ULTRATEST UL 100 PLUS

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1 vakuumtechnik Vakuum Verfahrenstechnik MeB-und Analysentechnik LEYBOLDAG Ein Unternehmen der Degussa GA /4 Gebrauchsanweisung Operating Instructions Mode d'emploi ULTRATEST UL 100 PLUS Helium-Leck-Detektor-Portable Helium-Leak Detector, Portable Detecteur de fuites a helium portatif Software-VersionlVersion 3.x du logiciel , ,

2 mm ACHTUNO r Vor ledsr /nan!jpruchnahme des ServIces Itd.s. aui GrUnden der ArbeltBslcherhs/t und de. Umweltsch lib: es notwlilndlg. am oder 1m Gerlt baflndllche. gaflihrll che ste"e (z.a 1m S/nne EG-Alchfflnle L 380, 1976 /1979 odor VaG 16) anzuzelgen und zu deklarleren. IMPORTANTl Before conlultfng tho Servico Dopt., ploolo dec/are, for fila Btlke or oporatfonal 'alsty and environmental protection, any toxic or other hazardoub productt (e.g. a, defined In EEC dlroctive L 360, 1976/1979 or VBG 16) existing In or around tho BpparBfu, to be BOrY/cod. ENrIOHI Pour chlb ra/bonb 1180B i la rkurit8 et i I'onvlronnomont, prlero d'lndlquer a chaqua domande d'intervenf/on du Borvlce aprea-vonte fob pradu'" dangorewc (p. 8l\'. au termo dob directlveb do la CE L 380, ou vea 18) BO trouvant Bur ou dbnb /'eppef8l1. Inhalt , Baschrelbung.... Allgemeine Angaben.. Bezeichnung Verwendungszweck..... KennzeichnungS5teUe BaugruppenObersicht.. Technische Daten. Physikalische Daten... Elektr/sche Daten... Sonstige Daten Contents 1 Description """""'" General Designation Purpose Rating Plate Modules Technical Data Physical Data..""... " Electrical Data Other Data Sommalre 1 Description Generalltes Designation Emploi Signalisations Composition modulalre Caracterlstlques technlquea e Caracteristiques physiques Caracteristiques electriques Autres caract8ristiques. e i i Technlsche Beschrelbung 8 Beschreibung des Nachweis Prinzips (Gegenstrom)... 9 Ventilstellung Vorval<uumpumpe 10 Turbo-Molekularpumpe.. 10 Massenspaktrometer lonenquelle lonenfa.nger und VerstArker Technical Description... 8 D!3scription of Leal< Detection Principle (CounteriIQw)... 9 Valve positions Backing Pump Turbo-Molecular Pump.. 10 Mass Spectrometer Ion Source... "" Ion Collector and Amplifier Description technique Description du principe de dateclion (contre flux) Positions des robinets..... Pompa a vide primafre ( Pompe turbomoleculaire.. 1 ( SpeotromBtre de masse.. 1 ( Source d'ions Col1ecteur d'ions at amplificateur 1" Ausstattung Lieferumfang ZubehOr Equipment Standard Specification. 12 Accessories Equlpemen,... 1: Equipement Standard.,... 1: Accessoires : Bedlenung und Batrleb. 14 AufBtelien des UL 100 PLUS 14 Obersicht der Bacien- und Anzeigeelemente.. 14 Vorbereitung zur Inbetriebnahme Betriebstemperatur Operation... ' Setting Up 'he UL 100 PLUS 14 Layout of Contrals and Displays 14 Preparations for Initial Start-Up Operating T amparature._ Utilisation ' Installation de UL 100 PLUS 1, Elements de commande et d'affichage , Preparatifs pour la premiere mise en service... Temperature de service ' Beschrelbung der Bedlenfunkllonen NetzanschiuB Elektrlscher AnschluB. 16 Netzschalter "EIN/AUS Netzspannungsausgang for ZusatzgerAte.. 17 Taste "START" und "STOPNENT" Werteingabe~Taste. 18 Mel3bereichswahl-Taste "Automatik" rtriggenogik" 19 MeBbereichswahl-Taste "HAND" Nullpunkt-Taste "Auto-Zero" 19 Multifunktions-Taste "Akustisches Signal" 19 Multifunktions-Taste "Trigger und Kalibrierung" 20 Funktion "Trigger 1 und 2" Normal Funktion "Trigger 1 und 2" Invers Sonderfunktion Trigger 1 und 2 (Geratezustand) 22 Funlction "Kalibrierung" Taste for Eingabe-Ende "ENTER" Permanenter parameterspeicher 23 Gasballastven1ll TestanschluB Zusatzliche Bedieneinrlchtungen ; Description of controis " 16 Mains Connections ' Electrical Connections "ON/OFF" Power Switch " 17' Mains Outlet for Auxiliary Equipment Pushbutton "START" and "STOPNENT" Parameter Pushbutton 18 Range Selector Pushbutton "Automatic" rtrigger logic" 19 Measuring Range Selector "Manual" Pushbutton "Auto Zero". 19 Mum-Function Pushbutton "Acoustic Signal" Multl~Function Pushbutton "Trigger and Calibration" 20 Function "Trigger 1 and 2" Nonnal Function "Trigger 1 and 2" Invers Special function Trigger 1 and 2 (equipment status) '" 22 Function "Calibration" 22 "ENTER" Pushbutton Permanent Parameter Memory 23 Gas Ballast Valve Test Connection Additional,Features ; Description des fonctions de commande.... Raccordement au secteur '" Raccordement electrlque.. 1 Interrupteur "MARCHE/ARRET" 1 Sortie de tension secteur pour appareils supplementaires '" Touches "START" at "STOPNENT" Touche d'entree de valeurs Touche de selection "automatique" rtrigger log. II des gammes de mesure... Touche de selection "manuel1e" des gammas de mesure... TOuche de remise ill zero "autozero" Touche multifonction "signal acoustique" Touche multifonction "trigger at calibrage" Fonation "triggers 1 at 2'" normale Fonction "triggers 1 at 2" inverse '" Fonction speciale triggers 1 et 2 (atat de I'appareil). Fonction "caiibrage"... Touche de confirmation d'entree "ENTER" Memoirs perm. des parametres Robinat de lest d'air.... Raccord test Dispositifs supplementaires. 2

3 mm~ ~ ~ SchlOsselschalter Multifunktions-Schnittstelle Trigger-Ausgange Trigger Teilstromventilansteuerung Femsteuerung der Lecksuchfunktionen AnaJog-Spannungs-AusgAnge Analog-Spannungs-Ausgang for den EinlaBdruck (PE) KopfhOrer-AnschluB Halskette Verbindung zwischen Bedieneinheit und Lecksuohmodul A.B Inbetrlebnahme und Abo pumpen elneb ProfllngB. 33 Einstellen der Uhrzeit und Datum Betrlebaarten... ~. 37 Obersicht der Betriebsarten Vakuum-Lecksuche mit profling Handhabung des PrOfIings bei lokaler und integraler Lecksuche lokale Lecksuche Bestimmung der Ansprechzeit Integrale Lecksuche Besonderheiten bel grobem Volumen elnes PrQfIings Besonderheilen bei kleinem Volumen eines PrQfIings '" 39 Besonderheiten bei kleinen und groben Leckraten.. 40 Kleine Leckraten GroBe Leckraten Besondere LecksuchablAufe 40 Option Teilstrompumpsatz TPS UL 100 PLUS Sonstige Pumpsatze.. 42 Betrieb des Lecksuchmoduls ohne Pumpmodul Lecksuchmodul mit anderer Vorvakuumpumpe am VorvakuumanschluB SchnOffeliecksuche Lecksuche mit Standard schnoffler Lecksuche mit Hefium SchnOffier QUICKTEST QT AuBerbe1riebsetzung Kallbrieren und Tunen.. 46 Tunen Kalibriereri mit eingebautem Testleck Kalibrieren mit externem Testleck Kalibrieren im SchnUffelbetrieb Servlcefunktlon der Eleklronlk-Elnhelt Statusanzeige _ Fehlermeldung Abgleich der Massenposition Keylock Switch Multi-Function Interface Trigger OutpUts Trigger Driving of the Partial-Flow Remote Control of the Leak Testing Functions Analog voltage outputs Analog voltage output for the inlet pressure (PE) Headset Socket Carrying Chain Connection between Control Unit and Leak Detection Module , Initial Stan-Up and Evacuation of a Test Object Entering time and date A A.B Opemlng Modes Overview of the operating modes Vacuum Leak Detection with Test Object Handling of the Test Object for Local or Integral Leak Detection Local Leak Detection Determination of Response Time Integral Leak Detection Special Features of Large-Volume Test Objects 39 Special Features of Smail-Volume Test Objects 39 Special Features of Low and High Leak Rates Low Leak Rates High Leak Rates Special Leak Detection Procedures Optional Partial-Flow Pump Set TPS UL 100 PLUS Other pump sets Leak Detection Module without Pump Module Leak Detection Module with another Backing Pump Connected to the Forevacuum Inlet. 43 Sniffing Leak Test Leak Testing with Standard Sniffer Leak Testing with QUICKTEST QT 100 Sniffer Probe Switching Off Calibration and Tuning.. 46 Tuning Calibration with the built-in calibrated leak Calibration with an extemal calibrated leak Calibration in the sniffer mode Service Functions of the EI~ronlcs Unit Status Indication Error Messages Alignment of Mass Position Commutate IX a de Interlace multifonction Sorties trigger, et trigger Commande du robinet flux partiel Telecommande de la detection de fuite... ; Sorties tension analogique Sortie de tension analogique pour la pression d'admission (pe) Raccordement pour casque d'ecoute Chaine de suspension CAble de connexion entre l'units de commande at Ie module-detecteur : Premiere mise en service et premiere evacuation d'une piece 35 Introduction de I'haure et de la date Modes ~e service Aperpu des modes de service Detection de fuites sur piece sous vide... " Travail sur la piece pour les detections de fuites locale et intregrale Detection de fuite locale Determination du temps de niponse Deteciion de fulte integrale 39 Particulantes pour les pieces de grand volume ParticularitBs pour les pieces de petit volume Particularites pour les taux de fuite minimes at importants 40 Petits taux de fuite Importants taux de fuite Procedures speciales de detection Option groupe de pompage de flux partiel TPS UL 100 PLUS Autres groupes de pompage Service du module d8tect.eur sans module-pompe Module-d8tecteur avec une autre pompe sur Ie raccord vide primaire..... Detection avec renifleur Detection avec renifleur _dard... ' Detection avec ren.ifleur rapids QT Arrirt de I'apparel! C8librage et syntonlsatlon. 46 Syntonisation Calibrage avec fuite calibree incorporee Calbrage avec une fuits calib$ axteme Calibrage en mode renifleur Unite electronique avec panneau de service Indication d'etats Messages d'erreurs Compensation de la position de masse

4 mm 3 Wartung Wartungsplan Wartungsarbelten Vorpumpe TRIVAC 0 1,6 B Turbo-Molekularpumpe TURBDVAC Luftfilter wechseln Wechsel der lonenquelle SoftwareumriiBtung fur Sottwareveralonen ab V Identifikation der Software des UL 100 PLUS Ausbau der Mikrocomputerlei1erkarts Austausch der programm- EPROM Einbau der Mikrocomputerlei1erkarts Service Maintenance Maintenance Schedule Maintenance TaBks Backing Pump TRIVAC 0 1,6 B TurbowMolecular Pump TURBOVAC Exchanging the air filter Exchanging the Ion Source Software Update tor SOftware ReleaBBS from V Identification of Software of the UL 100 PLUS Removal of the Microprocessor PCB exchanging the Program EPROM Reassembly of the Microprocessor PCB A Service Entretlan Plan d'entretlen Travaux crentretlan Pompe a vide primaire TRIVAC 0 1,6 B Pompa turbomoleculaire TURBOVAC Remplacement du fiitre a air Remplacement de la source d'lons Modification du loglclsi a partir de la version V Identification du I09iciel de UL 100 PLUS Demontage de Ia carta a microprocesseur... 5E Rem placement des EPROMS programme. 51; Montage de la carte a microprocesseur.. 6e 3.4 Service... 6e 1 Beschrelbung 1.1 Allgemeine Angaben Die58 Gebrauchsanweisung enthatt wichtige Informationsn zurn VerstAndnls, zur Aufstellung, Inbetriebnahme und Betrieb, Fehlersuche und zur Wartung des Helium-leck-Detektors UL 100 PLUS. Wichtige Anweisungen. die die technische 5icherheit -und den Betriebsschutz betreffen, sind durch KennzeichnungBn hervorgehoben. Vorslcht steht bei Arbeits- uoo Betriebsverfahren, die gansu einzuhaften sind, urn eine GefAhrdung von Personen auszuschlieben. Achtung bezieht sich auf Arbeitsw und Betriebsverfahren, die ganau einzuhatten sind, urn Beschadigungen oder ZerstOrungen des HeliumwLeckwDetektors UL 100 PLUS zu vermeiden. Hlnwels gilt for technische Erfordernisse, die der Benutzer besonders beachten mub. Abbildungshinweise z.b (4114), geben mit der ersten Ziffer die Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer die Position in dleser Abbildung. HeliumwLeck-Detektor unmittelbar nach Emp- fang auspacken, auch wenn die Inbetriebnahme zu einem spateren Zeitpunkt erlolgt Transportverpackungsbehalter auf aubere Schaden untersuchen. Verpackungsmaterial vollstandig entfemen. Hlnwela Bei eventuellen Schadensersatzforderungen ist der Transportbehalter und das Verpakkungsmaterial aufzubewahren. Helium-Leck-Detektor UL 100 PLUS auf Vollw standigkeit profen (slehe Abschnitt 1.4). 4 1 Description 1.1 General These Operating Instructions contain important information on the functions, installation, startup, operation, troubleshooting and maintenance of the Helium Leak Detector UL "100 PLUS. Important remarks concerning operational safety and protection are emphasized as folw lows: caution indicates procedures that must be strictly observed to prevent hazards to perw sons. Important indicates procedures that must be strictly observed to prevent damage to, or destruction of, the Helium Leak Detector UL 100 PLUS. Note indicates special technical requirements the user must comply"with. The references to diagrams, e.g., (4/14), consist of the Fig. No. and the Item No. in that order. After delivery immediately unpack the helium leak detector, even if it is to be put into opera~ tion at a later date. Examine the shipping container for any exterw nal damage. Remove all packing material. Note The shipping container and packing material must be kept in the event of complaints about damage. Check that the Helium Leak Detector UL 100 PLUS is complete (Section 1.4). 1 Description 1.1 Geniiralltiis Ce mode d'emploi donne des informations im portantes pour comprendre, installer, mettre 81 service, utiliser at entretenir Ie deteoteur dl fuiles a helium UL 100 PLUS ainsi que sur Ii recherche des defauts. Les remarques importantes concernant I" s8cume technique at fonctionnelle sont mise en avidence de la tacon suivants. Prudence signale des travaux ou operations respecter scrupuleusement pour ne pas mettr des personnes en danger. Attention signale des travaux at operations respecter scrupuleusement afin d'bviter Ie endonimagements au destructions du detectel de fuites a helium UL 100 PLUS. signale das contraintes technique auxquellas I'utilisateur devra faire particl lierement attention. Lee chiffres entre parentheses dans Ie texti comme p.ex. (4/14), se rapportent pour Ie pn mier au numaro de la figure at pour deuxieme au numara concerns dans la legene de cette figure. Daballer immbdiatement Ie detecteur de fuile a. helium des la livralson meme si la mise E service doit avoir lieu uitbrieurement ContrOler d'abord si la baits de transpc presents des signes exterieurs d'avarie. Conserver la boite de transport et Ie materi d'emballage pour las evantuellas pretentions des dommages-interets. Verifier sl Ie detecteur de fuites a helium UL 100 PLUS est complet, vo,ir la section 1.4

