Strahlaufweiter. Beam expanders



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Transkript:

Strahlaufweiter Strahlaufweiter sind optische Systeme zur Vergrößerung oder Verkleinerung des Laserstrahldurchmessers. Das Produkt aus Strahldurchmesser und Divergenz des Laserstrahls ist eine Konstante und bleibt damit erhalten, d.h. vergrößert man zum Beispiel den Strahldurchmesser, verkleinert man die Divergenz in gleichem Maße. Das gilt für die Aufweiter mit festem Aufweitungsfaktor als auch für die Zoomaufweiter, deren Vergrößerung variabel ist. Jede Serie unsere Strahlaufweiter bietet eine manuelle oder motorisierte Einstellmöglichkeit der Divergenz. Alle optischen Elemente der Strahlaufweiter bestehen aus Quarzglas und bieten auch bei Verwendung von Lasern mit hoher mittlerer Leistung und hoher Pulsspitzenleistung eine stabile und zuverlässige Performance. Aufgrund der hohen Leistungsdichte (speziell auf der Eintrittslinse) empfehlen wir unsere absorptionsarmen Vergütungen als Standardvariante. Auch unsere Strahlaufweiter sind hinsichtlich Kurzpulstauglichkeit geprüft und mit gekennzeichnet. Für jede Vergrößerungsstufe ist mindestens ein Strahlaufweiter frei von internen Geistern verfügbar und hält somit auch hohen Belastungen bei kleinen Eingangsstrahldurchmessern stand. Beam expanders Beam expanders are optical systems used to increase or decrease the beam diameter. The product of beam diameter and divergence of the laser beam is a constant and therefore remains unchanged, i.e. increasing the beam diameter means reducing the divergence of the beam to the same degree. This is true for the expanders with fixed expansion factor as well as for the zoom expanders, where the magnification is variable. Each type of our beam expanders offers a manual or motorized divergence adjustability. All optical elements of beam expanders consist of fused silica and provide stable and reliable performance even with high average power or laser with high peak power. Because of the high power density (especially at the entrance lens element) we advise our low absorption coating as standard product. Our beam expanders are tested and signed with for short pulse application, too. For each magnification ratio, at least one beam expander without internal ghost is available offering stable working conditions even at high power and small entrance beam diameter.

Strahlaufweiter ALPHA mit fester Vergrößerung - Quarz beam expanders ALPHA with fixed magnification - fused silica Die Sill Optics Strahlaufweiter aus der Serie ALPHA (Absorption Low Plus High Aperture) mit Quarzlinsen wurden speziell für große Laserstrahldurchmesser entwickelt. Der kollimierte /e² Strahldurchmesser, den Hochleistungsfaserlaser normalerweise zur Verfügung stellen, liegt zwischen 6 mm und 9 mm, d.h. der Gesamtstrahldurchmesser kann bis 8 mm betragen. Eine Begrenzung dieses Strahls auf einen kleineren Durchmesser würde einen deutlich messbaren Leistungsverlust zur Folge haben und den Strahlaufweiter aufheizen oder beschädigen. Speziell hierfür empfiehlt Sill Optics eine absorptionsarme Antireflexvergütung für den Bereich von.030 nm bis.090 nm. ALPHA -Aufweiter sind auf Anfrage auch für andere Wellenlängenbereiche optimierbar. Sill Optics fused silica beam expanders series ALPHA (Absorption Low Plus High Aperture) are especially designed for large laser diameters. High power lasers emitting collimated /e² beam diameter of about 6 9 mm. Thus, the full beam diameter could achieve 8 mm. The limitation of this diameter will cause a considerable power loss and heat or damage the beam expander. Especially for this case, we advise our anti-reflective coating from,030 nm to,090 nm. ALPHA -beam expanders for different wavelength ranges are deliverable upon request. 030 nm - 090 nm S6ASS6008/328 0.8 2.0 2.0 20.0 46.0 85.0 M30x S6ASS0807/328. 24.0 22.0 50.0 77.0 84.0 M30x S6ASS602/328.2 2.0 2.0 28.0 46.0 85.0 M30x S6ASS082/328.2 25.5 22.0 50.0 77.0 84.0 M30x S6ASS36/328.5 25.5 22.0 50.0 77.0 84.0 M30x S6ASS0884/328.8 25.5 22.0 50.0 77.0 84.0 M30x S6ASS32/328 2.0 24.0 22.0 50.0 77.0 20.2 M30x S6ASS326/328 2.5 25.5 8.0 50.0 77.0 38.4 M30x S6ASS332/328 3.0 25.5 6.0 50.0 77.0 50.2 M30x S6ASS340/328 4.0 24.0 2.0 50.0 77.0 249.0 M30x S6ASS5040/328 4.0 4.0 9.0 50.0 77.0 00.9 M30x S6ASS5065/328 5.0 0.0 8.0 50.0 77.0 04.5 M30x S6ASS5070/328 6.0 0.0 7.0 50.0 77.0 04.5 M30x C.A. mit S6MEC007 nur 22,5 mm / C.A. with S6MEC007 only 22.5 mm F-Theta Lenses Beam Expanders Aspheres Lens Systems Accessories Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de 2

