ZLM. Übersicht (Grundaufbau und Beispiele) Overview (basic set-up and example)

Transkript

1 ZLM N. N. Overview (basic setup and examples).variante Notebook Docking station. Variante x AE xxx Master Lasermesskopf Laser measuring head f, f Optikmodule/ Optic modules f f ±f x,v x AC 95 0 V Hz f = - x AUK IPC / PC & x AE xxx Auswertesystem Evaluation system Lasermesskopf Laser measuring head Optikmodule Optic modules Messobjekt Measuring object AUK (Umweltkompensation) für Druck, Temperatur und Luftfeuchtigkeit AUK (Environmental compensation) pressure, temperature and humidity Einachssystem Single Axis System Kalibriersystem ZLM 700 Calibration System ZLM N-

2 ZLM. Variante Kompakt Optik Systeme / Compact optic systems IPC / PC & x AE xxx Master n x AE xxx Slave (n 5) Lasermesskopf Laser measuring head AC 95 0 V Hz f, f. Variante Optikmodule / Optic modules f f ±f x,v x - x f =. Messachse /. Measurement axis AUK. Messachse /. Measurement axis 6. Messachse / 6. Measurement axis Auswertesystem Evaluation system Lasermesskopf Laser measuring head Optikmodule Optic modules Messobjekt Measuring object AUK (Umweltkompensation) für Druck, Temperatur und Luftfeuchtigkeit AUK (Environmental compensation) pressure, temperature and humidity Multiachssystem Multi Axis System Kalibriersystem ZLM 800 Calibration System ZLM N-

3 ZLM.Variante LSI - Compact interferometer x AE xxx Master n x AE xxx Slave (n 5) axis axis axis.variante LSI - Interferometer AUK. Messachse /. Measurement axis. LSI - Interferometer 6. LSI - Interferometer Lasermesskopf und Auswertesystem Laser measuring head and Evaluation system Optikmodule Optic modules Messobjekt Measuring object AUK (Umweltkompensation) für Druck, Temperatur und Luftfeuchtigkeit AUK (Environmental compensation) pressure, temperature and humidity Mehrachssystem - Faser geführt Multi Axes - Fiber Connection Kalibriersystem ZLM 900 Calibration System ZLM N-

4 ZLM 700 Auswerteeinheit Belegung und Verkopplung Evaluation unit configuration and coupling Stecker /Socket Kurzbezeichnung : Short description 6 AE xxx PCI Master Anschlusskabel (Einheiten) Connection cable (Units) Trigger Interferometer, AQB-Out, AQB- in (.counter Heidenhain) AUK Laser Echtzeit /Real-time interface (bit MHz) AE xxx PCI Slave 6 6 mögliche Kabelverbindungen siehe Kapitel Kabelübersicht possible cable connection see chapter cable overview 05 N-

5 ZLM 700 Anschluss- Faserverbindungen- Auswerteeinheit Fiber connection evaluation unit AE xxx PCI Master AE xxx PCI Slave AE xxx PCI Slave AE xxx PCI Slave AE xxx PCI Slave Referenz Laserstrahl Reference laser beam.achse / axis.achse / axis.achse / axis 5.Achse / axis 05 N-5

6 0 0 ZLM 700 Systemvarianten - Basismodule System variants basis modules Tripelreflektor Cube corner reflector Streckenmessung mit Tripelreflektor Distance measurement with Cube corner reflector Polarisationsstrahlteiler Polarizing beam splitter Planspiegel Plane mirror / Platte Quarter wave plate 90 Umlenker 90 Beam bender Streckenmessung mit Planspiegelreflektor Distance measurement with Plane mirror reflector fache Teilung fold division Winkelmessung mit Tripelreflektoren Angle measurement with Cube corner reflectors Winkelmessung mit Planspiegelreflektoren Angle measurement with Plane mirror reflectors 05 N-6

