Startklar. TURBOVAC MAGiNTEGRA

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1 Startklar TURBOVAC MAGiNTEGRA

2 ANFORDERUNGEN AN MAGNETISCH GELAGERTE TURBO-MOLEKULARPUMPEN TURBOVAC MAGiNTEGRA Unempfi ndlichkeit gegen Prozesspartikel / Stäube Toleranz gegen plötzliche Belüftung Zuverlässigkeit in industrieller Umgebung Robuster und störungsfreier Betrieb Geringe Cost of Ownership Vibrationsfreier Betrieb in schwingungsempfi ndlichen Anwendungen WEITERE VORTEILE DER TURBOVAC MAGiNTEGRA Wartungsfreier Betrieb in den meisten Applikationen Monitoring der Betriebsparameter Selbstschutz bei Funktionsstörungen APPLIKATIONEN BESCHICHTUNG SOLAR DISPLAY ANALYTIK Industrielle Glasbeschichtung Sputtering (TCO) Flat Panel Analysensysteme Folienbeschichtung CIGS PVD Prozesse Elektronenmikroskope Optische Beschichtung LCD Display Teilchenbeschleuniger

3 Ihr Ticket zum nächsten Vakuumlevel Leistungstärke, Präzision und Zuverlässigkeit dies sind Eigenschaften, die sowohl in der Vakuumtechnologie als auch in der Luftfahrttechnik unabdingbar sind. Neben diesen Eigenschaften bietet unsere neue magnetisch gelagerte Turbo-Molekular Vakuumpumpe MAGiNTEGRA ein sehr hohes Saugvermögen und exzellenten Gasdurchsatz für schnellere Auspumpzeiten, was wiederum die Prozess- Zykluszeiten verbessert.

4 PUMPEN VERSIONEN UND AUSSTATTUNGEN MAG W 300, MAG W 400, MAG W 600, MAG W 700, MAG W 1300, MAG W 1600, MAG W 1700 und MAG W 2200 Alle MAGiNTEGRA sind in den folgenden Ausstattungsvarianten erhältlich: Anschlussfl ansche ISO-K, ISO-F, Vormontierte Wandlerpositionierung seitlich: ip Version bodenseitig: ipl Version Schnittstellen: 9-Pin 24V PLC, Profi bus, RS485 oder Ethernet sowie weitere Schnittstellen nach Bedarf HIGHLIGHTS Integrierter Frequenzwandler und Netzteil ersparen den konventionellen Einbau von externen Bediengeräten und die Verwendung von Verbin- dungskabeln Einfache Systemintegration durch ein fl exibles Produktdesign (Frequenzwandler horizontal oder vertikal montiert) Innovatives und modulares Kommunikationskonzept (standard und optionale Schnittstellen) für die einfache Integration in Anlagen Absolut robust für den Einsatz in industrieller Umgebung (Schutzart IP54) für PVD, Display, Solar und optische Glasbeschichtungs- Applikationen TECHNISCHE DATEN Hochvakuumflansch Saugvermögen (PNEUROP) Max. Kompression Max. Gasdurchsatz Ar He H 2 Ar He H 2 Ar LEISTUNGSKURVEN Max. Vorvakuumdruck Saugvermögen (l/s) Hochvakuumdruck (mbar) MAG W 2200 MAG W 1700 MAG W 1600 MAG W 1300 MAG W 700 MAG W 600 MAG W 400 MAG W 300 Nenndrehzahl Enddruck ISO-K/F Hochlaufzeit ca. Vakuumflansch Sperrgas- und Belüftungsflansch Gewicht ca. Schallpegel gemäß ISO 3744 Sperrgas- und Belüftungsflansch

5 ZUBEHÖR Wählen Sie aus einem breiten Zubehörprogramm für die Steuerung und Überwachung der TURBOVAC MAGiNTEGRA. Wir bieten u.a. Druckmesssysteme für aktive und passive Sensoren, Wasser- und Luftkühlungen, Belüftungsventile und Kabel Vorvakuumpumpen und -Systeme Auslegung von Vakuumsystemen und Applikationsunterstützung MAG W 300 ip(l) 400 ip(l) 600 ip(l) 700 ip(l) 1300 ip(l) 1600 ip(l) 1700 ip(l) 2200 ip(l) DN 100 ISO-K 160 ISO-K 160 ISO-K 200 ISO-K D00 ISO-F 250 ISO-F 250 ISO-F 250 ISO-F DN l x s l x s l x s l x s > > > > > 10 8 > 10 7 > 10 8 > 10 8 > 10 8 > 10 7 > 10 8 > 10 8 bei 1 sccm 9x10 4 9x10 4 2x10 6 2x10 6 2x10 5 6x10 4 2x10 5 5x10 4 bei 1 sccm 3x10 3 3x10 3 3x10 4 3x10 4 8x10 3 1x10 3 4x10 3 5x10 3 mbar x l x s -1 > 10 > 10 > 15 > 15 > 30 > 60 > 30 > 30 > 20 > 30 > 20 > 20 mbar min mbar < 10-8 mbar < min DN 16 KF (Klammerschuh) 25 KF (Klammerschuh) 40 KF DN 16 KF (Klammerschuh) kg db(a) < 41 µm < 0.01

6 BESTELLDATEN MAGiNTEGRA mit 9-Pin 24V PLC 3) 1) 2) # MAG W 300 ip(l) 400 ip(l) 600 ip(l) 700 ip(l) ISO-K ip V V V V0505 ipl auf Anfrage auf Anfrage V0705 auf Anfrage ip V V V V0506 ipl auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage MAGiNTEGRA mit Profibus 3) 1) 2) # MAG W 1300 ip(l) 1600 ip(l) 1700 ip(l) 2200 ip(l) ISO-F ip V V V V0504 ipl V V V V0704 ip V V V0506 ipl V V V0706 MAGiNTEGRA mit 9-Pin 24V PLC 3) ISO-F ip V V V V0514 ipl V V V V0714 ip V V V0516 ipl V V V0716 1) IP: Wandler seitlich montiert 3) andere Schnittstellen wie RS485, Ethernet, etc. auf Anfrage 2) IPL: Wandler unten montiert Zentrale Deutschland Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Straße 498 D Köln T +49 (0) F +49 (0) BICOM Printed in Germany on chlorine-free bleached paper Technical alterations reserved

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