Dichtheitsprüfgeräte / Leckdetektoren. Dichthe. PHOENIX Helium-Leckdetektoren

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1 Dichtheitsprüfgeräte / Leckdetektoren Dichthe PHOENIX Helium-Leckdetektoren Auszug aus dem Leybold Gesamtkatalog 2016 Produkt-Kapitel Dichtheitsprüfgeräte / Leckdetektoren Ausgabe Herbst 2016

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3 Inhalt Dichtheitsprüfgeräte / Leckdetektoren Allgemeines Applikation für Dichtheitsprüfgeräte und Leckdetektoren 4 Zubehör für Dichtheitsprüfgeräte und Leckdetektoren 5 Lecksuchtechnik Dichtheitsprüfung Methoden der Dichtheitsprüfung 7 Arbeitsweise und Eigenschaften der Helium-Leckdetektoren 9 Produkte Helium-Leckdetektoren PHOENIX L300i 12 PHOENIX L300i DRY 14 PHOENIX L300i MODUL 16 CART 300 für PHOENIX L300i 19 PHOENIX L500i 20 Sonderausführungen PHOENIX L340i, mobiler Helium-Leckdetektor als Sitzarbeitsplatz 22 PHOENIX L320i Fab, mobiler Helium-Leckdetektor für erhöhte Reinheitsanforderungen 23 Zubehör Fernbedienungen für Lecksuchgeräte RC Testlecks für Vakuum- und Schnüffel-Anwendungen 26 Einschraub-Testlecks 28 Zubehör für PHOENIX L300i, PHOENIX L300i DRY, PHOENIX L300i MODUL und PHOENIX L500i 30 Helium-Schnüffler 32 Sonstiges Anschlussflansche 34 Verbindungselemente 34 Prüfgeräte / Lecksucher leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

4 Allgemeines Applikation für Dichtheitsprüfgeräte und Leckdetektoren Prüfgeräte / Leckdetektoren Applikation PHOENIX L300i PHOENIX L300i DRY PHOENIX L300i MODUL (öl-frei) PHOENIX L300i MODUL (öl-gedichtet) PHOENIX L500i PHOENIX L340i PHOENIX L320i Fab Halbleiter-Fertigung n n n n n Vakuum-Beschichtung n n n Forschung und Entwicklung n n n n n n n Chemie/Pharma n n n n n n n Metallurgie/Ofenbau n n n Lampen-/Röhren-Fertigung n n n n n Automobil-Industrie n n n n n Laser-Technik n n n Teilchen-Beschleuniger n n n n Analysen-Technik n n n n n n n Anlagen mit Kryopumpen n n n n n n Kälte-/Klima-Technik n n n n Elektro-Technik n n n n n n Maschinenbau n n n n Kraftwerks-Technik n n n n Anlagenbau n n n n UHV-Anwendungen n n n n n n 4 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

5 Zubehör für Dichtheitsprüfgeräte und Leckdetektoren Pumpen Zubehör Seite PHOENIX L300i PHOENIX L300i DRY PHOENIX L300i MODUL (öl-frei) Fernbedienung RC n n n n n Testleck 738 n n n n n n Einschraub-Testleck 740 n n n n n n Transportmittel 740 n n n n Teilstrom-System 740 n n n PC-Software LeakWare 742 n n n n n Schnüffel-Leitung 744 n n n n n 1) n Auspuff-Filtersatz standard standard standard Schnittstelle standard standard standard standard standard standard standard Gasballast-Einrichtung standard standard PHOENIX L500i PHOENIX L300i MODUL (öl-gedichtet) PHOENIX L340i Trigger-Relais-Karte standard standard standard standard standard standard standard PHOENIX L320i Fab 1) Auf Anfrage Prüfgeräte / Lecksucher leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

6 Lecksuchtechnik Dichtheitsprüfung Ob ein Bauteil oder eine Apparatur dicht ist, hängt davon ab, welchem Zweck das Bauteil oder die Apparatur dienen und welche Undichtheit noch zulässig sein soll. Absolute Dichtheit gibt es nicht. Ein Bauteil gilt als technisch dicht, wenn die Undichtheit unter einem für das Teil festgelegten Grenzwert bleibt. Um Undichtheiten quantitativ erfassen zu können, wurde der Begriff Leckrate mit dem Formelzeichen q L eingeführt. Für die Vakuumtechnik wurde die Einheit der Leckrate mit mbar l s -1 festgelegt. Eine Leckrate von 1 mbar l s -1 liegt vor, wenn in einem abgeschlossenen Behälter von 1 Liter Volumen in 1 Sekunde der Druck um 1 mbar ansteigt bzw. bei Überdruck um 1 mbar abfällt. V p q L = (mbar l s -1 ) t Die in der Praxis zulässigen Leckraten von einigen 100 mbar l s -1 bis zu < mbar l s -1 machen den Gebrauch verschiedener Dichheits-Prüfmethoden und Dichtheits-Prüfgeräte erforderlich (siehe Abb.). Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i DRY Helium-Leckdetektor PHOENIX L500i mbar l s -1 Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i Helium-Leckdetektor PHOENIX L500i Druck-Abfall - Test Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i MODUL Druckanstieg Bläschen-Test Übersicht der Leckraten-Nachweisbereiche Vakuummethode Überdruckmethode Neben der Feststellung der Gesamtundichtheit interessiert in den meisten Fällen das Auffinden eines Lecks, um es gezielt und zeitsparend beseitigen zu können. Geräte zur lokalen Lecksuche werden Lecksucher oder Leckdetektoren genannt. Mit den in diesem Produkt-Kapitel vorgestellten Leckdetektoren kann neben einer gezielten Lecksuche zum Teil auch die Bestimmung der Gesamt l eckrate von Prüfobjekten vorgenommen werden. Leckrate Pa m 3 s -1 1 mbar l s -1 (He) 1 atm cm 3 s -1 *) = cm 3 (STP) s -1-1 *) 1 Torr l s 1 kg h -1 Luft 1 g/a C 2 H 2 F 4 (R 134a) atm cm 3 s -1 *) atm cm 3-1 *) s Pa m 3 s -1 mbar l s -1 *) cm 3-1 *) s ,87 0,1 1 0,99 0,101 1,01 1 0,133 1,33 1,33 23, , , , Leckrate Pa m 3 s -1 1 mbar l s -1 (He) 1 atm cm 3 s -1 *) = cm 3 (STP) s -1-1 *) 1 Torr l s 1 kg h -1 Luft 1 g/a C 2 H 2 F 4 (R 134a) atm cm 3 s -1 *) kg h -1 g/a Torr l s -1 *) Luft C 2 H 2 F 4 (R 134a) 7,5 4, , ,75 4, , ,76 4, , , , , *) Nach dem internationalen Einheitensystem ist nur Pa m 3 s -1 zulässig 6 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