7 ZLM 700 Winkelmessung mit Doppelreflektor Angle measurement with Double cube corner reflectors Winkelmessung mit Planspiegelreflektor Angle measurement with Plane mirror reflector Schwingungsmessung (,5nm Auflösung) Vibration measurement (.5nm resolution) Schwingungsmessung (,5nm Auflösung) Vibration measurement (.5nm resolution) Geradheitsmessung Straightness measurement 09 (bis m) (bis 0m) 08 (bis m) (bis 0m) Rechtwinkeligkeitsmessung Squareness measurement 08 (bis m) (bis 0m) 09 (bis m) (bis 0m) Vergrößerung des Strahldurchmessers und -abstandes für Streckenmessung bis 0m Widening the beam diameter and beam distance for distance measurements up to 90 ft Reduzierung des Strahlabstandes für geringe Reflexionsfläche (Streckenmessung bis m) Reducing the beam spacing for the smallest reflection surface (distance measurement up to 9ft) 5mm mm.8 5 5mm mm N-7

8 ZLM 700 Hochauflösendes Interferometer mit 8-facher Strahlführung (Auflösung 0,5nm) High resolution interferometer with 8-fold beam path (resolution 0.5nm) Pos Artikel Name Polarisationsteiler 0 Polarizing beam splitter 0 Tripelreflektor 0 Cube corner reflector 0 Lambda / - Platte 0 Quarter wave plate 0 Reflektor HR- 5 Reflector HR Planspiegel 0 Plane mirror reflector Reflektor HR- 55 Reflector HR Parallel - Planspiegelinterferometer 0 mit Lichtventil 0 (Strahldurchmesser 6mm) Parallel plane mirror interferometer 0 with Light valve 0 (beam diameter 6mm) 5 Pos Artikel Name Parallelinterferometer 0 Parallel interferometer 0 Lichtventil 0 Light valve 0 P Planspiegelreflektor Plane mirror reflector Referenzplanspiegelreflektor Reference plane mirror reflector P Gierwinkel Yaw angle 05 N-8

9 ZLM 700 Parallel - Planspiegelinterferometer 0 mit Lichtventil 08 (Strahldurchmesser mm & 0,nm Auflösung) Parallel plane mirror interferometer 0 with Light valve 08 (beam diameter mm & 0.nm resolution) Pos Artikel Name Parallelinterferometer 0 Parallel interferometer 0 Lichtventil 0 Light valve 0 P Planspiegelreflektor Plane mirror reflector Referenzplanspiegelreflektor Reference plane mirror reflector P Gierwinkel Yaw angle Einstrahl- Messung mit LWL Auskopplung Single beam measurement with fiber output coupling Pos. Artikel Name Polarisationsteiler 0 Polarizing beam splitter 0 Tripelreflektor 0 Cube corner reflector 0 Lambda / - Platte 0 Quarter wave plate 0 LWL - Anschluss Fiber optics coupling Tripelreflektor 9 mm Triple reflector 0.5'' 5 05 N-9

10 ZLM 700 Bausatz zur optischen Wellenlängenkompensation / Brechzahlbestimmung Assembly for optical wavelength compensation / Refraction index identification 5 Vakuum Anschluss Vacuum Connector POS-NR. Artikel Name Winkelinterferometer Angle interferometer Tripelreflektor 0 Cube corner reflector 0 Lambda / - Platte 0 Quarter wave plate 0 LWL -Anschluss Fiber optics coupling Refraktometermodul 5 Refractometer module 5 05 N-0

11 ZLM Beispiel smessung - ZLM 700 Example measurement - ZLM 700 Pos Artikel Name Lasermesskopf ZLM 700 Laser measuring head ZLM 700 Tripelreflektor 0 Cube corner reflector 0 Polarisationsteiler 0 Polarizing beam splitter 0 05 N-

12 ZLM Winkelmessung Bestimmung des Nickwinkels ZLM 700 Pitch angle measurement ZLM 700 = Nickwinkel Pitch angle Pos Artikel Name Lasermesskopf ZLM 700 Laser measuring head ZLM 700 Winkelinterferometer Angle interferometer Doppelreflektor 5 Double triple reflector 5 05 N-

13 ZLM Winkelmessung Bestimmung des Gierwinkels ZLM 700 Yaw angle measurement ZLM 700 = Gierwinkel Yaw angle P Pos Artikel Name Lasermesskopf ZLM 700 Laser measuring head ZLM 700 Winkelinterferometer Angle interferometer Doppelreflektor 5 Double triple reflector 5 05 N-

14 ZLM Winkelmessung Bestimmung des Rollwinkels ZLM 700 Roll angle measurement ZLM 700 Pos Artikel Name Lasermesskopf ZLM 700 Laser measuring head ZLM 700 Geradheitsinterferometer 8 Straightness interferometer 8 Wendevorsatz 0 Beam offset prism 0 Planspiegelreflektor Plane mirror reflector = Rollwinkel Roll angle = Bewegungsachse Axis of movement 05 N-