5 mm ~ Helium-Leck-Detektor UL 100 PLUS siner sorgfaltigen SichtprOfung unterziehen. Fembedienungseinheit und AnschluBleitung proten. urn sicherzustellen, dab auf dem Transportweg keine Schaden entstanden sind.. Werden Beschadigungen festgestellt, 1st umgehend aine Schadensmeldung an den Spaditeur unci an den Versicherer zu leiten. Falls as notwendig 1st, elas bescmdigte Tail zu ersetzen, bitte mit dar Auftragsabteilung in Verbindung setzen Bezelchnung Gebrauchsname Helium"Leck-Detektor- Portable ULTRATEST UL 100 PLUS Lecksuch-Modul Pump-Modul Kurzbezeichnung UL 100 PLUS verwendungszweck Dar Helium-Leck-Detektor UL 100 PLUS ist ein Heliumlecksucher mit massenspektrometrischem Nachweisprinzip. Dar UL 100 PLUS zeichnet sich durch ainan graben Nachweisbereich 8US. Mit clem Ul, 00 PLUS konnen DichtheitsprO- 1ungen an verschiederi groben PrOflingen durchgefohrt werden. Kleinere PrOflinge (Vol.:s 1 a I) konnen durch die im UL 100 PLUS vorhandene Vorvakuumpumpa evaku~ iert werden. Bei Bespruhen des PrOfIings mit Helium kann durch ein vorhandenes Leek He lium in den Prufling eindringen. Schon gering~ ste Helium Konzentrationen gelangen zum. Massenspektrometer und werden dart nachge~ wiesen. Durch das Gegenstromprinzip ist die Verwen~ dung von flussigem Stickstoff nicht erlorder~ Uch. Durch die besonders k1eine und leichte Bau~ weise ist der Ul100 PLUS universau einsetz~ bar. Das Lecksuch~Modul ist yom Pump~ Modul abnehmbar und dadurch auch einzeln, z.b. zu Servicearbeiten an Vakuumanlagen, einfach einzusetzen. An das Lecksuch~Modul ist jade andere geei~ gnete VOlVakuumpumpe uber die TrennsteUe der beiden GeriUebaugruppan anschliebbar, wenn ein groberes SaugvermOgen am Testan schlub und damit korzere Pumpzeiten benotigt werden. Der UL 100 PLUS ist 'mit einem Teilstrom~ Pumpsatz besonders for grobvolumige PrOfob~ jekte mit hohen Leckraten geeignet Leck~ ratennachweis und ~messung sind dann be reits ab 100 mbar EinlaBdruck moglich Kennzelchnungsstelle Ein Typen M und Leistungsschild 1st bairn UL 100 PLUS an zwei Stellen angebracht M Oberhalb des elektrischen AnschluBfeldes unter dem Tragegriff (siehe Abb. 8). ~ Auf der ROckseite der Bedieneinheit Baugruppeniiberslcht Der UL 1 Dei PLUS besteht aus zwei HauptM baugruppen: Carefully examine the UL 100 PLUS visually. Examine the remote control unit and connect M ing lead to ensure that no damage has oc curred in transit If any damage is discovered. report it im M mediately to the folwarding agent and insurer. If the damaged part has to be replaced, get in touch with the orders department Designation Full designation Portable Helium Leak Detec10r ULTRATEST UL 100 PLUS Leak detection module Pump module Short designation UL 100 PLUS 1.1.2" _Purpose The Helium Leak Detector UL 100 PLUS is a helium leak indicator based on the mass spec M trometric principle of detection. The UL 100 PLUS possesses a wide detec~ tion range. The UL 100 PLUS permits leak checks 10 be carried out on test objects of various sizes. Small test objects (with a volume of 10 I or less) can be evacuated by the UL 100. PLUS's own backing pump. On spraying the test object with helium, helium will enter it if there is a leak. Even very small helium con M centrations reach the mass spectrometer where they are detected. Owing to the counterflow prinoiple, liquid nitro gen is not needed. Because of its small, lightweight design, the UL 100 PLUS is highly versatile. Since the teak detection module can be separated from the pump module, the former can easily be used indmdually, for example in the selvicing of vacuum systems. The leak detection module can be connected to any other suitable backing pump at the cou~ pdng between the two modules, if a higher pumping speed at the test connection and hence a shorter pumping time is required. When equipped with a partialmflaw pump set, the UL 100 PLUS is particularly suited for large volume test objects with high leak rates. Leak detection and measurement are then a1~ ready possible from 100 mbar intake pressure and lower Rating Plate Two name plates are provided on the UL 100 PLUS: M above the electrical connections below the carrying handle (see Fig. 8). ~ on the rear of the remote control unit Modules The UL 100 PLUS comprises two modules: Soumettre I'appareil a un approfondi. controle visuel ContrOler I'unite de oommande a distance et Ie cordon de raccordement afin de s'assurer qu'auoun dommage n'est apparu' pendant 'Ie transport Las eventueues oonstatations de dommage doivent etre immediatement signalees a l'exm pediteur et a I'assureur. Prendre contact avec Ie service oommandes 10rsque des pieces endommagees doivent eire remplacees Designation Appellation Detecteur de fuites a helium portalif ULTRA TEST UL 100 PLUS Module-deteoleur Module-pompa Abreviation UL 100 PLUS Emplol La detecteur,de fuites a Mlium UL 100 PLUS travaille selon Ie prinoipe de detection par speotrometriei de masse. La detecteur UL 100 PLUS se distingue par sa grande plage de detection. Cet appareil permet d'effeotuer des epreuves d'etanch8it8 sur des pi90es de diffilrentes tailles. Les petites piaces (vol. ::s 1 0 I) pauvent etre evacuees par la pompa a vide primaire de UL 100 PLUS. De I'Mlium paut penetrer par la fuite dans la piace lorsqu'on la vaporise avec ce gaz. Meme de tras faibles concentrations d'mlium peuvent arriver au spectromatre de masse pour y etre detectees. L'utilisation d'azote liquide n'est pas necassaire gr8ce au principe de travail par contre~flux. Le deteoteur UL 100 PLUS est d'un emploi universel grace a sa tailla r6duite et a sa con~ struction legere. La module-d8tecteur paut etre separe du module~pompe. II paut dono etre utilise separement, par exemple pour des travaux d'entretien sur des installations a vide. Ce module~detecteur sa raccorde, par 1'8OM couplement des deux modules, a toute autre pompa a vide primaire appropriee, lorsqu'un plus grand debit, et donc un temps de pom M page plus court, est necessaire au raccord test Equipe avec un groupe de pompage de flux partiel, Ie detecteur UL 100 PLUS est parti M ouliarement app'oprie a la detection d'impor~ tants taux de fuite d'objets volumineux. La detection et la mesure des taux de fuite sont alors possibles des une pression d'admission de 100 mbar Signalisations UL 100 PLUS est equipe de deux plaques signaletiques; M Au dessus des connexions electriques, sous I. poignee (CF. fig. 6). ~ Sur la face amsre de l'units de commande CompOSitIon modulalre Le detecteur UL 100 PLUS sa compose de deux modules prinoipaux:

6 ~ ~ Erliuterungen zur Abb. 1 1 Bedlen-Elnheit 2 Turbo-Moiekularpumpe (TURBOVAC 50) 3 Massanspaktromater mit VorvarsUirker 4 Elektronlk Elnhelt 5 Ventltblock 6 Vorvakuumpumpe (TRNAC 0 t.6 B) mit Kopplungselnrlchtung Kay to Fig. 1 1 Ramote control unit 2 Turbo-molecular pump (TURBOVAC 50) 3 Mass spectrometer with preamplifier 4 Electronics unit 5 Valve block 6 Backing pump (TRNAC 01,6 B) with coupling L6gende de la Ilg. 1 1 Unite da commanda 2 Pompe turbomoleculalre (TURBOVAC 50) 3 Spectromatre de masse avec preampll 4 Unite elactronlque 5 Bloc de roblnets 6 Pompa a vide prlmalre {TRIVAC 0 1,6 B) avec accouplement Abb. 1 BaugruppenOberslchl Fig. 1 Modules of the UL 100 PLUS Fig. 1 Modules compos,ant Ie detecteur UL 100 PLUS LecksuCh Modul mit Bedien-Einheit (1/1) Turbo-Molekularpumpe TURBOVAC 50 (112) Massenspaktrometer (113) Elektronik-Einheit (1/4) Ventilblock (1/5) Pump-Modul mit VOlVSkuumpumpe (TRIVAC D 1,6 B) Leak detection module with: - Remote-control unit (1/1) Turbo-molecular pump TURBOVAC 50 (112) - Mass spectrometer (113) - Electronics unit (1/4) Valve block (115) Pump module with: Backing pump CTRIVAC 0 1,6 B) Module-dirtecteur avec: - Unite de commande (1/1) Pompe turbomolaculaire (TURBOVAC 50 (1/2) SpectromOtte de m... (1/3) - Unite electronique (114) - Bloc de robinets (1/5) Module-pompa avec: Pompa it vide primalre (TRIVAC 0 1,6 B) 1.2 Technlsche Daten Hlnwels Die angegebenen technischen Daten beziehen sich auf das Lecksuch-Modul In Verbindung mit dam Pump-Modul. SlcherheHsangaben Das GarAt erront Schutzklasse I naoh VOE 0411 (leo 348) Physlkallsche Daten Kleinste nachweisbare Leckrate 2_ mbar-,. S 1 Zeitkonstante (blindgefjanscht) < 1,5 S GroBteI anzeigbare Leckrate ohne Teilstrom-pumps mbar',. S 1 mitteilstrom~pumpsatz 10 mbar'" S 1 Max. EinlaBdruck Max. EinlaBdruck mit Teilstrompumpsatz Anzeigebereiche MeBbereichsumfang -ohne Teilstrom-Pumpsatz: MeBbereichsumfang mit Teilstrom-Pumpsat2: Leckraten-Anzeige EinlaBdruck 6 0,2 mbar 100 mbar 80ekaden 11 Oekaden logarithmisch, 20ekaden mit 15 Schritten je Dekade separate Exponenten-Anzeige 0,1 mbar bis 100 mbar logarithmisch in 15 Schritten 1.2 Technical Data Note The technical data below relate to the leak detection module used in conjunction with the pump module. Safety The instrument meets the specifications of protection class 1 according to VOE 0411 (leo 348) Physical Data Minimum detectable leak rate mbar.l. S 1 Time constant (with blind flange) < 1.5 s Maximum indicatable leak rate without partial-flow pump set 10-2 mbar' I. S 1 with partial-flow pump set 10 mbar '. S 1 Max. inlet pressure 0.2 mbar Max. inlet pressure with partial flow pump set 100 mbar Indicating ranges Measuring range without partial-flow pump set with partial-flow pump set Leak rate indication Intake pressure indication 8 decades 11 decades logarithmic, 2 decades with 15 steps per decade separate exponent display 0.1 mbar to 100 mbar logarithmic in 15 steps 1.2 Caracterlstlques techniques Les caracteristiques techniques indiquges St rapportent au module delecteur associe & modure pompe. Securlte L'appareil correspond it la classe de securitet solon VDE 0411 (leo 348) Oaracterlstlqu.. physiques Plus petit taux de fuite decelable mbar- I s' Constanta de temps (bride aveugle) < 1,5 ' Plus grand taux de fuite affichable Sans groupe de pompage de flux partiel mbar l s' Avec groupe de pompage de flux partiel 10 mbar I.. Pression d'admission max. 0,2 mb~ Pression d'admission max avec groupe de pompage de flux partiel 100 m~ Plages d'affichage Gamme de mesure sans groupe de pompage de flux partlel: 8 decade Gamma de mesure avec groupe de pompage de flux partiel: Affichage taux de fuite 11 decade logarithmiqui 2 decade avec chacune 15 echelons par decac at aflichi'!le d'exposant sepal Pression d'admission 0,1 mbar it 100mb; logarithmique en 15 echelor

