung Photonik Faserpositionierung Überragende Lebensdauer dank PICMA Piezoaktoren Die patentierten PICMA Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen. Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im khz-bereich. Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich. Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

2 Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten. Höhere Steifigkeit und Dynamik durch PICMA Direktantrieb Piezonanopositionierer mit PICMA Direktantrieb haben keine mechanische Übersetzung. Dies ermöglicht schnelle Ansprechgeschwindigkeiten sowie die höchste erreichbare Steifigkeit und Dynamik im Piezoantriebsbereich. Spezifikationen P-753.1CD P-753.2CD P-753.3CD Einheit Toleranz Aktive Achsen X X X Bewegung und Positionieren Integrierter Sensor Kapazitiv Kapazitiv Kapazitiv Stellweg, geregelt µm Auflösung, geregelt 0,1 0,2 0,25 nm typ. Linearitätsabweichung, geregelt 0,03 0,03 0,03 % typ. Wiederholgenauigkeit ±1 ±2 ±3 nm typ. Neigen / Gieren ±5 ±7 ±10 µrad typ. Mechanische Eigenschaften Steifigkeit in Stellrichtung N/µm ±20 % Resonanzfrequenz, unbelastet 5,6 3,7 2,9 khz ±20 % Resonanzfrequenz, belastet, 200 g 2,5 1,7 1,4 khz ±20 % Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung 100 / / / 20 N max. Tragfähigkeit (vertikaler / horizontaler Betrieb) 10 / 2 10 / 2 10 / 2 kg max. Antriebseigenschaften Keramiktyp PICMA P-885 PICMA P-885 PICMA P-885 Elektrische Kapazität 1,5 3,1 4,6 µf ±20 % Anschlüsse und Umgebung Betriebstemperaturbereich -20 bis bis bis 80 C Material Stahl Stahl Stahl Abmessungen 44 mm 30 mm 15 mm 62 mm 30 mm 15 mm 80 mm 30 mm 15 mm Masse 0,16 0,215 0,26 kg ±5 % Kabellänge 1,5 1,5 1,5 m ±10 mm Sensor- / Spannungsanschluss D-Sub 7W2 (m) D-Sub 7W2 (m) D-Sub 7W2 (m) Empfohlene Elektroniken E-625, E-754 E-625, E-754 E-625, E-754 Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten. Versionen mit LEMO-Stecker sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.x1C. Vakuumversionen bis 10-9 hpa sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.xUD. Nichtmagnetische Versionen sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.xND. Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 C ±3 C). Sonderausführungen auf Anfrage.

3 Zeichnungen / Bilder P-753.1, Abmessungen in mm. Max. Drehmoment an den M2,5-Gewinden: 0,3 Nm.

4 P-753.2, Abmessungen in mm. Max. Drehmoment an den M2,5-Gewinden: 0,3 Nm.

5 P-753.3, Abmessungen in mm. Max. Drehmoment an den M2,5-Gewinden: 0,3 Nm.

6 Bestellinformationen Versionen mit D-Sub-Stecker P-753.1CD LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker P-753.2CD LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 30 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker P-753.3CD LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker Versionen mit LEMO-Stecker P C LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker P C LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 30 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker P C LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker Linearpositionierer, vakuumkompatibel bis 10-9 hpa P-753.1UD LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hpa P-753.2UD LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 30 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hpa P-753.3UD LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hpa