Dichtheitsprüfung (LT) Stufe 3

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1 Dichtheitsprüfung (LT) Stufe 3 1. Physik der Gase 1.1 Kontinuumstheorie Aggregatzustand und Eigenschaften der Das Fluid als Körper Kohäsion und Adhäsion Pressdruck Kompressibilität Zustandsgrößen Zusammenstellung Gasgesetze Begriff Druck in der 1.2 Kinetische Gastheorie Aufbau der Materie Grundannahmen Grundaussagen der kinetischen Gastheorie Definitionen Mittlere freie Weglänge und Z Molekulardiffusion Adsorption auf Festkörperoberflächen Weitere Begriffsbestimmungen 1.3 Strömungslehre Definitionen Strömung von Fluiden durch Die Kontinuitätsgleichung für inkompressible Die Kontinuitätsgleichung des kompressiblen Der maximale Massenstrom Fluidreibung (Viskosität) Zähigkeit und Strömungsform Laminare und turbulente Strömungsform Die Reynoldssche Zahl als für die Strömungsform Geschwindigkeitsverteilung beim viskosen Fluss Durchflussgesetz von Hagen-Poiseuille 1.4 Gasströmung und Vakuumtechnik Begriffe der Aerodynamik Viskose oder Kontinuums-Strömung Molekularströmung Berechnung von Strömungsleitwerten Generelle Betrachtungen Einflussgrößen auf die Leitwerte Lange, gerade Rohrleitungen Strömungsart und Leckagerate Bestimmung der Strömungsart Umrechnung von Leckageraten 2. Prinzipien und Arbeitstechniken der 2.1 Historisches 2.2 Zweck und Aufgaben der 2.3 Leckarten 2.4 Permeation und pneumatischer Fluss 2.4 Arbeitsziele des Lecktests Rev 0.0 Seite 1 von 5

2 2.5 Der Begriff des Lecks Der Begriff der Leckagerate Leckformen und Leckagerate 2.8 Messverfahren für die Leckagerate 2.9 Messgrößen und Messeinheiten 2.10 Arbeitstechniken 2.11 Leckage, Permeation und Ausgasen Allgemeines Permeation Ausgasung Scheinlecks 3. Vakuumtechnik: Pumpen, Verbindungselemente und 3.1 Vakuumpumpen Vakuumbereiche und Pumpenkonzepte Vakuumbereiche Auspumpgleichung Verdrängerpumpen Evakuieren im Hochvakuum Kontinuitätsprinzip Pumpen Übersicht Drehschieberpumpen Schraubenpumpen (scroll pumps) Wälzkolbenpumpe (roots pumps) Membranpumpen Dampfstrahlsauger Diffusionspumpen Turbomolekularpumpen (TMP) Adsorptionspumpen Ionen-Zerstäuber-Pumpen (IZ-Pumpe) Kryo-Pumpen 3.2 Verbindungselemente Flansche Ventile 3.3 Vakuummeter Mechanische Vakuummeter Allgemeines Feder-Vakuummeter Membran-Vakuummeter Flüssigkeitsvakuummeter Wärmeleitfähigkeitsvakuummeter Penning-Vakuummeter / Kalte Kathode Heiße Kathode / Alpert-Vakuummeter 4. Lecktest mit massenspektrometrischen Leckdetektoren 4.1 Vorwort 4.2 Arbeitsweisen von Leckdetektoren (LD) 4.3 Leckdetektoren mit Massenspektrometern (MS) 4.4 Das 180 -Sektorfeldspektrometer 4.5 Funktionsweise eines Leckdetektors mit 4.6 Nachweisgrenze und Untergrund Nachweisgrenze Rev 0.0 Seite 2 von 5

