Kryopumpen, Kryotechnik

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1 Kryopumpen, Kryotechnik Auszug aus dem Leybold Vacuum Gesamtkatalog Produkt-Kapitel C12 Ausgabe 2009

2 Inhalt Allgemeines Applikation und Zubehör Kryopumpen C12.03 Kaltköpfe C12.04 Allgemeines Kryopumpen C12.05 Mehrfach-Betrieb von Refrigerator-Kryopumpen C12.06 Regenerieren von Kryopumpen C12.06 Kälteleistungs-Diagramme C12.07 Kaltköpfe C12.08 Kompressor-Einheiten C12.11 Produkte Kryopumpen Standard-Kryopumpen BasicLine COOLVAC 800 BL C12.12 Kryopumpen mit vollautomatischer Steuerung ClassicLine COOLVAC 800 CL, CL C12.14 COOLVAC CL, CL C12.18 COOLVAC CL, CL C12.22 COOLVAC CL, , C12.26 Kryotechnik Kaltköpfe mit pneumatischem Antrieb Einstufige Kaltköpfe COOLPOWER 140 T C12.28 Zweistufige Kaltköpfe COOLPOWER 7/25 und 5/100, 5/100 T C12.30 Kaltköpfe mit mechanischem Antrieb Zweistufige Kaltköpfe COOLPOWER 10 MD C12.32 Kompressor-Einheiten für Kaltköpfe und Pumpen mit pneumatischem Antrieb mit Luftkühlung COOLPAK 2000 A/2200 A C12.34 mit Wasserkühlung COOLPAK 2000/ C12.36 COOLPAK 4000/ C12.38 COOLPAK 6000/ C12.38 für Kaltköpfe und Pumpen mit mechanischem Antrieb mit Wasserkühlung COOLPAK 6000 MD/6200 MD C12.40 Allgemeines Zubehör für Kompressor-Einheiten COOLPAK... C12.42 Refrigerator-Kryostate auf Basis RDK C12.43 optisch, auf Basis RDK C12.44 Zubehör Kryopumpen / Kryotechnik Steuerungs- und Überwachungs-Geräte für Kryopumpen.... C12.46 COOLVAC ClassicLine, System-Konfiguration Einfach-Betrieb C12.49 Zweifach-Betrieb C12.50 Zweifach- und Mehrfach-Betrieb C12.51 Tieftemperatur-Regelgerät Modell C12.52 Tieftemperatur-Anzeigegerät Modell 211S C12.53 Temperatur-Messfühler C12.54 Sicherheits-Ventil C12.55 Feinmess-Manometer C12.56 Umrechnung Celsius, Fahrenheit, Kelvin Die Maßeinheit für die Temperatur ist das Kelvin (Kurzzeichen: K). Der Übergang von der nach unten abgeschlossenen Kelvin-Skala zur Celsius-Skala erfolgt gemäß der Beziehung n C = (n + 273,15) K. Da zwischen Celsius- und Fahrenheit- Skala die Beziehung n F = 5/9 (n 32) C besteht, folgt n F = 5/9 (n + 459,67) K. Die inversen Beziehungen lauten: m K = (m 273,15) C m C = (1,8 m + 32) F m K = (1,8 m 459,67) F. Insbesondere gilt für den absoluten Nullpunkt: 0 K = -273,15 C = -459,67 F. 1 bar = 14,5 psi C12 02 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

3 Allgemeines Applikation und Zubehör, Kryopumpen Kryopumpen Applikation UHV-Anlagen Strahlrohre an Teilchenbeschleuniger Schleusenkammern / Loadlock Allgemeine Forschung Aufdampf-Anlagen Sputter-Anlagen Ionenimplanter Metallisierungs-Anlagen Weltraumsimulationskammern Elektronenstrahl-Schweiß-Anlagen COOLVAC 800 BL COOLVAC 800 CL COOLVAC CL COOLVAC CL COOLVAC CL COOLVAC CL COOLVAC CL COOLVAC CL Zubehör Kompressor-Einheit COOLPAK 2000 (A)/2200 (A) Seite C12.34/36 Kompressor-Einheit COOLPAK 6000/6200 C12.38 Temperatur-Anzeigegerät C12.52 Temperatur-Messfühler C12.54 Gas-Verteiler-System GD 2 C12.42 Gas-Verteiler-System GD 4 C12.42 [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] = Nur für Zwei- und Mehrfach-Betrieb Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

4 Applikation und Zubehör, Kryotechnik Kaltköpfe Applikation Proben- und Detektor-Kühlung Kühlung von Supraleitern Kühlung von Pumpflächen Reinigung von Gasen Messfühler-Kalibrierung Optische Spektroskopie Infrarot-Spektroskopie Matrix-Spektroskopie Prüfung von Supraleitern Kühlung von supraleitenden Magneten, Spulen und Bauteilen HT C + LT C COOLPOWER 140 T COOLPOWER 7/25 COOLPOWER 5/100 ( ) ( ) COOLPOWER 5/100 T COOLPOWER 10 MD Zubehör Kompressor-Einheit COOLPAK 2000 (A )/ 2200 (A) Seite C12.34/36 Kompressor-Einheit COOLPAK 6000 / 6200 C12.38 Kompressor-Einheit COOLPAK 6000 MD / 6200 MD C12.40 Tieftemperatur-Regelgerät Modell 9700 C12.52 Temperatur-Anzeigegerät Modell 211S C12.53 Temperatur-Messfühler C12.54 ( ) = Nur Hoch-T c -Supraleiter C12 04 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

