Steinmeyer Mechatronik GmbH Ergänzende Systeme

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1 Steinmeyer Mechatronik GmbH Ergänzende Systeme Version 04/2017

2 Steinmeyer Gruppe Die Steinmeyer Gruppe Eine Firma. Drei Kompetenzzentren. 650 Mitarbeiter Hochpräzise Kugelgewindetriebe, Positioniersysteme und Messtechnik Entwicklung, Fertigung und Vertrieb in Albstadt, Dresden und Suhl USA Vertriebsbüro in Burlington, MA, USA Steinmeyer Mechatronik GmbH Kompetenzzentrum für hochpräzise Positioniertechnik, mechatronische Komponenten und optische Laser- Komponenten 120 Mitarbeiter am Standort Dresden Mehr als 140 Jahre Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung von feinmechanischen Komponenten Innovative Lösungen für eine Vielzahl an Applikationen

3 Warum Steinmeyer Was zeichnet uns aus? Innovative Technologien Komponentenunabhängige Lösungsansätze Kundenorientierte Entwicklungen Wir entwickeln nach den Bedürfnissen unserer Kunden unter Berücksichtigung des Preis/Leistungs-Verhältnis Effektive und professionelle Umsetzung Visuelle Entwürfe, Entwicklungs-Roadmaps, Prototypen, Serienüberführung Hochpräzise Fertigung und Montage Von Einzelsystemen bis zur prozessoptimierten Serienfertigung

4 MT105ZN-20/50 / MT105ZXL-20/50 Hauptanwendung: Universal-Stelltisch für Z-Hub extrem hohe Auflösung bis Nanometer, hohe Beschleunigung und Geschwindigkeit auch nicht-magnetische Ausführung Hub: 2 Motoren 20 mm, 1 Motor 50 mm Repro: ± 0,05 µm Last: 5 kg max. Positioniergeschwindigkeit: 5 mm/s PM, 30 mm/s NM Spitzengeschwindigkeit: 10 mm/s PM, 60 mm/s NM Motor: Piezomotor bis 5 mm/s Nanomotion Messsystem: Auflösung 5 nm Führung: Kreuzrolle (optional Edelstahl oder Keramik) Controller: Galil

5 MT170 (Variante Normal und XL) Hauptanwendung: schneller Positionier- und Scantisch N für hochauflösende Anwendungen lange Hübe mit extrem hoher Auflösung Hub: 2 Motoren 20 mm, 1 Motor 50mm Repro: ± 0,05 µm XL Last: 5 kg max. Positioniergeschwindigkeit: 5 mm/s PM, 30 mm/s NM Spitzengeschwindigkeit: 10 mm/s PM, 60 mm/s NM Motor: Piezomotor bis 5 mm/s, Nanomotion 30 mm/s Messsystem: Auflösung 5 nm Führung: Kreuzrolle (optional Edelstahl oder Keramik) Controller: Galil

6 PMT160G Hauptanwendung: für höchste Anforderungen in Messgeräten extrem gute Ablaufwerte, ähnlich Luftlager auf Granit-Aufbau, wahlweise Alu-Basis Hub: 50 mm, 100 mm, 200 mm Repro: ± 0,2 µm Last: 4,5 kg Positioniergeschwindigkeit: 2 mm/s (DC-G), 25 mm/s (AC) Spitzengeschwindigkeit: 5 mm/s (DC-G), 50 mm/s (AC) Motor: Schrittmotor, DC-G, AC Messsystem: linear inkrementell 100 nm 5 nm Führung: Profilschiene oder Kreuzrollenführung Controller: FMC, Galil

7 PLT100 Hauptanwendung: Automatisierung, Probenmanipulation kompakt, klein, kräftig, robust verschiedene Längen, sehr schmal Hub: 50, 100, 200, 300, 400 oder 500 mm Repro: ± 2,5 µm Last: 15 kg Positioniergeschwindigkeit: 40 mm/s SM, 130 mm/s AC Spitzengeschwindigkeit: 80 mm/s SM, 250 mm/s AC Motor: Schrittmotor, AC Messsystem: Encoder, optional linear inkrementell 100 nm Führung: Profilschienen Controller: FMC, Galil

