Labor für Mikrosystemtechnik Fakultät für angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik

Größe: px

Ab Seite anzeigen:

Download "Labor für Mikrosystemtechnik Fakultät für angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik"

Jasmin Ritter
vor 5 Jahren
Abrufe

1 Fakultät angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler

2 Übersicht Praktika Projektstudien Bachelor- und Masterarbeiten Dissertation Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, 2

3 Beispiele Praktikumsversuche Ätzzelle geätzte Proben Herstellung von porösem Silizium zum Einsatz in dielektrischen Spiegeln Oberflächenwellenfilter auf LiNbO 3 Fingerbreiten: ~3µm Mittenfrequenz: ~80MHz Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, christina.schindler@hm.edu 3

4 Übersicht Lithographie Dünnschichttechnik Messtechnik Inkjet-Druck Beispiele Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, 4

Lacke, Alu-Ätze, Ultraschallbad, Leitwertspülung, Hochdruckreiniger Wafer Maskaligner Titel Präsentation

5 Lithographie Maskenschreiber DWL kleinster Laserspot: 0,5µm Belichtungsanlage 4Zoll, kleinste Struktur: 1,5µm; Ätzen einer Maske auch Rückseitenbelichtung (2,5µm) Nassbänke Entwickler, KOH, HF, Chrom-Ätze, Lacke, Alu-Ätze, Ultraschallbad, Leitwertspülung, Hochdruckreiniger Wafer Maskaligner Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, 5

Dünnschichttechnik Lackschleu 500 9000rpm Typ.

Al, Cu, Au, Cr, Au, Ni, Isolatoren: SiO 2, ZnO Trockenoxidation PEO SiO 2 Schichten 5nm 1,8µm

6 Dünnschichttechnik Lackschleu rpm Typ. Schichtdicken 0,5µm 150µm HMDS Vakuumofen Leybold Aufdampfanlage Aufdampfmaterialien: Metalle: Al, Cu, Au, Cr, Au, Ni, Isolatoren: SiO 2, ZnO Trockenoxidation PEO SiO 2 Schichten 5nm 1,8µm Oxidationsofen Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, christina.schindler@hm.edu 6

Dünnschichttechnik p- und n-dotierung im

7 Dünnschichttechnik p- und n-dotierung im Oxidationsofen Programmierung Isolation zum Schutz vor Kammerdotierung Anordnung mit Dotierwafern Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, 7

Bildauswertung Titel Präsentation wieholt (Ansicht

8 Messtechnik Optische Mikroskope max. Vergrößerung: 100fach Profilometer 10nm 1,5mm Scanlänge 10cm Spitzenradien: 5µm, 12,5µm, 25µm Achse mit Mikroskopen Rasterelektronenmikroskop Profilometer Bildauswertung Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, 8

Schichtdicken: 1nm - 10µm Konfokalmikroskop Ellipsometer Titel Präsentation

9 Messtechnik Konfokalmikroskop / Weißlicht- /Phase Shift-Interferometer Reflektometer Schichtdicken: 20nm 40µm Ellipsometer Wellenlänge: 632,8nm Schichtdicken: 1nm - 10µm Konfokalmikroskop Ellipsometer Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, christina.schindler@hm.edu 9

10 Inkjet Printing Inkjet printer: Fuji Dimatix 2831 Tinten: Ag Nanoparticles Leitende Polymere: PEDOT:PSS (poly(3,4-ethylenedioxythiophene): poly (styrene sulfonic acid ) ) transparent (semi-) conducting S/cm 1-10pl Tropfenvolumen 20µm Auflösung 0,1-0,5µm Schichtdicke Design: Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, christina.schindler@hm.edu 10

11 Laufende Projektstudien und Abschlussarbeiten Dotierung von Si-Wafern mittels Diffusion Optimierung des Herstellungsprozesses poröses Silizium und sein Einsatz in elektrochemischen Speicherzellen Herstellung und Charakterisierung resistiver Speicherzellen auf Basis von SiO 2 Gedruckte Bauelemente: Speicherzellen und Sensoren Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, christina.schindler@hm.edu 11

12 Resistives Schalten basierend auf Filamenten oxidierbar oxidierbar oxidierbar oxidierbar M z+ inert inert inert inert Oxidation Reduktion an Nicht-flüchtiges Auflösen des Top-Elektrode Bottom-Elektrode leitendes Filaments Ionenmigration Nukleation Filament ON OFF Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, christina.schindler@hm.edu 12

13 Speicherzellen mit gedruckten Elektroden Ag / 15nm SiOx / Polymer Bipolares Schalten V on ~1,2V V off ~0,2V I comp = 70µA R off / R on ~ 100 C. Schwarz, M. Kaiser, S. F. Jacob, C. Schindler Partially printed resistive memory cells on rigid and flexible substrates, pss-a, DOI (2016) Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, christina.schindler@hm.edu 13

14 Kontakt Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler: Dipl. Ing. (FH) Michael Kaiser, M.Sc.: Bernhard Huber, M.Sc.: : Lothstraße 34, Gebäude D, Raum D206/207 Tel.: Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Fakultät 6, 14

Ähnliche Dokumente

Labor für Mikrosystemtechnik Fakultät 6

Labor für Mikrosystemtechnik Fakultät 6 Fakultät 6 Prof. Dr.-Ing. Christina Schindler, Michael Kaiser (M.Sc. FH) Übersicht Lithographie Dünnschichttechnik Messtechnik Beispiele Titel Präsentation wieholt (Ansicht >Folienmaster) Prof. Dr.-Ing.