V2013 Industrieausstellung & Workshop-Woche Vakuumbeschichtung und Plasma oberflächentechnik

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1 V013 Industrieausstellung & WorkshopWoche Vakuumbeschichtung und Plasma oberflächentechnik Oktober 013 im RAMADA Hotel Dresden

2 Funktionen Zeitplan 1 Impressum 4 Inhaltsverzeichnis 5 1. PROGRAMM 19. WORKSHOPS 37.1 Workshop 1: Beschichtung für Biotechnologie und Medizintechnik am 15. Oktober Proteine, Bakterien, Geckos: Wie Oberflächen und Volumeneigenschaften von Materialien biologische Haftkräfte beeinflussen Prof. Dr. Karin JacobsUniversität des Saarlandes, Lehrstuhl Experimentalphysik, Saarbrücken 41 Biologische Schichten verstehen rekonstruieren Prof. Dr. Bruno ChristKlinikund Poliklinik für Viszeral, Transplantations, Thorax und Gefäßchirurgie, Universitätsklinikum Leipzig AöR 4 Interaktion zwischen Fremdoberflächen und biologischen Systemen, Rolle von lonengradienten Prof. Dr. Richard H. Funk Muskuloskelettale Infektionen Prof. Dr. Andreas H. Tiemann Institut füranatomie TUDresden 43 Was bringen beschichtete Implantate? BG Kliniken Bergmannstrost Halle 44 Implantatassoziierte Local Drug DeliverySysteme für verschiedene medizinische Anwendungen Katrin Sternberg, Svea Petersen, KlausPeterSchmitz Universität Rostock, Universitätsmedizin, Institut für Biomedizinische Technik 45 Biologisches Surface Engineering von Implantatwerkstoffen Prof. Dr. Dieter Scharnweber, Dr. Vera Hintze, Dr. Matthias Schnabelrauch, Dr. Cornelia WolfBrandstetter, Dr. BerndSchwenzer3 Technische Universität Dresden, Institut für Werkstoffwissenschaft, MaxBergmannZentrum für Biomaterialien, INNOVENTe.V. Techno/ogieentwicfc/ungJena, Bereich Biomaterialien, 1 TU Dresden, Fachrichtung Chemie, Professur für Allgemeine Biochemie 46 5

3 Proteinadsorption auf nanostrukturieren Oberflächen Klaus D. Jandt, Thomas F. Keller, Matthias M. L. Anas, Jörg Bossen, MarkKastantin, Daniel K. Schwartz Lehrstuhl für Materialwissenschaft, Otto Schott Institut für Materialforschung (OSIM), FriedrichSchillerUniversitätJena, Germany, Department of Chemical and Biological Engineering, University of Colorado Boulder, Boulder, CO, USA 47 RapidPrototyping von 3DScaffolds für die Biomedizintechnik Kombination dieses Verfahrens mit Methoden zur chemischen Funktionalisierung Dr. Steffen Howitz, Dr. FrankUlrich Gast, Dr. Hendrik Fiehn, Dipl.Ing. Thomas Wegener, Dipl.Ing. Mario Bürger, Dipl.Ing. Daniel Seifert GeSiM mbh, Bautzner Landstr. 45, Großerkmannsdorf. 48 Elektronenstrahlinduzierte Synthese von makroporösen Cryogelen für biotechnologische Anwendungen Dr. Senta Reichelt, Sarah Oehmichen, Felix Lohmann, Dr. Jana Becher, Dr. Jürgen Weisser, Dr. Matthias Schnabelrauch, Dr. W. Knolle LeibnizInstitut für Oberflächenmodifizierung, Permoserstr. 