Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar/SF 6 /O 2 -Plasmajet

Transkript

1 Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar/SF 6 /O 2 -Plasmajet Von der Fakultät für Physik und Geowissenschaften der Universität Leipzig genehmigte Dissertation zur Erlangung des akademischen Grades doctor rerum naturalium (Dr. rer. nat.) vorgelegt von Diplom-Physiker Thomas Arnold geboren am 27. Dezember 1975 in Schkeuditz Gutachter: Prof. Dr. B. Rauschenbach Prof. Dr. G. Bräuer PDDr. H.Kersten Tag der Verleihung: 21. November 2005

2

3 ituhim?} h?l*_c N? ihtu?}i? 3h Mi4 3i? L? 5*34 4 i?i4 h%56 S % 2 *@t4@i wit3}c L? S. 5i i?c HD ic SS MM*_?}i?c A@Mi**i?c?@?}i +iuih@ G #i Lh*i}i?_i hmi MitU@u } tu 4 Bh?_*@}i?? ihtu?}i? 3h *@t4@ Ui4i?_ 3 Ah@?tTLh ThL3itti? Mi4 3i? L? 5*34 4 i?i4 i? +i@! }@t*@t4@i #ih *@t4@i h_ 4 _i? B@ti? hc 56 S?_ 2 4 #hu!mihiu L? R ' Df 4M@h Mi himi? 5UihT?! i _ih hmi t? h@! ihtih?} _it *@t4@i t 4 ki??}hlyi? i Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? tli?tu *U h c i?}i?_ *L!@*ih Vih i*?} _ih }im*_i i? hi@! i? 5Ti3it,t h ih,?y _ih hl3iyt@h@4i _i,? *@_?}ti}i? tu@u _i *_?} hi@! ih 5Ti3it? ihtu #iti ihi? ih_i? iu@?t4i??_ `iuti*h!?}i? 3tUi? *@t4@i?_ 55Mt h@ Mi4 3Lh}@?} U@h@! ihtih *t L_i? h_i? i4ttl?ttti! hl4i htui i L_i? E,5 3h it 44?} L? Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i??_ 4@tti?tTi! hl4i htui Vihu@hi? i +it }@t@?@*)ti E+B?_ u h ttl hl4i hi E5 3h i? it 44?} L? Ai*Ui?@h i??_ uh ic i itt?}i? L? Ai*Ui?t hl4_u i?? t i?}iti 3 #i N? iht U?} L? }i@ 3 i? 5*34LMih@Ui? ihul*} i i t 4?@*)ti4i L_i? i kh@u 4!hLt!LT E6?_ L Li*i! hl?i?tti! hlt!lti Ej5,t h_ }i3i} c _@y tu _hu #ttl3@ L??_ +i!l4m?@ L? L? 56 S L*i!*i? 4 *@t4@i i? U@h@! iht tuit *L!@*it 6*Lht hl4_u ithl c _@t tu? ih _i? 4it i? hl3iymi_?}?}i? Mi4 3i? ThLTLh L?@* 4 5*34tMt M*_i #i N4@?_*?} uhiih 6*Lh@ L4i 3 56 e uh 3h Vih@h4?} L? 6*Lh@ L _ih 5Mt h@ LMih@Ui?_ ih?_ih _i +i!l4m?@ L? L? 56 % +@_!@*i? E% ' fccd 3 56 S,?i 6L*}i _@L? t _i *_?} L? 5Uiui*T@h!i*?c _i4 5Mt h@ 3 i?ih +@i uhi? yih_i4!l44 it _hu N4ih i*?}tigi! i _it 6*Lh i*ui?t hl4t 3h *_?} U@h@! iht tuih Mih@Ui?t h! hi? #i 5Uiui*T@h!i*M*_?} h hu _i?iti?i L? 2 4 *@t4@i ih?_ih it 3?i_h}i? 3h@ i??_ i?ih Mih@Ui?h@i _i? }il??i?i? ki???tti? *@y tu _ih 3ThL3iy }i3i* LT 4ihi? u}h? it Li? VL*4i?@M h@}t ThL ~i i?i Mi i tu _ih 3ThL3iy uh i*i?i? E3 M h@} L??!LhhLtL?ttUU i? t `i}i? _ih +@i tm* _?} t _ih uh _i?@?l4i htui B*@?} L? Mih@Ui??}ii}?i

4

5 tih3iu?t,?*i?}.,?uh?}. 2 ~i*t i**?} _ih hmi f 2 )t!@*tuui4tui Bh?_*@}i? 2 it `tti?t 22!hLi**i?@?}ihi} i *@t4@i t e 22 #i *@t4@@?hi}?} e 222 #@t h?3t _it T*@t4@Ui4tUi? +i@! Lht H 2 B@tT@ti?hi@! L?i? 4 56 S *@t4@ b 2 +i?i 56 S,? *@_?}i? b 22 #ih,?y L? 2 ~4tU?}i?? 56 S 2f 2 #ih,?y L? 2 ~4tU?}i?? 56 S 22 2e +i@! L?i? L? 56 S *@t4i? 4 _ih 5Mih@Ui 2, Tih4i? i**i i L_i? 2., Tih4i? i**ih um@ 2. #i hl3iy!@44ih 2. 2 hl4i ih 2b #@t LT tui 5Ti! hl4i ih e #@t )hl4i ih 2 D 5*34hLMi? 2 2,4ttL?ttTi! hl4i htui i L_i? 2 2 #i it 44?} _ih L?t i4tih@ h 2 22 #i it 44?} _ih?hi}?}t i4tih@ h D 2 #i it 44?} _ih,*i! hl?i?_u i hl4i htui i L_i? b #i +it }@t@?@*)ti b

6 tih3iu?t 2 #i u h ttl hl4i hi ef #i it ih Ai*Ui?t hl4_u i? e e #i it 44?} *L!@*ih 5 hl4_u i? ee D 6i*ih_t!ttL? es e #i it 44?} _ih Mih@Ui? i4tih@ h e. D #i T)t!@*tUi?_ ihtih?} _ih hlmi?lmih@ui Df D #i it 44?} L? 3h@ i? Df D2 #i it 44?} L? Mih@Ui?h@i i? D2 D #i Ui4tUi Mih@Ui?@?@*)ti D2 e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i D e #@t LT tui 5Ti! h4 D e2 L?t i4tih@ hi? DD e?hi}?}t i4tih@ hi? S2 ee,*i! hl?i?_u i? SD ed,*i! hl?i? i4tih@ hi? S. es ~t@44i?u@tt?} Sb D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i. hl4i L? +@_!@*i??_ WL?i? 4 *@t4@. hi? L? i h@* i*ui?. D L? 56 %?_ 6+@_!@*i?. L? 56c 56?_ VihM?_?}i?.D D e Lt i?_?i}@ i WL?i?.S D2 wl!@*i Ai*Ui?t hl4_u iih i*?}i? 4 h%56 S *@t4@i.. i h@* i*ui?5 hl4_u i?.. WL?i?t hl4_u i? He D2 Vih}*iU _ih t hl4?}t_)?@4tui? 54 *@ L? HH D ~t@44i?u@tt?} bf S,?y _ih hl3iyt@h@4i *@_?}t}il4i hi?_ 65 hl4_u i? b S #ih,?y _ih!hli**i?*it?} b S2 #ih,?y _it hl3iy!@44ih_hu!it bd S #ih,?y _ih 56 S B@tyh@ i b. e

7 tih3iu?t Se #ih,?y _ih 2 B@tyh@ i f2 SD ~t@44i?u@tt?}. `iuti*h!?} _it *@t4@i t 4 _ih 5Mih@Ui. Ai*Ui?t hl4_u i??_ 3h@ i? Mi4 3i? L? 5*34.2 Mih@Ui?i? U!*?} Mi4 3i? 4 h%56 S 2e. 5 hl4_u i??_ Mih@Ui?i? U!*?} Mi4 3i? 4 h%56 S % 2 2.e ~t@44i?u@tt?} S H ~t@44i?u@tt?}?_ tm*u! b wt i? _ih ihi?_i i? 5)4ML*i?_ M!h3?}i? ed L_i**ih?} _ih 5 hl4?}t_)?@4!? ih Ui4tUi? k?i! 4 *@t 4@i eb Bh?_*@}i? eb 2 itti*i Df t}i@* i 5 Lgi}i?tU@u i? DD E56 S DD 2 5*34 E5 DS w ih@ hih3iu?t D. D

8 tih3iu?t S

9 i*,?*i?},?uh?},*i! htui 6Lh4 L? t }i?_t hi**i? i?_?} Mi _ih `ih!t i 5U?i_i?c Lhi?c 5Uiyi?c t d oc Mi _ih MtUi_?} L? 5UU i? d2oc Mi _ih Oiht i**?} *ih? do L_ih Mi _ih VihMhi???} L tuih Mu@**i deo #@?imi? _i?i? uh _i? tti! }ih?}t ih 5 Lg4i?}i? _hu L4i4ttL?ttTi! hlt!lti E,5 dd 2o i _i? 4it i??_t hi** }i? 3 i? Vihu@hi? h ih *@t4@i 4 L}i? i?ih B*iUtT@???}ti? *@_?} d o M3!@T@3 }i!ltti* i O6,? *@_?} ih3i} d o Oih t i _ih,?ih}i?_ 5 Lg h@?tuih 4 VLh_ih}h?_ 6h T*@t4@Ui4tUi AhLU!i?@ 3ihu@hi? 3h Mih@Ui?t h! hih?}?_ ulh4 }im?} ih_i? _iti *@t4@i t i}i? _ih Li? ih4tui? i*@t?} _ih 5Mt h@ i? it?h?3hiui?_ Mi!@?? i? 3ih@* i?tc _@t L? i?ih }hlyi? ~@* c Mtih hi*@ ti* i? i?}iti 3 #i?hi}?} L? *@t4@i t 4!hLi**i? it? _itih O?tU }i}i?mih _i? }i?@?? i??hi}?}t4i L_i? i?i +ii L? VLh d eo 5L t i Mi tti*titi _@t *@t4@ Mi!hLi**i?i? *@_?}i??u 4 4,*i! hl _i?c tl _@y!i?i Vih?hi?}?}i? _it *@t4@t L_ih _it 5Mt h@ it 4,*i! hl _i?4@ hi i?!l??i?!hli**i?@?}ihi} i *@t4@i t *@tti? tu 4 ih tui_i?i? hi@! i? B@ti? Mi himi? hl3iyt@h@4i ih!l??i? i*iti Mih 4i hihi ih_i?!hli**i?i? *@_?}i? t?_ i_ih i4tih@ hu }*iu}iu tt*@t4i? 4 B@t i4tih@ hi? 3tUi? D f 2 k?_ f e k!hli**i?t*@t4@i t *@tti? tu Li #U i? hi@! ih 5Ti3it E3 6 3 WL?i?c 6+@_!@*i Mi4 3i? 3 tih Li? M h@}th@ i? E )TtUihiti DDf 44 * 5*34 uh _iti?,}i?tu@u i? i}?i? tu 4!hLi**i?@?}ihi} i *@t4@i `ih!.

10 i*,?*i?} 3i} uh ih 5Mt 5*34c 5 t*34m@tih ih@*i? #iti!l??i?? i?ih ih hi M@hi? ~i Mi@h Mi i ih_i? Bi}i?Mih 4iU@?tUi? kl?!hhi?3ihu@hi? i 5U*iui??_ L*i T*@t4@Ui4tUi 3ihu@hi? _i? VLh i*c _i LMih@Ui??@i? BiMi i!@4 3 tu@_}i? d Do,?i +ii L? i L_i? uh _i T*@t4@Ui4tUi Mi?_i? tu 3h ~i? _ih,? U!*?} d S2Ho U wim?3w?t uh Mih@Ui?4L_ 3ih?} ivc wit3} EW? _i? *i 3 i? u?u a@hi? i? U!i* i T*@t4@}it 3 i 3ihu@hi? 4 i?i4 4!hLi* *i?@?}ihi} i? *@t4@i 3h,h3i}?} L? 6*Lhh@_!@*i? t i** i?i i L_i _@hc _i tu _hu tih Li 3h@ i? Mi tl ih@*@m d2b o,t!l?? i }i3i} ih_i?c _@y _itit ih i L? i? t i**m@hi? hl3iyt@h@4i ih? E!hLi**i?*it?}c hl3iy_hu!c B@t4tU?}c B@t ttic }il4i htui Vih@*?tti 4 h?3t i*ti }?_ i t **ih_?}t t Mtih?LU i?} Mih 3@! i? 5Ti3itc _i iti? *Ui? hl3it ti ih@*@m h@}?_ Mih _i Mih@Ui?i? U!*?} E 3ThL *ic +@i Mi!@?? N4 _i? 3ThL3iy }i3i* 3 Mii?tti??_ }ii}?i i hl3iyui?t ih 3?_i?c i*ui _i +ithl_3ihm@h!i _ih 3h@ i? ih Mih@Ui?MitU@gi?i }i@h*it i?c ih iu i ki???tti Mih T)t!@*tUi?_ Ui4tUi hl it 3Lh}@?}it?L i?_} #i Lh*i}i?_i hmi tl** _it@*m i?i? i h@} 3h u!*@h?} _itih hl3itti 4 *@t4@?_? _ih `iuti*h!?}t3l?i L? *@t4@?_ Mih@Ui *it i?c 4 _i? Bit@4 ThL3iy 3 U@h@! ihtihi??_ ii? i** i?i }i3i* _@t 3ih}iM?t 3 ih4l}*ui?,t h_ i? L_i**t)t i4 Mi h@u i c i?i4 h%56 S *@t4@i E i*iti 4 2 ~4tU?}?_ i?i4 5*34@uih Mit i #ih i? i?i4 #hu!mihiu L? R g ' Df 4M@h Mi!hLi**i?*it?}i? L? )TtUihiti Sf `?@? it #@}h@44t? MM tl** ihi?u@u _@t *@t4@mih@ui?5)t i4 4 _i? iti? *Ui?,?y}hLyi? _@h}it i** ih_i?g E M@?}} L? _i? i?}it i** i? hl3iyt@h@4i ih? M*_i? tu _i T)t!@*tUi??_ Ui4tUi?,}i?tU@u i? 4 i4 it tu 4 i? *L!@*?L4L}i?it *@t4@ u}h? ih hi*@ }ih?}i? h@4*ui? t_i??} t?_ Bh@_i? i? T)t!@*tUi? BhLyi? 3 ih@h i? #i *@t4@ Ui4i L? 56 S t i}i? i?ih Vi*3@* L? 4L}*Ui? +i@! L?i? tih!l4t*i W? M@?}}!i L? _i? *L!@*i? *@t4@!i??}hlyi?!l44 it 3 *L!@*? ihtui_*ui? Ai*Ui?_U iih i*?}i? yih_i4 _@y H

11 ,?uh?} Prozeßparameter (MW-Leistung, Druck, [Ar]/[SF 6 ]/[O 2 ]) Energiefluß (i) Plasmajet Gastemperatur, Elektronentemperatur Elektronendichte, Neutralteilchendichten Teilchenflüsse (ii) Si-Oberfläche Oberflächenreaktionen Materialabtrag Ätzprofil, Oberflächenrauhheit Deelogxqj 414= Yhuhlqidfkwh vfkhpdwlvfkh Gduvwhooxqj hlqhv Sodvpdmhw0 Dw}sur}hvvhv1 t hl4?}t_)?@4tui,gi! i _i *L!@*i? Ai*Ui?_U iih i*?}i? imi?u@**t Mii? tti? #i 3t@ 3*Ui ~4tU?} L? 2 3 i?ih Vihi*u@U?} _ih Ui4tUi? +i@! L?tTu@_i E #i *L!@*i? Vih i*?}i? L? Ai*Ui?_U i??_,?ih}i 4 *@t4@ Mit 44i? _i *L!@*i? Ai*Ui??_ `@h4it hl4_u _ih _i T)t!@*tUi??_ Ui4tUi? hl3ittic _i 3h *_?} _it U }i? 3ThL_! it 56 e?_ *i 3 *U ih@*@m h@} uhi? imi? _i4 3@M h@}!l44 it 3h tm*_?} L? Mih@Ui?h@i c _ihi? Nht@Ui??_,? t i?}?!*@h t #i i Tih4i? i**i? N? ihtu?}i? t?_ 4 +@4i? _it Ai*ThLi! it D i U@?t4i??_ #)?@4! _ih *L!@*i? *@t4@i Mih@Ui?Mi@hMi?} _ih?t}i 3i? Ai*ThLi! i? Mit ii?_i? #6B6LhtUih}hTTi SD Ai*Ui?t h@*i? t 4*ih i N* h@th@3tl?tmih@ui?mi@hmi?} EA5N _hu}iuh Lh_i? W??ih@*M _it #6BAi*ThLi! it D _i?, Tih4i? hiu?ih }it 3 i L_i**ih?}i? _it *@t4@@ 3t)t i4t L? Oihh? #T*i4 7 DiBON t" E,h?t Lh 3h?_ Bhiut@* hu}iuh Lh_i? #i 54*@ b

12 i*,?*i?} L?thiU??}i? MihU!tU }i? _i iti? *Ui? tti! i _ih 5 hl4?}t_)?@4! 4 5)t i4 tli _i Ui4tUi VL*4i?!?i! E,*i! hl?i?t Ly@?hi}?}c +@_!@*hi@! L?i?c tc LMi _i +@?_?_?u@?}tmi_?}?}i?? i?}ih Mt 44?} 4 _i? i Tih4i? i**i? Bi}iMi?i i??_? ih Vihi?_?} L? i Tih4i? i** ih4 i* i? *@t4@!i??}hlyi? }i@* h_i? #it ih4l}*u _i? Vih}*iU 3tUi?, Tih 4i??_ L_i** #i 54*@ L?i? tl**i? 34 T)t!@*tUi? _ih i Ti h4i? i**i? i Mi i 54*@ L?tih}iM?tti ih_i?? _itih hmi }i3i},?i!h3i ~t@44i?u@tt?} 3h L_i**ih?} t??@?} }i}imi? #i Bit@4 54*@ L?tih}iM?tti h_? i?ih L? L? 7 DiBONt" ihlgi? *U 2 ~i*t i**?} _ih hmi #i Lh*i}i?_i hmi MitU@u } tu 4 Bh?_*@}i?? ihtu?}i? 3h *@t4@ Ui4i?_ 3 Ah@?tTLh ThL3itti?? i?i4 h%56 S % 2 3t)t i4 ~?@Ut *i} _ih ihtih?} _ih T)t!@*tUi? ki?? }hlyi? 4 *@t4@i #@3 }ilh _i,h4 *?} L? U@h@! iht tui? Ai4Tih@ hi??_ hih *L!@*i? Vih i*?} tli _i it 44?} _ih,*i! hl?i?_u i W? _iti4 ~t@44i?@?} _i,?tti _ih hl3iyt@h@4i _i *@t 4@!i??}hLyi?? ihtu ih_i? #@4!@?? _@t *@t4@?tu *U _it B*iU}i U A)Tt i?}ilh_?i ih_i? @h@4i ih uh _i hiu?ih}it 3 i L_i**ih?} W4 i ihi? Vih*@u _ih hmi tl** _ih *@t4@i?tu *U h c i?}i?_ *L!@*ih Vih i*?} _ih }im*_i i? i h@* i*ui?c hi@! i? +@_!@*i?_ WL?i?? ihtu ih_i?,t tl**i?,h!i???tti Mih _i?,?y _ih hl3iyt@h@4i _i *_?} _itih 5Ti3it }il??i? ih_i? #i ih4 i* i *L!@*i 5 h! h _it *@t4@t h_ 54*@ L?thiU??}i? ih}*ui? W4?tU*y _@h@? h ih,?y _ih hl3iyt@h@4i _i }il4i htui??_ Ui4tUi? Vih@*?tti 4 _i _@h@t ul*}i?_i tmi i L? hi@! i? 5Ti3it? _i,}i?tu@u i? _it *@t4@i t? ihtu Lh_i? t?_c tl** _@?? _ih ihtih?} L? 34iU@?t4i??_ `iuti*h!?}i? 3 tui? *@t4@?_ 55Mt h@ *i}i? 3ihtUi tl**i? utu*y Mih Ui4tUi?_ T)t!@*tUi,gi! _ih 5Mih@Ui }imi??_ Nht@Ui? uh _i tu M* f

13 2 ~i*t i**?} _ih hmi _i?_i ih4 i*? #i hmi t ul*}i?_ih4@yi? }i}*i_ih G k@t i* Mt Mi?@* i? _i,?*i?}c _i #@ht i**?} _ih T)t!@*tUi??_ Ui4tUi? Bh?_*@}i? tli _i,h*@ ih?} _ih ihi?_i tui? i L_i??_ hih Bh?_*@}i? M k@t i* e Mi}?? _i #@ht i**?}?_ #t!ttl? _ih i Tih4i? i**i?,h }im?tti,t h i *L!@*i Vih i*?} L? *@t4@!i??}hlyi? i L?t i4tih@ h?_ i*i! hl?tui?hi}?}t i4tih@ hc,*i! hl?i? i4tih@ h?_,*i! hl?i?_u i 4 i4ttl?ttti! hl4i htui? i L_i? Mit 44 k@t i* D MitU@u } tu 4 _ih?@*)ti _ih 4 *@t4@ }im*_i i? hi@! i? +@_!@*i?_ 5Ti3it 4@tti?tTi! hl4i htui? i L_i? ih_i? *L!@*i Ai*Ui?t hl4_u iih i?ih L4 hl4 i? Mih@Ui ih4 i* W? k@t i* ih 5Ti3it _i th!?} _ih hl3iyt@h@ 4i _i,? *@_?}t}il4i hi? i 6*Lhh@_!@*M*_?} Mi h@u i k@t i*. Mi?@* i N? ihtu?}i? ih@*@m _ih 5*34LMih@ Ui,t ih_i? iuti*ti }i Ui4tUi?,?tti 3tUi? 5Mt h@ LMih@Ui?_ *@t4@ _t! ih i*t ThL *L4i htui?c 4!hLt!LTtUi??_ Ui4 tui? i L_i? ih_i? }i@ 3 i #@Mi _i,? U!*?} _ih _i *_?} L? U@h@! iht tui? 5 h! it 3i?t i?}i}@?}i?,?i ~t@44i?u@tt?}? k@t i* H t i** _i }il??i?i?,h}im?tti?lu i? 4@*?!h3ih 6Lh4 _@h

