Pirani/Kaltkathode Transmitter

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1 Original MPT 100 Pirani/Kaltkathode Transmitter Betriebsanleitung PG 0017 BDE/E (1112) DE

2 Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis 1 Zu dieser Anleitung Gültigkeit Konventionen Sicherheit Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Produktbeschreibung Produktidentifikation Funktion Einsatzbereich Transport und Lagerung Installation Vakuumanschluss Elektrischer Anschluss Ausbau von Komponenten zu deren Wartung Betrieb Vor dem Einschalten Ausheizen KK-Sensor ein-/ausschalten Umschaltbereiche wählen Datenaustausch konfigurieren Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Transmitter abgleichen Störungen Störungsbehebung Wartung / Service Zubehör Technische Daten und Maßbilder Technische Daten Maße Gas-Korrekturfaktor Konformitätserklärung

3 Zu dieser Anleitung 1 Zu dieser Anleitung 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden EU-Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes. Die Dokumentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig keine Veränderungen am Produkt vorgenommen werden. Aktuelle Betriebsanleitungen sind auch über verfügbar. 1.2 Konventionen Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise in Pfeiffer Vacuum Betriebsanleitungen sind ein Ergebnis aus durchgeführten Risikobewertungen und Gefahrenanalysen und orientieren sich an internationalen Zertifizierungs-Standards nach UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 und DIN Im vorliegenden Dokument sind folgende Gefahrenstufen und Informationshinweise berücksichtigt: HINWEIS Gebot oder Hinweis Aufforderung zu einer Tätigkeit oder Information über Eigenschaften, deren Missachtung zu Schäden am Produkt führen kann. VORSICHT Möglicherweise bevorstehende Gefahr Verletzungen oder Sachschäden können eintreten. WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Verletzungen oder schwere Sachschäden können eintreten. Piktogramm Definitionen Warnung vor der mit dem Symbol dargestellten Gefahr. Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann. Anweisung im Text Arbeitsanweisung: Hier müssen Sie etwas tun. Verwendete Abkürzungen MPT: Digital Pirani/Kaltkathode Transmitter KK-Sensor: Kaltkathodensensor 3

4 Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Sicherheitsmaßnahmen HINWEIS Informationspflicht Jede Person, die sich mit der Installation oder dem Betrieb des Gerätes befasst, muss die sicherheitsrelevanten Teile dieser Betriebsanleitung lesen und befolgen. Der Betreiber ist verpflichtet, jede Bedienperson auf Gefahren, die von dem Gerät oder der gesamten Anlage ausgehen, aufmerksam zu machen. Der Transmitter MPT 100 wurde nach EN 61010/VDE 0411 Sicherheitsausrüstungen für elektrische Geräte geprüft und abgenommen. Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften beachten. Regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen prüfen. Das Gerät hat die Schutzart IP 40. Bei Einbau in Umgebungen, die andere Schutzarten verlangen, entsprechende Maßnahmen ergreifen. Mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien berücksichtigen. Mögliche Reaktionen der Prozessmedien infolge Eigenerwärmung des Produkts berücksichtigen. Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern. Versandhinweise beim Einsenden des Gerätes beachten. Vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination informieren. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und Schutzmaßnahmen einhalten. Sicherheitsvermerke an alle Benutzer weitergeben. 2.2 Bestimmungsgemäße Verwendung Digitalen Transmitter MPT 100 nur zum Messen von Totaldrücken im Bereich 5 x mbar einsetzen. 2.3 Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleistungsanspruch. Als nicht bestimmungsgemäße Verwendung gilt jeder Einsatz zu Zwecken, die von den oben genannten abweichen, insbesondere: Der Anschluss an Pumpen und Geräte, die lt. deren Betriebsanleitung hierfür nicht vorgesehen sind. Der Anschluss an Geräte, die berührbare, spannungsführende Teile aufweisen. Der Einsatz der Geräte in radioaktiven Bereichen. 4

