Komponenten- Katalog Components Catalogue

Komponenten- Katalog Components Catalogue Vakuumtechnik

Inhaltsverzeichnis Content KF-Bauteile nach DIN 28403 Standardmaße Components KF according to DIN 28403 standard dimensions 4-16 ISO-K-Klammerflansche nach DIN 28404 Clamping flanges ISO-K according to DIN 28404 17-26 CF- und COF-Bauteile Components CF and COF 27-42 CF-Bauteile nach ISO / TS 3669-2 Components CF according to ISO / TS 3669-2 27-38 COF-Bauteile Components COF 39-42 Membranbälge, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Ventile, Gasschleusen Edge welded bellows, high and ultra high vacuum valves, gas locks 43-52 Membranbälge Edge welded bellows 45 Hochvakuum-Ventile High vacuum valves 46-49 Gasschleusen Gas locks 50 Ultrahochvakuum-Ventile Ultra high vacuum valves 51-52 Zubehör für Vakuumpumpen Accessories for vacuum pumps 53-58 Feinvakuum-Adsorptionsfallen Molecular sieve traps 54 Kondensatabscheider Condensate traps 55-56 Stickstoff-Tiefkühlfallen Nitrogen cold traps 57-58 Durchführungen Feedthroughs 59-66 Stromdurchführungen Electrical feedthroughs 60-65 Flüssigkeitsdurchführungen Liquid feedthroughs 66 Dreh- und Lineardurchführungen für Hochvakuum Rotary and linear motion feedthroughs for high vacuum 66 UHV-Technik UHV technology 67-70 Die e sind gültig ab Oktober 2007. änderungen vorbehalten. Berechnet werden die am Bestelltag gültigen e in Euro, zuzüglich gesetzlicher Mehrwertsteuer. Die e verstehen sich ausschließlich Transport, Verpackung und Versicherung. Die Lieferung erfolgt ab Werk Wertheim. s are effective from October 2007 and are subject to change without notice. s are based on date of order in Euro, plus VAT. The prices are quoted excluding transport, packing and insurance. Delivery will be effected ex works Wertheim. Änderungen im Sinne des technischen Fortschritts bedürfen keiner vorherigen Ankündigung des Herstellers. Changes due to technical progress do not require prior announcement by the manufacturer. 3

KF-Anschlußmaße Mounting dimensions KF DN 10 30 12,2 14 2,0 DN 16 30 17,2 20 2,0 DN 20 40 22,2 25 2,0 DN 25 40 26,2 28 2,0 DN 32 55 34,2 38 2,0 DN 40 55 41,2 45 2,5 DN 50 75 52,2 57 3,0 KF-Bauteile Components KF Anschlußmaße für die Befestigung mit Pratzen Mounting dimensions for claw fastening Minimal Ø B (mm) C (mm) Pratzen Claws (St./pcs.) Gewinde Thread DN 10 10 12,2 45 2 2xM6 DN 16 16 17,2 45 2 2xM6 DN 20 21 22,2 55 3 3xM6 DN 25 24 26,2 55 3 3xM6 DN 32 34 34,2 71 3 3xM6 DN 40 40 41,2 71 3 3xM6 DN 50 51 52,2 91 3 3xM6 KF-Pratze mit Schraube, Aluminium Claw with screw, aluminium DN 10 - DN 50 20 12 14 20 100 0000 3,00 KF-Spannring, Alu-Druckguss Clamping ring, die-cast aluminium DN 10 16 42 61 16 22 100 1016 7,00 DN 20 25 54 72 16 32 100 2025 8,00 DN 32 40 70 90 16 46 100 3240 10,00 DN 50 95 123 25 62 100 0050 21,50 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 5

KF-Bauteile nach DIN 28403 Standardmaße Components KF according to DIN 28403 standard dimensions KF-Spezial-Spannring, Edelstahl, für Metalldichtungen Special clamping ring, stainless steel, for metal seals B (mm) C (mm) DN 10 16 54 22 18 101 1016 45,00 DN 20 25 64 32 18 101 2025 50,00 DN 32 40 82 47 18 101 3240 55,00 DN 50 110 62 20 101 0050 70,00 KF-Leichtmetall-Dichtring, vakuumgeglüht, außenzentriert Light metal seal, aluminium, vacuum annealed, external centering B (mm) C (mm) DN 10 16 32 30 21 102 1016 6,00 DN 20 25 42 40 31 102 2025 7,00 DN 32 40 57 55 46 102 3240 8,00 DN 50 77 75 66 102 0050 18,00 KF-Zentrierring, Edelstahl, mit O-Ring, Perbunan Centering ring, stainless steel, with O-ring, Perbunan B (mm) DN 16 15 17 103 0016 6,00 DN 25 24 26 103 0025 7,00 DN 40 39 41 103 0040 9,00 DN 50 49 52 103 0050 15,00 KF-Zentrierring, Edelstahl, mit O-Ring, Viton Centering ring, stainless steel, with O-ring, Viton B (mm) DN 16 15 17 104 0016 7,50 DN 25 24 26 104 0025 9,00 DN 40 39 41 104 0040 13,00 DN 50 49 52 104 0050 20,00 6 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

KF-Übergangs-Zentrierring, Edelstahl, mit O-Ring, Perbunan Transitional centering ring, stainless steel, with O-ring, Perbunan B (mm) C (mm) DN 10 16 10 12 17 105 1016 7,00 DN 20 25 20 22 26 105 2025 8,00 DN 32 40 32 34 41 105 3240 10,00 KF-Bauteile Components KF KF-Übergangs-Zentrierring, Edelstahl, mit O-Ring, Viton Transitional centering ring, stainless steel, with O-ring, Viton B (mm) C (mm) DN 10 16 10 12 17 106 1016 9,50 DN 20 25 20 22 26 106 2025 13,00 DN 32 40 32 34 41 106 3240 18,00 KF-Außenzentrierring, Aluminium, mit O-Ring, Perbunan External centering ring, aluminium, with O-ring, Perbunan B (mm) DN 10 16 30 32 107 1016 5,00 DN 20 25 40 42 107 2025 6,00 DN 32 40 55 57 107 3240 7,50 DN 50 75 77 107 0050 13,00 KF-Außenzentrierring, Aluminium, mit O-Ring, Viton External centering ring, aluminium, with O-ring, Viton B (mm) DN 10 16 30 32 108 1016 7,50 DN 20 25 40 42 108 2025 8,50 DN 32 40 55 57 108 3240 10,00 DN 50 75 77 108 0050 16,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 7

KF-Bauteile nach DIN 28403 Standardmaße Components KF according to DIN 28403 standard dimensions Ersatz-Rund-Dichtring, Perbunan Spare O-ring for centering ring, Perbunan DN 16 (10 16) 18 109 0016 1,00 DN 25 (20 25) 28 109 0025 1,50 DN 40 (32 40) 42 109 0040 2,00 DN 50 55 109 0050 2,50 Ersatz-Rund-Dichtring, Viton Spare O-ring for centering ring, Viton DN 16 (10 16) 18 110 0016 2,50 DN 25 (20 25) 28 110 0025 3,00 DN 40 (32 40) 42 110 0040 3,50 DN 50 55 110 0050 4,50 KF mit Rohransatz, kurz, Edelstahl Pipe socket, short, stainless steel B (mm) C (mm) DN 16 22 16 20 111 0016 12,00 DN 25 22 24 28 111 0025 18,00 DN 40 30 40 45 111 0040 30,00 DN 50 30 51 57 111 0050 50,00 KF mit Rohransatz, lang, Edelstahl Pipe socket, long, stainless steel B (mm) C (mm) DN 16 50 16 20 112 0016 20,00 DN 25 55 24 28 112 0025 30,00 DN 40 60 40 45 112 0040 42,00 DN 50 70 51 57 112 0050 60,00 8 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

KF-Blindflansch, Edelstahl Blank flange, stainless steel DN 16 5,5 17,2 30 113 0016 6,00 DN 25 5,5 19,1 26,2 40 113 0025 7,50 DN 40 5,5 31,6 41,2 55 113 0040 12,00 DN 50 6,0 42,2 52,2 75 113 0050 20,00 KF-Bauteile Components KF KF-Reduzierstück, Edelstahl Reducing piece, stainless steel DN 25 16 28 114 2516 34,00 DN 40 16 28 114 4016 39,00 DN 40 25 28 114 4025 42,00 DN 50 16 28 114 5016 50,00 DN 50 25 28 114 5025 54,00 DN 50 40 28 114 5040 60,00 KF-Winkelstück 90, Edelstahl Elbow 90, stainless steel DN 16 40 115 0016 45,00 DN 25 50 115 0025 56,00 DN 40 65 115 0040 98,00 DN 50 70 115 0050 148,00 KF-Reduzier-Winkelstück 90, Edelstahl Reducing elbow 90, stainless steel B (mm) DN 25 16 50 45,0 116 2516 54,00 DN 40 16 65 52,5 116 4016 72,00 DN 40 25 65 57,5 116 4025 76,00 DN 50 16 70 56,5 116 5016 120,00 DN 50 25 70 59,5 116 5025 130,00 DN 50 40 70 67,5 116 5040 148,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 9

KF-Bauteile nach DIN 28403 Standardmaße Components KF according to DIN 28403 standard dimensions KF-T-Stück, Edelstahl T-piece, stainless steel DN 16 40 117 0016 59,00 DN 25 50 117 0025 82,00 DN 40 65 117 0040 110,00 DN 50 70 117 0050 195,00 KF-Reduzier-T-Stück, Edelstahl Reducing T-piece, stainless steel B (mm) DN 25 25 16 50 45,0 118 2516 82,00 DN 40 40 16 65 52,5 118 4016 105,00 DN 40 40 25 65 57,5 118 4025 112,00 DN 50 50 16 70 56,5 118 5016 155,00 DN 50 50 25 70 59,5 118 5025 170,00 DN 50 50 40 70 67,5 118 5040 190,00 KF-Meß-T-Stück, Edelstahl T-piece with gauge connection, stainless steel B (mm) DN 25 16 16 50 45,0 119 2516 82,00 DN 40 16 16 65 52,5 119 4016 104,00 DN 40 25 25 65 57,5 119 4025 112,00 DN 50 16 16 70 56,5 119 5016 170,00 DN 50 25 25 70 59,5 119 5025 192,00 DN 50 40 40 70 67,5 119 5040 230,00 10 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

KF-Kreuzstück, Edelstahl 4-way cross, stainless steel DN 16 40 120 0016 90,00 DN 25 50 120 0025 115,00 DN 40 65 120 0040 155,00 DN 50 70 120 0050 250,00 KF-Bauteile Components KF KF-Reduzier-Kreuzstück, Edelstahl Reducing 4-way cross, stainless steel B (mm) DN 25 25 16 16 50 45,0 121 2516 120,00 DN 40 40 16 16 65 52,5 121 4016 148,00 DN 40 40 25 25 65 57,5 121 4025 158,00 DN 50 50 16 16 70 56,5 121 5016 215,00 DN 50 50 25 25 70 59,5 121 5025 225,00 DN 50 50 40 40 70 67,5 121 5040 270,00 KF-Schlauchtülle, Edelstahl Hose nipple, stainless steel B (mm) DN 16 12 12 7 125 1612 28,00 DN 25 16 16 10 125 2516 33,00 DN 25 20 20 15 125 2520 34,00 DN 40 16 16 10 125 4016 38,00 DN 40 20 20 15 125 4020 39,00 DN 40 25 25 20 125 4025 40,00 DN 50 25 25 20 125 5025 50,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 11

KF-Bauteile nach DIN 28403 Standardmaße Components KF according to DIN 28403 standard dimensions KF-Einschraub-Anschlußstück, Edelstahl, Außengewinde, zum Einkleben Pipe socket, stainless steel, with external thread, for paste-in DN 16 G 1 / 2 16 30 12 126 1612 30,00 DN 25 G 3 / 4 20 30 12 126 2534 35,00 DN 25 G1 24 30 12 126 2510 35,00 DN 40 G1 1 / 4 35 30 12 126 4014 40,00 DN 40 G1 1 / 2 40 30 12 126 4012 40,00 DN 50 G2 50 35 17 126 5020 60,00 KF-Einschraub-Anschlußstück, Edelstahl, Innengewinde, zum Einkleben Pipe socket, stainless steel, with internal thread, for paste-in DN 16 G 1 / 2 24 30 12 127 1612 35,00 DN 25 G 3 / 4 30 30 12 127 2534 40,00 DN 40 G1 40 30 12 127 4010 46,00 DN 50 G1 1 / 2 52 35 17 127 5012 62,00 DN 50 G2 65 35 17 127 5020 74,00 KF-Quetschverschraubung, Edelstahl, mit O-Ring, Perbunan, für Edelstahlrohr oder Glasrohr Compression fitting, stainless steel, with O-ring, Perbunan, for stainless steel pipe or glass pipe B (mm) DN 10 10 30 130 1010 160,00 DN 25 12 38 130 2512 170,00 DN 40 20 43 130 4020 180,00 DN 40 24 43 130 4024 180,00 DN 40 25 43 130 4025 180,00 Edelstahlrohr Stainless steel pipe B (mm) C (mm) DN 16 20,0 2 1000 132 1620 40,00 DN 25 28,0 2 1000 132 2528 45,00 DN 40 44,5 2 1000 132 4045 55,00 DN 50 57,0 3 1000 132 5057 70,00 Längen bis 6 m lieferbar. Length up to 6 m available. 12 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