14 i*,?*i?} 2

15 i* 2 )t!@*tuui4tui Bh?_*@}i? 2 it `tti?t #ih? _ih Lh*i}i?_i? hmi? ihtu i *@t4@i }ilh 3h BhTTi _ih 4!hL i**i?@?}ihi} i? *@t4i? Ei?}*G 4UhL@i?_Ui_ T*@t4@tc W 5L*Ui *@t4i?c?tmitl?_ihi? _ih *@t4@i M3 tl}i?@?? i 4UhL@i T*@t4@ LhU EAc ih_i? ti 3i? WL?ti h?}t^i**i uh _i L4i4ttL?ttTi! hlt!lti E,5? i B@tUhL4@ hl4i hi EB5? ihtu dbc c 2eo it tu 4 W?ih }@t%ihltl**@t4@i tc _i 4LtT@htUi4 #hu! Mi himi? ih_i?,t h_i? i?i +ii L? A i? U!i* c _i t@u*u? _ih h _ih,?ih }ii?!ltt*?}? ihtui_i? d fcdho #i uh _i N? ihtu?}i? ihi?_i i _i4 L? ca dscho MitUhiMi?i??U hitl?@? i? A 4!hLi**i?i?!LTT*?} Mih hu}ii?_ }@*@?tui? VihM?_?}i? E}* MtU? #i Vihi?_?} _it A?hi}?}tTh?3Tt uh _i,h3i}?} L? Lh@* }i? hl3iyt*@t4i? uh _i Mih@Ui?Mi@hMi?} t 3iht L? N6c 8iBA"?_ 7WAa,ji EW d2bo MitUhiMi? Lh_i? #ih Mihi}i?_i Ai* _ih VihLgi? *U?}i? 3 i_ih i4tih@ h*@t4@i t!l? 3i? hih N? ihtu?}i? 34 5 hl4?}tih@* i??_ 3 _i?,? *@_?}t i}i?tu@u i? dbeeo #iti ihi? h_i? i?ih +ii L? hmi i? i htih?} L? 4LtT@hi?_hU!W?ih }@tt*@t4i? 4 4?4@*i? ~4tU?}i? ih uh _i L4i4ttL?ttTi! hlt!lti Mi@?_i* W?t MitL?_ihi h_i? ihtui_i?i *@t4@ i4tih@ hi? tli _i,*i! hl?i?_u i? M@?}}!i L? i?}i!ltti* ih wit?}?_ B@ty Lh t@u}i*lt Mit 44 d Dc.c _@y tu? Lh@* }i? i*i! hl?i}@ i? hl?i?_u iih i*?}i? i?t i**i?c tl _@y _i? ih? ihtu i? *@t4@i?u _hi! Mih h@}m@h t?_

16 i* 2 )t!@*tuui4tui Bh?_*@}i? ~h +i@! L?t!?i!? i_ih i4tih@ h*@t4@i t M3 3 _i? ìuti*h!?}t 4iU@?t4i? 3tUi? i?i4 hi@! i? *@t4@i? ih 5Mt h@ LMih@Ui }M it!@4 N? ihtu?}i? h t@u}i*lt i itt?}i? L? Ai*Ui?tti?? U i? t?_?u Mi!@??,t i t ihi? i_lu N? ihtu?}i? 3h ìuti*h!?} 3 tui?!@* i? +@_!@*tti??_ Mih@Ui? t*34@* ih@*i? 4 i_ih _hu!hi}4i d2sc2.cdfdo ì ih? }M it i?i }hlyi ~@* L? hmi i? 3h k?i! hi@! ih 5Ti3it? Lh@* }i?c hi*@ L4L}i?i? i_ih_hu!t*@t4i?? ihi? ìuti*h!?} 4 5*34?_ 5*34_L _LMih@Ui?c 3 ddes.o N? ih _i ti? i?ih}ihiui TLt i WL?i? uh _i? M h@} 4i?i? i?i }hlyi i_i?},?ih}ihiui WL?i? tti*i? Mi!hLi**i?T*@t4@i t? Lihi? #hu!mihiui? i_lu?h i?i? ih}ilh_?i i +L**i d eo Oih h ih M h@} _hu Ui4tUi +i@! L?i? 4 uhii? +@_!@*i? L_ih?i_ihi?ih}i tui? WL?i? Mit 44 #@ih!l??i? i_ih_hu!t*@t4i??h hi@! i *@t4@i t Mih h@}i? ih_i? W? _ih w ih@ h ih_i? ihtui_i?i?_ i*iti _ihtthu*ui?}@mi? Mih _i i? t ii?_i? 5Ti3it? 56 S % 2 *@t4i? }i4@u,t _@y tu _i Bit@4 i _ih T*@t4@Ui4tUi? +i@! L?i?? ihtui_i?i u@_i }*i_ih c _i i?@u i?}i!ltti* +i@! L?tT@h?ih? MitUh i? ih_i? dsh. o #@Mi i? t ii? VihM?_?}i? i ?_ 56 e tli ihtui_i?i 5 % 6 + VihM?_?}i? NMih _i th!?} _itih +i@! _i *_?} hi@! ih 5Ti3it }M it!i? i?i *Uit *_ W?iuih? _i *@t4@ui4i 4 *@t4@i _iti? ilhi tui??_ i Tih4i? i**i?,h}im?tti? i? tthu c t Mtih?!*@h 22!hLi**i?@?}ihi} i *@t4@i t 22 #i *@t4@@?hi}?}!hli**i?t*@t4i? 3@*i? 3 _i? i_ih i4tih@ ht*@t4i? W??ih@*M _itih BhT Ti t?_ L? _i? ii*}i? i himtt@h@4i ih? _i??u ih4tui? L_ih _i? ih4tui? *@t4i? 33Lh_?i? E}* MM 2!hLi**i?@?}ihi} i *@t4@i t t?_ Mihi}i?_?U ih4tui *@t4i? dsc.c DceDo #iti *@t4i? U@h@! ihtih c _@y ih _@t i B*iU}i U?U 5 LyThL3itti }*?_ ihtui_i?i Ai*Ui?tLh i?? ihtui_*ui,?ih}iih i*?}tu?! L?i? Mit 3i? d.2o #i,*i! hl?i?i?ih}iih } i?i L? _ih B!j,, e

17 i *@t4@i t Niedertemperaturplasmen Nichtthermische Plasmen (Nichtgleichgewicht) Thermische Plasmen (Gleichgewicht) T i T gas K T i «T e d 10 5 K ( 10 ev) T e T i T gas K z.b. Barriereentladung Koronaentladung kapazitiv u. induktiv gekoppelte Niederdruckentladungen z.b. DC-Bogenplasmen Induktiv gekoppelte HF- Plasmafackel bei atmosphärischen Druck Mikrowellenplasmajets Mikrowellenentladungen Flußreaktoren Deelogxqj 514= Nodvvl}lhuxqj ghu Qlhghuwhpshudwxusodvphq qdfk ^46/ :6`1 N, 56BAAVih 6Lh4 #i 4 *ihi,*i! hl?i?i?ih}i h_ Mih _i!?i tui,*i! hl?i? i4tih@ h A e ' fcd6 e e c LMi e tui?*ut i BitU?_}!i _ih,*i! hl?i? t #i ituhim?} _ih WL?tih?}t _hu _i 7BB.}}ji B*iU?} t 4L}*U * i Lu _hu i?i N, 56BAA Vih i*?} 4 _ih?hi}?}t i4tih@ h A i U MitUhiMi? ih_i? #i tuihi? Ai* Ui? EWL?i?c i i?i B!j,,N, 56BAABitU? _}!i tih i*?}c _i 4 _ih Ai4Tih@ h A M3 A }@t MitUhiMi? ih_i?,t }* A e : A i U : A A }@t d c eo W? _i? Lh*i}i?_i? N? ihtu?}i? ihul*} _i,?ih}ii?!ltt*?}? _i? *@t4@ i Mih i?i t ii?_i i*i! hl4@}?i tui ì**ic _i? i?i4 i?ti } *i? ì**i?*i ih Mihi }it i** h_ #i!hli**i h_ 44 c i?ih Lgi?i?,?_i _it W??i?*i iht 44 _ih i*i! htui? kl4tl?i? i _ih h Etii MM 22E@ dhc.eo #i ~?_?} _ih B@ti? _ih #ti ihul*} c i?? _i i*i! htui i?i? Mit 44 i? _hu!?_ ìh MihtUhi i?_ i? uhiit,*i! hl? Lh@?_i? t c _@t 3 _hu?@ h*ui +@4L?tih?} i? t i d c eo #itit,*i! hl? h_ L4 6i*_ D

18 i* 2 )t!@*tuui4tui Bh?_*@}i? ~ Koaxialleiter Plasmajet o E Gas (a) (b) Deelogxqj 515= +d, Vnl}}h ghu Sodvpdtxhooh plw Sodvpdmhw xqg hohnwulvfkhp Ihog1 +e, Irwr ghv Du2VI S 0Sodvpdmhwv lq ghu Sur}hndpphu1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 83 vffp/ 83 pedu> S 93 Z` S

19 i *@t4@i t MitU*i?} #hu?i*@t tui 5 Lyi 4 hl4i?_i? L4i? ih_i? _itic 34 Ai* i L?tih #@Mi ih_i? i ihi,*i! hl?i? uhi}iti 3,t i? t i i?i B@ti? *@_?}? 6Lh4 i?it *@t4@i t E}* MM _ih.ww,jttui? i3i?}? ' u / ce / c E2 LMi? _ih hiu?}t?_i c / _i 6hiî?3 6i*_it?_ / ce _i,*i! hl?i?t*@t4@uhiî?3 t c!l??i? i*i! hl4@}?i tui ì**i? 4 / ce? _@t *@t4@l*4i? i?_h?}i? #i,?_h?} iui B r _it i*i! htui? L? _ih O@ }!i _ih 5 Lyi 3tUi?,*i! hl?i??_ i h@* i*ui?c _ L? #hu!?_ 5 LyîhtU? #i B*iU?} uh _i,?_h?} iui *@ i G B r ' 2S 2 *2 " f 6 e D e 2? e / E22 Oih t D _i kl**tl?tuhiî?3c? e _i,*i! hl?i?_u i?_ / _i?hi}?}tuhiî?3 6h R ' Df 4M@hc? e ' f 2f 4 3 c D ' f f O3?_ / ' 2ceD 2Z BO3 ih}m tu? i?i4 h*@t4@ i?i,?_h?} iui L? i?i4 **4i ih W? _itih ~L?i h i?i? wit?} L? uhii?,*i! #i *iu i?,*i! hl?i? ul*}i? _i4 i*i! htui? 6i*_?_ ih_i? MitU*i?} #hu i*@t tui?_?i*@t tui 5 Lyi ih*ihi? ti hi,?ih}i i_ih #ih,?ih}imih h@} _hu i*@t tui 5 Lyi t i}i? _ih ihtui_i tih?igi!,? L?@hih t i** tu i?c i?? _i L? _i?,*i! ih,?ih}imih h@} _hu 5 Lyi }*iu t #@Mi M*_i? tu uh,*i! hl?i??_ tuihi Ai*Ui? ii*t? ih tui_*ui,?ih}iih i*?}tu?! #@t *@t4@ Mi?_i tu 4 ih4tui? U }*iu}iu #i!?i tui?,*i! hl?i? i4tih@ hi? A e *i}i?? *@t4@i t 4 ihiu 3tUi? fcs f e k?_ 2 f e kc _i!?i tui? B@t i4tih@ hi? A }@t *i}i? )TtUihiti 3tUi? f k?_ f k dsc.c ec Dc edo i?iti? i L? 4L*i!*@hi? B@ti? 4 *@t4@ uhi??i*@t tui 5 Lyi 3tUi?,*i! hl?i??_ L*i!*i? Mihi t Mi hi*@ }ih?}i?,*i! hl?i?i?ih}i? 3h?hi}?} L? 3h #ttl3@ L? _ih L*i!*i i?iti?i i?it i*i! hl?i}@ i? B@tit i 56 S!L44 3h?*@}ih?} *@?} t@4ih,*i! _@t 56 S L*i!* #hu _iti? hl3iy ih_i?,*i! _i4 *@t4@ i? uih??_?i}@ i WL?i? }im*_i.

20 i* 2 )t!@*tuui4tui Bh?_*@}i? P MW A 1 Prozeßgase A 1 A i Aktive Zone e Passive Zone A i B 1 B j Stabile Produkte Entladung T e»t gas Afterglow T e T gas z Deelogxqj 516= Vfkhpd hlqhv sodvpdfkhplvfkhq Ioxuhdnwruv +qdfk ^46`/ V1 64:,1 S ` lvw glh hlqjhnrsshowh Plnurzhoohqohlvwxqj/ W e glh Hohnwurqhqwhpshudwxu xqg W }@t glh Jdvwhp0 shudwxu1 222 #@t h?3t _it T*@t4@Ui4tUi? +i@! Lht #ih?u ih4tui *@t4@i!@?? 4 _i4 L_i** i?it T*@t4@Ui4tUi? Lht MitUhiMi? ih_i? #@t L_i** t? MM 2 _@h}it i**,? tl*uih +i@! Lh Mit i?ih E3i *U i? *@t4@3l?ic _i L? i?ih L?@hi? T@tti? *@t4@3l?i E@u ih}*l }iul*} h_ W? i? *@t4@3l?i h_ i?i tu?} Ui4tU 5Ti3it cc _hu tu?i**i,*i! hl?i? Ei c LMi hl_! i E@?}ihi} i Ai*Ui?c +@_!@*ic WL?i? M*_i? W? _ih T@tti? *@t4@3l?i ih_i? _i 5Ti3it _hu ihtui_i?i #@ Mi M*_i tu tu*iy*u i_ih i?i tu?} 5Ti3itc _i tll* _i t }@?}tthl_! VihM?_?}i? c c i?!@?? #i U@h@! iht tui? ~i i? uh?hi}?}tthl3itti?_ Ui4tUi +i@! L?i?? i? ~L?i ih_i? 4 iti? *Ui? _hu #U i?_,?ih}i _ih uhii?,*i! hl?i? Mit 44 5i iti? _@_hu Li +@ i?!li3i? Oih }* A e A }@t W? _ih T@tti? ~L?i ihul*}i? +i!l4m?@ i?ih iti? *U *@?}ihi? ~i t!@*ic _@ _i +i@! L?t}itU?_}!i i? L? _ih ih4tui?,?ih}i _ih tuihi? #i +@ i?!li3i? i? uh _i Ui4tUi? +i@! L?i? i*!*i?ih #i,*i! hl?i? ih_i?? _ih T@tti? ~L?i?U 4ih L4 i*i! htui? 6i*_ MitU*i?}?_ ih4@*tihi? tu?i**,t }* A e A }@t d ceo H

21 2 L?i? 4 56 S *@t4@ 2 B@tT@ti?hi@! L?i? *@t4@ 2 +i?i 56 S,? *@_?}i? W? 56 S,? *@_?}i? hi i? i?i }hlyi ~@* L?,*i! hl?i?t Ly?_,*i! hl?i?@?*@}i i*i! i? _it 56 S M?_i?_ _@t L*i!* Mi?hi}?} 44ih _ttl 3ih d.do #@Mi i? t ii? 6?_ 56 % +@_!@*i E% ' c cd M3 WL?i? #i U }t i? B@tT@ti?hi@! L?i? L? 56 S t?_ 4 ul*}i?_i? 3t@44i?}it i** dshc.d.bog E@,*i! hl?i?t Ly_ttL3@ L? i 3 n 56 % $ 56 %3 n 6 n i 3 E% ' c cs E2 i 3 n 56 S $ 56 S3% n %6 n i 3 E% ' c cd E2e i 3 n 56 S $ 56 2 n e6 n i 3 E2D EM ttl3@ i? ttl3@ i,*i! hl?i?@?*@}ih?} i 3 n 56 S $ 56 3 S E2S i 3 n 56 S $ 56 3 D n 6 E2. i 3 n 56 S $ 56 3W S $ 56 3 e n 26 E2H i 3 n 56 % $ 56 %3 n 6 3 E% ' c cs E2b EU #hiiht Lyhi!L4M?@ L? 4 i?i4 5 LyT@h?ih n 56 % n 6 $ 56 %n n E% ' fc cd E2 f E_ i4tui +i@! L?i? 4 56+@_!@*i? 56 n 56 $ 56 2 n 5 E2 5 Lyi 3tUi? WL?i?c i h n L_ih n 2 c?_ 56 S 3 i?i4 w@_?}t h@?tuih?_ 3h #ttl3@ L? uhi? dhfch og h n n 56 S $ 56 n D n h n 6 E2 2 n 2 n 56 S $ 56 n D n 2 n 6 E2 b

22 i* 2 )t!@*tuui4tui Bh?_*@}i? Lt i 56 n % _hu _ttl3@ i,*i! hl?i?t LyL?tih?}?@U _i4 5Ui4@ 56 % n i 3 $ 56 n %3 n 6 n 2i 3 E% ' c cs E2 e }im*_i ih_i? d.do #i U }t i? +i@! L?i? _it? _ih,? *@_?} }im*_i i? 6*Lht t?_ dh2og n 6 n 6 $ 6 2 n E2 D i 3 n 6 2 $ 26 n i 3 E2 S i 3 n 6 2 $ 6 n 6 3 E2. 6 n 6 3 $ 26 n i 3 E2 H i 3 n 6 3 $ 6 n 2i 3 E2 b n 6 3 $ 6 n n i 3 E22f 22 #ih,?y L? 2 ~4tU?}i?? 56 S #i,gi! i Mi _ih ~4tU?} L? 5@iht Lg? Lh@* }i *@t4i? i 6 e c 2 6 S L_ih 56 S,? *@_?}i? t?_? _ih Vih}@?}i?i? ihtu? t! ih Lh_i? #i 4it i? N? ihtu?}i? Mi?i_h}i? #hu!i? ER 4M@h _hu }iuh Lh_i? dshc Hc Heo W4 h?3t uh 5@iht Lg 4 *@t4@ 3h _@ L? _ih tuihi? +@_!@*i?_ ih?_ih tl _i +i!l4m?@ L? L4@hi? 6*Lht 4 _i ti? +@_!@*i??@u B* 2 f 3 56 S #i L4@hi4 6*Lh!@?? _@_hu ihl ih_i? W? 56 S * 2,? *@_?}i? M*_i? tu AL?)*?_ 5*uh)*Lh_i tli 5Uiui*L _i W? _ih w ih@ h ih_i? _i ul*}i?_i? +i@! t! ih d.fc..c HDoG 56 D n $ 56 e n 6 E n $ 56 n 6 E n $ 5 2 n 6 E22 56 n $ 56 2 n 6 E22e 2f

23 2 L?i? 4 56 S *@t4@ 56 2 n $ E22D 56 n $ n 6 E22S 56 2 n 6 $ 56 E n 6 $ 56 e E22H 5 2 n 6 $ E22b n 6 $ E2f i?iti?i L? `@ttih_@4tu? _ih hl3iy!@44ih!@?? 3t@ 3*U 6*yt@hi EO6 i? t ii? dsboc 3??ih@*M _ih,? *@_?}G 56 % n O $ 56 %3 n O6 E% ' c c E2 _ih,? *@_?}G 56 e n O 2 $ 56 2 n 2O6 E n O 2 $ 5 2 n 2O6 E2 56 e n O 2 $ n 2O6 E2e 2 #ih,?y L? 2 ~4tU?}i?? 56 S #i 3t@ 3*Ui,?4tU?} L? 2? i? 56 S % 2 *@t4@!@?? _i 6 L4@tMi i?lu i?4@* Mi h@u *U ihli? i?iti?i L? 2 _ttl3ih 2 d2sc HSo 6hii L4i hi@}ihi??@u _i? 4 Lh}i? MtU? _@h}it i** i? +i@! L?i? 4 56 % 3 5 % 6 + VihM?_?}i? #i +i!l4m?@ L? L? uhii4 6*Lh h_ ih?_ih W4 *@t4@ ih3i} i 5 U!t LL?i? hi@}ihi? tih tu?i** 4 56 S Mih n n 56 S $ 56 n D n 6 E2D 56 % VihM?_?}i? E% ' i? t ii? dh.c HHo `i ih? ih_i? ihtui_i?i +i@! L?i? 3tUi? 56 n % WL?i??_ 2 Lh}itU*@}i? dhboc 2

24 i* 2 )t!@*tuui4tui Bh?_*@}i? tl 3 56 n D n 2 $ 56 n 2 n 6 2 n 6 n 2 E2S 56 n D n 2 $ 56 n n 6 2 n 2 E2. 56 n n 2 $ 56 n n 6 2 n 2 E2H 56 n 2 n 2 $ 5 n n 6 2 n 2 E2b #iti +i@! L?i? h_i? i_lu?h 4 i_ih_hu!mihiu Mi R ' fc 4M@h? ih tu?_ ih*@ui? 4L}*Uihiti Mi Lihi? 2e +i@! L?i? L? 56 9 *@t4i? 4 _ih 5Mih@Ui *@t4@ui4tui +i@! L?i? L? Lh@* }i? B@ti? i 6 e c 2 6 S c 56 S c ji6 2?_ i?ih 5Mih@Ui t?_ ti u@t _hi a@h3i? i? ihtui_i?ih N? ihtu?}i? #@Mi MitU@u } tu _ih }hly i Ai* _ih hmi i? 4 _i4 3i? L? 5*34 4 i*t 6*Lh!L*i?t LgT*@t4i? 4 #hu!hi}4i Mi R f 32 4M@hc 3 dddhcs cs2cbfo W? tl*ui? 5)t i4i??_i? tih!l4t*i i hl3itti i hi@! i _tlht L? L? 6 % +@_!@*i?c L*)4ihtih?} 3 il?@h }i? 5UU i??_ #itlht L? L? 56VihM?_?}i? #iti hl3itti iuti*h!i? 4 i?@?_ih?_ ih_i? Lu _hu WL?i?MitUy 4@y}iM*U Mii?y dsecs.checb cb2o W4 Bi}i?t@ 3 _@3!L??i? _i? 56 S *@t4i? }im*_i i? 56 % +@_!@*i?u TL*) 4ihtihi? W? _ih w ih@ h }M it!i?i 5UU M*_?}tThL3itti L_ih Ui4tUi +i@! L?i? L? 5*34 4 _iti? +@_!@*i? t i?ih Vi*3@* L? N? ihtu?}i? 34 3i? L? 5Mt h@ i? i 5c 5 2 c 5 e L_ih 5 4 Lh@* }i? *@t4i? t Mi!@?? c L4@hit?i h@*it 6*Lh?_?i}@ i 6*LhL?i? uh _i? M h@}tthl3iy ih@? Lh *U t?_ ds c bcbeo W? hi@! i 5Ti3it i 6 2 dbdo L_ih O6 dbso ih@*@m _ih Mih@Ui i?i +L**i #@t _i? }ih?}ihi? Ai* Ui?!L?3i? h@ _ih _ih 5Mt h@ LMih@Ui WL?i??_3ih i,gi! i i tti*i? uh _i? M h@}tthl3iy 4 h%56 S *@t4@i!i?i +L**i d c DDc b.o #ih hmi t_hu! 4? ihtu i? 5)t i4 uh 3 4 *ihi? uhii? `i}*@?}i? L? i?}i? >4 yih_i4 t?_ itu*i?}?}ttt@???}i? uh WL?i?? _ih *@t4@h@?_tuu ih?@u*@tt}m@h d eoc tl _@y!i?i i?ih }ihiui? WL?i? ih3i} ih_i?!l??i? #ih M h@} L? 5*34 Mi4 3i? 4 22