5 Kryopumpen Die Kryopumpe ist eine gasbindende Vakuumpumpe für den Druckbereich von 10-3 mbar bis mbar. Das Pumpprinzip besteht darin, daß gasförmige Substanzen durch Kryokondensation bzw. durch Kryosorption oder Kryotrapping an Kaltflächen im Inneren der Pumpe gebunden werden. Für die Erzeugung von Hoch- und Ultrahoch-Vakuum müssen die Kaltflächen auf hinreichend tiefe Temperaturen abgekühlt werden. Je nach Art der Kühlung unterscheidet man zwischen Refrigerator-Kryopumpen, Bad-Kryopumpen und Verdampfer- Kryopumpen. Leybold Vacuum produziert ausschließlich Refrigerator gekühlte Kryopumpen. Vorteile für den Anwender Vorteile aufgrund des Pumpprinzips - Hohes effektives Saugvermögen für alle Gase - Extrem hohes Saugvermögen für Wasserdampf Bei vorgegebenem Durchmesser des Hochvakuum-Anschlussflansches besitzt die Kryopumpe das höchste Saugvermögen aller Hochvakuum- Pumpen. Vorteile aufgrund von Konstruktions- Merkmalen Im Gegensatz zu gasfördernden Hochvakuum-Pumpen (z.b. mechanisch gelagerten Turbo Molekularpumpen) sind bei Kryopumpen vakuumseitig keine mechanisch bewegten, öl- oder fettgeschmierten Teile vorhanden. Die folgenden Vorteile sind eine unmittelbare Folge dieses Konstruktionsmerkmales. - Kohlenwasserstofffreies Vakuum im Druckbereich von 10-3 mbar bis mbar - Unempfindlich gegen mechanische Störeinflüsse wie Prozess-Partikel oder externe Vibrationen Weitere Vorteile - Erheblich kompakter als vergleichbare Pumpsysteme bei Saugvermögen > 1500 l s -1 - Vorvakuum-Pumpe nur in der Startphase und zum Regenerieren erforderlich - Prozess-Kontrolle und Steuerung über Rechner in einfacher Weise möglich - Günstiges Preis-Leistungsverhältnis und hohe Wirtschaftlichkeit, besonders bei höheren Saugvermögen Die Kryopumpen werden gekühlt durch die bewährten zweistufigen Leybold Vacuum-Kaltköpfe der Reihe COOLPOWER (Gifford/McMahon- Prinzip). Der Aufbau einer Refrigerator-Kryopumpe der Reihe COOLVAC ist in der Abbildung schematisch dargestellt: Mit der ersten Stufe des Kaltkopfes (9) wird der Strahlungsschild (5) und das Baffle (6) der Pumpe gekühlt. Die Betriebs-Temperaturen liegen je nach Pumpentyp und Betriebs-Bedingungen im Bereich zwischen 45 und 80 Kelvin. Dementsprechend kondensiert hier Wasserdampf. 1 Hochvakuum-Flansch 2 Pumpen-Gehäuse 3 Vorvakuum-Flansch 4 Sicherheitsventil mit Flansch- Anschluss für Gasabführungs- Leitung 5 Strahlungsschild 6 Baffle 7 Zweite Stufe des Kaltkopfes 8 Pumpflächen 9 Erste Stufe des Kaltkopfes 10 Helium-Gas-Anschlüsse 11 Kaltkopf-Motor mit Gehäuse und elektrischen Anschlüssen Refrigerator-Kryopumpe COOLVAC Strahlungsschild und Baffle sind aus Kupfer mit hoher Wärmeleitfähigkeit gefertigt, damit die Kälteleistung des Refrigerators optimal in Pumpleistung umgesetzt wird. Das Strahlungsschild ist außerdem hochglanzverspiegelt mit kleinem Reflektionsverlust. Mit der zweiten Stufe des Kaltkopfes (7) werden die Pumpflächen (8) gekühlt. Die Betriebs-Temperaturen liegen je nach Betriebs-Bedingungen im Bereich zwischen 10 und 20 Kelvin. Hier findet die Kryo-Kondensation von N 2, O 2 und Argon statt. Die Pumpflächen sind aus Kupfer mit hoher Wärmeleitfähigkeit gefertigt und an der zweiten Stufe des Kaltkopfes thermisch gut kontaktiert. H 2, Ne und He werden ebenfalls an diesen teilweise mit Aktivkohle belegten Flächen adsorbiert. Alle Kryopumpen der Reihe COOLVAC sind mit einem Sicherheitsventil (bzw. einer Berstscheibe bei UHV-Varianten) ausgerüstet, das im Werk so eingestellt wird, daß es bei einem Überdruck von 150 mbar öffnet. Um gesundheitsgefährdende Gase beim Ansprechen des Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

6 Sicherheitsventils sicher ableiten zu können, ist das Ventil zusätzlich mit einem Flansch 40 KF zum problemlosen Anschluss einer Gasabführungs- Leitung versehen. Das Pumpen-Gehäuse, alle Flansche, sowie das Sicherheitsventil sind aus hochwertigem, rostfreiem Edelstahl hergestellt. Mehrfach-Betrieb von Refrigerator-Kryopumpen Mit den leistungsstarken Leybold Vacuum Kompressor-Einheiten COOLPAK 4000 D und 6000 D eröffnet sich die Möglichkeiten für den gleichzeitigen Betrieb von zwei Kaltköpfen oder Refrigerator-Kryopumpen. Vorteile für den Anwender - Deutlich reduzierte Investitions- und Betriebskosten - Geringer Platzbedarf Regenerieren von Kryopumpen Ein für den Betrieb von Kryopumpen wesentlicher Aspekt ist das Regenerieren. Da die Kryopumpe eine gasbindende Vakuumpumpe ist, müssen von Zeit zu Zeit die im Betriebszustand Pumpen akkumulierten gasförmigen Substanzen aus der Pumpe entfernt werden. Dies geschieht dadurch, daß nach dem Abschalten der Kompressor-Einheit die Pumpflächen auf Raumtemperatur oder geringfügig höhere Temperaturen erwärmt werden und die freigesetzten gasförmigen Substanzen mit einer Vorvakuum-Pumpe abgepumpt werden. Kryopumpe ohne elektrisches Regenerier-System Die Kryopumpe wird auf Raumtemperatur aufgewärmt, indem der Innenraum der Pumpe mit einem trockenen, vorgewärmten Inert-Gas (z.b. Stickstoff, Argon) gespült wird. Bei diesem Aufwärm-Verfahren können die Temperaturen im Inneren der Kryopumpe nicht definiert eingestellt und kontrolliert werden. Es ist nicht auszuschließen, daß Gase wie Wasserstoff und Sauerstoff gleichzeitig in der Pumpe vorhanden sind. Die Bildung zündfähiger Gas-Gemische wird allein durch Verdünnung mit dem trockenen Inert-Gas verhindert. Kryopumpe mit vollautomatischem Regenerier-System von Leybold Vacuum Die Kryopumpe wird auf Raumtemperatur aufgewärmt, indem die 1. und 2. Kaltkopf-Stufe mit elektrischen Heizern erwärmt werden. Bei diesem Aufwärm- Verfahren kann die Temperatur-Verteilung im Inneren der Kryopumpe definiert eingestellt und kontrolliert werden. Durch dieses kontrollierte Aufwärmen der Kryopumpe wird sichergestellt, dass die gepumpten Gase sequentiell regeneriert werden, d.h., die gepumpten Gase werden nacheinander in der folgenden Reihenfolge freigesetzt: - Gase, die an den Pumpflächen adsorbiert sind (z.b. Wasserstoff, Helium, Neon), - Gase, die an den Pumpflächen kondensiert sind (z.b. Stickstoff, Sauerstoff, Argon), - Gase und Dämpfe, die am Baffle und Strahlungsschild kondensiert sind (z.b. Wasserdampf). Beim elektrischen Regenerier-Verfahren von Leybold Vacuum wird damit ausgeschlossen, dass Gase wie Wasserstoff und Sauerstoff gleichzeitig in der Pumpe vorhanden sind. Die Bildung zündfähiger Gas-Gemische wird damit von vornherein ausgeschlossen. Kryopumpen ohne vollautomatische Steuerung und ohne elektrisches Regenerier-System gehören zur Reihe Basic-Line (BL) wie z.b. COOLVAC 800 BL. Der Aufwärmvorgang läuft vollautomatisch ab. Der Druck und die Temperatur-Verteilung im Inneren der Kryopumpe wird von der Steuerung zu jedem Zeitpunkt definiert eingestellt und überwacht. Beim sequentiellen Regenerieren der gepumpten Gase wird die Bildung zündfähiger Gas- Gemische von vorneherein ausgeschlossen. Damit wird ein Höchstmass an Sicherheit beim Regenerieren von Leybold Vacuum-Kryopumpen gewährleistet. Bei den Kryopumpen mit vollautomatischer Steuerung gibt es zwei Kryopumpen-Reihen: 1. COOLVAC BasicLine (COOLVAC BL) der folgenden Saugvermögensklasse für Stickstoff in l/s: 800; COOLVAC 800 BL, zum Beispiel. Andere Saugvermögensklassen von bis l/s sind auf Anfrage erhältlich. Für weitere Informationen setzen Sie sich bitte mit Ihrem örtlichen Vertreter von Leybold Vacuum in Verbindung. C12 06 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