KF / ISO-K-Übergangsreduzierstück, Edelstahl Adapter piece KF / ISO-K, stainless steel DN 25 63 50 134 2563 120,00 DN 25 100 50 134 2510 160,00 DN 40 63 50 134 4063 130,00 DN 40 100 50 134 4010 170,00 DN 50 63 50 134 5063 140,00 DN 50 100 50 134 5010 185,00 KF-Bauteile Components KF KF / ISO-K-Übergangszwischenstück, Edelstahl Adapter piece KF / ISO-K, stainless steel DN 25 63 40 135 2563 200,00 DN 40 63 40 135 4063 200,00 DN 40 100 40 135 4010 250,00 DN 50 160 40 135 5016 320,00 KF-Schlauchstutzen, Edelstahl, für PVC-Schlauch Hose nipple, stainless steel, for PVC hose DN 16 20 16 40 136 0016 20,00 DN 25 32 25 40 136 0025 25,00 DN 40 46 40 40 136 0040 35,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 13

KF-Bauteile nach DIN 28403 Standardmaße Components KF according to DIN 28403 standard dimensions PVC-Schlauch, transparent, mit eingegossener Stützspirale PVC hose, transparent, with embedded supporting spiral B (mm) C (mm) DN 16 19 25 1000 137 0016 15,00 DN 25 30 36 1000 137 0025 20,00 DN 40 44 50 1000 137 0040 35,00 PVC-Schlauch, beidseitig mit KF -Flansch PVC hose, with flanges KF on both sides DN 16 250 138 1625 80,00 DN 16 500 138 1650 85,00 DN 16 1000 138 1610 90,00 DN 25 250 138 2525 95,00 DN 25 500 138 2550 99,00 DN 25 1000 138 2510 110,00 DN 40 250 138 4025 120,00 DN 40 500 138 4050 135,00 DN 40 1000 138 4010 160,00 Schlauchbinder, Edelstahl, für PVC-Schlauch Hose clamp, stainless steel, for PVC hose DN 16 25 139 0016 2,00 DN 25 36 139 0025 2,50 DN 40 50 139 0040 3,00 KF-Sichtfenster, mit O-Ring, Viton Viewport, with O-ring, Viton B (mm) DN 16 14 12 140 0016 65,00 DN 25 24 12 140 0025 75,00 DN 40 39 12 140 0040 90,00 DN 50 50 12 140 0050 120,00 14 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

KF-Federungskörper, Edelstahl, hochflexibel, vakuumgeglüht Bellow, stainless steel, high flexibility, vacuum annealed DN 16 60 142 1660 75,00 DN 16 120 143 1612 110,00 DN 25 60 142 2560 108,00 DN 25 120 143 2512 120,00 DN 40 120 143 4012 140,00 DN 50 120 143 5012 190,00 Ausführung mit Membranbalg auf Anfrage. Version with edge-welded bellow optional. KF-Bauteile Components KF KF-Zwischenstück, Edelstahl Intermediate piece, stainless steel DN 16 80 145 1680 70,00 DN 25 100 145 2510 95,00 DN 40 130 145 4013 110,00 DN 50 140 145 5014 150,00 KF-Wellschlauch, Edelstahl, hochflexibel, vakuumgeglüht Metal hose, stainless steel, high flexibility, vacuum annealed DN 16 250 151 1625 75,00 DN 16 500 151 1650 85,00 DN 16 750 151 1675 95,00 DN 16 1000 151 1610 105,00 DN 25 250 152 2525 100,00 DN 25 500 152 2550 110,00 DN 25 750 152 2575 122,00 DN 25 1000 152 2510 130,00 DN 40 250 153 4025 125,00 DN 40 500 153 4050 145,00 DN 40 750 153 4075 160,00 DN 40 1000 153 4010 180,00 DN 50 250 154 5025 165,00 DN 50 500 154 5050 195,00 DN 50 750 154 5075 220,00 DN 50 1000 154 5010 245,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 15

KF-Bauteile nach DIN 28403 Standardmaße Components KF according to DIN 28403 standard dimensions KF-Wellschlauch, Edelstahl, normal flexibel Metal hose, stainless steel, normal flexibility DN 16 250 161 1625 65,00 DN 16 500 161 1650 75,00 DN 16 750 161 1675 80,00 DN 16 1000 161 1610 90,00 DN 25 250 162 2525 85,00 DN 25 500 162 2550 95,00 DN 25 750 162 2575 103,00 DN 25 1000 162 2510 112,00 DN 40 250 163 4025 105,00 DN 40 500 163 4050 122,00 DN 40 750 163 4075 138,00 DN 40 1000 163 4010 150,00 DN 50 250 164 5025 140,00 DN 50 500 164 5050 160,00 DN 50 750 164 5075 180,00 DN 50 1000 164 5010 200,00 Metallschläuche, DN 40 KF und DN 16 KF, Länge 750 mm, super flexibel Durch unser besonderes Glühverfahren unter Vakuum werden die enormen Spannungen, die bei der Kaltumformung von dünnwandigem Rohr zum Metallschlauch entstehen, bei über 1.000 C und anschließendem raschem Abkühlen eliminiert. Metal hoses, DN 40 KF and DN 16 KF, length 750 mm, super flexible Due to our special annealing process under vacuum, the tremendous tensions which arise during the cold forming of thin-walled pipe into metal hose are eliminated at over 1,000 C and subsequent quick cooling. 16 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

ISO-K-Bauteile Components ISO-K

ISO-K-Klammerflansche nach DIN 28404 Clamping flanges ISO-K according to DIN 28404 Klammerflansch-Bauteile können entweder durch Klammerschrauben oder durch einen Überwurfflansch mit Sprengring montiert werden. Der Übergang auf DIN-Flansche ist mit Hilfe von speziellen Überwurfflanschen möglich. Clamping flange components can be mounted by clip bolts or by a collar flange with retaining ring. The transition to DIN flanges is possible with special collar flanges. Werkstoffe Flansche: Edelstahl 1.4435 Federungskörper und Wellschläuche: Edelstahl 1.4435 Überwurfflansche: Edelstahl und Stahl, verzinkt Zentrierringe: Edelstahl und Aluminium (andere Werkstoffe auf Anfrage) Materials Flanges: Stainless steel 1.4435 Metal bellows and metal hoses: Stainless steel 1.4435 Collar flanges: Stainless steel and steel, galvanized Centering rings: Stainless steel and aluminium (other materials on request) Flanschverbindungsarten Flange connection types Anz. Pratzen No. of claws (St./pcs.) Schrauben Thread DN 63 76 3 110 130 4 M 8 DN 100 108 3 145 165 8 M 8 DN 160 159 3 200 225 8 M 10 DN 200 219 3 260 285 12 M 10 DN 250 267 3 310 335 12 M 10 DN 320 326 4 395 425 12 M 12 DN 400 410 5 480 510 16 M 12 DN 500 511 5 580 610 16 M 12 DN 630 663 6 720 750 20 M 12 Bohrungen Boreholes DN 63 76 3 110 130 4 x Ø 9 DN 100 108 3 145 165 8 x Ø 9 DN 160 159 3 200 225 8 x Ø 11 DN 200 219 3 260 285 12 x Ø 11 DN 250 267 3 310 335 12 x Ø 11 DN 320 326 4 395 425 12 x Ø 14 DN 400 410 5 480 510 16 x Ø 14 DN 500 511 5 580 610 16 x Ø 14 DN 630 663 6 720 750 20 x Ø 14 1 Klammerschraube Clamping bolt 2 Zentrierring mit O-Ring und Stützring Centering ring with O-ring and supporting ring 3 Klammerflansch mit Rohransatz Clamping flange with pipe socket 4 Sprengring Retaining ring 5 Überwurfflansch Collar flange 6 Spannpratze Clamping claw 7 Festflansch Fixed flange 18 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

ISO-K-Klammerflansch mit Rohransatz, Edelstahl Clamping flange with pipe socket, stainless steel B (mm) C (mm) DN 63 50 76 3 200 0063 98,00 DN 100 50 108 3 200 0100 130,00 DN 160 50 159 3 200 0160 180,00 DN 200 50 219 3 200 0200 265,00 DN 250 50 267 3 200 0250 325,00 DN 63 100 76 3 201 0063 110,00 DN 100 100 108 3 201 0100 140,00 DN 160 100 159 3 201 0160 195,00 DN 200 100 219 3 201 0200 280,00 DN 250 100 267 3 201 0250 350,00 ISO-K-Bauteile Components ISO-K ISO-K-Anschweißflansch mit Schweißlippe, Edelstahl Clamping flange with welding edge, stainless steel B (mm) DN 63 76,2 4 202 0063 65,00 DN 100 108,3 4 202 0100 87,00 DN 160 159,4 4 202 0160 120,00 DN 200 219,5 4 202 0200 195,00 DN 250 267,6 4 202 0250 250,00 ISO-K-Blindflansch, Edelstahl Clamping blank flange, stainless steel B (mm) C(mm) D(mm) DN 63 95 91 12 70 203 0063 70,00 DN 100 130 125 12 102 203 0100 95,00 DN 160 180 175 12 153 203 0160 165,00 DN 200 240 235 12 213 203 0200 250,00 DN 250 290 285 12 261 203 0250 320,00 DN 320 370 365 17 318 203 0320 440,00 DN 400 450 445 17 400 203 0400 550,00 DN 500 550 545 17 501 203 0500 830,00 DN 630 690 685 22 651 203 0630 1.350,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 19

ISO-K-Klammerflansche nach DIN 28404 Clamping flanges ISO-K according to DIN 28404 Zentrierring mit Außenring, Edelstahl Centering ring with outer ring, stainless steel 20 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. Perbunan DN 63 70 68 3,9 8 205 0063 45,00 DN 100 102 100 3,9 8 205 0100 60,00 DN 160 153 149 3,9 8 205 0160 98,00 DN 200 213 208 3,9 8 205 0200 140,00 DN 250 261 255 3,9 8 205 0250 175,00 Viton DN 63 70 68 3,9 8 206 0063 52,00 DN 100 102 100 3,9 8 206 0100 68,00 DN 160 153 149 3,9 8 206 0160 110,00 DN 200 213 208 3,9 8 206 0200 155,00 DN 250 261 255 3,9 8 206 0250 195,00 Zentrierring mit Außenring, Aluminium Centering ring with outer ring, aluminium Perbunan DN 63 70 68 3,9 8 207 0063 30,00 DN 100 102 100 3,9 8 207 0100 35,00 DN 160 153 149 3,9 8 207 0160 38,00 DN 200 213 208 3,9 8 207 0200 55,00 DN 250 261 255 3,9 8 207 0250 68,00 Viton DN 63 70 68 3,9 8 208 0063 35,00 DN 100 102 100 3,9 8 208 0100 38,00 DN 160 153 149 3,9 8 208 0160 43,00 DN 200 213 208 3,9 8 208 0200 65,00 DN 250 261 255 3,9 8 208 0250 80,00 Ersatz-Rund-Dichtring Spare O-ring for centering ring B (mm) Perbunan DN 63 75,6 5,33 209 0063 3,00 DN 100 107,2 5,33 209 0100 3,00 DN 160 151,8 5,33 209 0160 4,00 DN 200 208,9 5,33 209 0200 5,00 DN 250 253,4 5,33 209 0250 8,00 Viton DN 63 75,6 5,33 210 0063 5,00 DN 100 107,2 5,33 210 0100 7,50 DN 160 151,8 5,33 210 0160 10,00 DN 200 208,9 5,33 210 0200 15,00 DN 250 253,4 5,33 210 0250 20,00

Überwurfflansch mit Sprengring, Edelstahl Collar flange with retaining ring, stainless steel DN 63 130 95,5 110 12 215 0063 75,00 DN 100 165 130,5 145 12 215 0100 98,00 DN 160 225 180,5 200 16 215 0160 145,00 DN 200 285 240,5 260 16 215 0200 230,00 DN 250 335 290,5 310 16 215 0250 295,00 Ersatz-Sprengring, Edelstahl Spare retaining ring, stainless steel B (mm) DN 63 92 3 217 0063 6,00 DN 100 127 3 217 0100 7,00 DN 160 177 5 217 0160 8,00 DN 200 237 5 217 0200 9,00 DN 250 287 5 217 0250 12,00 ISO-K-Bauteile Components ISO-K Klammerschraube, Edelstahl Clamping bolt, stainless steel B (mm) C (mm) DN 63-250 60 M 10 20-32 218 6325 12,00 DN 320-630 82 M 12 30-52 218 3250 15,00 Klammerschraube, Aluminium Clamping bolt, aluminium B (mm) DN 63-100 60 M 8 218 6310 8,00 DN 160-250 60 M 10 218 1625 10,00 DN 320-500 70 M 12 218 3200 12,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 21