15,04318 Leipzig Innovent e. V., Prüssingstraße 7,07745 Jena 49 Implantatbeschichtungen für Verschleißschutz und Osseointegration Th. Oberbach, C. Witt, S. Begand Implantate in der Ophthalmologie Mathys Orthopädie GmbH, Mörsdorf 50 Dr. Joachim Storsberg, Prof. Dr. Gernot I. W. Duncker, Dr. Christian Schmidt, Dr. Saadettin Sel3 FraunhoferInstitut Angewandte Polymerforschung (IAP), Potsdam, AugenLaserzentrum, Halle 3 Universitätsaugenklinik, Heidelberg 51 Antibakterielle und antiadhäsive Plasmapolymerbeschichtungen Dr. Dirk Salz, Dr. Elisabeth Heine, Dr.Ing Klaus Vissing, Konstantin Vogel, Dr. Ingo Grunwald FraunhoferInstitut IFAM, Wiener Straße 1,8359 Bremen, DWIanderRWTHAachen e. V, Forckenbeckstraße 50,5074 Aachen 5 Smart Surface Design for Medical Applications Dr. Renate Förch, Dr. Juan Carlos Ruiz, Dr. Grit Baier, Prof. Katharina Landfester, Ms. Shima Taheri3, Prof. Krasimir Vasilev3 Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH, Max Planck Institute for Polymer Research, Ackermannweg 10,5518 Mainz, 3 Mawson Institute, University of South Australia, Mawson Lakes, Adelaide, Australia 53. Workshop : Beschichtungen für Werkzeuge und Bauteile 55 Diamantharte Schichten erfolgreich realisiert von Dresdner Kooperationspartnern M. Falz, M. Holzherr, H.J. Scheibe, A. Leson, F. Geißler3, M. Schulze3 VTD VAKUUMTECHNIKDRESDEN GmbH, FraunhoferInstitutfür Werkstoff undstrahltechnik IWS, 3 AIS Automation Dresden GmbH 57 6

4 PlasmaimmersionsIonenimplantation: Pill Anlagenkonzepte und Herausforderungen für industrielle Applikationen Thoralf Gebet, Harald Liepack, Andreas Kolitsch DTF Technology GmbH, Dresden, HZDR Innovation GmbH, Dresden Rossendorf 58 High lonization Triple: An innovative PVD process for advanced coating architectures based on HiPIMS and Are J. Vetter, J. Mueller, T. Krienke, M. SchmidtMauer, 6. ErkensSulzer Metaplas GmbH, Am Böttcherberg 30 38,5147 Bergisch Gladbach 59 DLCSchichten zur Reibungsreduzierung in PKWAntriebssträngen Dipl.Ing. Andrea Procopio, Dipl.Ing. Florian Gangauf \Dr. rer. nat. Johann Schnagl, Dr.Ing. Holger Ziegele BMW AG 60 Alternativen zu kohlenstoffbasierten Beschichtungen bei höheren Anwendungstemperaturen J. Becker, A. Gies, T. Huben, M. Kommer, J. Ramm, B. Widrig Oerlikon Balzers Coating Germany GmbH, Am Ockenheimer Graben 41, D55411 Bingen, OC Oerlikon Balzers AG, Iramali 18, LI94% Balzers 61 Haftreibwerterhöhung durch den Einsatz von Schichtsystemen Prof. E. Leidich, M.Eng, M. Gräfensteiner, Dr.Ing. S. Gröger Technische Universität Chemnitz, Professur Konstruktionslehre, Chemnitz Technische Universität Chemnitz, Institut für Fertigungsmesstechnik, Chemnitz 6 Reibungs und Verschleißoptimierte DLC Beschichtungen für hochbelastete Motorenkomponenten A Hieke,, Dr. G. J. van der Kolk IHI lonbond Netherlands b.v., Venlo 63 TTDLCBeschichtung von Aktiveiementen im Werkzeugbau Dipl.Ing. Herbert Nitsche, Dipl.Phys. FrankPeter Bach HOT Härte und Oberflächentechnik GmbH & Co. KG 64 Potenziale neuer Schneidstoffe und Beschichtungen im Wälzfräsen zur Steigerung der Produktivität Dr.Ing. Philipp Immich, Uwe Kretzschmann, Matthias Rommel, RonnyFischer, Thomas Falk LMT Fette Werkzeugtechnik GmbH & Co. KG, Schwarzenbek, LMT Tool Systems GmbH, Oberkochen Kombinationsbehandlung einer plasmabasierten und Elektronenstrahl Randschichtbehandlung von AIWerkstoffen Dr.Ing. Anja Buchwalder, Prof. Dr.Ing. habil. Rolf Zenker Dipl.Ing. Anke Dalke1 TU Bergakademie Freiberg, Institut für Werkstofftechnik, GustavZeunerStr. 5,09599 Freiberg 1Zenker Consult, JohannSebastianBachStr. 1,09648 Mittweida 66 7

