DI2000 DI2001 DU2000 DU2001. Vakuum Messumformer. Gebrauchsanleitung _001_C0. Kat-Nr.: 15813V01 (DI2000) Kat-Nr.: 15815V01 (DI2001)

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1 Vakuum Messumformer DI2000 DI2001 DU2000 DU2001 Gebrauchsanleitung _001_C0 Kat-Nr.: 15813V01 (DI2000) Kat-Nr.: 15815V01 (DI2001) Kat-Nr.: V01 (DU2000) Kat-Nr.: V01 (DU2001)

2 Inhalt 1 Hinweise für Ihre Sicherheit Vakuum Messumformer DI2000 / DU Zur Orientierung Lieferumfang Produktbeschreibung Installation Hinweise zur Installation Vakuumanschluss Elektrischer Anschluss Anschluss an Anzeigegeräte Kundeneigene Spannungsversorgung Betrieb Allgemeines Nachjustieren Nullabgleich Nullabgleich DU2000 / DU2001 mit Betriebsgerät Full Scale Abgleich Full Scale Abgleich DU2000 / DU2001 mit Betriebsgerät Wartung und Service Technische Daten Konformitätserklärung Original Gebrauchsanleitung _001_C0-09/ Leybold

3 1 Hinweise für Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen Installieren Sie das Gerät unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedingungen; die Schutzart ist IP54, d.h. die Geräte sind geschützt gegen Eindringen von Fremdkörpern Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und Schutzmaßnahmen Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der Prozessmedien infolge der Eigenerwärmung des Produkts Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und Schutzmaßnahmen Legen Sie beim Einsenden des Gerätes eine Kontaminationserklärung bei Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter Piktogramm-Definitionen Gefahr eines elektrischen Schlages beim Berühren der Kontakte Gefahr von Personenschäden Gefahr von Schäden an Gerät oder Anlage Wichtige Information über das Produkt, dessen Handhabung oder den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung, auf den besonders aufmerksam gemacht werden soll _001_C0-09/ Leybold 3

4 2 Vakuum Messumformer DI2000 / DU Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit der Artikelnummer 15813V01 (DI2000 mit FPM Dichtung) 15815V01 (DI2001 mit EPDM Dichtung) V01 (DU2000 mit FPM Dichtung) und V01 (DU2001 mit EPDM Dichtung) Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten. Die Geräteversionen unterscheiden sich durch das verwendete Dichtungsmaterial, den elektrischen Steckverbinder bzw. die Art des analogen Signalausgangs. Sofern nicht diese unterschiedlichen Merkmale der Geräteversionen beschrieben sind, ist im Folgenden daher exemplarisch nur das DI2000 benannt. 2.2 Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören: - Messumformer - Staubschutzkappe - Betriebsanleitung Lieferbares Zubehör DI2000 / DI2001: - Verlängerungsleitung, 10m, Verlängerungsleitung, 20m, Adapter f. CENTER-Serie, V01 Lieferbares Zubehör DU2000 / DU2001: - Verlängerungsleitung, 10m, V01 - Verlängerungsleitung, 20m, V01 - Betriebsgerät Display One, Betriebsgerät Display Two, Betriebsgerät Display Three, Betriebsgerät Center One, / Betriebsgerät Center Two, / Betriebsgerät Center Three, / _001_C0-09/ Leybold

5 2.3 Produktbeschreibung Der Vakuum Messumformer dient zur Absolutdruck-Messung im Bereich mbar. Er kann an ein geeignetes Anzeigegerät angeschlossen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Spannungsversorgung betrieben werden. Das Mess-Signal ist dabei über den gesamten Messbereich linear vom Druck abhängig. Die Geräte der DI Serie besitzen einen 4-20 ma Signalausgang, die der DU Serie einen 2-10 V Signalausgang. Der Messumformer ist mit einem piezoresistiven Keramiksensor ausgerüstet und temperaturkompensiert. Beim DI2000 / DU2000 ist der Sensor mit einem O-Ring aus FPM abgedichtet, beim DI2001 / DU2001 wird EPDM als Dichtungsmaterial verwendet. Der Messumformer kann an geeignete Flanschverbindungen oder über das G1/4 Innengewinde angeschlossen werden. Bestimmungsgemäße Verwendung Das DI2000 dient ausschließlich der Totaldruckmessung im Bereich mbar. Er darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Komponenten angeschlossen werden. Der Messumformer ist ein Gerät der Störklasse A und kann daher im Wohnbereich zu Funkstörungen führen. Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben genannten abweichen, insbesondere: - der Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebsanleitung hierfür nicht vorgesehen sind - der Anschluss an Geräte, die berührbare, Spannung führende Teile aufweisen. Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleistungsanspruch Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber _001_C0-09/ Leybold 5