15 ZLM 700 Geradheitsabweichung vertikaler Aufbau ZLM 700 Straightness measurement vertical structure ZLM 700 Z Y POS-NR. Artikel Name Lasermesskopf ZLM 700 Laser measuring head ZLM 700 Stativ Tripod Justiertisch für Laserkopf 58 Adjustable table for laser head 58 Geradheitsinterferometer 8 Straightness Interferometer 8 Doppelkeil m 08 Double wedge m 08 Winkelreflektor m 09 Angle reflector m 09 Säulenstift 00 Rod 00 Klemmhalter 509 Clamp mounting 509 Kipphalter 5 Tiltable holder 5 Magnetfuss 506 Magnetic base N-5

16 ZLM Geradheitsabweichung horizontaler Aufbau ZLM 700 Straightness measurement horizontal structure ZLM 700 Z Y 6 7 POS-NR. Artikel Name Lasermesskopf ZLM 700 Laser measuring head ZLM 700 Stativ Tripod Justiertisch für Laserkopf 58 Adjustable table for laser head 58 Geradheitsinterferometer 8 Straightness Interferometer 8 Doppelkeil m 08 Double wedge m08 Winkelreflektor m 09 Angle reflector m 09 Säulenstift 00 Rod 00 Klemmhalter 509 Clamp mounting 509 Kipphalter 5 Tiltable holder 5 Magnetfuss 506 Magnetic base Wendevorsatz 0 Beam offset prism 0 05 N-6

17 ZLM Rechtwinkligkeitsmessung horizontaler Aufbau ZLM 700 Squareness measurement horizontal assembly ZLM 700 Z Y POS-NR. Artikel Name Lasermesskopf ZLM 700 Laser measuring head ZLM 700 Stativ Tripod Justiertisch für Laserkopf 58 Adjustable table for laser head 58 Geradheitsinterferometer 8 Straightness Interferometer 8 Doppelkeil m 08 Double wedge m 08 Winkelreflektor m 09 Angle reflector m 09 Säulenstift 00 Rod 00 Klemmhalter 509 Clamp mounting 509 Kipphalter 5 Tiltable holder 5 Magnetfuss 506 Magnetic base Pentagonalprisma Pentaprism 05 N-7

18 ZLM Rechtwinkligkeitsmessung vertikaler Aufbau ZLM 700 Squareness measurement vertical assembly ZLM 700 POS- NR. Artikel Name Laser measuring head ZLM 700 Lasermesskopf ZLM 700 Stativ Tripod Justiertisch für Laserkopf 58 Adjustable table for laser head 58 Geradheitsinterferometer 8 Straightness Interferometer Pentagonalprisma Pentaprism Doppelkeil m 08 Double wedge m 08 Winkelreflektor m 09 Angle reflector m 09 Säulenstift 00 Rod 00 Klemmhalter 509 Clamp mounting 509 Kipphalter 5 Tiltable holder 5 Magnetfuss 506 Magnetic base 506 Tripelreflektor 6 Cube corner reflector Umlenker 0 90 Beam bender 0 Haltwinkel 5 Angle bracket 5 Wendevorsatz 0 Beam offset prism 0 Z 9 Y N-8

19 ZLM 700 Ebenheitsmessung ZLM 700 Flatness measurement -ZLM Lineal ruler Pos Artikel Name Lasermesskopf ZLM 700 Laser measuring head ZLM 700 Fußplatte mit Drehspiegel 8 Base plate with turning mirror 8 Winkelinterferometer Angle interferometer Fußabstandsplatte 00 Base distance plate 00 Doppelreflektor 5 Double triple reflector 5 Oberfläche Surface 05 N-9

20 ZLM 700 sdaten Laser data laser Auswerteeinheit achsig nach ISO 0 / Kalibrierung Evaluation unit - axis to ISO 0 / calibration ZLM Zähler ZLM Counter Zähler Counter sdaten Messtaster data length gauge Messtaster Length gauge Lasermesskopf Laser measuring head ZLM 700 Interferometer Tripelreflektor Cube corner reflector Synchrone dynamische Kalibrierung mit dem ZLM 700 -achsig und einer Erweiterungsauswerteeinheit Synchronic dynamic calibration of length with ZLM 700 -axis and one extension evaluation unit 05 N-0