5 Reibungs Kombination von reaktivem MagnetronSputtern und ElektronenstrahlRand schichthärten zur Verbesserung der Haftfestigkeit von TiAINSchichten auf Stahl Dipl.Ing. Gundis Grumbt, Prof. Dr.Ing. habil. Rolf Zenker Dipl.Ing. Kai Weigel3, Dr. sc. nat Klaus Bewilogua1TU Bergakademie Freiberg, Institut für Werkstofftechnik, GustavZeunerStr. 5,09599 Freiberg, Zenker Consult, JohannSebastianBachStr. 1, Mittweida,3 Fraunhofer Institut fürschicht und Oberflächentechnik (IST), Bienroder Weg 54 E, Braunschweig 67 Einfluss von verschiedenen Vorbehandlungen auf die Leistungsfähigkeit von Beschichtungen für Schaftwerkzeuge Ulrich Albers, Dr. VeitSchier Walter AG Tübingen 68 Diamantschichten zur Zerspanung von Composites im Flugzeugbau Dr.Ing. Christoph Schiffers, Dr.Ing. OliverLemmerCemeCon AG 69 Dicke Hartstoffschichten für extrem belastete Oberflächen Dr. Otmar Zimmer, FrankKaulfuß FraunhoferInstitutfür Werkstoff undstrahltechnik, 0177 Dresden, Winterbergstraße 8 70 Beschichtungen für Umformwerkzeuge Verschleißuntersuchungen und Dipl.Ing. Thomas Druwe, Dipl.Ing. Matthias Milbrandt, Dr. Otmar Zimmer, Dipl.Ing. Frank Kaulfuß FraunhoferInstitut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik IWU, FraunhoferInstitut für Werkstoff und Strahltechnik WS 71 Qualifizierung von Beschichtungen für den Schutz von Komponenten gegen Partikelverschleiß anhand von Modelltests M. Sc. Tobias Brögelmann, Dr.Ing. Nazlim Bagcivan, Prof. Dr.Ing. Kirsten Bobzin, M. Sc. Martin Djoufack, Dr. rer. nat Ulrich May, Dr. rer. nat Norbert Schwarzer3 Institut für Oberflächentechnik der RWTH Aachen University, Kackertstr. 15,507 Aachen, Robert Bosch GmbH, Diesel Systems (DSIETD3), 7044 Stuttgart, 3 Saxonian Institute ofsurface Mechanics, Tankow,18569 Ummanz 7 Unendlich oft berührbar neue Strukturlösungen für die nächste Generation verschleißfester Beschichtungen Marcus Fuchs, Astrid Gies, Jürgen Ramm, Norbert Schwarzer 73.3 Workshop 3: DünnschichtTechnologie für Energiesysteme solare Anwendungen 75 Effizientes Energiesystem für Heizung, Warmwasser und Strom in der Gebäudetechnik Dipl.Ing. Frank GablerVaillantDeutschland GmbH & Co. KG Remscheid. 77 8

6 Die Stellung der erneuerbaren Energien im Prozess der Energiewende Carla Vollmer Fachgebietsleiterin Erneuerbare Energien, Umweltbundesamt, Wörlitzer Platz 1,06844DessauRoßlau 78 Produktion von Heterojunction Solarzellen Dr. H. Schlemm, Dr. M. Kehr Roth&Rau AG, HohensteinErnstthal 79 Heterojunction(HIT)Solarzellen mit HeißdrahtCVDSiliziumschichten Lothar Schäfer, T. Harig, M. Höfer,A Laukart, D. Borchert, S. KeipertColberg und J. Trübe3 FraunhoferInstitutfür Schicht und Oberflächentechnik IST, Braunschweig, FraunhoferInstitut für Solare Energiesysteme ISE LSC, Gelsenkirchen, 3 Leybold Optics GmbH, Alzenau 80 Herausforderungen bei der Optimierung flexibler CIGSDünnschichtsolarzellen Martin Zieren, Dr. Andreas Rahm, Dr. Alexander Braun Solarion AG 81 Entwicklung von sequentiell hergestellten Cu(ln,Ga)(S,Se) Solarzellen mit Zn(0,S) Puffern mittels atmosphärischen Prozessen R. Schlatmann, S. Schmidt C. Wolf, S. Onque, M. Hartig, C. Köble, I. Dorbandt, S. Merdes, F. Ziem, B. Rau, N. Papathanasiou HelmholtzZentrum Berlin I PVcomB, Schwarzschildstr. 