25 2e L?i? L? 56 S *@t4i? 4 _ih 5Mih@Ui F F F SiF 4 SiF 4 F F SiF x -Schicht Si Deelogxqj 517= Vfkhpdwlvfkh Gduvwhooxqj ghv vwdwlrq duhq Dw}sur}hvvhv dq hlqhu Vlol}lxp0 rehu dfkh plw Ioxrudwrphq1 _i4 h%56 S *@t4@i Mih i?ih ih4tui? Ui4tUi? +i@! L?c _i tl hlt ih*@u d2ecscshc.bchscbh ffo #i 6*Lhih?} L? 5 t i? 4iht }ih hl3iyc _ih _hu _i Ai*hi@! L?i? 5 n 6 $ 56 E2ef 56 n 6 $ 56 2 E2e 56 2 n 6 $ 56 E2e2 56 n 6 $ 56 e E2e ihi?u@u _@h}it i** ih_i?!@?? db cbdc f fdo W? MM 2e t? i _i4 55Mt h@ tui4@ tu }i3i}?!l44i?_i 6 L4i _ih 5Mih@Ui?_ M*_i? 56 % 5UU E% ' cc 56 4@U _@Mi _i? }hlyi? Ai* _ih #@t Mi_i i c _@y _i +i@! L?th@ i? L? B* 2ef2e2 i* }hlyih _i L? +i@! L? 2e d f2o #i 56 % ih L?@hi? i_?}?}i? i?i #U!i L? 4ihihi L?L*@}i??_ Mih_iU! _i hi? ih?} _it 5`@uiht ds2c 6 L4i _g?_ihi? _hu _iti 5UU?_ ihhiui? _i _@h? ih*i}i?_i? 5 L4i L_ih hi@}ihi? Lhih 4 56 % W? i?ih N? ihtu?} L? ln6b d f2o h_ }i3i} c _@y _i #gtl? _ih 6 L4i _hu _i 56 % 5UU _ih h@ i?mit 44i?_i iu@?t4t uh _i Bit@4 hi@! L? t i +@4 i4tih@ h t 56 e _@t _L4?@? i 3ThL_! c _@t?@u _ih *_?} tlulh L? _ih Mih@Ui _itlhmih i Mih@ Ui? i4tih@ hi? Sff k h_?imi? U }it +i@! L?tThL_! 2

26 i* 2 )t!@*tuui4tui Bh?_*@}i? Wdehooh 514= Nrh}lhqw xqg Dnwlylhuxqjvhqhujlh i xu glh Uhdnwlrq yrq Vlol}lxp plw Ioxrud0 wrphq ^<8`1 BhLyi `ih 5Mt h@ 5 k ffl 0 f fc S2 d ivo fc fh fcffd t}?!@? ddhc f.c fho #i *_?}th@ i - _ih +i@! L?tThL_! i t _hi! L? _ih 6Ai*Ui?t hl4_u i _ih h hu _i iijatb*iu?} ds2c Sec S.c bdo - ' 0 6 E2ee MitUhiMi? OihMi t 0 _i `@htui?*u!i uh _i +i@! L? i?it i?u@**i?_it 6 L4 4 i?i4 5 L4 6h _i? 6@**c _@y tu Mih _ih 5Mih@Ui _i 6 L4_U i? 6 Mi?_i c MihiU?i tu ' e? 67 c E2eD LMi 7 ' s H& A }@t *EZ6 6 _i 4 *ihi ih4tui BitU?_}!i i?it 6 L4t 6 6? ih Ai4Tih@ h A }@t t #i BhLyi 0!@?? }ituhimi? 0 ' 0 f i T *E& A 6 E2eS #@Mi _i! ih?}ti?ih}i?_ A 6 _i Ai4Tih@ _ih 5Mih@Ui W? A@Mi**i 2 t _i 4ihu@U i@*ih i! ih?}ti?ih}i tli _ih kli3i? 0 dsecs.c f2o _ih iijatb*iu?} *@y tu _i *L!@*i Aiui?@ 3th@ i - uh 5*34 - ' Eo ' g 6 Eo 0 f i T & A 6 Eo 4 t 3 E2e. 5?_ 4 5 t? i M3 _i 5 Lg_U i L? 5*34 #ih 6@! Lh *e ihtui? c i* uh _i? M h@} i?it 5 56 e L*i!* ih 6*Lh@ L4i?L } t?_ 6h _i? kli3i? i? 0 f? B* 2eS ih_i?? _ih w ih@ h ihtui_i?i `ih _i Mt 3 3i BhLyi?Lh_??}i? L? #iti Mi 2e

27 2e L?i? L? 56 S *@t4i? 4 _ih 5Mih@Ui U?}i? *@tti? it 44?} _ih 6Ai*Ui?t hl4_u ihtui_*ui,?ih}i? _ih 6 L4i 3hU!uhi? i _ih +i@! L? )Tih ih4 tuih 6 L4i 4 _ih 5Mih@Ui!@?? 0 f 4 Mt 3 i?i? 6@! Lh f }hlyih A@Mi**i ih}imi? tu Lihi 3h@ i?? i 3hU?} hlt d fdc fbo t N? ihtu?}i? L? QN,j d fc o Mi!@?? c _@y Mi _L ih i4 5*34 _i 3h@ i _hu NV5 h@*?} ihl h_ W? 3ihtUi? 4 ji6 2 4 i_ih_hu!mihiu ER ' f 3D 4M@h!L?? i Mi i?ih NVw@tih*it?} L? e ` _i 3h@ i 4 i?i? 6@! Lh 2 ihl ih_i? Ai?_i?3i**?44 i_lu _i NV t h@*?}t?_3ih i 3h@ i?ihl?} 4 3?i4i?_i4 d fo 2D

28 i* 2 )t!@*tuui4tui Bh?_*@}i? 2S

29 i*, Tih4i? i**i i L_i?, Tih4i? i**ih um@ #i hl3iy!@44ih **i N? ihtu?}i? 4 +@4i? _itih hmi i?ih _hu}iuh c _i? MM tui4@ tu _@h}it i** t #i?*@}i Mit i?i4 V@!4hi3Ti? i? EhL3iy!@44ih 4 i?i4 VL*4i? L? fce 4 #i k@44ih!@?? L? i?i4 4Ti?t@ 3 4 #hituimih?_ i?i??_it _hu! L? fcd 4M@h i@!ih ih_i? #ih ihhium@hi?_it _hu! t@u*u _hu wiu!t? _ih hl3iy!@44ih? hu `@ttih_@4tumi*i}?} _ih k@44ih@?_i Mit 44 #ih ihulh_ih*ui hl3iy_hu! L? DfDff 4M@h h_ Mih _i?,?*@y L? 2 4 i?i4 O@?_i? *? _i? +i3t i? i??_ 4 O*ui i?it _hu!}ihi}i* i? #hltti*i? *t i?}it i** c _@t tu? _ih M}@t*i?} Mi?_i i i?ih 2 6*yh@ i L? f e tuu4 Mi h@} _i 4 *ihi L? B@ti?? _ih k@44ih ff t #@t iy c?@u _itih tu i? kl?3i? h@ L?t}*iU}iU _ih B@ti i?}it i** #i? _ih hl3iy!@44ih i?}im@ i *@t4@i î**i wim?3w?t uh Mih@Ui?4L_ 3ih?} ivc wit3} EW i? U!i* 5i 3iU?i tu _hu }ih?}i M4itt?}i??_?i_h}it BiU tli i?i!hli**i?ihtlh}?} Mih i? i M*it t 4 Bi}i?t@ 3 3 _i? Mtih ihi?_i i? *@t4@î**i? 4 d2bo tll* L?@h 4LM* i?ti 3M@h #i *@t4@i î**i Mit i?ih!hi3ulh4}i? ih@?lh_??} 5i t? MM 2E@ _@h}it i**? _ih LMihi? 5i i _it ih!@*i? khi3m@*!i?t h i "i**i _hu i? 4!hLi**i?*it?} L? )TtUihiti Sf ` Mi i?ih 6hiî?3 L? 2ceD BO3 ihtlh} #i?t *@t4@ i?}i!ltti* i wit?} ` t _i _ih i?}it i** i? VLh@h t*it?}? ih hu!}it hi i? wit?},? Ai* _ih VLh@h t*it?} 4 *@t4@ 4}iti 3 tl?_ih?? 2.

30 i*, Tih4i? i**i i L_i? Probenträger Mikrowellengenerator Prozeßkammer Pyrometer Plasmajet Plasmaquelle Druckgesteuertes Drosselventil Bewegungssystem Optisches Spektrometer Massenflußregler Pumpen Manueller Gaseinlaß N 2 SF 6 O 2 Ar r z Deelogxqj 614= Vfkhpdwlvfkh Gduvwhooxqj ghu Sodvpdmhw0Yhuvxfkvdqodjh1 ~ Kurzschlußschieber Koaxialkabel (50 ) Düse Außenleiter fester Kurzschluß r SF 6 /O 2 Gasversorgung z Ar SF 6 /O 2 Massenspektrometersystem Innenleiter 5 mm (a) (b) Deelogxqj 615= +d, Dxiedx ghu Sodvpdmhwtxhooh1 +e, Vfkhpdwlvfkh Gduvwhooxqj ghu G xvhqnrqjxudwlrq1 2H

31 , Tih4i? i**ih Wdehooh 614= W slvfkh Sur}hsdudphwhuehuhlfkh ehlp Dw}hq plw ghp plnurzhoohqdqjhuhj0 whq ih 6Lh4i*3iUi? `ih h}l?}@tyh@ i dho ff tuu4 56 S B@tyh@ i d56 S o f2df tuu4 2 B@tyh@ i d 2 o f2df tuu4 hl3iy!@44ih_hu! E 2 R g fdff 4M@h!hLi**i?*it?} ` f ff ` #tihlmi 5 2Df 44 hlmi?4@ ih@* 5c?_L ih e ~L**c k ffl _i? h@* VLh@h t?_ +U!t hi*it?} _ih? ihi? 5i i Mi?_*Ui 4L Lh}i himi?i kh3tu*ytuimih _i? 3h Mt 44?} i?ih t ii?_i?!hli**i #ih W??i?*i ih _it khi3m@*!i?t Mit ~ihlht)t i4 uh _i B@t3uh?}? _ih *?!i? 5i i i?_i _ih W??i?*i ih? #ti #@t W??i?hLh _ih #ti it i?i? #hu4ittih L? cd i?i? W??i?_hU4ittih L? e 44?_ i?i? yi?_hu4ittih L? S 44 #i B@tihtLh}?} h_ 4 i*i! hl? }it iih #i W?ih }@t3uh?} 4 ff tuu4 h}l? ihul*} _hu _i???ihi? B@t!@?@* #i +i@! }@ti 56 S?_ 2 Ef2ff tuu4 ih_i? _hu +Lh 3h #ti }iuh E}* MM 2EM #i *@t4@^i**i i?i4 UL4T ih}it iih i? 2Uti?5)t i4 uh ii}?}i?? o?_ 5+U?} 4L? ih _itih hmi _hu}iuh i? Lh t@u}i*lt i? itt?}i? }* _@t 3)*? _htui Eoc5kLLh_?@ i?t)t i4 #ih NhtTh?} _it kllh_?@ i?t)t i4t _ih 5)44i _ih 5T 3i _ih *@t4@_ti W? A@Mi**i t? i? _i? N? ih tu?}i? ihi?_i i? hl3iyt@h@4i ihmihiui 3t@44i?}iu@y 2 hl4i ih? _ih 5i i?@? ih hl3iy!@44ih t? _hi! ih 5U *?i 34 *@t4@i hl4i iht)t i4 c _@t i?i? "@_htl*?@*)t@ Lh,W ff _ih 6h4@ U@* _it?@*)t@ Lht hiu L? E@ L4U 4@tt? t #@t Bih@ ih*@m _i #i i! L? L? TLt i??_?i}@ i? WL?i? 4 hl?_i i! Lh 4 WL?i?3@*4L_t #ih i him _it "5 ihulh_ih i?i? #hu! L? f 3D 4M@h #ih h 2b

32 i*, Tih4i? i**i i L_i? Prozeßkammer Turbo-Pumpe (2) Probenträger Druckmeßgerät QMS-Analysator Turbo-Pumpe (1) Innere Apertur Äußere Apertur Deelogxqj 616= Vfkhpdwlvfkh Gduvwhooxqj ghv }zhlvwxj glhuhqwlhoo jhsxpswhq TPV0 V vwhpv1 Dxi glh dxhuh Dshuwxu lvw hlq Surehqwu djhu dxijhvhw}w/ vr gd glh Surehqrehu dfkh xqg glh Dshuwxueohqgh lq hlqhu Hehqh olhjhq1 Glh lqqhuh Dshuwxu ndqq plw hlqhu hohnwulvfkhq Vsdqqxqj ehdxivfkodjw zhughq/ xp jhodghqh Whlofkhq dxv ghp Dqdo vdwru ihuq}xkdowhq1 Mi t_hu!? _ih hl3iy!@44ih Mi )TtUihiti DfDff 4M@h #@ih 4y _ih #hu! 4 4?_it i?t tiut BhLyi?Lh_??}i? hi_3ih ih_i? W? MM t tui4@ tu _@t i 3it } _gihi? i** }it4t i V@!4t)t i4 _@h }it i** #ih??ihi +i3ti? c _ih 4 i?ih AhML4L*i!*@hT4Ti Eff ** t i@!ih h_c?44 _i? "5?@*)t@ NMih i?i!l?tui Tih hm*i?_i 4 i?i4 wlu_hu4ittih L? ff >4 t _ih??ihi +i3ti? 4 +i3ti? i? ihm?_i? #itih h_ imi?u@**t 4 i?ih AhML4L*i!*@hT4Ti E fff ** t i@! ih Tih _??i4 i?i? #hu4ittih L? b 44 #@h? t i?i *iu!l?tui Lh?} 4 i?i4 #hu4ittih L? >4 i?}imh@u #i Tih h *i}? _ih,mi?i _it #ih hl Mi? h@}ih h_ ti?!hiu L4 h@* #iti kl? }h@ L? i? tthu _i4 um@ uh i?i? 3ThL3iy #i? _i? "5?@*)t@ Lh i?_h?}i?_i? B@t i*ui? ih_i?? _ih WL?tih?}t f

33 , Tih4i? i**ih 4,*i! hl?i? MitULtti? #i,*i! hl?i?i?ih}i t 4 i?ih Lt?} L? h?_ fc2 iv? i?i4 ihiu L? f Mt Df iv uhi i?t i**m@h #ih,*i! hl?i?i4t tl?tt `ih i 3tUi? fc2?_ 2fff > }iti 3 ih_i? #i }im*_i i? WL?i? ih_i? Mih i? i*i! tuit w?ti?t)t _ih WL?tih?}t!@44ih i _i Tih h 34 "@_htl*t)t i4 ul!ttih #@Mi ih@* i? _i Ah@?t*@ L?ti?ih}i L? 2 iv W4 "@_htl*t)t i4 ihul*} L??@U _i? Mi!@?? i? h?3ti? d 2c o #ih WL?i?_i i! Lh t i?!l??ih*uih,*i! hl?i?ihi*u@uih E@??i* hl?c _ih tu _hu i?i Li t Mi i?_ i?i }ih?}i AL _i #i i! L?ti4T?_ *U!i L4 ih _i _hu Ui4tUi +i@! L?i? 5Ti3it i 6*Lh hi*@ tu?i** _i}h@_ih 5Luih? _ih *@t4@i _hi! i? 4 Tih c ih_i??imi??i h@*i? B@t TLt i?_?i}@ i WL?i??_,*i! _i4 *@t4@ i h@ih N4 5 #i i! Lh 3 ih?_ih?c h_i Mi _ih #i i! L? L? i h@* i*ui? i?i 5T@???} L? n2f _i??ihi Tih *i} it 4L}*Uc TLt i WL?i??_,*i! _ih??ihi? 4Tt ui uih?3@* i? 6h TLt ih L_ih?i}@ ih WL?i? _i??ihi Tih h i? tthiui?_ 2f V M3 n2f c 4 3 ih?_ih?c _@y _i ii*t i? }i}i?}iti 3 }i*@_i?i? Ai*Ui?? _i??ihi 4Tt ui }i*@?}i? #@t LT tui 5Ti! hl4i ih #i hl3iy!@44ih t 4 i?i4 ilm@u?}tui?t "@h3 i c _@t LT tutti! hlt!lttui N? ihtu?}i? _it *@t4@i t L? _ih 5i i ih*@m 6h _i itt?}i? i? fcd 45Ti! hl4i ih 4 5jiA+CiAjikL? }h@ L? _ih 6h4@ in6j! W?U 3h Vihu}?} #i,?!ltt*?} _ih 5 h@*?} ihul*} _hu i?i _ihi?,?}@?} i? ttu? _it *@t4@i t 4 i*t i?ih h_ w?ti?_ 6@tih 44 c _@y 4 _ih }i@* i??lh_??} i?i Lt?}? o?_ 5+U?} L? U@ fcd 44 ihhiu ih_i?!@?? #ih #i i! Lh t i?i j, jii*i4i? }i!* i #k@4ih@ 4 i?i4.df D 2 i*t #@t 5Ti! hl4i ih Mit 3 _hi ihtui_i?i B ihc L? _i?i? _i Mi_i? 4 ff 5 hui?%44 M3 2ff 5 hui?%44 34,?t@ 3!@4i? 6h _iti B ih h_i _i L**i O@*Mih tmhi i {b _it DBttuLh4}i? TT@h@ ithl *t 4 i*t i?ih O}Eh k@*mhih*@4ti Mit 44 #i ih4 i* i? `ih i t?_? A@M i

34 i*, Tih4i? i**i i L_i? Wdehooh 615= DByvfkh Olqlhqeuhlwhq ghv Dssdudwhsurov i xu glh yhuzhqghwhq Jlwwhu xqg Hlqwulwwvvsdowh dp Fkurph{0Vshnwurphwhu1 B ih 5T@* d >4o {b d?4o Mi O} W EeS?4 Dff 5 h%44 Hf fc2es 2ff 5 h%44 Df fcfd. e #@t )hl4i ih W? _ih hl3iy!@44ih t i? 5 h@*?}tt)hl4i ih W?uh@ ih4 W D%D _ih 6h4@ c uh _i itt?} L? Mih@Ui? i4tih@ 5 2 hlmi? LT 4ih?_ }iiu t?_ Ai4Tih@ hi? 4 ihiu 3tUi? Hf?_ DDf 4itti?!@?? #@t )hl4i ih _i i! ih? i?i4 i?}i? 5Ti! h@*mihiu 4 b ' Dc D >4 _i L? _ih `@h4it h@*?}?_ MihiU?i _@h@t _i Mih@Ui? i4tih@ h #@t Bih@ i?i? iyiu! 4 i?i4 #hu4ittih L? U@ cd 44 D 5*34hLMi? **i 3ihtUi TL*ih i?c tu@u?_l ih i? k ffl5*34@uih? 4 i?i4 #hu4ittih L? e ~L**?_ i?ih #U!i L? Dff >4 _hu}iuh Lh_i? 2,4ttL?ttTi! hl4i htui i L_i? 2 #i it 44?} _ih L?t i4tih@ h #i L?t i4tih@ h A hl *@y tu Mih _i?@*)ti _ih L?t5U?}?}t M@?_i?t h! h i*i! ih 3i@ L4}ih L*i!*i Mit 44i? #@t? _i tih hmi ihi?_i i? Vihu@hi?? i L?t5U?}?}tM@? _i?c _i 4 ilhi tu MihiU?i ih}*ui? ih_i? W? _iti ihiu??} }i _i L?t ih _hi! i? t _ih i? t 4*ih i? L?t5U?}?}tM@?_i ih}m tu _i L?t i4tih@ h #itit Vihu@hi? t i?i L_i?_ h_ ihul*}hiu tll* Mi Mi *@t4i? 4LtT@htUi? #hu!mihiu i?}iti 3 d.2c e.o #i h@4*ui t_i??}? hi _it *@t4@i t ihulh_ih _i?i?_?} _ih _i tti! hlt!lttui? #@ i?c 4 t@u*ui? 2

35 2,4ttL?ttTi! hl4i htui i L_i?,4ttL?t!Li3i? i?ih i*?}i? 3 }i??i?,?i tu?i** 3 hi@*tihi?_i?_? hiui?_ }i?@i i L_i t _ih?4ihtui *}Lh 4t L? wbajaoi} d Hc bo i4 Vih}*iU }i4itti?ih +L_@ i? 4?ih ih i? #@ i?!l?? i? i _LU 4 +@4i? _ih Bi?@}!i _it Vihu@hi?t? ih itt?}!i?i N? ihtui_i uit }it i** ih_i? #@t _i i _@h@u?c _@y L?!i?i +L**i *@t4@ 4? ihtu i? 5Ti! h@*mihiu LT tu _?? t d.2c 2fo #@ih h_i Mi _i? 4it i? Oj,W?ihtL? ih3u i W? _i? Lh*i}i?_i? N? ihtu?}i? h_i i?i L?t5U?}?}tM@?_i _it 3i i? TLt i? 5)t i4t L? 2 E } ( ' fc ' 2 Mi b ' HfcD?4 }i@* Oih t _i W? i?}it i** i? hl3iymi_?}?}i??hi Ui?_ #i `@htui?*u!i uh L? _ih i4 ih i? 5 h@*?}c _i 4L}*Uihiti? ih Mit 44 i? hi i?!l?? ic t i}i? _ih Lihi? 5U?}?}t@?hi}?} _it? ihi? }ih?} d.2o tui ihiu??} i?ih L?tM@?_i tl** ih?h!h3 t!33ih ih_i? d 2 o ~?@Ut ih_i? 4 O*ui _ih tti! hlt!lttui? i? _it E } (f 2 NMih}@?}t _i ì**i?*@?}i? b _ih L?t*?i? MihiU?i **}i4i? }* uh i?i? NMih}@?} L? i?i4 LMihi? 4 _i? "@? i?3@*i?? a 3 i?i4? ihi? a G b ' S dd f n 8 Ea 8 Ea o 3 E #@Mi t S _i wu }itu?_}!i c D f Mi?@* i _i 6hiî?3 _it i*i! hl?tui? NMih}@?}t? it 5U?}?}tMih}@?}itc?_ 8 Ea M3 8 Ea Mi3iU?i? _i L?t ih4i _it LMihi? M3 _it? _ih it 44?} _ih ì**i?*@?}i? ih_i? _i,4ttl?t? i? _ih NMih }@?}i MihiU?i #i W? t U? a? a ' Sb3? a 7 a a c E2 LMi _@t,baw"tui `h!?}t^@? 4c? a _i?3@* _ih L*i!*i 4 LMi hi? 7 a a _i _it NMih}@?}t t #i?3@* _ih L*i!*i? i? a!@??? _ih 6Lh4? a ' S? E2a n i T ds a Ea n *& A hl o & A hl E