7 mm Vorvakuumdruck 0,01 mbar bis 10 mbar logarithmisch in 15 Schritten Massenspektrometer magnetisches Sektorteld lonenquelle mit Z-Fokussierung Zwei lridium-katoden geheizte Anode, selbstreinigend Nachweisbare Massen 2, 3 und 4 Zeit bis 2ur Betriebsbereitschaft < 3 min TestanschluB 2 x ON 25 KF Leitungslange der Bedien-Einheit 8 m '1.2.2 Elektrlsche Daten Lecksuch-Modul: Netzspannung umschaltbar 100 V I '20 V 220 V 1240V (±S %) Hz LeistungsaUfnahme 80 VA Pump-Modul: Netzspannung 210 bis 260 V oder 100 bis 130 V Netzfrequenzbereich 50/60 Hz Leistungsaufnahme 240 VA Gesamtstromaufnahme wahrend Hochlauf bell10v SA bei 220 V 2,5 A Gesamtstromaufnahme nach 30 min Betrieb bei110v 3A bei220v' 1,5A Netzausgang for SchnQffler Max. Strombelastbarkeit 1A Achtung Der Ausgang fqhrt immer die jeweils am UL 100 PLUS anliegende Netlspannung. Signaleingange I SignaJausgange EinlaBdruck (PE) 0 bis 10 V,RL~2,5 kg Leckraten-Signal MeBbereich-Signal (Exponent) (0,5-V-Stufen pro Dekade) 1 bis 10 V,RL~2,5 kg 1 bis 10 V RL~2,5 kn Leckraten-Trigger (Grenzwertschatter) 2 SchrieBer, potentiajfrei (voneinander unabmngig) SchaJtvermOgen max. 2 A; 60 V (Ohmsche las1) Ext. Ansteuerung Lecksuchfunktionen 24 bis 48 V DC Schnitts1elle RS 232 C I V Sonstlge Daten Gerausch-PegeJ 54 dba KOhlluftbedarf ca 100 m3 h ' Maximale Umgebungstemperatur 40 C Maximale Feuchte 85 % (rei., nicht kondensierand) Minimale Pumpenanlauftemperatur mit N C Minimale Pumpenanlauftemperatur mit SpazialOI (Arctic~61) 10 C Abmessungen (HxBxl) UL 100 PLUS komplett 430X460x250 mm Lecksuch-Modul 320)(460x250 mm Pump-Modul 225x460x250 mm Backing pressure indication Mass spectrometer 0.01 mbar to 10 mbar logarithmic in 15 steps magnetic sector Ion source with Z-axis focussing two iridium cathodes heated anode, self-cleaning Detectable masses 2, 3 and 4 Time untit operational < 3 min Test connection 2 x ON 25 KF Length of remote control unifs lead 8 rn Electrical Data Leak detection module Mains voltage, selectable 100 V / 120 V 220 V /240 V (±5 %) 50/60 Hz Power rating Pump module Mains voltage 80 VA 210 to 260 V or 100 to 130 V Mains frequency range 50/60 Hz Power rating 240 VA Total current rating during run-up at110v 5A at 220 V 2.5 A Total current rating after 30 min of operation at110v 3A at 220 V 1.SA Mains output for sniffer Max. cuurant Important 1 A This output always carries the mains voltage the Ul 100 PLUS is connected to. Signal inputs/outputs In!et pressure (PE) Leak rate signal Range signal (exponent) (0.5-V steps per decade) 0 to 10 V,R L i!!2,5 kd 1 to 10 V,RL~2.5 kd 1 to 10 V RL~2.S ko Leak. rate triggers (limit switches) 2 N.C. contacts, floating' (independent of each other) Switching capacity max. 2 A; 60 V, (ohmic load) Extemal activation of leak detection functions Interlace Other Data Noise level COOling air consumption Max. ambient tempera1ure Max. humidity Min. run-up temperature for the pump with N 62 oil Minimum pump runup temperature with special oil (Arctic oil) Dimensions (HxWxO) UL 100 Plus complete Leak. detect module Pump module VDC RS 232 C I V.24 S4dBA ca. 100 rn 3 h ' 40 C 85 % (rei., noncondensed) 430X460x250 mm 320x460x250 mm 225X46Dx250 mm Pression vide 0,01 mbar 8 10 mbar primaire [ogarithmique en 15 echelons Spectrometre de masse Champ secteur magnetique Source d'ions avec focalisation Z Deux cathodes an iridium Anode chauffee, _autonettoyante Masses decelablas 2, 3 et 4 Temps de montee en service <3 min Raccord test 2 x ON 25 KF Cordon de l'units de commande 8 m Caracteristlques electriques Modu!e-detecteur Tension secteur commutable 100 VI120 V 220 V /240 V (±5 %) 50/60 Hz Puissance absorbee 80 VA Module-pompa Tension secteur 210a260V OU V Frequence secteur 50/60 Hz Puissance absorb8e 240 VA Consom. totaie pendant la montee en regime 8110V SA.220V 2,SA Consommatlon totale apras 30 min de service 8110V 3A a220v 1,SA Sortie secteur pour renifleur Courant max. 1A AttentIon La sortie foumit toujours la tension sec. respectivement appji. dans UL 100 PLUS. Entrees/sorties de signaux " Pres. d'admission (PE) 0 10 V,RL~2.5 kn Signal taux de fuite 1 a 10 V,RL~2,5 kn Signal plage de mesure (exposant) (Echelon de 0,5 V par decade) Trigger taux de fuile (commutateur a seuils) 2 a fermeture, sans potentiel (independants) Puissance de coupure max. 2 A; 60 V (charge ohmique) Commande ext. des fonctions de detection 24 a 48 v DC In1ertece RS 232 C I V Autrea caracteristlquea Niveau de bruit 54 dba Consommation en air de refroidissement env." 100 m3 h ' Temperature ambiants max. 40 C Humidite max. 85 % (rei., non condensee) Temperature min. au demarrage de la pompa avec I'huile N C Temperature min. d'amorcage de la pompe avec huije speciale (HuileArctic) 10 C Encombrement (HxLxP) UL 100 PLUS complet 430x460x2.50 mm Module-detecteur 320x460x250 mm Module-pompa 225x460x250 mm Gewicht UL 100 PLUS komplett Lecksuch-Modut Pump-Modu! ca 33,5 kg ca 20,0 kg ca. 13,5 kg Weight" UL 100 PLUS complete Leak detection module Pump module approx kg approx kg approx kg Poids UL 100 PLUS complet Module-detecteur Module pompe env. 33,5 kg env. 20,0 kg env. 13,5 kg Kat-Nr. ULTRATEST UL 100 PLUS Helium-Leck Detektor-Portable; komplett Euro-Version 220 V bis 240 V Version 100 V bis 120 V UL 1 00 PLUS Lecksuch-Modul Cat.No. ULTRATEST UL 100 PLUS Portable Helium Leak Detector; complete Euro-version 220 V to 240 V Version 100 V to 120 V UL100 PLUS Leak Detection Module UL TRATEST UL 100 PLUS de1ec1eur de fuites a. helium portatif; complet Version Euro 220 a. 240 V Version 100 V a 120 V Module-d6tecteur UL 100 PLUS Ret

8 mm 1.3 Technlsche Beschrelbung Der UL 100 PLUS dient zum Auffinden von leeks und ermoglicht es, die Leckrate quantitativ zu bestimmen. Die kleinste nachweisb. Helium-Leckrata betragt mbar-i S"'. Der UL 100 PLUS besteht 8US dam Leeksuch-Modu! und dam Pump-Modul. Oer UL 100 PLUS wird betriebsbereit gelietart. Dabei ist das Lecksuch-Modul auf das Pump-Modul abgestin'\mt und kalibriert. Das Lecksuch-Modul kann auch a1lein zur Auffindung von Leeks an Vakuumanlagen eingesetzt werden. Es mub sichergestellt sein, dab das Lecksuch-Modul nur an einer Stelle der Anlage angeschlossen wird, wo der Druck mit Sicharheit immer kleiner a1s 0,2 mbar ist Hlnwels Bei alleiniger Verwendung des Lacksuch-Moduls mit sinem externen Vorva!<uum-Pumpsatz. mub fur die quantitative Leckraten-Anzeige das Saugvermagen dieses Pumpensatzes beruckslchtlgt werden (slehe Abschnitt 2.4.7). Gegebenenfalls ist das Lecksuch-Modul neu zu kalibrieren. Bel Verwendung des Teilstrom Pumpsatzes gilt die Kalibrierung Obar den gao. samten erweiterten MeBbereich Technical Description The UL 100 PLUS is used for detecting leaks and for quantitative determinations of leak rates. The smallest detectable helium leak rate is 2'10.10 mbar+s '. The UL 100 PLUS consists of the leak detection module and the pump module. The UL 100 PLUS is supplied ready for ope ration, with the leak detection module matched to the pump module and Calibrated. The leak. detection module may be used individually for detecting leaks in vacuum systems. In this case, make sure that the leak detection module is connected to a point in the system where the pressure will certainly always be less than 0.2 mbar. Note When using the leak detection module alone with-an external backing pump set, the pumping speed of this set must be taken into account for the quantitative leak rate indications (see Section 2.4.7). If necessary, the leak detection module must be recalibrated. If the partial flow pump set is used, the UL 100 PLUS's calibration remains valid over the entire extended pressure range Description technique Le detectaur UL 100 PLUS permet non seu[ement la detection de fuites mais egalement la determination quantitative de leurs taux. Le plus petit taux de fuite d'helium decelable sa monte a 2'10 '0 mbar+s-'; Le detecteur UL 100 PLUS se compose de deux modules, [e module-detecteur et Ie module-pompe. II est pret a fonctionner a la livraison et Ie module-detecteur est adapts au module-pompe et calibre. II est possible d'utiliser ssparement Ie module-detecteur pour detecter des fuites sur des installations a vide. II faut alors s'assurer que ce module soit raccords a un endroit de I'installation ou la pression reste absolument inferieure a 0,2 mbar.. Lorsque Ie module-detecteur est employe seul avec un groupe de pompage primaire externe, ii faut tenir compte du debit-volume de ce groupe pour I'affichage quantitatif du taux de fuite (voir section 2.4.7). II est eventuellement necessaire de recalibrer Ie module-detecteur. 5i I'on utilise cependant Ie groupe de pompage de flux partiel, Ie Calibrage reste valable pour toute la gamme etendue des pressions. Nac:h dem Einschalten der Netzspannung baginnt der UL 100 PLUS mit dem automatischen Hochlauf. Dabei wird auf der Kombi Anzeiga (4/3) der fortlaufend' erfabte Vorvakuumdruck Pv (4/22) und der einmal ermittelte EinlaBdruck Pe (4/23) angezeigt Der -UL 100 PLUS ist lecksuchbereit, wenn der Hochlauf beendet ist. Dann schaltet die Kombi-Anzeige (4/3) auf Leckraten-Anzeige urn und zeigt die Betriebsbereitschaft des Gerates an. Durch kurzes Betatigen der Taste "START" (4/24) wird die Evakuierung eines am UL 100 PLUS angeschlossenen PrDflings beg onnen, gleichzeitig leuchtet die Status-LED (4/1) grun, die Kombi-Anzeige schaltet wieder auf Druckanzeige. Der fallende EinlaBclruck Pe (PrOfling) wird auf der Skala (4/23) der Kombi-Anzeige (4/3) angezeigt. 1st der EinlaBdruck PE kleiner als 0,2 mbar, erfolgt automatisch ein Umschalten der Kombi-Anzeige (413) von EinlaBdruck PE (4/23) auf Leckraten-Anzeige. Wird der PrOfling mit Helium besproht, kann Helium durch die Druckdifferenz durch ein eventuell vomandenes Leck in den PrOfling eindringen. Helium gelangt innerhalb der Ansprechzeit in das Massenspektrometer. Das Massenspektrometer ionisiert die Gas-MolekO Ie, trennt sle oach ihrem Masse-zu-LadungsverhaJtnis und fangt die Helium-Ionen (Massanzahl 4) auf. Der Strom, proportional zur Anzahl der Helium-Ionen, die auf den lonenfanger (3/5) traffen, wird verstarkt und auf der Kombi-Anzeige (4/3) als Leckrate sichtbar gemachl Zum SelOften des PrOflings mub die Taste "STOP" (4/2) lange gedrockt werden (mindestens 2 s). Die Status-LED (4/1) leuchtet rot Der Prufling wird horbar gaflutet und kann abgenommen werden. 8 After switching on the mains power, automatic run-up 01 the UL 100 PLUS starts. The continuously monitored backing pressure Pv (4/22) and the once determined intake pressure PE (4/23) are shown on the combined indicator (4/3). The UL 100 PLUS is ready for leak detection once the UL 100 PLUS has run up. Then the combined indicator (4/3) switches over to leak rate indication, showing thai the UL 100 PLUS is ready for operation. By briefly depressing the "START" pushbutton (4/24), evacuation of a test object connected to the UL 100 PLUS is started. At the same time, the status LED (4/1) lights up green, and the combined indicator changes back to pressure indication. The falling intake pressure Pe (test object) is shown on the scale (4/23) of the combined indicator (4/3). Once the intake pressure PE drops below 0.2 mbar, the combined indicator (4/3) automatically changes over from intake pressure PE (4/23) to leak rate indication. When the test object is sprayed with helium, the helium will, owing to the pressure difference, enter the test object through any leak. The helium. reaches the mass spectrometer within the response time. The mass spectrometer ionizes the gas molecules, separates them according to their mass-to charge ratio and collects the helium ions (mass number 4). The current, whfch is proportional to the number of helium ions arriving at the ion collector (3/5), is amplified and shown on the combined indicator (4/3) as the le_ak rate. To vent the test object, the "STOP" pushbutton (4/2) must be depressed for at least 2 s. The status LED (411) then turns red and the test object is audibly vented, whereupon it can be disconnected. La premiere operation de UL 100 PLUS apres sa mise en circuit est la montee en.regime automatique. La pression du vide primaire Pv (4/22) et la pression d'admission PE (4/23) sont indiquees sur I'affichage combine (4/3). La detection peut commencer quand la montee en regime-est terminee. L'affichage combine (4/3) commute alers sur affichage de taux de fuile et montre ainsi la disponibilite de I'apparei!. L'evacuation d'une piece raccordee au detecteur UL 100 PLUS est amorcee en appuyant brievement sur la touche "START" (4/24). L'affichage d'etat vert (4/1) s'anume simultanement, I'affichage combine revient sur affichage de pression. La pression d'admission decroissante PE (piece) est indiquee sur I'echella (4/23) de I'affichage combine (4/3). Lorsque cette pression d'admission PE devient infeneure a 0,2 mb81 I'affichage combine (4/3) revient auto matiquement sur affichage de tau'x de fuite. La piece est ensuite aspergee avec de I'helium Si la piece presente une fuite, I'helium peut ) penetrer grace ill la difference des press ions Ce gaz arrive dans Ie spectrometre de masse en I'espace du temps de reponse. Le spectra metre de masse ionise les molecules du g82 les separe selon leur rapport masse/charge e capte les ions helium (masse 4). Le couran ionique proportionnel au nombre d'ions heliun arrivant sur Ie collecteur d'lons (3/5) est am plifia et represente sur l'afflchage combine (4/3 en tant que taux de fuite. La remise a I'air de la piece s'effectue par un longue pression sur la touche "STOP" (4/': (au mains pendant 2 s). L'affichage d'eu rouge (4/1) s'allume, la remise a I'air de I piece se manifeste de fal;on audible. La, piec paut etre ensuite retiree.

