Spezifikation HV1 Hochvakuumtechnik Reinigungsspezifikation

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1 Spezifikation Roth & Rau Group HV1 Hochvakuumtechnik Reinigungsspezifikation SP_11146_ HV1 Hochvakuumtechnik_Reinigungsspezifikation Seite: 1 von 5 Gültig ab: Revision: 1.1 Funktion Name Unterschrift Datum Erstellt: F&E Sebastian Raschke gez. Raschke Aktualisiert: QMB Bärbel Bergmann gez. Bergmann Geprüft: Freigabe: Prozesseigner Head of F&E Dr. Mirko Vogt gez. Vogt Dr. Egbert Vetter gez. Vetter Verteiler: Sharepoint Ungültig ab: Rev.: 1.1 SP_11146_ HV1 Hochvakuumtechnik_Reinigungsspezifikation Seite 1 von 5

2 Inhaltsverzeichnis 1. Zweck Geltungsbereich Mit geltende Unterlagen Verwendete Begriffe und Abkürzungen Verantwortlichkeit Beschreibung Materialeinschränkungen Fertigung Reinigung Handschuhe Spülen Waschen Glasperlenstrahlen Trocknen Reinigungsabläufe für Vakuumbauteile Verpackung und Transport Kontrolle Endmontage Angaben in Zeichnungen Anlagen Änderungsindex... 5 Erstellt: S.Raschke Freigegeben: EVE Stand: Rev.: 00 SP_11146_ HV1 Hochvakuumtechnik_Reinigungsspezifikation Seite 2 von 5

3 1. Zweck Diese Spezifikation gilt für die unter RR-N 001 definierten Vakuumbauteile. Sie dient der Erzielung und Erhaltung einer vakuumtauglichen Oberflächenbeschaffenheit, im besonderen der Oberflächensauberkeit. Diese Spezifikation enthält Festlegungen für die Konstruktion, die Fertigung, die Verpackung, den Transport, die Prüfung und die Montage oben genannter Teile. Die in dieser Spezifikation definierten Forderungen gehen den Vorgaben der Roth & Rau Normen RR-N 001 RR-N 011 vor. Die Roth & Rau Normen gelten jedoch ergänzend zu dieser Spezifikation. Von den in dieser Spezifikation definierten Vorgaben darf nur dann abgewichen werden, nachdem einer schriftlichen Anfrage des Lieferanten eine schriftliche Genehmigung von Seiten erteilt wurde. Diese Genehmigung darf nur in Abstimmung mit der jeweiligen Projektleitung erfolgen. 2. Geltungsbereich Diese Spezifikation gilt für alle Auftragnehmer, die für die Arbeiten durchführen. Sie findet Anwendung bei Vakuumbauteilen, bei denen auf der Fertigungszeichnung oder Montagezeichnung diese Spezifikation gefordert wird. Dies erfolgt über einen Zeichnungsvermerk, wie unter 6.7 angegeben, und bezieht sich auf einen Reinigungsablauf aus Punkt Mit geltende Unterlagen RR-N 001 RR-N Verwendete Begriffe und Abkürzungen DIW IPA OEM EB Deionisiertes Wasser, Leitfähigkeit 0,1 µs/cm Isopropylalkohol [(CH 3 ) 2 CHOH] Lieferantenartikelnummer Roth&Rau Bestellnummer 5. Verantwortlichkeit Verantwortlich für den Prozess sowie die Pflege dieser Spezifikation ist der Prozesseigner. 6. Beschreibung 6.1. Materialeinschränkungen Während der gesamten Fertigung, Verpackung, Prüfung und Montage von Bauteilen, die nach dieser Spezifikation hergestellt werden, ist verstärkt darauf zu achten, dass eine Verunreinigung der Oberfläche mit Schwermetallen (z.b. Zink [Zn], Kupfer [Cu], Eisen [Fe], Blei [Pb], Zinn [Sn]) und Edelmetallen (z.b. Gold [Au], Silber [Ag]) vermieden wird. Diese Metalle können bei der Reinigung nur schwer von der Oberfläche entfernt werden und würden somit die Funktion der Vakuumbauteile negativ beeinflussen. Dies beinhaltet, dass verzinkte Handhabungsvorrichtungen (z.b. Ringschrauben) nicht verwendet werden dürfen. Es ist lediglich der Einsatz von Handhabungsvorrichtungen aus Edelstahl ist zulässig Fertigung Bei der Fertigung ist darauf zu achten, dass sich die Fertigungsanlagen, Werkzeuge und Bauteilauflagen in einem sauberen Zustand befinden. Es ist sicherzustellen, dass die unter 6.1. genannten Materialeinschränkungen eingehalten werden. Für die Fertigung von Vakuumbauteilen nach dieser Spezifikation dürfen ausschließlich neue, unbenutzte Werkzeuge (z.b. Fräser, Bohrer) eingesetzt werden. Rev.: 1.1 SP_11146_HV1 Hochvakuumtechnik_Reinigungsspezifikation Seite 3 von 5