ISO-K-Klammerflansche nach DIN 28404 Clamping flanges ISO-K according to DIN 28404 Spannpratze, Edelstahl, zum Verbinden von Festflanschen mit Klammerflanschen Clamping claw, stainless steel for the connection of fixed flanges to clamping flanges B (mm) C (mm) DN 63-100 20 M 8 30 219 6310 8,00 DN 160-250 25 M 10 35 219 1625 9,00 DN 320 30 M 12 40 219 0320 10,00 DN 400-500 30 M 12 40 219 4050 11,00 DN 630 35 M 12 50 219 0630 12,00 Spannpratze, Aluminium Clamping claw, aluminium B (mm) C (mm) DN 63-100 20 M 8 28 219 0010 5,00 DN 160-250 25 M 10 35 219 0025 6,00 DN 320 30 M 12 40 219 0032 8,00 DN 400-500 30 M 12 40 219 0050 9,00 DN 630 35 M 12 50 219 0063 11,00 Edelstahlrohr Stainless steel pipe /Meter /meter B (mm) C (mm) DN 63 76 3 * 220 0063 110,00 DN 100 108 3 * 220 0100 180,00 DN 160 159 3 * 220 0160 230,00 DN 200 219 3 * 220 0200 340,00 DN 250 267 3 * 220 0250 450,00 * Länge nach Kundenspezifikation. * Length at customer's specification. Schauglas mit Überwurfflansch, Aluminium, und Dichtring, Viton Viewport with collar flange, aluminium and gasket, Viton C (mm) D (mm) DN 63 70 22 130 221 0063 300,00 DN 100 102 22 165 221 0100 380,00 DN 160 153 22 225 221 0160 450,00 22 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

ISO-K-Klammerflansch-Rohrwinkel 90, Edelstahl Clamping flange, elbow 90, stainless steel DN 63 88 225 0063 190,00 DN 100 108 225 0100 295,00 DN 160 138 225 0160 640,00 DN 200 178 225 0200 960,00 DN 250 208 225 0250 1.250,00 ISO-K-Klammerflansch-T-Stück, Edelstahl Clamping flange, T-piece, stainless steel B (mm) DN 63 88 176 226 0063 325,00 DN 100 108 216 226 0100 435,00 DN 160 138 276 226 0160 870,00 DN 200 178 356 226 0200 1.200,00 DN 250 208 416 226 0250 1.560,00 ISO-K-Bauteile Components ISO-K ISO-K-Klammerflansch-Kreuzstück, Edelstahl Clamping flange, 4-way cross, stainless steel B (mm) DN 63 88 176 227 0063 480,00 DN 100 108 216 227 0100 650,00 DN 160 138 276 227 0160 1.200,00 DN 200 178 356 227 0200 1.750,00 DN 250 208 416 227 0250 2.200,00 ISO-K-Doppelkreuzstück, Edelstahl Clamping flange, 6-way cross, stainless steel B (mm) C (mm) DN 63 88 176 106 228 0063 900,00 DN 100 108 216 162 228 0100 1.250,00 DN 160 138 276 232 228 0160 1.880,00 DN 200 178 356 228 0200 2.600,00 DN 250 208 416 228 0250 3.200,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 23

ISO-K-Klammerflansche nach DIN 28404 Clamping flanges ISO-K according to DIN 28404 ISO-K-Klammerflansch-Meßstück, Edelstahl Clamping flange, measurement cross piece, stainless steel DN 63 88 44 60 60 229 0063 400,00 DN 100 108 54 75 75 229 0100 500,00 DN 160 138 69 100 100 229 0160 600,00 ISO-K-Klammerflansch-Reduzierstück, Edelstahl Clamping flange, reducing piece, stainless steel DN 100 63 50 230 1063 270,00 DN 160 63 50 230 1663 350,00 DN 160 100 50 230 1610 400,00 DN 200 63 50 230 2063 450,00 DN 200 100 50 230 2010 500,00 DN 200 160 100 230 2016 600,00 DN 250 63 50 230 2563 500,00 DN 250 100 50 230 2510 550,00 DN 250 160 100 230 2516 650,00 DN 250 200 100 230 2520 750,00 Reduzier-Übergangsflansch ISO-K / ISO-K, Edelstahl Adapter flange ISO-K / ISO-K, stainless steel DN 160 63 4xM 8 110 70 22 231 1663 400,00 DN 160 100 8xM 8 145 102 22 231 1610 450,00 DN 200 63 4xM 8 110 70 22 231 2063 550,00 DN 200 100 8xM 8 145 102 22 231 2010 600,00 DN 250 63 4xM 8 110 70 22 231 2563 700,00 DN 250 100 8xM 8 145 102 22 231 2510 750,00 DN 250 160 8xM10 200 153 22 231 2516 800,00 24 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

ISO-K-Klammerflansch-Federungskörper, Edelstahl, normalflexibel Clamping flange, flexible bellow, stainless steel, normal flexibility DN 63 130 232 0063 280,00 DN 100 130 232 0100 400,00 DN 160 200 232 0160 650,00 DN 200 250 232 0200 930,00 DN 250 250 232 0250 1.200,00 ISO-K-Klammerflansch-Federungskörper, Edelstahl, hochflexibel, vakuumgeglüht Clamping flange, flexible bellow, stainless steel, high flexibility, vacuum annealed DN 63 130 233 0063 300,00 DN 100 130 233 0100 430,00 DN 160 200 233 0160 700,00 DN 200 250 233 0200 1.000,00 DN 250 250 233 0250 1.300,00 ISO-K-Bauteile Components ISO-K ISO-K-Klammerflansch-Wellschlauch, Edelstahl, normalflexibel Clamping flange, metal hose, stainless steel, normal flexibility DN 63 250 240 6325 300,00 DN 63 500 240 6350 350,00 DN 63 750 240 6375 380,00 DN 63 1000 240 6310 400,00 DN 100 250 241 1025 440,00 DN 100 500 241 1050 530,00 DN 100 750 241 1075 590,00 DN 100 1000 241 1010 640,00 DN 160 250 242 1625 650,00 DN 160 500 242 1650 700,00 DN 160 750 242 1675 750,00 DN 160 1000 242 1610 800,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 25

ISO-K-Klammerflansche nach DIN 28404 Clamping flanges ISO-K according to DIN 28404 ISO-K-Klammerflansch-Wellschlauch, Edelstahl, hochflexibel, vakuumgeglüht Clamping flange, metal hose, stainless steel, high flexibility, vacuum annealed DN 63 250 245 6325 330,00 DN 63 500 245 6350 380,00 DN 63 750 245 6375 440,00 DN 63 1000 245 6310 470,00 DN 100 250 246 1025 490,00 DN 100 500 246 1050 570,00 DN 100 750 246 1075 630,00 DN 100 1000 246 1010 680,00 DN 160 250 247 1625 700,00 DN 160 500 247 1650 750,00 DN 160 750 247 1675 800,00 DN 160 1000 247 1610 900,00 26 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

CF- / COF-Bauteile Components CF / COF

CF-Bauteile nach ISO / TS 3669-2 Components CF according to ISO / TS 3669-2 Die in diesem Katalog abgebildeten CF-Flansche (Conflat -Flansche) entsprechen der Technischen Spezifikation ISO / TS 3669-2 Werkstoffauswahl und Behandlung sowie geeignete Fügeverfahren garantieren eine kleinstmögliche Gasabgabe erreichbares Endvakuum 10-12 mbar ausheizbar bis 300 C Standard-Werkstoff für die Flansche 1.4435 oder adäquat, je nach Verfügbarkeit oder Anfrage Standard-Werkstoff für die Rohre 1.4435 oder adäquat Permeabilität der Standard-Flansche µ rel 1.05 UHV-Flansche bis DN 1000 UHV-Bauteile mit Flanschen aus Schmiedeteilen Werkstoff 1.4429 ESU lieferbar Wasserstoffarmglühen möglich Bauteile UHV-gerecht gereinigt Bauteile Helium-leckgetestet Bauteile mit abgesenkten Werten der magnetischen Permeabilität µ rel auf Anfrage The flanges CF shown in this catalogue correspond with the technical specification ISO / TS 3669-2 Material selection and treatment as well as suitable joining process guarantee smallest possible gas release Attainable end vacuum 10-12 mbar Bakable up to 300 C Standard material for the flanges 1.4435 or adequate, depending on current availability or request Standard material for the pipes 1.4435 or adequate Permeability of the standard flanges µ rel 1.05 UHV flanges up to nominal width DN 1000 UHV components deliverable with flanges made of forged parts material 1.4429 ESU Low hydrogen annealing possible Components cleaned suitably for UHV Components helium leak tested Components with lowered magnetic permeability values µ rel on request Dichtungsprinzip Mit leichtem Spiel fügt sich ein Kupfer-Flachring in die Flanschausdrehung ein und zentriert dabei die Flanschpaare. Die Flanschschneiden verformen nach Anzug der Schrauben den Dichtring nicht nur axial sondern auch radial nach außen. Dadurch ist ein Fließen auch bei den relativ hohen Ausheiztemperaturen nicht möglich. Sealing principle A copper gasket fits properly into the flange bore and centers the flange pairs thereby. After the screw tightening, the flange edges shape the seal ring not only axially but also radially outwards. This prevents creeping even at relatively high bake-out temperatures. Nominal width D D ("/inch) D D (mm) Lkr Ø Lkr dia. (mm) Bohrungen Anzahl/Ø Bores number/dia. Innenmaß Inner dimension (mm) Anzugsmoment Tightening torque (Nm) DN 16 CF 1 1 / 3 " 33,8 27,0 6 x Ø 4,3 16 4 DN 40 CF 2 ¾" 69,9 58,7 6 x Ø 6,4 38 10 DN 63 CF 4 ½" 114,3 92,2 8 x Ø 8,5 66 20 DN 100 CF 6" 152,4 130,3 16 x Ø 8,5 100 20 DN 160 CF 8" 203,2 181,0 20 x Ø 8,5 150 20 DN 200 CF 10" 254,0 231,8 24 x Ø 8,5 200 20 DN 250 CF 12" 304,8 284,0 32 x Ø 8,5 250 20 28 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

CF-Blindflansch, fest Blank flange, non-rotatable DN 16 7,3 300 0016 20,00 DN 40 13,0 300 0040 30,00 DN 63 17,5 300 0063 70,00 DN 100 20,0 300 0100 100,00 DN 160 22,0 300 0160 150,00 DN 200 24,5 300 0200 290,00 DN 250 26,0 300 0250 450,00 CF-Blindflansch, drehbar Blank flange, rotatable B (mm) C (mm) DN 16 7,3 5,8 19,0 301 0016 22,00 DN 40 13,0 7,6 41,5 301 0040 35,00 DN 63 19,0 12,7 71,0 301 0063 80,00 DN 100 21,5 14,3 105,0 301 0100 120,00 DN 160 24,0 15,8 155,0 301 0160 200,00 DN 200 24,5 17,1 208,0 301 0200 350,00 DN 250 26,0 18,0 258,0 301 0250 580,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF CF-Anschweißflansch, fest Welding flange, non-rotatable DN 16 7,3 4,0 18,2 16 302 0016 20,00 DN 40 13,0 5,0 41,3 38 302 0038 30,00 DN 63 17,5 10,0 70,5 66 302 0063 70,00 DN 100 20,0 10,0 104,5 100 302 0100 100,00 DN 160 22,0 10,0 154,5 150 302 0160 150,00 DN 200 24,5 12,0 206,5 200 302 0200 290,00 DN 250 26,0 12,0 256,5 250 302 0250 450,00 CF-Anschweißflansch, drehbar Welding flange, rotatable DN 16 7,3 4,0 18,2 16 303 0016 25,00 DN 40 13,0 5,0 41,3 38 303 0038 35,00 DN 63 19,0 10,0 70,5 66 303 0063 80,00 DN 100 21,5 10,0 104,5 100 303 0100 120,00 DN 160 24,0 10,0 154,5 150 303 0160 200,00 DN 200 24,5 12,0 206,5 200 303 0200 380,00 DN 250 26,0 12,0 256,5 250 303 0250 600,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 29

