Ultrareine Gasfilter. Serie SCF. Membralox Keramikfiltriertechnik. Echte Swagelok VCR Fittings für stirnseitige Abdichtung

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1 Ultrareine Gasfilter 949 Ultrareine Gasfilter Serie SCF Membralox Keramikfiltriertechnik Echte Swagelok VCR Fittings für stirnseitige Abdichtung Partikelentzug größer als 99, % bei 0,003 μm und maximalem Durchfluss Durchfluss bis zu 2700 std L/min

2 950 Druckregler und Filter UHP-Filter der Serie SCF Die UHP-Gasfilter der Serie SCF von Swagelok sind zur Erfüllung der strengen Anforderungen von SEMI E ausgelegt. Mit ihrem patentrechtlich geschützten Membralox Keramikfilterelement und einem Körper aus Edelstahl 316L VAR sind die UHP-Filter der Serie SCF eine Lösung für viele anspruchsvolle Gasfiltrieranwendungen. Merkmale Hohe Effizienz bei der Partikelabscheidung Außergewöhnlich niedrige Partikelerzeugung Hervorragende Austrocknungseigenschaften bei Feuchtigkeit Extrem niedrige Ausgasung Hervorragende chemische Verträglichkeit Hoher Differenzdruckbereich Inline, vollständig geschweißte Konstruktion Max. Durchfluss: 30, 225, 600, 900 und 2700 std L/min Endanschlüsse: integriertes 1/4, 1/2 und 3/4 Zoll VCR- Außengewinde; 1/4 Zoll VCR-Innengewinde Längen nach Industriestandard, siehe Abmessungen und Bestellinformationen. Werkstoffe Keramikelement: hochreines Aluminiumoxyd Dichtung: hochdichtes PTFE Körper: 316L VAR Edelstahl/SEMI F hochrein, Längenausdehnung von mindestens 20% ist zulässig Membralox Keramikfiltriertechnik Das Membralox-Keramikelement ist ein mehrschichtiges Filtermedium. Der Werkstoff ist hochreines Aluminiumoxyd mit einer präzise gesteuerten Porenstruktur. Das Membralox Keramikelement ist eine extrudierte block- oder rohrartige Mehrdurchflusskanalstruktur. Die Durchflusskanäle innerhalb der Struktur sind mit präzise kontrollierten Membranschichten beschichtet. Ein abschließendes Sinterverfahren fügt die einzelnen Schichten zusammen. Das ergibt ein Filterelement, das die Partikelerzeugung verringert und verbesserte Durchflusseigenschaften bietet. Der Abscheidegrad des Filters ist größer als 99, % bei 0,003 μm gemäß einer Prüfung nach SEMI F Das Membralox Keramikelement bietet hohen thermischen und chemischen Widerstand sowie hervorragende Partikelabscheidungsund Ausgasungseigenschaften. Das Keramikelement ist eine block- oder rohrförmige Konfiguration mit mehreren Kanälen aus hochreinem Aluminiumoxyd. Gasdurchfluss Eine REM-Aufnahme zeigt die beiden Membranlagen des Filtereinsatzes: ultrafein und fein (von oben nach unten). Technische Daten Max. Durchfluss bei angegebenem Abscheidegrad std L/min (std ft 3 /min) Filtrierfläche cm 2 (Zoll 2 ) Druckrate bei 37 C (100 F), bar (psig) Arbeitsdruck Differenzdruck Temperaturbereich C ( F) Abscheidegrad Innenflächenbeschaffenheit 30 (1,0) 10 (1,6) 225 (7,9) 20 (3,1) 600 (21) 70 (11) 900 (31) 150 (23) 206 (3000) 172 (2500) 200 (400) > % bei 0,003 µm Elektropoliert und bearbeitet auf eine mittlere Rauheit von 0,13 µm (5 µzoll) R a 2700 (95) 450 (70)

3 Ultrareine Gasfilter 951 Durchfluss bei Druckabfall Max. Durchfluss: 30 std L/min 0,9 bar (14,5 psig) 1,9 bar (29,0 psig) 3,9 bar (58,0 psig) 4,9 bar (72,5 psig) 2,9 bar (43,5 psig) Max. Durchfluss: 225 std L/min 0,9 bar (14,5 psig) 1,9 bar (29,0 psig) 2,9 bar (43,5 psig) 3,9 bar (58,0 psig) 4,9 bar (72,5 psig) Max. Durchfluss: 600 std L/min Max. Durchfluss: 900 std L/min 2,0 bar (30,0 psig) 6,2 bar (90,0 psig) 2,0 bar (30,0 psig) 6,2 bar (90,0 psig) Max. Durchfluss: 2700 std L/min 2,0 bar (30,0 psig) 4,1 bar (60,0 psig) 6,2 bar (90,0 psig)

