Komponenten- Katalog Components Catalogue

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1 Komponenten- Katalog Components Catalogue Vakuumtechnik

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3 Inhaltsverzeichnis Content KF-Bauteile nach DIN Standardmaße Components KF according to DIN standard dimensions 4-16 ISO-K-Klammerflansche nach DIN Clamping flanges ISO-K according to DIN CF- und COF-Bauteile Components CF and COF CF-Bauteile nach ISO / TS Components CF according to ISO / TS COF-Bauteile Components COF Membranbälge, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Ventile, Gasschleusen Edge welded bellows, high and ultra high vacuum valves, gas locks Membranbälge Edge welded bellows 45 Hochvakuum-Ventile High vacuum valves Gasschleusen Gas locks 50 Ultrahochvakuum-Ventile Ultra high vacuum valves Zubehör für Vakuumpumpen Accessories for vacuum pumps Feinvakuum-Adsorptionsfallen Molecular sieve traps 54 Kondensatabscheider Condensate traps Stickstoff-Tiefkühlfallen Nitrogen cold traps Durchführungen Feedthroughs Stromdurchführungen Electrical feedthroughs Flüssigkeitsdurchführungen Liquid feedthroughs 66 Dreh- und Lineardurchführungen für Hochvakuum Rotary and linear motion feedthroughs for high vacuum 66 UHV-Technik UHV technology Die e sind gültig ab Oktober änderungen vorbehalten. Berechnet werden die am Bestelltag gültigen e in Euro, zuzüglich gesetzlicher Mehrwertsteuer. Die e verstehen sich ausschließlich Transport, Verpackung und Versicherung. Die Lieferung erfolgt ab Werk Wertheim. s are effective from October 2007 and are subject to change without notice. s are based on date of order in Euro, plus VAT. The prices are quoted excluding transport, packing and insurance. Delivery will be effected ex works Wertheim. Änderungen im Sinne des technischen Fortschritts bedürfen keiner vorherigen Ankündigung des Herstellers. Changes due to technical progress do not require prior announcement by the manufacturer. 3

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5 KF-Anschlußmaße Mounting dimensions KF DN ,2 14 2,0 DN ,2 20 2,0 DN ,2 25 2,0 DN ,2 28 2,0 DN ,2 38 2,0 DN ,2 45 2,5 DN ,2 57 3,0 KF-Bauteile Components KF Anschlußmaße für die Befestigung mit Pratzen Mounting dimensions for claw fastening Minimal Ø B (mm) C (mm) Pratzen Claws (St./pcs.) Gewinde Thread DN , xM6 DN , xM6 DN , xM6 DN , xM6 DN , xM6 DN , xM6 DN , xM6 KF-Pratze mit Schraube, Aluminium Claw with screw, aluminium DN 10 - DN ,00 KF-Spannring, Alu-Druckguss Clamping ring, die-cast aluminium DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,50 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 5

6 KF-Bauteile nach DIN Standardmaße Components KF according to DIN standard dimensions KF-Spezial-Spannring, Edelstahl, für Metalldichtungen Special clamping ring, stainless steel, for metal seals B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Leichtmetall-Dichtring, vakuumgeglüht, außenzentriert Light metal seal, aluminium, vacuum annealed, external centering B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Zentrierring, Edelstahl, mit O-Ring, Perbunan Centering ring, stainless steel, with O-ring, Perbunan B (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Zentrierring, Edelstahl, mit O-Ring, Viton Centering ring, stainless steel, with O-ring, Viton B (mm) DN ,50 DN ,00 DN ,00 DN ,00 6 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

7 KF-Übergangs-Zentrierring, Edelstahl, mit O-Ring, Perbunan Transitional centering ring, stainless steel, with O-ring, Perbunan B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Bauteile Components KF KF-Übergangs-Zentrierring, Edelstahl, mit O-Ring, Viton Transitional centering ring, stainless steel, with O-ring, Viton B (mm) C (mm) DN ,50 DN ,00 DN ,00 KF-Außenzentrierring, Aluminium, mit O-Ring, Perbunan External centering ring, aluminium, with O-ring, Perbunan B (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,50 DN ,00 KF-Außenzentrierring, Aluminium, mit O-Ring, Viton External centering ring, aluminium, with O-ring, Viton B (mm) DN ,50 DN ,50 DN ,00 DN ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 7

8 KF-Bauteile nach DIN Standardmaße Components KF according to DIN standard dimensions Ersatz-Rund-Dichtring, Perbunan Spare O-ring for centering ring, Perbunan DN 16 (10 16) ,00 DN 25 (20 25) ,50 DN 40 (32 40) ,00 DN ,50 Ersatz-Rund-Dichtring, Viton Spare O-ring for centering ring, Viton DN 16 (10 16) ,50 DN 25 (20 25) ,00 DN 40 (32 40) ,50 DN ,50 KF mit Rohransatz, kurz, Edelstahl Pipe socket, short, stainless steel B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF mit Rohransatz, lang, Edelstahl Pipe socket, long, stainless steel B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 8 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

9 KF-Blindflansch, Edelstahl Blank flange, stainless steel DN 16 5,5 17, ,00 DN 25 5,5 19,1 26, ,50 DN 40 5,5 31,6 41, ,00 DN 50 6,0 42,2 52, ,00 KF-Bauteile Components KF KF-Reduzierstück, Edelstahl Reducing piece, stainless steel DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Winkelstück 90, Edelstahl Elbow 90, stainless steel DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Reduzier-Winkelstück 90, Edelstahl Reducing elbow 90, stainless steel B (mm) DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 9

10 KF-Bauteile nach DIN Standardmaße Components KF according to DIN standard dimensions KF-T-Stück, Edelstahl T-piece, stainless steel DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Reduzier-T-Stück, Edelstahl Reducing T-piece, stainless steel B (mm) DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 KF-Meß-T-Stück, Edelstahl T-piece with gauge connection, stainless steel B (mm) DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 10 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

11 KF-Kreuzstück, Edelstahl 4-way cross, stainless steel DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Bauteile Components KF KF-Reduzier-Kreuzstück, Edelstahl Reducing 4-way cross, stainless steel B (mm) DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 KF-Schlauchtülle, Edelstahl Hose nipple, stainless steel B (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 11

12 KF-Bauteile nach DIN Standardmaße Components KF according to DIN standard dimensions KF-Einschraub-Anschlußstück, Edelstahl, Außengewinde, zum Einkleben Pipe socket, stainless steel, with external thread, for paste-in DN 16 G 1 / ,00 DN 25 G 3 / ,00 DN 25 G ,00 DN 40 G1 1 / ,00 DN 40 G1 1 / ,00 DN 50 G ,00 KF-Einschraub-Anschlußstück, Edelstahl, Innengewinde, zum Einkleben Pipe socket, stainless steel, with internal thread, for paste-in DN 16 G 1 / ,00 DN 25 G 3 / ,00 DN 40 G ,00 DN 50 G1 1 / ,00 DN 50 G ,00 KF-Quetschverschraubung, Edelstahl, mit O-Ring, Perbunan, für Edelstahlrohr oder Glasrohr Compression fitting, stainless steel, with O-ring, Perbunan, for stainless steel pipe or glass pipe B (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Edelstahlrohr Stainless steel pipe B (mm) C (mm) DN 16 20, ,00 DN 25 28, ,00 DN 40 44, ,00 DN 50 57, ,00 Längen bis 6 m lieferbar. Length up to 6 m available. 12 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

13 KF / ISO-K-Übergangsreduzierstück, Edelstahl Adapter piece KF / ISO-K, stainless steel DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Bauteile Components KF KF / ISO-K-Übergangszwischenstück, Edelstahl Adapter piece KF / ISO-K, stainless steel DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Schlauchstutzen, Edelstahl, für PVC-Schlauch Hose nipple, stainless steel, for PVC hose DN ,00 DN ,00 DN ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 13

14 KF-Bauteile nach DIN Standardmaße Components KF according to DIN standard dimensions PVC-Schlauch, transparent, mit eingegossener Stützspirale PVC hose, transparent, with embedded supporting spiral B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 PVC-Schlauch, beidseitig mit KF -Flansch PVC hose, with flanges KF on both sides DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Schlauchbinder, Edelstahl, für PVC-Schlauch Hose clamp, stainless steel, for PVC hose DN ,00 DN ,50 DN ,00 KF-Sichtfenster, mit O-Ring, Viton Viewport, with O-ring, Viton B (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 14 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