7 Druck Methoden der Dichtheitsprüfung Zwei Hauptgruppen von Methoden sind zu unterscheiden, für die spezielle Geräte verfügbar sind: Vakuum-Methoden Hierbei wird der Prüfling evakuiert. Druckverhältnisse innen/außen ist 0 : 1. Überdruck-Methoden Hier wird der Prüfling mit einem Test gas oder Testgasgemisch unter Überdruck gesetzt. Druckverhältnis innen/außen ist > 1 : 1. Zu beiden Methoden gibt es noch verschiedene, dem jeweiligen Zweck angepasste Varianten. Grundsätzliches 1. Kleinste Leckraten lassen sich nur nach der Un terdruck- oder Vakuum - Methode zuverlässig feststellen, wobei gilt: je kleiner die Leckrate, desto größer sind die Anforderungen an Sauberheit und Endvakuum. 2. Prüflinge sollen nach Möglichkeit ihrer späteren Verwendung entsprechend geprüft werden. D.h. Teile für Vakuumbetrieb sind nach der Vakuum- Methode und Teile für Überdruckbetrieb nach der Überdruck-Methode zu prüfen. Dichtheitsprüfung nach Vakuum-Methoden (Vakuum im Prüflingsinnern) Druckanstieg-Methode Mit dieser Methode lässt sich nur die Gesamtleckrate ermitteln. Die Evakuierung des Prüflings erfolgt mit Hilfe ei - ner Vakuumpumpe oder eines Vakuum- Pumpsatzes. Durch ein Ventil wird das Prüfobjekt von der Pumpe getrennt. Der Druck wird dann, wie in der Abbildung gezeigt, zeitabhängig ansteigen. Kurve (a) zeigt den theoretischen Verlauf bei vorhandenem Leck. Kurve (b) zeigt einen Druckanstieg infolge Gasabgabe der Oberflächen des Prüflings, der einem Sättigungs wert zustrebt. Hier kann bei zu kurz angesetzter Druckanstiegszeit irrtümlich auf eine Undichtheit geschlossen werden. Nach genügend langer An stiegs zeit nach Knick der Kurve (b) wird die Gasabgabe so weit eliminiert, dass die Leckrate bei bekanntem Prüfvolumen und gemessenem Druck anstieg während einer festgesetzten Anstiegszeit (siehe Formel auf der vorherigen Seite) be - rech net werden kann. Kurve (c) zeigt den in der Praxis tatsächlich vorkommenden Verlauf, bei dem sich Gasabgabe und Leckrate ad dieren. Die nachweisbare Leckrate ist abhängig vom Prüfvolumen, dem er reichten Enddruck und der Gasabgabe des Prüflings. Die Methode ist an großvolumigen Prüfobjekten, im Fein- und Grobvakuumbereich, zum Nachweis kleiner Leckraten sehr zeitaufwendig. Lokale Lecksuche Der Prüfling wird mit einer Vakuumpumpe (Hilfspumpe) so weit evakuiert, bis der für den Leckdetektor notwendige Prüfdruck erreicht ist. Bei Verwendung eines Helium-Leckdetektors, übernimmt dessen Pumpsatz die weitere Evakuierung. Leckverdächtige Stellen des Prüflings werden dann mit einem feinen Testgasstrahl abgesprüht. In den Prüfling eindringendes Testgas wird von der Vakuumpumpe abgepumpt und im Leckdetektor in ein elektrisches Signal umgewandelt und angezeigt. Das Aufspüren kleinster Lecks und ihre Größenbestimmung ist mit relativ geringem Zeitaufwand möglich. Integral-Methode Ermitteln der Gesamt-Leckrate eines Prüflings. Die Prüfanordnung ist die gleiche, wie vorher (lokale Lecksuche) beschrieben, jedoch wird der Prüfling nicht gezielt mit Testgas abgesprüht, sondern mit einer Hülle oder Kammer umgeben und diese mit Testgas gefüllt. Die ge samte äußere Oberfläche des Prüf lings hat dadurch Kontakt mit dem Testgas. Dringt Testgas durch Lecks in den Prüfling ein, wird unabhängig von der An - zahl der Lecks die Gesamtleck rate an - gezeigt. Mit Helium-Leckdetek toren kann der Heliumgehalt der Luft nachgewiesen werden. Diese Möglich keit wird zum Grobleck-Nachweis genutzt. Prüfgeräte / Lecksucher 1 Prüfling 3 Testgasbehälter 5 Prüfhülle 2 Leckdetektor 4 Vakuumpumpe 6 Testgas-Sprühpistole Zeit LD HELIUM LD HELIUM a) Druckanstieg durch Undichtheit b) Druckanstieg durch Gasabgabe der Behälterwände c) beide Effekte gemeinsam Druckanstieg in einem Behälter nach Abschalten der Pumpe; doppelt logarithmisch aufgetragen Lokale Lecksuche Prüfling unter Vakuum (links) und Integral-Methode Prüfling unter Vakuum (rechts) leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

8 Dichtheitsprüfung nach Überdruck-Methoden (Druck im Prüflingsinnern) Druckabfall-Methode Der Prüfling wird mit einem Gas (z.b. Luft oder Stickstoff) gefüllt und auf Prüfdruck gebracht. Mit Präzisionsmanometern wird der evtl. Druckabfall während der Prüfzeit festgestellt. Die Methode ist einfach in der Anwendung, für Grob-Dichtheitsprüfungen gut geeignet und kann mit Differenzdruck - Messgeräten verfeinert werden. Durch Bestrei chen leckverdächtiger Stellen mit Seifenlösung o.ä. lassen sich Un - dichtheiten lokalisieren. Lokale Lecksuche mit Leck-Detektoren Schnüffeln Der Prüfling wird mit dem Testgas bzw. Testgas/Luftgemisch gefüllt, auf das der Leckdetektor anspricht. Zur Lecksuche ist der Leckdetektor mit einem Schnüffler ausgerüstet, an dessen Schnüffelspitze Unterdruck herrscht. Führt man den Schnüffler an leckverdächtigen Stellen des Prüflings entlang, wird das aus Lecks austretende Testgas eingesaugt und dem Nach weissystem des Leckdetektors zugeführt. Nach Wandlung in elektrische Signale erfolgt die Anzeige am Leck detektor optisch und akustisch. Integral-Methode Hüllentest Zur Bestimmung der Gesamtundichtheit eines Prüflings unter Testgas-Überdruck wird dieser mit einer Hülle umgeben, deren Volumen bekannt ist. Das durch Lecks austretende Testgas reichert sich in der Hülle an. Nach einer festgesetzten Anreicherungszeit (Standzeit) wird mit einem Schüffler die Konzentrationsänderung in der Hülle gemessen. Der Leckdetektor sollte zuvor, durch Vergleichsmessung mit bekannter Testgaskonzentration, kalibriert werden. Die Leckrate kann mit der Formel für q L errechnet werden, wobei V das Hüllenvolumen, p die Partialdruck-Differenz des Testgases (Konzentrationsänderung) und t die Akkumulationszeit ist. Unsicherheit in der Volumenbestim - mung, undichte Hüllenhaut und falsch bemessene Standzeit etc. stellen eine exakte Leckratenbestimmung u.u. in Frage. Integral-Methode Vakuum-Hüllentest Es handelt sich hierbei um eine Vari an - te zum vorher beschriebenen Hüllentest mit erheblichen Vorteilen. Als Hülle dient eine Vakuumkammer, die mit ei ner Hilfspumpe evakuiert werden kann und an die ein Leckdetektor an - geschlossen wird. Durch Lecks austretendes Testgas wird vom Nachweissystem des Leckdetektors in Messsig nale gewandelt und sofort zur Anzeige gebracht. Nach Kalibrierung des Leck detektors mit einem Testleck kann die Gesamtleckrate quantitativ bestimmt werden. Diese Methode erlaubt den Nachweis kleinster Undichtheiten und ist beson - ders für automatisierte Industrie-Dichtheitsprüfung geeignet. Integral-Methode Bombing-Test Zur Prüfung hermetisch verschlossener Bauteile, wie Transistoren, IC-Gehäuse oder Schutzgasrelais; es ist eine Ab - wandlung des Vakuum-Hüllentests. Hierbei werden die zu prüfenden Teile in ein Druckgefäß gegeben, das mit Testgas vorzugsweise Helium ge füllt wird. Bei relativ hohem Testgas druck und einer Standzeit bis zu einigen Stun den soll im Innern von undichten Prüflingen eine Testgasanreicherung erreicht werden. Dieser Vorgang ist das eigentliche Bombing. Zur Dichtheitsprüfung werden die Prüflinge nach dem Bombing in eine Vakuumkammer gebracht und, wie beim Vakuum-Hüllentest beschrieben, auf ihre Gesamtleckrate geprüft. Prüflinge mit Grobleck verlieren beim Evakuieren der Vakuumkammer auf den er forderlichen Prüfdruck u.u. bereits ihre Testgaskonzentration, so dass sie bei der eigentlichen Dichtheitsprüfung mit dem Leckdetektor nicht als undicht erkannt werden. Der Dichtheitsprüfung in der Vakuumkammer geht deshalb in vielen Fällen ein Bubble-Test voraus. Die Methode erlaubt den Nachweis kleinster Leckraten und wird haupt - sächlich zur automatischen, industriellen Dichtheitsprüfung eingesetzt. Be son ders an Bauteilen, die auf andere Weise nicht mit Gas gefüllt werden können. Erläuterungen zu den Abbildungen 1 Prüfling 3 Testgasbehälter 5 Prüfhülle 2 Leckdetektor 4 Vakuumpumpe 6 Schnüffler LD HELIUM 2 2 LD HELIUM 2 LD HELIUM 4 Lokale Lecksuche Prüfling unter Testgas-Überdruck Integral-Methode (Testgasanreicherung) Prüfling unter Testgas-Überdruck Integral-Methode Prüfling unter Testgas-Überdruck 8 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