9 mm Abb. 2 Funklionsschema UL 1 DO PLUS Fig. 2 Functional diagram of Iha UL 1 00 PLUS Fig. 2 Schema loncllonnal du detecteuf UL 100 PLUS Erliuterungen zur Abb. 2 1 MaS5enspeklromaler 2 Turbo Molekularpumpe TURBOVAC 50 3 Tolaldruck MeBslelle, VOrVakuum " Tolaldruck MeBslelle, Elnla8 5 Testanschlu8 ON 25 KF 6 2.Tes1anschluB bzw. AnschluB IUr Teilstrom Pumpsalz ON 25 KF 7 Oplion TeUstrom Pumpsatz 8 Option He Testleek TL 7 9 AnschluB ON 10 KF lor He-Teslleck 10 Auspull Absparrventll 11 Drehsc~leber Vakuumpumpe TRIVAC 0 1,6 B 12 Trenns!e"e (Vakuumkupplung) V, PumpvenUI V2N3 ElnlallVenlillFlulvenlli Vl.2 Grobleck Venlil VEXT ext. Ventn llir Option Tellslrompumpsalz Key to FIg. 2 1 Mass spectrometer 2 Turbo-molecular pump TlJRBOVAC 50 3 Total backing-pressure measuring point 4 TOlallntake-pressure measuring point 5 Test connection ON 25 KF 6 2nd te5t connection ON 25 KF or connection lor partlal liow pump sat 7 Partlal ltow pump set (option) 8 Helium calibrated leak TL 7 (opuon) 9 Connection ON 10 KF for helium calibrated leak 10 Exhaust shut-oll valve 1 t Rotary vane vacuum pump TRIVAC 0 1,6 B 12 Vacuum coupling VI Pump valve V2JV3 Inlat valvei'vent!ng valve VI.2 Coarse-leak valve VExr Extarnal valve lor partlaillow pump set option Pump.Modul Pump module Module-pompa AbbJFlg.2 Legenda de la fig. 2 I Spectrometre de masse 2 Pompa lurbomoleculalre TURSOVAC 50 3 Polnl da mesure pression tolale, vida prlmaire 4 Point de mesura pression totale, admission 5 Raccord d'admisslon ON 25 KF 6 2e raccord tasl au raccord du groupa de pompaga de flux partiel ON 25 KF 7 Oplion jeu da pomj3fl en regime 8. flux partial 8 Option tulle cajibree! I'helium TL Lecksuch Modul Leak detection module Module detacteur -- 7 ~''';;::'''(~~'''''/-- 8 \... ~ V, V2N3 VI.2 VeXT 10 Raccord ON 25 KF pour la callbree a t'mllum Roblnat d'isolement Achappement Pompe a vida rotative a patelles TRIVAC B ligne de separation (accouplement pour vide) Roblnal d'evacuetion Roblnels d'admlssion I de remise a I'alr Roblnel pour grosses lultes Robinet exl. pour option groupe de pompage fluxpartlel Beschrelbung des Nachwels-Prlnzips (Gegenstrom) Beim Gegenstrom-Prinzip wird der Prufling an der Vorvakuumpumpe angekoppelt Dadurcl1 sind erheblich hohere PrOflingsdrOcke zulassig als beim klassischen Hauptstrom-' Prinzip. Oas Helium diffundiert entgegen der Pumprichtung der Turbo-Molekularpumpe in das Massenspektrometer, wahrend schwere Gase, var ahem Wasserdflmpfe, zurockgehalten werden (massenabhangiges Kompressionsvermogen). Eine KOhlfaUe in Verbindung mit fl. Stickstoff ist deshalb nicht mehr erlorderlich Description of the Leak Detection PrinCiple (Counterflow) With the counterflow principle, the test object is linked to the backing pump. This permits considerably higher test-object pressures compared to the conventional full flow principle. The helium diffuses against the turbo-molecular pump's pumping direction into the mass spectrometer, while heavy gases, especially water vapors, are restrained (massdependent compression capacity). A cold trap in conjunction with liquid nitrogen is thus no longer needed. 1,3,1 Description du principe de detection (contre-flux) Pour la detection salon Ie principe du contreflux, la piece est raccordee a la pompe a vide primaire. Ceci permet des pressions bien plus importantes dans la piece que celles necessaires salon Ie principe classique a flux principal. L'helium se diffuse dans Ie sens inverse de I'evacuation de la pompe turbomolsculaire, dans Ie spectrametre de masse, tandis que les gaz lourds et surtout les vapeurs d'eau sont retenus (compression dependante de la masse). Un piege a azote liquide n'est done plus necessaire Ventilstellung Nachfolgende Tabella zeigt den Zusammenhang zwischen der Betriebsart und den Ventilstell un gen. Siehe auch Abb. 2. Bezeich- Typ. MeB Ventil- Einlafl nung bereich stellung druck mbar-i s l (mbar) GROSS *) V1.2, V2, p< 100 V Exr offen V1 geschl. FINE '*) V1, V2, p<o,2 V Exr offen V1.2 geschl. ULTRA 2'10.10 V1, V2, offen p<0.2 V1.2 geschl. V Exr geschl., mit extemer Vorvakuumpumpe 0 25 B Valve positions The following table provides information in which way valve position and operating mode are related. See also Fig. 2. Mode Typ. meas Valve Inlet range position pressure mbar'j's-t (mbar) GROSS *) V12, V2. p< 100 V Exr open V1 closed FINE ") V1, V2, p<o,2 V Exr open V1.2 closed ULTRA 2'10-10 V1, V2, open p<o,2 V1.2 closed V Exr closed 1 with extemal backing pump 0 25 B Positions des robinets Le tableau suivant indique les rapports entre Ie mode de service et les positions des robinets. Cf. fig. 2 egalement. Nom Gamme Position Pression mes.typiq. robinet admission mbar+s-1 (mbar) GROS *) V1.2, V2, p<100 VEXT ouvert V1 ferme FINE *) V1, V2, p<0,2 V Exr ouvert V1.2 ferme ULTRA 2'10-10 V1. V2, ouve p<0,2 V1".2 ferms V Exr 1erme, avec pompe primaire externe D

10 ~ Vorvakuumpumpe Die VOlVakuumpumpe erzeugt aus dam in den Leck-Detektor fliebenden Helium-Strom ainen proportionalen Helium-Druck. Dabei wird das stabile Helium-SaugvermOgen dieser Pumpa ausgenutzt. Seine GroBe bestimmt zusammen mit der Kompression der Turbo-Molekularpumpa die Empfin,dlichkeit der Anordnung. Als Vorvakuumpumpe ist im UL 100 PLUS aine Drehschieber-Pumpe TAIVAC 0,,6 B eingebaut. Aile Daten und Angaben konnen der Gebrauchsanweisung GA entnommen weirden Turbo-Molekularpumpe Die Turbo-Molekularpumpe erzeugt aus dam Helium-Druck im Vorvakuum den Helium Druck im Massenspektrometer, der dert dann nachgewiesen wird, Dabei wird ihr stabiles Kompressionsverm6gen for Helium 8u5genutzt. Seine GrOBe bestimmt zusammen mit dem SaugvermOgen der Vorvakuumpumpe die Empfindlichkeit der Anordnung, Die Turbo-Molekularpumpe is~ aine TURBO VAC 50, Aile Daten und Angaben kennen der GA entnommen werden Massenspektrometer. Das Massenspektrometer besteht im wasentlichen aus der lonenquelle, dem magnetischen Trennsystem und dem 10nenfAnger. Die lonenquelle ionisiert durch ElektronenstoB neutrale Gasteilchen und erzeugt daraus einen lonenstrahl. Positiv geladene lonen werden durch das negative Potential der Extraktorblende (3/10) aus der lonenquelle abgesaugt und gelangen so in das Magnetfald (3/8). Dart werden sie auf einer Kreisbahn mit definiertam Radius abgelenkt. Nur die Helium-Ionen (M = 4) erfullen die Trennbedingungen der Anordnung und erreichen den lonenfanger (3/5). Durch die Ausblendung von' SIOrionan mit Hilfe der Zwischenblende (319) wird eine hohe AufiOsung erreicht. Beim MS-Spektrometer handelt es sich um ein magneti. Sektorfald-MS-Spektrometer mit Ablenkung. DUrch die Inhomogenitat des Magnetfeldes senkrecht zum lonenstrahl wird in dieser Richtung eine zusatzliche Bundelung erreicht (Z -Fokussierung). Diese Bauart gewahrleistet neben einer guten AuflOsung eine hohe Empfindlichkeit und LangzeitstabilitAt Backing Pump The backing pump produces a proportional helium pressure from the helium flow entering the leak detector.the stable helium pumping rate of the pump is exploited for this purpose, Its magnitude, together with the compression of the turbo-molecular. pump, determines the sensitivity of the system. A rotary-vane vacuum pump TRIVAC D 1,6 B is integrated in the UL 100 PLUS as a backing pump. AU data on it are contained in the Operating Instructions GA Turbo Molecular Pump The turbo-molecular pump produces from the helium backing pressure the helium pressure that is detected in the mass spectrometer. The stable compression capacity of the pump is exploited for this purpose. Its magnitude, together with the pumping rate of the backing pump, determines the sensitivity of the system. The turbo-molecular pump used is a TURBO VAC 50, All data on it are contained in the Operating Instructions GA Mass Spectrometer The main components of the mass spectrometer are an ion source, a magnetic separating system and an ion collector. The ion source ionizes neutral gas particles through electron impact, thereby generating an ion beam. Positively charged ions are driven out of the ion source owing the positive cath ~e (3/1) and thus reach the magnetic field (3/8). There they are deflected into an orbit of defined radius., Only the helium ions (M = 4) meet the separation conditions of the arrangement and reach the ion collector (3/5). The elimination of stray ions by means of the intermediate screen (3/9) ensures high resolution. The built-in mass spectrometer is of the magnetic sector field type with 180 deflection, Owing to the inhomogeneity of the magnetic field vertically in relation to the ion beam, additional concentration is achieved in this direction (Z-axis focussing). This design guarantees not only good resolution but also high sensitivity and long-term stability Pompe a vide prlmalre La pompe a vide primaire donne une pression. d'hslium proportionnelle au flux d'hslium entrant dans Ie detecteur de fuites. La stabilite du debit d'helium de cette pompe Ie permet La sensibilite du dispositif est determinee par Ie debit de la pompe primaire at par la compression de la pompe turbomoleculaire. Une pompe a vide rotative a palettes TRIVAC D 1,6 B sert de pompe a vide primaire pour Ie detecteur UL 100 PLUS. Toutes les caracteiristiquas et indications necessaires sont donnees dans Ie mode d'emploi GA ,3 Pompe turbomoleculalre A partir de la pression helium fournie par: la pompe primaire, la pompe turbomoleculaire etablit, dans Ie spectrometre de masse, la pression helium qui y sera detecteie. La stabilite de la compression pour ce gaz de fa pompe mo!eculaire Ie permet. Sa valeur determine, avec Ie debit de la pompa a vide primaire, la sensibilite du dispositif. La pompe turbomoleculalre est une TURBO VAC 50". Le mode.d'emploi GA contient toutes les caracteristiques techniques et informations necessaires. 1.3,4 Spectrometre de masse Cet appareil Se compose principalement d'une source d'ions, d'un systeme de separation magnetique et d'un collecteur d'ions. La source d'ions ionise les particules de 9az neutres par bombardement electronique en creant un faisceau ionique. Les ions de charge positive sont attires par Ie potentiel negatif du diaphragme d'extraction (3/10). lis sortent done de fa source d'ions at arrivent dans Ie champs magnetique (3/8) au its sont devies selon. une trajectoire circulaire au rayon defini. Seuls les ions heuum (M = 4) parviennent a passer Ie systems de separation et atteignent Ie callec teur d'ions (3/5). Le diaphragme intermediaire (319) permet d'obtenir une haute precision er eliminant les ions parasites. l'appareil utilise est un spectrometre magna tique a champ secteur et deviation de 180 L'inhomogenane du champ magnetique perpen diculaire au faisceau ionique permet d'obtenir dans cette direction, une focalisation supple mentaire (focalisation Z). Ce type de construc tion garantit outre una bonne r9s0lution, UOf haute sensibilite et une stabilite a long terme. 10 M=4 8 Erlauterungen zur Abb. 3 1 Katode 1 2 Anode 3 Katode 2 4 Verstarker 5, lonenlanger Abschirmung fur 6 lonenf.iinger 7 Suppressor 7, Magnelfeld 9 Zwlschenblende 10 EKtraktorblende 11 Abschlrmring Key to Fig. 3 Legende de la flg.3 1 Cathode 1 1 Cathode 1 2 Anode 2 Anode 3 Cathode 2 3 Cathode 2 4 AmpUllar 4 AmpJJficateur Ion collector Capleur d ions, Shield for ion, Ecran pour Ie capteur collector d'ions 7 Suppressor 7 Olaphragme, Magnetic Ilerd Champs magnetjque 9 Intermediate screen Olaphragme Intermedlairl 10 Extractor screen,. Olaphragme d extraction 11 Shield ring 11 Ecran cyjlndrique Abb.lFlg.3 9 Abb. 3 Schematlsche Darstellung des Massenspektrometers Fig. 3 Schematic representation of the mass spectrometer Fig. 3 Schema du spectrometre de masse. 10