6 3 Installation 3.1 Hinweise zur Installation Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen! Aufstellungsort: Innenräume Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt: Temperatur: +5 C C Rel. Luftfeuchte: 5-85%, nicht betauend Luftdruck: hpa (mbar) 3.2 Vakuumanschluss Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, beeinträchtigen die Funktion dieses Gerätes. Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten erforderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung. - Staubschutzkappe entfernen (wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder benötigt!) - Vakuumanschluss über Kleinflansch DN16 ISO KF herstellen - Bei Verwendung eines Schlauchanschlusses ist die Schlauchverbindung geeignet zu sichern (z.b. mittels Spannband) - Spannelemente verwenden, die sich nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen (z.b. Spannband-Spannring) - Dichtringe mit Zentrierring verwenden Die Einbaulage ist frei wählbar. Um ein Eindringen von Kondensaten und Partikeln in die Messkammer zu vermeiden, empfehlen wir eine senkrecht stehende Einbaulage. Der Messumformer ist in dieser Lage ab Werk justiert _001_C0-09/ Leybold

7 Das Gerät beim Einbau keinesfalls gewaltsam verdrehen, da das Gehäuse dadurch mechanisch beschädigt werden kann! Bei Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile führen! Ausströmende Prozessmedien können Gesundheitsschäden herbeiführen! Die maximale Druckbelastung von Kleinflanschverbindungen beachten (2,5 bar abs.) Für Überdruck geeignete Spannelemente verwenden. 3.3 Elektrischer Anschluss Anschluss an Anzeigegeräte Der Messumformer kann an geeignete Leybold Anzeigegeräte angeschlossen werden. Für Messumformer der DU Serie stehen hierfür die Betriebsgeräte der DISPLAY und der CENTER Reihe zur Verfügung. Anschluss des Messumformers niemals mit Spannung führendem Kabel herstellen! Stecker am Anzeigegerät anstecken und sichern. Erst danach Spannungsversorgung am Anzeigegerät herstellen bzw. einschalten _001_C0-09/ Leybold 7

8 3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung Der Messumformer kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener Spannungsversorgung betrieben werden. Falscher Anschluss oder unzulässige Versorgungsspannung können zu Schäden am Messumformer führen. Die elektrische Verbindung ist EMV-gerecht (doppelt geschirmte Kabel) gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen. DI2000 / DI2001 Pinbelegung Stecker Draufsicht: Diodenstecker, 7-polig, männlich Pin 1: Pin 2 braun+weiß/braun: Pin 3 blau+weiß/blau: Pin 4: Pin 5 grün+weiß/grün: Pin 6 orange+weiß/orange: Pin 7 Schirm: do not connect Ausgang 4-20 ma 1,91 MΩ gegen PIN 6 do not connect 453 kω gegen PIN 6 Versorgung: +12 bis +30 VDC Shield Maximal zulässiger Bürdenwiderstand in Ω: ( Versorgungsspannung(V) 12V ) / 0,02A DU2000 / DU2001 FCC68, 8-polig, männlich Pin 1 weiß/orange: Pin 2 orange: Pin 3 weiß/grün: Pin 4 blau: Pin 5 weiß/blau: Pin 6,7,8: Versorgung: +14,5 bis +30 VDC GND Ausgang 2-10 VDC 8,2 kω gegen Pin 2 Signalmasse do not connect _001_C0-09/ Leybold

