TURBOVAC i Turbomolekular-Pumpen 90 l/s l/s

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1 TURBOVAC i Turbomolekular-Pumpen 90 l/s l/s

2 Ein großer Schritt für die Welt des Vakuums Es ist noch nie so einfach gewesen, Ihre Prozesse zu optimieren. Die TURBOVAC i ermöglichen Ihnen die Optimierung Ihrer Abpumpzeiten und das Erreichen Ihrer Zieldrücke und Gasdurchsätze und das präzise und zuverlässig. Mit dem besten Verhältnis von Leistung zu Größe im ISO 63-, 100- und 160-Bereich bietet unsere TURBOVAC i Familie innovatives Rotor- und Holweckstufendesign. Das Resultat: hervorragende Performance und bislang unerreichtes Saugvermögen vor allem für leichte Gase. Die Flexibilität der Rotor- und Holweckstufe sorgt nicht nur für maximale Leistung, sondern stellt auch sicher, dass Ihre Pumpe perfekt auf Ihre spezielle Anwendung abgestimmt ist. Für noch mehr Flexibilität können Sie zwischen verschiedenen elektronischen Steue r ungsfunktionen und Gehäuse- und Flanschkonfigurationen sowie einem breiten Angebot an Zubehör wählen. Das einzigartige ölfreie Hybridlager-System mit lebensdauergeschmiertem Kugellager steigert Ihre Produktivität und senkt gleichzeitig die Betriebskosten. Was Sie davon haben? Ein Vakuumsystem, das effizienter ist als jemals zuvor. Ihre Vorteile auf einen Blick Price & Performance: Bestes Preis-Leistungs-Verhältnis Flexible & Fast: Höchste Produktflexibilität und damit perfekte Anpassung an Ihre Bedürfnisse Plug & Play: Einfache und schnelle Installation, Prozessabläufe und Steuerung dank flexiblen Produktdesigns, integrierter Elektronik und einem breiten Angebot an Kommunikationsschnittstellen Fit & Forget: Absolute Zuverlässigkeit durch inno - vatives Pumpendesign und dem einzigen auf dem Markt befindlichen ölfreien Hybridlagerkonzept mit lebensdauergeschmiertem Kugellager 02 TURBOVAC i

3 Typische Anwendungen Analytische Technologien/ Forschung & Entwicklung Massenspektrometrie Elektronenmikroskopie Oberflächenanalyse Röntgenanalyse Teilchenbeschleuniger und Synchrotrone Labor-Beschichtungssysteme MBE (Molekularstrahlepitaxie) UHV-Systeme Life Sciences Protonentherapie Gammasterilisation Produktion von hochwertigen Implantaten Industrielle Anwendungen und Beschichtungen PVD (Physikalische Abscheideverfahren) - Optische Beschichtungen - Produktion von CD/DVD/Blu-Ray - Dünnschichttechnologien, Photovoltaik Sputteranlagen, Transferkammern, Handhabungssysteme Elektronenstrahlschweißen Vakuumisolation und Lecksuche TURBOVAC i 03