3, 1489 Berlin 8 Neue Trends und Entwicklungen bei Fertigungsprozessen für CdTeDünnschichtSolarzellen Dr. HubertJoachim Frenck Calyxo GmbH. 83 Struktur und Eigenschaften von CdTeDünnschichtSolarzellen OlafZywitzki, Thomas Modes, Henry Morgner, Christoph Metzner, Bastian Siepchen *, Bettina Späth * Christian Drost *, Velappan Krishnakumar* Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl und Plasmatechnik FEP, Winterbergstrasse 8,0177 Dresden, Germany, * CTF Solar GmbH, ManfredvonArdenneRing 0, Haus F, Dresden, Germany 84 Organische Solarmodule hergestellt durch Vakuumdeposition kleiner Moleküle im RollezuRolleVerfahren Dr. Martin PfeifferHeliatek GmbH, Dresden 85 HochstromECRIonenquellen für großflächige lonenimplantationstechnologien PD Dr. Günter Zschornack, Dr.Ing. Frank Großmann, Dipl.Phys. Martin Kreller1, Dr. Alexandra Thorn, Dipl.Ing. (FH) RalfBlüthner3, Dr. Ullrich Härtung3, Dr. Torsten Kopte3, Dipl.Phys. Tim Weichsel3 U Dresden, FR Physik, HelmholtzZentrum DresdenRossendorf und DreebitGmbH, Dreebit GmbH, Dresden,3 Fraunhofer Institut für Elektronenstrahlund Plasmatechnik, Dresden 86 9

7 Flash Lamp Annealing: Optimierung von TCOSchichten durch Temperung im Millisekundenbereich ThoralfGebet, Harald Liepack (DTF Technology GmbH, Dresden) Marcel Neubert, Robert Endler, Wolfgang Skorupa (HZDR, DresdenRossendorf) 87.4 Workshop 4: DünnschichtTechnologie für Energiesysteme Wandlung, Speicherung, Effizienz 89 Material und Prozessinnovationen in der industriellen Schicht und Ober flächentechnik für die kostengünstige Bereitstellung erneuerbarer Energien Bernd Szyszka Technische Universität Berlin, Fachgebiet Technologie für DünnschichtBauelemente, Einstufer5, Sekretariat HFTS, Berlin 91 Thermoelektrik Anwendungen, Messtechnik und Schichtherstellung M. Winkler, Dr. J. D. König, Martin Jägle, Dr. H. Böttner, Dr. K. Bartholome Fraunhofer Institut für Physikalische Messtechnik IPM, Thermoelektrische Systeme, Heidenhofstraße 8, D79110 Freiburg, Germany 9 Metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) für Leuchtdioden (LED) Prof. Dr.Ing. Michael Heuken AIXTRON SE, Kaiserstrasse 98,5134 Herzogenrath 93 Plasmaaktivierte Hochratebedampfung für dünne YSZFeststoffelektrolyte Dr. BertScheffel, Dr. OlafZywitzki, Dr. Christoph MetznerFraunhoferFEP 94 Metallische Bipolarplatten für Brennstoffzellen Effiziente Wandler für regenerative Energien Dipl.Phys. ThomasMaik John PT&B SILCOR GmbH 95 Gasphasenabscheidungsprozesse für die Herstellung von LiIonen Mikrobatterien Dr. R. Hausbrand TUDarmstadt, Materialwissenschaft (Oberflächenforschung, Prof. Jaegermann) Abscheidung dünner TiÜ und NbzOs Schichten mittels PulsMagnetronSputtern vom keramischen Rohrtarget Thomas Preußner, Dr.Ing. Grit Hüttl, Ralf Blüthner, Dr. Torsten Kopte Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl und Plasmatechnik, GfE Fremat GmbH 97 Neue pulvermetallurgische Sputtertargets für EnergietechnikAnwendungen Dr. Christoph Adelhelm, Christian Linke, Enrico Franzke, Dr. Jörg Winkler, Dr. Peter Polcik1 PLANSEE SE MetallwerkPlanseeStraße 71,6600 Reutte, Österreich, PLANSEE Composite Materials GmbH, Siebenbürgerstraße 3,86983 Lechbruck am See, Deutschland 98 10