9 Arbeitsweise und Eigenschaften der Helium-Leckdetektoren Grundsätzliche Arbeitsweise Wesentliche Spezifikationen Ein Helium-Leckdetektor erlaubt das Auffinden von Lecks und die quantitative Bestimmung der Leckrate, d.h. des durch das Leck fließenden Gasstromes. Ein solcher Leck-Detektor ist da - her ein Heliumstrom-Messgerät. In der Praxis erfüllt der Leckdetektor diese Aufgabe dadurch, dass er zu - nächst das zu prüfende Teil evakuiert, so dass durch die Druckdifferenz von außen Gas durch ein vorhandenes Leck eintreten kann. Falls man nun Helium vor dieses Leck bringt (z.b. mit einer entsprechenden Sprüh pistole), so fließt dieses ebenfalls durch das Leck und wird vom Leckdetektor abgepumpt. Der dabei im Leckdetektor auftretende Helium-Partialdruck wird von einem Sektorfeld-Massenspektrometer ge messen und als Leckrate angezeigt. Diese wird im allgemeinen als Volu men - strom des Heliums (pv-strom) an gegeben. Die beiden wesentlichen Eigenschaften eines Leckdetektors sind sein Messbereich (Nachweisgrenzen) und sein Zeitverhalten (Ansprechzeit). Der Messbereich ist begrenzt durch die kleinste und die größte nachweisbare Leckrate. Die kleinste nachweisbare Leckrate wird durch die Summe von Drift und Rauschen im empfindlichsten Messbereich definiert. Wobei üblicherweise die Summe aus Rausch am plitude und Nullpunktdrift pro Minute gleich dieser kleinsten nachweisbaren Leck rate gesetzt werden. Bei Leckdetek toren ist die Drift so gering, dass die Rauschamplitude allein die Nachweisgrenze bestimmt. Die größte nachweisbare Leckrate hängt stark vom verwendeten Verfahren ab. Vor allem durch das Gegenstromverfahren und durch Teilstrombetrieb (siehe Beschreibung weiter hin ten) lassen sich auch sehr große Leck raten mit einem empfindlichen Helium-Leckdetektor messen. Bei Leck detektoren ist zusätzlich auch durch mehrstufige, automatisch umgeschaltete Elektrometerverstärker die Möglichkeit zur Messung großer Leckraten gegeben. Für den praktischen Einsatz, insbesondere zur Lecklokalisierung, ist die An - sprechzeit von größter Bedeutung. Dieses ist die Zeit, die vom Besprühen mit Helium bis zur Anzeige eines Mess wertes vergeht. Die Ansprechzeit ist mindestens durch die Zeitkonstante in der Elektronik der Messsignalaufbereitung gegeben, die bei Leckdetektoren im - mer weit unter 1 s liegt. Bei der Lecksuche an Komponenten, die ausschließlich vom Leckdetektor gepumpt werden, ist das Helium-Saugvermögen am Prüfling von entscheidender Bedeutung. Dieses, vom Leckdetektor aufgebrachte Saugver mögen sorgt dafür, dass Helium, welches durch ein Leck eindringt, auch schnell im Leckdetektor nachweisbar ist. Das Volumen des zu prüfenden Teils andererseits verzögert die Ein stellung des Heliumsignals. Die An sprechzeit ergibt sich durch die ein fache Formel: V Ansprechzeit für Helium t A = 3 (für 95% des Endwertes) S He wobei V = Prüflingsvolumen S He = Heliumsaugvermögen am Prüfling (bzw. am Einlass des Leckdetektors, falls dieser allein den Prüfling pumpt) Prüfgeräte / Lecksucher leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

10 Hauptstrom-Verfahren Das Hauptstrom-Verfahren war lange die klassische Arbeitsweise von Helium-Leckdetektoren, wird jedoch aufgrund seiner Nachteile kaum noch angewendet. Beim Hauptstrom- Verfahren fließt der gesamte Heliumstrom durch das Hochvakuum system des Leckdetektors, wobei das Massenspektrometer den Partialdruck des Heliums misst. Entscheidend ist der Einsatz einer Kühlfalle mit flüssigem Stickstoff im Gasstrom, um den stö renden Wasserdampf oder andere kondensierbare Gase im Vakuumsystem zu binden und dadurch überhaupt die nie drigen Arbeitsdrücke eines Massenspektrometers < 10-4 mbar), trotz direkt angeschlossenem (evtl. verschmutztem) Prüfling, zu erreichen. Vorteile des Hauptstrom-Verfahrens sind insbesondere: höchste Empfindlichkeit, d.h. niedrige Nachweisgrenze, kurze Ansprechzeiten durch großes Saug vermögen am Einlass. Der gewichtige Nachteil dieses Verfahrens besteht jedoch darin, dass der komplette Gasfluss durch das Massenspektrometer geleitet wird und dadurch störende Partikel wie Staub und Wasserdampf in das Massenspektrometer eindringen und dieses in seiner Funktionsweise beeinträchtigen. Gegenstrom-Verfahren Bei diesem Verfahren wird der Prüfling nicht an das Hochvakuum, sondern an das Vorvakuum (zwischen Turbo-Molekularpumpe und Vorpumpe) angeschlossen, so dass der gesamte Gasstrom (insbesondere der Wasserdampf) nicht mehr zu einer Druckerhöhung im Massenspektrometer führt. Die Kühlfalle wird damit überflüssig! Das Helium, das nun auch ins Vorvakuum fließt, kann jedoch empfindlich nachgewiesen werden, da es auf Grund seiner hohen Teilchengeschwindigkeit gegen die eigentliche Pumprichtung durch die Turbo-Molekularpumpe ins Massenspektrometer ge langt. Die Empfindlichkeit dieser Gegenstrom-Anordnung ist bei richtiger Kombination von Vorpumpen-Saugvermögen und Heliumkompression der Turbo-Molekularpumpe genauso hoch, wie beim klassischen Hauptstrom-Prinzip. Die Vorteile des Gegenstrom-Verfahrens sind insbesondere: kein flüssiger Stickstoff erforderlich, hohe Einlassdrücke (Prüflingsdrücke) möglich. Somit ist das Gegenstrom-Verfahren insbesondere zur mobilen Lecksuche an Anlagen geeignet. Für die Lecksuche an größeren Komponenten, wo eine kurze Ansprechzeit (d.h. hohes Saugver mögen) verlangt wird, ist eine zusätzliche Turbopumpstufe am Ein lass des Lecksuchers notwendig. Teilstrom-Verfahren Zur Erweiterung des Messbereiches in Richtung größerer Leckraten und zum Betrieb bei hohem Einlassdruck enthalten Helium-Leckdetektoren eine Teilstrom- oder Grobleck -Einrichtung. Diese besteht aus einem Drosselventil und einer Drehschieber-Vakuumpumpe. Bei Drücken, die über dem normalen Einlassdruck liegen (Hauptstrom: über 10-2 mbar, Gegenstrom: über 10-1 mbar) oder bei großen Helium-Leck raten, wird das Einlassventil ge schlossen und der Hauptgasstrom fließt in die Teilstrompumpe, während nur ein kleiner Anteil über die Teilstrom drossel in den Leckdetektor gelangt. Hierdurch wird sowohl der Totaldruck als auch der Heliumdruck im Leck detektor in verarbeitbare Bereiche gebracht. Um auch im Teilstrom quantitativ richtige Leckratenanzeigen zu erhalten, muss das Teilstromverhältnis, also der Anteil des tatsächlich gemessenen Gasstromes vom Gesamtgasstrom, bekannt und stabil sein. Dieses wird bei Leckdetektoren durch die Teilstromdrossel erreicht, welche aus einem hochpräzise durchbohrten Rubin ( Uhrenstein ) besteht. Hierdurch ist ohne zusätzliche Kalibrierung auch für Groblecks immer eine quantitativ richtige Leckratenanzeige sichergestellt. Hauptstrom-Verfahren Gegenstrom-Verfahren Teilstrom-Verfahren 10 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

11 Kalibrierung von Helium- Leckdetektoren mit Testlecks Bei der Lecksuche erwartet man bei einem dichten Prüfling, dass der Leckdetektor keinen Ausschlag zeigt. Es ist dabei unbedingt auszuschließen, dass dies auf einer Funktionsstörung beruht. Daher sind Testlecks, d.h. künstliche Lecks, die eine bekannte Helium-Leckrate abgeben, für eine sichere Aussage unerlässlich. Um eine quantitativ richtige Leckratenanzeige zu erhalten, muss außerdem die Empfindlichkeit eines Helium-Leckdetektors richtig abgeglichen werden. Auch hierzu wird ein Testleck benötigt. Leybold bietet Helium-Testlecks verschiedener Bauart im Bereich von 10-9 bis 10-4 mbar l s -1 serienmäßig an. Alle Leckraten entsprechen den Standards des DAkkS-Kalibrier dienstes, der von der Physika lisch-technischen- Bundes anstalt (PTB) getragen wird. Auf Wunsch kann jedes Helium-Test leck mit Heliumvorrat mit einem DAkkS-Kalibrierzertifikat ausgeliefert werden. Die Kalibrierung erfolgt bei der DAkkS- Kalibrierstelle für Vakuum, wel che die Leybold GmbH im Auftrag der PTB be treibt. Prüfgeräte / Lecksucher leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