11 ~ lonenqueue Die aus der Katode (3/1) oder (3/3) austretenden Elaktronen werden von der positiven Anode (3/2) angezogen. Sis treffen aber nicht 50- fort auf die Anode, sondern pandaln oft zwischen der Katode und dem Abschirmring (3111), bis sie schlieblich an die Orahtwendel. der Anode gelangen. Auf diesem Wage ionisieren die Etektronen,Gasatome durch Sto/3. Die positiven Gasionen werden durch die Extraktorblende (3/10) aus dam Anodenraum gazogen. Zur Vermeidung von polymerisierten Kohlenwasserstoffablagerungen (isolierende Schichten, die die Empfindlichkeit beeintrachtigen konnen) 'yvird die Anode sta,ndig geheizt. Die Katoden bestehen aus Iridiumband, das mit Thoriumoxid beschichtet ist. Wagen ihres Thoriumbelages arbeiten diese Iridium-GIOhfaclen mit einer viel niedrigeren Temperatur als Wolfram-GIOhfaden und haben eine ausgezeichnete Widerstandsfahigkeit (Durchbrennsichemeit) gegen VersprOdung, O 2, H20-Dampf und KW-Stoffe. Achtung Halogene oder halogenhaltige Substanzen k6nnen unter Umstanden die Lebensdauer der Katoden ungonstig beeinflussen Ion Source The electrons emerging from the cathode (3/1) or (3/3) are attracted by the positive anode (3/2). However, they do not immediately reach the anode, but travel to and fro between the cathode and the shield (3/11) until finally reaching the wire spiral of the anode. In this path the electrons ionize gas atoms through impact. The positive gas ions are extracted from the anode space by the extractor screen (3/10). The anode is constantly heated to prevent polymerized hydrocarbon deposits (insulating layers that may "impair the sensitivity). The cathodes consist of iridium tape coated with thorium oxide. Owing to this thorium coating, the iridium filaments operate at a much lower temperature than tungsten ones and possess excellent resistance (burnout resistance) to embrittlement by oxygen, water vapor and hydrocarbons. Important Halogens or halogen-containing substances may adversely affect the service life of the cathodes Source d'ions Les electrons sortant de la cathode (3/1) ou (313) sont attires par I'anode positive (3/2). lis ne parviennent pas immediatement a I'anode mais oscillent fn quemment entre la cathode et I'ooran cylindrique (3/11) jusqu'a ce qu'ils atteignent enfin Ie filament spirale de I'anode. Les electrons ionisent de cette fa~on las atomes de gaz par collision. Les ions de gaz positifs sont retires de la zone de I'anode par [e diaphragme extracteur (3/10). L'anode est chauffee constamment atin d'eviter les depots d'hydrocatbures polymerises (couche isolante nuisant a. la sensibilit8). Les cathodes sont composees de bandas d'jridium racouvertes d'une couche de thorine qui autorisa une temperature nettement inferieure a celie des filaments an tungstene et res rend tres resistants (imbrolab[es) a la porasite, a I'oxygena, a la vapeur d'eau et aux hydrocarbures. Attention Les halogenes au substances en contenant peuvent rectuire dans certains cas la duree de vie des cathodes lonenfanger und Verstlrker Die positiven Helium-Ionen, die auf den lonenfanger (3/5) treffen, erzeugen im hochohmigen Eingang des Verstarkers einen Strom. Nach Verstarkung und Wandlung erscheint das Signal auf der Kombi-Anzeige (4/3) als Leckrateo Ion Collector and Amplifier The positive helium ions arriving at the ion collector (3/5) produce a voltage at the highimpedance input of the amplifier. After pastamplification and conversion, the signal appears on the combined indicator (4/3) as the leak rate Collectaur d'ions at ampllflcateur Les ions helium pasitifs arrivant au collecteur (3/5) creent une tension sur "entree fortement ohmique de I'amplificateur. Le signal, converti at amplifie, apparait, sur I'affichage combine (4/3) en indiquant Ie taux de fuite. 11

12 mm 1.4 Ausstaltung Lleferumfang Der UL 100 PLUS wire! betriebsbereit 8usgeliefert Zurn Lieferumfang gshoren zusmzlich: Kat Nr. NetzanschluB-Leitung 2,5 m for 110 V bei 2,5 m fur 220 V bei /89638 Dichtungs-Set ( ): - Flach-Dichtung 6 x ON 40 KF - Flach-Dichtung 4 x ON 25 KF Flachdichtung DN 16 KF (2 x) - Flachdichtung for VOJVerstarker (1 x) - Flachdichtung for Auspuffilter (2 x) - D-Ring for EinlaBflansch (2 x) - C-Ring for Vorverstarker (3 x) O Ring for D 1.6 B (4 x) - C-Ring for Vakuumkupplung (2 x) - Dichtring for Festo-Verschraubung (2 x) - drei O-Ringe for die Vakuumkupplung Zusatzflansch ON 25 KF (AnschluB far Teilstrom-Pumpsalz) Filterelement zurn Auspuff-Filter B Satz Sicherungen ( ) Luftfilter Halskette zur Bedien-Einheit Werkzeugsatz FIOgelschraube (2 x) Schnittstellenstecker Spol. Sub-D-Stecker 25pol. Sub D Stecker 6pol. Kupplungs-Stecker Schlauchstutzen for Auspuffleitung SchlOsselsatz Gebrauchsanweisungen UL 100 PLUS GA V.241 AS 232 C~Schnittstenen~ betrieb mtt dem ULTRATEST UL 100 PLUS TURBOVAC50 TRIVAC D 1,6 B TURBOTRONIK NT 14 SB GA GA GA Equipment Standard Specification The UL 100 PLUS is supplied ready for operation. The standard equipment also includes: Cat No. Mains connection cable 2.5 m for 110 V 2.5 m for 220 V Set of gaskets ( ~ ~ Gasket 6 x ON 40 KF - Gasket 4 x ON 25 KF Gasket DN 16 KF (2 x) Gasket for preamplffier (1 x) - Gasket for exhaust filter (2 x) -a ring for inlet flange (2 x) 0 ring for preemplffier (3 x) 0 ring ford 1.6 B (4 x) ~ 0 ring for vacuum coupling (2 x) - Gasket for Festa connection (2 x) / Three O-rings for the vacuum coupling SupplementalY flange ON 25 KF (connection for partial-flow pump set) Filter element for exhaust filter 0,,6 B Set of fuses ( ) Dust filter Carrying chain for remote control unit Set of tools Wing screw Interface plug 9-way. Sub-o-plug 25~way Sub~D-plug 6-way coupling plug Hose coupling for exhaust line Set of keys Operating instructions UL 100 PLUS V.24 I RS 232 C interface operation with the ULTRATEST UL 100 PLUS TURBOVAC50 TRIVAC D 1,6 B TURBOTRONIK NT 14 GA SB GA GA GA Equlpement Equlpement standard UL 100 PLUS est prat au service a la livraison: Sont foumis egalement ReI. Cordon du raccordement secteur 2,5 m pour-110v pour ,5 m pour 220 V pour , Jeu de joints ( ): - Garniture plate 6 x ON 40 KF - Garniture plate 4 x ON 25 KF Garnilure plate DN 16 KF (2x) - Garniture plate pour preamplificateur (1 x) Garnit plate pour filtre d'echappement (2 x) - Joint torique pour bride d'admission (2 x) - Joint torique pour pr8amplificateur (3 x) - Joint torique pour 0 1,6 B (4 x) - Joint torique pour raccordem. sous vide (2 x) - Begue d'etancmite pour raccord filetil Festa (2 x) - 3 joints toriques p. raccordement sous vide Bride supplementaire ON 25 KF (raccord dl. groupe de pompage de flux partiel) Eleme.nt du fittre d'eohappement 0 1,6 B Jeu de fusibles ( ) Filtre a air Chaine p. suspendre l'units de commande Jeu d'outils Vis a oreilles (2x) Connecteur male de"i'interface Connecteur subminiature 9 poles Connecteur subminiature 25 poles Connecteur subminiature 6 poles Raccord du tuyau d'eohappement Jeu de cles Modes d'emploi UL 100 PLUS Service de I'interface V.24/RS 232 C avec ULTRATEST UL 100 PLUS TURBOVAC50 TRIVAC D 1,6 B TURBOTRONIK NT 14 GA 10.20' SB 10.20' GA GA GA Ersatzteilliste Ersatzteilliste Ersatzteilliste IT ET IT Spare parts list Spare parts list Spare parts list IT IT IT Liste de pieces de rechange Liste de pieces de rechange Liste de pieces de rechange ET ET IT StaubschutzhOlle Dust cover Cache-poussiere KopfhOrer Headset Order No Casque d'ecoute Ro! Zubeh6r Kat. NrJBest.-Nr. Transport Koffer Accessories Cat.NoJ Order No. Transport case Accessolres Coffrs de transport Re 1559 Transport~Boy Transport bey Chariot de transport 1559 Verlangerungsleitung, 10m, zur Bedien-Einheit Extension lead, 10m, for remote control unit Rallonge de 10 m pour I'unite de commands 165.! Testleck TL 7 komplett mit Elektro~ magnet-ventil und Einbausatz Calibrated leak TL 7 complete with solenoid valve and installation set Fuite callibree TL 7, complete avec robinet electromagnetique et pieces de montage 155! Testleck TL Calibrated leak TL B Fuite calibres TL

13 ~ Testleck TL Heliuffi-$chnOffler auicktest at ' Helium-Standard-SchnOffler ST loa SchnQffelleitung zum auicktest, 5m SchnOffelieilung zurn auicktest, 20m Teitstrom-Pumpsatz Ersatz-Ionenquelle 165 A. Sonderzubehor Ausputfschlauch 5.6 x 2,75 pvc Arctic 01 (Flasche mit 1 I) Hlnwels Zum SelOften des UL 100 PLUS mit anderen Gasen a1s Umgebungsluft, kann das Sinterfiltar am Ventilblock (BelOftungsventil V3) gegen eine Schlauchverschraubung mit Schlauch ausgetauscht werden. 8enOtigt wird: Schlauchverschraubung M 5 for Schlauch 5 x Schlauch 5 x 1 (MetalWare) Calibrated leak TL Helium Sample Probe auicktest at Helium Standard Sample Probe ST loa Sniffer tine for auicktest, 5 m Sniffer line for auicktest, 20 m Partial-flow pump set Spare ion source Special accb.ssories Exhaust tubing 5.5 x 2.75 PVC Arctic oil (bottle with 1 I) "'Ole For venting of the UL 100 PLUS with gases other than air the sinter filter in the valve block (venting valve V3) may be exchanged for a screw-on hose coupling with hose. For this the following parts are required: Screw-on hose coupling M 5 for hose 5 x 1 Hose 5 x 1 (specify length) Fuite calibree TL Renifleur helium auicktest at ' Renifleur helium standard ST loa Conduite du renifleur auicktest, 5 m Conduits du renifleur auicktest, 20 m Jeu de part)pas en regime a flux partiel Source d'ions de rechange 165 O' Accessoire special Tuyau d'echappement 5,5 x 2,75 PCV Huile Artie (bouteille avec 1 I) Pour remettre UL 100 PLUS a l'atmospmre avec d'autres gaz que I'air ambiant, il est possible de remplacer Ie fijtre fritte du bloc de robinets (robinet V3) contre un raccord a vis 8quipe d'un tuyau. Sont necessaires: Raccord a vis M 5 pour Tuyau 5 x, Tuyau 5 x 1 (au metre)

14 -...,..- lil 2 Bedlenung und Betrieb 2.1 Aufstellen des UL 100 PLUS Uberslcht der Bedlen- und Anzelgeelemente Die Badien- und Anzeigeelemente des Ul 100 PLUS befinden sich auf einer Bedieneinheit, die Ober aine Leitung mit dam UL 100 PLUS verbunden' 1st Die Bedieneinheit kann entweder am Gerat eingemngt betrieben werden oder erlaubt im abgenommenen Zustand die Fembedienung des UL 100 PLUS. Badienelemente und die MeBwert-1 Statusanzeigen sind in Abb. 4 dargestellt und eriautert Operation 2 Utilisation 2.1 Setting-Up the UL 100 PLUS 2.1 Installation de UL 100 PLUS Layout of Controls and Display Elements de commande at d'afflchage The controls and displays of the UL 100 PLUS are contained on a control panel which is connected via a cable to the UL 100 PLUS. The control panel may either be attached to the UL 100 PLUS or may be detached thereby enabling the UL 100 PLUS to be remotely controlled. Les commandes at affichages de UL 100 PLUS sont contenus dans I'unite de commande reliee par un cable a. UL 100 PLUS. Ene paut sarvir directement sur I'appareil au separement, pour commander UL 100 PLUS a distance. Les commandes at,affichagas des valeurs at The controls and the display/status indicators das stats sont presentes at decrits dans la are shown and explained in Fig. 4. fig Abb. 4 Bedleneinheit Fig. 4 Remote control unit FI 4 Unite de commande 14 : DEL d'lndlcatlon d'erreur ErUiuterungen zur Abb. 4 1 Rot Grlln Status LED 2 Tasle"STOP/VENT" 3 Koml)l Anzeige ttlr Druck und Leckrale 4 Skala ttlr Leckrate mil Exponenten, 1. Dekade 5 Skala Illr Leckrale mil Exponenten, 2. Dekade 6 Wertelngabe Taste, klelner werdande Werle 7 ':Hand" LED 8 MeBberelchswahl Taste "Hand" 9 MulllIunktlons Tasle, LED Illr Trigger 1 10 Multllunklions.Tasle, 'LED lilt.trlgger 2 11 Multlfunklions.Tasle, "Trlggar und Kallbrlarung" 12 Multifunktlons Taste, LED ttlr Kalibrlerung 13 Tasta fllr Elngabe Ende "ENTER" 14 NuUpunkl Taste "AUlo-Zero" 15 LED ttlr Slgnal Elnsalzpunkte 16 MulllIunkUomo-TaSle, "Akustischas Signal" 17 LED liir Lautstii.rkeregelung 18 Multllunktions Tasle, "Automallk I Trlggerlogik" 19 Wertalngabe-Taste, gr5ber werdende Werte 20 Fehler lndlkator LED 21 Null lndlkator LED 22 Skala Vorvakuumdruck "Py" 23 Skala EinlaBdruck "PE" 24 Taste "STARr' lcey to FIg. 4 1 Redlgreen status LEO 2 STOP I VENT pushbutton 3 Combined pressure and leak rate Indicator 4 Leak rate scale (with 8)(ponent), 1 st decade 5 Leak rale scale (with exponent), 2nd decade 6 Parameter pushbutton, decreasing values 7 "Manual" LED 8 Manual measuring range selector 9 Multi-function pushbutton, LED lor trigger 1 10 Multl function pushbutton, LED lor trigger 2 11 Mulli functlon pushbutton, trigger and calibration 12 Multi functlon pushbutton, LED for talibrallon 13 ENTER pushbutton 14 Auto zero pushbutton 15 LED lor signal starting points 16 Multl functlon pushbutton, acoustic signal 17 LED lor loudness conlrol 18 Multi-function pushbutlon,"autoranging I trigger logic" 19 Parameter pushbutton, increasing values 20 Error Indicating LED 21 Zero Indicator LED 22 "Pv" backing pressure scale 23 "Pe" Intake pressure scale 24 "START" pushbutton" I.egende de la fig. 4 1 DEL d'blat rouge vert 2 Touche STOP I VENT 3 Alllchage combine: pression eltau)( de fuite 4 Echelle pour tawe: de lulte avec exposant. lere decade 5 Echelle pour taux de lulte avec 8)(posant, 201 decade 6 Touche d'entree des valeurs dbcrolssanles 7 DEL de "Manuelle' 8 Touche selection "Manuelle" des gammes de mesure 9 Touche multlfonctlon, DEL pour Irlgger 1 10 Touche multlfonctlon, DEL pour trigger 2 11 Touche multifonctlon, "Irlgger et callbrage" 12 Touche multlfonctlon, DEL pour callbrage 13 Touche pour lin d'enlrbe "ENTER" 14 Touche" Auto zero" 15 Touche mulliloncilon, DEL pour points d'appllcation du signal 115 Touche mullllonction "signal acoustique" 17 Touche muillfonction, DEL pour niglage du son 18 Touche multlfonction, "automatlque { trigger logique" 19 Touche d'enlrbe, valeurs crolssantes 21 DEL d'indication du zero 22 Echelle pression vide prlmaire :'Pv" 23 Echelle pression d'admlsslon "PE" 24 Touche "START'