8 Industrielle Qioptiq Herstellung von ITOSchichten mittels reaktivem MagnetronSputtern von InSn Rohrtargets Dr. Martin Schlott, Dr. Volker Linß, Dr. Martin Dimer, AlbertKastner, Dr. Christoph Simons, CarlChristoph Stahr, Josef HeindelVONARDENNE GmbH, Heraeus Materials Technology GmbH & Co. KG 99 Dimmbare Gläser auf Dünnschichtbasis für Automobil und Bauglasanwendungen Dr. rer. nat. Philippe LetocartSaintGobain Herzogenrath R&D Centre 100 Nanometer Schichten am laufenden Meter von optischen Funktionsschichten auf Metallband Dr. Christoph Köckert, Dr. Holger Pröhl Herstellung VONARDENNE GmbH Workshop 5: Beschichtungen für den optischen Gerätebau 103 Optische dünne Schichten Rückblick und Ausblick Dr. Harald MandlAgfaGevaert HealthCare GmbH, Peiting 105 DUVSchichten:Aite Probleme und neue Herausforderungen DipiPhys. H. Bernitzki, Dipl.Phys. D. Fasold, Dipl.Chem. M. Klaus, Dr. S. Laux, Dipl.Ing. U. Schuhmann 1ENOPTIK Optica! Systems GmbH. 106 Realisierung von CoatingDesigns für die Präzisionsoptik im Produktionsumfeld Dr. Martin Bischoff, Dr. Tobias Nowitzki, Dr. Oliver VoB Photonia GmbH & Co. KG, Coating Center Göttingen, Königsallee 3,37081 Göttingen 107 Anforderungen an optische Schichten in der Schweizer Uhrenindustrie Peter Weiss, Benjamin Fritz W. Blösch AG, Moosstrasse 6787,540 Grenchen, Schweiz 108 Hochanspruchsvolle optische Beschichtungen: Anwendung und Herstellung mittels SputterTechnologie Dr. Ulf Brauneck, Sebastien BourquinChristian Henn, Prof. Dr. Steffen Reichel SCHOTT Suisse SA Rue Galilee, CH1401 YverdonIesBains, SCHOTTAG, Hattenbergstr. 10, D551 Mainz, Germany ; 109 Miniaturisierte optische Filter für die photonische Netzwerktechnik Dr. Henrik Ehlers Laser Zentrum Hannovere.V. 110 Low LossBeschichtungen: Stand der Technik und Perspektiven Dr. Kai Starke, Prof. Dr. Detlev Ristau Cutting Edge Coatings GmbH, Laser Zentrum Hannover e.v. HI 11

9 Materialquellen Neuerungen aus dem Bereich IBS Mathias Mende, Martin EbertLaseroptik GmbH, Horster Str. 0,3086 Garbsen, Germany 11 Von Polymer bis Flüssigsputtern Prozesse für optische Funktionsschichten Michael Vergöhl, Daniel Rademacher, Thomas Neubert, Günter BräuerFraunhofer Institut für Schicht undoberflächentechnik (IST), Bienroder Weg 54E, Braunschweig 113 Vom Granulat bis zum Rohrtarget Dr.Ing. GritHüttl, Dipl.Ing. Sven Reiner für optische Schichtsysteme GfE Fremat GmbH, Freiberg1 GfE Metalle und Materialien GmbH, Nürnberg 114 Rohrkathoden die Lösung auch für die Präzisionsoptik? Dr. Daniel Rademacher, Dipl.Phys. Stefan Bruns, Dr. Andreas Pflug, Dr. Michael Vergöhl FraunhoferInstitut für Schicht und OberflächentechnikIST 175 Herstellung und Charakterisierung von optischen Filtern für die RamanSpektroskopie M. Sc. Jan Broßmann, Dr. Marc Lappschies, Dr. Stefan Jakobs Optics Balzers Jena GmbH, CarlZeissPromenade 10,07745 Jena 116 Schichtdickenverteilung neu beleuchtet Dr. Silvia Schwyn ThönyEvatec Ltd., Flums, Schweiz J17 Magnetron gesputterte Interferenzfilter mit hoher Laserzerstörschwelle Dr. Harro Hagedorn, Walter Lehnen, Jürgen Pistner, Dr. Michael Scherer, AlfonsZöller Leybold Optics GmbH, Siemensstrasse 88, D6375S Alzenau, Germany 118 Modellbasierte Optimierung und Entwicklung der Beschichtungsprozesse Dr. Diana Tonova, Dr. Dirk Isfort CarlZeiss Jena GmbH. 119 Aktuelle Trends in der Beschichtung von EUV Lithografieoptiken Dr. Christoph Zaczek Carl Zeiss SMT GmbH, RudolfEberStrasse, Oberkochen 10 Lebenszeit und Reinigung von Multilayer LPPKollektorspiegeln Torsten Feigl, Marco Perske, Hagen Pauer, Tobias Fiedler, Sergiy Yulin, Mark Schürmann, Norbert Kaiser optix fab GmbH, HansKnöllStr. 