7 2. Die COOLVAC ClassicLine (COOLVAC CL) mit den Saugvermögensklassen für Stickstoff in l/s: 800, 1 500, 2 000, 3 000, 5 000, und ; z.b. COOLVAC 1500 CL Weiter taucht noch in der Preisliste die Bezeichnung V bei den Pumpen-Bezeichnungen auf. V : Der Hochvakuum-Flansch befindet sich oben und der Kaltkopf unten, wie z.b. bei der COOLVAC 1500 CL-V, 200 CF. Kälteleistungs-Diagramme Kälteleistung Cooling Capacity 200 W Temperature K 120 Temperatur an 2. Stufe K Kälteleistung an 2. Stute 10W 9W 8W 7W 6W 5W 4W 3W 2W 1W 0W 10W K Temperatur an 1. Stufe 25W Kälteleistung an 1. Stute 35W Typische Kälteleistung des Kaltkopfes COOLPOWER 140 T Typische Kälteleistung des Kaltkopfes COOLPOWER 7/25 Temperatur an 2. Stufe 40 K Kälteleistung an 2. Stufe 12W 10W 8W 6W 4W 2W 0W 40W 80W 100W 120W 140W Kälteleistung an 1. Stufe Temperatur an 1. Stufe K Temperatur an 2. Stufe 30 K 25 Kälteleistung an Stufe W 8W 6W 4W 2W 0W 120W 0W 20W 40W 60W 80W 100W Kälteleistung an 1. Stufe Temperatur an 1. Stufe 140W K Typische Kälteleistung des Kaltkopfes COOLPOWER 5/100 Typische Kälteleistung des Kaltkopfes COOLPOWER 5/100 T 25 K 20 W Temperatur an 2. Stufe 0 W W 17,5 W 50 W 75 W 125 W 100 W Kälteleistung 15 W 15 12,5 W an 2. Stufe 10 W 7,5 W 10 5 W 2,5 W Kälteleistung 0 W an 1. Stufe Temperatur an 1. Stufe K 150 W 120 Typische Kälteleistung des Kaltkopfes COOLPOWER 10 MD Die angegebenen Kälteleistungen gelten für vertikalen Betrieb mit kaltem Ende nach unten. Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

8 Kaltköpfe Ein Refrigerator (Kaltkopf) ist eine in einem thermodynamischen Kreisprozess arbeitende Gas-Kälte-Maschine zur Erzeugung kryogener Temperaturen (T 120 K). Um auf individuelle Kundenwünsche Rücksicht nehmen zu können, baut Leybold Vacuum neben den Standard-Kryostaten auch Kryostate in Sonder-Ausführung. Zur Kühlung von Kryopumpen und Kryostaten hat sich der Refrigerator nach dem Gifford/McMahon-Verfahren durchgesetzt. Er wird von Leybold Vacuum ausschließlich verwendet. Gifford/McMahon- Refrigeratoren Vorteile für den Anwender - Tiefe Temperaturen auf Knopfdruck - Kein flüssiges Helium und kein flüssiger Stickstoff erforderlich - Einfachste Bedienung - Hohe Kälteleistung auf kleinstem Raum - Prozess-Kontrolle und Temperatur- Regelung über Rechner in einfacher Weise möglich Vorteile aufgrund von Konstruktionsmerkmalen - Keine Platzprobleme, da Kaltkopf und Kompressor-Einheit räumlich getrennt voneinander aufgestellt und betrieben werden können - Weitgehend lageunabhängiger Einsatz des Kaltkopfes - Hohe Zuverlässigkeit - Lange wartungsfreie Betriebsdauer Typische Anwendungen - Kühlung von Pumpflächen in Kryopumpen und damit Erzeugung von Hoch- und Ultrahoch-Vakuuum 1 Elektrische Anschlüsse und Stromdurchführung für Kaltkopf-Motor 2 Helium-Hochdruck-Anschluss 3 Helium-Niederdruck-Anschluss 4 Zylinder 1. Stufe 5 Verdrängerkolben 1. Stufe 6 Regenerator 1. Stufe 7 Expansions-Volumen 1. Stufe 8 1. (Kälte-)Stufe (Kupfer-Flansch) 9 Zylinder 2. Stufe 10 Verdrängerkolben 2. Stufe 11 Regenerator 2. Stufe 12 Expansions-Volumen 2. Stufe (Kälte-)Stufe (Kupfer-Flansch) 14 Dampfdruck-Messkammer 15 Steuerkolben 16 Steuervolumen 17 Steuerscheibe 18 Steuerventil 19 Kaltkopf-Motor - Kühlung von supraleitenden Magneten; z.b. bei der Kernspin- Tomographie in der Medizin-Technik - Proben- und Detektor-Kühlung; insbesondere Kühlung von - Proben für spektroskopische Untersuchungen in Festkörperund Oberflächen-Physik - Hochtemperatur-Supraleitern - Supraleiter- und Halbleiter- Bauelementen - Infrarot- und Gamma-Detektoren - Messfühler-Kalibrierung Zweistufiger Gifford/McMahon-Kaltkopf (schematisch) C12 08 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