4 6.3. Reinigung Die gemäß dieser Spezifikation durchgeführten Reinigungsfolgen beginnen nach der Bauteilfertigung einschließlich notwendiger Kontrollen. Nachstehend erfolgt in den Punkten und eine Definition der Reinigungsschritte und unter wird die Reinigungsabfolge festgeschrieben. Während der gesamten Reinigungsprozedur dürfen die Bauteile nur noch mit Handschuhen angefasst werden. Alle während der Fertigung entstandenen Verunreinigungen (z.b. Kühlschmiermittel, Markierungen mit Bleistift) müssen bei der Reinigung vollständig entfernt werden Handschuhe Nachstehende Handschuhe sind vorgeschrieben: saubere, fettfreie, puderfreie Kunststoff-Handschuhe Spülen - Spülen DIW: Spülen der gesamten Oberfläche des Bauteils mit Deionisiertem Wasser. Es muss darauf geachtet werden, dass von den zuvor erfolgten Reinigungsschritten verbliebene Lösungsmittelrückstände entfernt werden. - Spülen IPA: Spülen der gesamten Oberfläche des Bauteils mit Isopropylalkohol. Es muss darauf geachtet werden, dass von den zuvor erfolgten Reinigungsschritten verbliebene Lösungsmittelrückstände entfernt werden Waschen Dieses Verfahren ist ausschließlich für die Vakuumkammer und deren Deckel vorgesehen. Waschen der endbearbeiteten Vakuumkammer im Hochdruckheißreinigungsverfahren mit Stadtwasser (60bar/125 C) unter Zusatz von Reinigungsmittel Mobilrein HD 1 der Fa. FALA Glasperlenstrahlen Als Oberflächenbehandlung wird Glasperlenstrahlen mit einer Körnung von 90 bis 120μm festgelegt Trocknen Abblasen der Bauteiloberfläche mit reinem Stickstoff [N2] der Reinheitsklasse 2.8 in einer ölfreien, rußfreien und staubfreien Umgebung Reinigungsabläufe für Vakuumbauteile Im Folgenden ist die Reinigungsreihenfolge festgelegt. RR_SP_ RR_SP_ RR_SP_ Entölen Entölen Waschen Entfetten Entfetten Glasperlenstrahlen Spülen DIW Spülen DIW Spülen DIW Spülen IPA Ultraschallreinigung Spülen IPA Spülen DIW Spülen IPA Spülen DIW Trocknen Spülen DIW Trocknen Trocknen 6.4. Verpackung und Transport Nach dem Reinigungsvorgang dürfen die Vakuumbauteile nur noch mit Handschuhen angefasst werden. Sie sind ggf. abzukühlen, in Reinraumfolie oder Reinraumbeutel zu verpacken und hermetisch zu verschließen. Das Verpacken muss unmittelbar (innerhalb weniger Minuten bis max. 1 Stunde) nach der Reinigung erfolgen, um Verunreinigungen durch die Lagerung der Bauteile bis zum Verpacken zu vermeiden. Um eine eindeutige Zuordnung der Bauteile gewährleisten zu können, ist jede Position einer Bestellung einzeln zu verpacken. Auf jeder Verpackung ist der Inhalt mittels eines Etiketts eindeutig zu kennzeichnen. Folgende Angaben müssen auf dem Etikett aufgeführt sein: Rev.: 1.1 SP_11146_HV1 Hochvakuumtechnik_Reinigungsspezifikation Seite 4 von 5