CF-Bauteile nach ISO / TS 3669-2 Components CF according to ISO / TS 3669-2 CF-Anschweißflansch, fest, mit Gewindelöchern Welding flange, non-rotatable, with tapped bolt holes DN 16 7,3 4,0 18,2 M 4 304 0016 25,00 DN 40 13,0 5,0 41,3 M 6 304 0038 35,00 DN 63 17,5 10,0 70,5 M 8 304 0063 80,00 DN 100 20,0 10,0 104,5 M 8 304 0100 110,00 DN 160 22,0 10,0 154,5 M 8 304 0160 165,00 DN 200 24,5 12,0 206,5 M 8 304 0200 350,00 DN 250 26,0 12,0 256,5 M 8 304 0250 550,00 CF-Anschweißflansch, drehbar, mit Gewindelöchern Welding flange, rotatable, with tapped bolt holes DN 16 7,3 4,0 18,2 M 4 305 0016 30,00 DN 40 13,0 5,0 41,3 M 6 305 0038 42,00 DN 63 19,0 10,0 70,5 M 8 305 0063 100,00 DN 100 21,5 10,0 104,5 M 8 305 0100 140,00 DN 160 24,0 10,0 154,5 M 8 305 0160 200,00 DN 200 24,5 12,0 206,5 M 8 305 0200 400,00 DN 250 26,0 12,0 256,5 M 8 305 0250 650,00 CF-Einschweißflansch Weld-in flange / DN 16 16,0 34,0 10,0 M 4 306 0016 70,00 DN 40 20,0 70,0 12,0 M 6 306 0038 90,00 DN 63 24,0 114,0 16,0 M 8 306 0063 180,00 DN 100 24,0 152,0 16,0 M 8 306 0100 275,00 DN 160 28,0 203,0 18,0 M 8 306 0160 380,00 DN 200 28,0 253,0 18,0 M 8 306 0200 500,00 Größere n und doppelseitige Einschweißflansche auf Anfrage. Larger dimensions und double-sided flanges optional. 30 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

CF-Anschweißflansch, fest, mit Rohrstutzen Welding flange, non rotatable, with pipe socket DN 16 7,3 12,0 18,0 1,0 307 1612 50,00 DN 16 7,3 30,0 18,0 1,0 307 1630 60,00 DN 40 13,0 40,0 41,0 1,5 307 0038 70,00 DN 63 17,5 50,0 70,0 2,0 307 0063 130,00 DN 100 20,0 60,0 104,0 2,0 307 0100 180,00 DN 160 22,0 70,0 154,0 2,0 307 0160 290,00 CF-Anschweißflansch, drehbar, mit Rohrstutzen Welding flange, rotatable, with pipe socket DN 16 7,3 12,0 18,0 1,0 308 1612 55,00 DN 16 7,3 30,0 18,0 1,0 308 1630 65,00 DN 40 13,0 40,0 41,0 1,5 308 0038 80,00 DN 63 19,0 50,0 70,0 2,0 308 0063 160,00 DN 100 21,5 60,0 104,0 2,0 308 0100 230,00 DN 160 24,0 70,0 154,0 2,0 308 0160 320,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF CF-Zwischenstück, 1 Flansch drehbar Intermediate piece, 1 flange rotatable DN 16 38 310 0016 120,00 DN 40 63 310 0038 130,00 DN 63 105 310 0063 280,00 DN 100 135 310 0100 360,00 DN 160 167 310 0160 550,00 DN 200 210 310 0200 950,00 DN 250 225 310 0250 1.400,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 31

CF-Rohrbauteile Pipe components CF n DN 16 CF - DN 63 CF mit gleichen Rohr- querschnitten, von außen durchgeschweißt, Flansche innen geschweißt. s DN 16 CF - DN 63 CF same pipe crosssections, welded with full penetration from the outside, flanges welded inside. n DN 100 CF - DN 250 CF, Verwendung von Kugelkörpern, alle Schweißnähte von innen geschweißt. Nominal dimensions DN 100 CF - DN 250 CF, use of spheres, all welded seams are welded from the inside. Oberflächen innen und außen glasperlenfeingestrahlt, außer Dichtflächen. Surfaces glass bead blasted with glass beads on the inside and outside, except sealing faces. Bauteile mit abgesenkten Werten der Permeabilität µ rel auf Anfrage. Components with lowered permeability values µ rel on request. CF-Winkelstück, 1 Flansch drehbar Elbow 90, 1 flange rotatable C (mm) DN 16 38 311 0016 140,00 DN 40 63 311 0040 190,00 DN 63 105 106 311 0063 380,00 DN 100 135 162 311 0100 540,00 DN 160 167 232 311 0160 750,00 DN 200 210 307 311 0200 1.500,00 DN 250 225 405 311 0250 2.100,00 CF-T-Stück, 2 Flansche drehbar T-piece, 2 flanges rotatable B (mm) C (mm) DN 16 38 76 312 0016 200,00 DN 40 63 126 312 0040 270,00 DN 63 105 210 106 312 0063 500,00 DN 100 135 270 162 312 0100 700,00 DN 160 167 334 232 312 0160 1.060,00 DN 200 210 420 307 312 0200 1.900,00 DN 250 225 450 405 312 0250 2.700,00 CF-Kreuzstück, 2 Flansche drehbar 4-way cross, 2 flanges rotatable B (mm) C (mm) DN 16 38 76 313 0016 250,00 DN 40 63 126 313 0040 340,00 DN 63 105 210 106 313 0063 620,00 DN 100 135 270 162 313 0100 950,00 DN 160 167 334 232 313 0160 1.450,00 DN 200 210 420 307 313 0200 3.000,00 DN 250 225 450 405 313 0250 3.700,00 32 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Andere Ausführungen, z.b. mit mehreren Reduzierungen, auf Anfrage. Other versions optional, e.g. multiple reductions on request. CF-Doppel-Kreuzstück, 3 Flansche drehbar 6-way cross, 3 flanges rotatable B (mm) C (mm) DN 16 38 76 314 0016 500,00 DN 40 63 126 85 314 0040 670,00 DN 63 105 210 106 314 0063 1.300,00 DN 100 135 270 162 314 0100 1.850,00 DN 160 167 334 232 314 0160 2.700,00 DN 200 210 420 307 314 0200 4.000,00 DN 250 225 450 405 314 0250 6.300,00 CF-Reduzierflansch Reducing flange B (mm) C (mm) DN 40 / 16 20 12 M 4 320 4016 100,00 DN 63 / 16 24 16 M 4 320 6316 150,00 DN 63 / 40 24 12 M 6 320 6340 150,00 DN 100 / 40 24 16 M 6 320 1040 200,00 DN 100 / 63 24 12 M 8 320 1063 220,00 DN 160 / 40 24 16 M 6 320 1640 300,00 DN 160 / 63 24 16 M 8 320 1663 330,00 DN 160 / 100 24 16 M 8 320 1610 350,00 DN 200 / 40 24 16 M 6 320 2040 500,00 DN 200 / 63 24 16 M 8 320 2063 520,00 DN 200 / 100 24 16 M 8 320 2010 550,00 DN 200 / 160 24 16 M 8 320 2016 550,00 DN 250 / 40 26 16 M 6 320 2540 575,00 DN 250 / 63 26 16 M 8 320 2563 600,00 DN 250 / 100 26 16 M 8 320 2510 620,00 DN 250 / 160 26 16 M 8 320 2516 680,00 DN 250 / 200 26 16 M 8 320 2520 750,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF CF-Reduzierstück, 1 Flansch drehbar Reducing piece, 1 flange rotatable DN 40 / 16 50 321 4016 150,00 DN 63 / 16 60 321 6316 200,00 DN 63 / 40 75 321 6340 240,00 DN 100 / 40 95 321 1040 290,00 DN 100 / 63 95 321 1063 360,00 DN 160 / 40 120 321 1640 380,00 DN 160 / 63 120 321 1663 450,00 DN 160 / 100 120 321 1610 500,00 DN 200 / 63 120 321 2063 560,00 DN 200 / 100 120 321 2010 650,00 DN 200 / 160 120 321 2016 780,00 DN 250 / 100 120 321 2510 890,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 33

CF-Rohrbauteile Pipe components CF Übergangs-Reduzierstück CF / KF Adapter piece CF / KF DN 16 / 16 35 322 1616 90,00 DN 40 / 16 35 322 4016 100,00 DN 40 / 25 35 322 4025 110,00 DN 40 / 40 50 322 4040 120,00 DN 63 / 25 40 322 6325 160,00 DN 63 / 40 45 322 6340 180,00 DN 63 / 50 45 322 6350 205,00 DN 100 / 25 50 322 1025 220,00 DN 100 / 40 55 322 1040 240,00 DN 100 / 50 55 322 1050 275,00 Übergangs-Reduzierstück CF / ISO-K Adapter piece CF / ISO-K DN 63 / 63 60 323 6363 230,00 DN 100 / 63 60 323 1063 300,00 DN 100 / 100 110 323 1010 350,00 DN 160 / 63 110 323 1663 400,00 DN 160 / 100 110 323 1610 500,00 DN 160 / 160 110 323 1616 550,00 CF-Meßflansch, Zwischenflansch mit Gewinde, 1 seitlicher Rohrstutzen DN 16 CF Double sided flange, with lateral pipe socket DN 16 CF, with tapped bolt holes B (mm) C (mm) D (mm) DN 63 28 90 66 16 326 0063 400,00 DN 100 28 110 100 12 326 0100 500,00 DN 160 28 135 150 12 326 0160 650,00 CF-Zwischenstück, mit 2 seitlichen Flanschanschlüssen DN 40 CF Intermediate piece, with 2 lateral flanges DN 40 CF B (mm) C (mm) DN 63 / 40 / 40 215 135 67,5 327 0063 600,00 DN 100 / 40 / 40 250 135 67,5 327 0100 650,00 DN 160 / 40 / 40 300 167 83,5 327 0160 900,00 3 Flansche drehbar. 3 flanges rotatable. 34 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

CF-Wellschlauch, 1 Flansch drehbar, hochflexibel, vakuumgeglüht Metal hose, 1 flange rotatable, high flexibility, vacuum annealed DN 16 250 330 1625 190,00 DN 16 500 330 1650 220,00 DN 16 750 330 1675 250,00 DN 16 1000 330 1610 280,00 DN 40 250 331 4025 280,00 DN 40 500 331 4050 315,00 DN 40 750 331 4075 360,00 DN 40 1000 331 4010 390,00 DN 63 250 332 6325 450,00 DN 63 500 332 6350 500,00 DN 63 750 332 6375 540,00 DN 63 1000 332 6310 580,00 DN 100 250 333 1025 600,00 DN 100 500 333 1050 650,00 DN 100 750 333 1075 700,00 DN 100 1000 333 1010 780,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF CF-Wellschlauch, 1 Flansch drehbar, normalflexibel Metal hose, 1 flange rotatable, normal flexibility DN 16 250 335 1625 170,00 DN 16 500 335 1650 200,00 DN 16 750 335 1675 220,00 DN 16 1000 335 1610 250,00 DN 40 250 336 4025 250,00 DN 40 500 336 4050 300,00 DN 40 750 336 4075 320,00 DN 40 1000 336 4010 340,00 DN 63 250 337 6325 410,00 DN 63 500 337 6350 435,00 DN 63 750 337 6375 470,00 DN 63 1000 337 6310 520,00 DN 100 250 338 1025 530,00 DN 100 500 338 1050 560,00 DN 100 750 338 1075 600,00 DN 100 1000 338 1010 650,00 DN 160 250 339 1625 800,00 DN 160 500 339 1650 880,00 DN 160 750 339 1675 960,00 DN 160 1000 339 1610 1.050,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 35

CF-Rohrbauteile Pipe components CF CF-Federungskörper, 1 Flansch drehbar, hochflexibel, vakuumgeglüht Flexible bellow, 1 flange rotatable, high flexibility, vacuum annealed DN 16 110 340 0016 180,00 DN 40 160 340 0040 230,00 DN 63 250 340 0063 390,00 DN 100 250 340 0100 490,00 DN 160 270 340 0160 850,00 DN 200 300 340 0200 1.300,00 DN 250 320 340 0250 1.850,00 CF-Federungskörper, 1 Flansch drehbar, normalflexibel Flexible bellow, 1 flange rotatable, normal flexibility DN 16 110 341 0016 180,00 DN 40 160 341 0040 220,00 DN 63 250 341 0063 370,00 DN 100 250 341 0100 460,00 DN 160 270 341 0160 780,00 DN 200 300 341 0200 1.180,00 DN 250 320 341 0250 1.720,00 CF-Membranbalg, 1 Flansch drehbar Edge welded bellow, 1 flange rotatable B (mm) C (mm) DN 16 87 102 16 342 0016 500,00 DN 40 130 155 35 342 0040 550,00 DN 63 170 200 64 342 0063 700,00 DN 100 190 220 100 342 0100 1.000,00 DN 160 204 244 150 342 0160 1.250,00 DN 200 * * * 342 0200 * DN 250 * * * 342 0250 * * Nach Spezifikation. * Other dimensions and versions optional. 36 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