9 4 Betrieb 4.1 Allgemeines Messprinzip Der Vakuum Messumformer DI2000 besitzt einen internen piezoresistiven Keramiksensor. Unter Einwirkung des Druckes verformt sich eine dünne Membran, auf deren Rückseite eine Widerstands-Messbrücke aufgebracht ist. Die dabei auftretende Verstimmung der Messbrücke ist ein Maß für den auf die Membran wirkenden Absolutdruck. Ausgangssignal Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt direkt nach Anschließen des Geräts an die Stromversorgung. Das Mess-Signal 4-20 ma beim DI2000 / DI2001 bzw V des DU2000 / DU2001 ist über den gesamten Messbereich von mbar linear vom Druck abhängig. Die Umrechnung erfolgt gemäß folgendem Zusammenhang: DI2000 / DI2001 I out (ma) = x p(mbar) p (mbar) = (I out (ma) - 4.0) x 125 DU2000 / DU2001 V out (V) = x p(mbar) p (mbar) = (Vout(V) - 2.0) x _001_C0-09/ Leybold 9

10 4.2 Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk in senkrechter Position bei einer Versorgungsspannung von 24VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung oder extreme klimatische Bedingungen können ein Nachjustieren erforderlich machen. Ein Nachjustieren auf Atmosphärendruck oder Nulldruck ist digital über die beiden Taster "up" und "down" möglich. Der Messumformer erkennt automatisch, um welchen Justierpunkt es sich handelt. Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, empfehlen wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von mindestens 10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten Nullabgleich Beim Nullabgleich wird der Offset des Mess-Signals korrigiert. Zum Nullabgleich sollte der anliegende Ist-Druck kleiner 0,1 mbar sein. Damit ein Nullabgleich möglich ist, muss der vom Gerät gemessene Druck kleiner als 100 mbar sein. Das Ausgangssignal sollte bei anliegendem Nulldruck 4,000 ma (DI2000 / DI2001) bzw. 2,000 V (DU2000 / DU2001) betragen. Zum Justieren zunächst die Gummistopfen über den Tastern entfernen (1), dann mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf den Taster "up" drücken, um das Ausgangssignal zu erhöhen, oder auf den Taster "down", um das Ausgangssignal zu verkleinern (2). Bei längerem Drücken einer Taste läuft das Signal kontinuierlich in der entsprechenden Richtung weiter. Erfolgt 5s lang kein weiterer Tastendruck mehr, so wird der eingestellte Wert übernommen. Gummistopfen nun wieder einsetzen _001_C0-09/ Leybold

11 4.2.2 Nullabgleich DU2000 / DU2001 mit Betriebsgerät Beim Nullabgleich wird der Offset des Mess-Signals korrigiert. Zum Nullabgleich muss der anliegende Ist-Druck kleiner 0,1 mbar sein. Damit ein Nullabgleich möglich ist, muss der vom DU2000 am Betriebsgerät angezeigte Druck kleiner als 100 mbar sein. Das DU2000 / DU2001 kann in Verbindung mit Betriebsgeräten der DISPLAY sowie der CENTER Reihe verwendet werden. Nach dem Justieren sollte der am Betriebsgerät angezeigte Druck bei anliegendem Nulldruck 0 mbar betragen. Zum Justieren zunächst die Gummistopfen über den Tastern entfernen (1). Erscheint in der DISPLAY Anzeige bei anliegendem Nulldruck der Wert "0" bzw. in der CENTER Anzeige ccc0, cc0 oder c0, so ist das Ausgangssignal zu klein. Drücken sie mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf den Taster "up"(2), bis ein Wert größer "0" erscheint. Danach bzw. wenn der angezeigte Druck größer als 0 mbar ist - drücken sie auf den Taster "down", um die Druckanzeige so lange zu erniedrigen, bis gerade der Wert "0" erscheint. Bei längerem Drücken einer Taste läuft das Signal kontinuierlich in der entsprechenden Richtung weiter. Erfolgt 5s lang kein weiterer Tastendruck mehr, so wird die Einstellung übernommen. Gummistopfen nun wieder einsetzen _001_C0-09/ Leybold 11

