OPERATING INSTRUCTIONS

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2 OPERATING INSTRUCTIONS ARTHUR PFEIFFER Vakuumtechnik Wetzlar GmbH Postfach80 D-6334 Asslar Tel. 0644/80- Ein Unternehmen der Gruppe Turbomolekularpumpe Turbo-Molecular Pump Pompe turbo-moleculaire TPH 050, TPU 050 Antriebs-Elektronik Electronic Drive Unit Commande electronique TCP 040 Pumpstande Pumping Units Groupes de pompage TSH 050, TSU 050 W PM 800 BD,E,F 3. Ausgabe/3. Edition 8506/N 98

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4 Betriebsanweisung Operating-instructions Instructions de service fur Turbo-Molekularpumpen TPH 050, TPU 050, Antriebselektronik TCP 040 und Turbo-Molekularpumpstande TSH 050, TSU 050 tor Turbo-Molecular Pump TPH 050, TPU 050 Electronic Drive Unit TCP 040 and Turbo molecular pumping Units TSH 050, TSU 050 pour Pompe turbo-moleculaire TPH 050, TPU 050, Commande electronique TCP 040 et Groupes de pompage turbomoleculaire TSH 050, TSU 050 Allgemeiner Hinweis General Note Note generale Die vorliegende Betriebsanweisung st in drei Abschnitte unterteilt: The present operating instructions PM 800 BE are subdivided into three sections. L ' instruction de service PM 800 BF presente est subdivisee en trois sections: Abschnitt weibe Seiten: Turbopumpe TPH 050, TPU 050 Section white pages; Turbo molekular pumps TPU 050/ TPU 050 Section blanc pages: Pompes turbo-moleculaire TPH 050 et TPU 050 Abschnitt gelbe Seiten: Antriebselektronik TCP 040 Section yellow pages Electronic drive unit TCP 040 Section jaune pages; Commande electronique TCP 040 Abschnitt 3 blaue Seiten; Turbo-Pumpstande TSH 050, TSU 050 Section 3 blue pages: Turbo molekular pumping units TSH 050 and TSU 050 Section 3 bleu pages: Groupes de pompage turbomoleculaire TSH 050 et TSU 050 Lesen Sie bitte vor dem Betreiben der Pumpe die Betriebsanweisung und halten Sie sie in alien Punkten ein. Die Betriebsanweisung ist nach DIN 848 erstellt. Alle Cerate entsprechen dem Gesetz iiber technische Arbeitsmittel vom 4. Juni 968, 3. Wir mochten Sie darauf aufmerksam machen, dab zur Wartung oder Reparatur eingelieferte Cerate frei sein miissen von Schadstoffen (z.b. auch radioaktiver und/oder physiologischer Art). Die Strahlenschutzvorschriften sind zu beachten. Beschreibung, Berechnungsgrundlagen, Einsatzbeispiele, Leistungsdaten von PFEIFFERTurbomolekularpumpen enthalt die Broschure PM PD. tfberzeugen Sie sich sofort nach dem Auspacken, dab er Umfang der Sendung mit dem Lieferschein ubereinstimmt. Technische Anderungen behalten wir uns vor. Before putting the pump into operation please read the operating instructions and follow the rules given there in all points. The operating instructions are made according to DIN 848. All machines are built in accordance with the German law for technical implements dated 4th of June 968, 3. Attention please: Equipment returned to us for maintenance or repair work must be free from harmful agents, e.g. of radioactive or physiological kind. The instructions for the protection against radiation must be observed. Description, Design Fundamentals, Examples of Application, Performance Data from Pfeiffer-Turbo molecular Pumps are given in the pamphlet PM PE. Check immediately after unpacking whether the scope of delivery corresponds to the delivery note. Technical modifications reserved. Avant d'operer la pompe lisez s.v.p. 'instruction de service et observez I execution de laquelle en tous les points. L ' instruction de service est produite selon DIN 848. Tous nos machines correspondent au loi des engins operatrices techniques du 4. juin 968, 3. Attention s.v.p.: Appareils retournes a notre usine pour travaux d'entretien ou reparation doivent etre ^exemptes de toute matiere nuisible p.ex. de la sorte radioactive ou physiologique. Les instructions pour la protection contre la radiation sont a observer. Vous trouvez description la bases de calcul, exemples d'utilisation, caracteristiques techniques des pompes turbo-moleculaires PFEIFFER dans la brochure PM PF. Veuillez verifier immediatment apres le deballage que la livraison correspond aux indications du bulletin de livraison. Toutes modifications techniques reservees.

5 Abschnitt Turbopumpe TPH 050, TPU 050 Inhalt. Turbopumpe TPH 050, TPU 050. Vorvakuumpumpe. Technische Daten.. MaBbild.. Enddruck..3 Saugvermogen.3 Installation.3. Hinweis zu Installation.3. HochvakuumanschluB.3.. Einsetzen des Splitterschutzes.3.3 VorvakuumanschluB.3.4 Kiihlung.3.4. Wasserkiihlung.3.4. Luftkuhlung.3.5 FlutanschluP,. 4 Betrieb.4. Einschalten.4. Heizen der Turbopumpe.4.3 Abschalten.5 Stillsetzen der Turbopumpe.6 Instandhaltung.6. Betriebsmittelwechsel.6. Bedingungen zum Lagerwechsel.6.3 Allgemeines.6.4 Demontage.6.5 Montage.6.6 Reinigung.7 Zubehor.7. Betriebsmittel.7. Bauteile.8 Ersatzteile Section Turbo molecular pumps TPH 050/ TPU 050 Index. TPH 050, TPU 050 turbo pumps. Backing pumps. Technical data.. Dimensional diagram.. Ultimate pressure..3 Volume flow rate.3 Installation.3. Note concerning installation.3. High-vacuum connection.3.. Insertion of the splinter shield.3.3 Roughing vacuum connection.3.4 Cooling.3.4. Water cooling.3.4. Air cooling.3.5 Venting connection. 4 Operation.4. Switching on.4. Bake-out of the turbo pump.4.3 Switching off the pump.5 Shutting down the TPH 050 TPU 050 turbo pump. 6 Maintenance.6. Changing the operating medium.6. Requirements for bearing replacement.6. 3 General.6. 4 Disassambly 6.5 Assembly.6.6 Cleaning.7 Accessories.7. Operating media.7. Components. 8 Spare parts Section Pompes turbo-moleculaire TPH 050 et TPU 050 Index. Pompe turbo TPH 050, TPU 050. Pompes a vide primaire. Caracteristiques techniques.. Dessin cote.. Pression limite..3 Debit-volume.3 Installation.3. Remarque concernant ' installation.3. Connexion vide eleve.3.. Mise en place du pare-eclats.3.3 Raccord vide primaire.3.4 Refroidissement.3.4. Refroidissement par eau.3.4. Refroidissement par air.3.5 Raccord de remise a ' air.4 Fonctionnement.4. Enclenchement.4. Etuvage de la pompe turbo.4.3 Arret.5 Mise hors service des pompes turbo TPH 050 TPU Entretien.6. Changement du fluide d ' exploitation.6. Conditions concernant le changement de palier.6.3 Generalites.6.4 Demontage.6.5 Montage.6.6 Nettoyage.7 Accessoires.7. Fluides d'exploitation.7. Elements.8 Pieces de rechange At