Lens Systems Aspheres Beam Expanders F-Theta Lenses Strahlaufweiter mit fester Vergrößerung - Quarz beam expanders with fixed magnification - fused silica Unsere Strahlaufweiter-Reihe umfasst Quarzoptiken von,5-facher bis 20-facher Vergrößerung. Dabei werden Wellenlängenbereiche von 266 nm bis.980 nm abgedeckt. Als Kollimationsglied verwenden wir 2-linsige Luftspaltsysteme zur Minimierung der Abbildungsfehler, wodurch eine beugungsbegrenzte Abbildung erreicht wird. Zusätzlich kann die Divergenz des aufgeweiteten Strahls einfach eingestellt werden. Durch das Design nach dem Galilei-Prinzip vermeidet man einen internen Fokus und hält die Baulänge im Vergleich zu einem Kepler-System kurz. Our standard beam expander series covers fused silica lenses from.5x up to 20x with wavelengths from 266 nm to,980 nm. For collimation, we use an air spaced 2-lens-system in order to minimize aberrations and reach diffraction limited performance. In addition, the divergence of the expanded beam can be adjusted easily. The design is a Galilean type, i.e. there is no internal focus and the system length is short compared to a Kepler type system. 850 nm - 980 nm S6EXP005/59.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0020/59 2.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0025/59 2.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0030/59 3.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0040/59 4.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0050/59 5.0 8.0 5.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0060/59 6.0 6.0 5.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0070/59 7.0 6.0 4.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0080/59 8.0 6.0 3.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0090/59 9.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP000/59 0.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP020/59 2.0 6.0 2.5 30.0 46.0 85.0 M30x 550 nm S6EXP005/008.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0020/008 2.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0025/008 2.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0030/008 3.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0040/008 4.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0050/008 5.0 8.0 5.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0060/008 6.0 6.0 5.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0070/008 7.0 6.0 4.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0080/008 8.0 6.0 3.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0090/008 9.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP000/008 0.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP020/008 2.0 6.0 2.5 30.0 46.0 85.0 M30x Accessories 22 Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de