15 ~ Abb. 5 Ansetzen des lecksuch-moduls Fig. 5 Attaching Il'Ie leak defection module Fig. 5 Pose du module-chi'ecleur Erlauterungen zur Abb. 5 1 leckslich Modul 2 Tragegrllf, herausgezogen 3 Klinke 4 Aussparung, Klinke 5 Pump-Modld Key 10 Fig_ 5 1 Leak detecl10n module 2 Handle, in puiled-oul position :3 TOib 4 Sial for lab 5 Pump module Legende de Ie fig. 5 1 Module-detecteur 2 Poigruie, retiree 3 Clique! 4 Evldemenl, clique! 5 Module-pompa Abb.lFig ~ ~3 ~=====: Vorbereitung zur Inbetriebnahme Der UL 100 PLUS wird im betriebsbereiten Zustand ausgeliefert. Das Pump-Modul ist bereits mit dam Lecksuch-Modul verbunden. Sind beida Teile noch voneinander getrennt, ist das Lecksuch-Modul (5/1) auf das Pump Modul (5/5) gemab Abb. 1 aufzusetzen. Dabei mul3 die Klinke (5/3) am Lecksuch-Modul in die Aussparung (5/4) vom Pump-Modul (5/5) gefohrt werden. Das Lecksuch-Modul (5/1) kann nun durch leichten Druck vollstandig auf das Pump-Modul (5/5) aufgesetzt werden. Das Lecksuch-ModuJ (5/1) mit dem Pump Modul (5/5) verriegeln. Dazu wird am Pump-Modul (7/2) das Abdeck-. blech (7/1) von den Magnetvarschlussen (6/6) abgehoben und nach unten herausgenommen. Jetzt konnen beide Flugelschrauben (6/2) und (6/4) hochgekjappt und durch eine Rechtsdrehung geschlossen werden. Das Lecksuch Modul ist nun vakuumdichl mit dam Pump Modul verbunden. Abdeckblech (7/1) schrag an das Pump-Modul (7/2) ansetzen und unten gegen die Magnelverschlosse (6/6) androkken. Beim Trennen des Lecksuch-Moduls yom Pump-Modul ist entsprechend in umgekehrter Reihenfolge vorzugehen. Die im Pump-Modul eingebaute Drehschieber Vakuumpumpe ist betriebsbereit mit 01 geffillt Preparations for Initial Start Up The UL 100 PLUS is supplied in ready-tooperate condition. The pump module is already connected to the leak detection module. If these two modules are still separate, 'the leak detection module (5/1) must be attached to the pump module (5/5) as in Fig. 1. The tab (5/3) on the leak detection module (5/1) must first be guided into the slot (5/4) on the pump module (5/5).The leak detection module (5/1) can now be fully mounted on the pump module (5/5) by applying slight pressure. Then interlock leak detection module (5/1) with pump module (5/5). For this purpose, the cover plate (7/1) on the pump module (7/2) is lifted off the magnetic fasteners (6/6), pulled downwards and out. Now the two wing nuts (6/2) and (6/4) pan be folded upwards and closed by turning to the right. The leak detection module now has a vacuum-tight connection to the pump module. Then mount the cover plate (711) on the pump module (7/2) at an angle and press it at the bottom against the magnetic fasteners (6/6). To separate the leak detection module from the pump module, proceed in the reverse or der. The rotary-vane vacuum pump integrated in the pump module is filled with oil and thus ready to operate Preparatifs pour la premiere mise en service La detecteur UL 100 PLUS est pret au service a la livraison. La module-pompe est deja relie au moduledetecteur. 5i ces deux parties sont encore separees, poser Ie module-detecteur (5/1) sur Ie modulepompe (5/5) comme Ie montra la fig.1. Le cliquet (5/3) du module-detecteur (5/1) est introduit dans I'evidement (5/4) du modulepompe' (5/5). La modula-detecteur (5/1) peut etre alors fixe completement sur Ie modulepompa (5/5) par una legere pression. II faut verrouiller Ie module-detecteur (5/1) avec Ie module-pompe (5/5). Soulever donc, sur Ie module-pompe (7/2), la plaque de protection (7/1) des venous magnetiqljes (6/6). Retirer ensuite cette plaque vers Ie bas. Maintenant, relever et fermer les deux vis a orei!1e (6/2) et (6/4) an les touroant vers fa draite. La liaison ainsi realisee entre Ie module-detecleur et Ie module-pompe est etanche au vide. Poser de biais la plaque de protection (7/1) contre Ie module-pompa (7/2) at I'appuyer, en bas, contre Jes verrous magnetiques (6/6). La separation du module-detecteur du modulepompa se pratique dans I'ordre inverse des operations. La pompe a palettes integree dans Ie modulepompe est prete au service et remplie d'huile. Erliuterungen zur Abb. 6 1 Typenschlld TRIVAC 0 1,6 a 2 Verriegelung IIIr Vakuum Kupplung geoflnet 3 lecksuch-modul 4 Verrieglliung fiji' Vakuum Kupplung geschlossen 5 Pump-Modul 6 MagnetverschluB Key to Fig. 6 1 Name plate TRIVAC 0 1,6 B 2 locking device lor vacuum CQupllng, open 3 leak detection module 4 Locking devlca lor vacuum cqupllng, closed 5 Pump module 6 Magnetic lastaner Legende de la fig. 6 1 Plaque signaleitlqua de TRIVAC a 1,6 B 2 VerrtJuillage de I'accouplement sous vide Quvert 3 MQdule detecleur 4 Verrouillage de l'accouplement SQUS vide lerma 5 Module pompa 6 VerrOIl magnetique ~ Abb. 6 Verriegelung Fig. 6 InlerlQcklng the modules Fig. B verrouillage -.. :r , ,E~

16 ~ Abb.7 Abdeekblech, Verrregelung FIg. 7 Cover plate and locking device FIg. 7 Plaque de protection, verrouluaga 3 -'~---2 Erlluterungen zur Abb. 7 1 Abdackblech, Varrlagalung 2 Pump-Modul 3 Abdackung, Gasballasl 4 Lacksuch Modul 5 Tragagrltt Key to FIg. 7 1 Covar plaia, locking davlce 2 Pump moclula 3 Cover, gas ballast unit 4 Leak datactlon moclula 5 Handla LO;ende de la fig. 7 1 Plaqua da protection, verrouillage 2 Module-pompa 3 Couvartura, lest d'alr 4 Modula-dataClauT 5 Poignae Betrlebstemperatur Die einwandfreie Funktion des UL 100 PLUS ist bei Umgebungsbedingungen von + '7 C bis + 40 C Qewahrleistet (PumpenOI N 62). FOr AuBentemperaturen von ca + 10 C bis + '7 C steht Bin SpeziaJOI (Arctic-Ol) for die Drehschieberpumpe 0 1,6 B zuy VerfOgung. Entsprechender Olwechsel siehe GA Cas SpezialOI (Literflasche) ist bei Leybold un ter der Bastell Nr erhtdtlich Operating Temperature The Ul 100 PLUS will operate correctly within an ambient temperature range of to (Pump oil N 62). A special oil (Arctic oil) is available for operation of the D 1,6 B rotary vane pump within the temperature range of + 10 C to The oil exchange is described. in Operating Instructions GA The special oil is available in a litre bottle from Leybold under Ref. No Temperature de service Le parfait fonctionnement de UL 100 PLUS est garanti pour des temperatures ambiantes de + 17 C a + 40 C(Huile de pompe N 62). Une huile speciale (Huile Arctic) est disponible pour la pompa a palettes rotative D 1,6 B pour les temperatures extbrieures d'env C a + 17 C. Pour Ie renouveuement d'huile voir (la L'huile speciale se commande en bouteilles d'un litre chez leybold sous la ref '. 2.2 Beschrelbung der Bedlenfunktlonen NetzanschluB Hlnwe18 Die im Foigenden beschriebenen Geratefunktionan beziehen sich auf die Softwareversion V Elektrlacher AnschluB Achtung Var AnschluB des UL 100 PLUS profsn, ob die for beida Module eriorderliche Netzspannung mit der des vorhandenen Netzes Obereinstimmt. Bel 1a1scher Netzspannung sind BescMdigungen am Ul 100 PLUS nicht auszuschlieben. Netzspannung for das Pump-Modul profsn. Die Netzspannung kenn anhand der Kat.-Nr. der TRIVAC 0 1,6 B (611) feslaestel~ werden: Kat-Nr mub mit 220 bis 240 V und Kat-Nr mub mit 105 bis 120 V betrieben werden. Bei falscher Ne1zspannungszuordnung ist das Pumpmodul bzw. der UL 100 PLUS gage.n die Version mit der korrekten Netzspannungszuordnung auszutauschen. Die NetzanschluBleitung (8/2) wird am UL 100 PLUS in den vorhandenen Kombi-Ger/ite _ker (8/5) eing'-kt. Hinweis Am Lecksuch-Modul (Oberteil) des UL 100 PLUS ist die "Netzspannung eingestellt die am Description of Controls Mains Connections Note The operation of the UL 100 PLUS as des cribed in the following is related to software version V _1 Electrical Connections Note Before connecting the Ul 100 PLUS to the mains, make sure that the mains voltage of both modules corresponds to the existing mllins voltage. If the unit is connected to the wrong mains voltage the UL 100 PLUS may be damaged. Check the mains voltage on the pump module. The mains voltage to which the unit has been set is indicated by the Cat No. of the TRI VAC 0 1,6 B (611): Cat No must be operated with 220 to 240 V and Cat No must be operated with 105 to 120 V. In case of an incorrect mains voltage correspondence the pump module or the UL 100 PLUS must be exchanged for 8 unit with the correct mains voltage. The mains cable (8/2) is plugged into the socket (8/5) on the UL 100 PLUS. Note The leak detection module (upper part) is set to the voltage as indicated on slide-in fuse unit 2.2 Description des fonctlons de commande Raccordement au &ecteur Les fonctions decrites ci-dessous tiennem compte de la version V 3.0 du logiciet Raccordement electrlque Attention Eviter d'endommager I'apparell en controlant I~ concordance entre la tension secteur at celie necessaire aux deux modules avant de raccorder UL 100 PLUS au secteur. Verifier I'indication de tension sur Ie module pompeo La tension secteur affectee a I'unite ee indiquee par Ie numero de reference de ~ pompe TRIVAC 0 1,6 B (611): RM paut ~ alimentee avec 220 ; 240 V et Ret avec 105 a 120 V. Si la tension secteur ne correspond pas, ii fal remplacer Ie module-pompe au UL 100 PLUl par 18 version travaillant avec la tension sectel correcte. La cordon de secteur (812) se raccorde sur I fiche combinee (8/5) de UL 100 PLUS. La tension secteur n9cessaire au module detecteur de UL 100 PLUS est celie indiques