5 EB-Nummer der Zeichnungsnummer der oder OEM-Artikelnummer Anzahl der verpackten Bauteile Firmenname des Fertigungsunternehmens Reinigung nach RR_SP_11146.X (X jeweilige Reinigung nach 6.3.6) Firmenname des Reinigungsunternehmens Für einen Transport sind die Teile so herzurichten, dass sie einschließlich ihrer Verpackung während des gesamten Transportes bis zur vor Beschädigungen geschützt sind. Nach der Reinigung der Vakuumkammern müssen vor dem Transport alle Flansche und Öffnungen atmosphärenseitig verschlossen werden, um Verunreinigungen des Kammerinneren zu verhindern. Dazu sind Normflansche mit Kunststoffkappen zu versehen und nicht genormte Öffnungen mit Reinraumfolie außerhalb von Dichtflächen zu verkleben Kontrolle Für Kontrollen wie Wareneingangskontrolle und Qualitätskontrolle sind die Vakuumbauteile so zu behandeln, dass sie nicht verunreinigt werden. Die hermetisch versiegelte Verpackungsfolie darf nur unter Reinraumbedingungen, idealerweise nach ISO ab Klasse ISO 6, geöffnet werden. Dazu ist eine Entnahme aus der äußeren Transportverpackung (z.b. Holzkisten) außerhalb des Reinraumes erforderlich. Während der Kontrollen dürfen die Bauteile nur mit Handschuhen berührt werden. Nach der Kontrolle sind die Bauteile wieder hermetisch zu verschließen. Sie können bis zur Endmontage für die Lagerung wieder in der äußeren Transportverpackung aufbewahrt werden Endmontage Auch bei der Montage sind Handschuhe zu tragen und die Teile sind so zu behandeln, dass sie nicht verunreinigt werden. Die hermetisch versiegelte Verpackungsfolie darf erst unmittelbar vor der Montage unter Reinraumbedingungen entfernt werden. Nach der Vormontage von Baugruppen sind diese so mit Kunststoff-Folie hermetisch zu verpacken, dass bei der Lagerung bis zur Endmontage in der Vakuumkammer keine Verunreinigung erfolgen kann. Nach der Endmontage in die Vakuumkammern sind die Bauteile und Baugruppen durch geeignete Abdeckungen (z.b. verschlossener Kammerdeckel und Gateöffnungen) vor Verunreinigungen zu schützen Angaben in Zeichnungen Zusätzlich zu den Angaben über Oberflächenrauheit ist gemäß den Roth & Rau Normen die Oberflächenreinigung in Form eines Reinigungshinweises in die Zeichnung aufzunehmen. Dabei ist Bezug auf diese Richtlinie (6.3.6) zu nehmen. Beispiel 1: Reinigung nach RR_SP_ Anlagen Keine 8. Änderungsindex Revision Ersteller Gültigkeitsdatum Änderung 00 S. Raschke Siehe erste Seite Erstfassung 1.1 B. Bergmann Siehe erste Seite Aktualisierung Logo RR AG Rev.: 1.1 SP_11146_HV1 Hochvakuumtechnik_Reinigungsspezifikation Seite 5 von 5