030 nm - 090 nm Strahlaufweiter mit fester Vergrößerung - Quarz beam expanders with fixed magnification - fused silica S6EXP005/328.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0020/328 2.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0025/328 2.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0030/328 3.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0040/328 4.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0050/328 5.0 8.0 5.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0060/328 6.0 6.0 5.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0070/328 7.0 6.0 4.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0080/328 8.0 6.0 3.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0090/328 9.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP000/328 0.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP020/328 2.0 6.0 2.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP050/328 5.0 6.0 2.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0200/328 20.0 6.0.5 30.0 46.0 85.0 M30x 808 nm - 980 nm S6EXP0020/094 2.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0030/094 3.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0050/094 5.0 8.0 5.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP000/094 0.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x 55 nm - 545 nm S6EXP005/292.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0020/292 2.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0025/292 2.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0030/292 3.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0040/292 4.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0050/292 5.0 8.0 5.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0060/292 6.0 6.0 5.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0070/292 7.0 6.0 4.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0080/292 8.0 6.0 3.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0090/292 9.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP000/292 0.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP020/292 2.0 6.0 2.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP050/292 5.0 6.0 2.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0200/292 20.0 6.0.5 30.0 46.0 85.0 M30x 405 nm S6EXP005/73.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0020/73 2.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0030/73 3.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0050/73 5.0 8.0 5.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0070/73 7.0 6.0 4.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP000/73 0.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0200/73 20.0 6.0.5 30.0 46.0 85.0 M30x F-Theta Lenses Beam Expanders Aspheres Lens Systems Accessories Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de 23

Aspheres Beam Expanders F-Theta Lenses Strahlaufweiter mit fester Vergrößerung - Quarz beam expanders with fixed magnification - fused silica 343 nm - 355 nm S6EXP005/574.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0020/574 2.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0025/574 2.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0030/574 3.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0040/574 4.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0050/574 5.0 8.0 5.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0060/574 6.0 6.0 5.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0070/574 7.0 6.0 4.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0080/574 8.0 6.0 3.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0090/574 9.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP000/574 0.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP020/574 2.0 6.0 2.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP050/574 5.0 6.0 2.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0200/574 20.0 6.0.5 30.0 46.0 85.0 M30x 355 nm S6EXP005/075.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0020/075 2.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0025/075 2.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0030/075 3.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0040/075 4.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0050/075 5.0 8.0 5.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0060/075 6.0 6.0 5.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0070/075 7.0 6.0 4.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0080/075 8.0 6.0 3.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0090/075 9.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP000/075 0.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP020/075 2.0 6.0 2.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP050/075 5.0 6.0 2.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0200/075 20.0 6.0.5 30.0 46.0 85.0 M30x Lens Systems 266 nm S6EXP005/99.5 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0020/99 2.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0030/99 3.0 8.0 6.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0050/99 5.0 8.0 5.5 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP0070/99 7.0 6.0 4.0 30.0 46.0 85.0 M30x S6EXP000/99 0.0 6.0 3.0 30.0 46.0 85.0 M30x Accessories 24 Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de

Kompakte Strahlaufweiter mit fester Vergrößerung - Quarz compact beam expanders with fixed magnification - fused silica Für Anwendungen in kompakten Laserköpfen bieten unsere 2-linsigen Strahlaufweiter eine hervorragende Abbildungsqualität bis zu einer Vergrößerung von 4-fach bei etwa halber Baulänge. Die Gewindeanschlüsse und optische Parameter sind kompatibel zu den Standardaufweitern EXP. Auch die Divergenzverstellung ist gleichermaßen möglich. Selbstverständlich werden auch diese Strahlaufweiter mit unseren optimierten absorptionsarmen Vergütungen angeboten, um bei Verwendung von Hochleistungslasern die Transmission weiter zu optimieren. Restricted space requirements are the perfect fit for our compact beam expanders. These expanders consist of only 2 lenses and provide the same optical performance as the standard series. The overall length is only 44.7 mm. Even divergence adjustment and mechanical threads are still compatible to the standard EXP series. Of course these systems can be provided with our optimized low absorption coatings to optimize transmission for high power laser applications. 030 nm - 090 nm S6EXK0008/328 0.8 2.0 0.0 2.0 46.0 44.7 M30x S6EXK002/328.2 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK005/328.5 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0020/328 2.0 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0030/328 3.0 8.0 6.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0040/328 4.0 8.0 4.0 20.0 46.0 44.7 M30x 55 nm - 545 nm S6EXK0008/292 0.8 2.0 0.0 2.0 46.0 44.7 M30x S6EXK002/292.2 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK005/292.5 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0020/292 2.0 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0030/292 3.0 8.0 6.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0040/292 4.0 8.0 4.0 20.0 46.0 44.7 M30x 343 nm - 355 nm S6EXK0008/574 0.8 2.0 0.0 2.0 46.0 44.7 M30x S6EXK002/574.2 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK005/574.5 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0020/574 2.0 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0030/574 3.0 8.0 6.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0040/574 4.0 8.0 4.0 20.0 46.0 44.7 M30x 355 nm S6EXK0008/075 0.8 2.0 0.0 2.0 46.0 44.7 M30x S6EXK002/075.2 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK005/075.5 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0020/075 2.0 2.0 0.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0030/075 3.0 8.0 6.0 26.0 46.0 44.7 M30x S6EXK0040/075 4.0 8.0 4.0 20.0 46.0 44.7 M30x F-Theta Lenses Beam Expanders Aspheres Lens Systems Accessories Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de 25