12 4.2.3 Full Scale Abgleich Der Full Scale Abgleich stellt eine Span-Korrektur des Mess- Signals dar. Ist-Druck und angezeigter Druck müssen dazu über 800 mbar liegen. Vor dem Full Scale Abgleich sollte gegebenenfalls ein Nullabgleich stattfinden! Zum Full Scale Abgleich wird ein kalibriertes Druckmessgerät als Referenz benötigt. Das Ausgangssignal des DI2000 bzw. DU2000 sollte gemäß der Formel aus Abschnitt 4.1 dem Referenzdruck p(mbar) entsprechen. Zum Justieren zunächst die Gummistopfen über den Tastern entfernen Justierung mit Hilfe der "up" und "down" Taster vornehmen. Bei längerem Drücken einer Taste läuft das Signal kontinuierlich in der entsprechenden Richtung weiter. Erfolgt 5s lang kein weiterer Tastendruck mehr, so wird die Einstellung übernommen. Gummistopfen nun wieder einsetzen Full Scale Abgleich DU2000 / DU2001 mit Betriebsgerät Der Full Scale Abgleich stellt eine Span-Korrektur des Mess- Signals dar. Ist-Druck und angezeigter Druck müssen dazu über 800 mbar liegen. Vor dem Full Scale Abgleich sollte gegebenenfalls ein Nullableich stattfinden! Das DU2000 / DU2001 kann in Verbindung mit Betriebsgeräten der DISPLAY sowie der CENTER Reihe verwendet werden. Zum Full Scale Abgleich wird ein kalibriertes Druckmessgerät als Referenz benötigt. Der am Betriebsgerät angezeigte Druck sollte mit der Druckanzeige des Referenzgerätes übereinstimmen. Zum Justieren zunächst die Gummistopfen über den Tastern entfernen Justierung mit Hilfe der "up" und "down" Taster vornehmen. Bei längerem Drücken einer Taste läuft die Druckanzeige kontinuierlich in der entsprechenden Richtung weiter. Erfolgt 5s lang kein weiterer Tastendruck mehr, so wird die Einstellung übernommen. Gummistopfen nun wieder einsetzen _001_C0-09/ Leybold

13 5 Wartung und Service Vorsicht bei kontaminierten Teilen! Es kann zu Gesundheitsschäden kommen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und Schutzmaßnahmen. Das Gerät ist wartungsfrei. Äußerliche Verschmutzungen können mit einem feuchten Tuch beseitigt werden. Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrem DI2000 auftreten, senden Sie das Gerät bitte mit einer Kontaminationserklärung zur Reparatur an uns. Das Gerät ist nicht zur kundenseitigen Reparatur vorgesehen! Fehlfunktionen des Gerätes, die auf Verschmutzung, Verschleiß oder Sensorbruch zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung. Fehlersignal und Störungen Problem Mögliche Ursache Behebung Messwertabweichung zu groß Alterung, Verschmutzung, extreme Temperaturen, falsche Justierung Nachjustieren Mess-Signal <= 3,8 ma (DI) Mess-Signal <= 1,5 V (DU) Mess-Signal >= 21 ma (DI) Mess-Signal >= 10,5 V (DU) Nachjustieren nicht mehr möglich Sensor defekt Messbereich überschritten oder Sensor defekt Messwertabweichung übersteigt den Justierbereich Sensor einschicken Istdruck zu hoch oder Sensor einschicken Sensor einschicken _001_C0-09/ Leybold 13

14 6 Technische Daten Messprinzip Messbereich Max. Überlast Messunsicherheit Reproduzierbarkeit TK* Nullpunkt TK* Empfindlichkeit Medienberührende Werkstoffe Betriebstemperatur Lagertemperatur Reaktionszeit piezo-resistiv mbar ( Torr) 5 bar abs. 0,25 % FS (Linearität, Hysterese, Reproduzierbarkeit) 0,05 % FS 0,1 % FS /10K 0,15 % FS /10K Edelstahl , Al 2O 3 Keramik, FPM (DI2000, DU2000) bzw. EPDM (DI2001, DU2001) o C o C < 20 ms Spannungsversorgung DI: VDC (Zweileiter) DU: 14,5-30 VDC (Vierleiter) Elektrischer Anschluss DI: 5m Anschlusskabel mit Diodenstecker, 7polig, männlich DU: 5m Anschlusskabel mit Stecker FCC68, 8polig Ausgangssignal DI: 4 20 ma, linear max. Bürde in Ω: Versorgungsspannung 12V) / 0,02A DU: 2-10 VDC, linear Totvolumen 1,8 cm 3 Vakuumanschluss Schutzart IP 54 Gewicht * Temperaturkoeffizient Kleinflansch DN16 ISO KF mit G1/4 Innengewinde DI: 260 g DU: 240 g _001_C0-09/ Leybold

15 Konformitätserklärung _001_C0-09/ Leybold 15

16 Headquarter Leybold GmbH Bonner Straße 498 D Köln T: +49-(0) F: +49-(0) w w w. l e y b o l d. c o m