36 i*, Tih4i? i**i i L_i? 1 gemessene Bande simulierte Banden Intensität [w.e.] T rot 0, Wellenlänge [nm] Deelogxqj 617= Yhujohlfk hlqhu jhphvvhqhq Q 2 +F0E>305,0Hplvvlrqvedqgh +W hl 4433 N, plw vlpxolhuwhq Hplvvlrqvedqghq/ glh i xu Urwdwlrqvwhpshudwxuhq yrq W 4333 N elv 4733 N ehuhfkqhw zxughq1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 83 vffp/ s 83 pedu/ S 73 Z/ 3/ 8 pp` }ituhimi? ih_i? d.2c 22o OihMi t _i ic A hl _i L?t i4tih@ h?_ & _i N, i 5L4 ih@* _i B*iU?} uh _i W? _i 6Lh4 U? a? a ' 7 a A hl i T ds a Ea n *& A hl o Ee t _@Mi i?i i #i MihiU?i i w@}i?_ W? tih i*?} _ih L?t*?i? 4 _i4 DBttuLh4}i? TT@h@ ithl * }iu@* i c 4 i? hi@*it 5Ti! h4 3 ih@* i? #i 6Lh4 _ih MihiU?i i? L?t5U?}?}tM@?_i t _@ih L? _ih L?t i4tih@ h A hl?_ L? _ih hi i _it TT@h@ ithl *t i?i4 hl}h@44ul_i d 2c 2eo h_i _i E } L?t5U? }?}tm@?_i ihmihiu Dff k 9 A hl 9 Dff k 4 i?i4 {A hl ' ff k t4*ih #@Mi h_i _@t uh _@t 5Ti! hl4i ih} ih 4 Dff 5 h%44 ih4 i* i TT@h@ ithl * 4 i?ih w?i?mhi i {b ' fc2es?4 ihi?_i #hu it 44?} _ihi?}i? t4*ih i?,4ttl?tm@?_ic i*ui _i }ih?}t i ^@_h@ tui MiU?} c h ih A hl e

37 2,4ttL?ttTi! hl4i htui i L_i? }il??i? #ih 6i*ih _itih hl3i_h *i}?}iu@h Mi 2ff k t N? ihtu?}i? 3h it 44?} L? L?t i4tih@ hi? t Mi!@?? c L4 }i@* i? iti? *U hi i?!l??i? d 2Dc 2So,? itti* uh _i i L_i _ih L?t i4tih@ hmit 44?} t? MM e }i}imi? #i L?t i4tih@ h A hl t }*iu _ih!?i tui? B@t i4tih@ h A }@t c i?? _i L?ti?ih}i _hu i?i?hiui?_ Li Ai*Ui?t Lyuhi^i?3 hi*@ ih d c 22c 2.o #@t iy c _i L?t3i 4y i*!h3ih _i 4 *ihi wimi?t_@ih i?it #@?? }i?} _i Vih i*?} _ih LMihi? i?ih N, 56BAAVih es 5 Lyi t?_ uh i?i?hiui?_i NMih h@}?} L? L?t? Ah@?t*@ L?ti?ih}i?L i?_} d 22o #i 4 *ihi 5 Ly3i t _@t W?ihti _ih 5 Lyuhi^i?3 i i?i4 #hu! L? Df 4M@h?_ i?ih Ai4Tih@ h L? U@ 2ff k t _i 4 *ihi 5 Ly3i? 5 U!t Lg #i L?t3i t _@4 D?t i?i wimi?t_@ih L? h?_ ef?t d 2Ho L?t3i?_ wimi?t_@ih }*iu }hly #@ih _@y _i 4 _ih MitUhiMi?i? i L_i Mit 44 i? 2 L?t i4tih@ hi? L? _i? B@t i4tih@ ih_i? iit i N? ihtu?}i? 3i}i?c _@y _i Vih i*?} i? Mi } ihi?_i i? _it 3i i? TLt i? 5)t i4t?u 44ih i?ih N, 56BAAVih i*?} }i?}i? d 2.o Vi*4ih!@?? _i 6Lh4 _it 5Ti! h4t _hu _i??@4i 3iih LT*@ L?i? L? 2 L*i!*i? 4 ii*t i?ih i}i?i? L?t i4tih@ h MitUhiMi? ih_i? #iti LT*@ L?i?? ihtui_i? tu _hu _i h hih?hi}?} #@ih hith@ti? ih?h _i BhTTic _i _hu?hi }?} _it i? t c _i B@t i4tih@ h MiU?}i? _ih L?t i4tih@ h L? _ih B@t i4tih@ h t? it@*m _@h@u 3hU!3uhi?c _@y _itit ~i i4tih@ h4l_i**? _ih Lh*i}i?_i? hmi?u MihU!tU } h_i 22 #i it 44?} _ih?hi}?}t i4tih@ h #i i*i! hl?tui?hi}?}t i4tih@ h A i U t uh _i iti 3?} i? 4 *@t4@,? 3h it 44?} L??hi}?}t i4tih@ }i? *@t4i? t _i tih?} _ih hi*@ i? W? i? L? h,4ttl?t*?i? #iti i L_i t i_lu uh _@t? _ih Lh*i}i?_i? hmi? ihtu i i* _i h}l?*?i? 4!h3i**}i? Ai* _it LT D

38 i*, Tih4i? i**i i L_i? Wdehooh 616= Vshnwurvnrslvfkh Gdwhq ghu Ih L0Hplvvlrqvolqlhq ^45</ 463`1 h b & d?4o. & du4 3 o } s &. cbb 2SH.D fcsbh 2.ceb SbD 2cf.eb.c. 2. S. fc2s.b e.ecds 2.bD fc Sbe D.ecH2 2.DSf fcfbse S.ecbD efef ceehh. H cdh H.D cbhs H H2cfe fbs c D2 b H2cDb Df. fcb H tui? 5Ti! h4tc _i uh _iti itt?} hi*i@? t?_c i? hi i? L_ih _hu 5 U!t LgM@?_i? _it 3i i? TLt i? 5)t i4t Mih_iU! ih_i? _itti? h_i?,ti?@ ih4l4i htui 5Ti3it ihi?_i W? i?ih hmi L? cn Wj W deho h_i }i3i} c _@y _i _@4 Mit 44 i? Ai4Tih@ hi??@i 3 _i? tu 4 h}l??hi}?}t i4tih@ hi? t?_ i 5M*4@ L?!*i?ih i?}i? 6ihhLUi?t E f O f 6i? _i? h}l?}@tt hl4!l??i? 4 *@t4@,ti? L4*?i? 4 5Ti! h@*mihiu 4 ih_i? dsc ehc c 2o #i tti! hlt!lttui? #@ i? _ih ihi?_i i? w?i? t?_? A@Mi**i _@h}it i** #i w?i? i? i@t 4,?ih}i? 3tUi? iv?_ e iv #hu i?i N? ih}h?_tm h@! L? 4 5Ti! hi?c _ih }*iui? Lt L? 4 *@t4@i L?i h_i?c *@y tu _ih i h@} L? 2 L*i!*M@?_i? i*4?ihi?c _i 4 }*iui? 5Ti! hi i? #@t hit* ihi?_i 5Ti! h4 t? MM DE@ _@h }it i** W4 ul*}i?_i? h_ i?i!h3i M*i?} uh _i it 44?} _ih?hi}?}t i4ti h@ h }i}imi? #i #U i _ih 6i L4i? i?i4,?ih}i?i@. & t?@u _ih N, 56BAAVih i*?}? & '? } & LEA i U i T. & c & A i U ED LMi? _i Bit@4 i*ui?_u i _ih L4ic } & _@t t tui BiU _it &?_ L EA i U _i t #i Mih _@t w?i?thl *? i}hih i W? S

39 2,4ttL?ttTi! hl4i htui i L_i? Intensität [w.e.] (a) Wellenlänge [nm] 21,0 20,5 20,0 ln {(IO 3 ) / (gf)} 19,5 19,0 18,5 18,0 17,5 (b) 17, E k [cm -1 ] Deelogxqj 618= +d, Ih L0Olqlhq lp rswlvfkhq Vshnwuxp ghv Sodvpdmhwv qdfk Vxewudnwl0 rq ghu Q 2 0Edqghq1 +e, N, 56BAA0Gldjudpp }xu Ehvwlppxqj ghu Dquhjxqjvwhpshudwxu +W i 7983 N,1 Glh olqhduh Dqsdvvxqj }hljw/ gd glh dqjhuhjwhq ]xvw dqgh wdwv dfkolfk hlqhu N, 56BAA0Yhuwhloxqj hqwvsuhfkhq1.

40 i*, Tih4i? i**i i L_i? U & _ih 5Ti! h@**?i uh _i? NMih}@?} & $ t U & ' } e 2 b? & s & c ES & } & 2" f 6 e LMi b & _i `i**i?*@?}i?_ s & _i MtLhT L?tL3**@ t `h_? & _hu B*iU?} D ihti 3? ih t_hu! *L}@h 4ih c tl ul*} _@h@t _i *?i@hi B*i U?} uh _@t tl} N, 56BAA#@}h@44G U& b & *? ' e 2?. & n *? '. & n UL?t } s & & A i U 2" f 6 e LEA i U & A i U E. ~h it 44?} _ih?hi}?}t i4tih@ h h_ *? Ub E}s Mih _ih?hi}?}t i?ih}i. & E? U4 h@}i?? ih?t i} 6 ' *& A i U _ih Bih@_i? ih 4 i* #it t? MM DEM _@h}it i**,t ul*} A i U ' cehh*6 #ih 6i*ih _ih *?i@hi??t@tt?} *i}? _ih BhLyi?Lh_??} L? Df k 2 #i it 44?} _ih,*i! hl?i?_u i #i,*i! hl?i?_u iih i*?} 4 *@t4@!@?? Mih _i 7 Bi"w?i?ihMhi ih?} _ih O q w?i Eb f ' ehsc?4 Mit 44 ih_i? d o 6h _i itt?} h_i _it@*m i?i }ih?}i i?}i O 2 EfcS tuu4? _i? h}l?b@tt hl4 3}i4tU Nht@Ui uh _i w?i?ihmhi ih?} t _ih *?i@hi 7 Bi",gi! 4 `@ttiht L4c _ih _hu }i*@_i?i? Ai*Ui?? _ih N4}iM?} _it L4t ihlh}ihui? h_ #ihi? i*i! htui 6i*_ih uhi? 3 i?ih utt@*?} i ih i@tc _i tu 4 LT tui? 5Ti! w?i?ihmhi #i _ih VihMhi ih?} t _@Mi L? _ih #U i _ih,*i! #i 6Lh4 _ih 7 Bi"ihMhi ih i? O q w?i i? tthu i?ih wnija 56?! L? d 2fo #i O q w?i t?lu i i $NVV,ji,gi!?_ TT@h@ ithl * ihmhi ih c _i 3 i?i4 DBttuLh4}i?? i* _ih w?i Mi h@}i? #@t }i4itti?i w?i?thl * t _@ih i?i _i? i?3i*?i? i h@}i? 3h VihMhi ih?} #i w?i?mhi i _it $NVV,jihL *t t }i}imi? _hu {b ( b f ' u H& A }@t 6 f S 2 *? 2 c EH LMi 6 f _it O L4t t 6h i?i B@t i4tih@ h L? fff k ih}m tu uh _i O q w?i i?i hi i L? {b ( ' fcf?4 #i hi i _it TT@h@ ithl *t H

41 @tti?tti! hl4i htui i L_i? 1,0 Meßdaten Voigt-Fit Intensität [w.e.] 0,5 0,0 485,6 485,8 486,0 486,2 486,4 486,6 Wellenlänge [nm] Deelogxqj 619= Dqsdvvxqj hlqhu jhphvvhqhq K q 0Olqlh plw hlqhu XN} 0Ixqnwlrq1 t {b ' fcfd.?4,t h_ 4 _i4 $NVV,jihL * }iu@* i #@t t i?i O@*Mih tmhi i L? {b C ' fcfdh?4 #i 7 Bi"w?i?Mhi i!@?? _@?? _hu i?i,? u@*?} }il??i? ih_i?,?u@ Uih t _i }i4itti?i w?i 4 i?ih XN} 6?! L? 4i hi?c LMi _ih DBtttUi? i* _ih XN} w?i?mhi i uit Lh}i}iMi? h_? ih wnija 5? i* i? uhiih?t@tt?}tt@h@4i ih t W? MM S t i?i tl*ui?t@tt?} _ih O q w?i }i3i} #i }il??i?i? 7 Bi"w?i?Mhi i? ih_i? 4 ilhi tu MihiU?i Mi**ih i? w?i?mhi i? d eo _i,*i! hl?i?_u 3 #@t Mi}hi?3 i Lt?}tih4L}i? _it 5Ti! hl4i iht? i #t!hi tih?} _it 5Ti! h4t _hu _i? ##i i! Lh *4 ih _i hl4i htui i L_i? #i +it }@t@?@*)ti _ih +it }@t@?@*)ti E+B!@?? i? B@t}i4tU?tU *U ti?ih ~t@44i?ti 3?} ^@* ih_i? N4 i?i?hiui?_ Li tmi TLt i? WL?i? 3 ih@* i?c h_?lh4@*ihiti i?i,*i! hl?i?i?ih}i L?.f iv b

42 i*, Tih4i? i**i i L_i? ihi?_i c _@ 44 _it WL?tih?}tîhtU? it Mi _i? 4it i? L4i??_ L*i!*i? 3tUi? Df?_ ff iv *i} 6h _i +B h_ h4!l??ih*u _hu}iu@hi??@? ih Lt L??_ W? hi i?_i? h?_ Ai*Ui?_U i _ih t}@?}t4l*i!*i }itu*ltti? ih_i? #itit Vihu@hi? h_ uh _i #i i! L? L??i 4 *@t4@ i? t ii?_i? VihM?_?}i? ihi?_i #i _it 6h@}4i? ih?}t4t iht!@?? _hu +i_3ih?} _ih,*i! hl?i?i?ih}i ihh?}ih ih_i? _i WL?i?@tMi _i iyi4t?_*u!i 2 #i u h ttl hl4i hi #i u h ttl hl4i hi E5 t i? Vihu@hi? 3h #i i! L? uhiih +@_!@*ic _i 4 *@t4@i }im*_i ih_i? d D Ho #i 5? 3 N? ihtui_i _it u h ttl Mi _ih WL?tih?}c _@t L? _ih h _it t}@?}t t _@4 4L}*Uc ihtui_i?i Ai*Ui?tLh i?c _i 3 hi??i? i _ih 5 h i,*i! hl?i?i?ih}i? _ih WL?tih?}t!@44ih? i?i4 i hiu L? )TtUihiti u hi i? L? TLt i? WL?i? i?ih Mit 44 Mi i?ih Mit 44 i? 5Ui**i?ih}i Eu h ttl _i i! ih #i `@htui?*u!i c 4 _ih WL?i? }im*_i ih_i?c t Mit 44 _hu i?i? uh i _i 5Ti3it U@h@! iht tui?c i?ih}i@m@?}}i? WL?tih?}tîhtU? 6h _i 4i t i? L4i?_ L*i!*i *i} _i _ih i?u@u }i*@_i?i TLt i hi i?c 3tUi? D?_ D iv W4 Bi}i?t@ 3 3h L LL?tih?}c Mi _ih _i ih tu@hu _i?ih i? L L?i?i?ih}i ^@t tth?}@u L? i M*iM c t i} Mi _ih,*i! hl?i?t LyL?tih?} _ih 5 hu*@u _@?? Mi Df ff iv 44 W4 ihiu _ih u h ti?ih}i t _i WL?tih?}t!hi }i!h44 #it _i,?ih}i?tu@hui _ih L? _ih B*!@ L_i i4 ih i?,*i! hl?i? 3hU!3uhi?c _i Mi fc2 iv *i} u h ttl ih_i? _hu *?i@hi, h@tl*@ L? _ih khi?_ Vih}*iU 4 }i?@ Mi!@?? i? L *i? Mit 44 6h _@t ihi?_i i "5 h_i _@t u h ttl Mi h n WL?i? 4. '.c fcd iv ih4 i* cs iv Mih _i4 Mi bj 5j, d ìh L? Dc. fc iv *i} #i,*i! hl?i?i?ih}it!@*i h_i _@ih 4 _iti? ìh!lhh}ih #i u h ti?ih}i i?it L? _ih h _it t}@?}t N4 ef

43 @tti?tti! hl4i htui i L_i? 3 i? 56 n D i?i4 56 S L*i!* 3 ih3i}i?c 4y _@t L*i!* _ttl3@ L?tih ih_i?g 56 S n i 3 $ 56 n D n 6 n 2 i 3 E. c_tt ' Dce iv Eb N4 i? 56 n D WL? i?i4 56 D +@_!@* 3 ih3i}i?c t i?}ih,?ih}i?l i?_}g 56 D n i 3 $ 56 n D n 2 i 3 E. c_h ' c2 iv E f *i}i? _i u h ttl uh L*i!*i 2 iv uh uhii +@_!@*ic _@ Mi L*i!*i? 3t@ 3*U 3h WL?tih?}?LU,?ih}i uh _@t hi Ui? ih_i? 4y u}h? itit N? ihtui_it 4 u h ttl _hu Vih}*iUi i? `ih i? _@t Oih!?u t4l*i!* i?it WL?t Mit 44 ih_i? #i it ih Ai*Ui?t hl4_u i? 6h _i it 44?} i? Ai*Ui?t hl4_u i? 4y _@t #i i! Lht}?@* 4 _ih Ai*Ui?t hl4_u _ih "5Tih h!lhhi*ih ih_i? #@3 t i?i?@*)ti 3h,? t i?} _ih 5}?@*i 4 "5 ihulh_ih*u #ih ~t@44i?@?} 3tUi? _i? Vih@*?tti?? _ih hl3iy!@44ih?_ 4 "5?@*)t@ Lh t ul*}i?_ihg N? ih _i? }i}imi?i? hl3iy_hu!i? EDf 4M@h? ih Tih h_4i?tl? E_ ' Sf >4 iy _hu Tih h i?i t!lti B@tt hl4?} d efo #i #hu yh@ i ' t c tluih? _ih hl3iy_hu! 4 ihiu L? 2f Df h_c?@ih?}titi _hi! ThLTLh L?@* 3h Bit@4 i*ui?_u i Lh _ih "5Tih h? g?_ 3h B@t i4tih@ h A }@t?_ hi3thl!ih Ai*Ui?4@tti 6G ' 2? g ta }@t *6 E i }*ium*imi?_ih 5@}*it?} _ih 4Ti? 4 "55)t i4 t _ih #hu! M3 _i Ai*Ui?_U i?? _ih "5?@*)ti!@44ih _hi! ThLTLh L?@* 3h #huyh@ i ' _hu Tih h d efo #@ _i Ai*Ui?t hl4_u i _ih Tih h }ituhimi? g ' e? g7 ' e? g u H& A }@t Z6 c E 2 e

44 i*, Tih4i? i**i i L_i? LMi 7 uh _i 4 *ihi ih4tui BitU?_}!i t i c t _i Ai*Ui?_U i 4 "55)t i4 ThLTLh L?@* 3h 5 hl4_u i g G? 2? g ta }@t *6 2 g E ~tui? _ih Ai*Ui?_U i? 4 "5? i4 #i i! Lht}?@* 7 Mit i ul*}i?_ih ~t@44i?@?}g #ih WL?i?t hl4? _ih WL?tih?}t!@44ih _it "5 t U L? ', g U e j? c E e LMi, g _i w@?}i _ih WL?tih?}t!@44ihc U e _ih,*i! hl?i?i4ttl?tt hl4c j _ih WL?tih?}t^ihtU??_? _i Ai*Ui?_U i? _ih WL?tih?}t!@44ih t,? Ai* q _it WL?i?t hl4it _ih WL?tih?}t!@44ih i h@ih c T@ttih _@t "@_h TL*t)t i4 4 _ih `@htui?*u!i?_ h_ tu*iy*u 4 _ih `@htui?*u!i w 4 #i i! Lh }i4itti? 6h _@t QajA"5 h ih!l4m?ih i Ah@?t4ttL?t %#i i! L?t!Li3i? 4 w ' 6 3 L? d e o M3 4 w ' 63fcH d e2o #i BhLyi 6 L? t _it WL?t #@t hit* ihi?_i 5}?@*!@?? }ituhimi? 7 ' qw, g U e j? ' kqj? 2 g E D #@t 5}?@* h_? _ih,?i UL? t%t E~@*ih ThL 5i!?_i }i4itti? `i L? 7A} d e2o }i3i} _i, h@! L?t@htUi?*U!i q i*uih WL?tih?}t4iU@?t4t 3}h?_i*i} O@?_i* it tu 4 _hi! i WL?tih?} i? B* fc tl t _i, h@! L?t@htUi?*U!i q f hi*@ 3 q 2 Euh _i? _hi! i? hl3iy 2 n i 3 $ n 2 n 2i 3 }*iu,?t,hul*} _i WL?tih?} _@}i}i? Mih i?i? #ttl3@ L?tThL3iy i? B* bc tui? i*i! hl?tui? NMih}@?}t E8iBAW"NAaNA,gi! 4 L*i!*? h?ttui,?ih}i uhi ih_i?c _i _i? }im*_i i? 6h@}4i? tui,?ih}i 4 }i}imi? h_ #@_hu ih!*i?ih tu? _ih _i4 _i WL?i? _hu i*i! htui 6i*_? * ih i h@ih ih_i? #i, h@! L?t@htUi?*U!i t?! N4 _iti?,gi! Mi _ih 5 hl4_u imit 44?} L? i h@* i*ui? 3 MihU! tu }i?c 4y q f uh _i WL?tih?}tThL3itti t@u*u 3 4itti?_i? 5Ti3it 4 O*ui _ih 5 Mit 44 ih_i? ~ _iti4 ~iu! h_i? uh _i?ih i Ai* Ui?t hl4_u i? L? 2 c 2?_ 56 S u h ttl ii*t uh _hi! i? ttl3@ i WL?tih?} }i4itti? W? _it u h ttl e2

45 @tti?tti! hl4i htui i L_i? 1 N 2 o N + 2 O 2 o O + 2 Aro Ar + SF 6 o SF + 5 E X / E N2 0,1 N 2 o N + O 2 o O + 0, Masse [amu] Deelogxqj 61:= Uhodwlyh H{wudnwlrqvzdkuvfkhlqolfknhlw 2 i xu yhuvfklhghqh Lrqlvlh0 uxqjvsur}hvvh1 Glh Edonhq ghu Phihkohu olhjhq lq ghu Ju rhqrugqxqj ghu Phsxqnwh1 _i M@?}}!i _it 5}?@*t L? _ih,*i! hl?i?i?ih}i 4 i?ih *?i@hi? 6?! L? ih_i?,mi?tl!@?? 4 _i4 WL?tih?}t^ihtU? je. ihu@hi? ih_i?g 7 E. E.. c E S j E. ' b E.. E. b _i?t i}i _ih *?i@hi? 6?! L?i? t?_ _@y _@t }i4itti?i u h ttl 4 _i4 _it WL?tih?}t^ihtU? t Mihi?t 44 c tl!@?? B* S?_.? B*iU?} D i?}iti 3 ' kqb? E H _i? Mi!@?? i? BhLyi? kc b?_?!@?? q Mit 44 ih_i? W? MM. t _@t Vih@*?t _ih, h@! L?t@htUi?*U!i i? q f *q 2 h@}i? #@ tu _i _it #i i! Lht i}i? Ui4tUih klhhltl? t!3itti ih tu*iu ih c i? +iuihi?3t}?@* Mi3L}i? i4? ihtu i? hl3iy Mi i tu _@t t i t Lh@?_i?i n 2 #itit 5}?@* t ThL e

