ESD im Reinraum. verstehen vorbeugen. erkennen

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1 ESD im Reinraum verstehen vorbeugen erkennen 1 basan your partner for cleanroom products and services Mier Schulung, Reinigungstechnik, ESD

2 Zur Person Rijnder Mier Mier Reinigungstechnik Am Alten Brunnen 8b Forstern Tel Fax Site Erfahrungen: 9 Jahre Reinraumtechnik 13 Jahre ESD koordinator 4 Jahre Defektdichte Engineering Seit 12/2007 Selbständig Projekte basan Luftreinigung / Luftsanierung Sachverständiger für Raumluftmessungen 2

3 Agenda 1. Entstehung von elektrostatischen Aufladungen 2. Unvorhersehbare elektrostatische Entladungen 3. Probleme der elektrostatischen Entladungen 4. ESD-Plan 5. ESD Messungen an Mensch und Material 6. Meßvorführungen, Beispiele, Bekleidung 3

4 1. Entstehung von elektrostatischen Aufladungen 1. Bewegung und Trennung von zwei Materialien / Stoffen Teppich Bewegung: Ladungstrennung, Elektronenrückfluss, Restladung bleibt zürück. Bewegung: Restladung bleibt zürück, ein Überschuss an positiven Ladungen bleibt am Körper. 4

5 1. Entstehung von elektrostatischen Aufladungen 3. Influenz Die Folge kann der Verlust der Platine oder des Bauelements sein. 5

6 2. Unvorhersehbare elektrostatische Entladungen Agieren statt reagieren Unerwartete Entladungen vermeiden. Kein Potential bedeutet: kein Stromfluß also keine Gefahr beispielsweise für Bauelemente. Produktschutz: Entladungen von EDS sensitive devices vorbeugen, ausschliesen onder kontrolliert entladen. Kontrollierte Entladungen um ESD-Ereignissen vorzubeugen. ESD Fieldmeter benutzen, Produkt messen. Ionisierung wenn es sonst keine Möglichkeiten gibt. 6

7 2. Unvorhersehbare elektrostatische Entladungen Agieren statt reagieren => Prüfung der Ionisatoren 7

8 5. ESD Messungen an Mensch und Material Mensch: Durchgangswiderstand prüfen, Systemcheck zwischen Handfläche und Erde. 8

9 2. Unvorhersehbare elektrostatische Entladungen Quellenangabe: Rainer Pfeifle /Firma Wolfgang Warmbier e.k 9

10 DIN EN DIN EN DIN EN DIN EN DIN EN DIN EN DIN EN DIN EN Elektrostatik - Teil 2-1: Messverfahren Fähigkeit von Materialien und Erzeugnissen, elektrostatische Ladungen abzuleiten (IEC : 2002) Deutsche Fassung EN : 2002 Elektrostatik - Teil 2-3: Prüfverfahren zur Bestimmung des Widerstandes und des spezifischen Widerstandes von festen planen Werkstoffen, die zur Vermeidung elektrostatischer Aufladung verwendet werden (IEC : 2000) Deutsche Fassung EN : 2000 (Leider veraltet) Elektrostatik - Teil 3-1: Verfahren zur Simulation elektrostatischer Entladung Human Body Model (HBM) Bauelementeprüfung (IEC : 2002) Deutsche Fassung EN : 2002 Elektrostatik - Teil 3-2: Verfahren zur Simulation elektrostatischer Entladung Machine Model (MM) Bauelementeprüfung (IEC : 2002) Deutsche Fassung EN : 2002 Elektrostatik - Teil 4-3: Standard-Prüfverfahren für spezielle Anwendungen Schuhwerk (IEC : 2001) Deutsche Fassung EN : 2001 Elektrostatik - Teil 5-1: Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene Allgemeine Anforderungen (IEC : Corrigendum 1999) Deutsche Fassung EN : Corrigendum 2001 Elektrostatik - Teil 5-2: Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene Benutzerhandbuch (IEC : 1999) Deutsche Fassung EN : Corrigendum

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