12 Produkte Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i Der PHOENIX L300i ist ein universell einsetzbarer portabler Helium-Leckdetektor und gleichermaßen in der Serienproduktion als auch zum Service-Einsatz geeignet. Die robuste Konstruktion und die einfache Bedienung machen den PHOENIX L300i zum bedienungsfreundlichsten Leckdetektor seiner Klasse. PHOENIX L300i Vorteile für den Anwender - Kleinste nachweisbare Leckrate - Rasche Erholung für Helium - Schnelle Betriebsbereitschaft - Extrem kurze Reaktionszeit - Ölfreies Gaseinlass-System - Einer der kleinsten Helium-Lecksucher der Welt - Hohe Empfindlichkeit - Schnelle Leckraten-Anzeige auch bei kleinen Leckraten Typische Anwendungen Dichtheitsprüfungen in - Qualitätssicherung - Automobil-Industrie - Analysengeräte - Anlagenbau - Kraftwerks-Technik - Forschung und Entwicklung - Halbleiter-Industrie - Hoch- und Ultra-Hochvakuum- Technik - Ideales Werkzeug für die industrielle Serienprüfung beispielsweise in der Kälte-/Klima-Industrie Bei Verwendung der als Zubehör erhältlichen Schnüffel-Leitungen ist der PHOENIX L300i als Schnüffel-Leckdetektor einsetzbar. In Verbindung mit einem Teilstrom-System eignet er sich der PHOENIX L300i für die Lecksuche an großvolumigen Behältern. 282 (111,02) 314 (123,62) 123,3 (48,54) 30,3 (11,93) 457 (179,92) 438 (172,44) 382 (150,39) 57 (22,44) 32 (12,6) 56,5 (22,05) 282 (111,02) 213 (83,86) 207 (81,5) 22 (8,66) 49 (19,29) 41,5 (16,34) 438,5 (172,64) 408,5 (160,83) 495 (194,88) 56,5 (22,24) 438,5 (172,64) 382 (150,39) 38,5 (15,16) Maßzeichnung zum PHOENIX L300i (Rückseite) Maßzeichnung zum PHOENIX L300i (Seitenansicht und Unteransicht)) 12 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

13 Technische Daten PHOENIX L300i Kleinste nachweisbare He-Leckrate Vakuumbetrieb mbar l s -1 Schnüffelbetrieb mbar l s -1 Max. nachweisbare Wasserstoff-Leckrate Vakuumbetrieb mbar l s -1 Schnüffelbetrieb mbar l s -1 Maßeinheiten (wählbar) Druck Leckrate Schnüffel-Modus Leckraten-Anzeigenbereich mbar l s -1 Messbereiche Max. Einlassdruck mbar Saugvermögen während des Evakuierungsvorganges 50 Hz m 3 h Hz m 3 h -1 Helium-Saugvermögen im Vakuummodus GROSS Modus l/s FINE Modus l/s Zeitkonstante des Lecksignals (blindgeflanscht, 63% des Endwertes) Hochlaufzeit (nach dem Einschalten) Massenspektrometer Ionenquelle Nachweisbare Massen Einlassflansch Abmessungen (B x H x T) Gewicht Verfügbare Sprachen s min amu DN mm kg < < mbar, Pa, atm, Torr mbar l s -1, Pa m 3 s -1, Torr l s -1, atm cc sec -1, sft 3 /yr ppm, g/a eq, oz/yr eq bis Dekaden 15 2,5 3,0 0,4 > 3,1 < magnetisches Sektorfeld 2 Yttrium/Iridium-Langzeit-Katoden 2, 3 und 4 25 ISO-KF 495 x 456 x Englisch, Deutsch, Chinesisch, Japanisch (Katakana), Russisch, Französisch, Italienisch, Spanisch, Polnisch, Koreanisch Bestelldaten PHOENIX L300i Prüfgeräte / Lecksucher PHOENIX L300i Euro-Version 230 V, 50/60 Hz, mbar-anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7 US-Version 115 V, 60 Hz, mbar-anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7 Japan-Version 100 V, 60 Hz, mbar-anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7 Teilstrom Pumpsatz ( V) PC-Software LeakWare Weiteres Zubehör finden Sie im Abschnitt Zubehör für PHOENIX L300i, PHOENIX L300i DRY und PHOENIX L300i MODUL Kat.-Nr V V V leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

14 Tragbarer und trockener Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i DRY Der PHOENIX L300i DRY ist ein kompakter tragbarer Helium-Leckdetektor, der höchste Reinheits-Anforderungen erfüllt. Basierend auf der ausgereiften Technik des PHOENIX L300i, aber ausgestattet mit einem ölfreien Pump system, vereinigt der PHOENIX L300i DRY höchste Rein heits-anforderungen mit kleinen Abmessungen. PHOENIX L300i DRY Vorteile für den Anwender Typische Anwendungen - Ölfreies trockenes Pumpsystem - Geringer Platzbedarf Dichtheitsprüfungen mit hohen Reinheits-Anforderungen, z.b. - Schnelle Betriebsbereitschaft - Extrem kurze Reaktionszeit - Halbleiter-Industrie - nach Reparaturen oder Wartungsarbeiten - Produktion von Komponenten an HL-Anlagen - Pharmazie/Medizintechnik 282 (111,02) 314 (123,62) 123,3 (48,54) - Laser 30,3 (11,93) 457 (179,92) 438 (172,44) 382 (150,39) 57 (22,44) 32 (12,6) 56,5 (22,05) 282 (111,02) 213 (83,86) 207 (81,5) 22 (8,66) 49 (19,29) 41,5 (16,34) 438,5 (172,64) 408,5 (160,83) 495 (194,88) 56,5 (22,24) 438,5 (172,64) 382 (150,39) 38,5 (15,16) Maßzeichnung zum PHOENIX L300i DRY (Rückseite) Maßzeichnung zum PHOENIX L300i DRY (Seitenansicht und Unteransicht)) 14 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

15 Technische Daten PHOENIX L300i DRY Kleinste nachweisbare He-Leckrate Vakuumbetrieb mbar l s -1 Schnüffelbetrieb mbar l s -1 Max. nachweisbare Wasserstoff-Leckrate Vakuumbetrieb mbar l s -1 Schnüffelbetrieb mbar l s -1 Maßeinheiten (wählbar) Druck Leckrate Schnüffel-Modus Leckraten-Anzeigenbereich mbar l s -1 Messbereiche Max. Einlassdruck Bestelldaten mbar Saugvermögen während des Evakuierungsvorganges 50 Hz m 3 h Hz m 3 h -1 Helium-Saugvermögen im Vakuummodus GROSS Modus l/s PRECISION Modus l/s FINE Modus l/s Zeitkonstante des Lecksignals (blindgeflanscht, 63% des Endwertes) Hochlaufzeit (nach dem Einschalten) Massenspektrometer Ionenquelle Nachweisbare Massen Einlassflansch Abmessungen (B x H x T) Gewicht Verfügbare Sprachen s min amu DN mm kg < < mbar, Pa, atm, Torr mbar l s -1, Pa m 3 s -1, Torr l s -1, atm cc sec -1, sft 3 /yr ppm, g/a eq, oz/yr eq bis Dekaden 15 1,6 1,8 0,02 0,4 > 3,1 < magnetisches Sektorfeld 2 Yttrium/Iridium-Langzeit-Katoden 2, 3 und 4 25 ISO-KF 495 x 456 x ,5 Englisch, Deutsch, Chinesisch, Japanisch (Katakana), Russisch, Französisch, Italienisch, Spanisch, Polnisch, Koreanisch PHOENIX L300i DRY Prüfgeräte / Lecksucher PHOENIX L300i DRY Euro-Version 230 V, 50 Hz, mbar-anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7 US-Version 115 V, 60 Hz, mbar-anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7 Japan-Version 100 V, 60 Hz, mbar-anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7 Teilstrom Pumpsatz ( V) PC-Software LeakWare Weiteres Zubehör finden Sie im Abschnitt Zubehör für PHOENIX L300i, PHOENIX L300i DRY und PHOENIX L300i MODUL Kat.-Nr V V V leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

16 Mobiler und flexibler Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i MODUL Das PHOENIX L300i MODUL ist das Grundgerät einer ganzen Familie von Leckdetektoren. Es basiert auf dem PHOENIX L300i, hat aber keine integrierte Vorvakuumpumpe und bietet so die höchste Flexibilität für verschiedene Anwendungen. Die Vorvakuumpumpe ist in Abhängigkeit der jeweiligen Prozessanforderungen auszuwählen. Zum Beispiel für die Evakuierung von großen Vakuumkammern oder zur Erreichung von höheren Lecktestzyklen. PHOENIX L300i MODUL Der PHOENIX L300i MODUL kombiniert die hervorragenden Eigenschaften des PHOENIX L300i mit dem vakuum - tech nisch erforderlichen Pumpsystem. Hieraus ergeben sich im Wesentlichen zwei Gruppen: - Trockene, mobile Leckdetektoren mit wähl barer Saugleistung - Ölgedichtete, mobile Leckdetektoren mit großem Saugvermögen zum optimalen Preis-Leistungsverhältnis PHOENIX L300i MODUL mit öl-geschmierter Vorvakuumpumpe Diese Kombination ist ein leistungsstarker Leckdetektor, dessen Saugver mögen der Anwendung angepasst ist. Vorteile für den Anwender - Preiswerter Leckdetektor - Saugvermögen optimiert auf die Anwendung - Rasche Ansprechzeit - Kurze Erholzeit - Hohe Empfindlichkeit - Schnelle Leckraten-Anzeige auch bei kleinen Leckraten Typische Anwendungen Alle Anwendungen, die kurze Takt zeiten und/oder größere Volumina beinhalten und außerdem Mobilität benötigen, wie: - Automobil-Industrie - Kälte-/Klima-Technik - Ofenbau/Maschinenbau/Anlagenbau - Verpackung PHOENIX L300i MODUL mit trockenverdichtender Scroll-Pumpe Diese Kombination ist ein trockener Leckdetektor mit hohen Leistungsdaten. Vorteile für den Anwender - Sehr hohes Saugvermögen, auch geeignet, um HL-Prozesskammern ohne eigenes Pumpsystem zu testen - Rasche Ansprechzeit - Kurze Erholzeit (nach Helium-Verseuchung) - Absolut trocken - Hohe Empfindlichkeit Typische Anwendungen Alle Anwendungen, für die hohe Reinheits-Anforderungen im Prozess gelten, wie: - Halbleiter-Industrie (Chip-Hersteller) - Halbleiter-Industrie (Tool-Hersteller und Zulieferer) - Reinstgas-Industrie - Forschung und Entwicklung - UHV-Anwendungen 16 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