F-Theta Lenses Strahlaufweiter mit fester Vergrößerung und Motoradapter - Quarz beam expanders with fixed magnification and motor adapter - fused silica Unsere Strahlaufweiter der EXP Serie können für standardisierte Anwendungen über einen leicht zu integrierenden Motoradapter optimiert werden, um die Divergenzeinstellung über einen PC anzusteuern. Der Funktionsumfang der EXP Serie bleibt zu 00% erhalten. Die Auflösung des Motors beträgt 2400 Schritte bei 6 mm Verstellweg. For standardized applications, the beam expanders of our EXP series can be modified with remote control of the divergence. The original optical specifications are still valid. The motor adapter provides a resolution 2400 steps within a 6 mm adjustment travel. Lens Systems Aspheres Beam Expanders 850 nm - 980 nm S6EXM005/59.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0020/59 2.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0025/59 2.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0030/59 3.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0040/59 4.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0050/59 5.0 8.0 5.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0060/59 6.0 6.0 5.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0070/59 7.0 6.0 4.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0080/59 8.0 6.0 3.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0090/59 9.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM000/59 0.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM020/59 2.0 6.0 2.5 30.0 65.0 85. M30x 550 nm S6EXM005/008.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0020/008 2.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0025/008 2.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0030/008 3.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0040/008 4.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0050/008 5.0 8.0 5.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0060/008 6.0 6.0 5.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0070/008 7.0 6.0 4.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0080/008 8.0 6.0 3.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0090/008 9.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM000/008 0.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM020/008 2.0 6.0 2.5 30.0 65.0 85. M30x Accessories 26 Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de

030 nm - 090 nm Strahlaufweiter mit fester Vergrößerung und Motoradapter - Quarz beam expanders with fixed magnification and motor adapter - fused silica S6EXM005/328.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0020/328 2.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0025/328 2.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0030/328 3.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0040/328 4.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0050/328 5.0 8.0 5.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0060/328 6.0 6.0 5.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0070/328 7.0 6.0 4.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0080/328 8.0 6.0 3.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0090/328 9.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM000/328 0.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM020/328 2.0 6.0 2.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM050/328 5.0 6.0 2.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0200/328 20.0 6.0.5 30.0 65.0 85. M30x 808 nm - 980 nm S6EXM0020/094 2.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0030/094 3.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0050/094 5.0 8.0 5.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM000/094 0.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x 55 nm - 545 nm S6EXM005/292.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0020/292 2.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0025/292 2.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0030/292 3.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0040/292 4.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0050/292 5.0 8.0 5.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0060/292 6.0 6.0 5.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0070/292 7.0 6.0 4.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0080/292 8.0 6.0 3.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0090/292 9.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM000/292 0.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM020/292 2.0 6.0 2.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM050/292 5.0 6.0 2.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0200/292 20.0 6.0.5 30.0 65.0 85. M30x 405 nm S6EXM005/73.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0020/73 2.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0030/73 3.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0050/73 5.0 8.0 5.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0070/73 7.0 6.0 4.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM000/73 0.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0200/73 20.0 6.0.5 30.0 65.0 85. M30x F-Theta Lenses Beam Expanders Aspheres Lens Systems Accessories Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de 27