5 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung Der digitale Transmitter MPT 100 ist ein Zweikomponenten-Transmitter der aus einem Kaltkathoden-Sensor und einem Pirani-Sensor besteht. 3.1 Produktidentifikation Zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereithalten. D Asslar RS 232 RS Mod.: Range: Mod.-No.: Ser.-No.: 24 V- 2,5 W Abb. 1: Produktidentifikation auf dem Typenschild Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören folgende Positionen: MPT 100 Schutzdeckel Betriebsanleitung 3.2 Funktion Der Transmitter kann in Verbindung mit DigiLine-Mess- und -Steuergeräten, mit DigiLine-Netzteilen und der WINDOWS 1) -Mess-Software DokuStar (s. Zubehör) an einem PC oder mit kundeneigener, digitaler Signalauswertung betrieben werden. Die Kommunikation erfolgt, je nach Stellung des Adresswahlschalters, über die serielle Schnittstelle RS-232 mit den jeweiligen Anzeigegeräten oder über RS-485 mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll. Zur Anbindung an Profibus-Systeme stehen entsprechende Bus- Adapter zur Verfügung (siehe Zubehör). Der Transmitter reagiert auf Messwertanfragen, Typanfragen und Justierbefehle. 3.3 Einsatzbereich Das Gerät MPT 100 ist in folgenden Umgebungsbedingungen zu installieren und zu betreiben: Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume) Schutzart IP 40 Aufstellungshöhe max m Umgebungstemperatur +5 C bis +50 C Rel. Luftfeuchte %, nicht betauend Luftdruck 86 kpa kpa 1) WINDOWS ist eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Cooperation. 5

6 Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung Geräte ohne äußeren Schutz dürfen nicht mit elektrostatisch aufladbaren Materialien in Berührung kommen und dürfen nicht in elektrischen oder magnetischen Feldern bewegt werden. In Räumen mit feuchter oder aggressiver Atmosphäre: Gerät zusammen mit einem Trockenmittel in einen Kunststoffbeutel luftdicht einschweißen. Original-Schutzdeckel aufbewahren. 6

7 Installation 5 Installation 5.1 Vakuumanschluss VORSICHT Vakuumkomponente! Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. Beim Umgang mit Vakuumkomponenten auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigungen achten. Auf saubere, fettfreie und trockene Anschlussflansche achten. VORSICHT Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium, wenn elastomere Dichtringe dem Druck nicht mehr standhalten. Dichtringe mit einem Aussenzentrierring verwenden. Einbaulagen Die Einbaulage ist frei wählbar. Zu bevorzugen ist eine waagrechte bis stehende Lage, damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen können. Transmitter anschließen VORSICHT Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar Gefahr der Verletzung durch herumfliegende Teile bei versehentlichem Öffnen von Spannelementen. Spannelemente verwenden, die sich nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen (z.b. Spannband-Spannring). Schutzdeckel entfernen. Schutzdeckel werden bei Instandhaltungsarbeiten benötigt. Flanschverbindung herstellen. Bei der Montage an CF-Flanschen kann es vorteilhaft sein, die Magneteinheit vorübergehend zu entfernen. 5.2 Elektrischer Anschluss HINWEIS Schaden am Transmitter! Verbindungskabel nur im spannungslosen Zustand anschließen. Anschluss am Transmitter niemals mit spannungsführendem Kabel herstellen. Die Kommunikation erfolgt, je nach Stellung des Adresswahlschalters am Transmitter, über die seriellen Schnittstellen RS-232 oder RS-485 (Adresse einstellbar). 7

8 Installation Adresswahlschalter einstellen S Abb. 2: Adresswahlschalter einstellen Gummistopfen (in Abb. nicht dargestellt) vom Adresswahlschalter abnehmen, und gewünschte Adresse gemäß der jeweiligen Anschlusssituation einstellen. Transmitter am Steuergerät DPG 101 anschließen Adresswahlschalter am Transmitter auf RS-232-Betrieb einstellen (Grundeinstellung ab Werk). Transmitter mit Verbindungskabel am Steuergerät anschließen. Steuergerät einschalten. Transmitter am Steuergerät DPG 109 anschließen Am Steuergerät können bis zu 9 Transmitter in Reihe angeschlossen werden. RS 232 RS Transmitter DPG 101 DPG 109 Vacuum chamber PC Abb. 3: Anschlussplan Transmitter-DPG Pin Belegung 1 nicht angeschlossen 2 RS 232, RxD 3 RS 232, TxD 4 nicht angeschlossen 5 Gnd 6 V DC 7 RS 485: D- 8 RS 485: D+ 9 nicht angeschlossen Adresswahlschalter S am Transmitter auf RS-485-Betrieb mit entsprechender Adresse einstellen. Transmitter mit Verbindungskabel am Steuergerät anschließen. Steuergerät einschalten. 8