4 Verlässliche Leistung Dank seines variablen Rotor- und Holweckstufen-Designs bietet unsere moderne TURBOVAC i-produktlinie auch bei unterschiedlichsten Anforderungen immer maximale Leistung: So sind TURBOVAC 90 i, 250 i, 350 i und 450 i für UHV- Anwendungen und kompakte Pumpsystemlösungen die richtige Wahl. Mit einem Saugvermögen für leichte Gase, das bis zu 60 % über dem vergleich barer Produkte liegt und einem Kompressionswert, der rund 100 Mal höher ist als bei Produkten der vorherigen Generation, sind sie besonders für Prozesse mit kleinen Vorpumpen geeignet. Ihre Vorteile: ein erheblich kompakteres Vakuum- System sowie reduzierte Anschaffungsund Betriebskosten. Wenn es um anspruchsvolle Applikationen mit hohem Gasdurchsatz oder verschärften Prozessbedingungen geht, überzeugen die T-Varianten der TURBOVAC i Reihe durch ihre erhöhte Toleranz gegenüber Staub- und Parti kelanfall, kürzere Hochlaufzeiten und gesteigerten Gasdurchsatz. Überdurchschnittliche Zuverlässigkeit Die einzigartige ölfreie Hybridlagerung mit Lebens dauerschmierung zeichnet sich durch extreme Zuverlässigkeit und Haltbarkeit aus und macht Regelwartungen aufgrund Ölwechsel überflüssig. Das Lager system sorgt für einen vibrations- und geräuscharmen Betrieb und so für wenig Beanspruchung oder negative Auswirkungen bei vibrationsempfind lichen Anwendungen. Das optimierte thermische Design der TURBOVAC i gewährleistet eine optimale Kühlung der Lager. Um die Lager vor kritischen Gasen oder Partikeln zu schützen, sind alle Pumpen mit einem Sperrgasanschluss ausgestattet. Dadurch wird nicht nur die Laufzeit der Pumpe deutlich erhöht, sondern auch die Anlagenverfügbarkeit und damit die Produktivität. Zusammen mit den geringen Betriebskosten wird Ihr Vakuumsystem effizienter und günstiger als jemals zuvor. 04 TURBOVAC i

5 Zahlreiche Optionen Die TURBOVAC i-serie bietet zahlreiche Optionen, um unterschiedlichsten Anforderungen gerecht zu werden. Alle Versionen der TURBOVAC i-familie sind mit einem zusätzlichen Zwischen- Anschluss erhältlich, der das Abpumpen einer weiteren Kammer ermöglicht. Um Installation, Betrieb und Wartung so unkompliziert wie möglich zu gestalten, ist die TURBOVAC i mit einer drehbaren Vorvakuum-Flanschverbin dung, einer integrierten Antriebselek tro nik mit direkter 24/48V DC-Versor gung sowie den Kommunikationsschnittstellen USB, RS 485 und digitalem In/Out-Port ausgestattet. Zusätzliche Schnittstellenoptionen sind auf An frage erhältlich. Ein variables und umfangreiches An gebot an Zubehör ergänzt die neue Produktreihe. Es umfasst unter anderem kostengünstige Netzteile für 100 bis 240 V Netzspannungsversorgung, justierbare Luft- oder Wasserkühlungen, Heizmanschetten, Belüftungs- und Sperrgaszubehör sowie Installationsund Befestigungssets, die die Inbetriebnahme vereinfachen. Entdecken Sie unendliche Möglichkeiten mit der Flexibilität der TURBOVAC i. TURBOVAC i 05

6 Mehr für Sie drin... Leistung Branchenbestes Saugvermögen insbesondere für leichte Gase (bis zu 60 % höher als vergleichbare Produkte) Maximale Pumpleistung durch optimierten Rotor- Durchmesser für ISO 63-, 100- und 160-Flansche Flexibilität Individualisierbares Design der Vakuumanschlüsse Drehbarer Vorvakuumanschluss Gehäuse optional mit Zwischen-Anschlüssen verfügbar Variable Rotor- und Drag Stage-Konfigurationen zur perfekten Abstimmung auf Ihre Anforderungen Installation, Betrieb und Steuerung Integrierte Antriebselektronik mit 24/48V DC-Versorgung vermeidet kostenintensive Verkabelung Breites Angebot an Kommunikationsschnittstellen: USB, RS485 und Remote 15-Pin digital I/O als Standardoptionen sowie weitere Schnittstellen auf Anfrage Hocheffizienter Motor Optimiertes thermisches Design für bestmögliche Kühlung der Lager und verlängerte Laufzeit der Pumpe Innovatives Lagersystem zur Reduzierung von Vibrationen Wartungsfreies oberes Permanentmagnetlager Ölfreies, lebensdauergeschmiertes unteres mechanisches Keramikkugellager, vor Ort austauschbar 06 TURBOVAC i

