Lehrfach: Mess- und Regelungstechnik Dozent: Haberland, Liu

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1 Lehrfach: Mess und Regelungstechnik Dozent: Haberland, Liu LVNummer: SWS: 4 V, 2 Ü Credits: 7 Messtechnik: Sensoren, Verfahren und Geräte zur Messung von Länge, Abstand, Winkel, Druck, Temperatur, Masse, Beschleunigung, Zeit, Spannung, Strom, Widerstand. Sensordynamik und Messfehler. Rechnerkopplung. Regelungstechnik: Steuerungen und Regelungen, Übertragungssysteme, Blockschaltbilddarstellung, Übertragungsverhalten im Zeitbereich, Laplace Transformation, Übertragungsfunktion, Frequenzgang, Gewichtsfunktion, Übergangsfunktion, Regelstrecken, Regler, offener und geschlossener Regelkreis, Stabilität, Entwurf von Regelsystemen. Übersicht über gebräuchliche einfache Sensoren und Messgeräte, zugehörige Elektronik, FehlerAnalyse Keine 2 Std. schriftlich Unbehauen, Regelungstechnik I, Teubner Verlag. Norton, Sensor and Analyzer Handbook, Prentice Hall Sydenham, Handbook of Measurement Science, Wiley

2 Lehrfach: Messtechnik II Dozent: Haberland LVNummer: SWS: 2 V Credits: 2 Sensordynamik, Abtaster, Korrelation, Fehlerhaushalt, Schock und Vibration. Sensoren für: Drehrate, Magnetfeld, Materialanalyse etc. Beispiele komplexer Messsysteme 2 Std. MT1

3 Lehrfach: Feinwerktechnik Komponenten Dozent: Haberland LVNummer: SWS: 4 V Credits: 6 Oberflächen und deren Eigenschaften, und Vermessung, Reinigen, Kleben, Löten, Beschichten, Ätzen, Fotolithografie Stabilität und Instabilität von metallischen Werkstoffen. Stabilisierung und Werkstoffauswahl für die Präzisionstechnik. Aerostatische und hydrostatische Lager und Führungen. Dynamische und exotische Varianten, magnetische und elektrostatische Lager. Präzisionskugellager und deren Fehler. Messfedern für Sensoren, Auswuchten, Kraft und Weg Erzeugung: Magnete, Spulen, Piezos, Bimetall und deren Anwendung. keine gemischt mündlichschriftlich Hildebrand, Feinmechanische Bauelemente. Smith and Chetwynd, Ultraprecision Mechanism Design. ASPE Journal. JSPEJournal. EUSPEN Journal. SPIEJournal Verdiplan

4 Lehrfach: FeinwerktechnikSysteme / Mechatronik Dozent: Haberland LVNummer: SWS: 4 V Credits: 6 Genauigkeitsgrenzen und Genauigkeitssteigerung maschineller Bearbeitung. Ultrapräzisionsbearbeitung. Werkstoffe für Sensoren und Präzisionsgeräte: Werkstoffinstabilität Schwingungen und Thermik in Maschinen. Ursachen von realen Oberflächen, Abbildung von Maschinenschwingungen auf Oberflächen, Schwingungsentkopplung, Massstäbe und Antriebe Nicht konventionelle Fertigungsverfahren (ECM, EDM, Schichten, Ätzen) Herstellung, Anwendung, Bearbeitung technischer Gläser, Keramiken, Kristalle. Vakuumtechnik, Vakuumschichten. 1 Std. mündlich SPIE, ASPE, JSPE, EUSPEN Journals u. Conferences. Vordiplom

5 Lehrfach: Mikrotechnik Dozent: Haberland LVNummer: SWS: 4 V Credits: 6 1. Material und Materialeigenschaften 1a. physikalische Hilfseffekte: Magnetismus, Piezoeffekt, Thermik, Kapillarität 2. Oberfläche: Struktur, Messung, Reinigen 3. Siliziumtechnologie 4. Schichten 4a. Ätzen mit Säure, elektrolytisch, Plasma und Ionen 4b. Fotolithografie 5. Diffusion und Migration 6. LIGA = Tiefenlithografie und Abformtechnik 7. Anwendungen: Mikromechanik Mikrosensorik Mikroreaktionstechnik Mikrooptik 8. Montagetechniken 9. Fehlermodellierung Übersicht über Effekte und Realisierungen der Mikrotechnik schriftliche/mündlich Heuberger, Mikromechanik, Springer. MEMSHandbook Vordiplom

6 Lehrfach: Maschinenelemente für Hörer anderer Fachrichtungen LVNummer: SWS: 2V, 2 Ü Credits: Dozent: Haberland Normen, Verbindungen (Form, Kraft, Stoff, Schraub), Federn (Energiespeicher, Kraft und Wegerzeuger, Klemm und Messfedern), Reibung und Schmierung, Lager (Wälz, Hydro, Reib und Sonderlager), Getriebe, Kupplungen. Kenntnis und Anwendung typischer Maschinenelemente Schein Niemann: Maschinenelemente 1 und 2, Springer Verlag; Köhler, Rögnitz: Maschinenteile 1 und 2, Teubner.

7 Lehrfach: Labor Feinwerktechnik Dozent: Haberland LVNummer: SWS: 4 L Credits: 4 Aktuelle Beispiele zu Präzisionsoberflächen und präzisen bis superpräzisen Maschinen Fehleranalyse realer Geräte und Maschinenbau und Verfahrenstechnik mündlich Messtechnik oder Mess und Regelungstechnik I

8 Lehrfach: Labor Messtechnik und Sensoren Dozent: Haberland LVNummer: SWS: 3 L Credits: 2 Sensoren, elektrische Messtechnik, Schnittstellen, Oberflächenmesstechnik = Inhalt Umdrucke. Messtechnik oder Mess und Regelungstechnik I

9 Lehrfach: Sonderlabor FWT Dozent: Haberland LVNummer: SWS: 2 L Credits: 2 Auswuchten, UltraPräzisionszerspanung, Laser Materialbearbeitung,OberflächenVermessung, DünnschichtTechnik.

10 Lehrfach: Labor Mikrosystemtechnologie Dozent: Haberland LVNummer: SWS: 4 L Credits: 2 Optimierung eines MOSHerstellprozesses (EIT) Simulation der Transistorkennlinien (EIT) Layoutentwurf und Schaltungssimulation (EIT) Optoelektronische Koppeltechniken (EIT) Spanende Herstellung eines Mikrobauteils (MV) Mikromontage durch programmierte Roboter (MV) Sensoren und Aktoren (MV) Magnetooptische DatenspeicherMaterialien (Ph) Fluidfluss und optische Wellenleitung in Kapillarkanälen (Ph) AFM ( atomic force microscopy ) (Ph) Frequenzverdopplung von Halbleiterlasern (Ph) Spanende Herstellung Mikrobauteil: Eigenschaften, Grenzen und Vorteile

11 Lehrfach: Optische Messtechnik Dozent: Langenbeck LVNummer: SWS: 2 V Credits: 3 Klassische Interferometric und Kollimation Optische Vermessung von HochgenauMaschinen und darauf gefertigten Flächen Optisches Verständnis mündlich Vordiplom