CF-Membranbalg mit Justierstück, 1 Flansch drehbar Edge welded bellow with adjustment piece, 1 flange rotatable B (mm) C (mm) DN 40 130 155 35 343 0040 1.000,00 DN 63 170 200 64 343 0063 1.250,00 DN 100 190 220 100 343 0100 1.850,00 CF-Sichtfenster, Borosilikatglas (7056) Viewport, borosilicate glass (7056) B (mm) DN 16 15,9 345 0016 180,00 DN 40 35,0 345 0040 230,00 DN 63 68,0 345 0063 430,00 DN 100 98,0 345 0100 650,00 DN 160 136,0 345 0160 1.050,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF CF-Zwischenstück, Keramik Intermediate piece, ceramics B (mm) C (mm) DN 40 25 30 78 348 0040 600,00 DN 63 45 40 113 348 0063 930,00 DN 100 85 60 121 348 0100 1.350,00 DN 160 144 90 160 348 0160 * * Auf Anfrage. * On request. CF-Kupfer-Dichtungen, (OFHC-Cu), 10 Stück Copper gaskets, set of 10 B (mm) C (mm) DN 16 21,3 16,2 2 350 0016 20,00 DN 40 48,1 36,8 2 350 0040 25,00 DN 63 82,4 63,6 2 350 0063 40,00 DN 100 120,5 101,7 2 350 0100 55,00 DN 160 171,2 152,5 2 350 0160 105,00 DN 200 222,0 203,3 2 350 0200 200,00 DN 250 273,0 254,0 2 350 0250 350,00 * Vakuumgeglühte Kupferdichtungen auf Anfrage. * Copper gaskets, vacuum annealed, on request. Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 37

CF-Rohrbauteile Pipe components CF CF-Schraubensatz, Edelstahl, 25 Stück Screws, nuts and washers, stainless steel, set of 25 B (mm) Erforderliche Anz. pro Flanschverbindung Necessary number per flange connection Stück / pcs. DN 16 20 M 4 6 355 0016 20,00 DN 40 35 M 6 6 355 0040 22,00 DN 63 50 M 8 8 355 0063 23,00 DN 100 55 M 8 16 355 0100 25,00 DN 160 60 M 8 20 355 0160 27,00 DN 200 60 M 8 24 355 0200 30,00 DN 250 65 M 8 32 355 0250 32,00 CF-Stiftschraubensatz, Edelstahl, 25 Stück Stud screws, nuts and washers, stainless steel, set of 25 B (mm) Erforderliche Anz. pro Flanschverbindung Necessary number per flange connection Stück / pcs. DN 16 16 M 4 6 357 0016 40,00 DN 40 20 M 6 6 357 0040 50,00 DN 63 30 M 8 8 357 0063 60,00 DN 100 30 M 8 16 357 0100 65,00 DN 160 35 M 8 20 357 0160 70,00 Hochtemperatur-Schmiermittel, für Schrauben High-temperature lubricant, for screws Konfektionierung Packing Inhalt Content (g) Temperaturbeständigkeit Temperature resistance ( C) Tube 50 600 359 0000 25,00 38 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

COF-Bauteile Components COF Das Prinzip der COF-Dichtung besteht darin, dass ein Ring aus Cu (OFHC) zwischen zwei Flanschen mit unterschiedlichem Profil ( male und female ) fest eingepresst wird. The principle of the COF seal is based on pressing a Cu ring (OFHC) tightly between two flanges with different profiles ( male and female ). Die Dichtung passt sich den nach innen angeschrägten Dichtflächen an, wodurch das Dichtmaterial auch bei hohen Ausheiztemperaturen nicht fließen kann. COF-Bauteile sind nicht genormt. Nachstehend finden Sie eine Auswahl gängiger Baugrößen. Alle Zwischengrößen sind herstellbar, auch als Gegenflansch zu den bereits vorhandenen. The seal adapts to the inner beveled sealing faces which prevents the sealing material from creeping even at high bake-out temperatures. COF components are not standardized. In this chapter you will find a selection of common manufactured sizes. All intermediate sizes can be manufactured, also as counter flange for existing ones. Prinzip der COF-Dichtung Principle of the COF seal CF- / COF-Bauteile Components CF / COF Von PINK entwickelte Kugelkammer zur Durchführung photoelektronischer Spektroskopie bei Bessy II, Berlin. With this chamber, designed by PINK, multi-coincidence photoelectron spectroscopy of free atoms and molecules is performed at Bessy II, Berlin. Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 39

COF-Bauteile Components COF COF-Blindflansch male, Edelstahl Blank flange, male, stainless steel B (mm) C (mm) DN 250 28,5 314 288,3 390 0250 950,00 DN 300 28,5 371 345,4 390 0300 1.300,00 DN 350 28,5 438 399,0 390 0350 1.800,00 DN 400 33,0 497 454,0 390 0400 2.200,00 DN 450 38,0 562 513,1 390 0450 2.600,00 DN 500 40,0 605 560,0 390 0500 3.200,00 DN 600 45,0 690 655,0 390 0600 4.000,00 DN 800 50,0 900 865,0 390 0800 5.500,00 DN 1000 55,0 1100 1065,0 390 1000 7.500,00 Ab DN 400 mit Klöpper- oder Flachboden. Torospherical or flat bottom for DN 400 and larger. COF-Blindflansch female, Edelstahl Blank flange, female, stainless steel B (mm) C (mm) DN 250 28,5 314 288,3 391 0250 950,00 DN 300 28,5 371 345,4 391 0300 1.300,00 DN 350 28,5 438 399,0 391 0350 1.800,00 DN 400 33,0 497 454,0 391 0400 2.200,00 DN 450 38,0 562 513,1 391 0450 2.600,00 DN 500 40,0 605 560,0 391 0500 3.200,00 DN 600 45,0 690 655,0 391 0600 4.000,00 DN 800 50,0 900 865,0 391 0800 5.500,00 DN 1000 55,0 1100 1065,0 391 1000 7.500,00 Ab DN 400 mit Klöpper- oder Flachboden. Torospherical or flat bottom for DN 400 and larger. 40 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

COF-Anschweißflansch male, Edelstahl Welding flange male, stainless steel DN 250 28,5 314 288,3 250 392 0250 950,00 DN 300 28,5 371 345,4 300 392 0300 1.300,00 DN 350 28,5 438 399,0 350 392 0350 1.800,00 DN 400 33,0 497 454,0 400 392 0400 2.200,00 DN 450 38,0 562 513,1 450 392 0450 2.500,00 DN 500 40,0 605 560,0 500 392 0500 3.000,00 DN 600 45,0 690 655,0 600 392 0600 3.500,00 DN 800 50,0 900 865,0 800 392 0800 4.600,00 DN 1000 55,0 1100 1065,0 1000 392 1000 6.300,00 COF-Anschweißflansch female, Edelstahl Welding flange female, stainless steel DN 250 28,5 314 288,3 250 393 0250 950,00 DN 300 28,5 371 345,4 300 393 0300 1.300,00 DN 350 28,5 438 399,0 350 393 0350 1.800,00 DN 400 33,0 497 454,0 400 393 0400 2.200,00 DN 450 38,0 562 513,1 450 393 0450 2.500,00 DN 500 40,0 605 560,0 500 393 0500 3.000,00 DN 600 45,0 690 655,0 600 393 0600 3.500,00 DN 800 50,0 900 865,0 800 393 0800 4.600,00 DN 1000 55,0 1100 1065,0 1000 393 1000 6.300,00 CF- / COF-Bauteile Components CF / COF Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 41

COF-Bauteile Components COF COF O-Ring Dichtungen, Cu (OFHC) O-ring gaskets, Cu (OFHC) B (mm) DN 250 270,9 2 394 0250 50,00 DN 300 328,0 2 394 0300 60,00 DN 350 378,8 2 394 0350 75,00 DN 400 433,6 2 394 0400 90,00 DN 450 489,2 2 394 0450 100,00 DN 500 536,0 2 394 0500 120,00 DN 600 630,0 2 394 0600 150,00 DN 800 830,0 2 394 0800 210,00 DN 1000 1.040,0 2 394 1000 300,00 COF O-Ring Dichtungen, Viton O-ring gaskets, Viton B (mm) DN 250 270 2,5 395 0250 40,00 DN 300 328 2,5 395 0300 50,00 DN 350 379 2,5 395 0350 70,00 DN 400 434 2,5 395 0400 80,00 DN 450 489 2,5 395 0450 90,00 DN 500 536 2,5 395 0500 100,00 DN 600 630 2,5 395 0600 120,00 DN 800 830 2,5 395 0800 145,00 DN 1000 1.040 2,5 395 1000 180,00 COF-Schraubensatz, Edelstahl, 25 Stück Screws, nuts and washers, stainless steel, set of 25 Nominal dia. B (mm) Erforderliche Anz. pro Flanschverbindung Necessary number per flange connection Stück / pcs. DN 250 70 M 10 24 396 0250 55,00 DN 300 70 M 10 32 396 0300 70,00 DN 350 75 M 12 36 396 0350 120,00 DN 400 75 M 12 36 396 0400 120,00 DN 450 90 M 16 36 396 0450 220,00 DN 500 90 M 16 36 396 0500 220,00 DN 600 100 M 16 40 396 0600 340,00 DN 800 110 M 16 60 396 0800 500,00 DN 1000 120 M 16 72 396 1000 650,00 Hochtemperatur-Schmiermittel, für Schrauben High-temperature lubricant, for screws Konfektionierung Packing Inhalt Content (g) Temperaturbeständigkeit Temperature resistance ( C) Tube 50 600 359 0000 25,00 42 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves

Membranbälge, Hochvakuum-Ventile, Ultrahochvakuum-Ventile und Gasschleusen Edge welded bellows, high vacuum valves, ultra high vacuum valves and gas locks Membranbälge n 14 mm - 100 mm Innendurchmesser Edge welded bellows s 14 mm - 100 mm inside Federbalg-Eckventile, handbetätigt n DN 16 KF - DN 50 KF DN 63 ISO-K - DN 160 ISO-K DN 16 CF - DN 63 CF Angle valves with bellow, manually operated s DN 16 KF - DN 50 KF DN 63 ISO-K - DN 160 ISO-K DN 16 CF - DN 63 CF Federbalg-Eckventile, elektro-pneumatisch, mit Lagemeldung und Steuer-Luftventil n DN 16 KF - DN 50 KF DN 63 ISO-K - DN 160 ISO-K DN 16 CF - DN 63 CF Angle valves with bellow, electro-pneumatic, with indication of position and control air valve s DN 16 KF - DN 50 KF DN 63 ISO-K - DN 160 ISO-K DN 16 CF - DN 63 CF CF-Ganzmetall-Eckventile n DN 16 CF - DN 63 CF All metal angle valves CF s DN 16 CF - DN 63 CF Federbalg-Durchgangsventile, handbetätigt n DN 16 KF - DN 40 KF Inline valves with bellow, manually operated s DN 16 KF - DN 40 KF Federbalg-Eckventile, handbetätigt mit Feinregelung (Doppelsitz) n DN 16 KF - DN 50 KF Angle valves with bellow, manually operated, with precision setting (double seat) s DN 16 KF - DN 50 KF Eckventile bis DN 1000 Angle valves up to DN 1000 Sonderventile in allen n, und Ausführungen auf Anfrage Special valves in all nominal widths, dimensions and designs on request Kugelventile in Edelstahl und Messing vernickelt Ball valves in stainless steel or nickel-plated brass Membranventile in Aluminium n DN 10 KF - DN 25 KF Diaphragm valves made of aluminium s DN 10 KF - DN 25 KF Belüftungsventile, Überdruckventile, Nadelventile, Gasschleusen Air release valves, pressure relief valves, needle valves, gas locks 44 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves Wir sind in der Lage, Ihnen ein vielseitiges Produkt programm von Standardmembranbälgen der n 14-100 mm anzubieten. Je nach Kundenwunsch können wir einzelne Membranpaare oder Komplettlösungen liefern. Als Werkstoff verwenden wir Edelstahl 1.4435 (316L). Die Membranbälge unterliegen unseren hohen Qualitätsansprüchen und werden ausschließlich Micro-Plasma-geschweißt. Gerne übernehmen wir für Sie die Balgauslegung. Membranbälge, Edelstahl, Micro-Plasma geschweißt Edge welded bellows, stainless steel, micro-plasma welded Innen-Ø Inside Ø (mm) Außen-Ø Outside Ø (mm) Hub * Stroke * (mm) kleinste Länge minimum length (mm) We are able to offer a broad range of standard edge welded bellows with nominal widths ranging from 14-100 mm. Depending on customer s requirements, we are able to supply individual bellows or complete solutions. As material we use stainless steel 1.4435 (316L). The edge welded bellows are subject to our high quality standards and are exclusively micro-plasma welded. Please do not hesitate to ask for the bellow s dimensioning. größte Länge maximum length (mm) 14 25 0,6 0,35 0,95 398 1425 auf Anfrage / On request 18 32 0,9 0,35 1,25 398 1832 auf Anfrage / On request 22 49 2,0 0,50 2,50 398 2249 auf Anfrage / On request 39 58 1,7 0,50 2,20 398 3958 auf Anfrage / On request 64 89 2,1 0,50 2,60 398 6489 auf Anfrage / On request 90 115 2,1 0,50 2,60 398 9011 auf Anfrage / On request 100 130 2,2 0,60 2,80 398 1013 auf Anfrage / On request * pro Membranpaar * per single bellow Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves Die Hubweiten in der Tabelle sind ausgelegt für max. 10.000 Lastwechsel bei Temperaturen von 20 C bis max. 60 C. Für abweichende Einsatzbedingungen fragen Sie bitte bei uns an. The stroke limits indicated in the data table are dimensioned for max. 10,000 cycles at temperatures of 20 C up to max. 60 C. For different ranges of application, please don t hesitate to contact us. Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 45

