PiezoMike Miniatur-Linearaktor
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- Karsten Hofer
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1 PiezoMike Miniatur-Linearaktor Mit kinematischem Spiegelhalter N-480 Hohe Stabilität Für Optiken mit 0,5", 1" oder 2" Durchmesser Schrittweite 1 µrad Lebensdauer > Schritte Vakuumkompatible Versionen bis 10-6 erhältlich Kinematische Spiegelhalter mit Piezomotoren Linearer Schraubenaktor mit Piezoträgheitsantrieb für hochauflösende und stabile Positionierung. Piezomotoren Kompaktes, preisgünstiges Trägheitsantriebsprinzip (Stick-Slip). Im Stillstand ist der Antrieb selbsthemmend, muss nicht bestromt werden und erwärmt sich nicht. Er hält die Position mit maximaler Kraft. Justage optischer Komponente Stabile Justage in optischen Strahlengängen. Langzeitpositionierung: Hohe Stabilität an der Zielposition, zuverlässiges Anlaufen auch nach langen Stillstandzeiten. Hohe Haltekraft und Auflösung durch die Kombination von Piezoaktoren und mechanischer Gewindeübersetzung. Vakuumtaugliche Versionen bis 10-6 erhältlich.
2 Spezifikationen Mechanische Eigenschaften Mechanisches Interface N C0; N CV / N CU 0,5" Optiken, geschlossener Rahmen N C0; N CV / N CU 1" Optiken, geschlossener Rahmen N L0; N LV / N LU 1" Optiken, links offen N R0; N RV / N RU 1" Optiken, rechts offen Haltekraft, unbestromt >100 >100 >100 >100 N Vorschubkraft (aktiv) N Einheit Bewegen und Positionieren N-480.x05x, N-480.x10x Einheit Aktive Achse θ X, θ Y Kippwinkel ±8 Schrittweite 1 µrad Mechanische Eigenschaften Mechanisches Interface N C0; N CV / N CU 2" Optiken, geschlossener Rahmen N L0; N LV / N LU 2" Optiken, links offen N R0; N RV / N RU 2" Optiken, rechts offen Haltekraft, unbestromt >100 >100 >100 N Vorschubkraft (aktiv) N Einheit Bewegen und Positionieren N-480.x20x Einheit Aktive Achse θ X, θ Y Kippwinkel ±4 Schrittweite 0,5 µrad Antriebseigenschaften N-480 Einheit Antriebstyp Piezo-Trägheitsantrieb Motorspannung 80 V
3 Anschlüsse und Umgebung N-480 Einheit Betriebstemperatur 10 bis 40 C Material Schraube: Edelstahl Halter: Aluminium Kabellänge 2 m Stecker Empfohlener Controller LEMO Typ 0S, 3-polig E Sonderausführungen auf Anfrage.
4 Zeichnungen / Bilder N L0, PiezoMike Spiegelhalter, rechts offener Rahmen
5 N R0, PiezoMike Spiegelhalter, links offener Rahmen
6 N RU, PiezoMike Spiegelhalter für Ultrahochvakuum Bestellinformationen N C0 Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, geschlossener Rahmen, für 1/2"-Optiken N CU Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, geschlossener Rahmen, für 1/2"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-9 N CV Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, geschlossener Rahmen, für 1/2"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-6 N C0 Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, geschlossener Rahmen, für 1"-Optiken N CU Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, geschlossener Rahmen, für 1"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-9 N CV Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, geschlossener Rahmen, für 1"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-6 N L0 Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, links offener Rahmen, für 1"-Optiken
7 N LU Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, links offener Rahmen, für 1"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-9 N LV Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, links offener Rahmen, für 1"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-6 N R0 Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, rechts offener Rahmen, für 1"-Optiken N RU Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, rechts offener Rahmen, für 1"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-9 N RV Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, rechts offener Rahmen, für 1"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-6 N C0 Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, geschlossener Rahmen, für 2"-Optiken N CU Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, geschlossener Rahmen, für 2"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-9 N CV Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, geschlossener Rahmen, für 2"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-6 N L0 Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, links offener Rahmen, für 2"-Optiken N LU Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, links offener Rahmen, für 2"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-9 N LV Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, links offener Rahmen, für 2"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-6 N R0 Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, rechts offener Rahmen, für 2"-Optiken N RU Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, rechts offener Rahmen, für 2"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-9 N RV Kinematischer Spiegelhalter mit PiezoMike Antrieben, rechts offener Rahmen, für 2"-Optiken, vakuumkompatibel bis 10-6 Zubehör N-400.A02 Verlängerungskabel, LEMO-Stecker 3-polig auf LEMO-Stecker 3-polig, 2 m N-400.A05 Verlängerungskabel, LEMO-Stecker 3-polig auf LEMO-Stecker 3-polig, 5 m N-400.A08 Verlängerungskabel, LEMO-Stecker 3-polig auf LEMO-Stecker 3-polig, 8 m N-400.A12 Verlängerungskabel, LEMO-Stecker 3-polig auf LEMO-Stecker 3-polig, 12 m N-400.ALM Adapter, LEMO 3-polig auf Mini-DIN N-400.AML Adapter, Mini-DIN auf LEMO 3-polig
PiezoMike Linearaktor
PiezoMike Linearaktor Minimale Abmessungen, hohe Kräfte, stabile Positionierung, Vakuum bis 10-9 hpa N-470.V N-470.U Haltekraft >100 N Schrittweite 20 nm Stellweg 7,5 mm bis 26 mm Kompakte Bauform Vorschubkraft