9 Kaltköpfe der Reihe COOLPOWER Das Standard-Lieferprogramm von einund zweistufigen Kaltköpfen ist auf ein breites Anwendungs-Spektrum abgestimmt. So bietet Leybold Vacuum Refrigeratoren mit verfügbaren Kälteleistungen von bis zu 140 W bei 80 K (COOLPOWER 140 T; einstufig), bzw. bis zu 3,5 W bei 10 K (COOLPOWER 5/100T; zweistufig) an. Die Kaltköpfe bestehen im wesentlichen aus drei Baugruppen: - Antriebs- und Steuer-Einheit für den Verdrängerkolben - Verdrängerkolben - 1. Kaltkopf-Stufe (und 2. Kaltkopf- Stufe für zweistufige Kaltköpfe) Pneumatisch angetriebene Kaltköpfe Vorteile - Einfacher Aufbau Der pneumatische Verdrängerkolben-Antrieb dieser Leybold Vacuum-Kaltköpfe benötigt nur zwei mechanisch bewegte Teile: Rotierendes Steuerventil und Synchron-Motor zum Antrieb des Steuerventils. - Einfache und schnelle Wartung Alle Leybold Vacuum- Kryopumpen der Reihe COOLVAC sind mit pneumatisch angetriebenen Leybold Vacuum-Kaltköpfen ausgerüstet. Aufgrund des einfachen Aufbaus der eingebauten Kaltköpfe sind diese daher einfach und schnell zu warten. Die Wartung kann am Einsatzort der Kryopumpe erfolgen, da ein Abbau der Pumpe von der Vakuum-Kammer zur Wartung des Kaltkopfes nicht erforderlich ist. Vorteile durch hohe Zuverlässigkeit Leybold Vacuum-Kaltköpfe nehmen in punkto Zuverlässigkeit eine Spitzenstellung ein. Besonders hohe Anforderungen hinsichtlich Zuverlässigkeit werden in der Medizin-Technik im Bereich der Kernspin-Tomographie gestellt. Bei dieser Anwendung werden Kaltköpfe zur Kühlung von supraleitenden Magneten eingesetzt und laufen daher in einem Magnetfeld. Die führenden Hersteller von Kernspin- Tomographie-Anlagen haben sich daher für Leybold Vacuum- Kaltköpfe zur Kühlung der supraleitenden Magnete entschieden. Mechanisch angetriebene Kaltköpfe Vorteile Bei den mechanisch angetriebenen Leybold Vacuum-Kaltköpfen wird der Verdrängerkolben über den sogenannten Kulissenantrieb ( Scotch yoke ) direkt vom Antriebsmotor bewegt. Dieser aufwendigere Mechanismus erlaubt eine genauere Steuerung der Gasführung und der Bewegung des Verdrängerkolbens, wodurch mit den zweistufigen Kaltköpfen besonders hohe Kälteleistungen im Bereich tiefster Temperaturen erzielt werden können (Refrigeratoren der Serie COOLPOWER 10 MD) Vorteile durch hohe Zuverlässigkeit Leybold Vacuum-Kaltköpfe nehmen in punkto Zuverlässigkeit eine Spitzenstellung ein. Besonders hohe Anforderungen hinsichtlich Zuverlässigkeit werden in der Medizin-Technik im Bereich der Kernspin-Tomographie gestellt. Bei dieser Anwendung werden Kaltköpfe zur Kühlung von supraleitenden Magneten eingesetzt und laufen daher in einem Magnetfeld. Die führenden Hersteller von Kernspin- Tomographie-Anlagen haben sich daher für Leybold Vacuum- Kaltköpfe zur Kühlung der supraleitenden Magnete entschieden.. Q 1. W W Q /100 7/ K T 1 Kälteleistungen in Abhängigkeit von der Temperatur; Betrieb mit der empfohlenen Kompressor-Einheit bei 50 Hz; gemessen unter Standard-Abnahme-Bedingungen:. Kälteleistung Q 1 der 1. Stufe in Abhängigkeit von. der Temperatur T 1 der 1. Stufe (2. Stufe: Q 2 = 0) 7/25 5/ K T 2. Kälteleistung Q 2 der 2. Stufe in Abhängigkeit von der Temperatur T 2 der 2. Stufe (1. Stufe: T 1 = 80 K = konstant) Standard-Abnahme-Bedingungen: Kaltkopf im Vakuum, 2. Kältestufe thermisch abgeschirmt durch einen an der 1. Kältestufe angebrachten hochglanz-vernickelten. Strahlungsschild, Belastung Q simuliert durch elektrisches Heizen Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

10 Refrigerator-Kryostate (Basis-Einheiten) Vorteile für den Anwender - Weitgehend beliebige Einbaulage und damit hohe Flexibilität beim experimentellen Aufbau - Kontinuierliche Einstellung beliebiger Temperaturen zwischen 6,5 und 320 K - Hohe Kälteleistung, hohe Temperatur-Konstanz - Keine flüssigen Kältemittel erforderlich - Einfachste Bedienung - Problemlose Temperatur-Regelung durch standardisierte Regel- und Anschluss-Komponenten - Hoher Proben-Durchsatz dank kurzer Abkühl- und Aufwärm-Zeiten möglich Typische Anwendungen - Kühlung von - Hochtemperatur-Supraleitern - Supraleiter- und Halbleiter- Bauelementen - Infrarot- und Gamma-Detektoren - Messung elektrischer und thermischer Transport-Größen als Funktion der Temperatur, wie - elektrische und thermische Leitfähigkeit - Thermokraft Insbesondere in Verbindung mit - Spektroskopischen Untersuchungen im infraroten, sichtbaren und ultravioletten Spektral-Bereich - Matrix-Spektroskopie - Mößbauer-Spektroskopie - Magneto-optische Experimente C12 10 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

11 Kompressor-Einheiten Für den Einzel-Betrieb der Kaltköpfe - der Reihe COOLPOWER sowie für den Mehrfach-Betrieb von Kryopumpen und Kryostaten stehen die Kompressor-Einheiten der COOLPAK Familie 2000 bis 6000 zur Verfügung. Die wartungsfreie Betriebsdauer der Leybold Vacuum-Kompressor- Einheiten wird bestimmt durch die Standzeit des Adsorbers. Liegen die Werte für Umgebungs-Temperatur und Kühlwasser-Eintritts-Temperatur im spezifizierten Bereich, so garantiert Leybold Vacuum eine Adsorber-Standzeit und damit eine wartungsfreie Betriebsdauer von Betriebsstunden. Die Möglichkeiten für den Ein- und Mehrfach-Betrieb von Refrigerator-Kryopumpen entnehmen Sie der folgenden Tabelle Für den Betrieb von Kompressor-Einheit Kaltköpfen Kryopumpen COOLPAK 2000/ x COOLPOWER 7/25 1 x COOLVAC 800/1500/2000/3000 COOLPAK 2000 (A)/2200 (A) 1 x COOLPOWER 7/25 1 x COOLVAC 800/1500/2000/3000 COOLPAK 6000 D 2 x COOLPOWER 7/25 2 x COOLVAC 800/1500/2000/3000 bis zu 2 x COOLPOWER 5/100 1) 2 x COOLVAC ) COOLPAK 6000/ x COOLPOWER 140 T 3 x COOLVAC 800/1500/ x COOLPOWER 5/100 2 x COOLVAC 3000/(5000 1) ) 1 x COOLVAC 5000/10000 COOLPAK 6000 MD/6200 MD 1 x COOLPOWER 10 MD 1) mit reduzierter Leistung UL-Approbationen Die in diesem Katalog aufgeführten Leybold Vacuum-Refrigeratoren (bestehend aus Kompressor- Einheit COOLPAK (4000/4200, 6000/6200, flexible Druck-Leitungen FL und dem Kaltkopf COOLPOWER 2) erfüllen als Gesamtsystem die Anforderungen der Underwriter Laboratories (UL) als Recognized Component (URus) sowie die durch Underwriter Laboratories für die Canadian Standards Association durchgeführte Approbation cur. Die Leybold Vacuum-Refrigeratoren sind unter der culus bzw. curus-referenz-nr. SA 8676 eingetragen. Die Kennzeichnung für das Gesamtsystem erfolgt nur auf dem Typenschild der Kompressor-Einheit mit dem nebenstehendem Symbol. C US CE-Approbation Die Leybold Vacuum- Kompressor-Einheiten RW und COOLPAK entsprechen den einschlägigen Sicherheits- und Gesundheitsanforderungen der EG-Richtlinien entsprechen. Die Kennzeichnung erfolgt auf dem Typenschild der Kompressor- Einheit mit dem nachstehendem Symbol. 2) bzw. früher RGD Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

12 Produkte Kryopumpen Standard-Kryopumpen, Basicline COOLVAC 800 BL Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum - Hohe Kapazität für Argon und Wasserstoff - Hohes Saugvermögen für Wasserdampf, Argon und Wasserstoff Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Ultrahochvakuum - Hohes Saugvermögen für Wasserdampf, Stickstoff und Wasserstoff Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Ultrahochvakuum - Hohes Saugvermögen für Wasserdampf, Stickstoff und Wasserstoff Typische Anwendungen - Lampen- und Röhren-Fertigung - Schleusenkammern / Loadlock - Allgemeine Forschung Typische Anwendungen - Strahlrohre an Teilchen- Beschleunigern - Allgemeine Forschung Typische Anwendungen - Strahlrohre an Teilchen- Beschleunigern - UHV-Anlagen Oberteil um 90 gedreht gezeichnet ø180 Oberteil um 90 gedreht gezeichnet ø202,5 Oberteil um 90 gedreht gezeichnet ø202,5 78,5 153,5 188, ,5 13, ,5 13, ,5 13,5 45 ø181 ø Maßzeichnung der COOLVAC 800 BL (160 ISO-K) Maßzeichnung der COOLVAC 800 BL (160 CF) Maßzeichnung der COOLVAC 800 BL UHV (160 CF) C12 12 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