9 Installation Transmitter am Netzteil DPS 101 anschließen Adresswahlschalter am Transmitter auf RS-232-Betrieb einstellen (Grundeinstellung ab Werk). Transmitter mit Verbindungskabel am Netzteil sowie an der RS-232-Schnittstelle des PC s anschließen. Netzteil einstecken. Transmitter mit Software DokuStar (inkl. Lieferumfang DPS 101) betreiben. Transmitter am Netzteil DPS 109 anschließen RS 232 RS 485 DPS 101 Transmitter DPS 109 RS 232 Vacuum chamber PC Abb. 4: Anschlussplan Transmitter - DPS 101/DPS 109 Adresswahlschalter S am Transmitter auf RS-485-Betrieb mit entsprechender Adresse einstellen. Transmitter mit Verbindungskabel am Netzteil sowie an der RS-232-Schnittstelle des PC s anschließen. Stromversorgung mit Schalter S1 am Netzteil einschalten. Transmitter mit Software DokuStar Plus (Option) betreiben. Transmitter an Profibus-Adapter TIC 252 anschließen TIC 252 Transmitter Vacuum chamber Abb. 5: Anschlussplan Transmitter - TIC 252 Adresswahlschalter am Transmitter auf RS-232-Betrieb einstellen (Grundeinstellung ab Werk). TIC 252 an der D-Sub-Buchse des Transmitters aufstecken und mit Befestigungsschrauben sichern. Spannungsversorgung am TIC 252 herstellen. 9

10 D Asslar Mod.: Mod.-Nr.: Input: Output. Masse:...kg Ser.-Nr.: Installation Transmitter an Pegelumsetzer TIC 002 anschließen TIC 002 RS-232 Vacuum chamber Transmitter RS-485 PC 24 V DC Abb. 6: Anschlussplan Transmitter - TIC 002 Adresswahlschalter S am Transmitter auf RS-485-Betrieb mit entsprechender Adresse einstellen. Transmitter mit Verbindungskabel an TIC 002 anschließen. Spannungsversorgung am TIC 002 herstellen. Transmitter an USB/ RS-485 Konverter anschließen 24 V DC USB/RS485- converter RPT 100 PT......V, 50/60Hz..VA...V, 0.2 A RPT 100 PT......V, 50/60Hz..VA...V, 0.2 A D Asslar Mod.: Mod.-Nr.: Input: Output. Masse:...kg Ser.-Nr.: Vacuum chamber Vacuum chamber Abb. 7: Anschlussplan MPT USB/RS-485 Konverter Adresswahlschalter S am Transmitter auf RS-485-Betrieb mit entsprechender Adresse einstellen. Transmitter mit Verbindungskabel an USB/RS-485 Konverter anschließen. Spannungsversorgung am Transmitter herstellen. 5.3 Ausbau von Komponenten zu deren Wartung WARNUNG Kontamination von Teilen des Transmitters durch gemessene Medien möglich! Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen. Im Falle einer Kontamination entsprechende Sicherheitsvorkehrungen treffen, um Gesundheitsgefährdungen durch gefährliche Substanzen zu verhindern. Betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren. Spannungsversorgung am Steuergerät/Netzteil ausschalten bzw. Geräte vom Netz trennen. Verbindungskabel lösen. Transmitter von der Vakuumapparatur demontieren. Flanschöffnung mit Original-Schutzdeckel verschließen. 10