6,07745 Jena, Fraunhofer IOF, AlbertEinsteinStr. 7,07745 Jena 11 AR auf sphärischen Flächen Dr. Martin Grössl, Dipl.Phys. Ulrike Zeile, Dipl. Phys. Bernd Granzin FISBA Optik AG, 9014 St. Gallen 1 1

10 Moderne PVD Technologien zur Herstellung von dünnen Schichten für die Optik Dr. Georg N. Strauss, Dr. Stefan Schlichtherle PhysTech Coating Technology GmbH, Knappenweg34, A6600 Pflach, Austria 13 Selection of the most manufacturable designs on the basis of fullscale computational manufacturing experiments Michael Trubetskov Tatiana AmotchkinaAlexander Tikhonravov Max Planck Institute of Quantum optics, HansKopfermannStr. 1,85748 Garching, Germany, Research Computing Center, Moscow State University, Leninskie Gory, Moscow, Russia 14 Entspiegelung von Polycarbonat für Anwendungen im Fahrzeugbau Dr. AnnegretMatthai, Bernhard Senner, Dr. Peter Munzert, Dr. Ulrike Schulz AUDI AG Ingolstadt, lofjena 15 Anwendungen von Interferenzfiltern für die Stereoskopie Dr. Klaus Rohwer, Dr. Arnold Simon undhelmutjorke Infitec GmbH, LiseMeitnerStr. 9,8931 Ulm 16 Organische plasmageätzte Nanostrukturen für AntireflexBeschichtungen auf Glas Dipl.Ing. Rudolf Nottebohm, Dr. Harald Mändl, Dr. Ulrike Schulz AgfaGevaert HealthCare GmbH, Fraunhofer IOF 17.6 Workshop 6: Qualitätssicherung, Mess und Prüfverfahren für die Beschichtungstechnik 19 Charakterisierungsmethoden für beschichtete präzisionsoptische Komponenten Dr. Martin Bischoff, Dr. Tobias Nowitzki, Dr. Oliver VoB Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG, Coating Center Göttingen, Königsallee 3,37081 Göttingen 131 Prozesskontrolle und Qualitätssicherung bei der InlinePVDGroßflächenbeschichtung Dr. Holger Proehl, Udo Liess, Christian Melde, Torsten Wellner VONARDENNE GmbH, Dresden 13 Qualitätssicherung in der Prozesskette zur PVDBeschichtung von Hochleistungswerkzeugen mittels Sputterverfahren in BatchAnlagen Dr./ng. Christoph Schiffers, Dr.Ing. ToniLeyendeckerCemeConAG 133 Abbildende Ellipsometrie eine zerstörungsfreie optische Methode zur mikroskopischen Bestimmung und Kartierung von Schichtdicken und optischen Konstanten sowie zur Detektion von Verunreinigungen bzw. von Oberflächeninhomogenitäten. Dr. Peter H. Thiesen Accurion GmbH

11 Beschichtung, Laserinduzierte Zerstörung und Defekte in optischen Hochleistungsschichten Prof. Dr. Detiev R/stau, Dipl.Phys. Puja Kadkhoda Laser Zentrum Hannover e. V., Hollerithallee 8,30419 Hannover»35 Prozesskontrolle in der Solarzellenfertigung mittels spektroskopischer Reflektometrie Helge Ketelsen, Sven PetersSENTECH Instruments GmbH 136 Das Labor in der Linie: Reduzierung der Messunsicherheiten spektrometrischer inline Messungen Dipl.Ing. (FH) Chris Hedwig, Dr. Torsten Büttner, Dipl.Ing. Jörg Margraf Carl Zeiss MicroscopyGmbH, Jena 137 Insitu und inline