13 Technische Daten Hochvakuum-Flansch Vorvakuum-Flansch Flansche zur weiteren Verwendung Sicherheitsventil mit Flansch-Anschluss 40 KF für Gasabführungs-Leitung COOLVAC 800 BL (ISO-K) 800 BL (CF) 800 BL UHV (CF) 160 ISO-K 160 CF 160 CF 25 KF 25 KF 40 CF 16 KF (2x) 16 KF (2x) 16 CF (1x), 40 CF (1x) Berstscheibe eingeschweißt eingeschweißt montiert auf 16 CF Saugvermögen H 2 O I. s -1 Ar / N 2 I. s -1 H 2 / He I. s / / / / / / 300 Kapazität Ar / N 2 H 2 bei 10-6 mbar He Eingebauter Kaltkopf bar. I bar. I bar. I COOLPOWER ,5 4,5 4,5 0,5 0,5 0,5 7/25 7/25 7/25 Max. Saugleistung Ar / N 2 bar. I. s -1 H 2 bar. I. s Crossover-Wert Abkühlzeit auf 20 K Gesamthöhe Gewicht mbar. I min mm kg Silizium-Diode zur Temperatur-Messung an der zweiten Stufe des Kaltkopfes eingebaut an 16 KF mit eingebaut an 16 KF mit eingebaut an 16 CF mit HV-Stromdurchführung 4polig HV-Stromdurchführung 4polig HV-Stromdurchführung 4polig Bestelldaten COOLVAC Kompressor-Einheit COOLPAK 2000 COOLPAK 2200 COOLPAK 2000 A COOLPAK 2200 A Verbindungs-Leitung Kompressor Kaltkopf, 4,5 m EL 4.5 (Elektrische Verlängerungs-Leitung) Flexible Druckleitungen FL 4.5 (1/2", 1/2") oder FL 9.0 (1/2", 1/2") Tieftemperatur-Anzeigegerät Mess-Leitung für Silizium-Diode, 10 m lang COOLVAC 800 BL (ISO-K) 800 BL (CF) 800 BL UHV (CF) Kat.-Nr V1006 Kat.-Nr V1002 Kat.-Nr V9002 Kat.-Nr V2000 Kat.-Nr V2000 Kat.-Nr V2000 Kat.-Nr V2200 Kat.-Nr V2200 Kat.-Nr V2200 Kat.-Nr V2010 Kat.-Nr V2010 Kat.-Nr V2010 Kat.-Nr V2210 Kat.-Nr V2210 Kat.-Nr V2210 Kat.-Nr. E Kat.-Nr. E Kat.-Nr. E Kat. Nr Kat. Nr Kat. Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.- Nr Kat.- Nr auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

14 Kryopumpen mit vollautomatischer Steuerung, Classicline COOLVAC 800 CL COOLVAC CL COOLVAC CL Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum - Hohe Kapazität für Argon und Wasserstoff - Hoher Crossover-Wert - Einfache Bedienung - Problemlose Integration in komplexe Hochvakuum- Systeme - Vollautomatisches Regenerieren durch Kompakt- Steuerung - Einfachster Service Typische Anwendungen - Aufdampf-Anlagen - Sputter-Anlagen - Ionen-Implantations-Anlagen - Optische Beschichtungs-Anlagen - Metallisierungs-Anlagen Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum - Hohe Kapazität für Argon und Wasserstoff - Hoher Crossover-Wert - Einfache Bedienung - Problemlose Integration in komplexe Hochvakuum- Systeme - Vollautomatisches Regenerieren durch Kompakt- Steuerung - Einfachster Service Typische Anwendungen - Aufdampf-Anlagen - Sputter-Anlagen - Ionen-Implantations-Anlagen - Optische Beschichtungs-Anlagen - Metallisierungs-Anlagen fl ISO-K Ø KF KF KF Maßzeichnung der COOLVAC 800 CL ( 160 ISO-K) Maßzeichnung der COOLVAC CL ( 200 ISO-K) C12 14 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

15 Technische Daten Hochvakuum (HV)-Flansch Vorvakuum-Flansch Flansch zum Anschluss für Messröhre Flansch für Elektro-Anschluss Sicherheitsventil mit Flansch-Anschluss für Gasabführungs-Leitung 4-polige Stromdurchführung für Si-Diode auf Flansch COOLVAC 800 CL CL 160 ISO-K / 160 CF 200 ISO-K / 200 CF / 6" ANSI 25 KF 25 KF 16 KF 16 KF 16 KF 16 KF 40 KF 40 KF 16 KF 16 KF Heizungen 1. Stufe W V AC 2. Stufe W V AC Temperatur-Messfühler 1. Stufe 2. Stufe PT 100 PT 100 Si-Diode Si-Diode Eingebauter Kaltkopf Gewicht Abkühlzeit bis T 2 = 20 K Crossover-Wert COOLPOWER kg min mbar. I 7/25 7/ Saugvermögen H 2 O I. s -1 Ar / N 2 I. s -1 H 2 I. s / / Kapazität Ar / N 2 H 2 bei 10-6 mbar bar. I bar. I ,5 12,0 Max. Saugleistung Ar / N 2 mbar. I. s -1 H 2 mbar. I. s Helium-Anschlüsse (Selbstdichtende Verschraubungen: Außengewinde Typ 5400-S2-8) 1/2" 1/2" Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

16 Bestelldaten COOLVAC 800 CL 160 CF 160 ISO-K Elektronik und Leitung System Controller SC Stromversorgung PS (50/60 Hz) 230 V, 1 ph. (umschaltbar auf 115 V) 200 V, 3 ph. (umschaltbar auf 400 V) Netzwerk-Kommunikations-Leitung System Controller zu der/den Pumpen 10 m 20 m Netzwerk-PM Leitung zur Verbindung zwischen den Pumpen 03 m 10 m Versorgungs-Leitung von Stromversorgung zur Pumpe 10 m 20 m Fernbedienungs-Leitung CP, 1 m Leitung Kompressor Stromversorgung 10 m 20 m Leitung System Controller Stromversorgung, 1 m Leitung Pumpmodul PM Stromversorgung 10 m 20 m Verbindungs-Leitung Kompressor Pumpe, 4,5 m EL 4.5 (Elektrische Verlängerungs-Leitung) Kompressoren und Druck-Leitungen Kompressor CP 2000 CP 2000 A CP 2200 CP 2200 A CP 6000 D CP 6000 CP 6200 Zubehör Wasserkühlungs-Auslassdrossel Stromversorgungs-Kabel für Kompressor Flexible Druck-Leitungen FL 4.5 (1/2", 1/2") oder FL 9.0 (1/2", 1/2") Gasverteiler-System (jeweils 1 Stück) GD 2 GD 4 COOLVAC 800 CL Einfach-Betrieb Zweifach-Betrieb Mehrfach-Betrieb Europa USA/Japan Europa Europa USA/Japan Europa USA/Japan Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr V V0002 (2x) V0002 (3x) V V0006 (2x) V0006 (3x) (2x) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) (2x) V V V V V V V V ) 1) 1) 1) 1) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) (2x) Die Anordnung der Komponenten ist im Abschnitt Zubehör unter Absatz COOLVAC ClassicLine, System-Komponenten dargestellt. 1) siehe Bestelldaten Kompressor-Einheiten COOLPAK C12 16 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