Aspheres Beam Expanders F-Theta Lenses Strahlaufweiter mit fester Vergrößerung und Motoradapter - Quarz beam expanders with fixed magnification and motor adapter - fused silica 343 nm - 355 nm S6EXM005/574.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0020/574 2.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0025/574 2.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0030/574 3.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0040/574 4.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0050/574 5.0 8.0 5.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0060/574 6.0 6.0 5.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0070/574 7.0 6.0 4.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0080/574 8.0 6.0 3.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0090/574 9.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM000/574 0.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM020/574 2.0 6.0 2.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM050/574 5.0 6.0 2.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0200/574 20.0 6.0.5 30.0 65.0 85. M30x 355 nm S6EXM005/075.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0020/075 2.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0025/075 2.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0030/075 3.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0040/075 4.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0050/075 5.0 8.0 5.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0060/075 6.0 6.0 5.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0070/075 7.0 6.0 4.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0080/075 8.0 6.0 3.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0090/075 9.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM000/075 0.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM020/075 2.0 6.0 2.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM050/075 5.0 6.0 2.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0200/075 20.0 6.0.5 30.0 65.0 85. M30x Lens Systems 266 nm S6EXM005/99.5 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0020/99 2.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0030/99 3.0 8.0 6.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0050/99 5.0 8.0 5.5 30.0 65.0 85. M30x S6EXM0070/99 7.0 6.0 4.0 30.0 65.0 85. M30x S6EXM000/99 0.0 6.0 3.0 30.0 65.0 85. M30x Accessories 28 Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de

Unsere Zoom-Strahlaufweiter sind hochkorrigierte 4-linsige Systeme. Die separate Divergenzverstellung ist äußerst anwenderfreundlich, da die Einstellung der Vergrößerung und der Divergenz unabhängig voneinander möglich ist. Darüber hinaus bleibt die Gesamtlänge bei jeder Vergrößerungs- und Divergenzeinstellung konstant. Our zoom beam expanders are highly corrected 4-lens element systems. Divergence and magnification settings are independent from each other and therefore very user-friendly. In addition, the total length of the beam expanders remains constant during zooming and/or divergence setting. 850 nm - 980 nm Zoom-Strahlaufweiter - Quarz zoom beam expanders - fused silica S6EXZ530/59.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 C-mount S6EXZ53/59.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 82.5 M30x 550 nm S6EXZ530/008.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 C-mount S6EXZ53/008.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 M30x 030 nm - 090 nm S6EXZ530/328.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 C-mount S6EXZ53/328.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 M30x S6EXZ532/328.2-3.0 8.5 9.0 (.2x) - 7.0 (3x) 43.0 80.0 230.2 M30x S6EXZ5076/328.0-8.0 0.0 9.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 58.0 62.6 C-mount 55 nm - 545 nm S6EXZ530/292.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 C-mount S6EXZ53/292.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 M30x S6EXZ532/292.2-3.0 8.5 9.0 (.2x) - 7.0 (3x) 43.0 80.0 230.2 M30x S6EXZ5076/292.0-8.0 0.0 9.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 58.0 62.0 C-mount 355 nm S6EXZ530/075.0-3.0 0.5 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 C-mount S6EXZ53/075.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 M30x S6EXZ5075/075.0-8.0 0.0 9.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 58.0 62.0 C-mount 266 nm S6EXZ5075/99.0-8.0 0.0 9.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 58.0 62.0 C-mount F-Theta Lenses Beam Expanders Aspheres Lens Systems Accessories Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de 29