17 mm Erlluterungen zur Abb. I 1 Schraubendreher 2 NetzanschluBleltung 3 Sicherungsainschub und Spannungswihler 4 Marklerung am KombloGer.litestecker 5 Kombl-Geriitestecker 8 GeraleS1eckdose, QUICKl'EST 7 Nel~chalter. "EINlAUS Key to FIg. a 1 Screwdriver 2 Power lead 3 Slide-In fuse unit and voltage selector '" Marking on power socket 5 Powar socket 6 7 QUICKTEST socket ~ONlOFF" power switch U!gende de 18 fig. 8, Tournevls 2 Cordon &ectaur 3 Porte-fusible at selecteur de tension '" Marque sur Ie fiche combined 5 Fiche comb!nea 6 Prise pour raccordsr Ie QUICKTEST 7 Interrupteur secteuf,"marcheiarret" 3--~ 2 ---':::.:::::-" Abb. 8 NetzanschluB Fig. 8 Mains connection Fig. 8 Raccordament secteur III Sicherungseinschub (8/3) lesbar nach aben auf die Markierung (8/4) zeigt Zurn Einstellen dar GerAtespannung ist dar Sicherungseinschub (al3) neben dam Kombi GeJ'Atestecker mit einem Schraubendreher (8/1) herauszunahmen und so zu drehen, dab die gewqnschte Spannung lesbar nach oben auf die Markierung (814) zeigt Den Sicherungseinschub in dieser Stellung wieder in den" Kombi-Geratestecker (815) einschieben. NetzanschluBleitung am Kombi-Ger&testecker (815) einst8cken und mit dem Netz verbinden. Der UL 100 PLUS kann nun am Netzscha/ter "EIN/AUS" (817) eingeschaltet werden. (813), whereby the number facing the marking (814) at the top applies. To set the mains voltage, I'E!mave the slide-in fuse unit (813) next to the power socket with a screwdriver (8/1) and tum it so that the desired voltage can be read. at the top of the marking (814). Push the slide-in fuse unit back into the socket (SIS) in this position. Plug the power lead into the power socket (815) and connect ij to the mains. The UL 100 PLUS can now be switched on by operating "ONIOFF" power switch (817). sur Ia fiche combinee (813), en haut, en face de 10 marque (8/4~. Pour regler la tension necessaire s I'appareil, retirer Ie porte'fusible (813) dispose a colo de Ie fiche combinee avec un tounevis (8I1). Toumer Ie porte-fusible jusqu's ce que Ia tension desires apparalsse en haut sur la marque "(8/4). Enfoncer Ie porte-fusible dans cette position dans la fiche combinee (815). Raccorcler Ie cordon secteur avec la prise (8/5) et relier Ie cordon au secteur. Le detecteur UL 100 PLUS peut eve connecte maintenant avec I'interrupteur "MARCHEf ARRET" (817) NetzschaHer "EIN/AUS" Durch Betatigen des Netzschalters (817) wird " das gesarnte GerM in Betrieb genom men. Der UL 100 PLUS beglnnt mit dem automatischen Hochlauf der Turbopumpe. Nach ca. 3 min ist der UL 100 PLUS betriebsbereit Hlnwel8 Bei der Erstinbetriebnahme "bzw. nach IAngerer Stillstandszeit kann as zu einer Oberschreitung dieser Hochlaufzeit kommen. Die Fehler Indikator LED blinkt. Durch emeutes DrOcken der Taste "START" kann der Fah[er quittiert werdan. Durch nochmalige Betatigung wird das Ger&t abgeschaltet (siaha Abschnitt 2.5). Es nimmt nach dem Hochlauf den gleichen Zustanc:l ain, dan as bairn Ausschalten hatte (siehe Abschnitt ) Netzapannungsausgang fiir Zu.. satzgeriite An der GerAtesteckdose (816) kann ffir Verbraucher niedriger Leistungsaufnahme (max. 1 A) die am Kombistecker (B/5) zugefuhrte Netzspannung entnommen werden z. B. fur den auicktest at 100 Heliumschnuffler. Hlnwel8 Die Geratesteckdose (816) wird nicht Obar den Netzschaltar vom Netz getrennl Sie fohrt stets die Netzspannung "ON/OFF" Power Switch By operating the power switch (817), the UL 100 PLUS is switched on. The UL 100 PLUS starts with the automatic run-up of the turbo-pump. After apprax. 3 min, the UL 100 PLUS is ready for operation. Note During initial operation or after a prolonged standshl[ period the run up time may be exceeded, The error LED will start to flash. This is simply acknowledged by pressing the "START" pushbutton. [f the power switch is depressed again, the UL 100 PLUS is switched off (see sect 2.5). After running up the Ul100 PLUS reverts to the same operational status it had when switched off (see section ) Mains Outlet for AuxJllary Equip.. ment Auxiliary equipment with a low power rating (max. 1 A) i. e. the at 100 Helium sample probe, may be connected to the mains outlet socket (816) which carries the same voltage as supplied through power socket (815). Note The socket (816) is not disconnected from the mains when switching off. It always carries the mains voltage [nterrupteur -MARCHEIARRET L'appareil complet est mis en service par I'actionnement de I~interrupteur secteur (8n). La montee en regime automatique de la turbopompe est la premiere operation du detecteur UL 100 PLUS. Environ 3 minutes apres, ii est prat a fonctionner. Lors de la premiere mise en service ou apree une langue periode d'arret. cette montee en regime peut _ depass6e. La LED indicatrlce d'erreur c1ignote. L'lItat d'erreur peut titre annule en actiannant a nouveau [8 touche "START". Un nouvel actionnement de I'interrupteur met I'appareil hers circuit (voir fa section 2.5). Aprea la montee en regime, it reprend l'litat qu'il avan a [a mise hors circuit (OF. section ) Sonle de tension 8ecteur pour apparell8 lupplementalres La prise secteur euxiliaire (816) pennet de raecorder des consommateurs de faible puissance abaorboe (max. 1 A) 181. que Ie renifleur a he lium QUICKTEST QT 100. Elle foumij 10 mame tension secteur que la" fiche combinee (Sl5). Cette prise (816) n'est pas deconnectee par I'interrupteur secteur. Elle est toujours sous t~nsion secteur Tasten "START" und "STOPNENT" Taste "START" Nachdem der UL 100 PLUS mit dem Netzschalter eingeschaltet und der Hochlauf be PushbUllons"START"rSTOPNENT" Pushbutton "START- Once the UL 100 PLUS has been switched on via the power switch and the run-up has Touch.. "START"' at "STOPNENT" Touche -START"' Apres la mise en circuit du detecteur UL 100 PLUS avec l'interrupteur et 18 montee en 17

18 mm endet 1st, erfolgt die waiters Bedienung mit der Taste "START" (4124) und der Taste "STOP I VENT" (4/2). Durch kurzes OrOcken dbr Taste "START" wird ein angeschlossener Pnifling evakuiert, gleichzeitig leuchtet die Status-LED (4/1) gron. Der fallende. EinlaBdruck PE wird auf der Kambi-Anzeige (413) angezeiglf bis der EinlaBdruck von Pe < 0,2 mbar 1st Bei diesem EintaBdruck wire! automatisch die Kombi-Anzeige (4/3) so umgeschajtet. dab anstelle des EinlaBdrucks die Leckrate angezeigt wird. WAhrend 1m MeBbetrieb die Leckrate angezelgt wird. kann mit jedem weiteren Druck auf die Taste "START" die angezeigte leckrate auf einen evti. angeschlossenen Drucker ausgegeben werden (PRINT ONLY -Betrieb siehe Schnittstellenbeschreibung S ). Taste STOP I VENT" Ausgehend yom MeBbebieb des UL 100 PLUS wird durch einmaliges kurzes OrOckan der Taste "STOPNENT" (412) des Evakuie ran des PrOflings unterbrochen. Der UL 100 PLUS geht in den Stand-By-Zustand. Oem Bediener wir:d dieser Zustand wie folgt angezeigt - Die angezeigte Leckrate wird ausgeblendet. die led's (413) sind aile aus. - Die rot-grune Status-lED (4/1) erlischl - Die Exponenten sind weiterhin slchtbar. - 1m Service1eld wird aut der Status~ 1 Fehleranzeige (26/1) "STBY" angezeigt. - Die LED-Zero (4/21) leuchtel Nach dem Drucken der Taste "STOPNENT" (412) ertolgt ein Selbstabglelch des Ul 100 PLUS. Hierbei wird d~r gerateinteme Heliumuntergrund und die elektrische Nullpunktverschiebung bestimmt Durch langeres OrOcken (mindestens 2 s) der Taste "STOPNENT" (4/2) wird die Funktion VENT (Fluten) arreicht Das Flutventil V3 wird geoffnet Der PrOfIing wird horbar geflutel Dieser BetriebszuBtand wird durch rotes Auf [euchten dar Status-LED (4/1) gemaldel Die LEOs der Kombi-Anzeige (413) sind aile aus. Das Flutventil V3 kann wieder geschlossen werden durch - nochmaliges ONckan der Taste "STOPI VENT". Dar UL 100 PLUS geht in den Standby-Zustand oder - Taste "START" (4/24) drucken. Dar UL 100 PLUS geht in den MeBbetrieb zuruck Wertelngab&o Tasten Nach Bet!tigen einer Multifunktionstaste konnen Qber die Werteingabe-Tasten (4/19) und (4/6) Parameter ins Gerat eingegeben werden. Zum Beispiel kann nach vorherigam Betatigen der Multifunldions-Taste "Akustisches Signal" (4/16) die Lautstarke des akustischen Signals eingestellt werden. Hlnwels Mit den Werteingabe-Tasten (4/19) und (4/6) kann nur die Funidion beeinflubt werden, die jeweils auf einer der Multifunktions-Tasten vorgewflhlt uoo Qber eine LED angezeigt wird. 18 been completed, further operation is carried out with the "START" (4/24) and "STOP I VENT" (412) pushbuttons. By briefly depressing the "START" pushbut ton (4/24), the test object is evacuated, during which time the status LED (4/1) is green. The dropping intake pressure PE is shown on the combined indicator (413) until pressure PE is < 0.2 mbar. At this value of the intake pressure, the combined indicator (413) automatically changes over to leak rate indication instead of inlet pressure indication. During indication of a leak rate in the measuring mode. each depressing of the " START" pushbutton will output the displayed leak rate on a printer if connected (PRINT ONLY mode see instructions for the interface SB ). Pushbutton' STOP I VENT" When the UL 100 PLUS is in the measurement mode, evacuation of the test object can be interrupted by briefly pressing the "STOP I VENT" (412) pushbutton once. The Ul 100 PLUS then _ itseij to _dby. This condition is indicated to the operator as follows: - The displayed leak rate disappears, LED's (413) are ail off. - The redlgreen status led (4/1) is off.. - The exponents are still visible. The status/error diplay (26/1) on the service panel indicates "STBY". - The zero LED (4121) is on After pressing "STOPNENT" (4/2) the sehalignment process of the UL 100 PLUS is started. Both internal helium background and electrical zero shift ar~ determined. By pressing the pushbutton "STOPNENT" (412) for a longer period of time (for at least 2 s) the venting process can be started. Venting valve V3 is opened. The test object is audibly vented. This operating condition is indicated by the status LED (4/1). The leds on the combination display (4/3) are all ~ff. Venting valve V3 can be closed again by - again operating the "STOPNENT" pushbutton. The UL 100 PLUS returns to standby or - operating the "START" (4/24) pushbutton. The UL 100 PLUS returns to the measurement mode Parameter Pushbuttona After operating a program pushbutton, parameters can be entered with the, parameter pushbuttons (4/19) and (416). For example, after previously operating the acoustic signal multi-function pushbutton (4/16), the volume of the acoustic signal can be adjusted. Note With the parameter pushbuttons (4/19) and (4/6) one can only influence a function previously selected with a multi-function pushbutton and indicated by the relevant LED. regime de la pompe ia commande est poursuivie avec la touche "START" (4124) et la touche "STOPNENT" (412). La pibce raccordee est evacuee en tapant brievement la touche "START" (4124), simultanament la DEL d'etat verte (4/1) sallume. La pression d'admission decroissante PE est in diquee sur I'affichage combine (413) jusqu'a la valeur PE < 0,2 mbar. Quand cette valeur est attainte, I'affichage combine (413) est commute automatiquement de telle sorte que ce soit Ie taux de fuite et non ia pression d'admission qui soit affich8., Pendant I'affichage de taux de fuite en mode mesure, chaque pression sur la touche "START" provoque une sortie du taux actual sur "imprimante eventuellement raccordee (mode PRINT ONLY voir description d'interface SB ). Touche STOP 1 VENT' Lorsqua UL 100 PLUS est en mode de me sure, on paut interrompre I'evacuation de la piece raccordee en actionnant, une saule foi~ et briov.men~ Ie touche "STOPI VENT" (4/2). Ul 100 PLUS passe aiors en mode Stand By. Cet etat est indique a I'operateur de la fscor suivante: - Le taux de fuits indique disparait, les DEL (413) sont toutes etaintes. - La DEL rouge verts (4/1) s'eteinl - Las exposants restsnt vis/bles. - L'affichage d'etatld'erreur (26/1) du pannebl de service indique "STBY". - la DEL du zero (4/21) s'ailume L'equlHbrage 8utamatique de UL 100 PLUS I lieu apree I'actionnement de la touchl "STOPNENT" (412). le rond helium de I'op pareil et 18 derive electrique du zero sont alar. determines. On obtient la fonction VENT (remise a I'atrnos phere) en actionnant plus longtemps (au moin: 2 s) 18 touche "STOPNENT" (412). Le robine de fuite V3 est ouvert. On entend distinctemer la remise a ratmosphere de 18 piece raccordee Cat Stat de service est signale par I'allumagl de Ie DEL d'etat (4/1). Las DEL de I'affichag combine (413) sont toutes eteintes. Le robinet de fuits V3 peut Atre referme en - actionnant une nouvelle fois la touch "STOPNENT". Ul 100 PLUS passe e mode Stand-By au en - actionnant 18 touche "START" (4/24). U 100 PLUS revient en mode mesure Touches d'entree de valeurs Ce type de.touche (4/19) et (4/6) perme apres I'actionnement d'une touche programme d'introduire des parametres. II est par exempl possible en appuyant avant sur la touc~ multifonction "signal acoustique" (4/16), c realer l'intensitb du signal sonore. Les touches d'entree des Valeurs (4/19) (4/6) ne peuvsnt influencer que la fonction ( la touche precedemment choisie et indlque par une DEL.