17 Bestelldaten COOLVAC CL 200 CF 6" ANSI 200 ISO-K Elektronik und Leitung System Controller SC Stromversorgung PS (50/60 Hz) 230 V, 1 ph. (umschaltbar auf 115 V) 200 V, 3 ph. (umschaltbar auf 400 V) Netzwerk-Kommunikations-Leitung System Controller zu der/den Pumpen 10 m 20 m Netzwerk-PM Leitung zur Verbindung zwischen den Pumpen 03 m 10 m Versorgungs-Leitung von Stromversorgung zur Pumpe 10 m 20 m Fernbedienungs-Leitung CP, 1 m Leitung Kompressor Stromversorgung 10 m 20 m Leitung System Controller Stromversorgung, 1 m Leitung Pumpmodul PM Stromversorgung 10 m 20 m Verbindungs-Leitung Kompressor Pumpe, 4,5 m EL 4.5 (Elektrische Verlängerungs-Leitung) Kompressoren und Druck-Leitungen Kompressor CP 2000 CP 2000 A CP 2200 CP 2200 A CP 6000 D CP 6000 CP 6200 Zubehör Wasserkühlungs-Auslassdrossel Stromversorgungs-Kabel für Kompressor Flexible Druck-Leitungen FL 4.5 (1/2", 1/2") oder FL 9.0 (1/2", 1/2") Gasverteiler-System (jeweils 1 Stück) GD 2 GD 4 COOLVAC CL Einfach-Betrieb Zweifach-Betrieb Mehrfach-Betrieb Europa USA/Japan Europa Europa USA/Japan Europa USA/Japan Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr V V0002 (2x) V0002 (3x) V V0004 (2x) V0004 (3x) V V0006 (2x) V0006 (3x) (2x) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) (2x) V V V V V V V V ) 1) 1) 1) 1) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) (2x) Die Anordnung der Komponenten ist im Abschnitt Zubehör unter Absatz COOLVAC ClassicLine, System-Komponenten dargestellt. 1) siehe Bestelldaten Kompressor-Einheiten COOLPAK Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

18 COOLVAC CL COOLVAC CL COOLVAC CL Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum - Hohe Kapazität für Argon und Wasserstoff - Hoher Crossover-Wert - Einfache Bedienung - Problemlose Integration in komplexe Hochvakuum- Systeme - Vollautomatisches Regenerieren durch Kompakt- Steuerung - Einfachster Service Typische Anwendungen - Aufdampf-Anlagen - Sputter-Anlagen - Ionen-Implantations-Anlagen - Optische Beschichtungs-Anlagen - Metallisierungs-Anlagen COOLVAC CL Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum - Hohe Kapazität für Argon und Wasserstoff - Hoher Crossover-Wert - Einfache Bedienung - Problemlose Integration in komplexe Hochvakuum- Systeme - Vollautomatisches Regenerieren durch Kompakt- Steuerung - Einfachster Service Typische Anwendungen - Aufdampf-Anlagen - Sputter-Anlagen - Ionen-Implantations-Anlagen - Optische Beschichtungs-Anlagen - Metallisierungs-Anlagen Ø 304 Ø 370 (10" ANSI = Ø 406) Maßzeichnung der COOLVAC CL ( 250 CF) Maßzeichnung der COOLVAC CL ( 320 ISO-K / 10" ANSI) C12 18 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

19 Technische Daten Hochvakuum (HV)-Flansch Vorvakuum-Flansch Flansch zum Anschluss für Messröhre Flansch für Elektro-Anschluss Sicherheitsventil mit Flansch-Anschluss für Gasabführungs-Leitung 4-polige Stromdurchführung für Si-Diode auf Flansch COOLVAC CL CL 250 ISO-K / 250 CF / 8" ANSI 320 ISO-K / 10" ANSI 25 KF 25 KF 16 KF 16 KF 16 CF 16 CF 40 KF 40 KF 16 KF 16 KF Heizungen 1. Stufe W V AC 2. Stufe W V AC Temperatur-Messfühler 1. Stufe 2. Stufe PT 100 PT 100 Si-Diode Si-Diode Eingebauter Kaltkopf Gewicht Abkühlzeit bis T 2 = 20 K Crossover-Wert COOLPOWER kg min mbar. I 7/25 7/ Saugvermögen H 2 O I. s -1 Ar / N 2 I. s -1 H 2 I. s / / Kapazität Ar / N 2 H 2 bei 10-6 mbar bar. I bar. I Max. Saugleistung Ar / N 2 mbar. I. s -1 H 2 mbar. I. s Helium-Anschlüsse (Selbstdichtende Verschraubungen: Außengewinde Typ 5400-S2-8) 1/2" 1/2" Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

20 Bestelldaten COOLVAC CL 250 CF 8" ANSI 250 ISO-K Elektronik und Leitung System Controller SC Stromversorgung PS (50/60 Hz) 230 V, 1 ph. (umschaltbar auf 115 V) 200 V, 3 ph. (umschaltbar auf 400 V) Netzwerk-Kommunikations-Leitung System Controller zu der/den Pumpen 10 m 20 m Netzwerk-PM Leitung zur Verbindung zwischen den Pumpen 03 m 10 m Versorgungs-Leitung von Stromversorgung zur Pumpe 10 m 20 m Fernbedienungs-Leitung CP, 1 m Leitung Kompressor Stromversorgung 10 m 20 m Leitung System Controller Stromversorgung, 1 m Leitung Pumpmodul PM Stromversorgung 10 m 20 m Verbindungs-Leitung Kompressor Pumpe, 4,5 m EL 4.5 (Elektrische Verlängerungs-Leitung) Kompressoren und Druck-Leitungen Kompressor CP 2000 CP 2000 A CP 2200 CP 2200 A CP 6000 D CP 6000 CP 6200 Zubehör Wasserkühlungs-Auslassdrossel Stromversorgungs-Kabel für Kompressor Flexible Druck-Leitungen FL 4.5 (1/2", 1/2") oder FL 9.0 (1/2", 1/2") Gasverteiler-System (jeweils 1 Stück) GD 2 GD 4 COOLVAC CL Einfach-Betrieb Zweifach-Betrieb Mehrfach-Betrieb Europa USA/Japan Europa Europa USA/Japan Europa USA/Japan Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr V V0002 (2x) V0002 (3x) V V0004 (2x) V0004 (3x) V V0006 (2x) V0006 (3x) (2x) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) (2x) V V V V V V V V ) 1) 1) 1) 1) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) (2x) Die Anordnung der Komponenten ist im Abschnitt Zubehör unter Absatz COOLVAC ClassicLine, System-Komponenten dargestellt. 1) siehe Bestelldaten Kompressor-Einheiten COOLPAK C12 20 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