7 ... holt mehr für Sie raus Bestes Preis-Leistungs-Verhältnis Flexible Leistungsanpassung individuell auf unterschiedlichste Anforderungen zuschneidbar Hervorragende Leistung bei allen Applikationen dank innovativer Pumpentechnologie Installation, Betrieb und Steuerung schnell und einfach Plug & Play: Integrierte Elektronik, verschiedene Kommunikationsoptionen und flexibles Zubehör Installation in jeder Lage möglich Gesteigerte Produktivität und Systemverfügbarkeit bei niedrigen Kosten Höchste Zuverlässigkeit dank des innovativen Pumpen- und Lagerkonzepts Fit & Forget: erste und einzige mechanische Turbomolekularpumpe mit ölfreiem Hybridlagerkonzept und wartungsfreiem Kugellager keine Ölwechsel nötig Erhöhte Anlagenverfügbarkeit und reduzierte Betriebskosten durch Lagerwechselmöglichkeit vor Ort TURBOVAC i 07

8 Technische Spezifikationen TURBOVAC 90 i TURBOVAC 250 i Saugvermögen (l/s) Saugvermögen (l/s) Hochvakuum-Druck (mbar) Hochvakuum-Druck (mbar) 10-2 Stickstoff Argon Helium Wasserstoff TURBOVAC 90 i TURBOVAC 250 i Ø Ø h TURBOVAC 90 i DN 63 ISO-K 183 DN 63 CF 200 Purge G 1/8" x M6-10 Vent G 1/8" DN 16 KF h TURBOVAC 250 i DN 100 ISO-K 196 DN 100 CF TURBOVAC i

9 TURBOVAC 350 i TURBOVAC 450 i Saugvermögen (l/s) Saugvermögen (l/s) Hochvakuum-Druck (mbar) Hochvakuum-Druck (mbar) Stickstoff Argon Helium Wasserstoff TURBOVAC (T) 350 i Ø ,5 57,2 20,8 55,5 20 Ø ,2 25,5 M6-10 VENT 61, ,4 99,2 107,5 G 1/8" 32 h PURGE DN 25 KF 78, , , ,6 65,4 107,5 h ISO-K 232 CF 245 TURBOVAC (T) 450 i Ø 180 Ø 165 h ISO-K 216 CF , ,1 100, ,5 M6-10 VENT 61, ,4 99,2 G 1/8" 32 PURGE DN 25 KF 19 18, , ,6 55,5 57,2 65,4 107,5 TURBOVAC i 09

10 Technische Spezifikationen Technische Daten TURBOVAC 90 i 250 i Hochvakuum-Anschluss DN 63 ISO-K 100 ISO-K 63 CF 100 CF Vorvakuum-Anschluss DN 16 KF 16 KF Saugvermögen für I s -1 N Ar He H Gasdurchsatz mbar I s -1 N Ar 3 3 He 11 6 H 2 11 > 10 Kompressionsverhältnis N Ar He H Enddruck ISO-K/CF mit mbar / zweistufiger ölgedichteter Drehschieberpumpe Maximaler mbar Vorvakuum-Druck für N 2 Nenndrehzahl U/min Kühlung Standard Konvektion Kühlung optional Luft- oder Wasserkühlung Gewicht ISO-K/CF kg 3,1 / 4,8 4,0 / 6,6 Empfohlene Vorvakuum-Pumpen TRIVAC D 2,5 E / D 4 B D 2,5 E / D 4 B SCROLLVAC SC 5 D SC 5 D / SC 15 D DIVAC 1,4 HV3 3,8 HV3 Versorgungsspannung 24/48V DC ±10 % Maximale Stromaufnahme 10A bei 24V DC Maximale Leistungsaufnahme W 240 Schnittstellen RS 485, USB, 15-pin digital I/O (weitere auf Anfrage) 10 TURBOVAC i