21 ZLM 700 Auswerteeinheit achsig nach ISO 0 / Kalibrierung Evaluation unit - axis to ISO 0 / calibration sdaten Laser data laser ZLM Zähler ZLM Counter Zähler Counter sdaten Längenmesssystem data linear encoder Lasermesskopf Laser measuring head ZLM 700 Interferometer Längenmesssystem Linear encoder Montagefuß Mounting block Tripelreflektor Cube corner reflector Kapsel Scale housing Synchrone dynamische Kalibrierung eines Längenmesssystems mit dem ZLM 700 -achsig und einer Erweiterungsauswerteeinheit Synchronic dynamic calibration of linear encoder with ZLM 700 -axis and one extension evaluation unit 05 N-

22 ZLM 700 sdaten Laser data laser ZLM 700 Lasermesskopf Laser measuring head Auswerteeinheit achsig nach ISO 0 / Kalibrierung Evaluation unit - axis to ISO 0 / calibration ZLM Zähler ZLM Counter Zähler für Drehgeber Counter for rotary encoder Interferometer sdaten Drehgeber rotary encoder Mutter Nut Tripelreflektor Cube corner reflector Drehgeber Rotary encoder Synchrone dynamische Kalibrierung eines Drehgebers zur Spindelsteigung mit dem ZLM 700 Komparator Zähler und einer Erweiterungsauswerteeinheit Synchronic dynamic calibration of rotary encoder for screw pitch with ZLM 700 comparator counter and one extension evaluation unit 05 N-

23 ZLM 700 sdaten Laser data laser ZLM 700 Lasermesskopf Laser measuring head ZLM Zähler ZLM Counter Auswerteeinheit achsig nach ISO 0 / Kalibrierung Evaluation unit - axes to ISO 0 / calibration Zähler für Drehgeber Counter for rotary encoder Interferometer Zähler für Maßstab Counter for linear encoder sdaten Längenmesssystem data rotary encoder sdaten Drehgeber rotary encoder Längenmesssystem Linear encoder Tripelreflektor Cube corner reflector Kapsel Scale housing Montagefuß Mounting block Gewindespindel Threaded spindle Drehgeber Rotary encoder Synchrone dynamische Kalibrierung eines Längenmesssystems sowie Drehgebers zur Spindelsteigung mit dem ZLM 700 und x Erweiterungsauswerteeinheiten Synchronic dynamic calibration of linear encoder and linear encoder with ZLM 700 and x extension evaluation units 05 N-

24 ZLM 700 Diagonalmessung Diagonal measurement,, POS. Artikel Name Stativ Tripod Justiertisch Adjustable table Lasermesskopf ZLM 700 Laser measuring head ZLM Magnetfuss 506 Magnetic base Säulenstift 0 Rod Kipphalter 5 Tiltable holder Polarisationsteiler 0 Polarizing beam splitter Tripelreflektor 0 Cube corner reflector Drehspiegel 7 Turning mirror Tripelreflektor 0 Triple reflector 0 05 N-

25 ZLM 700 Vollwinkelmessung Full angle measurement Pos. Artikel Name Lasermesskopf ZLM 700 Laser measuring head ZLM 700 Messkit für Rundtischvermessung Measuring kit for round table surveying Doppelreflektor 5 Double triple reflector 5 Winkelinterferometer Angle interferometer Säule mit Montageklemme Vibration damping column with mounting clamp Magnetfuss 506 Magnetic base 506 Säule 0 Rod 0 Klemmhalter 507 Clamping device 507 Adapterplatte 55 Adapter plate N-5

26 ZLM 800 Kompakt- Planspiegel- Interferometer 8 und Spiegel Compact plane mirror interferometer 8 and plane mirror P Nickwinkel Pitch angle Gierwinkel Yaw angle IF IF enthält Interferometer für Triangulations-, sund Winkelmessung (Referenzspiegel sind enthalten) with interferometers for triangulation and position and angle measurement ( reference mirrors are internal) IF P Parallel- Planspiegel Interferometer 5 mit Spiegelanordnung Parallel plane mirror interferometer 5 with mirrors assembly P Nickwinkel Pitch angle für s- oder Winkelmessung for position or angle measurement P 05 N-6