46 i*, Tih4i? i**i i L_i? TLh L?@* 3h Mi!@?? i? 2 Ai*Ui?t hl4_u _ih "5Tih hc _i 4 _ih B*iU?} v f 2 ' e?f 2 7 ' R g H& A - e & A - Z6 2 E b MihiU?i h_ Oih t R g _ih #hu!? _ih hl3iy!@44ih?_ A - _i +@4 i4 Tih@ h t _i4 Vih@*?t _ih 5}?@*i uh i? Ai*Ui? j?_ 2 E7 j *7 f 2!@?? _i Ai* Ui?t hl4_u i 3 ih_i? 4 d ec eeog j ' 7 jk 2 q 2 j 2 E. 7 f 2 k j q j j j E. 2 f 2 E2f,?i B@t i4tih@ _ih hlmi? h@}ihlmih@ui!@?? 4@tti?tTi! hl4i 3 ih_i?c?_i4 _i 5}?@*i _it?ih i? h}l? uh }i3?_i it E7 }i3?_i it *@t4@ E7 ih tl?t }*iui? i_?}?}i? ih}*ui? ih_i? s `i}i? 7 2? h A}@t t 2 h A }@t ' A - c E2 7 LMi A - _i +@4 i4tih@ h t A }@t t _@?? }*iu _ih Mih@Ui? i4tih@ h OihMi hi hi*@ }hlyi Etii MtU? D Lt i?_?i}@ i WL?i?c _ih _i "5Tih h higi?c ih_i? hl4i ih?@u}iiti? #i iy t}?@*i t?_ uh _i WL?i?t hl4_u hlmi? h@}ih d e2o #@Mi!@?? ih_i?c _@y _i ih "5 Tih h_4i?tl?i? *L!@* Mii?y _ih WL?i?t hl4 }i}i?mih i?ih?}it Lh i? Mih@Ui ih@?_ih h_ d c b.o 6h _i i tih?} _ih WL?i?t}?@*i t!i?i +iuihi?3}hlyi Lh@?_i? #it@*m t?_ ih?h hi*@ i it t?}i? 4L}*U e #i it 44?} *L!@*ih 5 hl4_u i? W4 Bi}i?t@ 3 3h ih!l44*ui? i L_i _ih Ai*Ui?t hl4_u imit 44?} 4 5c Mi _ih _@t Vih@*?t _ih?t i}i L? 5}?@*?_ WL?tih?}t^ihtU? Mi V@h@ L? _ih,*i! i h_ d e2oc h_ uh _i itt?} L? *L!@*i? 5 hl4_u i? _@t 5}?@* i #@Mi ih_i? _i,*i! hl?i?i?ih }i? tl i?}it i** c _@y _i 5}?@*i i?_i } i?i4 +@_!@* 3}iLh_?i ih_i?!l??i?c ee

47 @tti?tti! hl4i htui i L_i? Intensität [w.e.] am u (SF + 3 ) 70 am u (SF + 2 ) 51 am u (SF + ) am u (F + ) r [m m ] Deelogxqj 61;= Orndo ghwhnwlhuwh VI % 0Vljqdo ehl hlqhu hlqjhvwhoowhq Hohnwurqhqhqhujlh yrq fd1 58 hy= +~, Du2VI S 0Jdvvwurp rkqh jh} xqghwhv Sodvpd/ , Du2VI S 0Sodvpdmhw1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 83 vffp/ s 83 pedu/ S 3 e}z=93 Z/ 48 pp` _. _h.. _tt? B* i* Mi _itih VLh}ii?titi t? i i*iti tih!*i?i? iyt}?@*i?_ ul*}*u i?i }ih?}ihi Bi?@}!i ~h it 44?} L? *L!@*i? +@_!@*t hl4_u hlmi? h@}ih h i *@t i?i? uit i? 5 3tUi? #ti?_ hlmi? h@}ih i?}it 4 i? BitU?_}!i? o+u?} Mih _i "5Tih h }i u@hi? E}* 5 2H #@Mi ih_i? }*iu3i } _i 5}?@*i ti? Mih _ih #i 6@h}itU?_}!i h_ tl i?}it i** c _@y tu i? L?@hih _ih Tih h?_ 4 "55)t _i?!@?? #i i?i h t@uti 4}ihiU?i M@?}} L? _ih 6@h}itU?_}!i? ih?3@* _ih 3 _i i! i?i h t@lt?} Mt fcd 44 ihhiu ih_i? ~h Vih_i *U?} i? i L_i t?_? MM H h@_@*i hl *i L? WL?i?t}?@*i? uh i?i? h%56 S B@tt hl4 ed

48 i*, Tih4i? i**i i L_i? L?i?_ 4 }i3?_i i4 *@t4@ _@h}it i** h Mi }i3?_i i4 *@t4@ hi i? Mi _i? i? _i L? }im*_i i? +@_!@*i? 6h i?it 3ThL3ittit t?_ 5`@uih 4 } 4 i?i4 wlu L? U@ cd 44 #hu4ittih ihtii? Lh_i? #i `@uih h_i? _@?? _i4 hl Mi? h@}ih Miuit } c _@y }@tulh4}i 5Ti3it _hu _@t wlu 3h "5Tih h }i*@?}i?!l??i? u _iti ìti ih_i? Ai*Ui?t _ih 5Mih@Ui _i i! ih D 6i*ih_t!ttL? W? _ih h@ t hi hl4i iht)t i4 i?i +ii L? 5 Lh _i 3 6i*ih? 4 iyih}im?t uhi? d Do #i U }t i?,?tti tl**i? ih _t! ih ih_i?g imi? NV?_ ih4tu?_3ih ih +@_!@*M*_?}? _ih WL?i?î**i _it "5!L??i? *@?}*im}i +@_!@*ic _i Ai* _it O? ih}h?_}@tit? _ih "5?@*)t@ Lh!@4 4ih t?_c i?i? i h@} 34 iyt}?@* *iuih?,?i VLhhU?} 3h 5 h@*4l_*@ L? E5 ih 3h Ahi???} _itit i h@}t!l?? i }il4i htui? Bh?_i??U 4T*i4i? ih ih_i? u}h? it i Tih4i? i**i? um@t hlmi? h@}ih t hl 4?} w@ jian,,b*iu?} ihl tu _ih _ih Tih it 4 R ' *24 2 d edoc LMi 4 _i B@t_U i? i?u@?}t}@t }itu?_}!i t i i?ih B@t i4tih@ h L? edf k t _ih 6i*ihc _ih tu _hu i?i #hu!ihl?} ih}m c i_lu?h I?_ ih?@u*@tt},? i ihih,gi! Mi _ih it h@*?} "5Tih hm*i?_i 4 _i4 *@t4@i t _i Vihi?}?} _ih Tih ih4tuih VihuLh4?}c tl _@y _ih Ai*Ui?y _hu _i Tih h? M@?}}!i L? _ih it h@*?}t_@ih M!*?} _ih Tih hm*i?_i!ih _ih Ai*Ui?y ti?i? htth?}*ui? ìh 3hU! #@t +iuihi?3t}?@* 7 f 2 4y _it@*m uh i_i,?3i*4itt?} Mit 44 ih_i? #@ tu Mi _ih +iuihi?3ih Mit 44?} _ih *@t4@i i? uih? L? _ih Tih h Mi?_i? 4yc 4 _@t,h}im?t?u _hu _i B@tt hl4?} 3 ihu@*tui?c t _i Tih h!h33i }?U _ih ih4tui? i*@t?} _it ai #it!@?? 3 i?i4 3 }hlyi? +iuihi?3ih M3 4 3 i?ih 3!*i?i? Ai*Ui?t hl4_u i uhi? #i 6i*ihc _i _hu _i Tih hi i?c t?_ hi*@ }hly #it _i Ai4Tih@ hmit _ih Tih Oih!L??i? 6i*ih Mt 3 hi i? 6hii +@_!@*ic } i?,*i! hl?i?**i tih hi@! es

49 e #i it 44?} _ih h _i4 ì} L4 *@t4@ 3h WL?tih?}t!@44ih Ai*Ui? hi@}ihi? W?tMitL?_ihi?@U _ih iht i? Tih h!@?? it 3 +i!l4 M?@ L?i?? i?ih 5ULU!i**i!L44i? d eso yih_i4 t?_ +i!l4m?@ Mih@Ui? 4L}*Uc _i? 5i i?@?_i? _ih?u _i@*i? Tih h #hu ui*ihmi@u i i WL?tih?}tîhtU? i?_ Bih@ it@h@4i ih ih}imi? tu i ihi N?}i?@}!i i? Mi _ih it 44?} i? Ai*Ui?t hl4_u i? i }ih?}i?,*i! hl?i?i?ih}i?!l??i? _i WL?tih?}tîhtU? i j?h _hu W? ih M3, h@tl*@ L? L? w ih@ hih i? }il??i? ih_i?c LMi t)t i4@ tui 6i*ih L? hi i?!l??i? #i }*iu3i }i #i i! L? L? 5}?@*i?c _i tu 4 4ihihi BhLyi?Lh_??}i?? ihtui_i? E3 2?_ 6c? i i_?}?} _ih Vih}*iUM@h!i _ih 5}?@*i 4@U it?l i?_}c }ii}?i i,?t "5 5}?@*i 4 iymihiu *i}i? #@t Mi_i i c _@y tu@ui +@_!@*5}?@*i ihh@tu 5}?@*i L? 5Ti3it 4 Eh L_ih LMihi? +@? it iymihiut *i}i? #i }i?@?? i? Bh?_i 4@Ui? _i *Uc i 5 hl4_u i? 4 }hlyi? t)t i4@ tui??_ 3u@**}i? 6i*ih? Mi@u i t?_? i,h}im?tti }hlyi?lh_??}t4@y}i MtU@ 3?}i? 3 iht ii? t?_,? Vih}*iU }i4itti?ih 5 hl4_u i? M3 _@h@t ih4 i* ih Ai*Ui?_U i? _ih L_i**ih?} _ih 5 hl4?}t4iu@?! uh i?i B@tt hl4?} Mi +@4 i4tih@ h _@y? ih Mit 44 i? i_?}?}i? }i4itti?i?_ Mi hiu?i i Ai*Ui?_U i? } 4 i?@?_ih!lhhi*ihi? Etii?@?} e #i it 44?} _ih Mih@Ui? i4tih@ h #i it 44?} *L!@*ih 5Mt h@ Mih@Ui? i4tih@ hthl *i 4 _i4 Lh@?_i?i? 5 h@*?}tt)hl4i ih t Mi hlmi?4@ ih@*?u 4L}*Uc _@ ih@* 4?uh@hL i? 5Ti! 5 Mihi? L_ih i4 ihi?!@?? )hl4i ih4itt?}i? 5 2 hlmi? 4L}*U i*t Aih4Li*i4i? i?c _ih `@uihhu!ti i TLt L?ih t?_c!@?? *i_}*u i?i 4 *ihi Mih@Ui? i4tih@ 3 ih_i? 5L*Ui itt?}i? i? tu t Lhi?_ih!hLi**i?i?t hi?}?_?u _i@*ih ih?@ i i L_i uh _i MtU@ 3?} _ih h@_@*i? Ai4Tih@ hih e.

50 i*, Tih4i? i**i i L_i? T Gemessenes T OF -Profil r Probe O T = 0 T = T(r,z) O T = H V (T 4 T 4 RT) (Strahlung) O T = D (T T Kühlung ) (Wärmeübergang) O r Deelogxqj 61<= Prghoo i xu glh IHP0Vlpxodwlrq ghv udgldohq Z duphvwurpsurov dxi glh Surehqrehu dfkh1 Lq ghq N dvwhq vlqg glh mhzhloljhq Udqgehglqjxqjhq hlqjhwudjhq1 Glh Sihloh jhehq glh Z duphvwu rph dq1 _ih 5Mih@Ui t _i?_hi! i _i4 h@_@*i? `@h4it hl4thl * _it *@t4@i t #@? ih t iu! _i NMih*i}?}c _@y _ih *@t4@i Mi i?i4 Mit 44 i? 3h 5Mt h@ LMih@Ui i?i? `@h4it _i Mih@Ui *iuih c? _it ti? 6L*}i tu i? U@h@! iht tuit Ai4Tih@ hui*_ A Eoc5 4 #itit Ai4Tih@ hui*_ ih@*?_ BiL4i hi _it hlmi?!lhtiht tli L? _ih _i N4}iM?} E`@h4i@M*i?} _hu _ih +U!ti ic 5 h@*?}c kl?i! L? N4 _@t `@h4it hl4_u i ThL * M Eo _it *@t4@i t 3 Mit 44i?c h_i i?i hu!ti } }i!* i 5 2 hlmi E ff 44 #hu4ittihc D 44 #U!i L4 *@t4@ Mit h@* #@t tu 4 _ih h@_@*i Ai4Tih@ hthl * h_i T)hL4i htu }i4itti? #itit Ai4Tih@ hthl * _i? i +@?_Mi_?}?} uh i?i 54*@ _ih 6? i,*i4i? ii L_i E6,c Mi _i4 BiMi _it hl Mi?^ihtU? it _i L?@hi `@h4i*i?}t}*iu?} }i*lt h_i W? MM b t _@t L_i** uh _i 6,54*@ L? ihi?u@u _@h}it i** #iti 54*@ L?i? h_i? 4 _i4 hl}h@44 6*i #, L? $. 7N, NAt YAW _hu}iuh t _ih wlt?} _ih 6,ihiU??}!@?? _@t h@_@*i `@h4it hl4thl * 4 M Eo ' bua 6 Eo n h@_ E22 eh

51 e #i it 44?} _ih h Messung Simulation 700 T OF [K] (a) r [mm] TE-Messung Simulation 425 T OF [K] (b) r [mm] Deelogxqj 6143= +d, Vlpxolhuwhv xqg jhphvvhqhv udgldohv Whpshudwxusuro dxi hlqhp VlR 2 0 Vxevwudw1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 83 vffp/ S ;3 Z/ 48 pp` +e, Vlpxolhuwhv udgldohv Whpshudwxusuro xqg Wkhuprhohphqw0Phvvxqj dxi hlqhp Vlol}lxpzdihu1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 83 vffp/ S 93 Z/ 48 pp` eb

52 i*, Tih4i? i**i i L_i? Mit 44 ih_i? #@Mi t b _i `@h4i*i u@}!i _ih hlmic A 6 Eo _@t h@_@*i Ai4Tih@ hthl _ih hlmi?lmih@ui?_ h@ i _hu 5 `@h4it hl4_u i #@ i_lu Mit 44 i +@?_Mi_?}?}tT@h@4i ih i _ih `@h4i Mih}@?}t!Liu 3i? k? ih 5 h@*?}ti4ttl?t!li3i? 0?U }i?@ Mi!@?? t?_c 4tti? _iti Mih W ih@ L?ttU*iui? }iu?_i? ih_i? ~ _iti4 ~iu! h_i? Ai4Tih@ ih ui3?_ M!*T@ti i?ih _i4 MihiU?i i? `@h4it hl4thl * t4*ih?_ 4 }i4itti?i? Ai4Tih@ h!hi? ih}*ui? #i?mi!@?? i? kli3i? i? h _i? tl*@?}i? T)t!@*tU t??l**i? c Mt tu i?i Mit 4L}*Ui NMihi?t 44?} ih}@m #@Mi 3i} i tuc _@y 0!i?i? _@t,h i #i ih4 i* i? kli3i? i? t?_?@m@?}} L? _ih hlmi?}il4i hi Wt _@t h@_@*i `@h4it hl4thl * uh i?i? Mit 44 i? hl3iyt@h@4i iht@ 3 }iu?_i?c tl _i? +@?_Mi_?}?} i?ih 3i i? 54*@ L? _itih!l??i? Mih@Ui? i4tih@ hthlu*i uh hlmi? Mi*iM}ih BiL4i i? MihiU?i ih_i? MM*_?} fe@ 3i} 4 3i? h@*i? ihiu i?i } i NMihi?t 44?} _it }i4itti?i??_ t4*ih i? h@_@*i? Ai4Tih@ hthl *t uh i? 5 2 5Mt h@ 4.f 44 #hu4ittih?_ D 44 #U!i W? MM fem t i?i t4*ih i h@_@*i Mih@Ui? i4tih@ hih i?i4 5`@uih _@h}i t i** c i?i4?}i!* h@}ih *i} #i MihiU?i i? i4tih@ hi?!lhhi*ihi? 4 Ai4Tih@ hi?c _i 4 i?i4 Aih4Li*i4i? Mi t 44 h_i? 5i *i}i? 4 ihiu 3tUi? eff?_ ed k #@ 5*34 }i}i?mih 5 2 i?i u@t ff4@* }hlyihi `@h4i*i u@}!i Mit 3 c t ih _i #gihi?3 3 tui? Ai4Tih@ hi? Mi o ' f?_ Ai4Tih@ hlmi?h@?_ 4 S k hi*@ }ih?} #@ih!@?? _i Mih@Ui? i4tih@ ic?@m@?}} L? }iu@y ih_i? D #i T)t!@*tUi?_ ihtih?} _ih hlmi?lmih@ui D #i it 44?} L? 3h@ i? ~h it 44?} L? 3h@ 5hLMi? h_i? 3i h i? L? 3?}i? _hu }iuh ~4 i?i? h_i? h@_@*t)44i htui 3}hMi? ih3i} c?_i4 _ih *@t 4@i i?i Mit 44 i i?i4 h Mih _ih hlmi ihi* h_i _i *@t4@^i**i 4 i? BitU?_}!i T@h@**i* 3h Mih@Ui Df

53 D #i Ui4tUi ihtih?} _ih h [µm] r [mm] Deelogxqj 6144= W slvfkhv Suro hlqhu Dw}juxeh dxi hlqhp Vl0Zdihu1 _iti ìti i? Bh@Mi? ih3i} Aiui?ThL *i L? 3}hMi??_ Bh@Mi? h_i? 4 i?i4 LT tui? hl *L4i ih _ih 6h4@ BAN jw ih4itti? #@t LT tui hl *L4i ih Mit 3 i?i Aiui?@Lt?} L? 2f?4?_ i?i *@ ih@*i u*lt?} L? >4,? )TtUit hl * i?ih 5*34 t? MM _@h}it i** t 3}hMi? *@y tu *iu _i *L!@*i 3h@ i - Eo 4 -Eo ' Eo 3 E2 MihiU?i?c LMi Eo _i }i4itti?i hl * iui t #i VL*4i?@ 3h@ i - T }it@4 i 3ThL * ih}m _ih W? i}h@ L? _ih *L!@*i? 3h@ ig uh _@t - T ' ] o'" o'f -Eo2Zo _o E2e t 3}h@Mi?!@?? _i VL*4i?@ 3h@ i _hi! _hu * T*!@ L? _ih Bh@Mi? îhtu? t@ui 4 _ih 6@h}itU?_}!i _ih *@t4@î**i MihiU?i ih_i? #i it 44?} *L!@*ih 3h@ i? t ih _hu i?i 4@ i4@ tui,? u@*?} _it Bh@Mi?îhtU? ThL *t 4L}*U d e.o D

54 i*, Tih4i? i**i i L_i? D2 #i it 44?} L? Mih@Ui?h@i i? +@i i? h_i? 4 _i4 LT tui? hl *L4i ih tli 4 _i4 L4!h@u 4!hL t!lt E6 Mit 44!hLt!LTtUi MM*_?}i? _ih Mih@Ui h_i 4 h@t wu D #i Ui4tUi Mih@Ui?@?@*)ti #i Ui4tUi ~t@44i?ti 3?} _ih LMih@Ui??@i? ihiui h_i 4 L Li*i! hl?i?tti! hlt!lti Ej5? ihtu +L? }i?t h@*?} _ih,?ih}i D ih_i?!ih??@i,*i! _ih L4**i i? uih? #iti t?_ 4 i?ih,?ih}i. 4 L4 }im?_i??_ 4tti??LU i?i t h t@hmi e Mih?_i? #i,*i! hl?i? Mit 3i? _@?? i?i!?i tui,?ih}i. & ' D. e?_!l??i? i?ih}iti*i! _i i! ih ih_i? u}h?_ i*i4i? tti3 L4@hi ~ t@44i?ti 3?} i?ih hlmi }itu*ltti? ih_i? _i,?ih}i.? M@?}}!i L? _ih Ui4tUi??_?} _ih L4ic tl _@y Mih _i tl}i?@?? i Ui4tUi tt@}i? Mih }i hlgi? ih_i?!l??i? #i W?uLh4@ L?t iui _itit Vihu@hi?t L4,?u@**t?!i* _ih +L? }i?t h@*?} Mi D?4 #i *@ ih@*i Lt?} h hu _i 4?4@*i hlmi?@ui Mit 44 c Mi _ih? ih ih hi M@hi4 t}?!@? i 5}?@*i _i i! ih ih_i?!l??i? 5i *i} Mi _i4 ihi?_i i? Bih@ Mi U@ D 44?@?_ L? A@Mi**i? d2dc ehc ebo h_i? uh }i4itti?i Ui4tUi VihtUi M?}i? i? tthiui?_i Ui4tUi VihM?_?}i? _i? 3ih +i@! L?t5UU _U!i? E5 2 h_i? 4 _ih L? N,j d i _i? W? i? tih@*?tti? _ih 5?_ 5 2 w?i? Mit 44 #i,*i! hl?i?t h@*4!hltl?_i E,#j h_i uh _i Ui4tUi?@*)ti *L!@*ih Mih@Ui?t h! hi? ihi?_i c _ihi? *@ ih@*i t_i??}?h i?}i!hl4i ih Mi h@}i?,? ul!ttih ih,*i! hl?i?t h@* hi} _@Mi? _ih Mih@Ui +L? }i? t _i i?ih}i_ttiht _i i! ih h_ t _i4 +L? }i?tti! _i Ui4tUi ~t@44i?ti 3?} _ih Mih@Ui }itu*ltti? ih_i? #i W?uLh4@ L?t iui it,*i! hl?i?t h@*@?hi}?}tl*4i?t 4 LMih@Ui??@i? ihiu Mi U@ cd >4 #i,#jitt?}i? +@t ihi*i! hl?i?4!hlt!lt? ih ti?!hiu i4 5 h@*?}ti?u@** _hu}iuh D2