8 PLT165G / 240G / 320G AC Hauptanwendung: für höchste Anforderungen in Messgeräten Ablaufwerte, ähnlich Luftlager, Granit- Variante ist 3-fach besser als PLT-Standardserie auf Granit-Aufbau, auf Schaum-Alu für Traversen Hub: mm (PLT165), mm (PLT240), mm (PLT320) Repro: ± 2 µm R, ± 0,5 µm L Last: 52 kg (PLT165), 100 kg (PLT240), 310 kg (PLT320) Positioniergeschwindigkeit: 130 mm/s Spitzengeschwindigkeit: 260 mm/s Motor: Schrittmotor, AC Messsystem: Encoder, optional linear inkrementell 100 nm Führung: Profilschiene Controller: Galil, ACS, KM

9 PLT165G / 240G / 320G DLM Hauptanwendung: für höchste Anforderungen in Messgeräten Ablaufwerte, ähnlich Luftlager, Granit- Variante ist 3-fach besser als PLT-Standardserie auf Granit-Aufbau, auf Schaum-Alu für Traversen Hub: mm (PLT165), mm (PLT240), mm (PLT320) Repro: ± 2 µm R, ± 0,5 µm L Last: 52 kg (PLT165), 100 kg (PLT240), 310 kg (PLT320) Positioniergeschwindigkeit: 1200 mm/s Spitzengeschwindigkeit: 2400 mm/s Motor: DLM Messsystem: Encoder, optional linear inkrementell 100 nm Führung: Profilschiene Controller: Galil, ACS, KM

10 GLT250 / KLT250 (optional mit Luftlagern) Hauptanwendung: günstiger Messtisch und Inspektionstisch Ergänzung MP200, höchste Stabilität im Stillstand schockunempfindlich, sehr robust, auch als Luftlagervariante lieferbar (Werte ca.10x besser) Hub: 100 x 100 mm Repro: ±2 µm Last: 8,3 kg Positioniergeschwindigkeit: 20 mm/s Spitzengeschwindigkeit: 40 mm/s Motor: Schrittmotor Messsystem: linear inkrementell 100 nm Führung: Gleitführungen, Luftlager Controller: FMC, Galil, M-Drive

11 LHT500 Hauptanwendung: Härteprüfstände 500/3000 N robust für hohe zentrisch angreifende Lasten Last auf den Führungen dadurch kein Durchbiegen Hub: 50 x 100 mm, 88 x 200 mm, 100 x 100 mm, 150 x 50 mm, 200 x 88 mm, 400 x 150 mm Repro: ±3 µm Last: 10 kg und N Positioniergeschwindigkeit: 25 mm/s Spitzengeschwindigkeit: 50 mm/s Motor: Schrittmotor Führung: Profilschienen Controller: FMC, Galil, M-Drive

12 KA100 Hauptanwendung: Automatisierung, Gerätebau, Montage, Handling Einbau in Anlage sehr flach, große Hübe in kleinem Bauraum Hub: 100 x 100 mm, 200 x 200 mm Repro: ±3 µm Last: 8 kg Positioniergeschwindigkeit: 25 mm/s Spitzengeschwindigkeit: 50 mm/s Motor: Schrittmotor Führung: Profilschienen Controller: FMC, Galil

13 KA150 Hauptanwendung: Automatisierung, Gerätebau, Montage, Handling Einbau in Anlage sehr flach, große Hübe in kleinem Bauraum Hub: 100 x 100 mm, 200 x 200 mm, 300 x 300 mm Repro: ±3 µm Last: 20 kg Positioniergeschwindigkeit: 100 mm/s Spitzengeschwindigkeit: 200 mm/s Motor: DC Messsystem: Encoder Führung: Profilschienen Controller: FMC, Galil

14 KT510 Hauptanwendung: Schwerlast-Messtisch patentiert, verbiegungsfreie Befestigung, gleiche Werte bei allen Lasten Hub: 200 x 200 mm Repro: ± 0,3 µm Last: 30 kg Positioniergeschwindigkeit: 50 mm/s Spitzengeschwindigkeit: 100 mm/s Motor: Schrittmoor, DC, (AC) Messsystem: linear inkrementell 100 nm Führung: Rollenumlaufführungen Controller: FMC, Galil, MDrive

15 KT470 Hauptanwendung: Messtechnik, Inspektion von Oberflächen KT mit großen Verfahrwegen, geringe Restwelligkeit lineare Abweichungen, sehr wiederholbar, daher gut kompensierbar Hub: 300 x 300 mm Repro: ± 1 µm DC, ± 4 Schrittmotor Last: 22 kg in Fz Positioniergeschwindigkeit: 50 mm/s DC, 20 mm/s SM Spitzengeschwindigkeit: 100 mm/s DC, 40 mm/s SM Motor: Schrittmotor, DC Messsystem: linear inkrementell 100 nm Führung: Kreuzrollenführungen Controller: FMC 4808, Galil