17 Technische Daten PHOENIX L300i MODUL mit 1-stufiger mit 2-stufiger mit Scroll-Pumpe Drehschieber-Pumpe Drehschieber-Pumpe Kleinste nachweisbare He-Leckrate Vakuumbetrieb mbar l s -1 Schnüffelbetrieb mbar l s -1 Max. nachweisbare Wasserstoff-Leckrate Vakuumbetrieb mbar l s -1 Schnüffelbetrieb mbar l s ) -11 2) / 5 10 < < < < < < Max. zulässiger Einlassdruck mit Teilstrompumpsatz mbar mbar Saugvermögen während des Evakuierungsvorganges mit Pumpe (50 Hz) SOGEVAC SV 16 D m 3 h -1 SOGEVAC SV 28 BI m 3 h -1 SOGEVAC SV 40 BI m 3 h -1 TRIVAC D 16 B m 3 h -1 TRIVAC D 25 B m 3 h -1 SCROLLVAC SC 15 D m 3 h -1 SCROLLVAC SC 30 DL m 3 h -1 14, Saugvermögen für Helium am Einlassflansch Zeitkonstante des Lecksignals (blindgeflanscht, 63% des Endwertes) l/s s > 3,1 > 3,1 > 3,1 < 1 < 1 < 1 Leckraten-Anzeigenbereich mbar l s bis bis bis Maßeinheiten (wählbar) Druck Leckrate Schnüffel-Modus mbar, Pa, atm, Torr mbar, Pa, atm, Torr mbar, Pa, atm, Torr mbar l s -1, Pa m 3 s -1, mbar l s -1, Pa m 3 s -1, mbar l s -1, Pa m 3 s -1, Torr l s -1, Torr l s -1, Torr l s -1, atm cc sec -1, sft 3 /yr atm cc sec -1, sft 3 /yr atm cc sec -1, sft 3 /yr ppm, g/a eq, oz/yr eq ppm, g/a eq, oz/yr eq ppm, g/a eq, oz/yr eq Prüfgeräte / Lecksucher Zeit bis zur Betriebsbereitschaft Massenspektrometer Ionenquelle Nachweisbare Massen Testanschluss Abmessungen (B x H x T) Gewicht (ohne Pumpe) Verfügbare Sprachen min amu mm kg magn. Sektorfeld 180 magn. Sektorfeld 180 magn. Sektorfeld 2 Yttrium/ 2 Yttrium/ 2 Yttrium/ Iridium-Langzeit-Katoden Iridium-Langzeit-Katoden Iridium-Langzeit-Katoden 2, 3 und 4 2, 3 und 4 2, 3 und 4 1 x DN 25 ISO-KF 1 x DN 25 ISO-KF 1 x DN 25 ISO-KF 495 x 456 x x 456 x x 456 x Englisch, Deutsch, Chinesisch, Englisch, Deutsch, Chinesisch, Englisch, Deutsch, Chinesisch, Japanisch (Katakana), Japanisch (Katakana), Japanisch (Katakana), Russisch, Französisch, Russisch, Französisch, Russisch, Französisch, Italienisch, Spanisch, Italienisch, Spanisch, Italienisch, Spanisch, Polnisch, Koreanisch Polnisch, Koreanisch Polnisch, Koreanisch 1) Mit SCROLLVAC SC 30 DL 2) Mit SCROLLVAC SC 15 D leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

18 Der Lieferumfang der nachfolgenden Katalog-Nummern beinhaltet lediglich die Einzel-Komponenten zur Selbstmontage. Bestelldaten PHOENIX L300i MODUL Euro-Version / 230 V, 50 Hz Kat.-Nr. US-Version / 115 V, 60 Hz Kat.-Nr. PHOENIX L300i MODUL ohne Vorvakuumpumpe 100 bis 230 V / 50/60 Hz V01 Zubehör Empfohlene Vorvakuumpumpen SOGEVAC SV 16 D V V SOGEVAC SV 28 BI SOGEVAC SV 40 BI V - TRIVAC D 16 B TRIVAC D 25 B V001 SCROLLVAC SC 15 B SCROLLVAC SC 30 DL Weiteres Zubehör finden Sie im Abschnitt Zubehör für PHOENIX L300i, PHOENIX L300i DRY und PHOENIX L300i MODUL 18 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

19 CART 300 für PHOENIX L300i CART 300 (mit PHOENIX L300i) Maßzeichnung zum CART 300 (hier als Beispiel mit Leckdetektor und Scroll-Pumpe SCROLLVAC SC 30 DL) Technische Daten CART 300 Abmessungen (B x H x T) mm 525 x 1095 x 1024 Gewicht ohne Leckdetektor und Pumpe, ca. kg (hier als Beispiel mit Leckdetektor und Scroll-Pumpe SCROLLVAC SC 30 DL) Bestelldaten 50 CART 300 Prüfgeräte / Lecksucher CART 300 ohne E-Box mit E-Box 230 V, Euro-Version Kat.-Nr leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

20 Helium-Leckdetektor PHOENIX L500i Der Helium-Lecksucher PHOENIX L500i eröffnet neue Dimensionen der Produktivität und Zuverlässigkeit für ihre Anwendung. Die Lecksucher der PHOENIX Serie sind die Lösung mit intelligenter Steuerung. PHOENIX L500i Vorteile für den Anwender - Absolut zuverlässige Leckerkennung - Schnelle und reproduzierbare Prüfergebnisse - Neues, innovatives Systemdesign für hohe Produktivität im Dauerbetrieb - Geeignet für Serienprüfung - Rasche Evakuierung und schnelle Messbereitschaft bei geringer Verschmutzungsneigung - Kompakte, mobile Einheit mit ergonomischer Arbeitsposition - Einfacher und komfortabler Betrieb - Schlafmodus/Aufwachfunktion - Alle Anschlüsse leicht zugänglich an der Geräterückseite - 3 Jahre Gewährleistung auf die Kathoden und die Ionenquelle Typische Anwendungen - Elektrotechnik (Durchführungen, Vakuumsensoren, Lampen und Transformatoren) - Automobil-Industrie (Brennstoffleitungen, Getriebe) - Kälte- und Klimatechnik - Verpackungen (medizinische, pharmazeutische und Lebensmittelprodukte, Fässer) - Forschung (Kernfusion, Weltraumsimulatoren, Teilchenbeschleuniger) Überwachung und Steuerung - Drahtloser Betrieb über WiFi - Exklusive, ergonomisch gestaltete Tablet-Halterung (im Lieferumfang enthalten) - Einfache Einrichtung und intuitive Bedienung durch die übersichtliche Touchscreen Steuerung - Wählbare Betriebsart für maximale Flexibilität - Messwerterfassung und Auslesen von Daten DN63 ISO-K Qualitätssicherung von Bauteilen und Baugruppen aus den Industriebereichen Hochgeschwindigkeits- Lecksuche - Ansprechzeit < 1 s Heliumsaugvermögen am Einlass von bis zu 50 l/s - Extrem kurze Helium Erholzeit Effiziente Standby- und Timerfunktion für Zeit- und Energieersparnis - Zuverlässige und reproduzierbare Testergebnisse 999 Maßzeichnung zum PHOENIX L500i 20 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