15 KF-Federungskörper, Edelstahl, hochflexibel, vakuumgeglüht Bellow, stainless steel, high flexibility, vacuum annealed DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Ausführung mit Membranbalg auf Anfrage. Version with edge-welded bellow optional. KF-Bauteile Components KF KF-Zwischenstück, Edelstahl Intermediate piece, stainless steel DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 KF-Wellschlauch, Edelstahl, hochflexibel, vakuumgeglüht Metal hose, stainless steel, high flexibility, vacuum annealed DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 15

16 KF-Bauteile nach DIN Standardmaße Components KF according to DIN standard dimensions KF-Wellschlauch, Edelstahl, normal flexibel Metal hose, stainless steel, normal flexibility DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Metallschläuche, DN 40 KF und DN 16 KF, Länge 750 mm, super flexibel Durch unser besonderes Glühverfahren unter Vakuum werden die enormen Spannungen, die bei der Kaltumformung von dünnwandigem Rohr zum Metallschlauch entstehen, bei über C und anschließendem raschem Abkühlen eliminiert. Metal hoses, DN 40 KF and DN 16 KF, length 750 mm, super flexible Due to our special annealing process under vacuum, the tremendous tensions which arise during the cold forming of thin-walled pipe into metal hose are eliminated at over 1,000 C and subsequent quick cooling. 16 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

17 ISO-K-Bauteile Components ISO-K

18 ISO-K-Klammerflansche nach DIN Clamping flanges ISO-K according to DIN Klammerflansch-Bauteile können entweder durch Klammerschrauben oder durch einen Überwurfflansch mit Sprengring montiert werden. Der Übergang auf DIN-Flansche ist mit Hilfe von speziellen Überwurfflanschen möglich. Clamping flange components can be mounted by clip bolts or by a collar flange with retaining ring. The transition to DIN flanges is possible with special collar flanges. Werkstoffe Flansche: Edelstahl Federungskörper und Wellschläuche: Edelstahl Überwurfflansche: Edelstahl und Stahl, verzinkt Zentrierringe: Edelstahl und Aluminium (andere Werkstoffe auf Anfrage) Materials Flanges: Stainless steel Metal bellows and metal hoses: Stainless steel Collar flanges: Stainless steel and steel, galvanized Centering rings: Stainless steel and aluminium (other materials on request) Flanschverbindungsarten Flange connection types Anz. Pratzen No. of claws (St./pcs.) Schrauben Thread DN M 8 DN M 8 DN M 10 DN M 10 DN M 10 DN M 12 DN M 12 DN M 12 DN M 12 Bohrungen Boreholes DN x Ø 9 DN x Ø 9 DN x Ø 11 DN x Ø 11 DN x Ø 11 DN x Ø 14 DN x Ø 14 DN x Ø 14 DN x Ø 14 1 Klammerschraube Clamping bolt 2 Zentrierring mit O-Ring und Stützring Centering ring with O-ring and supporting ring 3 Klammerflansch mit Rohransatz Clamping flange with pipe socket 4 Sprengring Retaining ring 5 Überwurfflansch Collar flange 6 Spannpratze Clamping claw 7 Festflansch Fixed flange 18 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

19 ISO-K-Klammerflansch mit Rohransatz, Edelstahl Clamping flange with pipe socket, stainless steel B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 ISO-K-Bauteile Components ISO-K ISO-K-Anschweißflansch mit Schweißlippe, Edelstahl Clamping flange with welding edge, stainless steel B (mm) DN 63 76, ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 ISO-K-Blindflansch, Edelstahl Clamping blank flange, stainless steel B (mm) C(mm) D(mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 19

20 ISO-K-Klammerflansche nach DIN Clamping flanges ISO-K according to DIN Zentrierring mit Außenring, Edelstahl Centering ring with outer ring, stainless steel 20 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. Perbunan DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 Viton DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 Zentrierring mit Außenring, Aluminium Centering ring with outer ring, aluminium Perbunan DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 Viton DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 Ersatz-Rund-Dichtring Spare O-ring for centering ring B (mm) Perbunan DN 63 75,6 5, ,00 DN ,2 5, ,00 DN ,8 5, ,00 DN ,9 5, ,00 DN ,4 5, ,00 Viton DN 63 75,6 5, ,00 DN ,2 5, ,50 DN ,8 5, ,00 DN ,9 5, ,00 DN ,4 5, ,00

21 Überwurfflansch mit Sprengring, Edelstahl Collar flange with retaining ring, stainless steel DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 Ersatz-Sprengring, Edelstahl Spare retaining ring, stainless steel B (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 ISO-K-Bauteile Components ISO-K Klammerschraube, Edelstahl Clamping bolt, stainless steel B (mm) C (mm) DN M ,00 DN M ,00 Klammerschraube, Aluminium Clamping bolt, aluminium B (mm) DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 21

22 ISO-K-Klammerflansche nach DIN Clamping flanges ISO-K according to DIN Spannpratze, Edelstahl, zum Verbinden von Festflanschen mit Klammerflanschen Clamping claw, stainless steel for the connection of fixed flanges to clamping flanges B (mm) C (mm) DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 Spannpratze, Aluminium Clamping claw, aluminium B (mm) C (mm) DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 Edelstahlrohr Stainless steel pipe /Meter /meter B (mm) C (mm) DN * ,00 DN * ,00 DN * ,00 DN * ,00 DN * ,00 * Länge nach Kundenspezifikation. * Length at customer's specification. Schauglas mit Überwurfflansch, Aluminium, und Dichtring, Viton Viewport with collar flange, aluminium and gasket, Viton C (mm) D (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 22 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

23 ISO-K-Klammerflansch-Rohrwinkel 90, Edelstahl Clamping flange, elbow 90, stainless steel DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 ISO-K-Klammerflansch-T-Stück, Edelstahl Clamping flange, T-piece, stainless steel B (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 ISO-K-Bauteile Components ISO-K ISO-K-Klammerflansch-Kreuzstück, Edelstahl Clamping flange, 4-way cross, stainless steel B (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 ISO-K-Doppelkreuzstück, Edelstahl Clamping flange, 6-way cross, stainless steel B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 23

24 ISO-K-Klammerflansche nach DIN Clamping flanges ISO-K according to DIN ISO-K-Klammerflansch-Meßstück, Edelstahl Clamping flange, measurement cross piece, stainless steel DN ,00 DN ,00 DN ,00 ISO-K-Klammerflansch-Reduzierstück, Edelstahl Clamping flange, reducing piece, stainless steel DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Reduzier-Übergangsflansch ISO-K / ISO-K, Edelstahl Adapter flange ISO-K / ISO-K, stainless steel DN xM ,00 DN xM ,00 DN xM ,00 DN xM ,00 DN xM ,00 DN xM ,00 DN xM ,00 24 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

25 ISO-K-Klammerflansch-Federungskörper, Edelstahl, normalflexibel Clamping flange, flexible bellow, stainless steel, normal flexibility DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 ISO-K-Klammerflansch-Federungskörper, Edelstahl, hochflexibel, vakuumgeglüht Clamping flange, flexible bellow, stainless steel, high flexibility, vacuum annealed DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 ISO-K-Bauteile Components ISO-K ISO-K-Klammerflansch-Wellschlauch, Edelstahl, normalflexibel Clamping flange, metal hose, stainless steel, normal flexibility DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 25

26 ISO-K-Klammerflansche nach DIN Clamping flanges ISO-K according to DIN ISO-K-Klammerflansch-Wellschlauch, Edelstahl, hochflexibel, vakuumgeglüht Clamping flange, metal hose, stainless steel, high flexibility, vacuum annealed DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 26 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