Messsysteme für die Prozesskontrolle in der HalbleiterEpitaxie und Dünnschichtfertigung Dr. S. Uredat, Dr. K. Haberland LayTec inline GmbH und LayTec insitu AG, Berlin 138 Zerstörungsfreie Prüfung von dünnen Schichten mittels Röntgenfluoreszenz Dr. Simone Dill, Dr. Wolf gang Klöck Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik, Sindelfingen 139 Möglichkeiten der hochauflösenden Wirbelstromspektroskopie zur berührungslosen Charakterisierung elektrischer Eigenschaften und Defektoskopie von TCO/TCM Schichten Dipl.Wi.Ing. Marcus Klein, Dipl.Ing. Mathias Thaut Dipl.Ing. Marcus Drobisch, Msc Oleksandr Larchenko, Prof. Dr.Ing. Henning Heuer SURAGUS GmbH 140 Zentrifugentechnologie für eine effektive Bestimmung von Haftfestigkeiten bei Normalkraftbeanspruchung: Messprinzip, Messgenauigkeit und Applikationsbeispiele Prof. Dr. Dietmar Lerche, DiplAng. UweRietzLUMGmbH, Berlin Workshop 7:1. NDVaK Modifizierung und Charakterisierung von Polymeroberflächen 143 Neue Oberflächenfunktionen für die nächste Generation von Beschichtungen Dr. Petra Uhlmann LeibnizInstitut für Polymerforschung Dresden e.v. 145 Plasmabehandlung als Teil von kombinierten Prozessen bei der Funktionalisierung von Polymeroberflächen Andreas HolländerFraunhoferInstitut für Angewandte Polymerforschung, Potsdam

12 Mikrowellenplasmen zur praxisgerechten Oberflächenbehandlung Dr. Andreas Schulz, Dr. Martina Leins, Dr. Matthias Walker, Prof. Dr. Thomas Hirth Universität Stuttgart, Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie 747 VakuumDepositionsPolymerisation (VDP): PolymerFunktionsschichten für Photonik, Optoelektronik und Oberflächenvergütung durch Abscheidung im Vakuum Prof. Dr. rer. nat habil. Sigurd Schräder Technische Hochschule Wildau (FH), Bahnhofstraße, 1S745 Wildau 148 Plasmatechnologische Hochrateabscheidung als Kratzschutz auf Polycarbonat Stefan Merli, Dr. Andreas Schulz \ Dr. Matthias WalkerProf. Dr. Ulrich Stroth, Prof. Dr. Thomas Hirth Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie, Universität StuttgartMaxPlanckInstitut für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, Garching 149 Elektrochrom schaltbare Scheiben und Gestaltungselemente Dr. Gulnara Konkin, Dr.Mario Schrödner undhannesschache ThüringischesInstitut für Textil undkunststoffforschung e. V Breitscheidstrasse 97,07407 Rudolstadt 150 HochrateMWPlasmaCVD von SiOxSchichten: Kratzschutz auf PC Aktueller Stand und neue Anwendungen in Leichtbau und Optik Dr. KlausDieter Nauenburg und RalfDreher FraunhoferIG, JosefvonFraunhoferStr. 7, D7637 Pfinztal 15 J Plasmamodifikation von Polymerträgerfolien zur Einstellung der Haftung von transferierbaren Funktionsbeschichtungen Dr. Christopher Dölle, Dr. Ing. Klaus Vissing 75 Untersuchungen an AtmosphärendruckPlasmajets zur Oberflächenbearbeitung M. Sc. T. Kewitz, J. von Frieling, Dr. M. Fröhlich, Prof. Dr. H. Kersten ChristianAlbrechtsUniversität zu Kiel, Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, Leibnizstraße 19,4098 Kiel 753 AntiEisBeschichtungen auf Kunststofffolien mittels Plasmaverfahren Dr. Michael HauptFraunhoferInstitut für Grenzflächen und Bioverfahrenstechnik IGB, Nobelstrasse 1,70569 Stuttgart 754 Kratzschutz für