55 i* e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i #@t ul*}i?_i k@t i* MitU@u } tu 4 N? ihtu?}i? 3h *L!@*i? Vih i*?} L? Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 *@t4@i,t ih_i? _i 4,5 3}@?}* Ui? ki??}hlyi? L?t i4tih@ h A hl c i*i! hl?tui?hi}?}t i4tih@ h A i U?_,*i! hl?i?_u i? e Mit 44 VL? _ih L?t i4tih@ _@t Vih@* i? _ih B@t i4tih@ h }itu*ltti? ih_i?,*i! hl?i? i4tih@ hi? t?_ 4 Lh*i}i?_i? 6@**?U 4,5 3 ih4 i*? ih_i? _i? _itih hmi }i4itti?i? *@t4@!i??}hlyi? N? ihtu?}i? 4!hLi**i?@?}ihi} i? *@t4@i t ih}*ui? u _iti `iti tl** } Mit 44 i?,*i! hl?i? i4tih@ _ih w ih@ _i BhLyi?Lh_??} L? A e 4 ih? ihtu i? *@t4@i }itu*ltti? ih_i? #i ki???t _ih *@t4@!i??}hlyi? t ihulh_ih*u uh _i ilhi tui L_i**ih?} _it *@t4@i t Etii?@?} e #@t LT tui 5Ti! h4,? NMihM*U! Mih _@t )TtUi,4ttL?ttTi! h4 i?it h%56 S *@t4@i t t? MM e }i}imi? #@t 5Ti! h4 it 4 ihiu 3tUi? ff?4?_ eff?4 i?i +ii L? _it 3i i? TLt i? 5)t i4t _it iht i??i}@ i? 5)t i4t E65 3tUi? eff?4?_ esf?4 tih M DDf?4 hi _it iht i? TLt i? 5)t i4t E65 L? #iti ihi? ihtui?i? i?i +ii L? h}l??_ 6*Lh*?i? tli i?i 5@iht Lg*?i 4 ihiu 3tUi? Sbf?4?_ Hff?4 dfc D o,4ttl?t*?i? L? 5Uiui* E3 Mi S.D?4 t?_?u i?_i } 3 _i? 3ihi? D

56 i* e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i 30 Intensität [w.e.] N 2 SPS (1-0) [315,9 nm] N 2 SPS (0-0) [337,1 nm] N 2 SPS (1-2) [353,7 nm] N 2 SPS (0-1) [357,7 nm] N 2 SPS (2-4) [371,1 nm] N 2 SPS (1-3) [375,5 nm] N 2 SPS (0-2) [380,5 nm] FNS (1-1) [388,4 nm] FNS (0-0) [391,4 nm] N + 2 N + 2 N 2 SPS (1-4) [399,8 nm] N 2 SPS (0-3) [405,9 nm] FNS (2-3) [419,9 nm] N Wellenlänge [nm] Ar I (696,5 nm) Ar I (706,8 nm) Ar I (738,4 nm) Ar I (751,5 nm) Ar I (763,5 nm) Ar I (772,4 nm) Ar I (794,8 nm) Intensität [w.e.] S I (674,5 nm)? F I (687,0 nm) F I (703,7 nm) Ar I (714,7 nm) Ar I (727,3 nm) N I (744,2 nm) N I (746,8 nm) O I (777,5 nm) Wellenlänge [nm] Deelogxqj 714= Rswlvfkhv Hplvvlrqvvshnwuxp ghv Du2VI S 0Sodvpdmhwv1 Glh R0Olqlh ehl :::>8 qp huvfkhlqw dxijuxqg yrq Yhuxquhlqljxqjhq ghv Klqwhujuxqgjdvhv1 De

57 e2 L?t i4tih@ hi? r [mm] z [mm] Deelogxqj 715= Vfkqlww gxufk gdv Urwdwlrqvwhpshudwxuihog lq hlqhp iuhl euhqqhqghq Sodv0 pdmhw +Whpshudwxuhq lq N,1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 43 vffp/ s 83 pedu/ S 73 Z` e2 L?t i4tih@ hi? #i it 44?} L? i? 2 L?t i4tih@ hi? }i4@y MtU? 2 ihul*} i uhi Mhi??i?_i? *@t4@i uh i?i? uit i? 5@ 3 L? hl3iyt@h@ 4i ih??tu*iyi?_ h_i? Ai4Tih@ _ih Eo ' f? ih V@ h@ L? ih!hli**i?*it?}c 56 S B@tyh@ i?_ hl3iy!@44ih_hu! ih4 i* #@t 3i_4i?tL?@*i Ai4Tih@ hui*_? MM e2 t U@h@! iht tu uh i?i? uhi Mhi??i?_i? h%56 S *@t4@i? 2 N4}iM?} W4 ~i? h4 _it ai tc Mi 5 ' D 44c Mi?_i tu _@t BiMi 4@ 4@*ih Ai4Tih@ h i i?ih i?}it i** i?!hli**i?*it?} L? ef ` *i} _iti Ai4Tih@ h Mi Hff k W? h@_@*ih +U?} u@** _i Ai4Tih@ h??ih@*m i?}ih **4i +@4 i4tih@ #@t Ai4Tih@ hthl * t _ih #ti?tt 3i Mi}??i?_ Mt 3 i?i4 *@ u@** _@?@U *@?}t@4 W? MM Ai4Tih@ hthl *i Mi ihtui_i?i?!hli**i?*it? }i? _@h}it i** `h i wit?} ihl c tl _i? tu _ih tu M@hi Ai* _it *@t4@ DD

58 i* e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i h@_@*ih #@t BiMi 4@ 4@*ih Ai4Tih@ h ih}hlyih tu? i? Ai4Tih@ hi? t Mt 3 2ff k Mi ` ' ff MM*_?} eem 3i} 4@* i4tih@ h Mi 5 ' D 44? M@?}}!i L? _ih wit?} #i ui3?} _ih B@t4L*i!*i 4 *@t4@i t i?i 6L*}i ihtui_i?ih iu@?t4i? ~?@Ut t hl4 h}l? 4 +@4 i4tih@ _ih 3i? h@*i? #ti?_ h_ L?tih #ih NMih h@} L?!?i tuih,?ih}i _hu i*@t tui 5 Lyi 4,*i! hl?i? t _@Mi }ih?} E}* MtU? 22,ht _i *@t4@ _g?_i hi?_i? 4L*i!*@hi? B@ti 56 S?_ 2 tlh}i? uh i?i t@u*u Mih w@_?}t _ttl3@ ih +i!l4m?@ L? dedo t i?ih N? ihtu?} L? cna"jit t Mi!@?? d D2oc _@y _ih WL?tih?}tThL3iy L? 2 L*i!*i? _hu w@_?}t h@?tuih h n n 2 $ h n n 2 c Ee }iul*} L? _ttl3@ ih +i!l4m?@ L? n 2 n i 3 $ n Ee2 3h *_?} L? uhii? L4i? uhi?!@?? #iti Mit 3i? 4. ' 2 iv i?i hi*@ Li!?i tui,?ih}i?_ t i**i? tl4 i?i `@h4i^i**i _@h d D2o #i tih i3i? i? _ttl3@ i? WL?tih?}thi@! L?i? dhfo h n n 56 S $ 56 n D n h n 6 Ee?_ dh o n 2 n 56 S $ 56 n D n 2 n 6 Eee!L??i? imi?u@**t 3 i?ih ui3?} _it B@tit Mi h@}i? imi? _i? i? +i@! L?i? 3tUi? 2?_ 56 S ih_i??lu i?i +i@! L?i? 3tUi? 2?_ 56 n % WL?i? Lh}itU*@}i? dhboc Mi _i?i? _ih _ttl3@ i w@_?}t h@?tuih 3 i?ih B@t@ui3?} uh MM*_?} eee@ 3i} _i L?t i4tih@ 6?! L? _ih 56 S B@tyh@ i i V@h@ L? _ih 56 S B@tyh@ tu A hl?u t}?!@? #i Ai4Tih@ h `i 4 MtU? 2 _t! ih h_ic t?_ 4? ihtu i? *@t4@ uh #hu!i DS

59 e2 L?t i4tih@ hi? 2,5 2,0 T rot [10 3 K] 1,5 1,0 MW-Leistung 40 W 60 W 70 W 100 W 0, (a) z [mm] 2,4 2,2 T rot [10 3 K] 2,0 1,8 1, (b) Leistung [W] Deelogxqj 716= +d, Urwdwlrqvwhpshudwxu hqwodqj ghu Sodvpdmhwdfkvh1 +e, Urwdwlrqvwhp0 shudwxu dov Ixqnwlrq ghu hlqjhnrsshowhq Ohlvwxqj1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 43 vffp/ s 83 pedu/ Phsxqnw= 3/ 48 pp` D.

60 i* e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i 2,5 2,3 T rot [10 3 K] 2,0 1,8 P MW = 60 W P MW = 100 W (a) 1, SF 6 -Gasflußrate [sccm] 5,0 4,5 4,0 P MW = 60 W P MW = 100 W T rot [10 3 K] 3,5 3,0 2,5 2,0 1,5 1,0 (b) p K [mbar] Deelogxqj 717= +d, Urwdwlrqvwhpshudwxu dov Ixqnwlrq ghu VI S 0Jdvxudwh1 +e, Urwd0 wlrqvwhpshudwxu dov Ixqnwlrq ghv Sur}hguxfnhv1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI ydullhuw>83 vffp/ s 83 pedu>ydu=/ S 93 Z/ Phsxqnw= 3/ 48 pp` DH

61 e2 L?t i4tih@ hi? L? Df 4M@h _i wimi?t_@ih? i? 3!h3c 4 i? B*iU}iU 3tUi? _i? Vih i*?}i? _ih L?ti?ih}i? ih Ah@?t*@ L?ti?ih}i 3 ihhiui? AhL 3_i4 _@y _i L?t i4 Tih@ h? i B@t i4tih@ ih}*ium@hi M@?}}!i i? L? _i? hl i?? i i ih? i? }i3i} h i? B@t i4tih@ hih i ff k? ih _ih L?t i4tih@ h *i}i? MM*_?} eeem 3i} _i L?t i4tih@ h Mi 5 ' D 44? M@?}}!i L4 2 #hu!? _ih hl3iy!@44ih #i Ai4Tih@ hi? t i}i? 3?@Ut tu 4 3?i4i?_i4 #hu! i?i4 5@ _ih *iu L? _ih i?}i!ltti* i? #i Nht@Ui uh _i? _hu!@m@?}}i? Ai4Tih@ h@?t i} t@u*u? _ih Lihi? kl?3i? h@ L? L? 2 4 *@t4@ Mi }h?_i 3h _ih B@t@ui3?}tThL3itti uh yih_i4!l44 it Mi #hu!ihl?} 3h Vihh?}ih?} _ih B@tt hl4?}t}itu?_}!i dfoc tl _@y _@t B@t i?i Lihi t_@ih? i? #@4 ih}hlyih tu _i `@htui?*u!i uh _i?hi}?} L? Lihi? L?t5U?}?}t3 4 2 L*i!* i 4!hLi**i?@?}ihi} 4LtT@htUi? *@t4@i t i _i4 AW dhc D2o? i4 A d2o h_i? A hl hl *i }i4itti?c @*i? Vih*@u i _i ih }i3i} yih_i4 h_i i?i ih}*ium@hi #hu!@m@?}}!i _ih L?t i4tih@ h L? CNAAt d Do uh i?i??_! }i!ltti* i? *@t4@ t h@* }i4itti? `h i? _ih Lh*i}i?_i? hmi }i4itti?i khi uh ` ' ff ` Mt 34 #hu! L? fff 4M@h i h@tl*ih c _@?? hit* ih _@h@t i?i L?t i4tih@ h L? h?_ efff Mt edff k #itih `ih!lhhi*ih } 4 _i?? _i? hmi i? dhc edc esc D2o Mi ih}*ium@hi? hl3iyt@h@4i ih? i? L?t i4tih@ hi? uh h*@t4@i t i4,?mh?}i? i?it 5Mt h@ it ti?!hiu 3h h ih *@t4@i _i Mih@Ui t hl4i?_i B@t h_ 4}i*i?!?_ t 3h L?t i4tih@ hthl *i Mi?iti?i i?ih 5 2 5UiMi Mi 5 ' D 44 t? MM ed _@h}it i** #i Ai4Tih@ h t i} 3?@Ut i Mi4 uhii? ihhiu 4@*ih c _ih 4 uhii? ai *i} W? _ih Mih@Ui u@** A ih k*?} _hu _i _ih Mih@Ui h_i _i L?t i4tih@ ff k Mit 44 #i 4 _i4 )hl4i ih }i4itti?i 5 2 Db

62 i* e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i 2,5 2,0 P MW = 40 W P MW = 60 W FEM-Simulation Oberfläche T rot [10 3 K] 1,5 1,0 0,5 T S (SiO 2 ) 0, z [mm] Deelogxqj 718= D{ldoh Yhuwhloxqj ghu Urwdwlrqvwhpshudwxu lp Sodvpdmhw ehl Dqzhvhqkhlw hlqhu VlR 2 0Sureh1 Dxhughp lvw glh i xu S 73 Z vlpxolhuwh Jdvwhpshudwxu gdujhvwhoow1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 83 vffp/ s 83 pedu/ 3` Mih@Ui? i4tih@ h *i}? ih L?@hi? i_?}?}i? Mi Hff k #@ _ih Ai4Tih@ hmih}@?} 3tUi? *@t4@i?_ Mih@Ui t i } ih*@ui? _@h@t 3 ul*}ih?c _@y _i L?t i4tih@ h Dff k Mih _ih B@t i4tih@ h *i} **ih_?}t hi i? Mi _ih itt?} i}i? _it Ai4Tih@ h}h@_i? i?? ih Mi}hi?3 i? h@4*ui? Lt?} _ih,5t!?_ +ii _ih Mih@Ui }hlyihi _@y _i B@t i4tih@ hi? ff kdff k? ih _i? L?t i4tih@ hi? *i}i? ì? MtU? e _@h}it i** h_ic t? i Ai4Tih@ i?ih 5Mih@Ui 4 )TtUihiti e2f k _i *U Mi 5 2 #@ih t?_ _i 3 ih@h i?_i? L?t M3 B@t i4tih@ hi? Mih _ih hlmi i? tthiui?_!*i?ih W4 Vih}*iU 3i} _@t ilhi tu B@t i4tih@ hthl *? MM ed _i? }*iui? Vih*@u i _i }i4itti?i? L?t i4tih@ hi? i _ih ihiu??} h_i i?i i `@h4iî**i _i uh _i B@ti3?} ih@? Lh *U t #i `@h4iî**i h_i tl }i@* c _@y tu i?i NMihi?t 44?} L? t4*ih i??_ }i4itti?i? B@t M3 L?t i4tih@ hi?? i?i4 uhi? _i? Sf

63 e2 L?t i4tih@ hi? +@4 Mhi??i?_i? *@t4@i uh ` ' ef ` ih}m #@t _@h}it i** i ilhi tui,h}im?t i? t i c i??? ih tl?t }*iui? 54*@ L?tT@h@4i ih? 3t@ 3*U i?i *@t4@ 4L_i**ih h_ E}*?@?} #@t t4*ih i Ai4Tih@ hthl * *i} _hui}? ih _i? }i4itti?i? Ai4Tih@ hi? gi?tu *U ih_i? _i B@ti3ThL3itti Mi4,?Mh?}i? i?ih Mih@Ui?t *@t4@ _ih )TtUi? ~i i? uh _i #gtl? L? 2?_ 56 S? _i? h*@t4@i }M i?i,h!*@h?} _@uh #i i L? 2 L*i!*i?? h}l?!@?? 4 _ih tl} O@h cna"jit d 3 ih_i?g #i U@h@! iht tui ~i uh _i #gtl? t _@?? ( 2 ch cb f3e A}@t *2 EeD R g ' o ( 2 ch EeS 6h i?i? *@t4@i +@_t L? 2 44 *i} Mi 4t #i L_i**ih?} _ih 5 hl4?}tih@*?tti 4 *@t4@}@t 3i} c _@y _i B@t i*ui? L? _ih #ti Mt 3 i?ih Lt L? 5 ' 2f 44 4 uhi Mhi??i?_i? ai i?i w@u3i L? fc 4t Mi?L }i? d Deo #@t iy c ih t i?i #gtl? _ih 4}iMi?_i? B@tit 2?_ 56 S?t ~i? h4?lu?u _iti4 Bh?_ t!i?i Ai4Tih@ h@m@?}}!i L? _ih 56 S B@tyh@ i 3 MiLM@U i??_iht ih@* it tuc i?? _ih *@t4@i i?i *@ i hl4 #@?? 3i} _i 54*@ L?thiU??}c _@y _i w@u3i i? L? _ih #ti Mt 3h *@ i Mi 5 ' D L? _ih h@_@*i? Lt L? Mi 4t?_ 4t *i}i? d Deo #@t iy c _i #gtl? L? 56 S?_ _ih N4}iM?}? _@t ~i? h4 _it *@t4@i #i B@ti3?} t _@ih 3?@Ut igi! ihc? i L?t i4tih@ h t i} Lh _ih *@ i W? _ih Mih@Ui _@t B@t i_ih }i!* S

64 i* e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i e?hi}?}t i4tih@ hi? #i?hi}?}t i4tih@ hi? A i U h_i??@u _ih? MtU? 22 MitUhiMi?i? i L_i Mit 44 #i 6i?hi}?}t i4tih@ hi? i? *@?} _ih t?_? MM ese@ uh ihtui_i?i i?}i!ltti* i wit?}i? _@h}it i** W? _ih #ti Mt _i Ai4Tih@ hi? i?i? ìh L? Seff k #@?@U t?! _i?hi}?}t i4tih@ h 4 3?i4i?_i4 W4 +@4i? _ih iy}i?@}!i t _@Mi!i?i M@?}}!i L? _ih i?}i!ltti* i? wit?} 3 ih!i??i? #it ih@h i c _@ tu i?i Lihi wit?}?_ i?i _@4 ih M?_i?i Lihi i*i! _i,*i! hl?i?_u _i!?i tui,?ih}i _i?hi}?}t i4tih@ d Ai4Tih@ h@mu@** 3?i4i?_i?i*@t tui ìuti*h!?}i? _ih,*i! hl?i? 4 i?_g?_ihi?_i? 2?_ 56 S L*i!*i? 3hU!3uhi? +@_@*i Ai4Tih@ hthl *i!l?? ih_i?c _@ _i W? i? _ih 6i,4ttL?t*?i?? h@_@*ih +U?} tih i*i?? i L? Mih_iU! h_i? #i w?i?? Mt LUt i?t o ' cd M@h #i?hi}?}t i4tih@ 6?! L? L? _ih 56 S B@tyh@ i t? MM esem _@h}it i** i,hl?} _ih 56 S B@tyh@ i t i} A i U?h tih tu@u,t ui* i?i 56 S #gtl? L? 56 S? _i? *@t4@i c _i 4L}*Uihiti _i?hi}?}t i4 Tih@ h Mii?tti?!L?? i M i?ih B@tyh@ i L? Df tuu4 _L4?ihi? _i? MiLM@U i i? 5Ti! i W? _ih 6iw?i? ihtu?_i c tl _@y Mi Lihi? B@tyh@ i?!i?i iyih i ih@* i? ih_i?!l?? i?? i?i hlmi ti?!hiu? _i? *@t4@i i?}imh@u h_ U _@?? Mih_iU!i? _i 6iw?i??_ ih?_ih? i?i tih?} `h_ 3 i?i4 h%56 S Bi4tU 3t@ 3*U 5@iht Lg?3}iu} c tl t?! A i U *iu Eti i MM e.e@ ì tul? Mi _ih 56 S M@?}}!i _t! ih h_ic t Mi i?ih ui*i?_i? 2 #gtl?? _i? _@t *@t4@ 3 ih@h i? 6h Lh4@*_hU!*@t4@i t Mi i?ih!hli**i?*it?} L? ff `?_ B@ty h@ i?c BhLyi?Lh_??} i _i?? _itih hmi ihi?_i i? *@}i?c h _i?? uhihi? N? ihtu?}i??hi}?}t i4tih@ hi? 3tUi? esff k?_ DDff k }iu?_i? d.c edc ehc DDo R ' fff 4M@h i h@tl*ih i ìh? MM e.em *i} }i?@? _iti4 ihiu cn Wj W deho ih4 i?c _@y?hi}?}t i4 Tih@ hi? 4 Dfff k EMi ` ' ff ` U@h@! iht tu uh 4!hLi**i?@?}ihi} i S2

65 e?hi}?}t hi? 7,0 6,5 6,0 T exc [10 3 K] 5,5 5,0 4,5 4,0 MW-Leistung 30 W 50 W 70 W 100 W (a) 3, z [mm] 6,0 5,5 T exc [10 3 K] 5,0 4,5 (b) 4, SF 6 - Gasflußrate [sccm] Deelogxqj 719= +d, Dquhjxqjvwhpshudwxuhq hqwodqj ghu Sodvpdmhwdfkvh ehl yhuvfklhghqhq Plnurzhoohqohlvwxqjhq1 +e, Dquhjxqjvwhpshudwxuhq dov Ixqnwlrq ghu VI S 0Jdvxudwh1 ^Sd0 udphwhu= 633 vffp/ ^VI 43 vffp>ydu=/ s 83 pedu/ S 93 Z/ Phsxqnw= 3/ 43 pp` S

66 i* e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i 6,0 5,5 T exc [10 3 K] 5,0 4,5 (a) 4, O 2 - Gasflußrate [sccm] 6,0 5,5 T exc [10 3 K] 5,0 4,5 4,0 MW-Leistung 60 W 100 W (b) 3, p K [mbar] Deelogxqj 71:= +d, Dquhjxqjvwhpshudwxu dov Ixqnwlrq ghu R 2 0Jdvxudwh1 +e, Dquhjxqjv0 whpshudwxu dov Ixqnwlrq ghv Sur}h guxfnhv1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 43 vffp/ s 83 pedu>ydu=/ S 93 Z/ Phsxqnw +u> +3> 43 pp,` Se

67 ee,*i! hl?i?_u i? 3,0 2,5 P=60 W; [SF 6 ] = 10 sccm P=60 W; [SF 6 ] = 75 sccm P=100 W; [SF 6 ] = 75 sccm n e [10 14 cm -3 ] 2,0 1,5 1,0 0, z [mm] Deelogxqj 71;= D{ldohu Yhuodxi ghu Hohnwurqhqglfkwh i xu yhuvfklhghqh Sur}hsdudphwhu 3,1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ s 83 pedu/ 3` h}l?*@t4@i tc?@m@?}} L? hih ii*}i? +i@*tih?}c t?_ #i? _ih Lh *i}i?_i? hmi Mit 44 i? `ih i t 3i? _iti Vih4?} ee,*i! hl?i?_u i?,*i! hl?i?_u i? h_i??@u _ih? MtU? 2 MitUhiMi?i? i L_i Mi t Vih*@u _ih,*i! hl?i?_u i? e 4 *@t4@i t? MM eh _@h}it i** +@_@*i hl *i!l?? ih w?i?? c _ih }ih?}i? t_i??} _it *@t4@i t? it Mi}hi?3 i? *L!@*i? Lt?}tih4L}i?t _ih ih_i? W??4 _ih _i,*i! hl?i?_u i i?i? `ih L? 2 f e U4 3 3?i4i?_ih,? uih??} L? _ih #ti u@**? #ih Mu@** _ih,*i! hl?i?_u i 4 3?i4i?_i4 5 i?i MtU@U?} _it i*i! htui? 6i*_it _ih!hli**i 3hU!3uhi? i 5 :.cd 44 t _i 7 Bi"VihMhi ih?} _ih O q w?i? tih!*i??_!@?? _@???U i ih_i? 6h 4!hLi**i?@?}ihi} i h}l?t*@t4i? Mi #hu!i? L? fc 2f 4M@h t?_,*i! hl?i?_u i? L? f f f U4 3 dedo?_ uh Lh4@*_hU! L? f e 2 f D U4 3 SD