11 Betrieb 6 Betrieb 6.1 Vor dem Einschalten Nach Anlegen der Versorgungsspannung ist der Transmitter betriebsbereit. Jedoch ist es angebracht, vor dem Messen eine Stabilisierungszeit von 5-10 min abzuwarten und den Transmitter während der Messung ununterbrochen zu betreiben. Der gemessene Druck ist gasartabhängig. Zur Anpassung an verschiedene Gase kann im Transmitter ein entsprechender Gasart-Korrekturfaktor für Pirani- oder Kaltkathode- Komponente für den Druckbereich unterhalb 0,1 mbar eingestellt werden. Der Gasart- Korrekturfaktor ist ab Werk für Luft und N 2 auf 1,00 eingestellt (siehe S. 21, Kap. 10.3). 6.2 Ausheizen VORSICHT Überhöhte Ausheiztemperatur! Gefahr der Beschädigung von Elektronik und Magneteinheit! Bei Ausheiztemperaturen > 60 C, vor dem Ausheizen Elektronik und Magneteinheit 3 immer vom Sensorkopf 2 abnehmen und ausschließlich Sensorkopf 2 ausheizen. Auf die Zuordnung der Komponenten zueinander achten, nicht vertauschen.! Abb. 8: ! Sensorkopf und Magneteinheit demontieren Beide Gewindestifte 1 lösen. Sensorkopf 2 mit Magneteinheit 3 von der Elektronik 4 abziehen. Magneteinheit 3 vom Sensorkopf abnehmen. Sensorkopf 2 ausheizen. 6.3 KK-Sensor ein-/ausschalten Bei diesem Transmitter ist es möglich, den KK-Sensor prozessbedingt ein- und auszuschalten. Dies ist mit den Steuergeräten DPG 109 (> V 1.40), DPG 101 (> V 1.60), über die PC-Software DokuStar (> V 2.00) oder kundenspezifisch gemäß Kommunikationsanleitung möglich. Beim Einschalten der Versorgungsspannung befindet sich die Variable "Sensor" auf "On" (voreingestellt), d.h. der MPT 100 arbeitet im Normalbetrieb. Zustandsänderungen dieser Variable während des Betriebes werden nur temporär gespeichert. Der Zustand der Variable "Sensor" kann jederzeit geändert werden und bleibt bis zum Abschalten der Versorgungsspannung gespeichert. 11

12 Betrieb Ein-/Ausschaltbedingungen Zustand KK- Stellbefehl mit Parameter Piranidruck P p Auswirkung auf KK-Sensor Sensor "041" aktuell 1 eingeschaltet "On" - keine Auswirkung ausgeschaltet "On" P x wird eingeschaltet bei P p <P x ausgeschaltet "Off" P x bleibt ausgeschaltet bei P p <P x eingeschaltet "Off" - wird ausgeschaltet ausgeschaltet "On" P x wird eingeschaltet und der "EinschaltTimer" wird gestartet. 2 1 Die Schwellwerte P x sind abhängig vom gewählten SwMode und liegen bei 2, bzw. 1, mbar (siehe auch "Umschaltbereiche wählen"). 2 Bis dieser Timer abläuft, erfolgt weiterhin die Anzeige entsprechend Pirani. Falls als Piraniwert vor dem "On"-Befehl die Ausgabe "ur" erfolgte, wird während der Timerlaufzeit die Ausgabe mbar eingestellt (andernfalls könnte die Anzeige "ur" während der Timerlaufzeit als KK-Underrange interpretiert werden). Nach Ablauf des EinschaltTimer erfolgt wieder die Ausgabe des Kombinationswertes aus Pirani- und KK-Sensor. Ein-/Ausschalten des KK-Sensors mit Steuergerät DPG 101/DPG 109 Ein-/Ausschalten der Sensorkomponente siehe in der Betriebsanleitung des jeweiligen Steuergerätes. Ein-/Ausschalten des KK-Sensors bei Kommunikation über RS-232- oder RS- 485-Schnittstelle KK-Sensor einschalten ([P:041] mit Wert <<1>>) senden. KK-Sensor ausschalten ([P:041] mit Wert <<0>>) senden. 6.4 Umschaltbereiche wählen Je nach Anwendung bietet der MPT 100 Transmitter die Möglichkeit den Umschaltbereich zwischen Pirani- und KK-Sensor anzupassen, um zu verhindern, dass im Übergangsbereich der Messwert zur Regelung verwendet wird oder im Fall von Beschichtungsanwendungen, die Kaltkathode eingeschaltet ist und durch den Eigensputtereffekt frühzeitig verschmutzt SwMode trans_lo: switch: Überlagerung bei mbar (KK "On" bei p 2, mbar/ KK "Off" bei p 3, mbar, Standardausführung) Direktumschaltung bei mbar (KK "On" bei p mbar) Kommunikation mit Steuergerät DPG 101 oder DPG 109 Kommunikation über RS-232 oder RS-485 KK-(CC-) sensor Pirani sensor Abb. 9: Umschaltbereiche MPT 100 mbar Umschaltbereiche der Sensorkomponenten wählen gemäß Betriebsanleitung des jeweiligen Steuergerätes. Umschaltbereich wählen: trans_lo: [P:049] mit Wert <<001>> senden switch: [P:049] mit Wert <<000>> senden 12