6 A TPH 050 mit Hochvakuumflansch DN 63 ISO -K with high-vacuuavec bride a vide eleve flange B TPH 050 mit Hochvakuumflansch DN 40 KF with high-vacuuavec bride vide eleve flange C TPU 050 mit Hochvakuumflansch DN 63 CF with high-vacuuavec bride a vide flange eleve Fig.. Turbopumpe TPH 050, TPU 050 Die Ausfiihrungen der Turbopumpen TPH und TPU sind im Aufbau und in den Leistungsdaten vollig gleich. Sie unterscheiden sich lediglich im Ansaugflansch. Die Pumpen TPH sind mit KFbzw. ISO-K-Flanschen, die Pumpen TPU mit CF-Flansch versehen. Die TPU-Ausfiihrung wird serienma'big mit Heizmanschette geliefert.. Vorvakuumpumpen Als Vorvakuumpumpe empfehlen wir unsere Drehschiebervakuumpumpe DUO.5 A. Sie ist eine zweistufige Pumpe mit,5 m3/h Saugvermogen. Die Pumpen sind mit einem Hochvakuum-Sicherheitsventil ausgeriistet, so dab kein Absperrventil in der Vorvakuumleitung erforderlich ist.. TPH 050, TPU 050 turbo pumps The turbo pumps TPH and TPU models are absolutely identical in terms of design and performance data. They only differ in their intake flange. The TPH pumps are equipped with KF resp. ISO-K flanges, and the TPU pumps with CF flange. The TPU models are supplied with heating jacket as a standard feature.. Backing pumps We recommend that you use our DUO.5 A rotary vane vacuum pump as the backing pump. This is a two-stage pump with a volume flow rate of.5 m3/h. All pumps are equipped with a high-vacuum safety valve, thereby eliminating the need for a shutotf valve in the roughing vacuum line.. Pompe turbo TPH 050, TPU 050 La construction des pompes turbo TPH et TPU est absolument semblable ainsi que leurs caracteristiques de puissance. Elles ne se differencient que par la bride d'aspiration. Les pompes TPU sont equipees de brides KF ou ISO-K, les pompes TPU de brides CF. Les types TPU sont livres de^ facon standard avec une chemise chauffante.. Pompes a vide primaire Comme pompe primaire nous recommandons notre pompe a vide rotative a palettes DUO.5 A. C'est une pompe bietagee avec un debit volume de,5 m3/h. Ces pompes sont tous equipees d'une vanne a vide eleve de securite. Une vanne d'arret dans la canalisation vide primaire n'est done pas necessaire. A

7 .Technische Daten. Technical data.caracteristiques techniques Turbomolekularpumpe mit HV-Flansch mit UHV-Flansch Anschlussnennweite Eingang Ausgang FlutanschluB Saugvermogen fur Stickstoff N Helium He Wasserstoff H Kompressionsverhaltnis fur ISh He H Turbo-molecular pump with HV-flange with UHV-flange Nominal diameter Inlet Outlet Venting connection Volume flow rate for Nitrogen N Helium He Hydrogen H Compression ratio for N He H Pompe turbo-moleculaire avec bride HV avec bride UHV Diametre nominal de raccordem. Entree Sortie Connexion entree d'air Debit-volume pour Azote N Helium He Hydrogene H Taux de compression pour N He H l/s l/s l/s TPH 050 DN 40 KF DN 6 KF DN 0 KF , TPH 050 DN 63 ISO-K DN 6 KF DN 0 KF , TPU 050 DN 63 CF DN 6 KF DN 0 KF , Empfohlene Vorpumpe, min. Theor. Enddruck ) Enddruck ) Enddruck ) Enddruck 3 ) Nenndrehzahl Hochlaufzeit3) Olfullung Kuhlart Serienmassig bis 30 C Umgebungstemperatur Bausatz fur Kiihlwasserbedarf Leistungsaufnahme Heizung Magnetfeld Proposed backing pump, min. Ultimate pressure ), theoretical Ultimate pressure ) Ultimate pressure ) Ultimate pressure 3 ) Rated speed Run-uptime3) Oil filling Type of cooling Standard, up to an ambient temperature of 30 C Conversion kit for Cooling water requirement Power input, heater Magnetic field Pompe primaire recommandee, min. m3/h Pression finale theorique ) Pression finale ) Pression finale ) Pression finale 3 ) Vitesse nominale Temps d'acceleration 3) Remplissage d'huile Mode de refroidissement En seriejusqu'a30 C de temperature ambiante Equipement pour Consommation eau de refroidiss. Puissance absorbee chauffage Champ magnetique mbar mbar mbar mbar U/min. min. cm3 l/h W max.,5 0~ < -0-0 < -0-9 < convection water/air 7 mt,5 0-ii < -0-0 < -ID-9 < convection water/air 7 mt,5 0-n < -0- < -0^ < conv./water 4) water/air mt Gewicht Weight Poids kg,5,5,5 ) Der Wert, dem sich der Druck innerhalb der Messdoms asymptotisch nahert. Er ist der niedrigste Druck, der mit der Pumpe erreicht werden kann (It. DIN 8 48). ) Der Druck, der im Messdom maximal 48 Stunden nach dem Ausheizen erreicht wird. 3) Bis 90% der Nenndrehzahl. 4) Bei Einsatz einer Heizung ist Zwangskuhlung erforderlich. ) Value which the pressure approaches asymptotically ininside the measuring dome. The lowest pressure that can be attained with the pump (to DIN 8 48). ) Pressure attained in the measuring dome after a max. of 48 hours after bake-out. 3) Up to 90% of rated speed. 4) If a heater is employed, ducted cooling is required. ) La valeur dont la pression a I'interieur du d6me de mesure se rapproche asymptotiquement. C'est la pression la plus basse que Ton peut obteniravec la pompe (selon DIN 848). ) La pression que Ton obtient dans le d6me de mesure 48 heures maximum apres etuvage. 3) Jusqu' a 90% de la vitesse nominale. 4) Si Ton utilise un chauffage, un refroidissement force est necessaire. A3

8 .. MaBbild.. Dimensional diagram.. Dessin cote DN63ISO-KODN40KF 0 v**fv *.J_> Fig. Hochvakuumf lansch ^ Vorvakuumf lansch O FlutanschluB ^ AnschluB-Antriebselektronik ^ Wasserkiihlung Luftkiihlung } ' High-Vacuum Connection Fore-Vacuum Flange Venting connection ^Connector for Electronic Drive Q Water cooling^ Q Air cooling ^ ) (D Raccordement vide eleve O Bride vide primaire Connexion entre d'air ^ Branchement commande electronique Q Refroidissement par eau ^ ^ Ref roidissement par air ' ) Zubehor Accessories Accessoires.. Enddruck Unter dem Enddruck von Turbopumpen wird nach DIN 8 48 der, Druck verstanden, der in einem MeBdom 48 Stunden nach dem Ausheizen erreicht wird. Der Enddruck fur die Pfeiffer-Turbo liegt je nach verwendetem Vorpumpensystem bei folgenden Werten:.. Ultimate pressure According to DIN 8 48, the ultimate pressure of turbo pumps is the pressure which is attained in a measuring dome 48 hours after baking-out. Depending on the type of the backing pump system used, the ultimate pressure of the Pfeiffer Turbo is as follows:.. Pression limite Par pression limite des pompes turbo-moleculaires, on entend la pression, selon DIN 8 48, que 'on obtient dans un dome de mesure 48 heures apres etuvage. La pression limite pour les Turbo-Pfeiffer et situe, selon le systeme de pompage primaire utilise, dans les valeurs suiv.antes : A4