21 Technische Daten PHOENIX L500i Kleinste nachweisbare He Leckrate (nach AVS 2.1 und EN 1518) mbar l s -1 Max. zulässiger Einlassdruck Qualitative Messung Quantitative Messung Nachweisbare Massen Hochlaufzeit (bis zur Betriebsbereitschaft) Einlassflansch Max. Helium-Saugvermögen am Einlassflansch Ansprechzeit mbar mbar amu min DN l/s Versorgungsspannungen 3 Phasen/N/PE, 50/60 Hz V Gewicht Abmessungen (L x B x H) Verfügbare Sprachen Maßeinheiten (wählbar) Druck Leckrate Schnüffel-Modus s kg mm Leckraten-Anzeigenbereich mbar l s -1 Saugvermögen während des Evakuierungsvorganges 50 Hz m 3 h Hz m 3 h -1 Zeitkonstante des Lecksignals (blindgeflanscht, 63% des Endwertes) Massenspektrometer Ionenquelle s < , 3 und 4 < 3 63 ISO-K 50 < 1 200/208/380/400/ x 630 x 1028 Englisch, Deutsch mbar, Pa, atm, Torr mbar l s -1, Pa m 3 s -1, Torr l s -1, atm cc sec -1, sft 3 /yr ppm, g/a eq, oz/yr eq bis < 0,2 180 magnetisches Sektorfeld 2 Yttrium/Iridium-Langzeit-Katoden Prüfgeräte / Lecksucher Bestelldaten PHOENIX L500i Helium-Leckdetektor PHOENIX L500i Drehschieber-Vakuumpumpe gefüllt mit Mineralöl LVO 100 PFPE Öl LVO 400 Testleck TL 9 TL 8 TL 6 TL 4 TL 4-6 Reduzierstück DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF Gassprühpistole für Helium (einschließlich 5 m Schlauch) Antistatik-Arbeitsplatte Kat.-Nr V V optional leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

22 PHOENIX L340i Mobiler Helium-Leckdetektor als Sitzarbeitsplatz PHOENIX L340i Vorteile für den Anwender Der PHOENIX L340i ist eine mobile Dicht heits-prüfstation, ausgeführt als Sitzarbeitsplatz. Er wurde vorrangig für die Prüfung von Kleinserienteilen im Vakuum- oder Schnüffelmodus konzipiert. Mit seinen geringen Grundabmessungen und der Ausstattung mit vier Rädern passt er durch jede Standardtür. Die integrierten Standardkomponenten bestehen aus dem PHOENIX L300i MODUL mit zweistufiger, ölgedichteter Drehschieberpumpe TRIVAC D 25 B sowie einem Leistungs- und Steuerteil. Der PHOENIX L340i wird über das PHOENIX L300i Operator Panel be - dient, das zu diesem Zweck in die Front blende montiert wurde. Bedienung und technische Parameter des PHOENIX L340i können direkt vom PHOENIX L300i abgeleitet werden. Optional kann der PHOENIX L340i mit einem Auspufffilter AF für die TRIVAC, mit einer trockenverdichtenden Vorpumpe SCROLLVAC SC 30 DL oder auch mit einer Fernbedienung ausgestattet werden. Typische Anwendungen - Mobil ausgeführter, bequemer Sitzarbeitsplatz - Einfache Bedienung, identisch zu PHOENIX L300i - Kompakte Abmessungen, da nur Standard-Komponenten wie PHOENIX L300i Modul oder TRIVAC D 25 B integriert sind - Hohe Nachweisempfindlichkeit für Helium, daher sehr kleine Lecks de - tektierbar - Schnelle Messbereitschaft - Großes Saugvermögen durch separate Vorvakuumpumpe Qualitätssicherung an - Produkten der Einzel- und Klein- Serienfertigung - Ausrüstung für Forschung und Ent - wicklung Technische Daten PHOENIX L340i Kleinste nachweisbare He-Leckrate (Vakuumbetrieb) mbar l s -1 Max. nachweisbare He-Leckrate (Vakuumbetrieb) mbar l s -1 Anschlussflansch für Prüflinge DN Saugvermögen während des Evakuierungsvorganges mit TRIVAC D 25 B (50 Hz) m 3 h -1 mit SCROLLVAC SC 30 DL m 3 h -1 Saugvermögen für Helium am Einlassflansch Zeitkonstante des Lecksignals (blindgeflanscht, 63 % des Endwertes) Zeit bis zur Betriebsbereitschaft Abmessungen (B x H x T) Höhe der Arbeitsplatte Verfügbare Sprachen l/s s min mm mm > 0,1 40 ISO-KF ca. 25 ca. 25 > 2,5 < 1 < x 1000 x Englisch, Deutsch, Chinesisch, Japanisch (Katakana), Russisch, Französisch, Italienisch, Spanisch, Polnisch, Koreanisch Bestelldaten PHOENIX L340i PHOENIX L340i Kundenspezifischer PHOENIX L340 Kat.-Nr. auf Anfrage auf Anfrage 22 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

23 PHOENIX L320i Fab Mobiler Helium-Leckdetektor für erhöhte Reinheitsanforderungen Der PHOENIX L320i Fab ist ein fahrbarer Helium-Leckdetektor, vorrangig kon zipiert für den Einsatz in Räumlichkeiten mit erhöhten Reinheitsanforderungen. PHOENIX L320i Fab Vorteile für den Anwender - Mobiler Leckdetektor in an sprechendem Design - Kompakte Abmessungen - Großes Saugvermögen durch separate Vorvakuumpumpe - Geringe Partikelemission durch eingeschlossene Vorvakuumpumpe - Schnelle Messbereitschaft - Hohe Nachweisempfindlichkeit für Helium, daher sehr kleine Lecks de - tektierbar Technische Daten Kleinste nachweisbare He-Leckrate (Vakuumbetrieb) mbar l s -1 Kleinste nachweisbare He-Leckrate (Schnüffelbetrieb) mbar l s -1 Anschlussflansch für Prüflinge DN Max. nachweisbare He-Leckrate (Vakuumbetrieb) mbar l s -1 Saugvermögen während des Evakuierungsvorganges mit SCROLLVAC SC 30 DL m 3 h -1 Saugvermögen für Helium im Vakuummodus Zeitkonstante des Lecksignals (blindgeflanscht, 63 % des Endwertes) Zeit bis zur Betriebsbereitschaft Abmessungen (B x H x T) Verfügbare Sprachen l/s s min mm PHOENIX L320i Fab, mit abgenommener Seitenverkleidung - Ausschließlich Standard-Komponenten integriert: bequemer Zugriff, einfache Wartung Typische Anwendungen Qualitätssicherung an - Ausrüstung in Bereichen mit er höh - ten Reinheitsanforderungen - Ausrüstung für Forschung und Ent - wicklung - Produkten der Einzelfertigung PHOENIX L320i Fab < ISO-KF > 0,1 ca. 25 > 2,5 < 1 < x 1200 x 1150 Als Nachweisgerät für die Helium-Leckrate dient ein PHOENIX L300i MODUL, die Vorvakuumpumpe ist eine trockenverdichtende SCROLLVAC SC 30 DL. Beide Hauptkomponenten des PHOENIX L320i Fab sind in einem an - sprechenden und platzsparenden Fahrgestell untergebracht. Zur weitgehenden Unterdrückung von Partikelemission befindet sich die Vorvakuumpumpe in einem geschlossenen Ge häuse und wird von der Unterseite her mit Frischluft versorgt (Lüfter). Die Seitenwände dieses Gehäuses sind leicht ab - nehmbar. Der PHOENIX L320i Fab ist mit nützlichen Details wie etwa einem Gasflaschen halter, Aufhängungen für Schnüffel schlauch und Netzkabel sowie einem separaten Schalter für die Vorvakuumpumpe ausgestattet. Englisch, Deutsch, Chinesisch, Japanisch (Katakana), Russisch, Französisch, Italienisch, Spanisch, Polnisch, Koreanisch Prüfgeräte / Lecksucher Technische Daten PHOENIX L320i Fab PHOENIX L320i Fab Kundenspezifischer L320i Fab Kat.-Nr. auf Anfrage auf Anfrage leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

24 Zubehör RC 310 C / RC 310 WL Fernbedienungen für Lecksuchgeräte Fernbedienung RC 310 C mit Kabelverbindung Vorteile für den Anwender - Einfache Bedienung via Touch Screen Grafik-Display 3,5" - Kabellose Übertragung bis 100 m, kabelgebundene Übertragung bis 34 m - Datenausgabe zu Windows möglich - Datensicherung auf internem 32 MB Daten logger oder USB-Stick möglich - Verwendung mit oder ohne Kabel möglich - Einstellbarer Alarm-Trigger - Magnetische Halterung auf der Rückseite des Gerätes vorhanden - Robustes Industrie-Design mit Schutzklasse IP 42 - Scrollfunktion für gemessene Daten (Option) - USB-Anschluss für Daten-Transfer und Software-Updates - Einstellbarer Lautsprecher und Kopfhörer-Ausgang - Suchfunktion (paging) via Ton-Signal - Peakhold (Maximalwert-Anzeige) - Erkennung von bis zu 10 Lecksuchern gleichzeitig möglich Kabellose Fernbedienung RC 310 WL Typische Anwendungen - Mobiler Einsatz mit einem tragbaren Lecksucher durch kabellose Verbindung - Lecksuche bei/in: - Analysen-Technik - Medizintechnik - Solar-Technik - Forschung und Entwicklung - Vakuum-Zubehör - Zubehör in der Automobilindustrie - IT-Branche - Prozess-Industrie Die Fernbedienung RC 310 im In dus - trie-design (RC 310 WL kabellos und RC 310 C kabelgebunden) mit inte - griertem Datenspeicher erweitert die maximal mögliche Flexibilität während des Lecksuch-Prozesses. Die RC 310 WL ermöglicht eine kabellose Fernüberwachung bis zu einer Entfernung von 100 Meter. Die RC 310 unterstützt die aktuellen Lecksucher der PHOENIX L300i-Serie sowie UL 200 und L 200-Typen. Verschiedene farbige Anzeigen im Display auf der Fernbedienung 24 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