F-Theta Lenses Zoom-Strahlaufweiter, motorisiert - Quarz zoom beam expanders, motorized - fused silica Die motorisierten Versionen unserer Zoom-Strahlaufweiter können für standardisierte Anwendungen über einen PC angesteuert werden. Dabei wird über einen leicht zu integrierenden Motoradapter die Vergrößerungseinstellung realisiert. Die Divergenzeinstellung erfolgt manuell. For standardized applications, a motor adapter can be incorporated to drive the mechanics used for magnification setting remote controlled by a PC. Divergence adjustment has to be done manually. Beam Expanders 030 nm - 090 nm S6EZM530/328.0-3.0 0.5 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 C-mount S6EZM53/328.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 M30x S6EZM5076/328.0-8.0 0.0 9.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 58.0 62.0 C-mount 55 nm - 545 nm S6EZM530/292.0-3.0 0.5 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 C-mount S6EZM53/292.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 M30x S6EZM5076/292.0-8.0 0.0 9.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 58.0 62.0 C-mount Aspheres 355 nm S6EZM530/075.0-3.0 0.5 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 05.8 C-mount S6EZM53/075.0-3.0 0.0 9.0 (x) - 6.5 (3x) 20.0 47.0 85.2 M30x S6EZM5075/075.0-8.0 0.0 9.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 58.0 62.0 C-mount Lens Systems 266 nm S6EZM5075/99.0-8.0 0.0 9.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 58.0 62.0 C-mount Accessories 30 Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de

In anspruchsvollen Anwendungen findet unser voll motorisiertes hochgenaues System Power Zoom Verwendung. Dieses industrietaugliche System bietet herausragende Wiederholgenauigkeit und Zuverlässigkeit bei der softwareseitigen Einstellung von Divergenz und Vergrößerung. For challenging applications, our fully motorized high precision system Power Zoom can be used. These industry-proven systems offer outstanding repeatability and reliability in divergence and magnification adjustment. 030 nm - 090 nm Power-Zoom-Strahlaufweiter - Quarz power-zoom beam expanders - fused silica Artikelnummer Aufweitung freie Eintrittsapertur max. Eintritts-Ø freie Ausgangsapertur Abmessungen Anschlussplatte part number magnification max. entrance aperture max. input beam-ø max. exit aperture Dimension mounting plate S6EXZ3976/328.0-8.0 9.0 6.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 200.4 x 60.0 x 70.5 220 x 00 55 nm - 545 nm Artikelnummer Aufweitung freie Eintrittsapertur max. Eintritts-Ø freie Ausgangsapertur Abmessungen Anschlussplatte part number magnification max. entrance aperture max. input beam-ø max. exit aperture Dimension mounting plate S6EXZ3976/292.0-8.0 9.0 6.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 200.4 x 60.0 x 70.5 220 x 00 355 nm Artikelnummer Aufweitung freie Eintrittsapertur max. Eintritts-Ø freie Ausgangsapertur Abmessungen Anschlussplatte part number magnification max. entrance aperture max. input beam-ø max. exit aperture Dimension mounting plate S6EXZ3976/075.0-8.0 9.0 6.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 200.4 x 60.0 x 70.5 220 x 00 266 nm Artikelnummer Aufweitung freie Eintrittsapertur max. Eintritts-Ø freie Ausgangsapertur Abmessungen Anschlussplatte part number magnification max. entrance aperture max. input beam-ø max. exit aperture Dimension mounting plate S6EXZ3976/99.0-8.0 9.0 6.0 (x) - 3.5 (8x) 30.0 200.4 x 60.0 x 70.5 220 x 00 F-Theta Lenses Beam Expanders Aspheres Lens Systems Accessories Tel.: +49 (0) 9 29 / 90 23 0 Fax: +49 (0) 9 29 / 90 23 23 info@silloptics.de www.silloptics.de 3