68 i* e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i 3,0 2,5 [SF 6 ] = 10 sccm; z = 0,5 mm [SF 6 ] = 75 sccm; z = 0,5 mm [SF 6 ] = 10 sccm; z = 5 mm n e [10 14 cm -3 ] 2,0 1,5 1,0 0,5 (a) Leistung [W] 6 5 MW-Leistung 60 W 100 W n e [10 14 cm -3 ] (b) p K [mbar] Deelogxqj 71<= +d, Hohnwurqhqglfkwh dov Ixqnwlrq ghu hlqjhnrsshowhq Plnurzhoohqohlvwxqj1 Glh ehlghq rehuhq Nxuyhq zxughq ehl 3>8 pp xqg glh glh xqwhuh Nxuyh ehl 8 pp jhphvvhq1 +e, Hohnwurqhqglfkwh dov Ixqnwlrq ghv Sur}hguxfnhv/ jhphvvhq fd1 3>8 pp yru ghu G xvh1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 43 vffp/ s 83 pedu>ydu=` SS

69 ed,*i! hl?i? hi? dc ec eho }i4itti? Lh_i? #iti ìh i t?_ _ih 7 Bi"VihMhi ih?} L? O Mih AL4tL?t hi?} Mit 44 Lh_i? #i? _ih Lh*i }i?_i? hmi Mit 44 i? ìh i *i}i? _@ih? _ih )TtUi? BhLyi?Lh_??} uh 4!hLi**i??_3ih i h*@t4@i t MM*_?} ebe@ 3i} _i M@?}}!i _ih,*i! hl?i?_u i L? _ih i?}i!ltti* i?!hli**i?*it?} i t i}i?_ih!hli**i? *it?} t _i,*i! hl?i?_u W? MM ebem t _i,? U!*?} _ih,*i! hl?i?_u i Mi 3?i4i?_i4 hl3iy!@44ih_hu! }i3i} #i #U u@t *?i@h 4 _i4 LMi _ih?t i} L? W4 f 5.cD 44c? _i4? e i?ih itt?} }@M it!i?i? i?i M@?}}!i L? _ih 56 S L_ih 2 B@tyh@ i #it it imi?u@**t _@h@u?c _@y? _iti4 ihiu _ih,?y _ih +i@! }@t_gtl?? _@t *@t4@i 3i? h4 }ih?} t ed,*i! hl?i? i4tih@ hi?,?i it 44?} _ih,*i! hl?i? i4tih@ h A e Mih _i tih?} L? WL?i?,4t 4L}*Uc _@ tl*ui w?i? 4 5Ti! hi i? #hu Vih}*iU _ih }i4itti?i? *@t4@!i??}hlyi? 4 *@t4@i tc Mi _i?i? 3t@ 3*U _i,*i! hl?i? i4tih@ h i L_i? ih4 i* h_ic!@?? i_lu _hu?@*l}itu*y _i BhLyi?Lh_??} L? A e uh _@t? _itih hmi? ihtu i ih_i?,?i tt@}i 34,?y L? 56 _i,*i! hl?i? i4tih@ h 4L}*U W? A@Mi**i e t?_ )TtUi iyih i Mi ` ' ff `?_ R g ' Df 4M@hc R g ' fff 4M@h i h@tl*ih i ìh i #@3 t?_ i? tthiui?_i iy ih _ih w ih@ h }i}i?mih}it i** **i }i4itti?i? ìh i!lhhi*ihi? } 4 _i? +iuihi?3ih i? u}h? itih NMihi?t 44?} _@y _i 4@ 4@*i?,*i! hl?i? i4tih@ hi?c _ih #ti *L!@*tih t?_c 4? ihtui? *@t4@i imi?u@**t Mi ìh i? 3tUi? efff?_ Hfff k *i}i? W? ihitt@? t _ih Vih}*iU 4,h}iM?tti? L? wb deo #ih i? ilhi tuit L_i** uh i?i? 4!hLi**i?@?}ihi} i? h}l?i Mi i**?_ i? 5)t i*i! htui? 6i*_}*iU?}i??_ Ah@?tTLh }*iu? }i? }i*lt U i?? _i hl3iyt@h@4i ih ER ' fff 4M@hc ` ' fff `c dho' Dfff tuu4?u _hi! ih}*ium@h i? ìh i Lih *i}i?c tl hl *i _ih,*i! hl?i?_u i tli _ih i h@*}@t i4tih@ h? S.

70 i* e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i (a) (b) Deelogxqj 7143= +d, Vlpxolhuwh d{ldoh Hohnwurqhqglfkwhyhuwhloxqj q e 1 +e, Vlpxolhuwh d{ldoh Suroh ghu Hohnwurqhqwhpshudwxu W e xqg Jdvwhpshudwxu W lq hlqhp plnurzhoohqdqjhuhjwhq Dujrq0Sodvpdmhw 4333 pedu/ ^Du`@ 8 vop/ S 4 nz, dxv hlqhu Xqwhuvxfkxqj yrq wb ^76`1 Glh h{shulphqwhoohq Hujheqlvvh vwdpphq yrq B ^489`1 SH

71 es Wdehooh 714= Yhujohlfk yrq w slvfkhq vshnwurphwulvfk huplwwhowhq Sodvpdsdudphwhuq plw Uhihuhq}zhuwhq dxv ghu Olwhudwxu +PSW= ^66/ 67/ 78/ 79/ 7;`/ WLD= ^68/ 6;/ 7:/ ih iyih, h@tl* ìh +iu +iu EDf 4M@h E fff 4M@h A AW A }@t dko Hff efff ffffff fffedff A hl dko 2ff efff ffffff fffedff A i U dko Dfff Dfff Dfff Dfff A e dko efff Hfff.fff? e du4 3 o 2 f e HcD f e f e f D f D WL?tih?}t}h@_ f 3e f 3 f 3e f 3 B@tyh@ i dtuu4o ff ff fff 2fff ` dò ff ff ff ff *@t4@@t _i??} Eo 5d44 2 o D 2 f 2 ef 2 Df MM e f Vih*@u i _i? _itih hmi }i4itti?i? hl *i #i B@t i4tih@ h t i} L? +@4 i4tih@ h Mt 3 u@** _@?@U *@?}t@4 _ih #ti?tt 3ic _i ih Mi 5 ' 2cD 44 *i} c t _i,*i! hl?i?_u i 4@ 4@*?_ u@** 4 3?i4i?_i4 L? _ih #i *U t _i #gihi?3 3tUi?,*i! hl?i? i4tih@ h?_ B@t i4tih@ h? i? ~L?i 3 tii? W? _ih T@tti? ~L?i u@**i? Mi_i Ai4Tih@ hi? 3t@44i? es ~t@44i?u@tt?} #ih uhi Mhi??i?_i *@t4@i 3i} _i U@h@! iht tui? ih!4@*i i?it?u ih4 tui? 4!hLi**i?@?}ihi} i? h*@t4@i t EA #i L?t i4tih@ hi? *i }i? Mi )TtUihiti 4 2fff k i? B@t i4tih@ hi? *i}i? ff Dff k _@h? ih #i?hi}?}t i4tih@ h?44 4 DfffSfff k imi?u@**t ìh _i? uhihi? N? ihtu?}i? uh 4!hLi**i?@?}ihi} i h*@t4@i t Mit 44 h_i? #i,*i! hl?i?_u #ti??@i i?i? ìh L? 2 f e U4 3 U _itih ìh t )TtU uh h*@t4@i t t _ih,*i! hl?i?_u i ul*} i? WL?tih?}t}h@_ L? % e ' f 3e #ih,?y _ih 56 S?_ 2 B@tyh@ _i *@t4@!i??}hlyi? 4 _ti??@i? h tmihiu t i}i??u Lh@?_i?i? h@_@*i? #gtl?? _i? *@t4@i hi*@ }ih?} #i }i4itti?i? Vih*@ui?_ MtL* i4 Tih@ hi? *i}i? Mi, h@tl*@ R g ' fff 4M@h 4 ihiu L? ìh i?c _i *@t4@i t? _ih w ih@ ih_i? Sb

72 i* e Ai4Tih@ hi??_,*i! hl?i?_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i i4,?mh?}i? i?ih *@ i ti?!hiu 3h 5Uti h ih *@t4@i #i L?t i4tih@ hi? t i}i? Lihi `ih ic 3h Mih@Ui? #hi! Mih _ih Mih@Ui t _i L?t M3 B@t i4tih@ h fff 4 Ai4Tih@ h4@ 44,?i MtU@ 3?} _ih U@h@! iht tui? ~i i? uh #gtl? ih}m c _@y?h 4 6@**i i?ih ti?!hiu i? *@ i i?i t}?!@? i 2?_ 56 S #gtl??t ~i? h4 _it h #i _@h}it i** i? iyih}im?tti M*_i? _i Bh?_*@}i uh _i L? 7 DiBONt" _hu}iuh i? 54*@ L?thiU??}i? _ih *@t4@ui4i? ih 5 hl4?}t4iu@?!.f

73 i* D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i W? _iti4 k@t i* ih_i? i Tih4i? i**i,h}im?tti 3h i??_ i??@*)ti _ih 4 *@t4@ }im*_i i? i h@* i*ui??_ WL?i? _@h}it i**? t! ih?@? ih *L!@*i? Ai*Ui?_U iih i*?}i?c _i hlmi? h@}ih L?@h i?t i**i?c h i 5 h! h _it *@t4@i t? ihtu?_ 4 t hl4?}t _)?@4tUi? 54*@ L?i? ih}*ui? hl4i L? +@_!@*i??_ WL?i? 4 *@t4@ hi? L? i h@* i*ui? hi?? MM D }imi? NMihM*U! Mih _i 4 *@t 4@ }im*_i i? i h@* i*ui?tlh i? #i 5Ti! hi? _ih Lt L? o ' f?_ 5 ' D Lh_i? W? MM D E@ hi t@u*u 5}?@*i L? 6h@}4i? i? _ih hl3iy}@ti hc 2?_ 56 #@?imi? t?_ hi*@ 5}?@ *i L? i*i? _it +it }@tit E 2 c O 2 c 2 Lh@?_i?c wiu!t? _ih hl3iy!@44ih `@ttih_@4tu 4 "5V@!4t)t i4 3hU!3uhi? t?_ #iti ihi? hi i? WL?i?t}?@*i L? 5 % 6 +?_ 5 % 6 + i ~4 tu?} L? tu h4? MM D EM?h i?} #i 5 % 6 + WL?i?t}?@*i ihtu?_i? i MitL?_iht _i WL?i?t}?@*i ihlh hi i? i?iti?i i?it _i4 hlmi? h@}ih ih tui?i? 5}?@*i L? 56 n 56 n e W?_!@ Lhi? uh _@t +i@! L?tThL_! 56 e Etii MM D EU D L? 56 %?_ 6+@_!@*i? W4 *@t4@ ih_i? 56 % +@_!@*i?@u _i? +i@! MtU? 2 }im*_i #iti!l?? i? 4 i*t 5 E}* MtU? 2 _i? 3ih ih_i? W? A@Mi**i D.

74 i* D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i 10 7 Ar + Intensität [counts/s] F N + H 2 O + Ar ++ /HF + + NO O + 2 /S+ NF + HFO + F + 2 NO + 2 /NS+ NSF + N 2 O + /CO + 2 SO + SF + 2 NF + 2 SO + 2 SOF + SF + 2 SO 2 F + 2 NSF m/q [amu] (a) SOF + 2 SF + 3 SF + 4 SF + 5 Intensität [counts/s] (b) N + H 2 O + F + Ar ++ / HF + NO + O + 2 /S+ 2 HFO + F + Ar + CO + 2 /N 2 O+ NO + 2 /NS+ SO + SF + SO + 2 SOF + SF SO 2 F + m/q [amu] SOF + 2 SF + 3 SF + 3 SO 2 F + 2 SOF + 3 SF + 4 SF + 4 SF + 5 SF + 5 Intensität [counts/s] N + + S + Ar ++ /HF + H 2 O HFO + F + Ar + SiF + 3 SOF N 2 O + /CO + 2 SO + SF + SO + 2 /S+ 2 SOF + SF + 2 SF + 3 SF + 4 SF m/q [amu] (c) SF + 3 SF + 5 Deelogxqj 814= Pdvvhqvshnwuhq yrq Uhdnwlrqvsurgxnwhq lp Sodvpdmhw= +d, Du2VI S 0 Sodvpd rkqh Vl/ +e, Du2VI S 2R 2 0Sodvpd rkqh Vl/ +f, Du2VI S 0Sodvpd plw Vl1 Srvlwlrq ghv Sodvpdmhwv= 3> 48 pp= Pdvvh 5; +Q n 2, zxugh zhjhq Phehuhlfkv xehuvfkuhlwxqj dxvjheohqghw1.2

75 hl4i L? WL?i? 4 *@t4@ Wdehooh 814= Yhujohlfk ghu Dxiwulwwvsrwhqwldoh yrq VI n % 4>===>8, xqg I n plw xqg rkqh Sodvpd1 Glh hlqjhudkpwhq Vsh}lhv vlqg lghqwl}lhuw zrughq1 Ghu Ihkohu ghu Uhihuhq}gdwhq olhjw ehl 4 hy1 WL? +@_!@*. divo. divo. divo +iuihi?3 +iuihi?3 56 n D 56 S Sc Sc Dce d.so 56 D c2 d D.o 56 n e 56 S bcf bcf HcH d DHo 56 D ecd d D.o 56 e 2cf d Dbc Sfo 56 n 56 S 2 cd bch d DHo 56 D.cf d Sfo 56 e cs ecd d Sfo 56 cf d D.o 56 n 2 56 S fc2 2.c d DHo 56 D 2 ch d Sfo 56 e bc d Sfo 56 Dce d Sfo 56 2 fc. ch d Sfo 56 n 56 S ch fcd d DHc Sfo 56 D 2.cf d Sfo 56 e 2Dcf d Sfo 56 2 cf d Sfo 56 2 HcH d Sfo 56 Dcf Dcf d Sfo 6 n 56 S e2.cd d DHo 6 Hc2 Hcf d S c S2o t?_ }i4itti?i u h ttl L? WL?i?c _i L??i h@*i? 56 % +@_!@*i? E% ' c cd?_ uhii? 6*Lh@ L4i? i? tthiui?_i? +iuihi?3ih _ih w ih@ h }i}i?mih}it i** #i u h ti?ih}i? uh 56 n D 4 6@** t? i? tu?_ *i}i? Mi i?i4 `ih c t}@?}t4l*i!*? it #@h@t t 3 tu*iyi?c _@y _i 56 D #U i? ih *i} M3 _@y _i wimi?t_@ih uh 3!h3 t #@t 56 n D 5}?@* t uh _i 56 S #U i i 56 n e h imi?u@**t!i?i 4iyM@hi #gihi?3? _ih u h ti?ih #@ 56 e? ih,*i! hl?i?mituy 4 t@u*u _ttl3ih c ih_i?.

76 i* D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i?h 3 i?i4 tih }ih?}i? Ai* 56 n e WL?i? }im*_i dsfc.so #itit 5}?@* t _it@*m imi?u@**t uh _i 56 S #U i #@t 56 n WL? 3i} Mi }i3?_i i4 *@t4@ i?i _i *U ih?i_h} i u h ti?ih}ic 56 t}@?}t4l*i!*?_i i _ih u h ti?ih}i *i}i?_i,*i! hl?i?i?ih}i? t _@t 56 n 5}?@* uh _i 56 e +@_!@*_U i 56 t?u?@u3iti? #ih Vih}*iU _ih }i4itti?i? 5Ui**i?ih}i? uh _@t u hi i? L? 56 n 2?_ 56 n Mi }i3?_i i4 *@t4@ 56 2?_ ii*}i t}@?}t4l*i!*i tu*iyi? t L_i**i? uh _i 56 S % 2 *@t4@ui4i 4 #hu!mihiu L? 4M@h L? -+BA?_,6O M3 Bjiuj,a?_ io,,b d..c.bc bbo t Mi!@?? c _@y _i +@ i?!li3i? i? uh _i +i!l4m?@ L?thi@! L?i? E}* MtU? 2 56 % n n 6 $ 56 %n n ED 4 % ' M3 % ' D i? Mt _hi BhLyi?Lh_??} }hlyih uh _i +i!l4 M?@ L? _ih +@_!@*i 4 % ' ( 2?_ e #@t Mi_i i c 56?_ 56 D hi@}ihi? tih tu?i** 3 56 e M3 56 S #i u h ti?ih}i L? 6 n Mi }i3?_i i4 *@t4@ t}@?}t@ L4? ~@h _i u h ti?ih}i i?it 6 n _ih TL*@hi? #ttl3@ L? L? 6 2 E6 2 n i 3 $ 6 n n 6 3? _it }i4itti?i? ih iti? *U!*i?ihi?, h@! L?t@htUi?*U!i E}* MtU?? it eu@u Lihi? 65}?@*t }i}i?mih _i }?@* _@y _@t 5}?@* 6 L4i 3hU!3uhi? t d }i3i} c _@y Mi4?*i}i? i?ih TLt i? M3?i}@ i? _i??ihi "5Tih h ii*t i? }i}i?}iti 3 }i*@_i?i _i4?@*)t@ Lhh@4 uih?}i@* i? ih_i? #@t 6 n i tu _@Mi?U c Lh@t 3 tu*iyi? t c i? i h@} L? 6 3 WL?i? 34 5}?@* Mi ih?@u*@tt} ih_i?!@?? #ih,*i! hl?i?mituy L? 6 3 WL?i? 4 "5 uh 3h i h@*tih?} d *_?}?@UitM@hih TLt ih WL?i? 4 "5 t?@htui?*u #i?i h@*tih i? 6 L4i hi@}ihi? 4 _i? `@?_i? _it "55)t i4t 3 Lh_i? L_ih 4 O 2 3 O6?_ O6 5Ti3it M*_i? 4 "5 i?i? B@t? ih}h?_c L?i *@t4@?@u}iiti? ih_i?!@??.e

77 hl4i L? WL?i? 4 *@t4@ Wdehooh 815= Yhujohlfk yrq jhphvvhqhq Dxiwulwwvhqhujlhq plw Uhihuhq}zhuwhq1 WL? t}@?}t L*i!*% d@4o. divo. divo }i4itti? +iuihi?3 +iuihi?3 56 n 56 2 S. ec 56 n HS 2c 2c2D d.so 56 n 56 e fd ec n H DcH n f2 c2 cfe d.so 5 n Se 2cf 2cD d.so 5 n 5 2 fce fcs d.so +VI S n c 2cf. d.so EVI S.R 2, n f bc bc2s d.so n e ecd ecd d.so n S cs cs2 d.so L? 56c 56?_ VihM?_?}i? W? A@Mi**i D2 ih_i? u h ttl i ihih 5Ti3it 4 +iuihi?3ih i? ih}* Ui? 6h 56 n c 56 n?_ n t?_!i?i #@ i? ihu}m@h #i u h ti?ih}i _gihi?3 3tUi? 56 n?_ 56 n 2 M3 3tUi? 56 n?_ 56 n e t chd iv i n *i} _i,?ih}i_gihi?3 }i}i?mih n 2 Mi 2cee iv,t _@y _i WL?i? 56 n c 56 n?_ n hl4i ih 56 2 c 56 e M i? t ii?c LMi _ih #gihi?3mi ih_i? 4yc 4 i?i 56?_?} 3 MhiUi? t _ih w ih@ h t Mi!@?? c _@y? hi?i? 56 S *@t4i? }im*_i h_c _@t imi?u@**t Mi d SDo #i u h ti?ih}i L? n 2 *i} i_lu Mi cs ivc tl ih_i?!@??c _@y it tu d.so #@t 5}?@* i?i u h ti?ih}i L? 2 iv?_ h it@*m 5 2 3}iLh_?i #i u h ti?ih}i _it 5 n 2 WL?tc 5 2 i? t i c *i} 4 bc. iv _i *U _@h? ih 5 2!L44 t}@?}t4l*i!*?u? 6h@}i **ih_?}t t 4 h%56 S L4@hih 5Uiui* 4. ' fce iv?@u 3iti? i ~4tU?} L? 2 ihl tu _i u h 2c 5}?@* Mi t@u*u L? n 2 #i n c n?_ n 5}?@*i h4!l??i? ii*t i?_i } c.d

78 i* D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i Intensität [10 5 counts/s] H NO N O N 2 F S 2 / NS NO SO SF Ar SO 2 SOF SF 2 SF 3 SF 4 SF 5 (a) m/q [amu] 10 6 F Intensität [counts/s] F 2 NO 2 NS SF NF SF 2 SF 3 SF 4 SF 5 SF 6 (b) m/q [amu] Deelogxqj 815= Pdvvhqvshnwuxp +d, srvlwlyhu Lrqhq xqg +e, qhjdwlyhu Lrqhq dp Surehq0 wu djhu 3> 48 pp,1 M3 +@_!@*i? 3}iLh_?i ih_i? #i 5}?@*i t? i? WL?i? 6 n c 6 n 2 c 56 n M3 56 n 33Lh_?i??_ _i, t i?3 _ih L*i!*i 6 c 5?_ 56 4 *@t4@ tu*iyi? #i Oih!?u _it 5}?@*t Mi i? tui_i? ih_i?c _@ tll* uh uh 5 n _i u h ti?ih}i Mi bcd iv *i} D e Lt i?_?i}@ i WL?i? W? MM*_?} D2E@ t h4 L? TLt i? WL?i? }i3i} c _i4 *@t4@i i h@ih h_i? imi? 56 n % WL?i? E% ' Dc _i _hu,*i! hl?i?t L yl?tih?} L_ih w@_?}t h@?tuih i? t ii?c hi i? WL?i? _it N4}iM?}t}@tit E n?_ n #@?imi? ihtui?i? L*i!*L?i?c B@tT@ti?hi@! L?i? 4 4 *@t4@ }im*_i i? 5Ti3it

79 D2 Ai*Ui?t hl4_u iih i*?}i? 4 h%56 S *@t4@i,? h n WL?i?t _i? hlmi? h@}ih t!@4?@u3iti? U iytlt L?i?E 3 5 ' f 44 h Mi L}* Uihiti ih_i? _i?4 _ih #ti i? h n _i4 `i} Mt 34 hlmi? h@}ih _hu tu?i**i w@_?}t h@?tuihhi@! L?i? Etii MtU? e2 ih?u i dhfc D2o,?i WL?tih?} Mi 5 f 44 t i}i? _ih hi*@?i_h}i?,*i! hl?i?i?ih}i d SSo W? MM*_?} D2EM t i? h4 uh _i 4 hi i?_i??i}@ i? WL?i? }i3i} #iti WL?i? i? t ii? _hu,*i! i*i! hl?i}@ i t}@?}t4l*i!*ic LMi _iti L*i!*i _ttl3ihi?!l??i? i i TL?i? N? i?i? i h@} L? _i4 *@t4@ i h@ih i?,*i! hl?i? 3hU!3uhi? D2 wl!@*i Ai*Ui?t hl4_u iih i*?}i? 4 h%56 9 *@t4@i i h@* i*ui?5 hl4_u i? #i hlmi? h@}ih L?@h i?t i**i?_i? h@_@*i? 5 hl4_u iih i*?}i? i?it!l4t*i i? ~t@44i?tti*t *L!@*ih kl?i! L?t?_ #g tl?tt hl4i tli Ai*Ui?M*_?}t?_ Vih?U?}th@ _ih 5 hiu!i 3tUi? *@t4@_ti?_ hlmi? h@}ih 6h _i i Tih4i? i**i?@*)ti _ih 5 h! h _it *@t 4@i t h_i? 5 hl4_u ithl *i _ih 56 %?_ 6+@_!@*i tli L? 56 S c h?_ #i itt?}i? h_i? Mi i?i4 iht@ 3 _hu }iuh c _ih? A@M i t W? MM DE@ t? i h@_@*i? 5 hl4_u ithl *i L? 56 S?_ 6 uh ihtui_i?i 5 3tUi? *@t4@_ti?_ hlmi? h@}ih _@h}it i** #@t h@_@*i 56 S 5 hl4_u ithl * M*_i 6L*}i ~4tU?} _hu _i h?}ulh4}i **ih_?}t t _@t hl *?t}it@4 i* Mhi _i U@h@! iht tui? #ti?_4i?tl?i? #it _i t hl4?} 3hU!3uhi? t Eti W4 ~i? h4 _it 56 S hl *t Mi?_i tu i 5 hl4_u i 34 hl *h@?_ Mt o ' D i_ih 3?i4i?_i4 5 }*iui? tu _i 5 hl4_u i? 4 ~i? +@?_ i}i? _ih h@_@*i? #@t 4 }*iui? #@}h@44 _@h}it i** i 6hL * 3i} i? Vih@* i? Oih h 4 ~i? h4 #@t hl i?i O@*Mih tmhi i L? ecd 44 i i?i4 5 ' b 44 t _i 65 hl4_u i _i *U Mi..

