TURBOLAB Turbo-Molekular- Pumpsysteme für Forschung und Labor

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Lothar Grosser
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1 TURBOLAB Turbo-Molekular- Pumpsysteme für Forschung und Labor

Diese neue TURBOLAB-Serie beruht auf einem Basiskonzept, auf

Die neuen kompakten Hochvakuum- Pumpsysteme TURBOLAB werden

Highlights Ausgezeichnete Pumpleistung Kompaktes mobiles

Pumpe in oder aus dem Rahmen Hintergrundbeleuchtetes Display

Frequenz, Temperatur, Strom oder Druck werden im TURBOLAB

Benutzer können sich die Logdaten mit der TURBOLAB

Anzeigesoftware (auf unserer Homepage per Download verfügbar)

durch ein komplettes Sortiment an Hochvakuumpumpen, trockenen

Turbo-Molekularpump- larpump- system mit Anschlüssen für -

2 Diese neue TURBOLAB-Serie beruht auf einem Basiskonzept, auf dessen Grundlage drei verschiedene Modellversionen aufgebaut werden können. Jede Version ist mit Zusatzmodulen wie Vakuum-Messinstrumenten und einer Auswahl an Zubehör, z. B. Ventilen oder Heizvorrichtungen, frei konfigurierbar. Die neuen kompakten Hochvakuum- Pumpsysteme TURBOLAB werden vollständig montiert und betriebsbereit ausgeliefert! Highlights Ausgezeichnete Pumpleistung Kompaktes mobiles Design Geringe Stellfläche Einfacher Standortwechsel el der Pumpe in oder aus dem Rahmen Hintergrundbeleuchtetes Display (Steuerung/Überwachung// Konfiguration) Überwachungsdaten wie Frequenz, Temperatur, Strom oder Druck werden im TURBOLAB automatisch in einer Logdatei aufgezeichnet. Benutzer können sich die Logdaten mit der TURBOLAB Datenausgabe ausgabe des Webservers oder der TURBOLAB- Anzeigesoftware (auf unserer Homepage per Download verfügbar) anzeigen lassen Anwendungsbedingte Auswahl- möglichkeiten durch ein komplettes Sortiment an Hochvakuumpumpen, trockenen oder ölgedichteten eten Vorvakuumpumpen Innovatives Turbo-Molekularpump- larpump- system mit Anschlüssen für - sechs verschiedene Zubehörgeräte - zwei Messgeräte Wegweisende Funktionalität, tät, Betriebssicherheit und Produktdesign Spannungsbereich konzipiert iert für weltweiten Einsatz Sehr gutes Preis-Leistungsverhältnissverhältnis

TURBOLAB Kompakte Turbo-Molekularpumpsysteme Ein Basiskonzept.

Frequenzwandler Vorvakuumpumpe trocken oder ölgedichtet, 1 m 3 /h - 30 m 3 /h, 24 V DC/110-230 V AC Hintergrundbeleuchtetes Display Jedes TURBOLAB-System wird mit einer TPU-

Flanschheizungen Zwei Druckmessgeräte (1000 mbar bis 1x10-9 mbar) Vorvakuum-Sicherheitsventil Integrierter Webserver Interne Statusüberwachung Datenanalyse Software-Updates

3 TURBOLAB Kompakte Turbo-Molekularpumpsysteme Ein Basiskonzept... drei Modellversionen: TURBOLAB 350 TURBOLAB 80 TURBOLAB 350 Cart Grundausstattung Turbo-Molekularpumpe TURBOVAC i Modelle von 80 l/s bis 450 l/s einschließlich Frequenzwandler Vorvakuumpumpe trocken oder ölgedichtet, 1 m 3 /h - 30 m 3 /h, 24 V DC/ V AC Hintergrundbeleuchtetes Display Jedes TURBOLAB-System wird mit einer TPU- Turbo Power Unit (Turbodruckeinheit) zur Steuerung, Konfiguration und Überwachung ausgeliefert Eingebaute Zubehörhalterung Spülgas Belüftung Luft- oder Wasserkühlung Flanschheizungen Zwei Druckmessgeräte (1000 mbar bis 1x10-9 mbar) Vorvakuum-Sicherheitsventil Integrierter Webserver Interne Statusüberwachung Datenanalyse Software-Updates Steuerung, Überwachung und Konfiguration Ihres TURBOLAB- Systems Einfacher Standortwechsel der Turbopumpe aus dem Rahmen auf Ihre Kammer Fernsteuerung über das X1-Interface Konfigurierbare X1-Schnittstelle Digital/Analog I/O Start/Stop Fehler Warnung Analog-Output Für einen breiten Spannungsbereich geeignet

4 Hochleistungs-Turbo-Molekularpumpen plus bewährte Vorpumpen Zubehör / Optionen Bedarfsgerecht. Plug & Play. Möglichkeit, den TURBOLAB mit bis zu sechs Zubehörteilen auszustatten: Spülgas- oder Belüftungsventil Luft- oder Wasserkühlung Flanschheizung Vorvakuum-Belüftungsventil SECUVAC Sicherheitsventil Adsorptionsfalle Abgasfilter Anschlussmöglichkeit für zwei Vakuumdruck-Messgeräte Hochvakuumsensor PENNINGVAC PTR 90 Vorvakuumsensor THERMOVAC TTR 91 oder THERMOVAC TTR 101 Alternativ ISO-K oder CF-Anschluss Die Cart-Version besteht aus einer Grundplatte, Säule, Laufrollen oder einem Tischrahmen mit Gummifüßen Montagesätze für den Betrieb der Turbopumpe auf Ihrer Kammer

und TPU-Display, Vakuummessung und Zubehörgeräten!