27 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF

28 CF-Bauteile nach ISO / TS Components CF according to ISO / TS Die in diesem Katalog abgebildeten CF-Flansche (Conflat -Flansche) entsprechen der Technischen Spezifikation ISO / TS Werkstoffauswahl und Behandlung sowie geeignete Fügeverfahren garantieren eine kleinstmögliche Gasabgabe erreichbares Endvakuum mbar ausheizbar bis 300 C Standard-Werkstoff für die Flansche oder adäquat, je nach Verfügbarkeit oder Anfrage Standard-Werkstoff für die Rohre oder adäquat Permeabilität der Standard-Flansche µ rel 1.05 UHV-Flansche bis DN 1000 UHV-Bauteile mit Flanschen aus Schmiedeteilen Werkstoff ESU lieferbar Wasserstoffarmglühen möglich Bauteile UHV-gerecht gereinigt Bauteile Helium-leckgetestet Bauteile mit abgesenkten Werten der magnetischen Permeabilität µ rel auf Anfrage The flanges CF shown in this catalogue correspond with the technical specification ISO / TS Material selection and treatment as well as suitable joining process guarantee smallest possible gas release Attainable end vacuum mbar Bakable up to 300 C Standard material for the flanges or adequate, depending on current availability or request Standard material for the pipes or adequate Permeability of the standard flanges µ rel 1.05 UHV flanges up to nominal width DN 1000 UHV components deliverable with flanges made of forged parts material ESU Low hydrogen annealing possible Components cleaned suitably for UHV Components helium leak tested Components with lowered magnetic permeability values µ rel on request Dichtungsprinzip Mit leichtem Spiel fügt sich ein Kupfer-Flachring in die Flanschausdrehung ein und zentriert dabei die Flanschpaare. Die Flanschschneiden verformen nach Anzug der Schrauben den Dichtring nicht nur axial sondern auch radial nach außen. Dadurch ist ein Fließen auch bei den relativ hohen Ausheiztemperaturen nicht möglich. Sealing principle A copper gasket fits properly into the flange bore and centers the flange pairs thereby. After the screw tightening, the flange edges shape the seal ring not only axially but also radially outwards. This prevents creeping even at relatively high bake-out temperatures. Nominal width D D ("/inch) D D (mm) Lkr Ø Lkr dia. (mm) Bohrungen Anzahl/Ø Bores number/dia. Innenmaß Inner dimension (mm) Anzugsmoment Tightening torque (Nm) DN 16 CF 1 1 / 3 " 33,8 27,0 6 x Ø 4, DN 40 CF 2 ¾" 69,9 58,7 6 x Ø 6, DN 63 CF 4 ½" 114,3 92,2 8 x Ø 8, DN 100 CF 6" 152,4 130,3 16 x Ø 8, DN 160 CF 8" 203,2 181,0 20 x Ø 8, DN 200 CF 10" 254,0 231,8 24 x Ø 8, DN 250 CF 12" 304,8 284,0 32 x Ø 8, Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

29 CF-Blindflansch, fest Blank flange, non-rotatable DN 16 7, ,00 DN 40 13, ,00 DN 63 17, ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 CF-Blindflansch, drehbar Blank flange, rotatable B (mm) C (mm) DN 16 7,3 5,8 19, ,00 DN 40 13,0 7,6 41, ,00 DN 63 19,0 12,7 71, ,00 DN ,5 14,3 105, ,00 DN ,0 15,8 155, ,00 DN ,5 17,1 208, ,00 DN ,0 18,0 258, ,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF CF-Anschweißflansch, fest Welding flange, non-rotatable DN 16 7,3 4,0 18, ,00 DN 40 13,0 5,0 41, ,00 DN 63 17,5 10,0 70, ,00 DN ,0 10,0 104, ,00 DN ,0 10,0 154, ,00 DN ,5 12,0 206, ,00 DN ,0 12,0 256, ,00 CF-Anschweißflansch, drehbar Welding flange, rotatable DN 16 7,3 4,0 18, ,00 DN 40 13,0 5,0 41, ,00 DN 63 19,0 10,0 70, ,00 DN ,5 10,0 104, ,00 DN ,0 10,0 154, ,00 DN ,5 12,0 206, ,00 DN ,0 12,0 256, ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 29

30 CF-Bauteile nach ISO / TS Components CF according to ISO / TS CF-Anschweißflansch, fest, mit Gewindelöchern Welding flange, non-rotatable, with tapped bolt holes DN 16 7,3 4,0 18,2 M ,00 DN 40 13,0 5,0 41,3 M ,00 DN 63 17,5 10,0 70,5 M ,00 DN ,0 10,0 104,5 M ,00 DN ,0 10,0 154,5 M ,00 DN ,5 12,0 206,5 M ,00 DN ,0 12,0 256,5 M ,00 CF-Anschweißflansch, drehbar, mit Gewindelöchern Welding flange, rotatable, with tapped bolt holes DN 16 7,3 4,0 18,2 M ,00 DN 40 13,0 5,0 41,3 M ,00 DN 63 19,0 10,0 70,5 M ,00 DN ,5 10,0 104,5 M ,00 DN ,0 10,0 154,5 M ,00 DN ,5 12,0 206,5 M ,00 DN ,0 12,0 256,5 M ,00 CF-Einschweißflansch Weld-in flange / DN 16 16,0 34,0 10,0 M ,00 DN 40 20,0 70,0 12,0 M ,00 DN 63 24,0 114,0 16,0 M ,00 DN ,0 152,0 16,0 M ,00 DN ,0 203,0 18,0 M ,00 DN ,0 253,0 18,0 M ,00 Größere n und doppelseitige Einschweißflansche auf Anfrage. Larger dimensions und double-sided flanges optional. 30 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

31 CF-Anschweißflansch, fest, mit Rohrstutzen Welding flange, non rotatable, with pipe socket DN 16 7,3 12,0 18,0 1, ,00 DN 16 7,3 30,0 18,0 1, ,00 DN 40 13,0 40,0 41,0 1, ,00 DN 63 17,5 50,0 70,0 2, ,00 DN ,0 60,0 104,0 2, ,00 DN ,0 70,0 154,0 2, ,00 CF-Anschweißflansch, drehbar, mit Rohrstutzen Welding flange, rotatable, with pipe socket DN 16 7,3 12,0 18,0 1, ,00 DN 16 7,3 30,0 18,0 1, ,00 DN 40 13,0 40,0 41,0 1, ,00 DN 63 19,0 50,0 70,0 2, ,00 DN ,5 60,0 104,0 2, ,00 DN ,0 70,0 154,0 2, ,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF CF-Zwischenstück, 1 Flansch drehbar Intermediate piece, 1 flange rotatable DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 31

32 CF-Rohrbauteile Pipe components CF n DN 16 CF - DN 63 CF mit gleichen Rohr- querschnitten, von außen durchgeschweißt, Flansche innen geschweißt. s DN 16 CF - DN 63 CF same pipe crosssections, welded with full penetration from the outside, flanges welded inside. n DN 100 CF - DN 250 CF, Verwendung von Kugelkörpern, alle Schweißnähte von innen geschweißt. Nominal dimensions DN 100 CF - DN 250 CF, use of spheres, all welded seams are welded from the inside. Oberflächen innen und außen glasperlenfeingestrahlt, außer Dichtflächen. Surfaces glass bead blasted with glass beads on the inside and outside, except sealing faces. Bauteile mit abgesenkten Werten der Permeabilität µ rel auf Anfrage. Components with lowered permeability values µ rel on request. CF-Winkelstück, 1 Flansch drehbar Elbow 90, 1 flange rotatable C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 CF-T-Stück, 2 Flansche drehbar T-piece, 2 flanges rotatable B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 CF-Kreuzstück, 2 Flansche drehbar 4-way cross, 2 flanges rotatable B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 32 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

33 Andere Ausführungen, z.b. mit mehreren Reduzierungen, auf Anfrage. Other versions optional, e.g. multiple reductions on request. CF-Doppel-Kreuzstück, 3 Flansche drehbar 6-way cross, 3 flanges rotatable B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 CF-Reduzierflansch Reducing flange B (mm) C (mm) DN 40 / M ,00 DN 63 / M ,00 DN 63 / M ,00 DN 100 / M ,00 DN 100 / M ,00 DN 160 / M ,00 DN 160 / M ,00 DN 160 / M ,00 DN 200 / M ,00 DN 200 / M ,00 DN 200 / M ,00 DN 200 / M ,00 DN 250 / M ,00 DN 250 / M ,00 DN 250 / M ,00 DN 250 / M ,00 DN 250 / M ,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF CF-Reduzierstück, 1 Flansch drehbar Reducing piece, 1 flange rotatable DN 40 / ,00 DN 63 / ,00 DN 63 / ,00 DN 100 / ,00 DN 100 / ,00 DN 160 / ,00 DN 160 / ,00 DN 160 / ,00 DN 200 / ,00 DN 200 / ,00 DN 200 / ,00 DN 250 / ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 33