13 Betrieb 6.5 Datenaustausch konfigurieren Die Kommunikation erfolgt, je nach Stellung des Adresswahlschalters, über die serielle Schnittstelle RS-232 mit den jeweiligen Anzeigegeräten oder über RS-485 mittels Pfeiffer Vacuum-Protokoll: 9600 baud 8 Datenbits 1 Stopbit keine Parität Parameter Übersicht # Name Datentyp Handhabung 40 DeGas 6 - boolean_new lesbar, schreibbar 41 Sensor Ein/Aus 7 - u_short_int lesbar, schreibbar 49 Umschaltbereiche 7 - u_short_int lesbar, schreibbar 303 aktueller Fehlercode 4 - string nur lesbar 312 Softwareversion 4 - string nur lesbar 349 Gerätename 4 - string nur lesbar 740 Druckwert in [mbar] 10 - u_expo_new lesbar, bedingt schreibbar 741 Druckjustierpunkt 7 - u_short_int nur schreibbar 742 Korrekturfaktor (Pirani) 2 - u_real lesbar, schreibbar 743 Korrekturfaktor 2 - u_real lesbar, schreibbar (Bayard-Alpert) 743 Korrekturfaktor 2 - u_real lesbar, schreibbar (KK-Sensor) Parameter sind fettgedruckt als dreistellige Nummer in eckigen Klammern dargestellt. Ggf. kann zusätzlich die Benennung angegeben sein. Beispiel: [P:312] Softwareversion CPT 100 PPT 100 RPT 100 HPT 100 MPT 100 Aktuellen Druckwert lesen [P:740] Druckwerte, sowohl als abzufragender Wert, als auch beim Abgleich (s.u.), werden mittels einer Zeichenkette im Format "aaaabb" übertragen, wobei "aaaa" die Mantisse und "bb" der Exponent mit Offset 20 einer Exponentialzahl ist. "aaaa" ist daher im Bereich "1000" (für 1,000) bis "9999" (für 9,999). Die einzelnen Zeichen der Kette sind die Zahlen "0" (ASCII 48) bis "9" (ASCII 57). Beispiel: "104223" entspricht 1,042 x mbar, "750015" entspricht 7,500 x 10-5 mbar Fehlercode lesen [P:303] Gerätenamen lesen [P:349] Parameter 303 überträgt den aktuellen Fehlercode des Transmitters. Folgende Fehlercodes können auftreten: Wert Bedeutung "000000" kein Fehler "Err001" Sensor defekt "Err002" Speicher defekt Fehlercode Der Parameter 349 enthält ein Kürzel für den Gerätenamen gemäß folgender Tabelle: Wert Transmitter "... A1" CPT 100 "... A2" RPT 100 "... A3" PPT 100 "... A4" HPT 100 "... A5" MPT 100 "...": bedeutet 4 Leerzeichen 13

14 Betrieb 6.6 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII- Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens C R. Grundsätzlich sendet ein Master (z.b. ein PC) ein Telegramm, welches von einem Slave (z.b. Antriebselektronik oder Transmitter) beantwortet wird. a2 a1 a0 * 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn... d0 c2 c1 c0 C R a2 - a0 Geräteadresse Slave Einzeladresse des Gerätes ["001";"015"] * Aktion n2 - n0 Pfeiffer Vacuum Parameternummer l1 - l0 Länge der Daten dn... d0 dn - d0 Daten im jeweiligen Datentyp c2 - c0 Prüfsumme (Summe der ASCII-Werte der Zellen a2 bis d0) modulo 256 C R Wagenrücklauf (carriage return), ASCII 13 Telegramme Datenabfrage? a2 a1 a0 0 0 n2 n1 n0 0 2 =? c2 c1 c0 C R Stellbefehl! a2 a1 a0 1 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn... d0 c2 c1 c0 C R Datenantwort / Stellbefehl verstanden a2 a1 a0 1 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn... d0 c2 c1 c0 C R Fehlermeldung a2 a1 a0 1 0 n2 n1 n0 0 6 N O _ D E F c2 c1 c0 C R _ R A N G E _ L O G I C "NO_DEF" "_RANGE" "_LOGIC" Parameternummer n2 - n0 existiert nicht Daten dn - d0 außerhalb des erlaubten Bereichs logischer Zugriffsfehler Telegrammbeispiele Druckistwert lesen (Datenabfrage) (Parameter [P:740], Geräteadresse Slave: "001")? =? C R ASCII C R ASCII Parameter für Atmosphärendruck (hoher Druck) aktivieren/senden (Stellbefehl) Justierung Atmosphärendruck (Parameter [P:741/740], Geräteadresse Slave: "001")? C R ASCII C R ASCII

