Geschäftsfeld amos. applikationszentrum mikrooptische systeme

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1 Geschäftsfeld amos applikationszentrum mikrooptische systeme

2 CiS - Competence in Silicon CiS - Competence in Silicon Als Anbieter von F&E-Dienstleistungen steht das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH für competence in silicon. Basis ist die Siliziumtechnologie, die am CiS mit den Zukunftsfeldern Mikrosystemtechnik, Photovoltaik, Optik und Nanotechnologie verknüpft wird. Rund 120 Wissenschaftler und Ingenieure unterstützen die Unternehmen auf dem Weg zu neuen Produkten und Verfahren. In der Innovationskette versteht sich das CiS als Bindeglied zwischen Wissenschaft und Wirtschaft. The CiS Research Institute for Micro Sensor Systems and Photovoltaics as a provider of F&E services stands for competence in silicon. CiS combines established silicon processes with advanced technologies in microsystems engineering, photovoltaics, optics and nanotechnology. Around 120 engineers and scientists support private companies in developing new technologies and products. Within the innovation chain the CiS is the link between science and industry. Forschung & Produktion aus einer Hand In der traditionsreichen CiS-Sparte Mikrosystemtechnik arbeiten die Forscher und Entwickler an Komplettlösungen auf dem Gebiet der mechanisch-optoelektronischen Mikrosysteme für Anwendungen in der Medizintechnik, Prozessmesstechnik und Kommunikationstechnik. Ergebnis der Forschungsaktivitäten ist die Technologieführerschaft bei den Produkten Drucksensoren, Strahlungsdetektoren und Photodioden. Diese Kompetenzen begründen auch die Spitzenstellung des CiS in der Solarforschung. Research & production from one source In the Microsystems engineering area, CiS scientists and engineers develop mechanical and optoelectronic solutions for medical engineering, measurement and communication technologies. As a result, CiS has gained technology leadership in manufacturing of pressure sensors, radiation detectors and photo diodes. These competences also establish the top position of the CiS Research Institute in solar R&D activities.

3 Geschäftsfeld amos Business field amos Das Geschäftsfeld amos entwickelt kundenspezifische, mikro-opto-elektronische Sensorsysteme mit Fokus auf industrielle Anwendungen und technologische Herausforderungen auf den Wachstumsmärkten, wie Gesundheit, Umwelt und Sicherheit. Angewandte Forschung, Silizium-Mikro-/Nanotechnologien sowie System-Know-how aus Optik, Optoelektronik und Mecha-tronik sind die Basis für innovative Lösungen. In the business field amos customer-specific micro-opto-electronical sensor systems are developed for industrial applications as well as the health, the environmental and safety market. Applied research, advanced Si-based micro- and nanotechnologies and system know-how in optics, optoelectronics, mechatronics and semiconductor technologies are the basis for innovative solutions. Fotodioden, Fotodioden-Arrays Kundenspezifisches Chip-Design Schnelle, hochsensitive Si-Dioden ( nm) Fertigung kleiner und großer Stückzahlen Strahlungsdetektoren Pixel- und Streifendetektoren Technologieentwicklung und Design Prototyping und Kleinserienproduktion Optoelektronische Sensorsysteme Strahler-Empfänger-Baugruppen Miniaturisierte optische Sensorkomponenten für Life Science und BioMST-Anwendungen Streulichtsensoren (z.b. Partikel, Trübung) Nivellierungssensoren Photodiodes, Photodiode arrays Customised chip and solution designs Fast and high-sensitive Si-detectors ( nm) Small and large volume production Radiation detectors Silicon microstrip and pixel detectors Technology development and device design Prototyping and small volume production Optoelectronical sensor systems Microoptical emitter-detector-modules Optical sensors for life science, lab-on-chip and BioMST Scattered light detectors (e.g. particles, turbidity) Levelling sensors