KF-Ventile und Zubehör Valves and accessories KF Federbalg-Eckventil, handbetätigt, Edelstahl, Viton-gedichtet Angle valve with bellow, manually operated, stainless steel, Viton sealed DN 16 KF 105 50 40 40 400 0016 320,00 DN 25 KF 110 50 50 50 400 0025 350,00 DN 40 KF 120 67 65 65 400 0040 450,00 DN 50 KF 128 90 70 70 400 0050 590,00 DN 63 ISO-K 180 117 88 88 400 0063 990,00 DN 100 ISO-K 210 150 108 108 400 0100 1.300,00 DN 160 ISO-K 260 240 138 138 400 0160 1.950,00 Federbalg-Durchgangsventil, handbetätigt, Edelstahl, Viton-gedichtet Inline valve with bellow, manually operated, stainless steel, Viton sealed DN 16 KF 111 60 40 80 405 0016 500,00 DN 25 KF 115 60 50 100 405 0025 600,00 DN 40 KF 140 90 65 130 405 0040 700,00 Ersatz-Ventileinsatz für handbetätigte Federbalg-Ventile mit Viton-Dichtungen Spare kit for manually operated valves with bellows and Viton seals DN 16 KF 401 0016 170,00 DN 25 KF 401 0025 170,00 DN 40 KF 401 0040 240,00 DN 50 KF 401 0050 310,00 DN 63 ISO-K 401 0063 500,00 Ersatz-Dichtungen, Viton, für Gehäuse und Ventilsitz Spare seals for valves, Viton, for valve body and seat DN 16 KF 402 0016 12,00 DN 25 KF 402 0025 15,00 DN 40 KF 402 0040 18,00 DN 50 KF 402 0050 24,00 DN 63 ISO-K 402 0063 35,00 DN 100 ISO-K 402 0100 48,00 DN 160 ISO-K 402 0160 60,00 46 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

KF-Federbalg-Eckventil, handbetätigt, mit Feinregelung, Edelstahl, Viton-gedichtet Angle valve with bellow, manually operated, with precision setting, stainless steel, Viton sealed DN 16 KF 105 50 40 40 409 0016 400,00 DN 25 KF 110 50 50 50 409 0025 500,00 DN 40 KF 120 67 65 65 409 0040 600,00 DN 50 KF 128 90 70 70 409 0050 700,00 Ersatz-Ventileinsätze und -Dichtungen auf Anfrage. Spare kits and seals on request. Kugelventil, handbetätigt, Edelstahl, mit vollem Durchgang Ball valve, manually operated, stainless steel, with full throughput DN 10 KF 92 48 31 58 420 0010 150,00 DN 16 KF 100 48 35 62 420 0016 190,00 DN 25 KF 126 74 54 91 420 0025 210,00 DN 40 KF 142 94 78 116 420 0040 290,00 Kugelventil, handbetätigt, mit reduziertem Durchgang, Messing vernickelt Ball valve, manually operated, with reduced throughput, Brass, nickel plated DN 10 KF 92 48 31 58 421 0010 100,00 DN 16 KF 105 53 35 72 421 0016 110,00 DN 25 KF 123 68 50 89 421 0025 150,00 DN 40 KF 143 95 64 110 421 0040 220,00 Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves Membranventil, handbetätigt, Aluminium Diaphragm valve, manually operated, aluminium B (mm) DN 10 KF 60 85 422 0010 140,00 DN 16 KF 80 85 422 0016 150,00 DN 25 KF 100 140 422 0025 200,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 47

KF-Ventile und Zubehör Valves and accessories KF Belüftungsventil, handbetätigt, Edelstahl, Viton Vent valve, manually operated, stainless steel, Viton B (mm) DN 16 KF 31 16 425 0016 100,00 DN 25 KF 40 30 425 0025 130,00 Überdruckventil, Edelstahl, einstellbar bis max. 1 bar Druckdifferenz Pressure relief valve, stainless steel, adjustable up to max. 1 bar pressure difference B (mm) DN 25 KF 60 46 428 0025 170,00 Nadelventil, Edelstahl, KF-Anschlüsse geklebt Needle valve, stainless steel, with bonded KF-connections DN 16 KF 65 429 0016 300,00 3 Nadel Abdichtung durch Stopfbuchse. 3 Needle sealing with gland. Nadelventil, Messing, KF-Anschlüsse geklebt Needle valve, brass, with bonded KF-connections DN 16 KF 65 429 0116 250,00 3 Nadel Abdichtung durch Stopfbuchse. 3 Needle sealing with gland. 48 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Federbalg-Eckventile, elektro-pneumatisch, Edelstahl, Viton-gedichtet Angle valves with bellow, electro-pneumatic, stainless steel, Viton sealed Produkteigenschaften Dichtheit Gehäuse, Sitz: 10-9 mbar l / s Ausheiztemperatur: 150 C offen geschlossen bei Stromausfall geschlossen Einbaulage bis DN 160: beliebig Steuerspannung: 12V / 24V / 48V / 110V / 220V (bei Bestellung angeben) integrierter elektrischer Lagemelder Ventil mit Schiebedurchführung auf Anfrage Ersatz-Ventileinsätze auf Anfrage DN 16 KF 200 70 40 50 410 0016 600,00 DN 25 KF 205 70 50 50 410 0025 650,00 DN 40 KF 222 90 65 67 410 0040 750,00 DN 50 KF 230 90 70 90 410 0050 900,00 DN 63 ISO-K 305 117 88 117 410 0063 1.500,00 DN 100 ISO-K 400 150 108 150 410 0100 2.100,00 DN 160 ISO-K 540 240 138 240 410 0160 3.000,00 DN 200 ISO-K * * * * 410 0200 * DN 250 ISO-K * * * * 410 0250 * DN 320 ISO-K * * * * 410 0320 * DN 400 ISO-K * * * * 410 0400 * DN 500 ISO-K * * * * 410 0500 * * Auf Anfrage. * On request. Features Leakproof valve body and seat: 10-9 mbar l / s Bake-out temperature: 150 C open closed Closed at power failure Orientation up to DN 160: at will Control voltage: 12V / 24V / 48V / 110V / 220V (to be specified at order) Integrated electrical position indicator Valve with linear feedthrough on request Spare kits on request Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves Ersatzdichtungen, Viton, für elektropneumatische Eckventile Spare seals, Viton, for electro-pneumatic angle valves DN 16 KF 411 0016 30,00 DN 25 KF 411 0025 35,00 DN 40 KF 411 0040 45,00 DN 50 KF 411 0050 50,00 DN 63 ISO K 411 0063 60,00 DN 100 ISO K 411 0100 75,00 DN 160 ISO K 411 0160 90,00 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 49

Gasschleusen, Edelstahl Gas locks, stainless steel Gasschleusen zum Evakuieren vakuum-isolierter Behälter und Rohrleitungen In Verbindung mit einem Verschlußventil genügt eine Gasschleuse für mehrere Isolierbehälter oder isolierte Rohrleitungen. Das Verschlußventil ist mit einer Sicherheitskappe ausgestattet, welche bei einem ggf. plötzlich entstehenden Überdruck den herausfliegenden Verschlussstopfen aufhält. Gas Locks for evacuation of vacuum-isolated vessels and pipings In connection with one single loadlock valve, one gas lock is sufficient for several insulating vessels or isolated pipings. The loadlock valve is equipped with a safety cap blocking the interlock plug if overpressure arises abruptly. Gasschleusen mit Durchführung, O-Ring gedichtet, Edelstahl, Adapterstück nicht im Lieferumfang enthalten Gas lock with feedthrough, O-ring sealed, stainless steel, adapter piece not included DN 16 105 70 40 50 430 0016 480,00 DN 25 110 70 50 50 430 0025 500,00 DN 40 120 90 65 67 430 0040 650,00 DN 50 128 90 70 90 430 0050 800,00 Verschlußventil mit Sicherheitskappe, Edelstahl Loadlock valve with safety cap, stainless steel B (mm) DN 16 21 29 431 0016 130,00 DN 25 29 35 431 0025 135,00 DN 40 45 40 431 0040 170,00 DN 50 57 45 431 0050 250,00 Adapterstück für Verschlußventil Adapter piece for loadlock valve B (mm) C (mm) DN 16 50 16 5,9 432 0016 80,00 DN 25 50 24 5,9 432 0025 90,00 DN 40 50 40 5,9 432 0040 110,00 DN 50 50 51 5,9 432 0050 115,00 50 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

CF-Eckventile und Zubehör Angle valves and accessories CF CF-Eckventil, Viton-gedichtet Angle valve, Viton sealed DN 16 100 50 38 38 360 0016 500,00 DN 40 118 67 63 63 360 0040 600,00 DN 63 197 117 105 105 360 0063 1.400,00 Ersatz-Ventileinsatz, für handbetätigte CF-Eckventile mit Viton-Dichtungen Spare kit, for manual CF-angle valves with Viton-gaskets DN 16 CF 401 0016 170,00 DN 40 CF 401 0040 240,00 DN 63 CF 401 0063 500,00 Ersatz-Dichtungen, Viton, für Gehäuse und Ventilsitz Spare seals, Viton, for valve body and seat DN 16 CF 402 0016 12,00 DN 40 CF 402 0040 18,00 DN 63 CF 402 0063 35,00 Membranbälge und Ventile Edge welded bellows and valves Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 51

CF-Eckventile und Zubehör Angle valves and accessories CF CF-Eckventil, Viton-gedichtet, elektropneumatisch Angle Valve, Viton sealed, electro-pneumatic DN 16 CF 195 70 38 50 364 0016 750,00 DN 40 CF 220 90 63 67 364 0040 950,00 DN 63 CF 322 117 105 117 364 0063 1.600,00 Produkteigenschaften Features Dichtheit Gehäuse, Sitz: 10-9 mbar l / s Ausheiztemperatur: 150 C offen geschlossen bei Stromausfall geschlossen Einbaulage bis DN 160: beliebig Steuerspannung: 12V / 24V / 48V / 110V / 220V (bei Bestellung angeben) integrierter elektrischer Lagemelder Ventil mit Schiebedurchführung auf Anfrage Ersatz-Ventileinsätze auf Anfrage Leakproof valve body and seat: 10-9 mbar l / s Bake-out temperature: 150 C open closed Closed at power failure Orientation up to DN 160: at will Control voltage: 12V / 24V / 48V / 110V / 220V (to be specified at order) Integrated electrical position indicator Valve with linear feedthrough on request Spare kits on request Ersatz-Dichtungen, Viton, für elektropneumatische Eckventile Spare seals, Viton, for electro-pneumatic angle valves DN 16 CF 411 0016 30,00 DN 40 CF 411 0040 45,00 DN 63 CF 411 0063 60,00 52 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Zubehör Accessories