16 KDT600 Hauptanwendung: Messtisch, Inspektion, Durchlichtmessung Scantisch, dynamisch kompensierbar durch Kreuzrollenführung, zweiter Motor je Asche optional Hub: 349 x 349 mm Repro: ± 0,5 µm Last: 22 kg Positioniergeschwindigkeit: 250 mm/s Spitzengeschwindigkeit: 500 mm/s Motor: Linearmotor EDLM mit Option auf zweiten Motor Messsystem: linear inkrementell 100 nm Führung: Kreuzrollenführungen Controller: Galil

17 KDT / KDT Hauptanwendung: Messtisch, Waferinspektion, Durchlichtmessung Scantisch, dynamisch Kreuzrollenführung und Linearmotor, zweiter Motor pro Achse optional Hub: 360 x 310 mm (KDT690-EDLM) 350 x 210 mm (KDT670-EDLM) Repro: ± 0,5 µm Last: 22 kg Positioniergeschwindigkeit: 250 mm/s Spitzengeschwindigkeit: 500 mm/s Motor: Linearmotor EDLM mit Option auf zweiten Motor Messsystem: linear inkrementell 100 nm Führung: Profilschienen Controller: Galil

18 DT200EM Hauptanwendung: Messachse, Handlingachse Drehachse im Baukasten PLT der Serie sehr flach, flexibel bei der Antriebswahl Hub: n x 360 Grad Repro: 0,05 Grad Last: 20 kg Positioniergeschwindigkeit: 300 Grad/s Spitzengeschwindigkeit: 600 Grad/s Motor: Schrittmoor, DC, AC Messsystem: Winkelmesssystem inkrementell Controller: FMC, Galil

19 DT 155 Hauptanwendung: Messtisch flach, sehr dynamisch großes Durchlicht Hub: n x 360 Grad Repro: 0,05 Grad Last: 5 kg Positioniergeschwindigkeit: 180 Grad/s Spitzengeschwindigkeit: 360 Grad/s Motor: Nanomotion Messsystem: Winkelmesssystem Controller: Galil

20 DTs 115 Hauptanwendung: Messtisch flach, sehr dynamisch großes Durchlicht Hub: n x 360 Grad Repro: 0,05 Grad Last: 5 kg Positioniergeschwindigkeit: 180 Grad/s Spitzengeschwindigkeit: 360 Grad/s Motor: Schrittmotor, DC, AC Messsystem: Motor, Encoder Controller: FMC2

21 MP105-3 Hauptanwendung: Universal-Manipulator extrem hohe Auflösung bis Nanometer, hohe Beschleunigung und Geschwindigkeit auch nichtmagnetische Ausführung Hub: n x 360 Grad Repro: 0,05 µm Last: 5 kg Positioniergeschwindigkeit: 5 mm/s PM, 30 mm/s NM Spitzengeschwindigkeit: 10 mm/s PM, 60 mm/s NM Motor: Piezomotor bis 5 mm/s, Nanomotion 30 mm/s Messsystem: Encoder, Winkelmesssystem Führung: Kreuzrolle (optional Edelstahl oder Keramik) Controller: Galil

22 MP53-3 Hauptanwendung: kleiner Universal-Manipulator extrem hohe Auflösung bis nm, hohe Beschleunigung und Geschwindigkeit auch nichtmagnetische Ausführung Hub: XYZ: 10 mm Repro: uni ± 0,05 µm und uni ± 0,03 µm Last: 0,5 kg Positioniergeschwindigkeit: 5 mm/s PM Spitzengeschwindigkeit: 10 mm/s PM Motor: Piezomotor bis 5 mm/s, Nanomotion 30 mm/s Messsystem: 5 nm Auflösung Führung: Kreuzrolle (optional Edelstahl oder Keramik) Controller: Galil

23 KT326-SM / manuell Hauptanwendung: Mikroskoptisch einfach aufgebaut, robust leicht, große Verfahrwege, wechselbar durch Schnellverschluss Hub: 200 x 200 mm Repro: ± 3 µm Last: 7,5 kg Positioniergeschwindigkeit: 20 mm/s Spitzengeschwindigkeit: 40 mm/s Motor: Schrittmotor oder manuell Führung: Profilschiene Controller: FMC, Galil, MDrive

24 Steinmeyer Mechatronik Fritz-Schreiter-Straße Dresden