9 Betriebsenddruck Ultimate operational pressure Pression finale operationelle Vorpumpensystem Fore-Pump Combination Combinaison de pompes primaires Dichtung fur Ansaugflansch Seal for Intake Socket Joint pour bride d'aspiration - 0 mbar zweistufige Drehschiebervakuumpumpe und PFEIFFER-TURBO two- stage rotary vane vacuum pump and turbo molecular pump Pompe a vide rotative a palettes a deux etages et pompe turbomoleculaire MB tall Metal Metallique zweistufige Drehschiebervakuumpumpe und Oldiffusionspumpe two- stage rotary vane vacuum pump and oil diffusion pump Pompe a vide rotative a palettes a deux etages et pompe a diffusion a huile MB tall Metal Metallique mbar zweistufige Drehschiebervakuumpumpe two- stage rotary vane vacuum pump Pompe a vide rotative a palettes a deux etages Metall Metal Metallique 3 _o 5-0 mbar zweistufige Drehschiebervakuumpumpe two- stage rotary vane vacuum pump Pompe a vide rotative a palettes a deux etages Viton Jede Turbopumpe unterschreitet wahrend der Endabnahme die Enddruckwerte und 3, wobei der Enddruck 3 ohne Ausheizen der Pumpen erreicht wird. During final acceptance, every turbo pump exceeds the ultimate pressure values and 3, with the ultimate pressure 3 being attained without baking out of the pumps. Toutes les pompes turbo, pendant la phase de reception finale, depassent les valeurs de pression limite et 3, la pression limite 3 etant obtenue sans etuvage des pompes...3 Saugvermogen..3 Volume flow rate..3 Debit-volume 03i VJ \ s kk> - -^ v\ v\ \ O - O'0 0"9 ID'8 C'7 0'6 +~ P[mbar] Fig. 3 Saugvermogen fur Stickstoff N Turbopumpen TPH 050 und TPU 050 Turbopumpen TPH 050 mit KF-Flansch Volume flow rate for nitrogen N TPH 050 and TPU 050 turbo pumps with ISO-K and CF flange TPH 050 turbo pumps with KF flange Debit-volume pour azote N^ courbe Pompe turbo TPH 050 et TPU 050 avec bride ISO-K et bride CF courbe Pompe turbo TPH 050 avec bride KF A5

10 .3. Installation.3 Installation.3 Installation.3. Hinweis zu Installation - Die Turbopumpe wird mit '6- fiillung geliefert. - Blindflansche an Hoch- und VorvakuumanschluB erst unmittelbar vor der Montage entfernen. Pumpe ist mit N~ geflutet. - Arbeiten die Turbopumpen in einem Magnetfeld bei Feldstarken tiber 7 mt, sind geeignete AbschirmmaBnahmen vorzusehen (Abschirmgehause auf Anfrage..3. HochvakuumanschluB Fig. 4 und 5 Wird ein Rezipient frei an die Turbopumpe angeflanscht, darf kein Drehmoment iibertragen werden (einseitige Belastung). Die axiale Belastbarkeit des Hochvakuumstutzen betragt max. 0 kg. Achtung! Bei verankerter Turbopumpe diirfen keine Krafte aus dem Rohrleitungssystem auf die Pumpe einwirken. - Alle UHV-Teile mussen bei grobter Sauberkeit montiert werden. Unsaubere Bauelemente verlangern die Auspumpzeit durch die hohe Desorptionsrate. - Die Pumpe kann in horizontaler bis vertikaler Einbaulage an den Rezipienten angeflanscht werden. - Weicht die Einbaulage von der Vertikalen ab, mub die Pumpe mit dem VorvakuumanschluB 4 nach unten eingebaut werden. Eine maximale Abweichung von 0 nach links oder rechts ist zulassig (Fig. 4). - Bei einer Verbindung Turbopumpe-Rezipient tiber einen Federungskorper mub die Pumpe verankert werden. - Zur Verankerung der Pumpe sind im Unterteil (Standflache) vier Gewindelocher M5 vorhanden. Die Gewindelocher dienen zur Befestigung der GummifuBe. - Zum Sch'utz der Turbopumpe gegen Fremdkorper einen Splitterschutz einsetzen (Zubehor Abschnitt.7.). Der Splitterschutz verringert das Saugvermogen um ca. 5 %..3. Note concerning installation - The turbo pump is delivered with the oil filled in. - Remove the blank flanges at the high- and roughing vacuum connection immediately before you install the pump. The pump has been vented with N. - If the turbo pumps are operated in a magnetic field with field intensities exceeding 7 mt, suitable screening measures must be provided (screening housing upon request)..3. High-vacuum connection Fig.4 and 5 If a vacuum chamber is flanged to the turbo pump without support, it must be ensured that no torque is transmitted to the turbo pump (unilateral stress). The maximum axial load-bearing capacity of the high-vacuum socket is 0 kg. Caution I When the turbo pump is anchored in place, it must be ensured that forces from the piping system do not act on the pump. - All UHV components must be fitted with the utmost cleanliness. Unclean components increase pump-down time as a result of the high desorption rate. - The pump can be flanged to the vacuum chamber in any installation attitude, from horizontal to vertical. - If the installation attitude deviates from perpendicular, the pump must be installed with the roughing vacuum connection 4 facing downwards. A maximum deviation of 0 to the left or right is permitted (Fig. 4). - If the turbo pump is connected to the vacuum chamber via a metal bellows the pump must be anchored. - The pump base has four M5 tap holes for anchoring the pump. The tap holes are used to fix the rubber legs - In order to protect the pump from foreign matter, a splinter shield should be fitted (cf. Accessories, Sec..8, Turbo pump). The volume flow rate of the pump is reduced by approx. 5% as a result of the splinter shield..3. Remarque concernant ' installation - La pompe turbo est livree avec sa charge d'huile. - N'enlever les brides pleines des cotes vide pousse et vide primaire que juste avant le montage. La pompe est remplie de N. - Si les pompes turbo fonctionnent dans un champ magnetique avec des intensites de champ superieures a 7 mt, il faut prevoir des mesures de blindage appropriees (systemes de blindage sur demande)..3. Connexion vide eleve Fig. 4 et 5 Un recipient librement bride sur la pompe turbo n'e doit pas exercer un moment de torsion (charge unilaterale). La charge axiale de la bride vide eleve est de 0 kg au maximum. Attention! Si la pompe turbo est ancree aucune force provenant du systeme tubulation ne doit produire des effets sur la pompe. - Toutes le pieces UHV doivent etre montees dans un etat de parfaite proprete. Des elements de construction qui ne seraient pas propres prolongent le temps de pompage en raison du taux de desorption^eleve. - La pompe peut etre bridee sur 'enceinte de la position horizontale a la position verticale. - Si la position de montage de la pompe s'ecarte de la verticale, il faut monter la pompe avec le raccord vide primaire 4 vers le bas. Une difference maximale de 0 vers la gauche ou la droite est admise (Fig. 4). - En cas de raccordement pompe turbo-enceinte par un raccord souple, il faut que la pompe soit ancree au sol. - Pour 'ancrage 4 percages filetes M5 sont prevus a la partie inferieure (surface reposant sur le sol). Les percages filetes servent a la fixation des pieds en caoutchouc. - Pour proteger la pompe contre des corps etrangers, monter un pare-eclats (Accessoires parag..7.). Le pareeclats reduit le debit-volume d'env. 5%. A6