25 Technische Daten RC 310 Display Speicherkapazität interner Datenspeicher davon für Datenaufzeichnung verfügbar oder Memory-Stick Betriebszeit Akku (nur RC 310 WL) (je nach Ladezustand) Funkübertragung RC 310 WL, Reichweite im Freifeld HF-Ausgangsleistung (4 mw) Funkübertragung RC 310 WL, Sendefrequenz Audioalarmpegel in 1 m Abstand, max. Kopfhöreranschluss Stereo 3,5 mm MB MB Stunden m dbm GHz db(a) Ohm TFT Grafik-Touch 1/4 VGA / 3,5"; 240 x 320 px > 8 bis zu ,4 70 > 2 x 32 Zul. Betriebstemperatur C +5 bis +40 Ladenetzteil Netzspannung Frequenzen Anschließbare Lecksucher Erkennung von Lecksuchern V Hz (+/- 10%) 50/60 PHOENIX L300i-Serie, UL 200-Serie, L 200-Serie bis zu 10 Verfügbare Sprachen Weitere Sprachen möglich Englisch, Deutsch Chinesisch, Japanisch (Katakana), Russisch, Französisch, Italienisch, Spanisch, Polnisch und Koreanisch Prüfgeräte / Lecksucher Schutzklasse Schutzgrad Ladenetzteil Funk-Zulassungen RC 310 WL Abmessung (L x B x H) Gewicht RC 310 C, ca. RC 310 WL, ca. IP IP mm kg kg CE, FCC, IC, TELEC, MIC, MII 210 x 90 x 45 0,4 0,5 Bestelldaten RC 310 Fernbedienung RC 310 C, mit Kabelverbindung und 4 m Anschlussleitung RC 310 WL, kabellos mit Ladenetzteil (für integrierten Akku) und Funktransmitter, mit Anschlussleitung (zusätzlich 4 m Anschlussleitung) Kat.-Nr V V01 Zubehör Funktransmitter mit Anschlussleitung (zum Betrieb eines weiteren PHOENIX L300i) Verlängerungsleitung, 10 m (max. 3 Verlängerungen möglich) V leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

26 Testlecks für Vakuum- und Schnüffel- Anwendungen Zum Massenspektrometer-Abgleich, zur Kalibrierung der Leckanzeige und zur Bestimmung von Ansprechzeiten in der Anlagenlecksuche müssen Vergleichs-Standards verwendet werden. Testlecks Testlecks für Vakuum- Anwendungen TL 4 und TL 6 Testlecks ohne Gasvorrat (Typ Kapillarleck) zur Empfindlichkeits- und Signalansprechzeit-Bestimmung bei der Vakuum-Lecksuche und zur Empfindlichkeits-Bestimmung von Schnüfflern bei der Überdruck-Lecksuche. Nennleckraten-Bereiche 10-4 mbar l s -1 für TL 4 bzw mbar l s -1 für TL 6. Verwendbar für Helium. Ein Spülventil mit Schlauchwelle ermöglicht den schnellen Gasaustausch des Totvolumens. TL 4-6 Helium-Testleck (Kapillarleck) für Groblecks, im Bereich 10-4 bis 10-6 mbar l s -1 einstellbar mit austauschbarem Helium-Vorratsbehälter, Druckmanometer und zwei Handventilen, zur Kalibrierung der Leckraten-Anzeige und Abgleich von Helium-Massenspektrometern im Vakuum-Bereich und zur Empfindlichkeits-Bestimmung bei Schnüfflern im Überdruck-Bereich. TL 4 Helium-Testleck (Kapillarleck) mit wieder befüllbarem Vorratsbehälter und einer Leckrate im Bereich 10-4 mbar l s -1. Spezielles Leck für die Verwendung im Vakuum. TL 7 (Für Einbau in PHOENIX L300i) Helium-Testleck (Kapillarleck) mit Helium-Vorratsbehälter und Elektro-Magnetventil. Leckraten-Bereich 10-7 mbar l s -1. Das Elektro-Mag net ventil erlaubt eine Ansteu erung über die Leck de tektor Software. TL 7 Helium-Testleck (Kapillarleck) mit Helium-Vorratsbehälter, Handventil und He-Gasvorrat. TL 8 und TL 9 Helium-Testleck kalibriert auf eine Leckrate im Bereich 10-8 mbar l s -1 (Helium-Leckrate) für TL 8 bzw mbar l s -1 für TL 9 mit Gasvorrat und Membran-Handventil, zum Abgleich eines Helium-Massenspektrometers, zur Kalibrierung der Leckraten-Anzeige von Helium-Leckdetektoren und zur Messung der Ansprechzeit bei größeren Volumina. Hinweis Alle Testlecks, mit Ausnahme des TL 4, sind nicht für die Verwendung im Vakuum vorgesehen. Vorteile für den Anwender - Abnahmeprüfzeugnis (im Lieferumfang enthalten) gemäß DIN EN Hohe Präzision - Lange Lebensdauer - Sehr geringe Temperaturabhängigkeit - Ermittlung der Nennleckrate durch Vergleich gegen ein Testleck mit PTB 1) -Zertifikat - DAkkS 2) -Zertifikat (optional), rückführbar auf PTB - Sonderausführungen für spezielle Anwendungen Die Nennleckrate gilt nur, wenn das Testleck an eine Vakuumapparatur mit einem Druck < 1 mbar angeflanscht ist. 1) Physikalisch-Technische-Bundesanstalt 2) Deutsche Akkreditierungsstelle GmbH 26 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

27 Testlecks für Schnüffel- Anwendungen Diese Testlecks sind auf einen festen Wert innerhalb der typischen Leckrate eingestellt (siehe Bestelldaten). Der eingebaute Manometer überwacht den austauschbaren Kalibriergasvorrat. Helium-Testlecks S-TL 4 bis S-TL 6 mit Leckraten von 10-4 bis 10-6 mbar l s -1. Testleck-Satz für Kraftwerke Drei Testlecks von 1000, 100 und 10 mbar l s -1 ermöglichen es auch bei den Umgebungsbedingungen von Kraftwerken eine Lecksuche mit Teilstrom-Verhältnissen auszuführen. Technische Daten Leckratenbereich Lecksuchmethode Anschlussflansch TL 4, ohne He-Gasvorrat TL 6, ohne He-Gasvorrat TL 4-6, mit He-Gasvorrat TL 4, mit He-Gasvorrat TL 7, mit He-Gasvorrat TL 7, mit Handventil und He-Gasvorrat TL 8, mit He-Gasvorrat TL 9, mit He-Gasvorrat S-TL 4, mit He-Gasvorrat S-TL 5, mit He-Gasvorrat S-TL 6, mit He-Gasvorrat 10-4 mbar l s -1 Vakuum und Schnüffler DN 16 ISO-KF 10-6 mbar l s -1 Vakuum und Schnüffler DN 16 ISO-KF 10-4 bis 10-6 mbar l s -1 Vakuum und Schnüffler DN 16 ISO-KF 10-4 mbar l s -1 Vakuum Austrittsöffnung 10-7 mbar l s -1 Vakuum (Einbau in PHOENIX L300i) Austrittsdüse 10-7 mbar l s -1 Vakuum DN 10 ISO-KF 10-8 mbar l s -1 Vakuum DN 10 ISO-KF 10-9 mbar l s -1 Vakuum DN 10 ISO-KF 10-4 mbar l s -1 Schnüffler Austrittsdüse 10-5 mbar l s -1 Schnüffler Austrittsdüse 10-6 mbar l s -1 Schnüffler Austrittsdüse Bestelldaten Testleck TL 4, ohne He-Gasvorrat 1) TL 6, ohne He-Gasvorrat 1) Kat.-Nr Prüfgeräte / Lecksucher TL 4-6, mit He-Gasvorrat 1) TL 7, mit He-Gasvorrat 1) für den Einbau in den PHOENIX L300i Fülldruck 2,9 bar TL 7, mit Handventil und He-Gasvorrat 1) TL 8, mit He-Gasvorrat 1) TL 9, mit He-Gasvorrat 1) S-TL 4, mit He-Gasvorrat 1) S-TL 5, mit He-Gasvorrat 1) S-TL 6, mit He-Gasvorrat 1) Testleck-Satz für Kraftwerke 1000, 100, 10 mbar l s -1 Gummiblase mit Schlauchklemme He-Druckdose, 1 l, 12 bar (für TL 4-6) DAkkS-Kalibrierung für TL 7/8/9 Werks-Kalibrierung für He-Testlecks 1) Mit Werks-Prüfzeugnis V leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