34 CF-Rohrbauteile Pipe components CF Übergangs-Reduzierstück CF / KF Adapter piece CF / KF DN 16 / ,00 DN 40 / ,00 DN 40 / ,00 DN 40 / ,00 DN 63 / ,00 DN 63 / ,00 DN 63 / ,00 DN 100 / ,00 DN 100 / ,00 DN 100 / ,00 Übergangs-Reduzierstück CF / ISO-K Adapter piece CF / ISO-K DN 63 / ,00 DN 100 / ,00 DN 100 / ,00 DN 160 / ,00 DN 160 / ,00 DN 160 / ,00 CF-Meßflansch, Zwischenflansch mit Gewinde, 1 seitlicher Rohrstutzen DN 16 CF Double sided flange, with lateral pipe socket DN 16 CF, with tapped bolt holes B (mm) C (mm) D (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 CF-Zwischenstück, mit 2 seitlichen Flanschanschlüssen DN 40 CF Intermediate piece, with 2 lateral flanges DN 40 CF B (mm) C (mm) DN 63 / 40 / , ,00 DN 100 / 40 / , ,00 DN 160 / 40 / , ,00 3 Flansche drehbar. 3 flanges rotatable. 34 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

35 CF-Wellschlauch, 1 Flansch drehbar, hochflexibel, vakuumgeglüht Metal hose, 1 flange rotatable, high flexibility, vacuum annealed DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF CF-Wellschlauch, 1 Flansch drehbar, normalflexibel Metal hose, 1 flange rotatable, normal flexibility DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 35

36 CF-Rohrbauteile Pipe components CF CF-Federungskörper, 1 Flansch drehbar, hochflexibel, vakuumgeglüht Flexible bellow, 1 flange rotatable, high flexibility, vacuum annealed DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 CF-Federungskörper, 1 Flansch drehbar, normalflexibel Flexible bellow, 1 flange rotatable, normal flexibility DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 CF-Membranbalg, 1 Flansch drehbar Edge welded bellow, 1 flange rotatable B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN 200 * * * * DN 250 * * * * * Nach Spezifikation. * Other dimensions and versions optional. 36 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

37 CF-Membranbalg mit Justierstück, 1 Flansch drehbar Edge welded bellow with adjustment piece, 1 flange rotatable B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 CF-Sichtfenster, Borosilikatglas (7056) Viewport, borosilicate glass (7056) B (mm) DN 16 15, ,00 DN 40 35, ,00 DN 63 68, ,00 DN , ,00 DN , ,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF CF-Zwischenstück, Keramik Intermediate piece, ceramics B (mm) C (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN * * Auf Anfrage. * On request. CF-Kupfer-Dichtungen, (OFHC-Cu), 10 Stück Copper gaskets, set of 10 B (mm) C (mm) DN 16 21,3 16, ,00 DN 40 48,1 36, ,00 DN 63 82,4 63, ,00 DN ,5 101, ,00 DN ,2 152, ,00 DN ,0 203, ,00 DN ,0 254, ,00 * Vakuumgeglühte Kupferdichtungen auf Anfrage. * Copper gaskets, vacuum annealed, on request. Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 37

38 CF-Rohrbauteile Pipe components CF CF-Schraubensatz, Edelstahl, 25 Stück Screws, nuts and washers, stainless steel, set of 25 B (mm) Erforderliche Anz. pro Flanschverbindung Necessary number per flange connection Stück / pcs. DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 CF-Stiftschraubensatz, Edelstahl, 25 Stück Stud screws, nuts and washers, stainless steel, set of 25 B (mm) Erforderliche Anz. pro Flanschverbindung Necessary number per flange connection Stück / pcs. DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 Hochtemperatur-Schmiermittel, für Schrauben High-temperature lubricant, for screws Konfektionierung Packing Inhalt Content (g) Temperaturbeständigkeit Temperature resistance ( C) Tube ,00 38 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

39 COF-Bauteile Components COF Das Prinzip der COF-Dichtung besteht darin, dass ein Ring aus Cu (OFHC) zwischen zwei Flanschen mit unterschiedlichem Profil ( male und female ) fest eingepresst wird. The principle of the COF seal is based on pressing a Cu ring (OFHC) tightly between two flanges with different profiles ( male and female ). Die Dichtung passt sich den nach innen angeschrägten Dichtflächen an, wodurch das Dichtmaterial auch bei hohen Ausheiztemperaturen nicht fließen kann. COF-Bauteile sind nicht genormt. Nachstehend finden Sie eine Auswahl gängiger Baugrößen. Alle Zwischengrößen sind herstellbar, auch als Gegenflansch zu den bereits vorhandenen. The seal adapts to the inner beveled sealing faces which prevents the sealing material from creeping even at high bake-out temperatures. COF components are not standardized. In this chapter you will find a selection of common manufactured sizes. All intermediate sizes can be manufactured, also as counter flange for existing ones. Prinzip der COF-Dichtung Principle of the COF seal CF- / COF-Bauteile Components CF / COF Von PINK entwickelte Kugelkammer zur Durchführung photoelektronischer Spektroskopie bei Bessy II, Berlin. With this chamber, designed by PINK, multi-coincidence photoelectron spectroscopy of free atoms and molecules is performed at Bessy II, Berlin. Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 39

40 COF-Bauteile Components COF COF-Blindflansch male, Edelstahl Blank flange, male, stainless steel B (mm) C (mm) DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 Ab DN 400 mit Klöpper- oder Flachboden. Torospherical or flat bottom for DN 400 and larger. COF-Blindflansch female, Edelstahl Blank flange, female, stainless steel B (mm) C (mm) DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 Ab DN 400 mit Klöpper- oder Flachboden. Torospherical or flat bottom for DN 400 and larger. 40 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

41 COF-Anschweißflansch male, Edelstahl Welding flange male, stainless steel DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 COF-Anschweißflansch female, Edelstahl Welding flange female, stainless steel DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 DN , , ,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 41

42 COF-Bauteile Components COF COF O-Ring Dichtungen, Cu (OFHC) O-ring gaskets, Cu (OFHC) B (mm) DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 COF O-Ring Dichtungen, Viton O-ring gaskets, Viton B (mm) DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 COF-Schraubensatz, Edelstahl, 25 Stück Screws, nuts and washers, stainless steel, set of 25 Nominal dia. B (mm) Erforderliche Anz. pro Flanschverbindung Necessary number per flange connection Stück / pcs. DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 DN M ,00 Hochtemperatur-Schmiermittel, für Schrauben High-temperature lubricant, for screws Konfektionierung Packing Inhalt Content (g) Temperaturbeständigkeit Temperature resistance ( C) Tube ,00 42 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