15 Betrieb Parameter für niedrigen Druck aktivieren/senden (Stellbefehl) Justierung niedrigen Druck (Parameter [P:741/740], Geräteadresse Slave: "001")? C R ASCII C R ASCII Verwendete Datentypen Datentyp Beschreibung Länge l1 - l0 Beispiel 0 falsch / wahr / pos. ganze Zahl bis pos. Festkommazahl entspricht 15,71 4 Zeichenkette 06 TC_400 7 pos. ganze Zahl bis Zeichenkette Transmitter abgleichen Der Transmitter ist ab Werk justiert. Ein Abgleichen des Pirani-Sensors kann bei Verschmutzung, anderer Einbaulage, extremen Temperaturschwankungen, Alterung etc. notwendig sein und wird mit einem angeschlossenen Steuergerät, über die PC-Software "DokuStar" oder kundenspezifisch gemäß Kommunikationsanleitung durchgeführt. Ein Pirani-Abgleich im "ur"-bereich (under range) erfolgt automatisch unter folgenden, gleichzeitig geltenden Bedingungen: der Messwert des KK-Sensors ist < mbar. der Messwert des Pirani-Sensors bleibt für 1 Minute konstant und weicht nicht zu stark vom letzten Kalibrierwert ab. Vor dem Abgleichen sollte der Transmitter ca Minuten lang bei entsprechendem Druck in Betrieb sein (Warmlaufzeit). Für einen korrekten Nullpunktabgleich muss der Druck im Rezipienten bei p < mbar liegen. Mit Steuergerät DPG 101/DPG 109: Transmitter wie in der Anleitung der Steuergeräte beschrieben abgleichen. Über RS-232/RS-485: Vakuumkammer auf einen Druck p < mbar evakuieren. Druckjustierpunkt [P:741] auf «000» für niedrigen Druck einstellen und senden. Druckistwert ([P:740] mit Wert «000000» ) für niedrigen Druck senden (entspricht p< ); ==> ur (under range). Vakuumkammer mit Luft oder N 2 auf Atmosphärendruck fluten; anschliessend 10 min warten. Druckjustierpunkt [P:741] auf «001» für hohen Druck einstellen und senden. Druckistwert auf Atmosphärendruck einstellen («100023» für 1000 mbar). 15

16 Störungen 7 Störungen GEFAHR Starkes Magnetfeld im Bereich des Sensorkopfes! Lebensgefahr für Personen mit Herzschrittmachern bei der Demontage der Magneteinheit. Für Wartungspersonal mit aktiven Körperhilfen (z. B. Herzschrittmacher) ist die Einhaltung eines Sicherheitsabstandes, von mindestens 10 cm, zur Magneteinheit des Transmitters erforderlich. Demontierte Magneteinheit nicht in die Nähe von Computern, Datenträgern und anderen elektronischen Bauteilen bringen. 7.1 Störungsbehebung Fehler Mögliche Ursache Behebung Kommunikationsfehler: Transmitter Im Hochvakuum wird dauerhaft ein zu großer Messwert ausgegeben. Im Hochvakuum wird dauerhaft "ur" ausgegeben, obwohl der Druck > Keine Versorgungsspannung Falscher Schnittstellentyp oder falsche Adresse eingestellt Transmitter defekt Starkes Ausgasen des Sensors Justierung erforderlich Transmitter defekt Zündhilfe verbraucht Datenkabel oder Netzteil anschließen. Adresswahlschalter korrekt einstellen. Transmitter austauschen Transmitter reinigen. Transmitter nachjustieren. Transmitter austauschen. Transmitter austauschen. 16