Kunststoffteile mit PlasmaCVD, ein neuer Ansatz Dr. H. Grünwald, Dr. R. Foest, Dr. J. Schäfer, Dipl.Ing. D. Malecha3, Dipl.Ing. J. Günther3 Surface Chemistry, Niddatal, Leibnizinstitut für Plasmaforschung u. Technologie e.v., Greifswald, 3 KunststoffInstitut für die mittelständische Wirtschaft NRW GmbH, Lüdenscheid 755 MagnetronSputtern für TCO und optische Schichtsysteme auf PETFolien Johannes Strümp fei, Martin Dimer, Falk Otto, Holger Pröhl VON ARDENNE GmbH, Dresden, Germany

13 FraunhoferInstitut Polymer Design, Herstellung und Eigenschaften von HochbarriereVerkapselungsfolien für flexible PVModule auf photochemischem Wege Dr. L. Prager, Dr. U. Helmstedt \ Dr. H. Herrnberger, Dr. M. Münch, Dr. 0. Kahle3, Dr. F. Kita \ Dr. A. Pender, Dr. M. Stasiak3 LeibnizInstitut für Oberflächenmodifizierunge.V., Permoserstr. 15,04318 Leipzig, Solarion AG, Ostende 5,0488 Leipzig,3 FraunhoferEinrichtung für Polymermaterialien und Composite (PYCO), Kantstrasse 55, Teltow, 4 AZ Electronic Materials (Germany) GmbH, Rheingaustrasse ,6503 Wiesbaden 157 Untersuchung der mechanischen Stabilität von Barrierefolien für die Verkapselung von organischer Photovoltaik S. Kiese M.Sc., J. Luja B. Sc, M. Miller B. Sc., M. Kiese, Dr. E. Kücükpinar, Dr. K. Noller, Prof. Dr. HC. Langowski für Verfahrenstechnik und Verpackung IW 158 Plasmavorbehandlung zur effizienten Verklebung faserverstärkter Automobilanbauteile Anett Müller, Tino Riske, Renate Hansel, Andrea Stall, Frauke Junghans LeibnizInstitut für Polymerforschung Dresden e. V, Hohe Straße 6,01069 Dresden, Forschungsinstitut für Leder und Kunststoffbahnen ggmbh, Meißner Ring 15, D09599 Freiberg 759 KernSchale Janus Partikel als neue multifunktionelle Oberflächenstrukturen: Herstellung, Charakterisierung und Anwendungen A. Synytska, S. Berger, A Kirillova, C. Bellmann, K.J. Eichhorn LeibnizInstitut für Polymerforschung Dresden e. V, Hohe Str. 6, D01069 Dresden, Germany, BASF SE, Laboratory of Polymer Research Colloids, Polymers for Industrial andautomotive Coatings, Registered Office: Ludwigshafen, Germany 760 Plasmapolymere Barrierebeschichtung aus alternierenden Hart und Weichsegmenten hergestellt in einem mehrstufigen PECVDVerfahren M.Sc. Stefanie Wald, Dr. Ing. Klaus Vissing FraunhoferInstitut für Fertigungstechnik und AngewandteMaterialforschung IFAM, Bremen 161 Erzeugung von metallischen Nanopartikeln und Abscheidung von NanokompositSchichten mit Plasmajets bei Atmosphärendruck Dr. Sergey StepanovJost Degenhardt, Dr. Jörg Ihde, Dr. Ralph Wilken, Dr. Alexander Knospe FraunhoferInstitut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM (Bremen), Plasmatreat GmbH (Steinhagen) 16 Untersuchungen zur PVDAbscheidung von Metallen und Folgeschutzschichten auf pulverlackierten Kunststoffen L Bresler, K. Seibt, J. Krusche, M. Herrmann, P. Härtel, A. Eichler, S. Quill3 Hochschule Zittau/Görlitz, Institut für Oberflächentechnik (IOT), FriedrichSchneiderStr. 6, 0763 Zittau Eichler GmbH & Co. KG, Am Krebsbach 5,0763 Mittelherwigsdorf, 3 Plastic ConceptGmbH, Rumburger Straße 3,074 NeusalzaSpremberg

14 3. INDUSTRIEAUSSTELLUNG TEILNEHMER 3 5. TERMINE DER FACHAUSSCHUSSSITZUNGEN PLAN DER INDUSTRIEAUSSTELLUNG 39 Notizen 45 17