19 ~ ~- Die Werteingabe wird durch DrOcken dar Taste (4/19) vergrobert und durch Dnlcken dar Taste (416) verkleinert. SiB wird erst mit DrQcken dar Taste Eingabe-Ende "ENTER" (4/l3) abgeschlossen und damit wirksam MeBberelchswahl-Taste "Automatlk"/"Triggerloglk" Durch Beta.tigen dar Taste MeBbereichswahl "Automatik" (4118) wl!h~ der UL '00 PLUS automatisch den richtigen Me13bereich und zeigt diesen auf dar Kombi-Anzeige (413) an. Urn den jeweiligen Prof bzw. MeBvorgang ohne VerzOgerungen durchfohren zu konnen, empfiehlt BS sieh, den UL 100 PLUS auf Automatikbetrieb einzustbuen. Als Sonderfunktion wird clie Taste bel dar Programmierung dar Trigger zur Umschaltung zwischen Normal- und Invers-Betrieb verwendet (slaha Abschnitt ) MeBberelchswahl Ta81e "Hand" Durch das Betatigen dar MeBbereichswahl Taste "Hand" (4/8) wird das automat AuswAhlen. des richtigen MeBbereiches abgeschahet Der MeBbereich mub Dber die Werteingabe-Taste (4/19) u. (416) eingesteljt werden und kann an den Exponenten (4/4) bzw. (4/5) abgelasen werclen. Durch eine in der MeBbereichswahl-Taste "Hand" vorhandene led (4n) wirel diese Funktion angezeigt. Bei Verwendung der Option Teilstrompumpsatz kann mit Hitfe der Taste "HAND" und der Werteingabetaste (416) manueu in den empfindlichsten MeBbereich (ULTRA) geschaltet werden. (Sieha Abschn~ ). 2.2.& Nullpunkt-Taste -Auto-Zero" 1m MeBbetrieb wircl eine storende konstante Untergrundanzeige durch einmaliges Betatigen dar Nullpunkt-Taste (4/14) untercirockt. Ab Softwareversion V3.4 wirkt die Nullpunkttaste zusatzlich auf die TriggerausgAnge (Abschnitt 2.2.8) und auf die Analog Spannungs Ausgange (Abschnitt ). Die leckraten-anzeige wird automatisch auf Null gesetzt und die Null lndikator led (4/21) blinkt. Befindet sich der angezeigte Helium-Untergrund in der unteren Dekacle, so wircl der MeBbereich eine Dekacle empfindlicher gewahit Ein Umschalten in empfindhchere MeBbereiche ist nun nicht mehr moghch. Ein Absinken des Untergrundes wird durch eine gleitende Untergrundbestimmung korrigiert. Durch nochmaliges Beta.tigen der Nullpunkt Taste (4/14) wird die Funktion aufgehoben, ein eventueller Untergrund wird wieder als leckrate angezeigt MuHlfunktlons-Taste "Akustlsches Signal lo Hlnwels Die Betatigung dieser Taste und ihre Funktion konnen in allen Betriebsarten eoolgen. The value of the parameter is increased by pressing pushbut10n (4119) and decreased by pressing pushbutton (416). The entry does not take effect until the "ENTER" pushbutton (4113) has been depressed Range Selector Pushbutton Automatlc"rTrigger logic" By depressing the automatic measuring range selector (4118), the UL '00 PLUS automatically chooses the right measuring range and indicates it on the combined indicator (413). To perlann testing and measurement without delays,it is advisable to set the Ul 100 PLUS to automatic operation. As a special function this pushbutton is used to switch between normal and inverse mode during the programming process' of the trig~ gers (see section ) Measuring Range Selector "'Manua'" If the manual measuring range selector (4/8) is depressed, automatic selection of the right measuring range is switched off. The measuring range must now be entered with the parameter pushbut1on. (41'9) and (4/6) and can be read off directly at the exponents (4/4) and (4/5). This function is indicated by the LED (4n) on the measuring range selector. When the optional partial flow pump set is used, the "MANUAL- pushbutton and the pam rameter pushbutton (4/6) may be used to manuafly switch over to the most sensitive (UL TRA) range (see also Section ) Pushbutton "'Auto Zero In the measurement mode, an unwanted constant background reading is supppressed by pressing the autozero pushbutton (4114) once. As of software release V 3.4 the Zero pushbutton additionally affects the trigger outputs (Section 2.2.8) and the analogue voltage outpuls (SBC1ion ). The leak rate indication is automatically set to zero and the zero indicating led (4/21) flashes. If the displayed helium background is in the lower part of a decade the next, more sensitive range is selected. Further switch over to an even more sensitive range is then no longer possible. A possible further reduction of the background will now be automatically accounted for by the adaptive background determination process. If the auto zero pushbutton (4/14) is depressed again, the function is cancelled and any background is again displayed as leak rate Multl~Functlon Pushbutton "Acoustic SignaI'" Note Operation of this pushbutton is possible in all operating modes. La valeur est augmentee en actionnant la touche (4/19) at diminuee par la touche (416). l'introduction n'est tenninee et donc activ8e qu'en actionnant la touche fin d'entree "EN~ TER" (4113) Touche de selection "automat..., "trigger log. n des gammas de mbs. l'actionnement de cette touche (4/18) declenche dans Ie' detecteur UL 100 PLUS Ie choix automatique de la gamma de mesure correcte at son indication sur!'affichage combine (4/3). Ce service automatique du detecteur UL 100 PLUS est conseiue pour ne pas pereira de temps avec les differentes operations de contr"ole au de mesure. Pour la programmation des triggers cehe touche a la fonction speciale de commuter entre mode nonnal at mode inverse (CF. section ) Touche de selection "manuelle" des gammes de mesure l'actionnement de cette touche "manuelle" (4/8) arrete la selection automatique de la gam me de mesure eorrecte. Celle-cl doit etre introduite au moyen d'une touche d'entree (4/19) ou (416). Elle paut lure lue immediatement avec les exposants (4/4) ou (4/5). la fonction est indiquee par une DEL (4n) sur is touche "manuelle" (selection manueile). Avec I'option groupe de pompage Ii flux partiel, on utilise la touche "manuelle" at la touche d'introduction de valeurs (4/6) pour commuter manuellement sur la gamme de mesure la plus sensible (ULTRA). (Cf. section ). 2.2.& Touche de remise a zero "autozero" En mode mesure I'affichage d'une valeur para~ site constanta paut ette supprime en actionnant la touche de remise a zero (4114). A partir de la version V 3.4 du logiciel,!'action de la touche point zero s'etand egalement aux sorties trigger (section 2.2.8) et aux sorties de tension analogique (section ). l'afflchage de taux de fuite revient automatiquement a zero et la DEL du zero (4121) clignote. La gamme de mesure sera choisie d'une decade plus sensible si Ie fond Mlium afficm se trouve dans la decade inffirieure. II n'est a10rs plus possible de commuter sur des gammas plus sensibles. La reduction du fond est corrigse par une determination flottante du fond. En appuyant une nouvelle fois 'sur la touche de remise a zero (4/14), cette fonction est annulee at un eventuel fond parasite est affiche en tant que taux de fuite Touche muhtfonctlon "signal acou stlque Cetta touche de fonotion est operante pour taus las modes de service. Mit der Multifunktions-Taste.. Akustischas Signal" (4/16) kann die lautstarke bzw. der Ein With the acoustic signal multi""function pushbutton (4116) one can adjust the loudness or la touche multifonction "Signal acoustique" (4/16) pennet de regler l'intensit8 sonore ou Ie 19

20 -'-- il satzpunkt der LautstArke eingesteltt werden, indem die jewells gewahlte Funktion uber die Werteingabe-Taste (4/19) oder (4/6) geandert wird. Durch einmaliges Beta.tigen der Muttifunktioos Taste "Akustisches Signal" (4/16) leuchta! die Einsatzpunkt-LED (4115). Der EinsBtzpunkt des akust Signals kann mit Hilfa der Wertsingabs-Taste (4119) oder (4/6) auf jeden beliebigen Skalenwert eingestellt werden. Der eingesteltte Einsatzpunkt wird wah rend der Einstallung auf der Kombi-Anzeige (4/3) angezeigl Die leuohtenden LED's auf der Kombi-Anzelge (413) geben den Bereich an, in dam das akustische Signal aktiviert ist Durch zweimajiges Betatigen dar Multifunktions-Taste "Akustisches Signal" (4/16) leuchtel die Lautstarke LED (4/17). Ober Werleing8be-Taste (4/19) oder (4/6) kenn in diesem Fall die Lautstarke des akustischen Signals geandert werden. Die Intensttlit wird durch Aufleuchten der LED's (413) von unten nach aben angezeigt. Die Eingabe mub mit der Taste for Eingabe Ende "ENTER" (4/13) ebgeschlossen werden. Die Einstel1ung kann durch nochmaliges DrUcken oder zweimaliges Drucken der Taste (4/16) abgebrochen werden. the signal starting point by entering different values with the parameter push buttons (4/19) or (4/6). If the acoustic signal multi-function pushbutton (4116) is depressed once, the LED for the signalstarting poinl lights up (4/15). The starting point of the acoustic signal can then be set with the aid of the parameter pushbuttons (4/19) or (4/6) to any desired displayed ~ue. The set starting point is displayed during setting on the combined indicator (413). The LEOs on the combination display (413) indicate the range in which the acoustic signal is activated. If the acoustic signal multi-function pushbutton (4116) is depressed twice, the volume LED (4/17) lights up. The volume of the acoustic signal can then be ahared with the parameter pushbuttons (4/19) or (4/6). The volume is indicated by successive lighting of the LEOs (4/3) ~om bottom to top. Finally, depress the "ENTER" pushbutton (4/13) at the end of entry. This adjustment can be terminated by pressing pushbutton (4/16) once or twice.. point d'application du signal en modifiant la fonction choisie avec la touche entree de valeurs (4/19) ou (416). En appuyant une 10is sur la touche multifonction "signal acoustique" (4116) la DEL point d'application s'a1lume (4115). Ce point paut a10rs etre dmini a I'aide de la touche d'entree de valeurs (4/19) ou, (416) sur une valeur quelconque indiquee, pendant son reglage, par une DEL sur I'affichage combine (413). Les DEL allumees sur I'affichage combine (413) indiquent la gamme d'activation du signal acoustique. La DEL intensitlt sonore (4/17) s'allume en aqtionnant deux fois la touche multifonction "signal acoustique" (4116). L'intansitil'sonore du signal acoustique peut alors etre delinis grftce Ii la touche d'entree de valeurs (4/19) au (416). L'intensitB est indiquee par I'allumage des DEL (413) du bas vers Ie haul L'introductiQn doit Atre termlnee avec la touche "ENTER" (4/13). On peut interrompre Ie reglage du trigger en actionnant Ii nouveau la touche! (4116) ou en actionnant deux lois la touche (4116) Multlfunktlons-Taste "Trigger und Kallbrlerung" Hlnwels Die BetMigung der Taste kenn aus dem Stand-By und dem MeBbetrieb erfolgan _1 Funktlon "Trigger 1 und 2" Nor.. mal Mit Hilte dar Funktionen "Trigger 1 und 2" wird bei Erreichen einer bestimmten Leekraten-HOhe je ein potentialfreier Kontakt an der Multilunktions-Schnittstelle geschahat Die Ausgo1nge "Trigger 1" und "Trigger 2" an der Multifunktions-Schnittstelle (siehe Abschnitt ) stehen dem Benutzar des UL 100 PLUS zur lreien VerfOgung. Die HOhe des Leckraten-Wert_BS, bei der die potentialfreien Kontakte am Multifunktions Schnittstelle geschaltet werden, ist vom Benwer lrei vorwflhlbar. Dazu mub die Funktion "Trigger 1 oder 2" durch ein- bzw. zweimaliges Drucken der Multifunktions-Taste "TRIG I CAL" (4/11) vorgewahit werden. Dies wird durch die LED's (4/9) oder (4/10) angezeigt Mit Hilfe der WerteingalJ&.Tasten (4/19) und (4/S) kann die Triggerschwelle beliebig in der GroBe geandert werden. Der eingegebene Wert wird for die Dauer des Einstellvorganges durch die Position einer Einzel-LED auf der Kombi-Anzeige (413) zusammen mit dem Exponenten dargestellt Die Eingabe mub mit der Taste for Eingabe Ende "ENTER" (4/13) abgeschlossen werden. Die Triggereinstellung for Trigger 1 kann durch 3maliges DrOcken der Taste "Trigger und Kalibrierung" (4/11) und fur Trigger 2 durch 2maliges Drucken der Taste "Trigger und Kalibrierung"(4/11) abgebrochen werden Multi-Function Pushbutton "rrlgger and Calibration Noto Operation of this pushbutton is only possible in the stand by or the measurement mode '"Trigger 1 and Trigger 2 10 Normal With the aid of the functions "Trigger 1" and "Trigger 2", a floating contact is switched at the multi-function Interface in each case upon reaching a specific leak rate. The outputs "Trigger 1" and "Trigger 2" at the multifunction Interface (see Section ) can be used by the UL 100 PLUS. operator as desired. The leak rate value at which the floating contacts at the multi~function Interface operate can be selected freely by the operator. For this purpose, the "Trigger 1 or 2" function must be selected by depressing the multifunction pus~button "TRIG I CAL" (4111) once or twice respectively. This is indicated by the LED (4/9) or (4/10). Using the parameter push buttons (4/19) and (4/6), the trigger threshold can then be altered as desired. The value entered is indicated during this setting procedure, together with the exponent, by the relevent individual LED on the combined indicator (413). Finally, depress the "ENTER" pushbutton (4/13) at the end of entry. The trigger adjustment lor trigger 1 can be terminated by pressing pushbutton "Trigger and Calibration" (4/11) three times and twice for trigger Touche muhlfonctlon "trigger et callbrage" Cette to!jche de fonotion est operante dans IE mode Stand-By at Ie mode mesura Fondlon "t,rlgger 1 et 2" normale Cas fonctions "trigger 1" at "trigger 2" com mutent chacune un contact isola de l'lnterfacil multifonction lorsqu'une certains valeur du tau: de fuits est attainte. Las sorties "trigger 1" at "trigger 2" de l'lnter face multifonction (voir section ) sont l la libra disposition de I'utilisateur du dbtecteu UL 100 PLUS. La valeur du taux de fuita pour lequel Ie contacts isalas de l'lnteriace multifonction sor commutes. est laissee au -libre chobe d I'utilisateur. II laut slors preselectionner la fonction "trigge 1 au 2" en appuyant una au deux lois sur I touche multifonction "TRIG I CAL" (4/11) c qui provoque I'allumage des DEL (4/9) 0 (4/10). La valeur du taux de fuite peul etre modifiee c' facen quelconqus Ii I'aide de la touche d'entnl de valeurs (4/19) ou (4/6). La valeur introdur est representee pendant Ie reglage par position d'une DEL individuelle sur l'affichb!; combine (4/3) avec I'exposant L'introduction doit we terminee avec la touct "ENTER" (4/13). Pour interrompre Ie regis{ des triggers, actionner 3 fois la touche "trigg et calibrage" (4111) pour Ie trigger 1, at 2 fc pour.ie trigger 2.