17 Wartung / Service 8 Wartung / Service Das Gerät ist wartungsfrei. Verschmutzungen können mit einem feuchten Tuch beseitigt werden. Nehmen Sie den Pfeiffer Vacuum Service in Anspruch! Sollte wider Erwarten ein Schaden am Gerät auftreten, haben Sie verschiedene Möglichkeiten, Ihre Geräte- Verfügbarkeit aufrecht zu erhalten: Gerät zur Reparatur ins Stammwerk einsenden Gerät durch neuwertiges Austauschgerät ersetzen HINWEIS Das Gerät ist nicht zur kundenseitigen Reparatur vorgesehen! Bei Geräten, die Sie an uns zu Reparatur- oder Wartungsarbeiten einschicken, beachten Sie bitte, dass Reparaturaufträge nur entsprechend unseren allgemeinen Lieferbedingungen durchgeführt werden. Einsendung von Geräten Service-Anforderung und Erklärung zur Kontaminierung herunterladen. 1) Service-Anforderung ausfüllen und per Fax oder an Ihre Pfeiffer Vacuum Service-Adresse senden. Bestätigung der Service-Anforderung von Pfeiffer Vacuum der Sendung beilegen. Erklärung zur Kontaminierung ausfüllen und der Sendung beilegen (Pflicht!). Kontaminiertes Gerät in geeignete Schutzfolie einschweißen. Gerät möglichst in der Originalverpackung versenden. Serviceaufträge Alle Serviceaufträge werden ausschließlich entsprechend unseren Reparaturbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten durchgeführt. 1) Formulare unter 17

18 Zubehör 9 Zubehör Benennung MPT 100 DPS 101, für 1 Transmitter, UK-Stecker PT G DPS 101, für 1 Transmitter, US-Stecker PT G DPS 101, für 1 Transmitter, EU-Stecker PT G DPS 109, für 9 Transmitter PT G DPG 101, Steuergerät für 1 Transmitter PT G DPG 109, Steuergerät für 9 Transmitter PT G Verbindungskabel für DPG 101, 3 m PT T Verbindungskabel für DPG 101, 6 m PT T Verbindungskabel für DPG 101, 10 m PT T Verbindungskabel für DPG/DPS 109, 3 m PT T Verbindungskabel für DPG/DPS 109, 6 m PT T Verbindungskabel für DPG/DPS 109, 10 m PT T Steckbarer Busabschluss für RS-485 PT T TIC 252, Profibus-Konverter für HPT, MPT PT USB/RS-485-Konverter PM T Transmitter-Adapterkabel mit RS-485 PT T Verbindungskabel TPS 110/111/180/181 - Transmitter, 3 m PT T 18

19 Technische Daten und Maßbilder 10 Technische Daten und Maßbilder 10.1 Technische Daten Parameter MPT 100 MPT 100 MPT 100 Anode Mo Mo Mo Anschlussflansch (Eingang) DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R DN 40 CF-R Schutzart IP 40 IP 40 IP 40 Dichtung Metall Metall Metall Druck max. 4 bar 4 bar 4 bar Durchführung KOVAR - Glas KOVAR - Glas KOVAR - Glas Genauigkeit: % vom Messwert mbar: ± 25, mbar: ± mbar: ± 25, mbar: ± 15 Gewicht 0,580 kg 0,580 kg 0,580 kg Materialien mit Medienkontakt Wolfram, Edelstahl, Nickel Wolfram, Edelstahl, Nickel mbar: ± 25, mbar: ± 15 Wolfram, Edelstahl, Nickel Messbereich max mbar 1000 mbar 1000 mbar Messbereich min mbar mbar mbar Messkabellänge max m 1000 m 1000 m Messmethode Pirani/Kaltkathode Pirani/Kaltkathode Pirani/Kaltkathode Messzyklus 40 ms 40 ms 40 ms Schnittstelle: Anschluss, geräteseitig Steuerung des Kaltkathoden-Sensors Digital RS-232 / RS-485, D-Sub-Buchse, 9-polig Kaltkathode kann über Schnittstelle ein - und ausgeschaltet werden Digital RS-232 / RS-485, D-Sub-Buchse, 9-polig Kaltkathode kann über Schnittstelle ein - und ausgeschaltet werden Digital RS-232 / RS-485, D-Sub-Buchse, 9-polig Kaltkathode kann über Schnittstelle ein - und ausgeschaltet werden Temperatur: Ausheizen 180 C 180 C 180 C (ohne Elektronik) Temperatur: Betrieb 5-50 C 5-50 C 5-50 C Temperatur: Lagerung C C C Versorgung: Spannung 24 V DC 24 V DC 24 V DC Versorgung: Verbrauch 2,5 W 2,5 W 2,5 W max. Volumen 9,5 cm³ 9,5 cm³ 9,5 cm³ Wiederholbarkeit: % mbar: ± mbar: ± mbar: ± 5 vom Messwert Zündhilfe Nichtrostender Stahl Nichtrostender Stahl Nichtrostender Stahl 19