Feinvakuum-Adsorptionsfallen Molecular sieve traps Zeolithfallen aus Edelstahl mit eingebautem Heizstab Zur Erzeugung eines ölfreien Hoch- und Ultrahoch vakuums, z.b. mit Turbo-Molekularpumpen, setzt man auf die Pumpseite von Drehschieber-Vakuum pumpen eine Adsorptionsfalle, die mit Zeolith gefüllt ist. Die Zeolithfüllung nimmt den Ölund Wasserdampf auf und verhindert somit eine Kontamination des Hoch- und Ultrahochvakuums. Nach Beendigung eines Pumpzyklus kann die gesättigte Zeolithfüllung durch den eingebauten Heizstab leicht regeneriert werden. Zeolite traps made of stainless steel with integrated heat ing element For the generation of an oil-free high and ultra-high vacuum, e.g. with turbo-molecular pumps, an adsorption trap filled with zeolite is placed on the pump side of vane-type rotary vacuum pumps. The zeolite filling absorbs oil and water vapor and therefore prevents a contamination of the high and ultra-high vacuum. At the end of a pump cycle the saturated zeolite filling can easily be regenerated by the integrated heating element. Zeolithfalle für Feinvakuumpumpen, Edelstahl, incl. Heizstab, Meßanschluß und Zeolith Zeolite trap for primary pumps, stainless steel, incl. heating rod, gauge connection and Zeolite Benötigtes Zeolith Zeolite, required (g) DN 16 KF 260 104 35 155 330 450 0016 650,00 DN 25 KF 260 104 35 155 330 450 0025 650,00 DN 40 KF 260 104 35 155 330 450 0040 750,00 DN 50 KF 335 129 35 210 730 450 0050 950,00 DN 63 ISO K 550 219 40 460 3100 450 0063 1.400,00 DN 100 ISO K 550 219 40 460 3100 450 0100 1.600,00 Meßröhrenanschluß DN 25 KF bei allen Größen. Gauge connection DN 25 KF on all traps. Ersatz-Heizstab, Edelstahl Spare heating rod, stainless steel DN 16 KF 120 Watt * 230 VAC ** 451 0040 130,00 DN 25 KF 120 Watt * 230 VAC ** 451 0040 130,00 DN 40 KF 120 Watt * 230 VAC ** 451 0040 130,00 DN 50 KF 120 Watt * 230 VAC ** 451 0050 150,00 DN 63 ISO-K 250 Watt * 230 VAC ** 451 0063 230,00 DN 100 ISO-K 250 Watt * 230 VAC ** 451 0100 230,00 * Leistung * Power ** Spannung ** Voltage Zeolith Zeolite Konfektionierung Packing Menge Amount (g) Beutel / bag 1000 452 0000 50,00 54 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Kondensatabscheider Condensate traps Ausführung in Edelstahl mit Schauglas und Ablasshahn oder in Edelstahl mit Acrylglaszylinder und Ablasshahn. Design in stainless steel with inspection glass and drain cock or in stainless steel with acrylic glass cylinder and drain cock. Sowohl in den Ansaug- als auch in den Auspuffleitungen eines Vakuumsystems können sich beim Abpumpen von Dämpfen Kondensate bilden. Um die Pumpe vor diesen Kondensaten zu schützen, empfiehlt es sich, Kondensatabscheider einzusetzen. Durch das Schauglas bei der Edelstahlausführung sowie durch den Acrylglaszylinder ist der Füllstand des Kondensats gut sichtbar und kann auch bei laufendem Pump prozeß über den Ablaßhahn abgesenkt bzw. bei Stillstand völlig entleert werden. Condensation can occur in the suction as well as in the exhaust pipes of a vacuum system during the pumping out of vapors. In order to protect the pump from these condensates, it is recommended to insert a condensate trap. The level of condensate is clearly visible through the inspection glass, in the stainless steel version as well as through the acrylic glass cylinder. It can be lowered during the pumping process or fully emptied at standstill with the drain cock. Kondensatabscheider, Edelstahl Condensate trap, stainless steel DN 16 KF 170 104 35 20 460 0016 290,00 DN 25 KF 200 104 35 20 460 0025 350,00 DN 40 KF 200 129 35 20 460 0040 450,00 DN 50 KF 200 160 35 20 460 0050 500,00 Kondensatabscheider, Edelstahl, Acrylglas Condensate trap, stainless steel, acryl glass DN 25 KF 210 122 30 25 461 0025 400,00 DN 40 KF 210 142 30 25 461 0040 450,00 Zubehör Accessories Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 55

Kondensatabscheider Condensate traps Kondensator mit Vorlagebehälter, Edelstahl, wassergekühlt, 0,5 m² Kühlfläche, 30 ltr. Vorlage Condensator with reservoir, stainless steel, water cooled, 0,5 m² cooling surface, 30 ltr. reservoir DN 40 KF 465 0040 3.400,00 DN 63 ISO-K 465 0063 3.900,00 Maße auf Anfrage. on request. 56 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Stickstoff-Tiefkühlfallen Nitrogen cold traps Ausführung Edelstahl Stainless steel design Kühlfallen mit flüssigem Stickstoff werden eingesetzt, um Treibmittelrückströmung in den Rezipienten zu vermeiden. Die rückströmenden Öldämpfe, Kondensate oder Treibmittelteilchen werden an der Oberfläche des mit flüssigem Stickstoff gefüllten Tanks ausgefroren. Man erreicht dadurch kürzere Pumpzeiten und niedrigere Drücke. Cold traps with liquid nitrogen are used in order to prevent backstreaming of pumping fluids into the recipients. The oil vapors, condensates or diffusion pump fluids flowing back are frozen out on the surface of the tanks filled with liquid nitrogen. Due to shorter pumping times and lower pressures are achieved. Stickstoff-Tiefkühlfallen sind in verschiedenen Ausführungen erhältlich: für Feinvakuumpumpen n DN 16 KF - DN 63 ISO-K für Diffusionspumpen als Ringkühlfalle mit und ohne Blende n DN 63 ISO-K (CF) - DN 250 ISO-K (CF) in Sonderausführungen als Kugelkühlfalle n DN 63 ISO-K - DN 250 ISO-K Nitrogen cold traps are available in various versions: for mechanical pumps nominal widths DN 16 KF - DN 63 ISO-K for diffusion pumps as ring cold trap with and without screen nominal widths DN 63 ISO-K (CF) - DN 250 ISO-K (CF) in special design as spherical cold trap nominal widths DN 63 ISO-K - DN 250 ISO-K LN 2 -Kühlfalle, demontierbar, Edelstahl LN 2 cold trap, removable, stainless steel Benötigtes LN 2 LN 2, required (ml) DN 16 KF 190 90 65 180 300 470 0016 500,00 DN 25 KF 225 104 75 215 600 470 0025 550,00 DN 40 KF 225 104 75 215 600 470 0040 600,00 DN 50 KF 230 130 90 225 1000 470 0050 800,00 DN 63 ISO-K 295 130 98 265 1500 470 0063 1.100,00 Größere n und andere Ausführungen, auch mit zusätzlichem Meßröhrenanschluß, auf Anfrage. Larger dimensions and other versions, also with additional gauge connection, on request. LN 2 -Kühlfalle, demontierbar, Edelstahl LN 2 cold trap, removable, stainless steel Benötigtes LN 2 LN 2, required (ml) DN 16 KF 190 90 65 120 300 472 0016 500,00 DN 25 KF 225 104 75 140 600 472 0025 550,00 DN 40 KF 225 104 75 140 600 472 0040 600,00 DN 50 KF 230 130 90 125 1000 472 0050 800,00 DN 63 ISO-K 295 130 98 165 1500 472 0063 1.150,00 Größere n und andere Ausführungen, auch mit zusätzlichem Meßröhrenanschluß, auf Anfrage. Larger dimensions and other versions, also with additional gauge connection, on request. Zubehör Accessories Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 57

Stickstoff-Tiefkühlfallen Nitrogen cold traps LN 2 -Ringkühlfalle, demontierbar, Edelstahl für Diffusionspumpen mit Meßröhrenanschluß LN 2 ring cold trap, removable, stainless steel for diffusion pumps with gauge connection Benötigtes LN 2 LN 2, required B (mm) C (mm) (ml) DN 63 ISO-K 225 206 150 2000 475 0063 2.000,00 DN 100 ISO-K 250 256 160 3150 475 0100 2.400,00 DN 160 ISO-K 260 267 170 4030 475 0160 2.900,00 DN 200 ISO-K 275 340 185 7000 475 0200 3.600,00 DN 250 ISO-K 300 420 200 10430 475 0250 4.300,00 UHV-LN 2 -Ringkühlfalle, Edelstahl UHV LN 2 ring cold trap, stainless steel Benötigtes LN 2 LN 2, required B (mm) C (mm) (ml) DN 63 CF 300 206 150 2000 476 0063 2.000,00 DN 100 CF 320 256 160 3150 476 0100 2.400,00 DN 160 CF 350 267 170 4030 476 0160 3.300,00 DN 200 CF 370 340 185 7000 476 0200 3.950,00 DN 250 CF 400 420 200 10430 476 0250 5.200,00 Flansche drehbar. Flanges rotatable. Mit Meßröhrenanschluß DN 40 CF. With gauge connection DN 40 CF. 58 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Durchführungen Feedthroughs

Durchführungen Feedthroughs Elektrische Daten in Abhängigkeit vom Leiter-Durchmesser Electrical data depending on conductor diameter Isolationsmaterial: Keramik (Al 2 O 3 ) Leitermaterial: Kupfer (Cu) Insulation material: ceramik (Al 2 O 3 ) Conductor material: copper (Cu) Leiter-Durchmesser 1,5 mm 3 mm 4 mm Max. Stromstärke 15 A 50 A 80 A Isolationsstrecke (Al 2 O 3 ) 8 mm 13 mm 13 mm Max. Spannung 4 kv 6 kv 6 kv Conductor diameter 1,5 mm 3 mm 4 mm Max. current 15 A 50 A 80 A Length of insulation (Al 2 O 3 ) 8 mm 13 mm 13 mm Max. voltage 4 kv 6 kv 6 kv Die angegebenen Werte sind nur als Richtwerte zu betrachten und können im Einzelfall vom Nennwert abweichen (z.b. abhängig von der Anordnung der Stromdurchführungen, der Geometrie der Elektroden, der Luftfeuchtigkeit oder dem Druck). The figures indicated are to be considered only as approximate values. They can deviate from the indicated numbers (e.g. depending on the layout of the current feedthroughs, the geometry of the electrodes, the humidity or the pressure). Einfachdurchführung auf KF-Flansch 1 conductor on flange KF B (mm) C (mm) DN 16 1,5 7,0 8,0 500 1116 100,00 DN 25 1,5 7,0 8,0 500 1125 100,00 DN 40 1,5 7,0 8,0 500 1140 105,00 DN 50 1,5 7,0 8,0 500 1150 125,00 DN 16 3,0 9,0 13,0 500 3116 105,00 DN 25 3,0 9,0 13,0 500 3125 105,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 500 3140 110,00 DN 50 3,0 9,0 13,0 500 3150 130,00 DN 16 4,0 10,8 13,0 500 4116 105,00 DN 25 4,0 10,8 13,0 500 4125 110,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 500 4140 115,00 DN 50 4,0 10,8 13,0 500 4150 135,00 60 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Zweifachdurchführung auf KF-Flansch 2 conductors on flange KF DN 25 1,5 7,0 8,0 11,0 500 1225 160,00 DN 40 1,5 7,0 8,0 11,0 500 1240 160,00 DN 50 1,5 7,0 8,0 11,0 500 1250 180,00 DN 25 3,0 9,0 13,0 12,0 500 3225 160,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 12,0 500 3240 170,00 DN 50 3,0 9,0 13,0 12,0 500 3250 180,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 15,0 500 4240 180,00 DN 50 4,0 10,8 13,0 15,0 500 4250 190,00 Dreifachdurchführung auf KF-Flansch 3 conductors on flange KF DN 25 1,5 7,0 8,0 13,0 500 1325 180,00 DN 40 1,5 7,0 8,0 13,0 500 1340 190,00 DN 50 1,5 7,0 8,0 13,0 500 1350 210,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 15,0 500 3340 210,00 DN 50 3,0 9,0 13,0 15,0 500 3350 230,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 17,3 500 4340 220,00 DN 50 4,0 10,8 13,0 17,3 500 4350 240,00 Vierfachdurchführung auf KF-Flansch 4 conductors on flange KF DN 25 1,5 7,0 8,0 14,0 500 1425 230,00 DN 40 1,5 7,0 8,0 14,0 500 1440 240,00 DN 50 1,5 7,0 8,0 14,0 500 1450 250,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 18,0 500 3440 250,00 DN 50 3,0 9,0 13,0 18,0 500 3450 260,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 21,0 500 4440 260,00 DN 50 4,0 10,8 13,0 21,0 500 4450 270,00 Durchführungen Feedthroughs Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 61