80 i* D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i 14 z = 12,5 m m z = 19 m m z = 35 m m 20 j F [10 23 m -2 s -1 ] F SF j SF6 [10 24 m -2 s -1 ] 2 (a) z = 12,5 m m z = 19 m m z = 35 m m SF 4 SF 2 SF 3 j [w.e.] (b) z = 12,5 m m z = 20 m m z = 35 m m N 2 Ar j [10 25 m -2 s -1 ] 10 5 (c) r [mm] Deelogxqj 816= Udgldoh Vwurpglfkwhsuroh dp Surehqwu djhu i xu yhuvfklhghqh Devw dqgh }1 +d, I xqg VI S 1 +e, VI % 0Udglndoh1 +f, Dujrq xqg Q 2 1.H

81 D2 Ai*Ui?t hl4_u iih i*?}i? 4 h%56 S *@t4@i Wdehooh 816= Vwdqgdughlqvwhooxqj i xu glh ih 6Lh4i*3iUi? `ih h}l?}@ty dho ff tuu4 56 S B@ty d56 S o Df tuu4 hl3iy!@44ih_hu! E 2 R g Df 4M@h!hLi**i?*it?} ` Sf ` 2cD 44 i 5 ' D 44 hl * _@}i}i? #i h@_@*i? 5 hl4_u ithl *i L? 56 e c 56 2?_ 56 t?_? MM DEM }i3i} #iti 5Ti3it hi i? i _i 6*Lh@ L4i 4 3i? h@*i? ihiu _it *@t4@i t 5 ' b 44 iti? _i 56 e?_ 56 2 hl *i i?i #LTTi*Ti@!t h! i*ui Mi 5 ' D 44 ihtu?_i? t #i h@_@*i? hl *i L? 2?_ h t?_? MM DEU _@h}it i** #@t hhl * i? tthu _ih #ti?!l? }h@ L?,t imi?u@**t iti? *U Mhi _ih #ti?_hu4ittih 4 _ ' cd 44 N4 _i Vih@?_ih?}i? _ih 5 hl4_u ithl *i? M@?}}!i L4 it hlmi? h@}iht L? _ih *@t4@_ti }i?@ih 3? ihtui?c h_i i Ai*Ui?t hl4_u i? L? 56 S?_ 6 Mi o ' f Euh 56 o ' S 44 }i4itti? #i ti t?_? MM DeE@ _@h}it i** 6h 5 b 44 t _i 56 S 5 hl4_u i Mi o ' f?@i3 ** i }hlyihi? Mi}?? _i 56 S 5 hl4_u i t i}i??_?@ih tu _i4 Mi o ' S 44 }i4itti?i? #i 65 hl4_u i 4? ihi? Ai* _ih MM DeE@ t i} Mt 5 ' b 44 4L?L ihhiu 44?_ u@** _@?@U i TL?i? i** 5 hl4_u ithl *i _ih 56 % +@_!@*i 4 LMihi? Ai* _ih MM DeEM t i}i? 5i u@**i? i_lu Mi? ihtui_*ui? @?_t@m@?}}i? h?_ 2 5 hl4_u i? t?_ 4? ihi? Ai* L? MMDeEM }i3i} Oih h i *Uc _@y _i 2 #U i 4 3?i4i?_i4 5 4 ~i? h4 Mi o ' i} #@t hhl t _i? Vih*@ui? _ih Ai*Ui?t hl4_u i? ih}m tu ul*}i?_it *_G h}l??_ 56 S t _ih LMi h}l? L? 56 4}iMi? t u _i4 `i} 34 hlmi? h@}ih }i*@?} _@t 4 t hl4i?_i 56 hi?_i 2 _hu h@_@*i #gtl??t ~i? h4 _it *@t4@i _g?_ih ai }hlyih _ih 5 3tUi? #ti?_ hlmi? h@}ih t c 4tL }ih?}ih ih_i? _i h@_@*i? kl?3i? h@ L?t}h@_i? i?? i ihmhi ih? tu.b

82 i* D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i j j SF6 [10 24 m -2 s -1 F [10 23 m -2 s -1 ] ] AZ PZ SF 6 bei r = 6 mm SF 6 bei r = 0 AZ PZ F-Radikale (a) z [mm] j SFx [w.e.] SF SF 2 SF 4 j [10 25 m -2 s -1 ] 10 5 AZ PZ N 2 Ar (b) z [mm] Deelogxqj 817= Whlofkhqvwurpglfkwhq ghu kdxswv dfkolfk lp Sodvpd dxiwuhwhqghq Vsh}lhv lq Dek dqjljnhlw yrp Devwdqg }1 Glh Ihkohuedonhq jhehq glh Yduldq} dxv yhuvfklhghqhq Phvvxqjhq dq1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 83 vffp/ s 83 pedu/ S 93 Z` Hf

83 D2 Ai*Ui?t hl4_u iih i*?}i? 4 h%56 S *@t4@i Gastemperatur [K] z [mm] Deelogxqj 818= Yhuodxi ghu Jdvwhpshudwxu dq ghu Surehqwu djhurehu dfkh 3, lq Dek dqjljnhlw yrp Devwdqg }1 Glh Whpshudwxu zxugh pdvvhqvshnwurphwulvfk dxv ghp Du0 Vljqdo dejhvfk dw}w1 #ih *@t4@i t i** i?i? T*@t4@Ui4tUi? +i@! Lh _@hc i ih? MtU? 222 MitUhiMi? t i ~L?i E~ hiu Mi _i? i?}it i** i? hl3iyt@h@4i ih? Mt 5 ' b 44 ~tui? #ti?_ hlmi? h@}ih Mi?_i tu i?i,? *@_?}c? Lih,*i! hl?i?_u i? _i #ttl3@ L?th@ i? L? 56 S LU t B*iU3i } t _ih 56 S #gtl?tt hl4?t ai 3i? h4?lu hi*@ }ih?} #@ih t _i 56 S #U i? i? ~L?i?@i3 ** W4 ~i? h4 _it *@t4@t M*_i? t@u*u #ttl3@ L?tThL_! i i 6?_ 56 % +@_!@*i?@u _ih +i@! L?t}*iU?} 56 % n i 3 $ 56 %3 n 6 n i 3 E% ' ccs ED2 #@?imi? i? t i i?i }hlyi ~@* ihtui_i?ih i ihih hl_! _ih +i@! L? L? 56 % 4 2?_ 2 c _i h4?@u}iiti? h_i? `h_ 5 Mih b c tl Mi?_i tu _@t hlmi? h@}ih? _ih T@tti? ~L?i E~ `i? MM DD }i3i} t c t?! _i B@t i4tih@ h ih hi*@ #i T*L 3*U i}i?_i 56 S #U i 4 ~i? h4 i?i 3hU!}ii?_i #ttl3@ L?th@ i tu*iyi? W? _ih T@tti? ~L?i t?_ +i!l4m?@ L?t H

84 i* D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i ThL3itti Mih #hiiht Lyi _L4?@? G 56 % n 6 n $ 56 %n n ED W? MM DSE@ t _iti t ui?iti 6*Lhih?} _ih +@_!@*i 3 tii? Oih t?_ 44?Lh4ih i 56 % 5 hl4_u ithl *i Mi o ' f? M@?}}!i L? 5 _@h}it i** h 6?_ 56 _ih Bhi?3i L? i? 3h T@tti? ~L?i W? _ih T@tti? ~L?i u@**i? _iti 5 hl4_u i? Mi 5 ' i} i 5 ' 2ScS 56 e 44 #i 56 S 5 hl4_u i ihhiu Mi 5 ' 2b 44 i?i? `ih c _ih 4 i ihi? Vih*@u?h?LU i} `i? MtU? D 2 MitUhiMi? h_ic t? i +@ i?!li3i? i? uh _i +i@! L? D 4 % ' ( 2?_ e i? Mt _hi BhLyi?Lh_??}i?!*i?ih uh _i +i@! L?i? 4 % '?_ D t _iti4 Bh?_ t?_ 56c 56 2?_ 56 e 56?_ 56 D?U?@U3iti? t?_ MM*_?} DSEM 3i} _@t 44?Lh4ih i 6?_ 56 % hl *i? h@_@*ih +U?} Mi 5 ' H 44 U ih h i *Uc _@y _i h@_@*i? Lt L?i? _ih 5 hl4_u i4@ 4@ L? 56 % 5Ti3it 4 _i4 6*Lh@? i* %!Lhhi*ihi? #@t iy h@_@*ih +U?} t _ih N? ihtui_ 3tUi? i? ~L?ic? _ih i*i! hl?i?t Ly?_3ih i #ttl3@ L? 3 6?_ 56 c? ih T@tti? ~L?ic? _ih #hiiht Lyhi!L4M?@ hi i?c tu M@h i ~L?i hiu Mt o ' 2 44 t B@t}itU?_}!i tthl *i? MtU? D2!@?? _i 6*}3i _ih Ai*Ui? L? _ih #ti 34 hlmi? h@}ih Mit 44 ih_i? i 5 ' 2f 44 t 4t 6h 5 ' ef 44 *i} _i 6*}3i Mi 2c D 4t L_i** hiu??}i? 3h +i@! L?t!?i!? i?i4 6*yhi@! Lh 4 56 S *@t4@ 3i}i?c _@y _i )TtUi? ~i i? uh +i!l4m?@ L?tThL3itti Mi i?}i? **ti!?_i? *i}i? #@ 4 Mi?_i? ti tu 4 }*iui? BhLyi?Lh_??}tMihiU i _i 6*}3i i? d.ho 6h!*i?i 5 4@U tu _it@*m _i *L!@*i 5iT@h@ L? _ih 5 hl4_u i4@ 4@ _ih 56 % +@_!@*i Mi4ih!M@h 3?i4i?_i4 5 hu!i? i_lu 4@? +U?} o $ f M 5 ' b 44 Mi?_i tu _@t hlmi? h@}ih? _ih T@tti ~L?i?_ hi!l4m?ih Mih _i4 }it@4 i? h@_@*i? hl * MM*_?} D.E@?_ EM 3i} tui4@ tu _i w@}i i??_ T@tti? *@t4@3l?i uh 3i ihtui_i?i H2

85 D2 Ai*Ui?t hl4_u iih i*?}i? 4 h%56 S *@t4@i 1,4 1,2 F/SF SF 2 SF 4 SF 6 rel. Intensität [w.e.] (a) 1,0 0,8 0,6 0,4 0,2 F 0,0 SF z [mm] 1,4 1,2 F/SF SF 2 SF 4 SF 6 rel. Intensität [w.e.] (b) 1,0 0,8 0,6 0,4 0,2 0,0 F SF r [mm] Deelogxqj 819= Orndoh Whlofkhqvwrpglfkwhsuroh yrq VI % 0 xqg I0Udglndohq= +d, lq Dek dqjljnhlw yrq } 3,/ +e, lq Dek dqjljnhlw yrq u 4; pp, H

86 i* D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i Probenträger Probenträger PZ Düse AZ Düse AZ PZ PZ z d 19 mm z > 19 mm (a) (b) Deelogxqj 81:= Vfkhpdwlvfkh Gduvwhooxqj ghu dnwlyhq xqg sdvvlyhq Sodvpd}rqh lp Sodv0 pdmhw i xu }zhl yhuvfklhghqh Devw dqgh }1 WL?i?t hl4_u i? #i N? ihtu?} _ih *L!@*i? Vih i*?} L? WL?i?t hl4_u _i? hlmi? h@}ih }M utu*y Mih ihtui_i?i i*i! hl?i??_3ih i hl3itti 4 *@t4@i i,*i! hl?i?t LyL?tih?}?_,*i! hl?i?@?*@}ih?} E}* MtU? 2 MM*_?} DH 3i} _i h@_@*i? 5 hl4_u iih i*?}i??i}@ ih hlmi? h@}ih Mi V@ h@ L? L? 5 #i Vih i*?}i? L? 56 3 D?_ tu _i hl4_u iih i*?}? ihtui_i 56 3 D?_ 56 3 S WL?i? hi i? i?? Mi?iti?i L? 56 S L*i!*i? _i,*i! hl?i?@?*@}ih?}t^ihtu? i }hly t?_ #@t t Mi _iti? Mi_i? WL?i? uh,*i! hl?i?i?ih}i?. e $ f _ih 6@** d.do #i }hly i? 56 3 D?_ 56 3 S 5 hl4_u i? t?_ Mi o _i i! ihi? Oih _i #U i _ih?i h@*i? 56 S L*i!*i LU #@t Mi_i i c _hu?i*@t tui 5 i,*i! hl?i? 4,?ih}i??@i ** ih_i??u 4ih L4 i*i! htui? 6i*_ MitU*i?} 56 _i4 *@t4@ i? uih? #@Mi M*_i tu i? hi!l4m?ihi?_it i??_ TLt i? WL?i?,t!L44 3h *_?} _ih T@tti? ~L?i? h@_@*ih +U?} He

87 D2 Ai*Ui?t hl4_u iih i*?}i? 4 h%56 S *@t4@i 4 SF 6 2 r [mm] 0 AZ -2 PZ z [mm] 4 SF 5 2 r [mm] z [mm] 4 F 2 r [mm] z [mm] Deelogxqj 81;= Orndoh Yhuwhloxqj ghu qhjdwlyhq Lrqhqvwurpglfkwh dxi ghp Surehqwu djhu dp Ehlvslho yrq VI 3 S / VI3 D xqg I3 1 Gxqnoh Ehuhlfkh v perolvlhuhq hlqh krkh Lrqhqvwurpglfk0 wh1 Glh jhvwulfkhowh Olqlh nhqq}hlfkqhw ghq Juhq}ehuhlfk }zlvfkhq ghu dnwlyhq xqg ghu sdvvl0 yhq Sodvpd}rqh1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 83 vffp/ s 83 pedu/ S 93 Z` HD

88 i* D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i W? +U?} ai 3i? h4 u@**i? _i 5 hl4_u M*_i? Mi o ' f i?? 44 #it t _i _Lh Lh@?_i?i?i_h}i 56 S @u,*i! hl?i?i?ih}i?. e : f 3hU!3uhi? i 5 : b 44?_ o ' f t i}i? _i 5 hl4_u #@t i} _ih?i h@*i? 56 S #U i 4 ~i? h4,*i! hl?i?@?*@}ih?}tthl3itti uhi? 4 *@t4@i 3i? h4 3h tm*_?} _ih T@tti? ~L?i #@t u hi i? Lih 5 hl4_u i? _ih 56 3 D?_ 56 3 S WL?i? 4@h!ih tl4 _i Bhi?3i L? i? 3h T@tti? *@t4@3l?i `@htui?*u }M it i?i!h tui 56 S #U i M3 i?!h tuit 56 S #U i?_,*i! hl?i?i?ih}ic Mi _ih _@t L? i?? _i T@tti ~L?i Mih}i #i hl4_u i t@u*u 4 BiMi i? ~L?i 3 _i i! ihi? h@_@*i hl * Mt 5 '. 44 DBttuLh4} ih*@u c t i} _i 5 hl4_u i 3tUi?.?_ 2f _ih Bhi?3i L? i? 3h T@tti? #i 5Ui**i?i?ih}i _ih,*i! hl?i? uh _i *_?} L? 6 3 Mih +i@! L? i 3 n 56 S $ 56 %3 n 6 3 EDe *i} Mi 2cH iv d.do gi?tu *U iti?? _iti4 BiMi 4ih,*i! hl?i? 4?_i t i?t #@uh _i 3hU!}ii?_i? 5}?@*i _ih 56 3 D?_ 56 3 S _itih 5 i**i Lt i WL?i? W? MM Db t?_?lh4ih i 5 hl4_u i? L? TLt i? 6?! L? _it M 5 _@h}it i** #i h@_@*i? hl *i t? hui} DBttuLh4} 4 i?ih O@*Mih tmhi i L? 2c2 _ih h@_@*i? hi i i? ~L?i i? tthu #ih hi*@ tu@hui NMih}@?} L? i? 3h +U?} t ih } 3 ih!i??i? #i 56 n?_ 56 n D 5}?@*i? MM DbE@ t i _i 5 hl4_u i _ih?i h@*i? 56 @t n 5}?@* n 2 5}?@* hl 3 3?i4i?_ih 2 #U i? i? ~L?i Lt i WL?i? i? t ii? Mi w@_?}t h@?tuih L_ih,*i! hl?i?t Lyhi@! L?i? #@ _i 4 *@t4@ LhihhtUi?_i?,*i! hl?i?i?ih}i?!*i? t?_ }i}i?mih WL?tih?}t i?ih}i? E3 fc iv uh 5 n L_ih bch iv uh 56 n c t _i *_?} _ih 56 n % WL?i? HS

89 D2 Ai*Ui?t hl4_u iih i*?}i? 4 h%56 S *@t4@i j [w.e.] 1,0 0,8 0,6 0,4 SF + 5 SF + 3 N + N + 2 0,2 0,0 (a) z [mm] 1,0 0,8 O + (16 amu) S + (32 amu) j [w.e.] 0,6 0,4 0,2 0,0 (b) z [mm] Deelogxqj 81<= Uhodwlyhu Yhuodxi ghu Vwurpglfkwhq hlqljhu srvlwlyhu Lrqhq lq Dek dqjljnhlw yrp Devwdqg }1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 83 vffp/ s 83 pedu/ S 93 Z/ 3` H.

90 i* D Ai*Ui?t hl4_u i? 4 h%56 S % 2 *@t4@i _hu w@_?}t h@?tuih Mih _i +i@! L?i? h n n 56 S $ 56 n D n h n 6 EDD n 2 n 56 S $ 56 n D n 2 n 6 #ih Ahi? it n?_ n 2 5}?@*t tthu _@uhc _@y _iti WL?i?c _i? #ti??@i _hu,*i! hl?i?t Ly L_ih _hu +i@! L? 4 h n i? t?_c 4 _i Bhi?3i ih 3 T@ttih ~L?i _hu w@_?}t h@?tuihhi@! L?i? 4 56 ih_i? NMih i ihi iu@?t4i? i B* 2Sg!L??i? _@Mi 6 M3 56 % +@_!@*i?_ 56 n % WL?i? E% ' fc cd }im*_i ih_i? dhbo #ih 5}?@*i Mi S?_ MM DbEM 3i} c _@y _@t i*uit i?_i } n 3}iLh_?i #@t 5}?@* Mi ul*} _@}i}i? _i4 Ahi?_ L? 56 n?_ 56 n D?_ t `i?? t@u*u _hu #ttl3@ 2 i? t i c _@?? 4tti? _i 5}?@*ih*@ui Mi _i? }*iui? Vih*@u Mih 5 3i}i? #@ tu _i khi?ih*@ui? ihtui_i?c t _@t 5}?@* Mi 4 h%56 S *@t4@i L?i 2 ~4tU?} _i4 5 n WL? 33Lh_?i? D2 Vih}*iU _ih t hl4?}t_)?@4tui? 54*@ L? W4 Bi}i?t@ 3 3 4@tti?tTi! hl4i htui? N? ihtu?}i?c Mi _i?i? 44ih i?ih ti?!hiu 4 *@t4@ t ii?_i? *@ i i_ih}i}imi? ih_i?c Mi i _i 3i_4i?tL?@*i L_i**ih?} L? t hl4?}t4iu@?tui? hl3itti? 4 *@t4@ i ihi ih i,?m*u!i? _i? *L!@*i? Vih*@u L? Ai*Ui?tti?? U i? #i? _i? MM D fe@ Mt i** i? i t?_ L? 7 DiBONt" d.ho 4 +@4i? _ih #6B6LhtUih}hTTi SD MihiU?i Lh_i? Bh?_*@}i?c??@4i??_?}@Mi? 3h #huuh?} _ih L_i**ih?} t?_ 4?@?} 3t@44i?}iu@y,t h_i i? h%56 S *@t4@i 4 *@4?@hih N? ihtu@**t hl4?}? i?ih h N4}iM?} 4L_i**ih MM*_?} D fe@ 3i} _i *L!@*i Vih i*?} _ih B@tt hl4?}t }itu?_}!i 4 5)t kl4tl?i? i _ih B@t}itU?_}!i Mi o ' f ihh?}ih _i4 `i} L? _ih #ti E #ti 2f 4* t Mt 34 hlmi? h@}ih,t ihhtu t hl4?} Lhc _ih hlmi? h@}ih i W4 T?! Mi o ' fc 5 ' 2f 44 t _ih BitU?_}!i tmi h@} }*iu ** #ih B@tt hl4 h_? h@_@*ih c?_ it M*_i tu Mih _i4 hlmi? h@}ih i? HH

91 D2 Ai*Ui?t hl4_u iih i*?}i? 4 h%56 S *@t4@i z [mm] r [m m ] Probenträger Probenträger Düse Düse v(r,z) n SF6 (r,z) (a) Ar SF 6 ms -1 (b) Ar SF 6 mol m -3 Probenträger Probenträger j K,SF6 (r,z) T(r,z) (c) mol m -2 s -1 (d) K Deelogxqj 8143= Vlpxodwlrqvhujheqlvvh ghu Vwu rpxqjvg qdpln= +d, Vwu rpxqjvjhvfkzlq0 gljnhlw/ +e, Whlofkhqglfkwh plw Glxvlrqvvwurpglfkwh +Sihloh,/ +f, nrqyhnwlyh VI S 0 Vwurpglfkwh/ +g, Jdvwhpshudwxu1 ^Sdudphwhu= 633 vffp/ ^VI 83 vffp/ s 83 pedu/ S 93 Z` Hb