21 Bestelldaten COOLVAC CL 10" ANSI 320 ISO-K Elektronik und Leitung System Controller SC Stromversorgung PS (50/60 Hz) 230 V, 1 ph. (umschaltbar auf 115 V) 200 V, 3 ph. (umschaltbar auf 400 V) Netzwerk-Kommunikations-Leitung System Controller zu der/den Pumpen 10 m 20 m Netzwerk-PM Leitung zur Verbindung zwischen den Pumpen 03 m 10 m Versorgungs-Leitung von Stromversorgung zur Pumpe 10 m 20 m Fernbedienungs-Leitung CP, 1 m Leitung Kompressor Stromversorgung 10 m 20 m Leitung System Controller Stromversorgung, 1 m Leitung Pumpmodul PM Stromversorgung 10 m 20 m Verbindungs-Leitung Kompressor Pumpe, 4,5 m EL 4.5 (Elektrische Verlängerungs-Leitung) Kompressoren und Druck-Leitungen Kompressor CP 2000 CP 2000 A CP 2200 CP 2200 A CP 6000 D CP 6000 CP 6200 Zubehör Wasserkühlungs-Auslassdrossel Stromversorgungs-Kabel für Kompressor Flexible Druck-Leitungen FL 4.5 (1/2", 1/2") oder FL 9.0 (1/2", 1/2") Gasverteiler-System (jeweils 1 Stück) GD 2 GD 4 COOLVAC CL Einfach-Betrieb Zweifach-Betrieb Europa USA/Japan Europa Europa USA/Japan Kat.-Nr V V0006 Kat.-Nr V0004 (2x) V0006 (2x) (2x) (2x) (2x) (2x) (2x) (2x) (2x) (2x) V V V V V V ) 1) 1) 1) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) (3x) (2x) (2x) (2x) Die Anordnung der Komponenten ist im Abschnitt Zubehör unter Absatz COOLVAC ClassicLine, System-Komponenten dargestellt. 1) siehe Bestelldaten Kompressor-Einheiten COOLPAK Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

22 COOLVAC CL COOLVAC CL COOLVAC CL Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum - Hohe Kapazität für Argon und Wasserstoff - Hoher Crossover-Wert - Einfache Bedienung - Problemlose Integration in komplexe Hochvakuum- Systeme - Vollautomatisches Regenerieren durch Kompakt- Steuerung - Einfachster Service Typische Anwendungen - Aufdampf-Anlagen - Elektronenstrahl-Schweiss-Anlagen - Ionen-Implantations-Anlagen - Optische Beschichtungs-Anlagen - Metallisierungs-Anlagen COOLVAC CL Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum - Hohe Kapazität für Argon und Wasserstoff - Hoher Crossover-Wert - Einfache Bedienung - Problemlose Integration in komplexe Hochvakuum- Systeme - Vollautomatisches Regenerieren durch Kompakt- Steuerung - Einfachster Service Typische Anwendungen - Aufdampf-Anlagen - Weltraum-Simulationskammern - Elektronenstrahl-Schweiss-Anlagen - Optische Beschichtungs-Anlagen - Metallisierungs-Anlagen 400 ISO-K Ø ISO-K Ø COOLVAC COOLVAC Ø 105 Ø 105 Maßzeichnung der COOLVAC CL Maßzeichnung der COOLVAC CL C12 22 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

23 Technische Daten Hochvakuum (HV)-Flansch Vorvakuum-Flansch Flansch zum Anschluss für Messröhre Flansch für Elektro-Anschluss Sicherheitsventil mit Flansch-Anschluss für Gasabführungs-Leitung 4-polige Stromdurchführung für Si-Diode auf Flansch COOLVAC CL CL 400 ISO-K 500 ISO-K 40 KF 40 KF 16 KF 16 KF 40 KF 40 KF 40 KF 40 KF 16 KF 16 KF Heizungen 1. Stufe W V AC 2. Stufe W V AC Temperatur-Messfühler 1. Stufe 2. Stufe PT 100 PT 100 Si-Diode Si-Diode Eingebauter Kaltkopf Gewicht Abkühlzeit bis T 2 = 20 K Crossover-Wert COOLPOWER kg min mbar. I 5/100 5/ Saugvermögen H 2 O I. s -1 Ar / N 2 I. s -1 H 2 I. s / / Kapazität Ar / N 2 H 2 bei 10-6 mbar bar. I bar. I Max. Saugleistung Ar / N 2 mbar. I. s -1 H 2 mbar. I. s Helium-Anschlüsse (Selbstdichtende Verschraubungen: Außengewinde Typ 5400-S2-8) 1/2" 1/2" Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

24 Bestelldaten COOLVAC CL COOLVAC CL Europa USA/Japan Europa USA/Japan COOLVAC CL, 400 ISO-K CL, 500 ISO-K Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr. Kat.-Nr V V0006 Elektronik und Leitung System Controller SC Stromversorgung PS 230 V, 1 ph. Netzwerk-Kommunikations-Leitung System Controller zu der/den Pumpen 10 m 20 m Leitung Kompressor Stromversorgung PS 10 m 20 m Leitung System Controller Stromversorgung, 1 m Leitung Pumpmodul PM Stromversorgung 10 m 20 m Kompressoren und Druck-Leitungen Kompressor CP 6000 CP 6200 Stromversorgungs-Kabel für Kompressor Flexible Druck-Leitungen FL 4.5 (1/2", 1/2") oder FL 9.0 (1/2", 1/2") und FL 4.5 (Elektrische Verlängerungs-Leitung) Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr V6000 Kat.-Nr V6000 Kat.-Nr V6200 Kat.-Nr V6200 siehe Bestelldaten siehe Bestelldaten siehe Bestelldaten siehe Bestelldaten Kompressor-Einheiten Kompressor-Einheiten Kompressor-Einheiten Kompressor-Einheiten COOLPAK COOLPAK COOLPAK COOLPAK Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Die Anordnung der Komponenten ist im Abschnitt Zubehör unter Absatz COOLVAC ClassicLine, System-Komponenten dargestellt. C12 24 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

25 Notizen Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

26 COOLVAC CL COOLVAC COOLVAC COOLVAC LN 2 -gekühlt auf Anfrage COOLVAC CL mit Sonderflansch Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum - Hohes Saugvermögen für Wasserdampf und Stickstoff - Schnelles, sicheres und effizientes Regenerieren mit dem elektrischen Regenerier-System - Einfache Bedienung Typische Anwendungen - Weltraum-Simulationskammern - Aufdampf-Anlagen - Elektronenstrahl-Schweiss-Anlagen - Optische Beschichtungs-Anlagen - Metallisierungs-Anlagen COOLVAC mit Sonderflansch Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum - Hohes Saugvermögen für Wasserdampf und Stickstoff - Schnelles, sicheres und effizientes Regenerieren mit dem elektrischen Regenerier-System - Einfache Bedienung Typische Anwendungen - Weltraum-Simulationskammern - Aufdampf-Anlagen - Elektronenstrahl-Schweiss-Anlagen - Optische Beschichtungs-Anlagen - Metallisierungs-Anlagen COOLVAC mit Sonderflansch Vorteile für den Anwender - Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum - Hohes Saugvermögen für Wasserdampf und Stickstoff - Schnelles, sicheres und effizientes Regenerieren mit dem elektrischen Regenerier-System - Einfache Bedienung Typische Anwendungen - Weltraum-Simulationskammern - Aufdampf-Anlagen - Elektronenstrahl-Schweiss-Anlagen - Optische Beschichtungs-Anlagen - Metallisierungs-Anlagen Ø 1060 (35" ANSI) 5,625 11,25 Ø18 Ø , Ø1305 Ø1270 Ø Ø Flansch Flange 16 KF Flansch Flange KF ISO-K Maßzeichnung der COOLVAC CL Maßzeichnung der COOLVAC Maßzeichnung der COOLVAC C12 26 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