43 Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves

44 Membranbälge, Hochvakuum-Ventile, Ultrahochvakuum-Ventile und Gasschleusen Edge welded bellows, high vacuum valves, ultra high vacuum valves and gas locks Membranbälge n 14 mm mm Innendurchmesser Edge welded bellows s 14 mm mm inside Federbalg-Eckventile, handbetätigt n DN 16 KF - DN 50 KF DN 63 ISO-K - DN 160 ISO-K DN 16 CF - DN 63 CF Angle valves with bellow, manually operated s DN 16 KF - DN 50 KF DN 63 ISO-K - DN 160 ISO-K DN 16 CF - DN 63 CF Federbalg-Eckventile, elektro-pneumatisch, mit Lagemeldung und Steuer-Luftventil n DN 16 KF - DN 50 KF DN 63 ISO-K - DN 160 ISO-K DN 16 CF - DN 63 CF Angle valves with bellow, electro-pneumatic, with indication of position and control air valve s DN 16 KF - DN 50 KF DN 63 ISO-K - DN 160 ISO-K DN 16 CF - DN 63 CF CF-Ganzmetall-Eckventile n DN 16 CF - DN 63 CF All metal angle valves CF s DN 16 CF - DN 63 CF Federbalg-Durchgangsventile, handbetätigt n DN 16 KF - DN 40 KF Inline valves with bellow, manually operated s DN 16 KF - DN 40 KF Federbalg-Eckventile, handbetätigt mit Feinregelung (Doppelsitz) n DN 16 KF - DN 50 KF Angle valves with bellow, manually operated, with precision setting (double seat) s DN 16 KF - DN 50 KF Eckventile bis DN 1000 Angle valves up to DN 1000 Sonderventile in allen n, und Ausführungen auf Anfrage Special valves in all nominal widths, dimensions and designs on request Kugelventile in Edelstahl und Messing vernickelt Ball valves in stainless steel or nickel-plated brass Membranventile in Aluminium n DN 10 KF - DN 25 KF Diaphragm valves made of aluminium s DN 10 KF - DN 25 KF Belüftungsventile, Überdruckventile, Nadelventile, Gasschleusen Air release valves, pressure relief valves, needle valves, gas locks 44 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

45 Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves Wir sind in der Lage, Ihnen ein vielseitiges Produkt programm von Standardmembranbälgen der n mm anzubieten. Je nach Kundenwunsch können wir einzelne Membranpaare oder Komplettlösungen liefern. Als Werkstoff verwenden wir Edelstahl (316L). Die Membranbälge unterliegen unseren hohen Qualitätsansprüchen und werden ausschließlich Micro-Plasma-geschweißt. Gerne übernehmen wir für Sie die Balgauslegung. Membranbälge, Edelstahl, Micro-Plasma geschweißt Edge welded bellows, stainless steel, micro-plasma welded Innen-Ø Inside Ø (mm) Außen-Ø Outside Ø (mm) Hub * Stroke * (mm) kleinste Länge minimum length (mm) We are able to offer a broad range of standard edge welded bellows with nominal widths ranging from mm. Depending on customer s requirements, we are able to supply individual bellows or complete solutions. As material we use stainless steel (316L). The edge welded bellows are subject to our high quality standards and are exclusively micro-plasma welded. Please do not hesitate to ask for the bellow s dimensioning. größte Länge maximum length (mm) ,6 0,35 0, auf Anfrage / On request ,9 0,35 1, auf Anfrage / On request ,0 0,50 2, auf Anfrage / On request ,7 0,50 2, auf Anfrage / On request ,1 0,50 2, auf Anfrage / On request ,1 0,50 2, auf Anfrage / On request ,2 0,60 2, auf Anfrage / On request * pro Membranpaar * per single bellow Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves Die Hubweiten in der Tabelle sind ausgelegt für max Lastwechsel bei Temperaturen von 20 C bis max. 60 C. Für abweichende Einsatzbedingungen fragen Sie bitte bei uns an. The stroke limits indicated in the data table are dimensioned for max. 10,000 cycles at temperatures of 20 C up to max. 60 C. For different ranges of application, please don t hesitate to contact us. Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 45

46 KF-Ventile und Zubehör Valves and accessories KF Federbalg-Eckventil, handbetätigt, Edelstahl, Viton-gedichtet Angle valve with bellow, manually operated, stainless steel, Viton sealed DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 DN 63 ISO-K ,00 DN 100 ISO-K ,00 DN 160 ISO-K ,00 Federbalg-Durchgangsventil, handbetätigt, Edelstahl, Viton-gedichtet Inline valve with bellow, manually operated, stainless steel, Viton sealed DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 Ersatz-Ventileinsatz für handbetätigte Federbalg-Ventile mit Viton-Dichtungen Spare kit for manually operated valves with bellows and Viton seals DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 DN 63 ISO-K ,00 Ersatz-Dichtungen, Viton, für Gehäuse und Ventilsitz Spare seals for valves, Viton, for valve body and seat DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 DN 63 ISO-K ,00 DN 100 ISO-K ,00 DN 160 ISO-K ,00 46 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

47 KF-Federbalg-Eckventil, handbetätigt, mit Feinregelung, Edelstahl, Viton-gedichtet Angle valve with bellow, manually operated, with precision setting, stainless steel, Viton sealed DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 Ersatz-Ventileinsätze und -Dichtungen auf Anfrage. Spare kits and seals on request. Kugelventil, handbetätigt, Edelstahl, mit vollem Durchgang Ball valve, manually operated, stainless steel, with full throughput DN 10 KF ,00 DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 Kugelventil, handbetätigt, mit reduziertem Durchgang, Messing vernickelt Ball valve, manually operated, with reduced throughput, Brass, nickel plated DN 10 KF ,00 DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves Membranventil, handbetätigt, Aluminium Diaphragm valve, manually operated, aluminium B (mm) DN 10 KF ,00 DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 47

48 KF-Ventile und Zubehör Valves and accessories KF Belüftungsventil, handbetätigt, Edelstahl, Viton Vent valve, manually operated, stainless steel, Viton B (mm) DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 Überdruckventil, Edelstahl, einstellbar bis max. 1 bar Druckdifferenz Pressure relief valve, stainless steel, adjustable up to max. 1 bar pressure difference B (mm) DN 25 KF ,00 Nadelventil, Edelstahl, KF-Anschlüsse geklebt Needle valve, stainless steel, with bonded KF-connections DN 16 KF ,00 3 Nadel Abdichtung durch Stopfbuchse. 3 Needle sealing with gland. Nadelventil, Messing, KF-Anschlüsse geklebt Needle valve, brass, with bonded KF-connections DN 16 KF ,00 3 Nadel Abdichtung durch Stopfbuchse. 3 Needle sealing with gland. 48 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

49 Federbalg-Eckventile, elektro-pneumatisch, Edelstahl, Viton-gedichtet Angle valves with bellow, electro-pneumatic, stainless steel, Viton sealed Produkteigenschaften Dichtheit Gehäuse, Sitz: 10-9 mbar l / s Ausheiztemperatur: 150 C offen geschlossen bei Stromausfall geschlossen Einbaulage bis DN 160: beliebig Steuerspannung: 12V / 24V / 48V / 110V / 220V (bei Bestellung angeben) integrierter elektrischer Lagemelder Ventil mit Schiebedurchführung auf Anfrage Ersatz-Ventileinsätze auf Anfrage DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 DN 63 ISO-K ,00 DN 100 ISO-K ,00 DN 160 ISO-K ,00 DN 200 ISO-K * * * * * DN 250 ISO-K * * * * * DN 320 ISO-K * * * * * DN 400 ISO-K * * * * * DN 500 ISO-K * * * * * * Auf Anfrage. * On request. Features Leakproof valve body and seat: 10-9 mbar l / s Bake-out temperature: 150 C open closed Closed at power failure Orientation up to DN 160: at will Control voltage: 12V / 24V / 48V / 110V / 220V (to be specified at order) Integrated electrical position indicator Valve with linear feedthrough on request Spare kits on request Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves Ersatzdichtungen, Viton, für elektropneumatische Eckventile Spare seals, Viton, for electro-pneumatic angle valves DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 DN 63 ISO K ,00 DN 100 ISO K ,00 DN 160 ISO K ,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 49

50 Gasschleusen, Edelstahl Gas locks, stainless steel Gasschleusen zum Evakuieren vakuum-isolierter Behälter und Rohrleitungen In Verbindung mit einem Verschlußventil genügt eine Gasschleuse für mehrere Isolierbehälter oder isolierte Rohrleitungen. Das Verschlußventil ist mit einer Sicherheitskappe ausgestattet, welche bei einem ggf. plötzlich entstehenden Überdruck den herausfliegenden Verschlussstopfen aufhält. Gas Locks for evacuation of vacuum-isolated vessels and pipings In connection with one single loadlock valve, one gas lock is sufficient for several insulating vessels or isolated pipings. The loadlock valve is equipped with a safety cap blocking the interlock plug if overpressure arises abruptly. Gasschleusen mit Durchführung, O-Ring gedichtet, Edelstahl, Adapterstück nicht im Lieferumfang enthalten Gas lock with feedthrough, O-ring sealed, stainless steel, adapter piece not included DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Verschlußventil mit Sicherheitskappe, Edelstahl Loadlock valve with safety cap, stainless steel B (mm) DN ,00 DN ,00 DN ,00 DN ,00 Adapterstück für Verschlußventil Adapter piece for loadlock valve B (mm) C (mm) DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 DN , ,00 50 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

