Vom Forschungsmikroskop zur vollautomatisierten Messung; Laser-Scanning Mikroskopie auf höchstem Niveau für jedermann 3D Measuring Laser Microscope OLS4000 Dr. Christoph Deusen
Einsatzgebiete der Konfokalen Laser Scanning Mikroskopie Automobil Zylinderlaufflächen, Leder, Kunststoff Halbleiter/Elektronik Wafer, Lithographie, Bonding Solar Pyramiden, Würmchen, Finger Druckmaschinen Form und Beschäding von Drucknoppen Medizin/Pharmazie Stents, Prothesen, Diagnostika Laser/Optik Elektrodenoberflächen, Mikrolinsen Glasveredlung Beschichtungen Kunststoffverarbeitung Folien, Einschlüsse, Beschichtungen Metall und Werkzeug Rauheit, Verrundung, Diamanten
Arbeitsgebiete der Konfokalen Laser Scanning Mikroskopie Forschung/Entwicklung Einzelproben, Ständig wechselnde Messaufgaben und Probentypen Automatisierung nicht oder nur schwer möglich QS-Labor Serienproben, Wechselnde Proben aber oft gleiche Messabläufe Automatisierung durch geführte Messabläufe wünschenswert At-line Serienproben, Gleiche Messabläufe Vollautomatisierte Messungen notwendig
Personalisierter Logon
Probenpositionierung Messpositionen werden in relativen Koordinaten zu einem beliebigen Ursprung festgelegt und gespeichert
Ausrichtung der Koordinaten Nach dem Laden der Koordinaten kann das Koordinatensystem an Hand von Schnittmarken verschoben und gedreht werden Reproduzierbare Messungen am immer gleichen Ort
Features der LEXT Software
Das Mikroskop Prinzip eines 3D Mess-Laser Mikroskops II Pinhole MEMS Eine kreisförmige Blende filtert Licht von außerhalb der aktuellen Fokusebene. Nur reflektiertes Licht aus dem aktuellen Fokus wird aufgezeichnet. LD LED Non-Konfokal Detektor Konfokal Detektor CCD Kreisförmiges Pinhole Telanlinse Objective
Das Mikroskop Prinzip eines 3D Mess-Laser Mikroskops III Probengröße Kalkulierte Intensität Intensität Höhe Kalkulierte Höhe CFO Suche: Ein zuverlässiger Algorithmus für Wiederholgenauigkeit und Präzision
Das Mikroskop Prinzip eines 3D Mess-Laser Mikroskops I Detectors LD Scanner LED Schnelles, verzeichnungsfreies XY-Scannen Original Olympus Scanner-on-Scanner Technologie Ein MEMS Scanner wird für die X-Richtung betrieben. Ein Galvospiegel erzeugt die Y-Bewegung. CCD Objective
Das Mikroskop Präzise Messergebnisse von jeder Oberfläche: Dual CF Detektor Erster konfokaler Pfad Photomultiplier mit normaler Empfindlichkeit Ergebnisdatensatz des Dual Konfokalen Systems: Pinhole Pinhole Zweiter konfokaler Pfad Photomultiplier mit hoher Empfindlichkeit Erweitert die Möglichkeiten konfokaler Mikroskopie in der Oberflächenbewertung
Optical Metrology OLS4000 Leistungsmerkmale: Auflösung Horizontal: XY Höhe: Z 0.12 m 0.01 m Wiederholbarkeit Horizontal: XY 20x : 3σ n-1 =0.1 m 50x : 3σ n-1 =0.04 m 100x : 3σ n-1 =0.02 m Genauigkeit Höhe: Z 20x : σ n-1 =0.040 m 50x : σ n-1 =0.012 m 100x : σ n-1 =0.012 m 0.12μm line and space プロファイル 表 示 Horizontal: XY Höhe: Z < 2% des Messwertes <0.2 + L/100 m L= Messwert in m
Überblick Materialkontrast ist keine Herausforderung: Dual Pinhole Probe: Diamant in Stahl eingebettet Objektiv: MPlanApoN50xLEXT
Überblick Auch bei 85 Grad steilen Flankenwinkeln werden noch Daten erfasst. Probe: Damastmesser 60 Grad Objektiv: MPlanApoN50x Probe: Rasierklinge Objektiv: MPlanApoN20xLEXT
Überblick Zuverlässige Gewinnung vertrauenswürdiger Daten. Herkömmlich: Hohe Starker Rauschanteil Helligkeit Z LEXT OLS4000: Hohes S/N-Verhältnis X Z Niedrige Helligkeit Z Probe:X/Z-Schnitt eines Rubins X Helligkeit
3D Mess-Laser Mikroskop Die Anwendungsfälle: Höhe Länge Fläche Optical Metrology Volumen Linien Rauheit Flächen Rauheit Partikel Analyse Kantenerkennung Schichtmessung
Überblick Datenqualität unabhängig von Materialeigenschaften: Abtasten einer weichen Probe mit herkömmlichen Tastschnittgeräten verändert die Probe.
Überblick Hervorragend geeignet für präzise Rauheitsmessung: R:0.4um 0.4 0.2 0-0.2-0.4 0.2um R:2um 0.4 0.2 0-0.2-0.4 0.05um