27 Technische Daten Hochvakuum (HV)-Flansch Vorvakuum-Flansch Flansch mit Stromdurchführung für Silizium-Diode Flansch zur weiteren Verwendung Sicherheitsventil mit Flansch-Anschluss 40 KF für Gasabführungs-Leitung (Öffnungsdruck) mbar Saugvermögen H 2 O I. s -1 Ar / N 2 I. s -1 H 2 / He I. s -1 Kapazität Ar / N 2 bar. I H 2 bei 10-6 mbar bar. I H 2 O I. s -1 Eingebauter Kaltkopf COOLPOWER Max. Saugleistung Ar / N 2 mbar. I. s -1 H 2 mbar. I. s K mbar. I Abkühlzeit auf 20 K min Gesamthöhe min Gewicht kg Silizium-Diode zur Temperatur-Messung an der zweiten Stufe des Kaltkopfes Regenerier-Heizungen an der ersten und zweiten Stufe des Kaltkopfes COOLVAC CL COOLVAC COOLVAC ISO-F 35" ANSI 1250 ISO-F 63 ISO-K 63 ISO-K 63 ISO-K 25 KF (2x) 16 KF (2x) 16 KF (2x) 40 KF 40 KF 40 KF 40 KF 40 KF 40 KF / / / / / / /100 (2x) 5/100 (2x) und 140T (1x) 5/100 (2x) und 140T (2x) siehe Maßzeichnung siehe Maßzeichnung eingebaut (2x) eingebaut (2x) eingebaut (2x) eingebaut (2x) Bestelldaten COOLVAC CL COOLVAC COOLVAC Kryopumpe COOLVAC CL, 630 ISO-F COOLVAC , 35" ANSI COOLVAC , 1250 ISO-F Kompressor-Einheit COOLPAK 6000 COOLPAK 6200 Stromversorgungs-Kabel Flexible Druckleitungen FL 4.5 (1/2", 1/2") oder FL 9.0 (1/2", 1/2") und EL 4.5 (Elektrische Verlängerungs-Leitung) Kompakt-Steuerung und Kabelsatz Kat.-Nr V0006 auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage (2x) auf Anfrage (2x) auf Anfrage (4x) auf Anfrage (2x) auf Anfrage (2x) auf Anfrage (4x) siehe Bestelldaten Kompressor-Einheiten COOLPAK Kat.-Nr (2x) Kat.-Nr (2x) Kat.-Nr (4x) Kat.-Nr (2x) Kat.-Nr (2x) Kat.-Nr (4x) Kat.-Nr (2x) Kat.-Nr (2x) Kat.-Nr (4x) auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

28 Produkte Kryotechnik Kaltköpfe, pneumatischer Antrieb Einstufiger Kaltkopf, COOLPOWER 140 T Einstufiger Kaltkopf COOLPOWER 140 T Vorteile für den Anwender - Weitgehend beliebige Einbaulage - Hohe Kälteleistung - Keine flüssigen Kältemittel erforderlich - Einfachste Bedienung - Kurze Abkühlzeit Typische Anwendungen - Kühlung von Pumpflächen in Kryopumpen und damit Erzeugung von Hoch- und Ultrahoch-Vakua - Meßfühler-Kalibrierung - Proben- und Detektor-Kühlung; insbesondere Kühlung von - Proben für spektroskopische Untersuchungen in Festkörperund Oberflächen-Physik - Hochtemperatur-Supraleitern und Halbleiter-Bauelementen Ø 115 Ø M 4 (8x) 148,5 Länge 4,5 m ISO-K Schellenmitte 10 Ø 105 ca. 121 Maßzeichnung des COOLPOWER 140 T C12 28 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009

29 Technische Daten COOLPOWER 140 T Kälteleistung bei 50/60 Hz 1) bei 80 K, ca. bei 20 K, ca. Tiefste erreichbare Temperatur 1) Abkühlzeit auf 20 K W W K min Zulässige Umgebungstemperatur ºC +10 bis +40 He-Fülldruck bei Raumtemperatur He-Anschlüsse selbstdichtende Verschraubungen Hochdruck-Anschluss Niederdruck-Anschluss Gewicht Länge der elektrischen Anschlussleitung zur Kompressor-Einheit bar kg m 16 1/2" (#8 2) ) 1/2" (#8) 12 4,5 Bestelldaten COOLPOWER 140 T Kaltkopf COOLPOWER 140 T mit 160 ISO-K Andere Flansche Zubehör Kompressor-Einheit (für den Betrieb eines Kaltkopfes) COOLPAK 6000, 400 V/50 Hz; 470 V/60 Hz COOLPAK 6200, 200 V/50 Hz; 200 V, 230 V/60 Hz Stromversorgungs-Kabel Flexible Druckleitungen FL 4.5 (1/2", 1/2") oder FL 9.0 (1/2", 1/2") und FL 4.5 (Elektrische Verlängerungs-Leitung) Option Temperatur-Messung Silizium-Diode Tieftemperatur-Anzeigegerät Mess-Leitung Kat.-Nr Auf Anfrage Kat.-Nr V6000 Kat.-Nr V6200 siehe Bestelldaten Kompressor-Einheiten COOLPAK Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr Kat.-Nr auf Anfrage auf Anfrage 1) Die angegebenen Kälteleistungen und Temperaturen gelten für vertikalen Betrieb mit kaltem Ende nach unten 2) Serie 8 von Aeroquip Leybold Vacuum Gesamtkatalog C12

30 Zweistufige Kaltköpfe COOLPOWER 7/25, 5/100 und 5/100 T Zweistufiger Kaltkopf COOLPOWER 7/25 Vorteile für den Anwender - Beliebige Einbaulage - Hohe Kälteleistung - Keine flüssigen Kältemittel erforderlich - Einfachste Bedienung - Kurze Abkühlzeit Ansicht A M4 30 6x60 Ansicht B M4 x 7 8 x , ø 47,5 A 82,1 ø 69 B ø 87 innen ø 75, Zweistufige Kaltköpfe COOLPOWER 5/100 und COOLPOWER 5/100 T Typische Anwendungen - Kühlung von Pumpflächen in Kryopumpen und damit Erzeugung von Hoch- und Ultrahoch-Vakua - Proben- und Detektor-Kühlung; insbesondere Kühlung von - Proben für spektroskopische Untersuchungen in Festkörperund Oberflächen-Physik - Hochtemperatur-Supraleitern 47,5 32,2 92, , , ,5 - Supraleiter- und Halbleiter- Bauelementen - Infrarot- und Gamma-Detektoren - Messfühler-Kalibrierung - Kühlung von Beschleuniger- Bauelementen in der Hochenergie- Physik - Kühlung von supraleitenden Magneten; z.b. bei der Kern-Spin- Tomographie in der Medizin-Technik (Nur COOLPOWER 5/100 und 5/100 T) , ,5 13, ca. 120 ca ,7 M4 Maßzeichnung des COOLPOWER 7/25 Maßzeichnungdes COOLPOWER 5/100 und COOLPOWER 5/100 T C12 30 Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009