27 ZLM 800 Parallel- Planspiegelinterferometer 56 mit Spiegelanordnung Parallel plane mirror interferometer 56 with plane mirrors assembly P Gierwinkel Yaw angle für s- oder Winkelmessung for position or angle measurement P Parallel- Planspiegelinterferometer 58 mit Spiegel (Strahldurchmesser mm) Parallel plane mirror interferometer 58 with plane mirror (beam diameter mm) P für smessung in einer Achse (Referenzspiegel sind enthalten) for position measurement in one axis (reference mirrors are internal) IF 05 N-7

28 ZLM 800 Kompakt Planspiegelinterferometer 60 mit Spiegel (Strahldurchmesser mm ) Compact plane mirror interferometer 60 with plane mirror (beam diameter mm) P Nickwinkel Pitch angle Gierwinkel Yaw angle enthält Interferometer für Triangulations-, sund Winkelmessung (Referenzspiegel sind enthalten) with interferometers for triangulation, position and angle measurement (reference mirrors are internal) P IF IF IF Axis Axis Axis Kompakt Planspiegelinterferometer 90 mit Spiegel Compact plane mirror interferometer 90 with plane mirror P Gierwinkel Yaw angle enthält Interferometer für s- und Winkelmessung (Referenzspiegel sind enthalten) with interferometers for position and angle measurement (reference mirrors are internal) P IF IF 05 N-8

29 ZLM 800 Planspiegelinterferometer 68 mit Spiegel (Strahldurchmesser mm) Plane mirror interferometer 68 with plane mirror (beam diameter mm) für smessung in einer Achse (Referenzspiegel sind enthalten) P for position measurement in one axis (reference mirrors are internal) IF Kompakt Planspiegelinterferometer 70 mit Spiegelanordnung Compact plane mirror interferometer with plane mirror assembly P Gierwinkel Yaw angle P enthält Interferometer für s- und Winkelmessung (Referenzspiegel sind enthalten) with interferometers for position and angle measurement (reference mirrors are internal) IF IF IF IF 05 N-9

30 ZLM 800 Drei Achs - Kalibriersystem Three axes calibration system Pos. Artikel Name Lasermesskopf ZLM 800 Laser measuring head ZLM ZLM 800 /PCI/ - 6 Kompaktinterferometer Compact interferometer Achs - Reflektor 5 Three axes reflector Messkopfkabel, komplett Measurement head cable, complete Kabel Mess- & Referenzachse Cable measurement & reference axis Achse Achse Achse Referenz 5 6 Zwei-Achs-System Two axes system Pos. Artikel Name Lasermesskopf ZLM 800 Laser measuring head ZLM ZLM 800 /PCI/ - 6 A Interferometer A und B Messspiegel Measurement mirror Intensitätsteiler B 0 Beam splitter B 0 Polarisationsteiler 0 Polarizing beam splitter 0 Tripelreflektor 0 Cube corner reflector 0 Lambda / - Platte 0 Quarter wave plate 0 LWL -Anschluss Fiber optics coupling 9 B 05 N-0

31 ZLM 800 Drei Achs - System (Variante A in Ebenen) Three axes system (variant A in two levels) C B 6 Pos. Artikel Name Lasermesskopf ZLM 800 Laser measuring head ZLM ZLM 800 /PCI/ - 6 Messspiegel Measurement mirror Intensitätsteiler B 0 Beam splitter B Intensitätsteiler B 0 Beam splitter B Umlenker beam bender Planspiegelreflektor 0 Plane mirror reflector 0 Interferometer A, B & C Polarisationsteiler Polarizing beam splitter Tripelreflektor 0 Cube corner reflector Lambda / - Platte 0 Quarter wave plate LWL -Anschluss Fiber optics coupling A Drei Achs - System (Variante B in Ebenen) Three axes system (variant B in three levels) C B Pos. Artikel Name Lasermesskopf ZLM 800 Laser measuring head ZLM ZLM 800 /PCI/ Messspiegel Measurement mirror Intensitätsteiler B 0 Beam splitter B 0 Intensitätsteiler B 0 Beam splitter B 0 90 Umlenker beam bender 05 Planspiegelreflektor 0 Plane mirror reflector 0 Interferometer A, B & C Polarisationsteiler 0 Polarizing beam splitter Tripelreflektor 0 Cube corner reflector Lambda / - Platte 0 Quarter wave plate LWL -Anschluss Fiber optics coupling 6 A 05 N-