11 Fig. 4 Hochvakuumf lansch 4 Vorvakuumf lansch High-vacuum flange 4 Fore-vacuum flange Raccordement vide eleve 4 Bride vide primaire Fig. 5 Hochvakuumflansch Turbopumpe Splitterschutz 3 Klemmfahne High-vacuum flange, Turbo pump Splinter shield 3 Clamping lug Bride vide pousse pompe turbo Pare-eclats 3 Talon de serrage.3.. Einsetzen des Splitterschutzes Bei Hochvakuumflansch: Ausfiihrung ISO-K und CF Fig. 5 - Splitterschutz mit der Siebwolbung nach oben in den Hochvakuumflansch einsetzen. - Beim Einsetzen in den Hochvakuumf lansch sind die Klemmfahnen 3 nach innen zu driicken. - Der Splitterschutz mub mit defn AuBenring bis zum Anschlag in den Hochvakuumflansch' eingedriickt werden. Klemmfahnen eventuell vor dem Einsetzen nach auben biegen damit der Splitterschutz fest sitzt. (Vermeidung von Gerauschen) A7.3.. Insertion of the splinter shield If the high-vacuum flange is of ISO-K.and CF design: Fig. 5 - The splinter shield must be fittet into the highvacuum flange with its sieve bulging upward. - For insertion into the high-vacuum flange the clamping lugs 3 must be pressed inwardly. - The splinter shield must be forced into the high-vacuum flange until its outer ring engages in the seat. If necessary bend the clamping lugs to the outside before you insert the flange so that the splinter shield is firmly seated (to avoid from noises)..3.. Mise en place du pare-eclats Pour bride vide eleve: Execution ISO-K et CF Fig. 5 - Introduire le pare-eclats avec le cote bombe vers le haut dans la bride vide pousse. - En introduisant le pareeclats dans la bride vide pousse enfoncer vers ' interieur les talons de serrage 3. - Le par-eclats doit etre enfonce avec 'aneau exterieur dans la bride vide pousse jusqu'a la butee. Eventuellement plier les talons de serrage vers 'exterieur, pour que le pare-eclats soit bien fixe. (Eviter de bruit)

12 Bei Hochvakuumflansch: Ausfilhrung KF Der Splitterschutz fur DN 40 KF ist als Zentrierring ausgefiihrt. Er wird wie eine normale Kleinflanschverbindung montiert..3.3 VorvakuumanschluB Fig. 6 - AnschluB 4 an Turbopumpe TPH/TPU 050 DN 6 KF - AnschluB 8 an Vorvakuumpumpumpe DUO.5 A DN 0 KF, an UNO und DUO 004 B bis 06 B DN 5 KF - Die Vorvakuumleitung 9 kann mit Kleinflansch-Bauelementen verlegt werden. - Urn die Belliftung des Rezipienten iiber die Vorvakuumpumpe zu verhindern, empfiehlt sich der Einbau eines Hochvakuum-Sicherheitsventils 0. In PFEIFFER-Vorvakuumpumpen ist ein Hochvakuum-Sicherheitsventil integriert. - Bei starren Rohrverbindungen ist ein Federungskorper einzubauen, urn die Ubertragung der Vibration der Vorvakuumpumpe zu dampfen. - Bauelemente unter VorvakuumanschluB in Abschnitt Weitere Bauteile sind im -Katalog Komponenten fur die Vakuumtechnik aufgef iihrt. If the high-vacuum flange is of KF design: The splinter shield for the DN 40 KF flange is designed for centering and is fitted like a standard small-flange connection..3.3 Roughing vacuum connection Fig. 6 - Connection 4 at turbo pump TPH/TPU 050: DN 6 KF - Connection 8 at backing pump DUO.5 A: DN 0 KF, at UNO/DUO 004 B - 06 B: DN 5 KF - The roughing vacuum line 9 can be made using smallflange components. - In order to prevent the vacuum chamber from being vented via the backing pump, we recommend that a high-vacuum safety valve 0 be installed. A high-vacuum safety valve 0 is incorporated in the Pfeiffer backing pumps. - In the case of rigid pipe connections, a metal bellows must be installed to reduce the transmission of the backing pump vibrations. - Components: cf. roughing connection, section Further components are listed in the catalog "Vacuum Components". Pour bride vide eleve: Execution KF Le pare-eclats pour DN 40 KF est execute comme anneau de centrage. On le monte comme une connexion KF normale..3.3 Raccord vide primaire Fig. 6 - Raccord 4 sur pompe turbo TPH/TPU 050 DN 6 KF - Raccord 8 sur pompe primaire DUO,5 A PN 0 KF, sur UNO et DUO 004 B a 06 B DN 5 KF - La canalisation de vide primaire 9 peut etre realisee avec des elements de construction a petite bride - Pour eviter la remise a 'air de 'enceinte a travers la pompe primaire, il est recommande de monter une vanne de securite a vide pousse 0. Dans les pompes primaires Pfeiffer est integree une vanne de securite a vide pousse. - Si ' on utilise des canalisations de raccordement rigides, il faut monter un raccord souple, pour amortir la transmission des vibrations de la pompe primaire. - Elements de contruction voir connexion vide primaire au parag Autres elements de construction repris dans le catalogue "Composants pour la Technique du Vide". Fig. 6 4 VorvakuumanschluB Turbopumpe 8 SauganschluB Vorvakuumpumpe 9 Vorvakuumleitung 0 Hochvakuum-Sicherheitsventi 4 Roughing vacuum connection, Turbo pump 8 Intake connection, backing pump 9 Roughing vacuum line 0 High-vacuum safety valve 4 Raccord vide primaire pompr turbo 8 Raccord daspiration pompe primaire 9 Canalisation de vide primaire 0 Vanne de securite a vide pousse A8