4 952 Druckregler und Filter Abmessungen und Bestellinformationen Die Abmessungen in Millimeter (Zoll) dienen nur als Referenz und können sich ändern. 76,2 mm (3 Zoll) Filter - 30 und 225 std L/min Alle anderen Filter Ø C A Sechskant B A Ø C Sechskant B Max. Durchfluss std L/min Endanschlüsse Ein- und Ausgang VCR Außenund 1/4 Zoll VCR Innengewinde VCR Außenund 1/4 Zoll VCR Innengewinde integriertes 3/4 Zoll Bestellnummer 76,2 mm (3 Zoll) Filter SS-SCF3-VR4-P-30 SS-SCF3-VR4FR4-P-30 SS-SCF3-VR4-P-225 SS-SCF3-VR4FR4-P-225 SS-SCF3-VR8-P-225 SS-SCF3-VR4-P-600 SS-SCF3-VR8-P mm (5 Zoll) Filter SS-SCF5-VR4-P-900 SS-SCF5-VR8-P cm (11 Zoll) Filter SS-SCF11-VR8-P-2700 SS-SCF11-VR12-P-2700 Abmessungen, mm (Zoll) A B C 84,1 (3,31) 127 (5,00) 284 (11,2) 22,4 (0,88) 31,2 (1,23) 36,1 (1,42) 23,6 (0,93) 20,3 (0,80) 30,0 (1,18) 42,4 (1,67) 42,4 (1,67) 23,6 (0,93) 42,4 32,8 (1,67) (1,29) Prüfungen Alle Filter der Serie SCF sind ab Werk heliumleckgetestet auf eine max. Leckrate von std cm 3 /s. Die Konstruktion der Filterserie SCF wurde ab Werk heliumleckgetestet auf eine max. Leckrate von std cm 3 /s. Reinigung und Verpackung Alle Filter der Serie SCF werden gereinigt und verpackt gemäß der Swagelok Ultrahochrein-Prozess-Spezifikation (SC-01) (MS 06 61G4), Seite Vorsicht: Verwenden Sie niemals Kombinationen aus Teilen anderer Hersteller, und tauschen Sie keine Teile gegen Teile anderer Hersteller aus. MS G4, R4

5 Über dieses Dokument Vielen Dank für das Herunterladen dieses elektronischen Kataloges. Es ist ein Kapitel eines größeren gedruckten Buches dem Swagelok Produkt Katalog. Elektronische Dateien wie diese werden aktualisiert wenn neue oder überarbeitete Informationen verfügbar sind und können so aktueller als die gedruckte Version sein. Die Swagelok Company ist ein wichtiger Entwickler und Hersteller von Fluidsystemlösungen, die Produkte, Bauteile und Dienstleistungen für die Forschung, Instrumentierung sowie die Industriezweige Biopharmazie, Öl- und Gasgewinnung, Petrochemie, alternative Kraftstoffe und Halbleiter umfassen. Mit seinen Werken für Produktion, Forschung, Service und Vertrieb unterstützt Swagelok ein weltweites Netzwerk von über 200 autorisierten Vertriebs- und Servicezentren in 57 Ländern. Auf der Swagelok Website können Sie Ihre autorisierte Swagelok Vertriebsniederlassung finden. Dort erhalten Sie Antworten auf Ihre Fragen bezüglich Produkteigenschaften, technischen Daten, Bestellnummern und allen weiteren Produktinformationen. Auf dieser Seite erfahren Sie auch mehr über den weiten Bereich der Serviceleistungen, die Sie exklusiv bei den Swagelok Vertriebs- und Servicecentern erhalten können. Sichere Produktauswahl: Bei der Auswahl von Produkten muss das gesamte Systemdesign berücksichtigt werden, um eine sichere, störungsfreie Funktion zu gewährleisten. Der Systemdesigner und der Benutzer sind für Funktion, Materialverträglichkeit, entsprechende Leistungsdaten und Einsatzgrenzen sowie für die vorschriftsmäßige Handhabung, den Betrieb und die Wartung verantwortlich. Garantieinformationen Swagelok Produkte fallen unter die eingeschränkte Swagelok Nutzungsdauergarantie. Für eine Kopie besuchen Sie bitte die Swagelok Website oder kontaktieren Sie Ihre autorisierte Swagelok Vetretung. Swagelok, Ferrule-Pak, Goop, Hinging-Colleting, IGC, Kenmac, Micro-Fit, Nupro, Silver Goop, Snoop, SWAK, VCO, VCR, Ultra-Torr, Whitey TM Swagelok Company Aflas TM Asahi Glass Co., Ltd. ASCO, EI-O-Matic TM Emerson AutoCAD TM Autodesk, Inc. CSA TM Canadian Standards Association CR-288 TM Jetalon Solutions, Inc. Dyneon, TFM TM Dyneon Elgiloy TM Elgiloy Limited Partnership FM TM FM Global Grafoil TM GrafTech International Holdings, Inc. Kalrez, Krytox, Viton TM DuPont MAC TM MAC Valves, Inc. Membralox TM Pall Corporation Microsoft, Windows TM Microsoft Corp. PH 15-7 Mo, 17-7 PH TM AK Steel Corp picofast Hans Turck KG Pillar TM Nippon Pillar Packing Company, Ltd. Rapid Tap TM Relton Corporation Raychem Tyco Electronics Corp. SAF 2507 TM Sandvik AB Simriz TM Freudenberg-NOK SolidWorks TM SolidWorks Corporation Torlon TM Amoco Performance Products, Inc. Torx TM Textron, Inc. UL Underwriters Laboratories, Inc. Xylan TM Whitford Corporation