51 CF-Eckventile und Zubehör Angle valves and accessories CF CF-Eckventil, Viton-gedichtet Angle valve, Viton sealed DN ,00 DN ,00 DN ,00 Ersatz-Ventileinsatz, für handbetätigte CF-Eckventile mit Viton-Dichtungen Spare kit, for manual CF-angle valves with Viton-gaskets DN 16 CF ,00 DN 40 CF ,00 DN 63 CF ,00 Ersatz-Dichtungen, Viton, für Gehäuse und Ventilsitz Spare seals, Viton, for valve body and seat DN 16 CF ,00 DN 40 CF ,00 DN 63 CF ,00 Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 51

52 CF-Eckventile und Zubehör Angle valves and accessories CF CF-Eckventil, Viton-gedichtet, elektropneumatisch Angle Valve, Viton sealed, electro-pneumatic DN 16 CF ,00 DN 40 CF ,00 DN 63 CF ,00 Produkteigenschaften Features Dichtheit Gehäuse, Sitz: 10-9 mbar l / s Ausheiztemperatur: 150 C offen geschlossen bei Stromausfall geschlossen Einbaulage bis DN 160: beliebig Steuerspannung: 12V / 24V / 48V / 110V / 220V (bei Bestellung angeben) integrierter elektrischer Lagemelder Ventil mit Schiebedurchführung auf Anfrage Ersatz-Ventileinsätze auf Anfrage Leakproof valve body and seat: 10-9 mbar l / s Bake-out temperature: 150 C open closed Closed at power failure Orientation up to DN 160: at will Control voltage: 12V / 24V / 48V / 110V / 220V (to be specified at order) Integrated electrical position indicator Valve with linear feedthrough on request Spare kits on request Ersatz-Dichtungen, Viton, für elektropneumatische Eckventile Spare seals, Viton, for electro-pneumatic angle valves DN 16 CF ,00 DN 40 CF ,00 DN 63 CF ,00 52 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

53 Zubehör Accessories

54 Feinvakuum-Adsorptionsfallen Molecular sieve traps Zeolithfallen aus Edelstahl mit eingebautem Heizstab Zur Erzeugung eines ölfreien Hoch- und Ultrahoch vakuums, z.b. mit Turbo-Molekularpumpen, setzt man auf die Pumpseite von Drehschieber-Vakuum pumpen eine Adsorptionsfalle, die mit Zeolith gefüllt ist. Die Zeolithfüllung nimmt den Ölund Wasserdampf auf und verhindert somit eine Kontamination des Hoch- und Ultrahochvakuums. Nach Beendigung eines Pumpzyklus kann die gesättigte Zeolithfüllung durch den eingebauten Heizstab leicht regeneriert werden. Zeolite traps made of stainless steel with integrated heat ing element For the generation of an oil-free high and ultra-high vacuum, e.g. with turbo-molecular pumps, an adsorption trap filled with zeolite is placed on the pump side of vane-type rotary vacuum pumps. The zeolite filling absorbs oil and water vapor and therefore prevents a contamination of the high and ultra-high vacuum. At the end of a pump cycle the saturated zeolite filling can easily be regenerated by the integrated heating element. Zeolithfalle für Feinvakuumpumpen, Edelstahl, incl. Heizstab, Meßanschluß und Zeolith Zeolite trap for primary pumps, stainless steel, incl. heating rod, gauge connection and Zeolite Benötigtes Zeolith Zeolite, required (g) DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 DN 63 ISO K ,00 DN 100 ISO K ,00 Meßröhrenanschluß DN 25 KF bei allen Größen. Gauge connection DN 25 KF on all traps. Ersatz-Heizstab, Edelstahl Spare heating rod, stainless steel DN 16 KF 120 Watt * 230 VAC ** ,00 DN 25 KF 120 Watt * 230 VAC ** ,00 DN 40 KF 120 Watt * 230 VAC ** ,00 DN 50 KF 120 Watt * 230 VAC ** ,00 DN 63 ISO-K 250 Watt * 230 VAC ** ,00 DN 100 ISO-K 250 Watt * 230 VAC ** ,00 * Leistung * Power ** Spannung ** Voltage Zeolith Zeolite Konfektionierung Packing Menge Amount (g) Beutel / bag ,00 54 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

55 Kondensatabscheider Condensate traps Ausführung in Edelstahl mit Schauglas und Ablasshahn oder in Edelstahl mit Acrylglaszylinder und Ablasshahn. Design in stainless steel with inspection glass and drain cock or in stainless steel with acrylic glass cylinder and drain cock. Sowohl in den Ansaug- als auch in den Auspuffleitungen eines Vakuumsystems können sich beim Abpumpen von Dämpfen Kondensate bilden. Um die Pumpe vor diesen Kondensaten zu schützen, empfiehlt es sich, Kondensatabscheider einzusetzen. Durch das Schauglas bei der Edelstahlausführung sowie durch den Acrylglaszylinder ist der Füllstand des Kondensats gut sichtbar und kann auch bei laufendem Pump prozeß über den Ablaßhahn abgesenkt bzw. bei Stillstand völlig entleert werden. Condensation can occur in the suction as well as in the exhaust pipes of a vacuum system during the pumping out of vapors. In order to protect the pump from these condensates, it is recommended to insert a condensate trap. The level of condensate is clearly visible through the inspection glass, in the stainless steel version as well as through the acrylic glass cylinder. It can be lowered during the pumping process or fully emptied at standstill with the drain cock. Kondensatabscheider, Edelstahl Condensate trap, stainless steel DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 Kondensatabscheider, Edelstahl, Acrylglas Condensate trap, stainless steel, acryl glass DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 Zubehör Accessories Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 55

56 Kondensatabscheider Condensate traps Kondensator mit Vorlagebehälter, Edelstahl, wassergekühlt, 0,5 m² Kühlfläche, 30 ltr. Vorlage Condensator with reservoir, stainless steel, water cooled, 0,5 m² cooling surface, 30 ltr. reservoir DN 40 KF ,00 DN 63 ISO-K ,00 Maße auf Anfrage. on request. 56 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

57 Stickstoff-Tiefkühlfallen Nitrogen cold traps Ausführung Edelstahl Stainless steel design Kühlfallen mit flüssigem Stickstoff werden eingesetzt, um Treibmittelrückströmung in den Rezipienten zu vermeiden. Die rückströmenden Öldämpfe, Kondensate oder Treibmittelteilchen werden an der Oberfläche des mit flüssigem Stickstoff gefüllten Tanks ausgefroren. Man erreicht dadurch kürzere Pumpzeiten und niedrigere Drücke. Cold traps with liquid nitrogen are used in order to prevent backstreaming of pumping fluids into the recipients. The oil vapors, condensates or diffusion pump fluids flowing back are frozen out on the surface of the tanks filled with liquid nitrogen. Due to shorter pumping times and lower pressures are achieved. Stickstoff-Tiefkühlfallen sind in verschiedenen Ausführungen erhältlich: für Feinvakuumpumpen n DN 16 KF - DN 63 ISO-K für Diffusionspumpen als Ringkühlfalle mit und ohne Blende n DN 63 ISO-K (CF) - DN 250 ISO-K (CF) in Sonderausführungen als Kugelkühlfalle n DN 63 ISO-K - DN 250 ISO-K Nitrogen cold traps are available in various versions: for mechanical pumps nominal widths DN 16 KF - DN 63 ISO-K for diffusion pumps as ring cold trap with and without screen nominal widths DN 63 ISO-K (CF) - DN 250 ISO-K (CF) in special design as spherical cold trap nominal widths DN 63 ISO-K - DN 250 ISO-K LN 2 -Kühlfalle, demontierbar, Edelstahl LN 2 cold trap, removable, stainless steel Benötigtes LN 2 LN 2, required (ml) DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 DN 63 ISO-K ,00 Größere n und andere Ausführungen, auch mit zusätzlichem Meßröhrenanschluß, auf Anfrage. Larger dimensions and other versions, also with additional gauge connection, on request. LN 2 -Kühlfalle, demontierbar, Edelstahl LN 2 cold trap, removable, stainless steel Benötigtes LN 2 LN 2, required (ml) DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 DN 63 ISO-K ,00 Größere n und andere Ausführungen, auch mit zusätzlichem Meßröhrenanschluß, auf Anfrage. Larger dimensions and other versions, also with additional gauge connection, on request. Zubehör Accessories Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 57