13 .3.4 Kiihlung.3.4 Cooling.3.4 Refroidissement Unbeheizte Pumpen an nicht beheizten Rezipienten konnen bei Raumtemperaturen bis maximal 30 C ohne Zwangskiihlung betrieben werden. Fiir andere Einsatzbedingungen ist eine Luft- bzw. Wasserkiihlung erf orderlich Wasserklihlung Fig. 7 Die Korrosionsbestandigkeit der Metalle ist im allgemeinen auf eine sehr diinne Oxidschicht zuriickzuf iihren, die an der Oberflache einen passiven Zustand aufrecht erhalt. Dafiir mub aber ein Mindestgehalt an Sauerstoff vorhanden sein. In geschlossenen Kuhlsystemen mub damit gerechnet werden, dab ohne besondere MaBnahmen der Sauerstoffgehalt unter die Mindestmenge absinkt. Hier 'sollte bei der Ruckkiihlung des Wassers fur die MSglichkeit geniigender Sauerstoffaufnahme gesorgt werden. In alien Fallen ist das Kiihlwasser zu filtrieren, urn Schmutz und organische Schwebstoffe vom Kiihlkreislauf fernzuhalten. Es konnte sonst zu lokalen Ablagerungen kommen, welche die Bildung von LochfraB begiinstigen. Um Korrosionsschaden zu vermeiden, sind folgende Anforderungen an das Kiihlwasser einzuhalten: Wasser filtriert, mechanisch rein, optisch klar, ohne Triibung, ohne Bodensatz, chemisch neutral Min. Sauerstoffgehalt 4 mg/kg Max. Cloridgehalt 00 mg/kg Max. Karbonat-Harte fiir die Wassertemperaturen: 5-5 C 0 dh Max. Kaliumpermanganat- Verbrauch 0 mg/kg ph-wert 7-9 Aggressive Kohlensaure und Ammoniak darf nicht nachweisbar sein. Vorlaufiiberdruck bis 7 bar Pumps without cooling which are connected to vacuum chambers which are not heated can be operated at ambient temperatures up to 30 C maximum without positive cooling. For other operational conditions air resp. water cooling is necessary Water cooling Fig. 7 Only a thin film of oxides is generally the base for the corrosion resistance of the metals. It maintains on the surface a passive state. For that purpose however it is necessary that a minimum amount of oxigen is available. In closed cooling systems it must be taken in consideration, that without special measures the oxigen content drops below the minimum quantity. In this case care should be taken, that when recooling the water, sufficient opportunity for absorption of oxigen is given. In any case the cooling water must be filtered to keep away from the cooling circuit dirt and organic suspended matter. Otherwise deposits could be formed which could be the reason for local corrosion. To avoid corrosion damages the following requirements for the cooling or heating water must be met: Water filtered, mechanically clean, optically clear, without turbidity, without deposits, chemically neutral Minimum oxigen content 4 mg/kg Maximum chloride content 00 mg/kg Maximum carbonic hardness for the water temperature from 5 C to 5 C 0 dh Maximum consumption of potassium permanganate 0 mg/kg ph-value 7-9 Aggressive carbon dioxide and ammonia must not be detectable Inlet overpressure up to 7 bar Pompes qui ne sont pas chauffees peuvent etre operees sans retroidissement force, quand elles sont connectees aux recipients non chauffees a des temperatures ambiantes de 30 C au maximum. Pour d'autres conditions de service refroidissement par air ou par eau est necessaire Refroidissement par eau La resistance a la corrosion en general est a ramener a une couche tres mince d'oxyde, qui maintient sur la surface un etat passif. Pour cela il faut qu'il y ait un contenu minimal en oxygene. Dans des systemes de refroidissement fermes il faut prendre en consideration, que sans des mesures speciales le contenu en oxygene s'abaisse au dessous de la quantite minimale. Ici il faut prendre soin de la possibilite au cours du refroidissement de retour d'absorption des quantites suffisantes d'oxygene. En tous cas 'eau de refroidissement doit etre filtree, pour eliminer du circuit de refroidissement de la crasse et de la matiere organique en suspension. Sinon des sedimentations locales pourraient se former favorisant la corrosion localisee. Pour eviter des deteriorations par corrosion les exigences suivantes pour 'eau de refroidissement respectivement 'eau chaude sont a respecter: L'eau filtree, mechaniquement pur, optiquement clair, sans louche, sans depot, chimiquement neutre Contenu en oxygene minimal 4 mg/kg Contenu en chlorures maximal 00 mg/kg Durete de 'eau partielle au carbonate a la temperature de 5-5 C 0 dh Consommation maximale en permanganate de potassium 0 mg/kg Valeur ph 7 a 9 Acide carbonique agressif et ammoniaque ne doivent pas etre decelable Surpression a 'entree jusqu ' a 7 bar A9

14 Werden die aufgefiihrten Werte iiberschritten bzw. unterschritten und treten deshalb Storungen oder Schaden an den von uns gelieferten Anlagen auf, sind wir von jeglicher Haftung aufgrund solcher Storungen oder Schaden befreit. Montage der Wasserkiihlung - Die Wasserkiihlung wird mit den beiden Schrauben mit Ferderringunterlage 3 am Unterteil der TPH/ TPU 050 angeschraubt. - Die Schlauchtiillen 4 sind in jeder Stellung anschraubbar. If the actual values are above respectively below the value indicated above and if trouble or damages occur at equipment furnished from us we are free from any liability for reason of those troubles or damages. Assembly of the water cooling - The water cooling is screwed on the bottom part of the TPH/TPU 050 by means of the two screws with spring washers 3. - The hose nipples 4 can be screwed on in any position, Si les valeurs indiquees sont depassees en haut respectivement en bas et si a cette cause des derangements ou des deteriorations apparaissent dans des installations fournis par nos soins nous sommes libres de toute responsabilite pour ces derangements ou deteriorations. Montage du refroidissement par eau - Le refroidissement par eau est visse avec les deux vis et les rondelles ressort 3 a la partie basse de la TPH/TPU Les olives a tuyau 4 peuvent etre vissees dans une direction quelconque. Fig. 7 Wasserkiihlung Schraube 3 Federring 4 Schlauchtulle 5 Hohlschraube 6 USIT-Ring Water cooling Screw 3 Spring washer 4 Hose nipple 5 Hollow screw 6 USIT ring Refroidissement par eau Vis 3 Rondelle ressort 4 Olive a tuyau 5 Vis creux 6 Joint en USIT KiihlwasseranschluB Fig. 8 - Die Pumpe kann durch das Kiihlwassernetz (Maximaldruck 7 bar) oder iiber das Kiihlaggregat TZK 350 versorgt werden. (Beim Einsatz des TZK 350 ohne Schmutzfanger) - Vor- und Riicklauf des Kiihlwassers konnen an den Anschliissen 7 beliebig angeschlossen werden. Cooling water connection Fig. 8 - The pump can be supplied via the cooling water system (maximum pressure: 7 bars), or via the TZK 350 cooling unit. (If the TZK 350 is used without dirt trap). - The cooling water supply and return system can be connected as desired to the connections 7. Connexion eau de refroidissement - La pompe peut etre alimentee par le reseau d'eau de refroidissement (pression maximale 7 bar) ou par le systeme de refroidissement TZK 350 (en cas d'utilisation du TZK 350, sans filtre d'impuretes). - Arrivee et sortie d'eau peuvent etre branchees dans n'importe quel sens sur les raccords 7. A0