28 Einschraub-Testlecks Hersteller von Helium-Dichtheits-Prüfanlagen benötigen für die Einrichtung und Kalibrierung ihrer Anlagen Testlecks in verschiedenen Bauformen mit individuell eingestellten Leckraten. Diese Testlecks werden, abhängig von der Anwendung, als Master-Testleck direkt in den Prüfling eingebaut oder auch als ständige Einrichtung an der Prüfkammer eingesetzt. Leybold bietet eine komplette Familie von Testlecks an, die den Anforderungen hinsichtlich der Bauform und erwünschter Leckrate gerecht werden. Testleck in Einschraub-Hülse Testleck in Stiftleck-Gehäuse Testleck in Zylinder-Gehäuse Testleck in Einschraub-Hülse Dient als so genanntes Master-Testleck für die Kontrolle der gesamten Helium-Dichtheits-Prüfanlage. In der Regel werden zwei dichte Prüflinge mit diesen Testlecks ausgerüstet. Diese gewährleisten die Ausschleusung der Gut und Schlecht -Teile. Der kundenseitige Anschluss erfolgt über Schweißung oder Klebung der Einschraubhülse im Testobjekt. Typische Anwendungen - Als Master-Testleck direkt in das Testobjekt eingebaut - Direkter Einbau an die Prüfkammer - Verwendung als Schnüffel-Testleck Testleck in Stiftleck-Gehäuse Dient als Kalibrierleck der gesamten Helium-Dichtheits-Prüfanlage ohne Einfluss eines Prüflings. Die Prüfkammer wird dabei mit einem Dummy bestückt. Der Anschluss an die Prüfkammer erfolgt direkt über eine DN 10 ISO-KF -Verbindung. Testgasseitig ist der Anschluss entweder über eine VCO-Kupplung oder eine Schlauch tülle für flexible Verbindungen möglich. Die kundenseitigen Anschlüsse sind - DN 16 ISO-KF zur Vakuumkammer - Schlauchtülle ø 10 mm oder VCO-Kupplung ø 10 mm. Vorteile für den Anwender - Verschiedene Bauformen für die individuelle Anpassung an Kunden- Anforderungen - Einfache Bedienung - Einfacher Einbau Testleck in Zylinder-Gehäuse Dient zur Kontrolle der Empfindlichkeit einer Schnüffel-Einrichtung (vorzugsweise als Schnüffel-Testleck). Der Operator überprüft vor dem Test sowie nach dem Test die Empfindlichkeit im Rahmen einer Plausibilitäts- Überprüfung. Der kundenseitige Anschluss ist eine VCO-Kupplung für ø 10 mm. - Ideale Einbaumaße - Alle Testlecks werden grundsätzlich mit einem Qualitätszertifikat (Werksprüfungs-Zeugnis) der eingestellten Leckrate ausgeliefert 28 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

29 p max = 7 bar mbarl/s 1,0E+00 1,0E-01 Leckratenvorgabe 1,0E-02 1,0E-03 Leckrate ql 1,0E-04 1,0E-05 1,0E-06 1,0E-07 1,0E bar Druckvorgabe Prüfdruck PV Leckratenwert in Abhängigkeit vom anliegenden Prüfdruck gegen 0 bar (> 7 bar auf Anfrage) 5 mm 40 mm M 3,5 6 mm Prüfgeräte / Lecksucher Testleck in Einschraub-Hülse Testleck in Stiftleck-Gehäuse mit Schlauchtülle 9.5 mm Testleck in Stiftleck-Gehäuse mit VCO-Kupplung Testleck in Zylinder-Gehäuse mit VCO-Kupplung Bestelldaten 1) Testleck 1) Kat.-Nr. Testleck in Einschraub-Hülse in Stiftleck-Gehäuse mit VCO-Kupplung in Stiftleck-Gehäuse mit Schlauchtülle in Zylinder-Gehäuse mit VCO-Kupplung ) Bei der Bestellung bitte immer das Testleck über das Testleck-Formular spezifizieren und bei Bestellung den generierten Code angeben. Testleck-Formular ggf. anfordern. leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

30 Zubehör für PHOENIX L300i, PHOENIX L300i DRY, PHOENIX L300i MODUL und PHOENIX L500i Verlängerungs-Leitung 10 m-verlängerungs-leitung Bei der Verwendung von Verlängerungs-Leitungen lässt sich der PHOENIX L300i bis zu 34 m fernbe dienen. Es dürfen maximal drei Verlängerungs- Leitungen (à 10 m) miteinander verbunden werden. Testgas-Sprühpistole Testgas-Sprühpistole Die Testgas-Sprühpistole mit PVC- Schlauch (Länge: 5 m) dient zum gezielten Absprühen leckverdächtiger Stellen mit Testgas. Transport-Koffer 300 Transport-Koffer 300 Zur stoßgeschützten Beförderung des PHOENIX L300i, mit stabilen Tragegriffen und Kunststoffrollen, separates Kofferteil für Lecksuch-Zubehör. Teilstrom-System ohne Pumpe Ersatz-Ionenquelle PC-Software LeakWare Teilstrom-System nur für PHOENIX L300i und PHOENIX L300i MODUL mit den nachstehend aufgeführten Vorteilen: - Kürzere Reaktionszeit - Messungsbeginn schon bei einem Einlassdruck von 1000 mbar - Schnellere Belüftung von großen Prüflingen oder für die Lecksuche in der Massenproduktion. Ausstattung: Ventilblock (mit Einlassventil, Flutventil, Bypass oder Spülventil) plus Federbalg-Eckventil DN 25 ISO-KF aus Edelstahl, elektromagnetische Antriebe, Fernsteuerung durch PHOENIX L300i. Die Teilstrom-Systeme sind ohne Pumpen lieferbar. Ersatz-Ionenquelle Komplettes Auswechselteil einschließlich zweier fest eingebauter Yttrium/ Iridium-Langzeit-Katoden. PC-Software LeakWare Die Windows PC-Software dient zur Messwert-Erfassung, Dokumentation der Messergebnisse und Steuerung des Lecksuchers. Hardware > 486 DX und 8 MB Ram Software Windows. 30 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold

31 Bestelldaten Zubehör Kat.-Nr. Transport-Koffer 300 Maße, einschließlich Rollen 571 x 955 x 433 mm (B x H x T) Teilstrom-System 1) für PHOENIX L300i und PHOENIX L300i Modul V / 50/60 Hz, ohne Pumpe Auspuff-Filter AF 16-25, für Teilstrom-System Ersatz-Ionenquelle PC-Software LeakWare 10 m-verlängerungs-leitung für RC 310 Testgas-Sprühpistole V ) 5 Zentrierringe, 5 Spannringe und 1 Wellschlauch 1 m mit der Nennweite DN 25 ISO-KF sind enthalten Prüfgeräte / Lecksucher leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst

32 Helium-Schnüffler Helium-Schnüffler in Verbindung mit den Leckdetektoren finden Verwendung bei der Dichtheitsprüfung an Prüflingen mit Helium-Überdruck. Neben der sehr genauen Lokalisierung undichter Stellen ist auch eine Leckratenbestimmung des austretenden Heliums möglich. Helium-Schnüffelsonde SL 300 Helium-Schnüffler Quick-Test QT 100 mit Schnüffler Helium-Schnüffelsonde SL 301 im Transport-Koffer Vorteile für den Anwender Helium-Schnüffelleitung SL 300 und SL 301 für PHOENIX L300i - Schnüffelleitung direkt an den Testanschluss anflanschbar - SL 300 Komfortable Helium -Schnüffelleitung mit rotem und grünem Status LED und ZERO Drucktaster - SL 301 Robuste und einfache Schnüffelleitung in praktischem Transportkoffer - Leichter Filterausbau - Sehr kurze Ansprechzeit - Extrem niedrige Nachweisgrenze < mbar l s -1 - Feste Schnüffel-Spitze 120 mm - Sehr robuste industrietaugliche Ausführung Helium-Schnüffler Quick-Test QT 100 für PHOENIX L300i - Schnüffellecksuche für größere Entfernungen zwischen Prüfling und Leckdetektor - Membranpumpe zum Absaugen des Testgases - Kleinste nachweisbare Leckrate mbar l s -1 - Kurze Ansprech- und Abkling zeiten - Hohe Schnüffelgeschwindigkeit - Schaltnetzteil, mit Versorgungsspannungen von V AC verwendbar Typische Anwendungen - Vorrats- und Transport-Behälter für Gase und Flüssigkeiten - Gasversorgungssysteme - Gasverdichter - Komponenten der Kühl- und Kälte- Technik - Wärmepumpe und Bauteile der Wärmerückgewinnungs-Technik - Chemie-Produktionsanlagen - Im Erdbereich verlegte Versorgungs- und Telefonleitungen - Kraftwerks-Kondensatoren und Turbinen - Fenster- und Türdichtungen von Karosserien, Kühlgeräten usw. - Nachprüfung an Dichtheitsprüfanlagen - Messung von Heliumkonzentrationen von ppm bis % - Alle mit Überdruck belastbaren Hohlkörper 32 Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 leybold