58 Stickstoff-Tiefkühlfallen Nitrogen cold traps LN 2 -Ringkühlfalle, demontierbar, Edelstahl für Diffusionspumpen mit Meßröhrenanschluß LN 2 ring cold trap, removable, stainless steel for diffusion pumps with gauge connection Benötigtes LN 2 LN 2, required B (mm) C (mm) (ml) DN 63 ISO-K ,00 DN 100 ISO-K ,00 DN 160 ISO-K ,00 DN 200 ISO-K ,00 DN 250 ISO-K ,00 UHV-LN 2 -Ringkühlfalle, Edelstahl UHV LN 2 ring cold trap, stainless steel Benötigtes LN 2 LN 2, required B (mm) C (mm) (ml) DN 63 CF ,00 DN 100 CF ,00 DN 160 CF ,00 DN 200 CF ,00 DN 250 CF ,00 Flansche drehbar. Flanges rotatable. Mit Meßröhrenanschluß DN 40 CF. With gauge connection DN 40 CF. 58 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

59 Durchführungen Feedthroughs

60 Durchführungen Feedthroughs Elektrische Daten in Abhängigkeit vom Leiter-Durchmesser Electrical data depending on conductor diameter Isolationsmaterial: Keramik (Al 2 O 3 ) Leitermaterial: Kupfer (Cu) Insulation material: ceramik (Al 2 O 3 ) Conductor material: copper (Cu) Leiter-Durchmesser 1,5 mm 3 mm 4 mm Max. Stromstärke 15 A 50 A 80 A Isolationsstrecke (Al 2 O 3 ) 8 mm 13 mm 13 mm Max. Spannung 4 kv 6 kv 6 kv Conductor diameter 1,5 mm 3 mm 4 mm Max. current 15 A 50 A 80 A Length of insulation (Al 2 O 3 ) 8 mm 13 mm 13 mm Max. voltage 4 kv 6 kv 6 kv Die angegebenen Werte sind nur als Richtwerte zu betrachten und können im Einzelfall vom Nennwert abweichen (z.b. abhängig von der Anordnung der Stromdurchführungen, der Geometrie der Elektroden, der Luftfeuchtigkeit oder dem Druck). The figures indicated are to be considered only as approximate values. They can deviate from the indicated numbers (e.g. depending on the layout of the current feedthroughs, the geometry of the electrodes, the humidity or the pressure). Einfachdurchführung auf KF-Flansch 1 conductor on flange KF B (mm) C (mm) DN 16 1,5 7,0 8, ,00 DN 25 1,5 7,0 8, ,00 DN 40 1,5 7,0 8, ,00 DN 50 1,5 7,0 8, ,00 DN 16 3,0 9,0 13, ,00 DN 25 3,0 9,0 13, ,00 DN 40 3,0 9,0 13, ,00 DN 50 3,0 9,0 13, ,00 DN 16 4,0 10,8 13, ,00 DN 25 4,0 10,8 13, ,00 DN 40 4,0 10,8 13, ,00 DN 50 4,0 10,8 13, ,00 60 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

61 Zweifachdurchführung auf KF-Flansch 2 conductors on flange KF DN 25 1,5 7,0 8,0 11, ,00 DN 40 1,5 7,0 8,0 11, ,00 DN 50 1,5 7,0 8,0 11, ,00 DN 25 3,0 9,0 13,0 12, ,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 12, ,00 DN 50 3,0 9,0 13,0 12, ,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 15, ,00 DN 50 4,0 10,8 13,0 15, ,00 Dreifachdurchführung auf KF-Flansch 3 conductors on flange KF DN 25 1,5 7,0 8,0 13, ,00 DN 40 1,5 7,0 8,0 13, ,00 DN 50 1,5 7,0 8,0 13, ,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 15, ,00 DN 50 3,0 9,0 13,0 15, ,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 17, ,00 DN 50 4,0 10,8 13,0 17, ,00 Vierfachdurchführung auf KF-Flansch 4 conductors on flange KF DN 25 1,5 7,0 8,0 14, ,00 DN 40 1,5 7,0 8,0 14, ,00 DN 50 1,5 7,0 8,0 14, ,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 18, ,00 DN 50 3,0 9,0 13,0 18, ,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 21, ,00 DN 50 4,0 10,8 13,0 21, ,00 Durchführungen Feedthroughs Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 61

62 Durchführungen Feedthroughs Einfachdurchführung auf CF-Flansch 1 conductor on flange CF B (mm) C (mm) DN 16 1,5 7,0 8, ,00 DN 40 1,5 7,0 8, ,00 DN 63 1,5 7,0 8, ,00 DN 16 3,0 9,0 13, ,00 DN 40 3,0 9,0 13, ,00 DN 63 3,0 9,0 13, ,00 DN 16 4,0 10,8 13, ,00 DN 40 4,0 10,8 13, ,00 DN 63 4,0 10,8 13, ,00 Zweifachdurchführung auf CF-Flansch 2 conductors on flange CF DN 16 1,5 7,0 8,0 8, ,00 DN 40 1,5 7,0 8,0 8, ,00 DN 63 1,5 7,0 8,0 8, ,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 13, ,00 DN 63 3,0 9,0 13,0 13, ,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 15, ,00 DN 63 4,0 10,8 13,0 15, ,00 Vierfachdurchführung auf CF-Flansch 4 conductors on flange CF DN 40 1,5 7,0 8,0 14, ,00 DN 63 1,5 7,0 8,0 14, ,00 DN 100 1,5 7,0 8,0 14, ,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 18, ,00 DN 63 3,0 9,0 13,0 18, ,00 DN 100 3,0 9,0 13,0 18, ,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 21, ,00 DN 63 4,0 10,8 13,0 21, ,00 DN 100 4,0 10,8 13,0 21, ,00 62 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

63 Fünffachdurchführung auf CF-Flansch 5 conductors on flange CF DN 40 1,5 7,0 8,0 20, ,00 DN 63 1,5 7,0 8,0 20, ,00 DN 100 1,5 7,0 8,0 20, ,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 24, ,00 DN 63 3,0 9,0 13,0 24, ,00 DN 100 3,0 9,0 13,0 24, ,00 DN 63 4,0 10,8 13,0 28, ,00 DN 100 4,0 10,8 13,0 28, ,00 Siebenfachdurchführung auf CF-Flansch 7 conductors on flange CF DN 40 1,5 7,0 8,0 20, ,00 DN 63 1,5 7,0 8,0 20, ,00 DN 100 1,5 7,0 8,0 20, ,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 25, ,00 DN 63 3,0 9,0 13,0 25, ,00 DN 100 3,0 9,0 13,0 25, ,00 DN 63 4,0 10,8 13,0 28, ,00 DN 100 4,0 10,8 13,0 28, ,00 Koaxiale Durchführung auf CF-Flansch, mit BNC-Buchse Coaxial feedthrough on flange CF, BNC type B (mm) C (mm) DN 16 CF 22,7 44 9, ,00 DN 40 CF 18,0 44 9, ,00 Durchführungen Feedthroughs Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 63