20 Technische Daten und Maßbilder 10.2 Maße 85 Berliner Strasse (159) 53 20

21 Technische Daten und Maßbilder 10.3 Gas-Korrekturfaktor 1E3 1E2 angezeigter Druck (mbar) 1E1 1E0 1E-1 1E-2 1E-3 H2 He N2 Ar Kr 1E-4 1E-4 1E-3 1E-2 1E-1 1E0 1E1 1E2 1E3 Abb. 10: Messkurve MPT 100 (Pirani) Korrekturfaktor Pirani: N 2 1,00 Luft 1,00 H 2 0,58 He 1,02 Ar 1,59 CO 2 0,89 CF 4 0,93 tatsächlicher Druck (mbar) Korrekturfaktor Kaltkathode: He 5,93 H 2 2,39 Ar 0,80 CO 2 0,74 C 3 H 8 0,32 Ne 3,50 Kr 0,60 Xe 0,41 R 12 0,28 CF 4 0,44 Relative Empfindlichkeit im molekularen Bereich ( mbar) 21

22 Konformitätserklärung nach EG-Richtlinie: Elektromagnetische Verträglichkeit 2004/108/EG Niederspannung 2006/95/EG Hiermit erklären wir, dass das unten aufgeführte Produkt der EU-Richtlinie über Elektromagnetische Verträglichkeit 2004/108/EG und der EU-Niederspannungsrichtlinie 2006/95/EG entspricht. DigiLine MPT 100 Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: DIN EN : 2002 DIN EN : 2006 Unterschriften: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße Asslar Deutschland (M.Bender) Geschäftsführer (Dr. M. Wiemer) Geschäftsführer CE/2011

23 Führend. Zuverlässig. Kundennah. Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für deutsche Ingenieurskunst, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. Seit der Erfindung der Turbopumpe setzen wir in unserer Branche Maßstäbe. Dieser Führungsanspruch wird uns auch in Zukunft antreiben. Sie suchen eine perfekte Vakuumlösung? Sprechen Sie uns an: Deutschland Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters Tel.: +49 (0) Großbritannien Pfeiffer Vacuum Ltd. Tel.: Österreich Pfeiffer Vacuum Austria GmbH Tel.: office@pfeiffer-vacuum.at Benelux Pfeiffer Vacuum GmbH Sales & Service Benelux Tel.: +800-pfeiffer benelux@pfeiffer-vacuum.de Indien Pfeiffer Vacuum India Ltd. Tel.: pfeiffer@vsnl.net Schweden Pfeiffer Vacuum Scandinavia AB Tel.: sales@pfeiffer-vacuum.se China Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. Tel.: info@pfeiffer-vacuum.cn Italien Pfeiffer Vacuum Italia S.p.A. Tel.: contact@pfeiffer-vacuum.it Schweiz Pfeiffer Vacuum (Schweiz) AG Tel.: info@pfeiffer-vacuum.ch Frankreich Pfeiffer Vacuum France SAS Tel.: info@pfeiffer-vacuum.fr Korea Pfeiffer Vacuum Korea Ltd. Tel.: sales@pfeiffer-vacuum.co.kr Vereinigte Staaten Pfeiffer Vacuum Inc. Tel.: contact@pfeiffer-vacuum.com