15 Der Schmutzfanger 8 st in den Vorlauf und der Kuhlwasserwachter TCW 00 (9) in den Riicklauf einzusetzen. Zubehor fur KtihlwasseranschluB, siehe - Katalog. - The dirt trap 8 must be installed in the supply system, and the TCW 00 cooling water monitor (9) in the return system. - Cooling water connection accessories, see catalog. - Le filtre d'impuretes 8 se met dans 'arrivee d'eau et le controleur d'eau de refroidissement TCW 00 9 a la sortie d'eau. - Accessoires pour raccord eau de refroidissement voir catalogue. Fig. 8 7 AnschluB Turbopumpe 8 Schmutzfanger 9 Kilhlwasserwachter TCW 00 0 Kiihlaggregat TZK 350 AnschluB Kiihlwassernetz freier AbfluB 7 Connection of turbo pump 8 Dirt trap 9 TCW 00 cooling water monitor 0 TZK 350 cooling unit Connection of cooling water system Open discharge 7 Connexion pompe turbo 8 Filtre d'impuretes 9 Controleur d'eau de refroidissement TCW 00 0 Systeme de refroidissement TZK 350 Connexion a la conduite de 'eau de refroidissement Ecoulement libre.3.4. Luftkuhlung Montage an der Pumpe Fig. 9 und 0 Die Luftkuhlung ist fertig montiert und elektrisch verdrahtet. - GummifuBe abnehmen - Mutter 3 abschrauben - Halter mit Mutter 3 anschrauben. - Halter mit montierter Luftkuhlung an die Pumpe anschrauben. - NetzanschluB herstellen oder nach Schaltplan PM S Pos. 3 an die Antriebselektronik TCP 040 anschlieben. Die Luftkuhlung wird fiir 0 V oder 0 V, 50 und 60 Hz geliefert. Vor dem elektrischen AnschluB ist die Spannung zu uberpriifen Air cooling Assembly to the pump Fig. 9 and 0 The air cooling is readyassembled and electrically wired. - Remove rubber feet - Unscrew nut 3 - Attach support with nut 3 - Screw on support with assembled air cooling to the pump - Complete connection to mains or connect to drive electronic TCP 050 according to switching diagram PM S, item 3. The air cooler is available for 0 V or 0 V, 50 and 60 Hz. Check the voltage before you connect it to the power supply Refroidissement par air Montage sur la pompe Fig. 9 et 0 L'appareil de refroidissement par air est completement monte et electriquement cable. - Enlever les pieds en caoutchouc - Devisser 'ecrou 3 - Visser le support avec ecrou 3 - Visser le support avec appareil de refroidissement par air monte 5 sur la pompe - Etablir la connexion electrique au secteur ou brancher selon diagramme electrique PM S pos. 3 a ' electronique d' entrainement TCP 040. Le refroidissement par air est fournie pour 0 V ou 0 V 50 et 60 Hz. Avant le branchement electrique il faut verifier la tension. A

16 3 Fig. 9 Luftkiihlung Halter 3 Mutter 4 Schraube 5 Scheibe Teile nach Ersatzteilliste PM 800 E/3 Air cooling Support 3 Nut 4 Screw 5 Washer Parts according to spare parts list PM 800 E/3 Fig. 0 Refroidissement par air Support 3 Ecrou 4 Vis 5 Rondelle Pieces de rechange selon PM 800 E/3 6 Fig. 6 FlutanschluB DN 0 KF 3 Flutsteuergerat TCF 0 oder VentiIsteuergerat TCV 0 4 Flutventil TVF 0 5 PVC-Schlauch 6 Trockenvorlage TTV 00 6 Venting connection, DN 0 KF 3 TCF 0 vent control unit, or TCV 0 valve control unit 4 TVF 0 vent valve 5 PCV hose 6 TTV 00 air drier 6 Raccord de remise a 'air DN 0 KF 3 Appareil de commande de remise a 'air TCF 0 ou appareil de commande de vanne TCV 0 4 Vanne de remise a 'air TVF 0 5 Tuyau PCV 6 Tube-secheur TTV FlutanschluB Fig. Zum Fluten der Turbopumpe konnen hand- oder elektrisch betatigte Ventile eingesetzt.3.5 Venting connection Fig. Manually or electrically operated valves can be used to vent the turbo pump. The.3.5 Raccord de remise a 'air Fig. 4 Pour la remise a 'air de la pompe turbo, on peut utiliser des vannes a com- A

17 warden. Zum verzogerten Sicherheitsfluten von Turbopumpe und Rezipient werden das Flutsteuergerat TCF 0 oder das Ventilsteuergerat TCV 0 eingesetzt. Beim Einsatz eines Flutventils TSF 00 wird die Turbopumpe direkt nach einem Stromausfall bzw. Abschalten geflutet. - Flutventil 4 an FlutanschluB 6 anflanschen. - Trockenvorlage 6 an eine vorher bereitgestellte Haltevorrichtung anschrauben. - Schlauchverbindung 5 zwischen 4 und 6 herstellen. - Flutsteuergerat TCF 0 oder Ventilsteuergerat TCV 0 (3) nach Schaltplan PM S und der Betriebsanweisung PM BD anschlieben. TCF 0 vent control unit or the TCV 0 valve control unit are used for delayed safety venting of the turbo pump and vacuum chamber. If a TSF 00 vent valve is employed, the turbo pump is vented immediately after a mains failure or after the pump is switched off. - Flange the vent valve 4 to the venting connection 6. - Screw the air drier 6 to a holder provided in advance. - Connect the hose 5 between 4 and 6. - Connect the TCF 0 vent control unit or TCV 0 valve control unit 3 in accordance with the circuit diagram PM S and the operating instructions PM BE. mande manuelle ou electrique. Pour la remise a 'air retardee de la pompe turbo et de 'enceinte, on peut utiliser 'appareil de commande de remise a Iair TCF 0 ou 'appareil de commande de vanne TCV 0. Si on utilise une vanne d'entree d'air TSF 00, la pompe turbo, en cas de coupure de courant ou d'arret, est directement remise a 'air. - Brider la vanne d'entree d'air 4 sur le raccord d'entree d'air 6. - Visser le tube-secheur 6 sur un dispositif de fixation - Etablir une liaison par tuyau 5 entre 4 et 6. - Monter 'appareil de commande de remise a Iair TCF 0 ou 'appareil de. commande de vanne TCV 0 3 selon schema de cablage PM S et instruction de service PM BF..4 Betrieb.4 Operation.4 Fonctionnement.4. Einschalten - Vorpumpe und Turbopumpe werden an der Antriebselektronik TCP 040 gleichzeitig eingeschaltet, eventuell Taster Reset mindestens 5 Sekunden lang betatigen. - Bei Pumpen mit Heizmanschette Heizung einschalten. Der Hochlauf der Turbopumpe erfolgt automatisch. Die Anlaufzeit bis zum Drehzahlschaltpunkt ist abhangig von der RezipientengroBe (nach.4.)..4. Heizen der Turbopumpe ACHTUNG Die Turbopumpe darf nur bei gekiihltem Unterteil beheizt werden. Der Enddruck richtet sich nach der Sauberkeit der Pumpe und der Apparatur. Um den Enddruck in moglichst kurzer Zeit'zu erreichen, ist es zweckmabig, Turbopumpe und Apparatur zu heizen. Ist der beheizte Rezipient direkt angeflanscht, mub darauf geachtet werden, dab die Temperatur des Hochvakuumflansches beim Heizen der.4. Switching on - Switch on backing pump and turbo pump simultaneously at the drive electronic, eventually actuate button "Reset" for at least 5 sec. - Switch on the pump heating jacket, if fitted. The turbo pump runs up automatically. The time from starting up to the speed switch point depends upon the size of the vacuum chamber (see.4.)..4. Bake-out of the turbo pump ATTENTION! The bake-out of the turbo pump is permitted only if the bottom part of the pump is cooled. The ultimate pressure is dependent on the cleanliness of the pump and of the vacuum chamber. In order to obtain the ultimate pressure after the shortest possible time, a bake-out of the pump and of the chamber is definitely recommended. If the heated chamber is flanged directly, care must be taken that the temperature of the HV socket.4. Enclenchement - Mettre en marche simultanement la pompe primaire et la pompe turbo, eventuellement pousser le bouton "Reset" pour 5 secondes minimum. - Sur les pompes possedant une chemise chauffante, mettre en marche le chauff age. La montee en vitesse de la pompe turbo est automatique. La duree de demarrage jusqu' au point de commutation est fonction de la dimension de 'enceinte (voir.4.)..4. Etuvage de la pompe turbo ATTENTION! La pompe turbo ne doit etre chauffee que si le refroidissement pour la partie basse est en marche. La pression finale depend de la proprete de la pompe et de 'appareillage. Pour atteindre la pression finale dans le temps le plus court possible, il est bon d'etuver la pompe turbo-moleculaire et 'appareillage. Si un recipient chauffe est raccorde A3