64 Durchführungen Feedthroughs Koaxiale Durchführung auf CF-Flansch, mit Hochspannungsbuchse (SHV MHV) Coaxial feedthrough on flange CF, SHV MHV-Type B (mm) C (mm) DN 16 CF 27,2 46 9, ,00 DN 40 CF 22,5 46 9, ,00 Bei Bestellung Typ der gewünschten Buchse angeben (SHV oder MHV): Beispiel: SHV oder MHV Indicate type of connector with order (SHV or MHV): Example: SHV or MHV Koaxiale Durchführung auf CF-Flansch, mit N-Chassis Buchse Coaxial feedthrough on flange CF, N-Type B (mm) C (mm) DN 40 CF 24, , ,00 DN 63 CF 25, , ,00 Koaxiale Durchführung auf KF-Flansch*, BNC-Buchse, O-Ring gedichtet Coaxial feedthrough on flange KF*, BNC-Type, O-ring sealed B (mm) C (mm) DN 25 KF , ,00 DN 40 KF , ,00 DN 50 KF , ,00 Koaxiale Durchführung auf KF-Flansch*, mit Hochspannungsbuchse (SHV MHV), O-Ring gedichtet, Coaxial feedthrough on flange KF*, SHV MHV-Type, O-ring sealed B (mm) C (mm) DN 25 KF , ,00 DN 40 KF , ,00 DN 50 KF , ,00 Bei Bestellung Typ der gewünschten Buchse angeben (SHV oder MHV): Beispiel: SHV oder MHV Indicate type of connector with order (SHV or MHV): Example: SHV or MHV * bauartbedingte Leckraten im Bereich 10-6 mbar I / s * leakage rates in the range of 10-6 mbar I / s depending on design 64 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

65 Koaxiale Durchführung auf KF-Flansch*, mit N-Chassis Buchse, O-Ring gedichtet Coaxial feedthrough on flange KF*, N-Type, O-ring sealed B (mm) C (mm) DN 25 KF , ,00 DN 40 KF , ,00 DN 50 KF , ,00 * bauartbedingte Leckraten im Bereich 10-6 mbar I / s * leakage rates in the range of 10-6 mbar I / s depending on design Quetschverschraubung für Thermoelementdurchführung, Edelstahl, Schraube aus Messing Compression fitting for thermocouple feedthroughs, stainless steel, screw made of brass DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 DN 50 KF ,00 Teile sind vorgebohrt auf Durchmesser 1 mm. All screws drilled with Ø 1 mm. O-Ring Dichtungen für Durchmesser 1 mm bis 2 mm liegen bei. O-ring seals for diameters 1 mm and 2 mm are enclosed. Thermoelementdurchführung, hohl, für Draht-Ø bis 1 mm Thermocouple lead-through, hollow, for wires up to Ø 1 mm B (mm) C (mm) DN 16 CF ,00 DN 40 CF ,00 DN 63 CF ,00 Anzahl der Durchführungen: 2 Number of feedthroughs: 2 Thermoelementdrähte können eingelötet werden. Wires can be hard soldered. Durchführungen Feedthroughs Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 65

66 Durchführungen Feedthroughs Flüssigkeitsdurchführung auf KF- oder CF-Flansch, geeignet für Wasser und LN 2 Liquid feedthrough on flange KF or CF suitable for water and LN 2 DN 40 KF 8x ,00 DN 40 CF 8x ,00 Drehdurchführung, gedichtet mit Wellendichtringen, für Anwendungen im Hochvakuum Rotary motion feedthrough with radial shaft seal for applications in high vacuum systems DN 40 KF ,00 DN 63 ISO-K ,00 Dreh-Schiebedurchführung, O-Ring gedichtet, für Anwendungen im Hochvakuum Rotary linear motion feedthrough, O-ring sealed, for applications in high vacuum systems B (mm) DN 16 KF ,00 DN 25 KF ,00 DN 40 KF ,00 Welle im Lieferumfang nicht enhalten. Shaft not included. 66 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

67 UHV-Technik UHV technology

68 UHV-Manipulatoren UHV manipulators Z-Manipulator, Hub 100 mm, membranbalggedichtet, handbetätigt, komplett ausheizbar Z manipulator, stroke 100 mm, sealed with edge welded bellows, manually operated, completely bakeable B (mm) C (mm) DN * DN * Andere Hübe auf Anfrage. Different strokes on request. Z-Manipulator, Hub 100 mm, membranbalggedichtet, handbetätigt Z manipulator, stroke 100 mm, sealed with edge welded bellows, manually operated B (mm) C (mm) DN * DN Andere 100 Hübe 100 auf Anfrage. 125 Different 100 strokes 195 on request * Andere Ausführungen von Manipulatoren fertigen wir auf Kundenwunsch. Different versions of manipulators will be produced according to customer s requirements. UHV-Drehdurchführung mit 2 differentiellen Pumpstutzen UHV rotary motion feedthrough 2 x differentially pumped B UHV-Drehdurchführung mit 2 differentiellen Pumpstutzen 2 x differentially pumped rotary feedthrough for UHV B (mm) DN 63 CF * DN 100 CF * DN 160 CF * DN 250 CF * 68 * e auf Anfrage. * s on request.

69 UHV-Drehdurchführungen UHV rotary motion feedthroughs Präzisions-Drehdurchführung auf Flansch DN 40 CF, handbetätigt, mit Skalierung in Schritten von 2 Rotary motion feedthrough on flange DN 40 CF, manually operated, with scale in steps of 2 DN 40 CF M * Präzisions-Drehdurchführung auf Flansch DN 40 CF, mit Zahnriemenscheibe für elektromotorischen Antrieb (ohne Motor) Rotary motion feedthrough on flange DN 40 CF, with gear for electromotive drive (without motor) DN 40 CF ,5 10 M * Präzisions-Drehdurchführung auf Flansch DN 40 CF, mit Zahnriemenscheibe für elektromotorischen Antrieb (mit Motor) Rotary motion feedthrough on flange DN 40 CF, with gear for electromotive drive (with motor) Antrieb durch Gleichstrommotor 5000 rpm / 24 V / 6 W / 2 Ncm. Untersetzung durch Planetengetriebe mit zusätzlicher externer Untersetzung 4 :1. DN 40 CF M * Andere Antriebe auf Anfrage! Drive by means of DC motor 5000 rpm / 24 V / 6 W / 2 Ncm. Gearing down by means of epicyclical gear with additional external gearing down of 4 :1. Other drives on request. Die Übertragung der Drehbewegung bei gleichzeitig hohem übertragbarem Drehmoment erfolgt durch eine Welle, die membranbalggedichtet ist. Max. übertragb. Drehmoment: 500 Ncm (statisch) Ncm (dynamisch) Maximale Drehzahl: U min (kurzzeitig) Die Lebensdauer des Membranbalgs beträgt 4 x10 5 Umdrehungen. Die max. Ausheiztemperatur beträgt 300 C. * e auf Anfrage. * s on request. Transfer of rotation with, at the same time, high transferable torque is realized by a shaft which is sealed with edge welded bellows. Maximum transferable torque: 500 Ncm (static) 1,000 Ncm (dynamic) Maximum speed: 1,000 rpm (short-time) The life time of the edge welded bellow is 4 x10 5 cycles. The maximum bake-out temperature is 300 C. 69 UHV-Technik UHV technology

70 UHV-Durchführungen UHV feedthroughs Schnellschiebedurchführung, montiert auf Flansch DN 40 CF Fast linear motion feedthrough, mounted on flange DN 40 CF Die Linearbewegung erfolgt durch die Betätigung eines Stempels, der durch eine Schraube arretiert werden kann. Der Stempel wird atmosphärenseitig in einem Gleitlager aus Bronze geführt. The linear movement is realized by a plunger that can be locked with a stop screw. On the atmospheric side the plunger is guided in a slide bearing made of bronze. DN 40 CF M * DN 40 CF M * Lineardurchführung, montiert auf Flansch DN 40 CF Linear motion feedthrough, mounted on flange DN 40 CF Die Übertragung der Linearbewegung in das Vakuum erfolgt durch eine Gewindespindel M 8x1, die wellbalggedichtet ist. Der Drehkopf ist mit einer Skalierung aus gestattet, die eine Ablesegenauigkeit von 0,02 mm ermöglicht. Motorischer Antrieb auf Anfrage. Transfer of linear movement into the vacuum is realized by a threaded spindle M 8x1, which is bellow-sealed. The rotary head is equipped with a scaling that provides an accuracy of reading of 0,02 mm. Motor drives are available on request. DN 40 CF M * DN 40 CF M * 70 * e auf Anfrage. * s on request.

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72 PINK GmbH Vakuumtechnik Am Kessler Wertheim Germany T +49 (0) 9342 / F +49 (0) 9342 / [email protected] Dt./Engl./10.07/3000/P/H