11 Technische Daten TURBOVAC 350 i 450 i T 350 i T 450 i Hochvakuum-Anschluss DN 100 ISO-K 160 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 100 CF 160 CF 100 CF 160 CF Vorvakuum-Anschluss DN 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF Saugvermögen für I s -1 N Ar He H Gasdurchsatz mbar I s -1 N 2 4,5 4,5 11,5 11,5 Ar He H Kompressionsverhältnis N Ar He H Enddruck ISO-K/CF mit mbar / zweistufiger ölgedichteter Drehschieberpumpe Maximaler mbar ,5 0,5 Vorvakuum-Druck für N 2 Nenndrehzahl U/min Kühlung Standard Konvektion Kühlung optional Luft- oder Wasserkühlung Gewicht ISO-K/CF kg 7,5/11,5 7,7/12,5 7,0/11,0 7,2/12,0 Empfohlene Vorvakuum-Pumpen TRIVAC D 4 B D 4 B D 16 B D 16 B SCROLLVAC SC 5 D SC 5 D SC 15 D SC 15 D SC 15 D SC 15 D SC 30 D SC 30 D DIVAC 3,8 HV3 3,8 HV3 Versorgungsspannung 24/48V DC ± 10 % Maximale Stromaufnahme 10A bei 24V DC Maximale Leistungsaufnahme W 240 Schnittstellen RS 485, USB, 15-pin digital I/O (weitere auf Anfrage) TURBOVAC i 11

12 Bestellinformationen Für den Betrieb einer TURBOVAC i werden eine passende Vorvakuumpumpe sowie ein Netzgerät und entsprechende Kabel benötigt. Je nach Einsatzgebiet und Anwendung ist weiteres Zubehör notwendig. Pumpen TURBOVAC 90 i 250 i 350 i 450 i T 350 i T 450 i Hochvakuum-Flansch 63 ISO-K 100 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K Kat.-Nr. * ) V V V V V V1000 Hochvakuum-Flansch 63 CF 100 CF 100 CF 160 CF 100 CF 160 CF Kat.-Nr. * ) V V V V V V1000 *) alle angegebenen Katalognummern mit RS485, USB+, 15-Pin digital I/O; weitere Schnittstellen auf Anfrage Zubehör Netzgerät, Kabel und Zubehör V0003 TURBO.POWER integra inkl. 0,3 m Kabel V0100 Kabel TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 1 m V0300 Kabel TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 3 m V0500 Kabel TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 5 m V0002 Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, Euro-Stecker V0003 Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, UK-Stecker V1002 Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, US-Stecker 5-15P, 115V V0016 Zubehörkabel TURBOVAC i, M8-M8, 2m V0020 Y-Verteiler TURBOVAC i, M V0021 Start-Stopp Schalter für TURBOVAC i V0108 USB-Kabel 2.0 Typ A/B, 1,8 m Kühlung V0007 Luftkühlung radial TURBOVAC 90 i(x) V0009 Luftkühlung radial TURBOVAC 250 i(x) V0005 Luftkühlung radial TURBOVAC i(x) V0008 Luftkühlung axial TURBOVAC 90 i(x) und 250 i(x) V0006 Luftkühlung axial TURBOVAC i(x) V0005 Wasserkühlung TURBOVAC i(x), G 1/ V0006 Wasserkühlung TURBOVAC i(x), G 1/4 Heizung V0003 Heizmanschette DN 63 CF, 230 V V0004 Heizmanschette DN 63 CF, 115 V V0005 Heizmanschette DN 100 CF, 230V V01 LEYASSIST Software für Turbomolekularpumpen V0006 Heizmanschette DN 100 CF, 115V V0030 Relais-Box für Vorpumpe, 1-phasig, 10 A inkl. 2m M8-M8-Kabel V0007 Heizmanschette DN 160 CF, 230V V0008 Heizmanschette DN 160 CF, 115V Belüftung und Sperrgas Leybold GmbH Bonner Str. 498 D Köln T +49 (0) F +49 (0) info@leybold.com V0012 Belüftungsventil TURBOVAC i, 24V DC, G 1/ V0013 Sperrgasventil TURBOVAC i, 24V DC, 24 sccm, G 1/ V0014 Sperrgasdrossel TURBOVAC i, 24 sccm, G 1/ V0022 Stromausfallfl uter TURBOVAC i, 24V DC, G 1/ V0022 Luftfi lter für TMP, G 1/8 Bicom_ mzs Gedruckt in Deutschland auf chlorfreiem gebleichtem Papier Technische Änderungen vorbehalten