3 4.6.2 Untergrund 4.7 Bauarten der Heliumleckdetektoren Übersicht Hauptstromdetektor Gegenstrom-Leckdetektor 4.8 Teilstrombetrieb Allgemeines Berechnung Teilstrom Messung Teilstrom 4.9 Anschluss an Vakuumanlagen 4.10 Zeitverhalten der Signale Allgemeines Einfluss der Prüfanordnung 4.11 Grenzwerte / Spezifikationen des 4.12 Lecksuchtechniken mit Helium-Leckdetektoren Sprühtechnik (lokale Dichtheitsprüfung) Schnüffeltechnik (vorwiegend lokal) Hüllentest mit Helium-Überdruck im (integral oder partiell) Hüllen-Test mit Prüfobjekt unter (integral) Drucklagerungsprüfung ( Bombing ) 4.13 Kalibrieren von Leckdetektoren mit 4.14 Massenspektrometrische Lecksuche von Halogengasen 5. Druckmessverfahren: Druckänderungsverfahren und Blasenlecktest 5.1 Einleitung Grundsätzliches Kleine Behälter Große Behälter 5.2 Prüftechniken Übersicht Druckabfalltechnik Druckanstiegstechnik 5.3 Messtechnik Allgemeines Druckmessung Temperaturmessung: Gastemperatur und Behältermantel-Temperatur Taupunktmessung (Feuchtebestimmung) Volumenbestimmung 5.4 Messinstrumente und Kalibrierung Druckmesser (Manometer) Durchflussmesser: Thermometer Luftfeuchtemesser 5.5 Arbeitsschritte 5.6 Auswertung 5.7 Die Techniken des Blasenlecktests Aussagefähigkeit des Blasenlecktests Techniken und Varianten 5.8 Eigenschaften von Flüssigkeiten Oberflächenspannung Benetzungsfähigkeit Rev 0.0 Seite 3 von 5

4 5.8.3 Kapillarwirkung Viskosität 5.9 Theorie der Blasenbildung Prinzip Druckdifferenz Hydrostatischer Druck Kapillardruck Blasenkinetik 5.10 Eigenschaften von technischen Prüfflüssigkeiten Einführung Tauchtechnik Filmtechnik 5.11 Gerätschaften und Kalibrierung Einleitung Auslegung und Konstruktion von Kalibrierung 5.12 Inspektion und Auswertung Inspektion Beurteilung Leckageratenbestimmung 6. Referenz- und Prüflecks 6.1 Anwendung der Referenzlecks Aufgaben und Anforderungen an Typen von Referenzlecks Bezeichnung und Genauigkeit von 6.2 Membranlecks Eigenschaften der Membranlecks Bauformen von Membranlecks Korrekturen der Referenz-Leckagerate 6.3 Leitwertlecks Eigenschaften von Leitwertlecks: Kapillarlecks mit variabler Leckagerate 6.4 Kalibrierung von Referenzlecks Übersicht: Kalibrierungstechniken Isobare Volumenänderung Druckanstiegstechnik Druckabfall über einen bekannten Druckmessung bei konstanter Pumpensaugleistung Vergleich mit bereits kalibrierten 7. Spezielle Lecktestverfahren 7.1 Überblick 7.2 Ultraschall-Lecktest 7.3 Chemischer Lecktest 7.4 Der Halogen-Lecktest 7.5 Leitfähigkeitslecktest 7.6 Radioisotopen-Lecktest 7.7 Infrarot-Lecktest 7.8 Wasserstoff-Lecktest Das Prüfgas Funktionsprinzip des Wasserstoff Sensors Rev 0.0 Seite 4 von 5

5 7.8.3 Dichtheitsprüfung am gesamten Prüfobjekt Dichtheitsprüfung an kritischen Stellen 7.9 Flüssigkeitslecktest (Hydrostatische Prüfung) Grundlagen Vorarbeiten Durchführung der Prüfung Nacharbeiten 8. CEN-Normen für die Dichtheitsprüfung 8.1 Vorwort 8.2 Hierarchie von Normen und 8.3 Deutsche und Europäische Normen Deutsche Normen und Regelwerke Europäische Normen 8.4 Auswahl eines Dichtheitsprüfverfahrens 9. Leitfaden zur Erstellung von für die Dichtheitsprüfung Rev 0.0 Seite 5 von 5