18 Apparatur 90 C nicht iiberschreitet. Wird der Rezipient hoher als 00 C geheizt, mub die Warmestrahlung vom Rezipienten auf den Pumpenrotor z.b. mit einem Strahlungsschild, reduziert werden. Die Heizdauer der Pumpe und des Rezipienten richtet sich nach dem Verschmutzungsgrad und dem gewiinschten Enddruck. Die Heizdauer der Pumpe sollte mindestens 4 Stunden betragen..4.3 Abschalten - Turbopumpe abschalten. - Hochvakuum-Sicherheitsventil in Vorvakuumleitung schlieben. Bei Pfeiffer- Vorvakuumpumpen schliebt das Hochvakuum-Sicherheitsventil beim Abschalten der Vorvakuumpumpe automatisch. - Flutventil offnen. st zum Fluten der Turbopumpe ein Flutsteuergerat TCF 0 oder ein Ventilsteuergerat TCV 0 eingesetzt, wird die Turbopumpe bis max. 30 Minuten nach dem Abschalten oder Netzausfall automatisch geflutet. Einstellung der Cerate TCF 0 und TCV 0 nach Betriebsanweisung PM BD. Bei installierter Wasserkiihlung Nach dem Abschalten Kiihlwasserzufuhr absperren. Besonders bei geoffneter Turbopumpe und hoher Luftfeuchtigkeit konnen sich Kondensate an den gekiihlten Flachen niederschlagen..5 Stillsetzen der Turbopum- Zum Stillsetzen der Turbopumpe iiber langere Zeit ist folgendes zu beachten: - Bei der Turbopumpe ist ein Glwechsel nach'.6. durchzufiihren. Die Gebrauchsfahigkeit des von PFEIFFER verwendeten b"ls TL Oil betragt ohne Betrieb Jahre. will not exceed 90 C, whilst the chamber is being heated. If the chamber is heated up to more than 00 C, heat radiation from the chamber to the rotor of the pump must be reduced, e.g. by a radiation shield. The length of the baking cycle of the pump and of the chamber depends on the degree of contamination and on the ultimate pressure desired. The bake of the pump should continue for at least four hours..4.3 Switching off the pump - Switch off the turbo pump. - Close the high-vacuum safety valve in the roughing vacuum line. When Pfeiffer backing pumps are used, the high-vacuum safety valve closes automatically when the backing pump is switched off. - Open the vent valve. If a TCF 0 vent control unit or a TCV 0 valve control unit is used for venting of the turbo pump, the pump is vented after a max. period of 30 minutes after switching-off, or automatically in the event of a mains failure. Setting of the TCF 0 and TCV 0 units as per operating instructions PM BE. When water cooling is installed: Upon stopping, shut off the cooling water flow. Condensates may settle at the cooled surfaces, particularly if the turbo pump is open and the atmospheric humidity is high..5 Shutting down the TPH 050 TPU 050 turbo pump For extended shutdowns of the turbo pump, the following must be observed: - An oil change must be carried out of the turbo pump as described in.6.. The useability of the oil TL Oil used by PFEIFFER is years if the pump is not operated. directement sur la bride, il faut veiller a ce que la temperature de la bride vide eleve pendant 'etuvage de 'appareillage ne depasse pas 90 C. Si le recipient est chauffe a une temperature plus elevee que 00 C une radiation a partir du recipient vers le rotor de la pompe doit etre reduite, p.e. par ecran protecteur. La duree d'etuvage de la pompe et du recipient depend de leur degre de pollution et de la pression finale que 'on veut atteindre. L'etuvage de la pompe devrait durer au moins 4 heures..4.3 Arret - Couper la pompe turbo - Fermer la vanne de securite a vide pousse dans la canalisation de vide primaire. Sur les pompes primaires Pfeiffer, la vanne de securite a vide pousse se ferme automatiquement a Iarret de la pompe primaire. - Ouvrir la vanne de remise a 'air. Si on utilise pour la remise a 'air de la pompe turbo un appareil de commande de remise a Iair TCF 0 ou un appareil de commande de vanne TCV 0, la pompe turbo est remise a 'air automatiquement jusqu'a 30 minutes max. apres arret ou coupure de courant. Pour le reglage des appareils TCF 0 et TCV 0, voir les instructions de service PM BF. Si refroidissement par eau est installe: Apres arret du groupe, fermer 'arrivee d'eau. Au particuliers lorsque la pompe turbo est ouverte et que le degre d'humidite de 'air est eleve il peut se former des condensats sur les surfaces refroidies..5 Mise hors service des pompes turbo TPH 050 TPU 050 Pour la mise hors service des pompes turbo pendant un temps assez long, il faut tenir compte de ce qui suit: - En ce qui concerne la pompe turbo, il faut faire un changement d'huile selon.6.. Lfaptitude de 'huile TL Oil utilise par PFEIFFER est de ans hors fonctinnement. A4