Strahlführungssysteme Mikrowaagen Zerstäubungs- und Verdampfungssysteme

bewusst, dass Daten einen kritischen Forschungsaspekt bilden und die

Deswegen haben wir diesen Bereich vereinfacht.

Standardzeitintervalls automatisch aufgezeichnet, das Sie als Benutzer sehr

Der integrierte Webserver ermöglicht Ihnen die Analyse der Betriebszustände

5 und TPU-Display, Vakuummessung und Zubehörgeräten! Typische Anwendungen Analyseinstrumente Spektroskopie Röhrenherstellung Strahlführungssysteme Mikrowaagen Zerstäubungs- und Verdampfungssysteme Oberflächenphysik Labortechnik Überwachung und Datenanalyse Wir sind uns bewusst, dass Daten einen kritischen Forschungsaspekt bilden und die Datenverwaltung komplex sein kann. Deswegen haben wir diesen Bereich vereinfacht. Alle kritischen Parameter und Betriebszustände (Fehler, Warnmeldungen, Frequenz, Temperatur etc.) werden in einem internen Speicher auf der Grundlage eines Standardzeitintervalls automatisch aufgezeichnet, das Sie als Benutzer sehr leicht anpassen können. Der integrierte Webserver ermöglicht Ihnen die Analyse der Betriebszustände und Ereignisse Ihres TURBOLAB- Systems. Die Trendansicht auf einem Laptop oder mobilen Geräten zeigt die Ereignisse zu den hochgerechneten Parametern. Dadurch können Sie die Umgebungskonfiguration Ihrer Systemereignisse schnell vergleichen. Diese neue Darstellung von Ereignisdaten hilft bei der Diagnose systemrelevanter Bedingungen.

Technische Daten Auspumpzeit Technische Daten TURBOLAB 80 / Cart TURBOLAB 350 / Cart TURBOLAB 450 / Cart Hochvakuumanschluss DN 63 ISO-K oder 63 CF 100 ISO-K oder 100 CF 160 ISO-K oder 160 CF

VA 350 240 240 Gewicht ISO kg 14,5 22 22 Zubehör 6 6 6 Messgeräte 2 2 2 Zustandsüberwachung (CBM) Software Interne Statusüberwachung Interner Webserver (ohne Softwareinstallation) Auspumpzeit

6 Technische Daten Auspumpzeit Technische Daten TURBOLAB 80 / Cart TURBOLAB 350 / Cart TURBOLAB 450 / Cart Hochvakuumanschluss DN 63 ISO-K oder 63 CF 100 ISO-K oder 100 CF 160 ISO-K oder 160 CF Saugvermögen für N 2 l/s Enddruck, max. ISO/CF mbar 10-7 / 10-7 < 10-8 / < < 10-8 / < Netzanschluss V 110 / 230 ±10 % 110 / 230 ±10 % 110 / 230 ±10 % Leistungsaufnahme, max. VA Gewicht ISO kg 14, Zubehör Messgeräte Zustandsüberwachung (CBM) Software Interne Statusüberwachung Interner Webserver (ohne Softwareinstallation) Auspumpzeit Geschätzte (hypothetische) Evakuierzeit von 1000 mbar auf mbar bei einer Vakuumkammergröße von 10 l, 100 l oder 1000 l. Vorvakuumpumpe Zeit [s] Zeit [s] Zeit [s] 10 l 100 l 1000 l TURBOLAB 80H TURBOVAC SL80 DIVAC 0,8T entfällt DIVAC entfällt TURBOLAB 80H Cart DIVAC 3.8 HV SCROLLVAC SC5D SCROLLVAC SC15D TURBOVAC SL80 SCROLLVAC SC30D TRIVAC D4B TRIVAC D8B SOGEVAC SV16B TURBOLAB 350i TURBOVAC 350i DIVAC entfällt TURBOLAB 350i Cart DIVAC 3.8 HV SCROLLVAC SC5D SCROLLVAC SC15D TURBOVAC 350i SCROLLVAC SC30D TRIVAC D4B TRIVAC D8B SOGEVAC SV16B Turbo-Molekularpumpe Turbo-Molekularpumpe Vorvakuumpumpe Zeit [s] Zeit [s] Zeit [s] 10 l 100 l 1000 l TURBOLAB 450i TURBOVAC 450i DIVAC TURBOLAB 450i Cart DIVAC 3.8 HV SCROLLVAC SC5D SCROLLVAC SC15D TURBOVAC 450i SCROLLVAC SC30D TRIVAC D4B TRIVAC D8B SOGEVAC SV16B BICOM Gedruckt in Deutschland auf chlorfrei gebleichtem Papier Technische Änderungen vorbehalten Zentrale Deutschland Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Straße 498 D Köln T +49 (0) F +49 (0) info.vacuum@oerlikon.com

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