4 Ausstattung Equipment Wafer 4 Wafer Linie, Doppelseitiges Waferprocessing, Lithografie < 1µm Spray-Coating für 3D-MEMS/MOEMS RIE-, Plasmaätzen, Wet-Bench für MEMS/MOEMS Hochtemperaturprozesse LP-CVD, PE-CVD, Magnetronsputtern Silizium-Direktbonden, Anodisches Bonden Wafer 4 Wafer line, front and backside processing, Lithography < 1µm Spray-Coating for 3D-MEMS/MOEMS RIE- and Plasma etch, Wet-Bench for MEMS/MOEMS High temperature processes LP/PE-CVD, Magnetron sputtering Si-direct bonding, anodic bonding Aufbau- & Verbindungstechnik Automatische Chip-Bonder, manuelle Fine-Placer Vollautomatische Ultraschall- und Thermosonic-Draht-Bonder Halbautomatischer Drahtbonder Schablonendrucker und SMD-Bestücker Dampfphasen-, Bügellöt-, Vakuum- und Laserlötanlage Automatischer Dispenser Test & Analytik 8 Waferprober, 4 und 6 Doppelseiten-Waferprober Opto-Waferprober ( u.a. OBIC) SIMS-Tiefenprofilanalyse, REM mit EDX, AFM Optische und mechanische Profilometer Klimaprüfschränke, Temperaturschockschrank, Pressure cooker Halbleitermesstechnik ( CV, TVS, UBR, pin-hole, lifetime ) Simulation & Design Layout CAD-Software FEM-Simulationstools für elektrische, optische, mechanische und thermische Berechnungen (z.b. SILVACO: ATLAS, TESCA, ATHENA, FLOODS; ANSYS, COMSOL) SPICE-Simulatoren (HSPICE, CADENCE pspice) Assembly and packaging Automatic die bonder, manual fineplacer for flip-chip assembly Automatic ultra sonic and thermosonic wire bonder Semiautomatic wire bonder Screenprinter and SMD mounter Vapor-phase, hot bar, vacuum and laser soldering equipment Automatic dispenser Test & Analytics 8 wafer prober, 4 and 6 front and backside wafer prober Opto wafer prober (e.g. OBIC) SIMS-analysis, SEM including EDX, AFM Optical and mechanical profilometer Climate and temperature shock test chambers, Pressure cooker Measurement techniques e.g. CV, TVS, UBR, pin-hole, lifetime Simulation & Design Layout CAD-Software FEM-Simulation tools for electrical, optical, mechanical and thermal calculations e.g. SILVACO: ATLAS, TESCA, ATHENA, FLOODS; ANSYS, COMSOL SPICE-Simulations (HSPICE, CADENCE pspice)

5 Referenzen (Auszug) References CORRSYS DATRON Sensorsystems OptiMi Optical Microsystems Projekte Projects Mikrooptische Sensoren für Medizin und Gesundheit: Vitalparameter-Monitoring, Herz-Kreislauf-Diagnostik, Pulsoximetrie, Diabetes-Sensorik, Mikromedizin Partikelsensoren zur Detektion von Verschmutzungen in Fluiden Fluoreszenzsensoren: Lab-on-Chip-Anwendungen, Optische Biosensoren Colorimetrische Sensoren und Miniaturspektrometer Interferenz- und Polarisationssensorik Strahlungsdetektoren: für Hochenergiephysik, medizi- nische und industrielle Anwendungen Microoptical sensors for health applications: Vital signs monitoring, micro-medicine, mobile devices, cardiovas- cular diagnostics, pulse oximetry, diabetes sensors Particle sensors for the detection of contamination in fluids (particles in oil) Fluorescence sensors: Lab-on-Chip and BioMST Colorimetric sensors and low-cost miniature spectro- meters Interference and polarisation sensors Pixel and microstrip detectors for high-energy-physics experiments, advanced radiation imaging and material analysis

6 AZM Kontakt & Anfahrt Contact & Approach CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH Geschäftsfeld amos Leiter Dr. Olaf Brodersen Konrad-Zuse-Straße Erfurt/Germany Tel.: +49 (0) Fax: +49 (0) / Erfurt Zentrum Weimar B7 Am Herrenberg Dittelstedt Urbich Konrad-Zuse-Str. Kranichfelder Str. Konrad-Zuse-Str. Windischholzhausen Erfurt- Südost Straßenbahnlinie 3 vom Hauptbahnhof Richtung Windischholzhausen bis Haltestelle Industriegebiet Südost Frankfurt/M. A 4 Haarbergstr. Niedernissa 47 Dresden A 4 AS Erfurt-Ost