Durchführungen Feedthroughs Einfachdurchführung auf CF-Flansch 1 conductor on flange CF B (mm) C (mm) DN 16 1,5 7,0 8,0 510 1116 110,00 DN 40 1,5 7,0 8,0 510 1140 130,00 DN 63 1,5 7,0 8,0 510 1163 200,00 DN 16 3,0 9,0 13,0 510 3116 120,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 510 3140 140,00 DN 63 3,0 9,0 13,0 510 3163 210,00 DN 16 4,0 10,8 13,0 510 4116 130,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 510 4140 140,00 DN 63 4,0 10,8 13,0 510 4163 220,00 Zweifachdurchführung auf CF-Flansch 2 conductors on flange CF DN 16 1,5 7,0 8,0 8,5 510 1216 180,00 DN 40 1,5 7,0 8,0 8,5 510 1240 190,00 DN 63 1,5 7,0 8,0 8,5 510 1263 270,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 13,0 510 3240 200,00 DN 63 3,0 9,0 13,0 13,0 510 3263 270,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 15,0 510 4240 200,00 DN 63 4,0 10,8 13,0 15,0 510 4263 280,00 Vierfachdurchführung auf CF-Flansch 4 conductors on flange CF DN 40 1,5 7,0 8,0 14,0 510 1440 240,00 DN 63 1,5 7,0 8,0 14,0 510 1463 320,00 DN 100 1,5 7,0 8,0 14,0 510 1410 380,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 18,0 510 3440 250,00 DN 63 3,0 9,0 13,0 18,0 510 3463 330,00 DN 100 3,0 9,0 13,0 18,0 510 3410 400,00 DN 40 4,0 10,8 13,0 21,0 510 4440 260,00 DN 63 4,0 10,8 13,0 21,0 510 4463 350,00 DN 100 4,0 10,8 13,0 21,0 510 4410 410,00 62 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Fünffachdurchführung auf CF-Flansch 5 conductors on flange CF DN 40 1,5 7,0 8,0 20,0 510 1540 270,00 DN 63 1,5 7,0 8,0 20,0 510 1563 350,00 DN 100 1,5 7,0 8,0 20,0 510 1510 400,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 24,0 510 3540 280,00 DN 63 3,0 9,0 13,0 24,0 510 3563 360,00 DN 100 3,0 9,0 13,0 24,0 510 3510 410,00 DN 63 4,0 10,8 13,0 28,0 510 4563 370,00 DN 100 4,0 10,8 13,0 28,0 510 4510 410,00 Siebenfachdurchführung auf CF-Flansch 7 conductors on flange CF DN 40 1,5 7,0 8,0 20,0 510 1740 320,00 DN 63 1,5 7,0 8,0 20,0 510 1763 400,00 DN 100 1,5 7,0 8,0 20,0 510 1710 450,00 DN 40 3,0 9,0 13,0 25,0 510 3740 330,00 DN 63 3,0 9,0 13,0 25,0 510 3763 410,00 DN 100 3,0 9,0 13,0 25,0 510 3710 460,00 DN 63 4,0 10,8 13,0 28,0 510 4763 420,00 DN 100 4,0 10,8 13,0 28,0 510 4710 470,00 Koaxiale Durchführung auf CF-Flansch, mit BNC-Buchse Coaxial feedthrough on flange CF, BNC type B (mm) C (mm) DN 16 CF 22,7 44 9,6 520 0116 170,00 DN 40 CF 18,0 44 9,6 520 0140 180,00 Durchführungen Feedthroughs Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 63

Durchführungen Feedthroughs Koaxiale Durchführung auf CF-Flansch, mit Hochspannungsbuchse (SHV MHV) Coaxial feedthrough on flange CF, SHV MHV-Type B (mm) C (mm) DN 16 CF 27,2 46 9,7 520 0216... 220,00 DN 40 CF 22,5 46 9,7 520 0240... 230,00 Bei Bestellung Typ der gewünschten Buchse angeben (SHV oder MHV): Beispiel: 520 0216 SHV oder 520 0216 MHV Indicate type of connector with order (SHV or MHV): Example: 520 0216 SHV or 520 0216 MHV Koaxiale Durchführung auf CF-Flansch, mit N-Chassis Buchse Coaxial feedthrough on flange CF, N-Type B (mm) C (mm) DN 40 CF 24,5 40 16,0 520 0340 280,00 DN 63 CF 25,0 40 16,0 520 0363 400,00 Koaxiale Durchführung auf KF-Flansch*, BNC-Buchse, O-Ring gedichtet Coaxial feedthrough on flange KF*, BNC-Type, O-ring sealed B (mm) C (mm) DN 25 KF 18 30 9,6 520 1025 125,00 DN 40 KF 18 30 9,6 520 1040 130,00 DN 50 KF 18 30 9,6 520 1050 140,00 Koaxiale Durchführung auf KF-Flansch*, mit Hochspannungsbuchse (SHV MHV), O-Ring gedichtet, Coaxial feedthrough on flange KF*, SHV MHV-Type, O-ring sealed B (mm) C (mm) DN 25 KF 16 39 9,6 520 1125... 125,00 DN 40 KF 16 39 9,6 520 1140... 130,00 DN 50 KF 16 39 9,6 520 1150... 140,00 Bei Bestellung Typ der gewünschten Buchse angeben (SHV oder MHV): Beispiel: 520 1125 SHV oder 520 1125 MHV Indicate type of connector with order (SHV or MHV): Example: 520 1125 SHV or 520 1125 MHV * bauartbedingte Leckraten im Bereich 10-6 mbar I / s * leakage rates in the range of 10-6 mbar I / s depending on design 64 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

Koaxiale Durchführung auf KF-Flansch*, mit N-Chassis Buchse, O-Ring gedichtet Coaxial feedthrough on flange KF*, N-Type, O-ring sealed B (mm) C (mm) DN 25 KF 18 41 16,0 520 1225 125,00 DN 40 KF 18 41 16,0 520 1240 130,00 DN 50 KF 18 41 16,0 520 1250 140,00 * bauartbedingte Leckraten im Bereich 10-6 mbar I / s * leakage rates in the range of 10-6 mbar I / s depending on design Quetschverschraubung für Thermoelementdurchführung, Edelstahl, Schraube aus Messing Compression fitting for thermocouple feedthroughs, stainless steel, screw made of brass DN 16 KF 25 520 2016 90,00 DN 25 KF 25 520 2025 100,00 DN 40 KF 25 520 2040 120,00 DN 50 KF 25 520 2050 140,00 Teile sind vorgebohrt auf Durchmesser 1 mm. All screws drilled with Ø 1 mm. O-Ring Dichtungen für Durchmesser 1 mm bis 2 mm liegen bei. O-ring seals for diameters 1 mm and 2 mm are enclosed. Thermoelementdurchführung, hohl, für Draht-Ø bis 1 mm Thermocouple lead-through, hollow, for wires up to Ø 1 mm B (mm) C (mm) DN 16 CF 1 8 3 520 3016 190,00 DN 40 CF 1 10 3 520 3040 210,00 DN 63 CF 1 10 3 520 3063 260,00 Anzahl der Durchführungen: 2 Number of feedthroughs: 2 Thermoelementdrähte können eingelötet werden. Wires can be hard soldered. Durchführungen Feedthroughs Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request. 65

Durchführungen Feedthroughs Flüssigkeitsdurchführung auf KF- oder CF-Flansch, geeignet für Wasser und LN 2 Liquid feedthrough on flange KF or CF suitable for water and LN 2 DN 40 KF 8x1 22 100 300 530 0040 200,00 DN 40 CF 8x1 22 100 300 530 0035 250,00 Drehdurchführung, gedichtet mit Wellendichtringen, für Anwendungen im Hochvakuum Rotary motion feedthrough with radial shaft seal for applications in high vacuum systems DN 40 KF 65 82 20 20 550 0140 500,00 DN 63 ISO-K 65 82 20 20 550 0163 700,00 Dreh-Schiebedurchführung, O-Ring gedichtet, für Anwendungen im Hochvakuum Rotary linear motion feedthrough, O-ring sealed, for applications in high vacuum systems B (mm) DN 16 KF 8 30 550 0216 90,00 DN 25 KF 12 30 550 0225 100,00 DN 40 KF 15 30 550 0240 130,00 Welle im Lieferumfang nicht enhalten. Shaft not included. 66 Andere und Ausführungen auf Anfrage. Other dimensions and versions on request.

UHV-Technik UHV technology

UHV-Manipulatoren UHV manipulators Z-Manipulator, Hub 100 mm, membranbalggedichtet, handbetätigt, komplett ausheizbar Z manipulator, stroke 100 mm, sealed with edge welded bellows, manually operated, completely bakeable B (mm) C (mm) DN 40 40 90 100 83 556 0040 * DN 63 63 120 100 100 556 0063 * Andere Hübe auf Anfrage. Different strokes on request. Z-Manipulator, Hub 100 mm, membranbalggedichtet, handbetätigt Z manipulator, stroke 100 mm, sealed with edge welded bellows, manually operated B (mm) C (mm) DN 63 100 120 100 165 557 0063 * DN Andere 100 Hübe 100 auf Anfrage. 125 Different 100 strokes 195 on request. 557 0100 * Andere Ausführungen von Manipulatoren fertigen wir auf Kundenwunsch. Different versions of manipulators will be produced according to customer s requirements. UHV-Drehdurchführung mit 2 differentiellen Pumpstutzen UHV rotary motion feedthrough 2 x differentially pumped B UHV-Drehdurchführung mit 2 differentiellen Pumpstutzen 2 x differentially pumped rotary feedthrough for UHV B (mm) DN 63 CF 135 60 560 0063 * DN 100 CF 135 90 560 0100 * DN 160 CF 170 140 560 0160 * DN 250 CF 94 250 560 0250 * 68 * e auf Anfrage. * s on request.

UHV-Drehdurchführungen UHV rotary motion feedthroughs Präzisions-Drehdurchführung auf Flansch DN 40 CF, handbetätigt, mit Skalierung in Schritten von 2 Rotary motion feedthrough on flange DN 40 CF, manually operated, with scale in steps of 2 DN 40 CF 17 174 10 M 4 553 0040 * Präzisions-Drehdurchführung auf Flansch DN 40 CF, mit Zahnriemenscheibe für elektromotorischen Antrieb (ohne Motor) Rotary motion feedthrough on flange DN 40 CF, with gear for electromotive drive (without motor) DN 40 CF 17 119,5 10 M 4 553 0140 * Präzisions-Drehdurchführung auf Flansch DN 40 CF, mit Zahnriemenscheibe für elektromotorischen Antrieb (mit Motor) Rotary motion feedthrough on flange DN 40 CF, with gear for electromotive drive (with motor) Antrieb durch Gleichstrommotor 5000 rpm / 24 V / 6 W / 2 Ncm. Untersetzung durch Planetengetriebe mit zusätzlicher externer Untersetzung 4 :1. DN 40 CF 17 155 10 M 4 553 0240 * Andere Antriebe auf Anfrage! Drive by means of DC motor 5000 rpm / 24 V / 6 W / 2 Ncm. Gearing down by means of epicyclical gear with additional external gearing down of 4 :1. Other drives on request. Die Übertragung der Drehbewegung bei gleichzeitig hohem übertragbarem Drehmoment erfolgt durch eine Welle, die membranbalggedichtet ist. Max. übertragb. Drehmoment: 500 Ncm (statisch) 1.000 Ncm (dynamisch) Maximale Drehzahl: 1.000 U min (kurzzeitig) Die Lebensdauer des Membranbalgs beträgt 4 x10 5 Umdrehungen. Die max. Ausheiztemperatur beträgt 300 C. * e auf Anfrage. * s on request. Transfer of rotation with, at the same time, high transferable torque is realized by a shaft which is sealed with edge welded bellows. Maximum transferable torque: 500 Ncm (static) 1,000 Ncm (dynamic) Maximum speed: 1,000 rpm (short-time) The life time of the edge welded bellow is 4 x10 5 cycles. The maximum bake-out temperature is 300 C. 69 UHV-Technik UHV technology

UHV-Durchführungen UHV feedthroughs Schnellschiebedurchführung, montiert auf Flansch DN 40 CF Fast linear motion feedthrough, mounted on flange DN 40 CF Die Linearbewegung erfolgt durch die Betätigung eines Stempels, der durch eine Schraube arretiert werden kann. Der Stempel wird atmosphärenseitig in einem Gleitlager aus Bronze geführt. The linear movement is realized by a plunger that can be locked with a stop screw. On the atmospheric side the plunger is guided in a slide bearing made of bronze. DN 40 CF 105 50 12 M 6 554 0240 * DN 40 CF 175 100 12 M 6 554 0340 * Lineardurchführung, montiert auf Flansch DN 40 CF Linear motion feedthrough, mounted on flange DN 40 CF Die Übertragung der Linearbewegung in das Vakuum erfolgt durch eine Gewindespindel M 8x1, die wellbalggedichtet ist. Der Drehkopf ist mit einer Skalierung aus gestattet, die eine Ablesegenauigkeit von 0,02 mm ermöglicht. Motorischer Antrieb auf Anfrage. Transfer of linear movement into the vacuum is realized by a threaded spindle M 8x1, which is bellow-sealed. The rotary head is equipped with a scaling that provides an accuracy of reading of 0,02 mm. Motor drives are available on request. DN 40 CF 105 50 18 M 6 554 0040 * DN 40 CF 175 100 18 M 6 554 0140 * 70 * e auf Anfrage. * s on request.

PINK GmbH Vakuumtechnik Am Kessler 6 97877 Wertheim Germany T +49 (0) 9342 / 919-0 F +49 (0) 9342 / 919-111 info@pink.de www.pink.de Dt./Engl./10.07/3000/P/H