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PiezoMike Linearaktor Minimale Abmessungen, hohe Kräfte, stabile Positionierung N-470 Haltekraft >100 N, Vorschubkraft 22 N Schrittweite 20 nm Stellweg 7,5 mm bis 26 mm Kompakte Bauform Lebensdauer >1.000.000.000
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PiezoMike Linearaktor Mit Positionssensor für den geregelten Betrieb N-472 Hohe Stabilität und Haltekraft >100 N Selbsthemmend im Ruhezustand auch bei ausgeschalteter Regelung Kompakte Bauform mit integriertem
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Motorisiertes Präzisions-Goniometer Kompakt, mit Apertur WT-85 Rotationsbereich 10 Wiederholgenauigkeit bis 8,7 µrad Belastbarkeit bis 2 kg Option: Direkte Positionsmessung mit Kombination mit WT-100 mit
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LISA Linearaktor und Positioniertisch Dynamisch und positionsstabil P-753 Geführter Stelltisch und Aktor zugleich Stellweg bis 38 µm Auflösung 0,1 nm Nichtmagnetische Versionen verfügbar Besonders schnelles
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Hochlast-Linearaktor Dynamischer, hochauflösender Präzisionsantrieb mit DC- oder Schrittmotor L-239 Hohe Druck-/Zugkraft bis 300 N Stellweg 52 mm (2") Kleinste Schrittweite 0,1 µm Geschwindigkeit bis 50
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Schnelle Kippplattform Kurze Einschwingzeit und hohe dynamische Linearität S-331 Kippwinkel bis 5 mrad, optische Ablenkwinkel bis 10 mrad (0,57 ) Parallelkinematisches Design für identisch hohe Leistungsmerkmale
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Motorisiertes Präzisions-Goniometer Kompakt, mit großer Apertur WT-100 Rotationsbereich 10 Wiederholgenauigkeit bis 8,7 µrad Belastbarkeit bis 2 kg Option: Direkte Positionsmessung mit Kombination mit
Lineartisch. Basisversion für universelle Einsatzgebiete
Lineartisch Basisversion für universelle Einsatzgebiete VT-80 Stellwege von 25 bis 300 mm (1 bis 12") Flache Bauform Max. Geschwindigkeit bis 20 mm/s Belastbar bis 5 kg Lineartisch der Standardklasse Kugelumlaufführungen
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Kompakter Lineartisch Mit DC- oder Schrittmotor L-505 Stellwege 13 oder 26 mm Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Geschwindigkeit bis 15 mm/s Belastbarkeit bis 30 N Integrierte Referenz-
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Freie Apertur, hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität L-738 Stellweg 102 mm 102 mm (4") Große Apertur, 150 mm 150 mm Unidirektionale bis 0,05 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren,
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Präzisionshubtisch Kompakte Multi-Achs-Kombinationen mit Linear- und Drehtischen L-310 Stellweg 26 mm (1") Hochauflösender Encoder DC-, BLDC- und Schrittmotoren Spielfreie Kugelumlaufspindel MTBF 10000
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PIFOC Hochpräziser Objektivscanner Schneller Nanopositionierer und -Scanner für Mikroskopobjektive P-721 Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-Nanometer-Auflösung Stellwege bis 140 µm, Millisekunden-
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Piezo-Hub- und Kipptisch Hochdynamisch, mit großer Apertur P-518 P-528 P-558 Hub- und Kipptische mit 3 Achsen / Hubtische mit 1 Achse Hub- / Kippwinkel bis 200 µm / 2 mrad geregelt (bis 240 µm / 2,4 mrad
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Hochpräziser Lineartisch Hohe Ablaufgenauigkeit L-511 Stellwege bis 155 mm (6") Wiederholgenauigkeit bis 0,1 µm DC-, BLDC- und DC-Getriebemotoren Schrittmotoren Optional: Linearencoder für direkte Positionsauswertung
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L-406 Kompakter Linearversteller Für Lasten bis 10 kg Stellwege von 26 mm bis 102 mm (1" bis 4") Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Richtungserkennender Referenzschalter Integrierte
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Kompakter Lineartisch Für Lasten bis 10 kg L-406 Stellwege von 26 mm bis 102 mm (1" bis 4") Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Richtungserkennender Referenzschalter Integrierte optische
Präzisions-Lineartisch
Präzisions-Lineartisch Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg L-509 Stellwege von 26 bis 102 mm (1'' bis 4") Wiederholgenauigkeit bis 0,1 µm Optional mit Linearencoder zur direkten Positionsmessung ActiveDrive
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6-Achsen-Hexapod Für Lasten bis 250 kg H-850 Belastbarkeit bis 250 kg Wiederholgenauigkeit bis ±0,2 µm Stellwege bis ±50 mm / ±30 Aktorauflösung bis 2,5 nm Varianten mit BLDC-Motoren und Absolutencodern
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XY-Piezonanopositionierer Hochpräziser XY-Scanner mit Apertur P-733.2 Stellwege bis 100 µm 100 µm in X und Y Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren Hochgeschwindigkeitsversionen mit Direktantrieb
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Präzisions-Rotationstisch Große Apertur, hohe Ablaufgenauigkeit PRS-200 Unbegrenzter Stellbereich Wiederholgenauigkeit bis 0,5 µrad Belastbarkeit bis 50 kg Option: Direkte Positionsmessung mit Rotationstisch
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PIHera Linearer Präzisionspositionierer Variabel in Stellweg und Achskonfiguration P-620.1 P-629.1 Stellwege 50 bis 1800 µm Auflösung bis 0,1 nm Linearitätsabweichung 0,02 % X-, XY-, Z-Versionen; XYZ-Kombination
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Präzisions-Kreuztisch
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