32 ZLM 800 Kompaktinterferometer 7 für - Achs Messung (Triangulation) Compact interferometer 7 for -axes - measurement (triangulation) P Nickwinkel Pitch angle Gierwinkel Yaw angle Pos. Artikel Name Lasermesskopf ZLM 800 mit Tubusansatz Laser measuring head ZLM 800 with tube Justiertisch 58 Adjustable table Kompaktinterferometer 7 Compact interferometer Achs - Reflektor 5 Three axes reflector Stativ Tripod Montagetubus für Optikmodule Mounting tube for optic modules P Z Y 6 5 Kompaktinterferometer 7 für - Achs Messung mit Umlenkspiegel (Triangulation) Compact interferometer 7 for - axes measurement with mirror (triangulation) 6 7 P Y P Z Nickwinkel Pitch angle Gierwinkel Yaw angle Pos. Artikel Name Lasermesskopf ZLM 800 Laser measuring head ZLM Justiertisch 58 Adjustable table Kompaktinterferometer 7 Compact interferometer Achs - Reflektor 5 Three axes reflector Stativ Tripod Klemmhalter 507 Clamp mounting Umlenker 6 90 beam bender Säulenstift 90 Rod Magnetfuss 506 Magnetic base N-

33 ZLM 800 Kompaktinterferometer 7 für - Achs Messung mit Tripelspiegel und Inklinometer Compact interferometer 7 for - axes measurement with triple mirror and inclinometer Messung für: -, Nick & Gierwinkel (mit Interferometer 7) - Roll Winkel mit ZIC 05 (differentielle Methode) Measurement for: -, pitch & yaw angle (with interferometer 7) - Roll angle with ZIC 05 (differential method) 9 0 Y F Q Nickwinkel / pitch angle Gierwinkel / yaw angle Rollwinkel/ roll angle Inclinometer ZIC 05 -( ) Y Q Y F Z Pos Artikel Name Lasermesskopf ZLM 800 Laser measuring head ZLM Stativ Tripod Justiertisch für Laserkopf 58 Adjustable table for laser head 58 - Notebook ZLM 800 /PCI/ 6 ZLM 800 /PCI/ Kompaktinterferometer 7 Compact Interferometer Inclinometer ZIC 05 -( ) Roll angle (differential method) measured value (inlclinometer ZIC05 () - measured value (inclinometer ZIC 05() = absolute measured roll angle Achs - Reflektor 5 Three axis reflector ZIC 05 - Sensoreinheit 5 ZIC 05 sensor for Magnetfuß 506 Magnetic base 506 Säule 90 Rod Klemmhalter 508 Clamp mounting ZIC 05 Auswerteeinheit ZIC 05 evaluation unit 05 N-

34 ZLM 900 Reflektorenschema Einstrahlwinkelinterferometer zur - Achspositionsmessung Schematic of reflectors- Single Angle Interferometer for axis position measurement Standard Winkelmessung Standard angle measurement Interferometer Winkelreflektor Angle reflector smessung achsig measurement - axis Interferometer Aufnahme Tripelreflektoren Holder for triple reflectors Winkel Angle Referenzreflektor Reference reflector Messreflektor Measurement reflector Kompakteinheit ZLM 900 LSI mit integrierter Auswerteeinheit mit x LSI Winkelinterferometer 0 Compact unit ZLM 900 LSI with integrated Evaluation unit with x LSI Angle interferometer 0 Pos. Artikel Name Kompakteinheit ZLM 900 LSI mit integrierter Auswerteeinheit Compact unit ZLM 900 LSI with integrated evaluation unit LSI Winkelinterferometer 0 LSI Angle interferometer Tripelreflektor 9 mm Triple reflector 9 mm 05 N-

35 ZLM 900 Kompakteinheit ZLM 900 LSI mit integrierter Auswerteeinheit mit LSI Winkelinterferometer 07 Compact unit ZLM 900 LSI with integrated Evaluation unit with LSI Angle interferometer 07 Pos. Artikel Name Kompakteinheit ZLM 900 LSI mit integrierter Auswerteeinheit Compact unit ZLM 900 LSI with integrated evaluation unit LSI Winkelinterferometer 07 LSI Angle interferometer Doppelreflektor 9mm Double reflector 9mm P Z Y P Nickwinkel Pitch angle 05 N-5