19 Hochvakuumflansch der Turbopumpe verschlieben und Pumpe liber Vorvakuumflansch evakuieren. Turbopumpe iiber VorvakuumanschluB mit trockener Luft oder mit Stickstoff N fluten. VorvakuumanschluB verschlieben. Turbopumpe senkrecht auf den GummifiiBen abstellen. In Raumen mit feuchter oder aggresiver Atmosphare ist die Turbopumpe zusammen mit einem Beutel Trockenmittel, z.b. Sicicagel, in einen Plastikbeutel einzuschweiben. Close the high-vacuum flange of the turbo pump and evacuate the pump via the roughing vacuum flange. Vent the turbo pump with dry air or N nitrogen via the roughing vacuum connection. Close the roughing vacuum connection. Place the turbo pump vertically on its rubber legs. In rooms with moist or aggressive atmosphere the turbo pump must be welded into a plastic bag, together with a bag of desiccant, e.g. silica gel. Fermer la bride vide pousse le la pompe turbo et taire le vide dans la pompe par la bride vide primaire. Remplir la pompe turbo par la bride de vide primaire d'air sec ou d'azote N^. Fermer la bride de vide primaire. Placer la pompe turbo verticalement sur les pieds en caoutchouc. Dans des locaux humides ou dans lfatmosphere aggresive il faut enfermer la pompe turbo dans un plastique soude, en y joignant un sachet de produit deshydratant, par ex. Silicagel.. 6 Instandhaltung Werkzeuge Fig..6 Maintenance Tools Fig.. 6 Entretien Outillage Fig. Fig. Werkzeug PM U zum Abziehen des Unterteils Werkzeug PM U zum Blockieren des Rotors bei der De- und Montage der Teile auf der Rotorwelle 3 Werkzeug PM X zur Montage des Gewinderinges 4 Werkzeug PM 03 8 zum Aufziehen des Kugellagers auf die Rotorwelle 0- und Lagerwechsel Fig. 3 bis. 4 Wichtige Hinweise zum 0- und LagerwechRe - Die Rotor-Stator-Justierung ist mit Schraube 00 Fig. 3 fixiert. Manipulationen an Schraube 00 fiihren zur Zerstorung der Turbopumpe. Tool PM U to pull off the bottom part, Tool PM U to block the rotor during disassembly and assembly of the parts on the rotor shaft 3 Tool PM X to install the ring nut. 4 Tool PM 03 8 to fit the ball bearing onto the rotor shaft Oil change and bearing replacement Fig. 3 to 4 Important notes on oil change and bearing replacement - The rotor/stator adjustment mechanism is fixed by the screw 00, Fig. 3. Manipulations at screw 00 result in the turbo pump being destroyed. Outil PM U pour retirer la piece inferieure. Outil PM U pour bloquer le rotor lors du demontage et du remontage des pieces sur 'arbre du rotor 3 Outil PM X pour montage de 'anneau filete 4 Outil PM 03 8 pour monter le palier a billes sur 'arbre du rotor 4 a 4 Changement d'huile et de palier Fig. 3 a 4 Remarques importantes concernant le changement d'huile et de palier - L'ajustage rotor-stator est defini par la vis 00, fig. 3. Toute manipulation de cette vis 00 provoque une A5

20 Die Turbopumpen TPH 050 und TPU 050 diirfen nur mit dem Betriebsmittel (3 TL Oil betrieben werden. Die Turbopumpe darf nur mit dem Hochvakuumflansch auf einer glatten Flache mit sauberer Papier- oder Stoffunterlage abgestellt werden, damit die Dichtfla'che nicht beschadigt wird. It is essential that the TPH 050 and TPU 050 turbo pumps are operated with TL Oil oil as the operating medium. The turbo pump may only be deposited with the highvacuum flange on a level surface covered with a clean paper or cloth to prevent the sealing surface from being damaged. destruction de la pompe turbo. - Les pompes turbo TPH 050 et TPU 050 ne doivent fonctionner qu'avec le lubrifiant Huile TL Oil. - La bride vide eleve de la pompe turbo ne doit etre posee que sur une surface plane munie d'un papier ou d'un tissu propre, pour que la surface d'etancheite ne soit pas deterioree. Fig Betriebsmittel Fig. 4 bis 7 Das Dochtsvstem zur Schmierung des Kugellagers ist bei Lieferung der Turbopumpen TPH 050 und TPU 050 mit 0 Typ TL Oil gefiillt. Ein Olwechsel ist nach jeweils ca Betriebsstunden, mindestens jedoch jahrlich wie folgt vorzunehmen: - Pumpe, nur wenn erforderlich, aus der Anlage ausbauen. - Pumpe auf den Hochvakuumflansch stellen. - VerschluBdeckel 0 und Dochthalter 3 wie die Fig. 4 bis 6 zeigen demontieren. - Dochthalter 3 gemafi Fig. 7 iiber eine Schale 0 halten. - Ca. 0 cm3 '6 TL Oil kontinuierlich in den oberen Schlitz tropfen. - Abgetropftes 0 aus der Scharle 0 nicht mehr verwenden..6. Changing the operating medium Fig. 4 to fig. 7 On shipment of the TPH 050 and TPU 050 turbo pumps, the wick system for lubrication of the ball bearing 9 on the roughing vacuum side is filled with TL Oil oil. The oil must be changed as described below at intervals of approx operating hours, however not less than once a year: - Remove the pump from the plant only if necessary. - Place the pump on the high vacuum flange. - Disassemble lid 0 and wick holder 3 as shown in Figs. 4 to 6. - Remove felt washer 8 (to be seen in Fig. 35) with pincers only. - Hold the wick holder 3 over a bowl 0 as shown in Fig Continuously feed drops of TL Oil oil into the upper slot, amount approx. 0 cc. - Do not reuse oil which has dripped into bowl Changement du fluide d*exploitation Fig. 4 a 7 Le systeme a meche pour la lubrification du palier a billes est rempli d'huile type TL Oil lors de la livraison des pompes turbo TPH 050 et TPU 050. II y a lieu d'effectuer un changement d'huile au bout de chaque 5000 heures de fonctionnement env. ou au moins une fois par an, en procedant de la faeon suivante: - Ne sortir la pompe de finstallation que si necessaire. - Placer la pompe sur la bride vide eleve. - Demonter le couverle de fermeture 0, le support de meche 3 et le disque en feutre 8 comme indique en fig. 4 a 6. - Tenir le support de meche 3 au-dessus d'un recipient 0 comme indique fig Introduire de facon continu env. 0 cm3 d'huile TL Oil dans la fente superieure. A6

21 Neue Filzscheibe 8 Fig. 4 mit tfl TL Oil tranken und mit der dunkleren Seite zum Kugellager einlegen. (Die Filzscheibe 8 mub bei jedem Olwechsel erneuert werden). Dochthalter 3 in das Unterteil einsetzen. Auf richtige Lage des O-Rings 4 Fig. 6 achten. VerschluBdeckel 0 einschrauben. Auf richtigen Sitz der Druckfeder 3 und des O-Rings 5 achten (Fig. 5). Saturate a new felt washer 8 fig. 4 with TL Oil oil and insert it with the darker side facing the ball bearing. (The felt washer 8 must be replaced during every oil change.) Insert the wick holder 3 into the bottom part. Ensure that the O-ring 4, Fig. 6, is in the correct possition. Screw in cover 0. Ensure that the compression spring 3 and O-ring 5 are seated correctly (Fig. 5). L'huile que a coule dans le recipient 0 ne doit plus etre utilisee. Imbiber un nouveau disque en feutre 8 fig. 4 avec de 'huile TL Oil et le remettre en place avec la partie foncee vers le palier (il faut remplacer le disque en feutre 8 a chaque changement d'huile). Introduire le support de meche 3 dans la partie inferieure. Veiller a ce que le joint torique 4 fig. 6 soit bien place.s Revisser le couvercle de fermeture 0. Veiller a ce que le ressort de pression 3 et le joint torique 5 soient bien en place (fig. 5). 00 Fiq. 4 Fig. 5 0 Fig. 6 Fig. 7 A7